JP2003204099A - レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡略な構成で波長切換え時のアライメント精
度の確保をさらに容易にし、効率良く複数の異なる波長
のレーザ光を出射可能なレーザ装置を提供する。 【解決手段】 異なる波長のレーザ光を出射するレーザ
装置であって、レーザ発振源と、レーザ発振源を挟んで
配置された一対の共振用ミラーの共振によって第１レー
ザ光を発振する第１共振光学系と、平面ミラーと、平面
ミラーをその平面方向に移動させて第１共振光学系の光
路間に挿脱する挿脱手段と、平面ミラーの光路への挿入
によって第１共振光学系におけるレーザ発振源側の共振
光路を共用すると共に、その平面ミラーの反射方向に配
置された専用の共振用ミラーの共振によって第１のレー
ザ光とは異なる第２レーザ光を発振する第２共振光学系
と、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の波長のレー
ザ光を選択、発振することができるレーザ装置に関す
る。

【０００２】

【従来技術】複数の異なる波長のレーザ光を出射可能な
レーザ装置としては、レーザ光の波長が可変なアルゴン
・ダイレーザやマルチウェイブレングスのクリプトンレ
ーザなどが知られている。これらは、患部や治療目的に
よって適する波長が異なる眼科手術等の医療分野など、
様々な分野で使用されている。例えば、眼科手術におい
ては、可視域を中心に波長（色）の違いによって異なる
疾患（患部）の治療を行っており、疾患（患部）によっ
ては赤と緑などの異なる波長（色）を同時に又は切換え
て使用する場合もあるため、１台の装置で複数の異なる
波長を出射できるのは都合がよい。ところで、前述した
波長可変のレーザ治療装置は気体又はダイレーザであ
り、レーザチューブが短寿命であること、多大な電力を
必要とすること、装置が大型化することなど問題が多い
ため、固体レーザによる多波長発振可能なレーザ装置が
研究されている。そのような背景の中、例えば本出願人
による特願平2001-248714号に示すように、ミラー等の
光学部材を共振光路内に挿脱させることによって共振光
路の切り替えを行い、それによって波長選択を行う方法
が提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】特願平2001-248714号
では波長切り替え時に駆動する光学部材の数を極力少な
くさせることにより、アライメント精度を妨げる要因を
少なくさせるものとしている。しかしながら、さらにア
ライメント精度を高めようとする場合、駆動する光学部
材の挿脱に伴う停止位置の再現性等を考慮する必要があ
る。

【０００４】本発明は、上記問題点を鑑み、簡略な構成
で波長切換え時のアライメント精度の確保をさらに容易
にし、効率良く複数の異なる波長のレーザ光を出射可能
なレーザ装置を提供することを技術課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。 （１） 異なる波長のレーザ光を出射するレーザ装置で
あって、レーザ発振源と、該レーザ発振源を挟んで配置
された一対の共振用ミラーの共振によって第１レーザ光
を発振する第１共振光学系と、平面ミラーと、該平面ミ
ラーをその平面方向に移動させて前記第１共振光学系の
光路間に挿脱する挿脱手段と、前記平面ミラーの光路へ
の挿入によって前記第１共振光学系における前記レーザ
発振源側の共振光路を共用すると共に、その平面ミラー
の反射方向に配置された専用の共振用ミラーの共振によ
って前記第１のレーザ光とは異なる第２レーザ光を発振
する第２共振光学系と、を備えることを特徴とする。 （２） （１）のレーザ装置において、前記第１共振光
学系又は第２共振光学系の専用光路の少なくとも一方に
配置された波長変換素子を備えることを特徴とする。 （３） （１）のレーザ装置において、前記挿脱手段は
前記平面ミラーをその平面と直交する軸回りに回転させ
る回転駆動機構であることを特徴とする。 （４） （１）のレーザ装置において、前記第２共振光
学系を構成する第１の平面ミラーとは異なる第２の平面
ミラーと、該第２平面ミラーをその平面方向に移動させ
る第２の挿脱手段であって、前記第１共振光学系の光路
間において前記第１平面ミラーとは異なる位置に挿脱す
る第２挿脱手段と、前記第２平面ミラーの光路への挿入
によって前記第１共振光学系における前記レーザ発振源
側の共振光路を共用すると共に、その平面ミラーの反射
方向に配置された専用の共振用ミラーを持ち、前記第１
及び第２レーザ光とは異なるレーザ光を発振する第３共
振光学系とを備え、前記第１平面ミラーの挿脱手段と前
記第２平面ミラーの挿脱手段は、各平面ミラーの平面と
直交する共通の軸を中心にその軸回りに回転する回転駆
動機構を持つことを特徴とする。 （５） （４）のレーザ装置において、前記第１平面ミ
ラーと第２平面ミラーとは同一の挿脱手段にて共振光路
内に各々挿脱されることを特徴とする。 （６） （１）〜（５）の何れかのレーザ装置は、さら
に、発振するレーザ光の出力を検知する検知手段と、該
検知結果に基づいて前記第１共振光路内に挿入される平
面ミラーの反射角度を変化させる角度変更手段と、を備
えることを特徴とする。 （７）（１）のレーザ装置において、前記レーザ発振源
は異なる複数のピーク波長の発振線を持つ固体レーザ媒
質であり、前記第１光学系と第２光学系にはそれぞれ異
なる発振線の第２高調波をレーザ光として得るための波
長変換素子が配置されていることを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。 ＜実施例１＞実施例１では２波長のレーザ光を選択的に
発振する装置を用いて説明する。図１はスリットランプ
を使用する眼科用レーザ光凝固装置の外観図である。図
２は装置の光学系及び制御系概略図である。１はレーザ
装置本体であり、後述するレーザ発振器１０、レーザ光
を患者眼の患部に導光して照射するための導光光学系の
一部、制御部２０等が収納されている。２は装置のコン
トロール部であり、レーザ光の波長を選択する波長選択
スイッチ２ａやレーザ照射条件を設定入力するための各
種スイッチが設けられている。３はレーザ照射のトリガ
信号を発信するためのフットスイッチである。４はスリ
ットランプであり、患者眼を観察するための観察光学系
と導光光学系の一部とが備えられている。５は本体１か
らのレーザ光をスリットランプ４に導光するためのファ
イバである。６はスリットランプ４を上下動するための
架台である。

【０００７】図２おいて、１０はレーザ発振器であり、
内部にはレーザ発振源としての固体レーザ媒質であるＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶（以下、単にロッドともいう）１１、励
起光源である半導体レーザ（以下、単にＬＤ（Laser Di
ode）ともいう）１２、波長変換器である非線形結晶
（以下、単にＮＬＣ（Non Linear Crystal）ともいう）
１３ａ，１３ｂ、全反射ミラー（以下、単にＨＲ（High
Reflector）ともいう）１４ａ〜１４ｄ、出力ミラー１
５が備えられている。なお、非線形結晶としては、ＫＴ
Ｐ結晶、ＬＢＯ結晶、ＢＢＯ結晶等が使用可能であり、
本実施形態ではＫＴＰ結晶を使用している。

【０００８】Ｎｄ：ＹＡＧ結晶は励起光源からの励起光
により、近赤外域の複数の発振線（ピーク波長）を持つ
光を放出する。そこで、本実施形態の装置では、複数の
発振線の内で出力が高い、約１０６４ｎｍ、約１３１９
ｎｍの２つの発振線における第二高調波を、非線形結晶
を利用して発生させることにより、約５３２ｎｍ（緑）
及び約６５９ｎｍ（赤）の２色のレーザ光を出射させ
る。

【０００９】ロッド１１が配置される光軸Ｌ１の光路の
一端にはＨＲ１４ａが設けられ、他端には出力ミラー１
５が所定角度だけ傾けて設けられている。ＨＲ１４ａは
１０６４ｎｍ及び１３１９ｎｍの波長に対して全反射の
特性を持つものであるが、これに限るものではなく、１
０６４ｎｍ及び１３１９ｎｍの波長を含んだ赤外域の波
長を広く反射するような特性を持つものであってもかま
わない。出力ミラー１５は１０６４ｎｍ及び１３１９ｎ
ｍの波長を全反射するとともに、５３２ｎｍ及び６５９
ｎｍを透過する特性を持つ。出力ミラー１５の反射方向
の光軸Ｌ２上には、ＮＬＣ１３ａとＨＲ１４ｂが固定さ
れて設けられている。ＮＬＣ１３ａは１３１９ｎｍの波
長に対して、その第二高調波である６５９ｎｍの波長を
発生させるように配置されている。ＨＲ１４ｂは１３１
９ｎｍ及び６５９ｎｍに対して全反射の特性を持つ。

【００１０】このような光学配置により、ロッド１１を
挟んで光軸Ｌ１のＨＲ１４ａと光軸Ｌ２上のＨＲ１４ｂ
が対向する一対の共振器構造を持つ第１の共振光学系が
構成され、ＮＬＣ１３ａによって発生される第二高調波
の６５９ｎｍをロッド１１にて阻害されることなく、出
力ミラー１５より出射することが可能である。なお、光
軸Ｌ１と光軸Ｌ２とがなす角度（反射角度）は収差の影
響を考慮するとできるだけ狭い方が好ましい。

【００１１】また、光軸Ｌ２上の出力ミラー１５とＮＬ
Ｃ１３ａとの間には、平面ミラーであるＨＲ１４ｃが挿
脱可能に配置される。ＨＲ１４ｃは１０６４ｎｍ及び５
３２ｎｍに対して全反射の特性を持つ。ＨＲ１４ｃの反
射方向の光軸Ｌ３上には、ＮＬＣ１３ｂとＨＲ１４ｄが
固定的に設けられている。ＮＬＣ１３ｂは１０６４ｎｍ
の波長に対して、その第二高調波である５３２ｎｍの波
長を発生させるように配置されている。ＨＲ１４ｄはＨ
Ｒ１４ｃと同じく１０６４ｎｍ及び５３２ｎｍに対して
全反射の特性を持つ。

【００１２】このような光学配置により、ＨＲ１４ｃが
光軸Ｌ２上に挿入された時には、第１の共振光学系のＨ
Ｒ１４ａ、ロッド１１、出力ミラー１５を共用し、ＨＲ
１４ａとＨＲ１４ｄとがロッド１１を挟んで一対の共振
器となる第２の共振光学系が構成される。ＨＲ１４ｃの
光軸Ｌ２上への挿脱は、挿脱装置３０によって行われ
る。図３は挿脱装置３０の構成を示した概略図である。

【００１３】３１は駆動手段であり、本実施例ではステ
ッピングモータを使用する。また、駆動手段３１はステ
ッピングモータに限らず、回転角度の制御ができるよう
な物であればよい。駆動手段３１には接合部材３３を介
して軸部３２が接合されており、駆動手段３１の駆動に
より軸部３２が回転するようになっている。また、軸部
３２にはミラーホルダ３４が回転軸に対して所定の軸角
度にて取り付けられている。さらにＨＲ１４ｃはその反
射面の平面が軸部３２の回転軸に対して直角となるよう
にミラーホルダ３４に取り付けられている。このような
構成を備える挿脱手段３０によって、ＨＲ１４ｃは回転
動作にてその平面方向に移動され、光軸Ｌ２上に挿脱さ
れることとなる。

【００１４】また、このような回転動作により、ＨＲ１
４ｃが図３に示す実線の位置にあるときは、第２の共振
光学系を形成し、図３に示す点線の位置（ＨＲ１４ｃの
反射面に光軸Ｌ２が当たらない位置）にＨＲ１４ｃがあ
るときには、第１の共振光学系を形成することとなる。

【００１５】以上のような構成を備えるレーザ光凝固装
置において、その動作を説明する。 ＜６５９ｎｍのレーザ光の出射方法＞術者は波長選択ス
イッチ２ａにより、手術に使用するレーザ光の色（波
長）を赤色（６５９ｎｍ）とする。赤色の選択時には、
ＨＲ１４ｃは図３に示す点線の位置となっており、光軸
Ｌ２の外に置かれる。レーザ光の出射制御はフットスイ
ッチ３を使用して、制御部２０に出射のトリガ信号を与
えることによって行われる。トリガ信号を受けると制御
部２０は、ＬＤ１２に電流を印可し、ＬＤ１２によって
ロッド１１を励起する。なお、ロッド１１であるＮｄ：
ＹＡＧ結晶の両端面には、１０６４ｎｍ、１３１９ｎｍ
に対して透過性を高めるようにＡＲ（Anti Reflectiv
e）コーティングが施されている。ロッド１１が励起さ
れると、ＨＲ１４ａとＨＲ１４ｂとの間では１３１９ｎ
ｍの光が共振され、さらに光軸Ｌ２上に配置されたＮＬ
Ｃ１３ａによって第２高調波である６５９ｎｍの光に波
長変換される。得られた６５９ｎｍのレーザ光は、出力
ミラー１５を透過し、ファイバ５へ導光される。そし
て、スリットランプ４の照射口から患者眼に向けて照射
される。

【００１６】＜５３２ｎｍのレーザ光の出射方法＞術者
は波長選択スイッチ２ａにより、手術に使用するレーザ
光の色（波長）を緑色（５３２ｎｍ）とする。制御部２
０は挿脱装置３０を駆動させ、ＨＲ１４ｃを光軸Ｌ２上
に位置させる（図３の実線位置）。また、制御部２０は
フットスイッチ３からのトリガ信号によってＬＤ１２に
電流を印可させ、ロッド１１を励起させる。ロッド１１
が励起されると、ＨＲ１４ａとＨＲ１４ｄとの間では１
０６４ｎｍの光が共振され、さらに光軸Ｌ３上に配置さ
れたＮＬＣ１３ｂによって第２高調波である５３２ｎｍ
の光に波長変換される。得られた５３２ｎｍのレーザ光
は、出力ミラー１５を透過し、ファイバ５へ導光され
る。そして、スリットランプ４の照射口から患者眼に向
けて照射される。

【００１７】なお、以上ではＨＲ１４ｃを回転動作によ
ってその平面方向に移動して光軸Ｌ２上に挿脱するもの
としたが、これは直線移動による機構としても良い。こ
のような構成のため、ＨＲ１４ｃの停止位置のずれが発
生しても、ＨＲ１４ｃの反射面に光軸Ｌ２が当たってい
れば、常にその反射光は光軸Ｌ３上に位置することとな
る。したがって駆動手段３１の駆動誤差等により、ＨＲ
１４ｃの反射面の中心に光軸Ｌ２が位置しなくても第２
の共振光学系を形成する際のアライメント精度が確保さ
れることとなり、レーザ発振が効率よく行われることと
なる。

【００１８】＜実施例２＞次に実施例２では３波長のレ
ーザ光を選択的に発振する装置を用いて説明する。図４
は装置の光学系及び制御系概略図、図５は挿脱装置３
０′の構成を示す図である。ここで実施例１と同機能を
有するものは同符号を付し、説明は省略する。実施例２
の装置では、約１０６４ｎｍ、約１１２３ｎｍ、約１３
１９ｎｍの３つの発振線における第二高調波を、非線形
結晶を利用して発生させることにより、約５３２ｎｍ
（緑）、約５６１ｎｍ（黄）及び約６５９ｎｍ（赤）の
３色のレーザ光を出射させる。

【００１９】ロッド１１が配置される光軸Ｌ１の光路の
一端にはＨＲ１４ａ′が設けられ、他端には出力ミラー
１５′が所定角度だけ傾けて設けられている。ここでＨ
Ｒ１４ａ′は１０６４ｎｍ、１１２３ｎｍ及び１３１９
ｎｍの波長に対して全反射の特性を持つものである。出
力ミラー１５′は１０６４ｎｍ、１１２３ｎｍ及び１３
１９ｎｍの波長を全反射するとともに、５３２ｎｍ、５
６１ｎｍ及び６５９ｎｍを透過する特性を持つ。

【００２０】実施例２では実施例１に示した光学部材に
加えて、ＨＲ１４ｅ、ＨＲ１４ｆ、ＮＬＣ１３ｃ、波長
選択素子６０が追加される。ＨＲ１４ｅは、ＨＲ１４ｃ
が挿脱される位置とＮＬＣ１３ａとの間にて光軸Ｌ２上
を挿脱可能に配置されている。また、ＨＲ１４ｅの反射
方向の光軸Ｌ４上には、ＮＬＣ１３ｃとＨＲ１４ｆが固
定的に設けられている。ここでＨＲ１４ｅ及びＨＲ１４
ｆは１１２３ｎｍ及び５６１ｎｍに対して全反射の特性
を持つ。ＮＬＣ１３ｃは１１２３ｎｍの波長に対して、
その第二高調波である５６１ｎｍを発生するように配置
されている。このような構成を用いることにより、第１
の共振光学系のＨＲ１４ａ、ロッド１１、出力ミラー１
５を共用し、ＨＲ１４ａとＨＲ１４ｆとがロッド１１を
挟んで一対の共振器となり、第３の共振光学系が形成さ
れる。

【００２１】また、ＨＲ１４ｅを光軸Ｌ２上に挿脱させ
るための挿脱装置３０′は図５に示すような構成を用い
る。ここで示す挿脱装置３０′は、実施例１に示した挿
脱装置３０にミラーホルダ３５及びＨＲ１４ｅが加わっ
たものとなっている。ミラーホルダ３４とミラーホルダ
３５とは軸部３２の回転軸に対して異なる軸角度にて、
軸部３２上の異なる位置に各々取り付けられている。ま
た、ＨＲ１４ｃ及びＨＲ１４ｅはともに平面ミラーであ
り、回転軸を中心に同心円上にミラーホルダ３４、３５
に各々取り付けられている。

【００２２】なお、実施例１と同様に、ＨＲ１４ｃ及び
ＨＲ１４ｅの取付はその反射面が回転軸に対して直角に
なるようにされている。また、光軸Ｌ２上におけるＨＲ
１４ｃとＨＲ１４ｅとを切り替えは、回転による駆動誤
差をできるだけ少なくすることが好ましい。したがっ
て、軸部３２に取り付けられたミラーホルダ３４に対す
るミラーホルダ３５の設置角度（軸角度）は、共振光学
系を設計する上で障害とならない程度に小さくしてお
く。

【００２３】以上のような構成を備えるレーザ光凝固装
置において３波長を選択的に発振、出射させる動作を説
明する。６５９ｎｍのレーザ光を出射する場合は、挿脱
装置３０′を使用してＨＲ１４ｃ及びＨＲ１４ｅを光軸
Ｌ２から外しておけばよい。また、５３２ｎｍのレーザ
光を発振、出射させる場合は、挿脱装置３０′を使用し
てＨＲ１４ｃを光軸Ｌ２上に位置させておけばよい。こ
のときＨＲ１４ｅは自動的に光軸Ｌ２から外れることと
なる（図５においてＨＲ１４ｃを実線の位置に置いた場
合）。また、５６１ｎｍのレーザ光を発振、出射させる
場合は挿脱装置３０′を使用してＨＲ１４ｅを光軸Ｌ２
上に位置させておけばよい。このときＨＲ１４ｃは自動
的に光軸Ｌ２から外れることとなる（図５においてＨＲ
１４ｆを点線の位置に置いた場合）。

【００２４】このように３波長の切り替えを１つの挿脱
機構にて行うことにより、複数の挿脱機構を用いるのに
比べて、さらにアライメント精度が向上し、効率の良い
レーザ発振が可能となる。また、簡略な構成であるた
め、複数の挿脱機構を用いるのに比べてコストを下げる
ことができる。以上の実施例では、３波長を選択、出射
するものとしているが、これに限るものではなく、４波
長等のさらに複数の波長を選択、出射することができ
る。

【００２５】また、実施例１、２では平面ミラーの反射
面を回転軸に対して直角に位置させるものとしたが、駆
動手段の駆動動作時に回転動作時における軸のがたつき
が生じる場合がある。このような場合、がたつきによっ
て反射面が回転軸に対して直角を維持できなくなること
も考えられる。このような場合であってもアライメント
精度を維持することのできる構成を図６に示し、説明す
る。ここで実施例１と同様の機能を有するものは同符号
を付し、説明を省略する。

【００２６】３６はステッピングモータからなる駆動手
段であり、図示なき駆動軸を介して軸部３２を図６に示
す矢印方向にＨＲ１３ｃを回転駆動させることができ、
これによってＨＲ１４ｃに当たる光束の反射角度を変化
させることができる。５０はビームスプリッタ、５１は
集光レンズ、５２はフォトダイオードからなる出力検知
手段である。

【００２７】実施例１と同様にＨＲ１４ｃを光軸Ｌ２上
に置き、出力ミラー１５から５３２ｎｍのレーザ光が出
射されると、その光束の一部はビームスプリッタ５０に
よって反射され、集光レンズ５１を経て出力検知手段５
２に受光されることとなる。制御部２０は出力検知手段
５２からの出力検知信号が最大となるように、駆動手段
３６を使用してＨＲ１４ｃの反射角度を変化させ、ＨＲ
１４ｃの位置角度を決定させる。

【００２８】このような構成を用いることにより、光軸
Ｌ２上にＨＲ１４ｃの挿入時のガタツキ等によって、軸
部３２の回転軸とＨＲ１４ｃの反射面とが直角に維持さ
れていない場合であっても、アライメント精度を上げる
ことが可能である。また、本実施の形態では眼科に使用
するレーザ光凝固装置を例に挙げ説明したが、これに限
るものではなく、多波長の切り替えを行うレーザ装置で
あれば本発明を適用することができる。また、固体レー
ザだけではなくガスレーザ等、他のレーザ発振形態にも
適用することが可能である。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
波長切換え時のアライメント精度の確保を容易にし、効
率良く複数の異なる波長のレーザ光を得ることができ
る。また、３波長以上のレーザ光を切り替えて出力する
場合であっても、切り替えの駆動機構を１つにすること
により、アライメントずれを極力抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態で使用するレーザ装置の外観を示し
た図である。

【図２】実施例１の光学系及び制御系を示した図であ
る。

【図３】実施例１に使用する挿脱装置の構成を示した図
である。

【図４】実施例２の光学系及び制御系を示した図であ
る。

【図５】実施例２に使用する挿脱装置の構成を示した図
である。

【図６】挿脱するミラーの反射角度を調整するための機
構を示した図である。

【符号の説明】 １ レーザ装置本体 １０ レーザ発振器 １１ Ｎｄ：ＹＡＧ結晶 １２ 半導体レーザ １３ａ、１３ｂ 非線型結晶 １４ａ〜１４ｄ 全反射ミラー １５ 出力ミラー ３０ 挿脱装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｓ 3/109 Ａ６１Ｆ 9/00 ５１１ ５０６ Ｆターム(参考） 2K002 AA04 AB12 CA02 DA01 EA30 HA20 4C026 AA03 BB07 BB08 FF02 FF03 FF34 GG03 HH02 HH16 4C082 RA05 RA08 RC08 RC09 RE02 RE35 RJ03 RL02 RL13 RL16 RL23 5F072 AB02 KK01 KK05 KK12 QQ02 YY01

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 異なる波長のレーザ光を出射するレーザ
   装置であって、レーザ発振源と、該レーザ発振源を挟ん
   で配置された一対の共振用ミラーの共振によって第１レ
   ーザ光を発振する第１共振光学系と、平面ミラーと、該
   平面ミラーをその平面方向に移動させて前記第１共振光
   学系の光路間に挿脱する挿脱手段と、前記平面ミラーの
   光路への挿入によって前記第１共振光学系における前記
   レーザ発振源側の共振光路を共用すると共に、その平面
   ミラーの反射方向に配置された専用の共振用ミラーの共
   振によって前記第１のレーザ光とは異なる第２レーザ光
   を発振する第２共振光学系と、を備えることを特徴とす
   るレーザ装置。
2. 【請求項２】 請求項１のレーザ装置において、前記第
   １共振光学系又は第２共振光学系の専用光路の少なくと
   も一方に配置された波長変換素子を備えることを特徴と
   するレーザ装置。
3. 【請求項３】 請求項１のレーザ装置において、前記挿
   脱手段は前記平面ミラーをその平面と直交する軸回りに
   回転させる回転駆動機構であることを特徴とするレーザ
   装置。
4. 【請求項４】 請求項１のレーザ装置において、前記第
   ２共振光学系を構成する第１の平面ミラーとは異なる第
   ２の平面ミラーと、該第２平面ミラーをその平面方向に
   移動させる第２の挿脱手段であって、前記第１共振光学
   系の光路間において前記第１平面ミラーとは異なる位置
   に挿脱する第２挿脱手段と、前記第２平面ミラーの光路
   への挿入によって前記第１共振光学系における前記レー
   ザ発振源側の共振光路を共用すると共に、その平面ミラ
   ーの反射方向に配置された専用の共振用ミラーを持ち、
   前記第１及び第２レーザ光とは異なるレーザ光を発振す
   る第３共振光学系とを備え、前記第１平面ミラーの挿脱
   手段と前記第２平面ミラーの挿脱手段は、各平面ミラー
   の平面と直交する共通の軸を中心にその軸回りに回転す
   る回転駆動機構を持つことを特徴とするレーザ装置。
5. 【請求項５】 請求項４のレーザ装置において、前記第
   １平面ミラーと第２平面ミラーとは同一の挿脱手段にて
   共振光路内に各々挿脱されることを特徴とするレーザ装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかのレーザ装置は、
   さらに、発振するレーザ光の出力を検知する検知手段
   と、該検知結果に基づいて前記第１共振光路内に挿入さ
   れる平面ミラーの反射角度を変化させる角度変更手段
   と、を備えることを特徴とするレーザ装置。
7. 【請求項７】 請求項１のレーザ装置において、前記レ
   ーザ発振源は異なる複数のピーク波長の発振線を持つ固
   体レーザ媒質であり、前記第１光学系と第２光学系には
   それぞれ異なる発振線の第２高調波をレーザ光として得
   るための波長変換素子が配置されていることを特徴とす
   るレーザ装置。