TWI678604B - 流體控制和測量系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供中繼器以及流體控制和測量系統。為了能使流體設備小型化並能診斷流體設備的動作狀態，中繼器具備：第一埠，係與流體設備連接；以及第二埠，係與使用者用資訊處理裝置連接，藉由第一埠從流體設備接收流體關聯資料並藉由第二埠向使用者用資訊處理裝置發送，或藉由第二埠從使用者用資訊處理裝置接收流體關聯資料並藉由第一埠向流體設備發送，中繼器還具備與診斷流體設備的動作狀態的診斷用裝置連接的第三埠，藉由第一埠從流體設備接收診斷動作狀態的診斷用資料並藉由第三埠向診斷用裝置發送。

Description

流體控制和測量系統

本發明係關於一種用於對例如在半導體製造步驟中使用的材料氣體、藥液或清洗液等流體進行控制或測量的流體控制和測量系統的中繼器。

例如在像半導體製造步驟那樣使用複數種氣體的情況下，需要控制各氣體的流量，在每個氣體管路上設置有流體控制裝置等流體設備。使用者用的資訊處理裝置與前述流體設備連接，在前述流體設備與該使用者用資訊處理裝置之間收發預先由使用者設定的種類的資料。

但是例如維修時等，在診斷各流體設備的動作狀態的情況下，如上所述，雖然向使用者用資訊處理裝置發送由使用者選擇的資料，但是前述動作狀態的診斷所需要的資料並不一定齊全。

因此，在以往的流體設備上設置有用於診斷前述動作狀態的服務埠，藉由前述服務埠，並且藉由與維修人員等使用的診斷用裝置進行電纜連線，與該診斷用裝置之間收發進行診斷所需要的資料。

但是，近年來，對系統的小型化的要求不斷提高，如果為了回應前述要求而實現流體設備的小型化，則另一方 面會產生如下問題：不能在流體設備上設置用於將前述診斷用裝置與流體設備進行電纜連線的埠，從而不能將來自流體設備的資料向診斷用裝置發送。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本專利公開公報特開平7-210254號。

為了解決前述的問題，係著眼於設置在流體設備和使用者用資訊處理裝置之間的中繼器，本發明的主要目的在於能夠使流體設備小型化並且能夠診斷流體設備的動作狀態。

即，本發明提供一種中繼器，其具備：第一埠，係與控制或測量流體的流體設備連接；以及第二埠，係與使用者用資訊處理裝置連接，藉由前述第一埠從前述流體設備接收流體關聯資料，並且藉由前述第二埠向前述使用者用資訊處理裝置發送前述流體關聯資料，或者藉由前述第二埠從前述使用者用資訊處理裝置接收前述流體關聯資料，並且藉由前述第一埠向前述流體設備發送前述流體關聯資料，前述流體關聯資料是用於控制或測量前述流體的資料，前述中繼器還具備第三埠，前述第三埠與診斷用裝置連接，前述診斷用裝置診斷前述流體設備的動作狀態，藉由前述第一埠從前述流體設備接收診斷前述動作狀態的診斷用資料，並且藉由前述第三埠向前述診斷用裝置發送前述診斷用資料。

按照這種中繼器，由於具備第三埠，該第三埠與診斷用裝置連接，用於向前述診斷用裝置發送從流體設備輸出的診斷用資料，所以無需對診斷用裝置和流體設備進行電纜連線，就能夠向診斷用裝置發送診斷用資料。

由此，能夠不需要以往那樣的設置於各流體設備上的電纜連線用的埠，從而能夠實現各流體設備的小型化，並且能夠診斷各流體設備的動作狀態。

在以規定的標準對流體關聯資料進行通訊的情況下，為了以不會妨礙前述通訊的方式將診斷用資料向診斷用裝置發送，較佳為第一通訊線和第二通訊線與前述第一埠連接，前述第一通訊線對前述流體關聯資料進行通訊，前述第二通訊線對前述診斷用資料進行通訊。

按照該方式，由於與對由使用者設定的流體關聯資料進行通訊的第一通訊線不同，由第二通訊線對診斷用資料進行通訊，所以能夠與使用者的設定無關地取得流體設備的診斷所需要的診斷用資料，從而能夠靈活地診斷流體設備。即，不需要改變使用者的設定，就能夠設定診斷用資料，並能夠使用附加設置的診斷用裝置對流體設備進行診斷。

為了實現各流體設備的進一步的小型化，較佳為前述中繼器還具備：識別字賦予部，賦予各個前述流體設備用於識別多個前述流體設備的識別字；以及顯示部，顯示由前述識別字賦予部賦予的各個前述流體設備的識別字。

按照該方式，無需像以往那樣在流體設備上設置識別 字賦予部和顯示部，能夠進一步使各流體設備小型化。

此外，即使將流體設備配置在例如使用者的手接觸不到的場所、或眼睛看不到的場所，只要將中繼器配置在能夠操作的場所，就能夠藉由該中繼器的識別字賦予部和顯示部，確認各流體設備的連接狀態等，從而能夠提高作業性。

作為使本發明的效果更顯著的實施方式，可以例舉下述的方式：前述各流體設備具有呈扁平形狀的箱體，藉由使前述箱體的面板部之間彼此相對，能夠無間隙地配置彼此相鄰的前述流體設備。

此外，本發明還提供一種流體控制和測量系統，其包括：流體設備，控制或測量流體；使用者用資訊處理裝置；以及中繼器，前述中繼器具備：第一埠，與前述流體設備連接；以及第二埠，與前述使用者用資訊處理裝置連接，藉由前述第一埠從前述流體設備接收流體關聯資料，並且藉由前述第二埠向前述使用者用資訊處理裝置發送前述流體關聯資料，或者藉由前述第二埠從前述使用者用資訊處理裝置接收前述流體關聯資料，並且藉由前述第一埠向前述流體設備發送前述流體關聯資料，前述流體關聯資料是用於控制或測量前述流體的資料，前述中繼器還具備第三埠，前述第三埠與診斷用裝置連接，前述診斷用裝置診斷前述流體設備的動作狀態，前述中繼器藉由前述第一埠從前述流體設備接收診斷前述動作狀態的診斷用資料，並且藉由前述第三埠向前述診斷用裝置發送前述診斷用資料。

按照這種流體控制和測量系統，能夠得到與前述的中繼器相同的作用效果。

按照以上方式構成的本發明，能夠使流體設備小型化，並且能夠診斷流體設備的動作狀態。

1‧‧‧塊體

1a‧‧‧內部流道

1b‧‧‧端面

1c‧‧‧上表面

2A‧‧‧第一壓力感測器

2B‧‧‧第二壓力感測器

3‧‧‧流體阻力元件

4‧‧‧流量調節閥

5‧‧‧電路板

6‧‧‧箱體

7‧‧‧連接器

11‧‧‧標識符賦予部

12‧‧‧顯示部

100‧‧‧流體控制和測量系統

101‧‧‧流量控制裝置

102‧‧‧使用者用訊息處理裝置

103‧‧‧中繼器

104‧‧‧診斷用裝置

P1‧‧‧第一埠

P2‧‧‧第二埠

P3‧‧‧第三埠

L1‧‧‧第一通訊線

L2‧‧‧第二通訊線

圖1是示意表示本實施方式的流體控制和測量系統的圖。

圖2是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的立體參考圖。

圖3是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的構成的立體參考圖。

圖4是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的構成的參考圖。

圖5是表示與圖1為同一實施方式的中繼器的示意圖。

圖6是表示與圖1為同一實施方式的中繼器的示意圖。

下面參照圖式說明本發明的流體控制和測量系統。

如圖1所示，前述流體控制和測量系統100例如用於從氣體供給源分別導入半導體製造系統成膜用的各種氣體，將它們混合並向半導體的成膜室(未圖示)供給，前述流體控制和測量系統100包括：流道形成構件，形成各氣體的流道L(以下也稱為氣體流道)；作為流體設備的流量控制裝置101，分別設置在各氣體流道L上，獨立控制流過該氣體流道L的氣體的流量；使用者用資訊處理裝 置102，能夠與各流量控制裝置101通訊；中繼器103，設置在流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102之間；以及診斷用裝置104，診斷各流量控制裝置101的動作狀態，即診斷各流量控制裝置101是否正常動作。

另外，作為流體設備，可以例舉控制流體的壓力、流量和溫度黏性等物性的流體控制裝置、以及測量前述物性的流體測量裝置等。

接著，更具體地說明前述流體控制和測量系統100的各部分。

雖然未圖示，但是前述流道形成構件例如藉由以平面的方式連接設置複數個塊體而構成在面板上。在各塊體內設置有內部流道，藉由適當地連接設置各塊體來連接各塊體的內部流道，據此如上所述地形成複數個並列的氣體流道L。準備有能夠安裝壓力感測器、閥或後述的流量控制裝置101等流體關聯設備的塊體、形成有分支流道的塊體等各種類型的塊體。由於能夠以無間隙的方式緊密地進行配置並且能夠在其上部一體地安裝前述流體關聯設備，所以藉由塊體構成流道形成構件能夠實現小型化，其結果能夠使流道變短，從而能夠使無效空間變小並能提高回應性。另外，流道形成構件也可以使用通常的配管構件。

如圖2~圖4所示，前述流量控制裝置101具備安裝在流量控制裝置安裝用塊體1(以下僅稱為塊體)上的第一壓力感測器2A、第二壓力感測器2B、流體阻力元件3、流量調節閥4、電路板5以及收容它們的箱體6。

另外，在本實施方式中，特別是如圖2所示，前述箱體6呈扁平形狀，藉由使該箱體6的面板部之間彼此相對，能夠無間隙地配置彼此相鄰的流量控制裝置101。據此能夠使流體控制和測量系統100整體緊湊化。

塊體1呈細長的長方體狀，在以與其長邊方向垂直的方式形成的前後各端面1b上分別設置有氣體的導入口和匯出口，以連接前述各口的方式，並且以在俯視觀察中沿著長邊方向的方式設置有氣體流動的內部流道1a。

此外，在該內部流道1a上從上游側依序設置有：流量調節閥4、第一壓力感測器2A、流體阻力元件3和第二壓力感測器2B。此外，前述塊體1的上表面1c(即以與前述塊體1的長邊方向平行的方式與前述端面1b垂直的面)被設定為構件安裝面，在前述構件安裝面上設置有後述的流量調節閥4、第一壓力感測器2A和第二壓力感測器2B的殼體。

流量調節閥4具備設置在內部流道1a上的閥主體(未圖示)和開關前述閥主體的驅動構件(未圖示)。前述驅動構件利用了例如沿厚度方向伸縮的積層壓電元件，收容在安裝於前述構件安裝面上的筒狀殼體中。此外，可以藉由該驅動構件的伸縮動作來調節閥主體的閥開度。

第一壓力感測器2A和第二壓力感測器2B具備呈扁平形狀的殼體和內置於前述殼體內的壓力檢測元件。此外，將前述殼體以其面板部(扁平面)與前述構件安裝面垂直且與塊體1的長邊方向平行亦即俯視觀察時與流體的流動 方向大致上平行的方式，安裝在該構件安裝面上。

流體阻力元件3形成設置在內部流道1a上的狹窄的通路部分，在此流體阻力元件3埋入塊體1的內部。

在電路板5上形成有CPU、記憶體、通訊電路等數位電路和放大器、緩衝器等類比電路，藉由各電路協同工作，在功能方面能夠發揮作為流量測量部和流量控制部的功能，前述流量測量部測量流過氣體流道L(作為塊體1的內部流道1a的氣體流道)的氣體的流量，前述流量控制部進行控制，使得由前述流量測量部檢測到的氣體流量成為規定的目標流量。

在此，流量測量部根據由分別設置在流體阻力元件3的上游和下游的第一壓力感測器2A和第二壓力感測器2B測量到的氣體流道L的壓力，計算流過該氣體流道L的氣體流量。以該方式計算出的氣體流量(以下稱為測量流量)作為測量流量訊號向流量控制部輸出。

流量控制部接收目標流量訊號和前述測量訊號，並對它們分別表示的目標流量和前述測量流量進行比較，以使它們的偏差變小的方式輸出用於驅動流量調節閥4的動作訊號。另外，前述流量控制部還接收閥開關訊號，當接收到閥開關訊號時，與目標流量訊號的值無關地強制性地使流量調節閥4完全打開或完全關閉。

以前述方式構成的流量控制裝置101藉由設置在箱體6的上板部上的連接器7，與使用者用資訊處理裝置102電纜連線。

使用者用資訊處理裝置102與複數個流量控制裝置101電纜連線，能夠與各流量控制裝置101通訊，具體而言，使用者用資訊處理裝置102是具備CPU、記憶體、輸入輸出介面和AD轉換器等的通用或專用的電腦。

更具體而言，在本實施方式中，前述使用者用資訊處理裝置102與各流量控制裝置101之間收發作為流體關聯資料的用於控制流體的流量的資料。具體而言，前述流體關聯資料是指在半導體製造裝置的功能表中使用的資料，並且是由使用者用資訊處理裝置102進行的資料處理所需要的資料。即，前述流體關聯資料是使用者用資訊處理裝置102認為必要的(定義的)資料。

作為從使用者用資訊處理裝置102向流量控制裝置101發送的流體關聯資料，有表示目標流量的前述目標流量訊號和強制性地使流量調節閥4開關的前述閥開關訊號等。另一方面，作為從各流量控制裝置101向使用者用資訊處理裝置102發送的流體關聯資料，有表示測量流量的前述測量流量訊號、表示第一壓力感測器2A和第二壓力感測器2B測量到的壓力的測量壓力訊號、表示流量調節閥4的開度(向閥4施加的電壓)的閥開度訊號、以及表示流體的溫度的流體溫度訊號等。

另外，前述使用者用資訊處理裝置102與各流量控制裝置101之間收發從前述流體關聯資料中由使用者預先設定的一種或複數種資料。

在此，如圖5和圖6所示，本實施方式的流體控制和 測量系統100具備中繼器103，該中繼器103設置在前述複數個流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102之間，並且在它們之間對前述流體關聯資料進行中繼。

另外，為了便於說明，在圖5中省略了設置於中繼器103的外周面的各構成的記載，在圖6中省略了中繼器103內部的各構成的記載。

以下，對前述中繼器103進行說明。

如圖5和圖6所示，中繼器103具備：第一埠P1，與前述流量控制裝置101連接，用於與該流量控制裝置101之間收發前述流體關聯資料；以及第二埠P2，與前述使用者用資訊處理裝置102連接，用於與該使用者用資訊處理裝置102之間收發前述流體關聯資料。

更具體而言，前述中繼器103將藉由第一埠P1從流量控制裝置101接收到的流體關聯資料藉由第二埠P2向使用者用資訊處理裝置102發送，並將藉由第二埠P2從使用者用資訊處理裝置102接收到的流體關聯資料藉由第一埠P1向流量控制裝置101發送。

在本實施方式中，複數個第一埠P1以與各流量控制裝置101對應的方式設置，第一通訊線L1與各第一埠P1和第二埠P2連接，前述第一通訊線L1在各流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102之間對前述流體關聯資料進行通訊。

前述第一通訊線L1以差分傳輸通訊(本實施方式中為CAN通訊)等規定的標準對前述流體關聯資料進行通 訊，具體而言，前述第一通訊線L1由一端與流量控制裝置101連接並且另一端與使用者用資訊處理裝置102連接的第一通訊電纜構成。另外，前述第一通訊電纜分別與設置於各流量控制裝置101、第一埠P1、第二埠P2和使用者用資訊處理裝置102的未圖示的物理連接器連接。另外，第一通訊電纜是指電線等物理性的物品。

更具體而言，在本實施方式中，在使用者用資訊處理裝置102和中繼器103之間藉由設備網(DeviceNet)對前述流體關聯資料進行通訊，在中繼器103和各流量控制裝置101之間藉由CAN進行通訊。另外，也可以使用乙太網控制自動化技術(EtherCAT)代替設備網。

在本實施方式中，如圖5所示，藉由各第一埠P1與各流量控制裝置101連接的複數個第一通訊線L1在第一埠P1和第二埠P2之間匯合，並藉由第二埠P2與使用者用資訊處理裝置102連接。

另外，在本實施方式中，例如可以利用未圖示的開關元件等，恰當地對能與使用者用資訊處理裝置102通訊的流量控制裝置101進行切換。此外，在本實施方式中，在第一通訊線L1上設置有中繼器(repeater)等的CPU。即，前述中繼器等的CPU設置在中繼器103內，與第一通訊線L1連接。

此外，本實施方式的中繼器103在前述第一通訊線L1上具有未圖示的光耦合器等隔離器，以使各流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102絕緣。具體而言，前述 隔離器設置在比前述第一通訊線L1的匯合點更靠使用者用資訊處理裝置102的一側。

此外，如圖5和圖6所示，本實施方式的中繼器103還具備第三埠P3，前述第三埠P3與對流量控制裝置101的動作狀態進行診斷的診斷用裝置104連接，用於與前述診斷用裝置104之間收發作為用於診斷前述動作狀態的資料的診斷用資料。前述診斷用資料可以至少包括未包含在前述流體關聯資料中的資料。

在此，診斷用資料是能夠用於流量控制裝置101的動作狀態的診斷的資料，是藉由流量控制裝置101得到的資料。具體而言，作為診斷用資料，有表示目標流量的前述目標流量訊號、強制性地使流量調節閥4開關的前述閥開關訊號、表示測量流量的前述測量流量訊號、表示第一壓力感測器2A和第二壓力感測器2B測量到的壓力的測量壓力訊號、表示流量調節閥4的開度(向閥4施加的電壓)的閥開度訊號、表示各感測器的原始值的原始訊號、表示各感測器的漂移(drift)的累計值的漂移累計訊號、以及表示使用了在關閉流量調節閥4的狀態下得到的測量流量的自身診斷值(例如國際公開公報WO2008/053839號)的自身診斷訊號等。

另外，在使用者以在流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102之間收發全部的流體關聯資料的方式進行選擇的情況下，流體關聯資料和診斷用資料一致。

前述第三埠P3與前述第二埠P2分開設置，本實施方 式的中繼器103將藉由第一埠P1從各流量控制裝置101接收到的前述診斷用資料，藉由第三埠P3向診斷用裝置104發送。

在本實施方式中，第二通訊線L2與前述第三埠P3連接，前述第二通訊線L2在各流量控制裝置101和診斷用裝置104之間對前述診斷用資料進行通訊。

前述第二通訊線L2由與前述第一通訊電纜不同的第二通訊電纜構成，該第二通訊電纜的一端與流量控制裝置101連接，並且另一端與診斷用裝置104連接。另外，前述第二通訊電纜分別與設置在各流量控制裝置101、第一埠P1、第三埠P3和診斷用裝置104上的未圖示的物理連接器連接。另外，第二通訊電纜是指電線等物理性的物品。

在本實施方式中，如圖5所示，藉由各第一埠P1與各流量控制裝置101連接的複數個第二通訊線L2在第一埠P1和第三埠P3之間匯合，並藉由第三埠P3與診斷用裝置104連接。

另外，各第一埠P1設置有與前述第一通訊線L1連接的第一通訊線用端子(未圖示)和與前述第二通訊線L2連接的第二通訊線用端子(未圖示)，可以在流量控制裝置101和中繼器103之間分別獨立地收發流體關聯資料和診斷用資料。

此外，如圖6所示，本實施方式的中繼器103還具備：識別字賦予部11，賦予各流量控制裝置101用於識別複數個流量控制裝置101的識別字；以及顯示部12，顯示由識 別字賦予部11賦予的各流量控制裝置101的識別字和動作狀態等。

識別字賦予部11對應於與使用者用資訊處理裝置102連接的各流量控制裝置101，例如設置在中繼器103的外周面上。

具體而言，前述識別字賦予部使用例如旋轉開關等雙列直插式開關，例如將各流量控制裝置101設定成相互不同的值。

顯示部12與各識別字賦予部11對應，例如設置在中繼器103的前述外周面上。

具體而言，前述顯示部例如使用了LED等，顯示由對應的識別字賦予部11設定的各流量控制裝置101的識別字(在本實施方式中各流量控制裝置101的值)。

按照以前述方式構成的本實施方式的流體控制和測量系統100，由於中繼器103具備第三埠P3，並且藉由前述第三埠P3連接各流量控制裝置101和診斷用裝置104，所以無需對診斷用裝置104和流量控制裝置101進行電纜連線，就可以向診斷用裝置104發送診斷用資料。

據此，可以不需要像以往那樣的設置在各流量控制裝置101上的電纜連線用的埠，從而能夠實現流量控制裝置101的小型化，並且能夠診斷各流量控制裝置101的動作狀態。

此外，由於不需要像以往那樣將各流量控制裝置101分別與診斷用裝置104進行電纜連線，所以能夠顯著地減 少電纜的數量。

此外，由於第一通訊線L1和第二通訊線L2與第一埠P1連接，前述第一通訊線L1以規定的標準對流體關聯資料進行通訊，前述第二通訊線L2與前述第一通訊線L1不同，對診斷用資料進行通訊，並且能夠與流量控制裝置101分別獨立地收發前述流體關聯資料和診斷用資料，所以能夠向診斷用裝置104發送從各流量控制裝置101輸出的前述診斷用資料而不會妨礙第一通訊線L1以規定的標準進行通訊。

在此，在半導體製造裝置中，如果流體的控制和測量產生延遲等，則有可能導致作為最終產品的半導體等的品質劣化，因此，為了保證通訊速度，第一通訊線L1大多僅對由使用者設定的資料進行通訊。在這種半導體製造裝置中，按照前述構成，由於利用與前述第一通訊線L1不同的第二通訊線L2對診斷用資料進行通訊，所以能夠與使用者的設定無關地取得流量控制裝置101的診斷所需要的診斷用資料，從而能夠靈活地診斷流量控制裝置101。

此外，由於中繼器103具備識別字賦予部11和顯示部12，所以不需要像以往那樣將識別字賦予部11和顯示部12設置在流量控制裝置101上，從而能夠進一步使各流量控制裝置101小型化。

此外，按照這種構成，即使流量控制裝置101配置在例如使用者的手接觸不到的場所、或眼睛看不到的場所，只要將中繼器103配置在能夠操作的場所，就能夠藉由該 中繼器103的識別字賦予部11和顯示部12確認各流量控制裝置101的連接狀態等，從而能夠提高作業性。

此外，由於中繼器103具備隔離器而在各流量控制裝置101上未設置隔離器，所以能夠使各流量控制裝置101和使用者用資訊處理裝置102絕緣，並且能夠實現各流量控制裝置101進一步的小型化。

此外，由於前述隔離器設置在比第一通訊線L1的匯合點更靠使用者用資訊處理裝置102一側，所以與對應於各流量控制裝置101來設置隔離器的情況相比價格較低。另外，在這種構成中，各流量控制裝置101之間未絕緣，但是由於對流體關聯資料進行差分傳輸通訊，所以能夠將各流量控制裝置101之間的雜訊抑制為對流體的控制或測量不會產生影響的程度。

另外，本發明並不限於前述實施方式。

例如，在前述實施方式中，與各流量控制裝置連接的第一通訊線和第二通訊線與相同的第一埠連接，但是第一通訊線和第二通訊線也可以與相互不同的第一埠連接。

此外，前述實施方式的中繼器使與第二埠分開設置的第三埠與診斷用裝置連接，並且與該診斷用裝置之間收發診斷用資料，但是也可以使例如第二埠的連接器和第三埠的連接器通用化。

此外，前述實施方式的第一通訊線和第二通訊線由不同的通訊電纜構成，但是第一通訊線的一部分和第二通訊線的一部分可以由共同的通訊電纜構成。

此外，中繼器可以藉由單一的通訊線對藉由第一埠與流量控制裝置之間收發的流體關聯資料和診斷用資料進行收發。

在這種情況下，例如可以在中繼器中設置CPU等，藉由前述CPU等的設定，藉由第二埠與使用者用資訊處理裝置之間收發藉由前述單一的通訊線進行通訊的流體關聯資料，藉由第三埠與診斷用裝置之間收發診斷用資料。

此外，本實施方式的診斷用裝置對流量控制裝置的動作狀態進行診斷，但是例如也可以藉由第三埠從診斷用裝置接收用於對各流量控制裝置進行修正或校正的維修資料並藉由第一埠向各流量控制裝置發送，診斷用裝置對各流量控制裝置的動作狀態進行診斷，並且進行各流量控制裝置的修正或校正等維修。

另外，在此所指的診斷包括修正和校正等。

此外，前述實施方式的雙列直插式開關是旋轉開關，但是也可以是滑動開關或按鎖開關(push lock switch)等。

此外，複數個流量控制裝置例如可以相互藉由菊鏈連接，前述複數個流量控制裝置中的一個或複數個流量控制裝置與中繼器連接。

此外，在前述實施方式中，在第一通訊線上設置有中繼器等的CPU，但是也可以在第二通訊線上另外設置中繼器等的CPU，還可以在第一通訊線和第二通訊線上以共有的方式設置一個或複數個中繼器等的CPU。

此外，前述實施方式的中繼器設置在複數個流量控制 裝置和使用者用資訊處理裝置之間，但是也可以分別與各流量控制裝置對應地設置。

此外，前述實施方式的流體控制和測量系統在流量控制裝置和使用者用資訊處理裝置之間收發流體關聯資料，但是也可以從流量控制裝置僅向使用者用資訊處理裝置發送流體關聯資料，或者從使用者用資訊處理裝置僅向流量控制裝置發送流體關聯資料。

此外，第三埠只要是用於對至少包括未包含在流體關聯資料中的資料的一個或複數個資料進行收發的埠即可，並不限於用於收發診斷用資料的埠。

此外，本發明並不限於前述實施方式，只要在不脫離本發明宗旨的範圍內能夠進行各種變形。

可以相互組合本發明的各個實施方式中所記載的技術特徵形成新的技術方案。

Claims (4)

1. 一種流體控制和測量系統，係包括：流體設備，控制或測量流體；使用者用資訊處理裝置；以及中繼器，係具備：第一埠，與前述流體設備連接；以及第二埠，與前述使用者用資訊處理裝置連接；前述中繼器係藉由前述第一埠從前述流體設備接收流體關聯資料並且藉由前述第二埠向前述使用者用資訊處理裝置發送前述流體關聯資料，或者藉由前述第二埠從前述使用者用資訊處理裝置接收前述流體關聯資料並且藉由前述第一埠向前述流體設備發送前述流體關聯資料，前述流體關聯資料是用於控制或測量前述流體的資料；前述流體控制和測量系統中，前述中繼器還具備第三埠，前述第三埠與診斷用裝置連接，前述診斷用裝置診斷前述流體設備的動作狀態；前述中繼器藉由前述第一埠從前述流體設備接收診斷前述動作狀態的診斷用資料，並且藉由前述第三埠向前述診斷用裝置發送前述診斷用資料；前述中繼器與前述使用者用資訊處理裝置之間的通訊規定和前述中繼器與前述流體設備之間的通訊規定彼此不同。
2. 如請求項1所記載的流體控制和測量系統，其中第一通訊線和第二通訊線與前述第一埠連接，前述第一通訊線對前述流體關聯資料進行通訊，前述第二通訊線對前述診斷用資料進行通訊。
3. 如請求項1所記載的流體控制和測量系統，其中還具備：識別字賦予部，賦予各個前述流體設備用於識別複數個前述流體設備的識別字；以及顯示部，顯示由前述識別字賦予部賦予的各個前述流體設備的識別字。
4. 如請求項1所記載的流體控制和測量系統，其中各個前述流體設備具有呈扁平形狀的箱體，藉由使前述箱體的面板部之間彼此相對，能夠無間隙地配置彼此相鄰的前述流體設備。