JP2003188044A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に、内部電極用パターンをグラビア印刷法により形成する積層セラミック電子部品の製造装置であって、
   前記内部電極用パターンを転写するグラビア印刷ロールが前記キャリアフィルムの上部に配置され、前記グラビア印刷時に印圧を与える圧胴が、前記グラビア印刷ロールと対向する、前記キャリアフィルムの下部に配置されるとともに、前記グラビア印刷ロールの中心軸と前記圧胴の中心軸とを含む平面が、鉛直方向に対して、傾斜するように配置されたグラビア印刷装置と、
   印刷された前記内部電極用パターンを、前記セラミックグリーンシートの上面側に保持しながら乾燥する乾燥炉とを備えた積層セラミック電子部品の製造装置。
2. キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に、内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷法により形成する積層セラミック電子部品の製造装置であって、
   前記内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを転写するグラビア印刷ロールが前記キャリアフィルムの上部に配置され、前記グラビア印刷時に印圧を与える圧胴が、前記グラビア印刷ロールと対向する、前記キャリアフィルムの下部に配置されるとともに、前記グラビア印刷ロールの中心軸と前記圧胴の中心軸とを含む平面が、鉛直方向に対して、傾斜するように配置されたグラビア印刷装置と、
   印刷された前記内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを、前記セラミックグリーンシートの上面側に保持しながら乾燥する乾燥炉とを備え、
   前記内部電極用パターンをグラビア印刷し、乾燥する工程と、前記段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷し、乾燥する工程とを連続して備える積層セラミック電子部品の製造装置。
3. 前記内部電極用パターンを印刷するグラビア印刷装置と、前記段差解消誘電体用パターンを印刷するグラビア印刷装置とが連続に配置されている積層セラミック電子部品の製造装置であって、
   前記内部電極用パターンの印刷位置と前記段差解消誘電体用誘電体パターンの印刷位置とを位置合わせするように、前記キャリアフィルムに所定のテンションを与えるコンペンセータロールを、前記内部電極用パターンのグラビア印刷装置と前記段差解消誘電体用パターンのグラビア印刷装置との間で、キャリアフィルムの搬送が略水平となる位置に配置した請求項２に記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれかに記載の製造装置を用い、前記内部電極用パターン、または段差解消誘電体用パターンを、前記セラミックグリーンシートの上面側に転写し、乾燥する工程を有する積層セラミック電子部品の製造方法。
5. 請求項３に記載の製造装置を用い、前記内部電極用パターンと前記段差解消誘電体用パターンとを連続して形成する積層セラミック電子部品の製造方法。