JP2003188044A - 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペーストのレベリング性が良く、全体のパス
ライン長が短い、内部電極用パターンおよび段差解消誘
電体用パターンの形成工程を構成する。 【解決手段】 グラビア印刷ロール３ａ、３ｂを、キャ
リアフィルム１のパスラインよりも上側に設置し、圧胴
４ａ，４ｂを下側に設置することにより、キャリアフィ
ルム１の上側に内部電極用パターンおよび段差解消誘電
体用パターンを形成する。それぞれのパターンとなる導
電ペーストおよび誘電体ペーストは、グラビア印刷ロー
ル３ａ，３ｂに接触して配置されるドクターチャンバー
９ａ，９ｂから供給される。乾燥炉７ａ，７ｂのパスラ
インは、グラビア印刷時のパスラインと略同じ高さで形
成されており、それぞれのペーストをキャリアフィルム
１の上側に保持したまま乾燥する。コンペンセータロー
ル８は乾燥炉７ａとグラビア印刷ロール３ｂとの間に設
置され、搬送方向の印刷位置合わせを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品の製造装置および製造方法、特に、積層セラミ
ック電子部品を構成する内部電極用パターンと段差解消
誘電体用パターンの形成装置および形成方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来の積層セラミック電子部品である積
層セラミックコンデンサの製造方法および製造装置につ
いて、図３を参照して説明する。

【０００３】図３は、内部電極用パターンおよび段差解
消誘電体用パターンを形成する工程の概略図である。図
３において、５１はキャリアフィルム、５３ａ，５３ｂ
は、それぞれ導電ペースト３３および誘電体ペースト３
４を転写するグラビア印刷ロール、５４ａ，５４ｂはグ
ラビア印刷ロール５３ａ，５３ｂを補助する圧胴、５５
ａは導電ペースト槽、５５ｂは誘電体ペースト槽、５６
ａ，５６ｂは不必要な導電ペースト３３および誘電体ペ
ースト３４を除去するドクターブレード、５７は導電ペ
ースト３３と誘電体ペースト３４とを同時に乾燥する乾
燥炉、５８はコンペンセータロールである。また、図示
されているその他のロールはキャリアフィルム５１を搬
送するテンションロール５２である。

【０００４】キャリアフィルム５１の表面には、誘電体
スラリーを塗布し、乾燥して、セラミックグリーンシー
トを形成する。

【０００５】次に、図３に示すように、セラミックグリ
ーンシートを形成したキャリアフィルム５１は、複数の
テンションロール５２間を経由して、グラビアロール５
３ａに達する。セラミックグリーンシートは、グラビア
印刷ロールに接触するように、キャリアフィルム５１の
下表面に形成されている。

【０００６】グラビア印刷ロール５３ａには、所定の形
状で導電ペースト３３を充填する凹部を備えるグラビア
印刷版を設置している。グラビア印刷ロール５３ａは、
その一部を導電ペースト槽５５ａ内に蓄えられた導電ペ
ースト３３に浸漬し、回転しながら、グラビア印刷版の
凹部に導電ペースト３３を供給する。供給された導電ペ
ースト３３はドクターブレード５６ａにより余剰な分を
掻き取られ、必要量のみが凹部に充填される。圧胴５４
ａは、グラビア印刷ロール５３ａのキャリアフィルム５
１を挟んで、上側に配置されており、グラビアロール５
３ａと同調して回転する。また、圧胴５４ａはキャリア
フィルム５１を挟んで、グラビア印刷ロール５３ａ側に
一定の押圧を与えている。

【０００７】セラミックグリーンシートを表面に形成し
たキャリアフィルム５１がグラビア印刷ロール５３ａと
圧胴５４ａとの間を通過することにより、セラミックグ
リーンシートの下表面に導電ペースト３３が所定の形状
で転写され、内部電極用パターンが形成される。

【０００８】次に、内部電極用パターンを形成したセラ
ミックグリーンシートを備えるキャリアフィルム５１は
複数のテンションロール５２を経由した後に、セラミッ
クグリーンシートをキャリアフィルム５１の下側にし
て、グラビア印刷ロール５３ｂに達する。

【０００９】グラビア印刷ロール５３ｂには所定の形状
で誘電体ペースト３４を充填する凹部を備えるグラビア
印刷版を設置している。グラビア印刷ロール５３ｂは、
一部を誘電体ペースト槽５５ｂ内に蓄えられた誘電体ペ
ースト３４に浸漬しており、回転しながら、グラビア印
刷版の凹部に誘電体ペースト３４を供給する。供給され
た誘電体ペースト３４はドクターブレード５６ｂにより
余剰な分を掻き取られ、必要量のみが凹部に充填され
る。圧胴５４ｂはグラビア印刷ロール５３ｂのキャリア
フィルム５１を挟んで、上側に配置されており、グラビ
ア印刷ロール５３ｂに同調して回転する。また、圧胴５
４ｂはキャリアフィルム５１を挟んで、グラビア印刷ロ
ール５３ｂ側に一定の押圧を与えている。

【００１０】キャリアフィルム５１がグラビア印刷ロー
ル５３ｂと圧胴５４ｂとの間を通過することにより、セ
ラミックグリーンシート１の表面に誘電体ペースト３４
が内部電極用パターンに重ならないように転写され、段
差解消誘電体用パターンが形成される。この位置合わせ
は、二つのグラビア印刷工程間に配置されたコンペンセ
ータロール５８の位置を微少変化させることにより調整
される。転写された導電ペースト３３および誘電体ペー
スト３４は、パスラインを鉛直方向よりキャリアフィル
ムが少し下方となる角度で設置した乾燥炉５７内を通過
することにより乾燥される。

【００１１】このように、内部電極用パターンおよび段
差解消誘電体用パターンを形成したのセラミックグリー
ンシートを、複数積層、熱圧着プレスすることにより、
複数の誘電体層と内部電極層とを交互に有する積層体を
形成する。次に、この積層体を厚み方向に切断し、焼成
することにより、個々の素体を形成し、該素体の対向す
る側面に導電ペーストを塗布、焼き付けて外部電極を形
成することにより、積層セラミックコンデンサを構成す
る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パタ
ーンのグラビア印刷工程においては、以下に示す解決す
べき課題が存在した。

【００１３】図３に示したような、従来の内部電極用パ
ターンおよび段差解消誘電体用パターンのグラビア印刷
においては、導電ペースト３３および誘電体ペースト３
４をグラビア印刷ロール（グラビア印刷版）に下方から
供給する方法を用いている。すなわち、液状である導電
ペースト３３および誘電体ペースト３４を垂れることな
く、必要十分にグラビア印刷版の凹部に充填するため、
グラビア印刷ロール５３ａ，５３ｂの下方に設置した、
ペースト槽５５ａ，５５ｂに導電ペースト３３および誘
電体ペースト３４を蓄え、これに浸漬させていた。この
ように導電ペースト３３および誘電体ペースト３４を凹
部に充填したグラビア印刷版を備えたグラビア印刷ロー
ル５３ａ，５３ｂは回転し、キャリアフィルムの下面側
に、導電ペースト３３および誘電体ペースト３４を転写
して、内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パタ
ーンを形成する。

【００１４】ここで、このような各ペーストを乾燥する
には、乾燥炉のパスラインは、少なくともキャリアフィ
ルムが各ペーストよりも下方となる方向にすることが望
ましい。これは、下面に各ペーストを転写したキャリア
フィルムを乾燥炉に搬送すると、溶剤が乾燥する前に、
ペースト全体の粘度が低下し垂れる等、レベリング性が
悪化する可能性が生じるからである。図３に示した内部
電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンの形成
工程においては、設備の大きさを小さくするため、略鉛
直方向にパスラインを備える乾燥炉を用いている。しか
し、この乾燥炉を用いても、パスラインが水平でないた
め、完全なレベリング性を得ることはできない。この課
題を解決した内部電極用パターンおよび段差解消誘電体
用パターンの形成工程を、図４に示す。図４は、従来の
他の内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パター
ンの形成工程を表した概略図である。図４において、５
１はキャリアフィルム、５２はキャリアフィルム５１を
搬送するテンションロール、５３ａ，５３ｂは、それぞ
れ導電ペースト３３および誘電体ペースト３４を転写す
るグラビア印刷ロール、５４ａ，５４ｂはグラビア印刷
ロール５３ａ，５３ｂを補助する圧胴、５５ａは導電ペ
ースト槽、５５ｂは誘電体ペースト槽、５６ａ，５６ｂ
は不必要な導電ペースト３３および誘電体ペースト３４
を除去するドクターブレード、５７は導電ペースト３３
と誘電体ペースト３４とを同時に乾燥する乾燥炉、５８
はコンペンセータロールである。

【００１５】図４に示す内部電極用パターンおよび段差
解消誘電体用パターン形成工程は、乾燥炉５７を、内部
電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンがキャ
リアフィルムに設けられてセラミックグリーンシートの
上側にくるように、パスラインを設置したものである。
他の構成は、図３に示した内部電極用パターンおよび段
差解消誘電体用パターン形成工程と同様である。

【００１６】このような構成とすることにより、乾燥時
に、導電ペーストおよび誘電体ペーストがセラミックグ
リーンシートの上面に形成されているため、レベリング
性が向上する。

【００１７】しかし、このような内部電極用パターンお
よび段差解消誘電体用パターンの形成工程においては、
図４に示したように、パスラインが長く複雑になってし
まう。このため、設備が大きくなり、施設の使用スペー
スが増加し、施設の利用効率が低下する。また、パスラ
インが長く、複雑なことにより、多くのテンションロー
ルを経由しなければならず、接触による欠陥の発生する
可能性が増加するとともに、コンペンセータロールによ
り位置合わせを行っても、位置合わせ精度が悪化する可
能性がある。

【００１８】また、図３に示した装置においても、図４
に示した装置においても、高さ方向に大きな装置となっ
てしまい、専用の建築物が必要となり、施設建設費用が
増加してまう。

【００１９】この発明の目的は、レベリング性が良好で
あるとともに、全体のパスライン長を短くすることがで
きる、内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パタ
ーンの形成工程を備える積層セラミック電子部品の製造
装置および製造方法を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この発明は、内部電極用
パターンを転写するグラビア印刷ロールをキャリアフィ
ルムの上方に配置し、グラビア印刷時に印圧を与える圧
胴を、グラビア印刷ロールと対向するキャリアフィルム
の下方に配置し、印刷された内部電極用パターンを、セ
ラミックグリーンシートの上面側に保持しながら乾燥す
る乾燥炉とを備えて、積層セラミック電子部品の製造装
置を構成する。

【００２１】また、この発明は、内部電極用パターンお
よび段差解消誘電体用パターンを転写するグラビア印刷
ロールをキャリアフィルムの上方に配置し、グラビア印
刷時に印圧を与える圧胴を、グラビア印刷ロールと対向
するキャリアフィルムの下方に配置し、印刷された内部
電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを、セ
ラミックグリーンシートの上面側に保持しながら乾燥す
る乾燥炉とを備え、内部電極用パターン形成工程と段差
解消誘電体用パターン形成工程とを連続して備えて、積
層セラミック電子部品の製造装置を構成する。

【００２２】また、この発明は、グラビア印刷ロールの
中心軸と圧胴の中心軸とを含む平面を、鉛直方向に対し
て傾斜するように設置したグラビア印刷装置を備えて積
層セラミック電子部品の製造装置を構成する。

【００２３】また、この発明は、内部電極用パターンを
印刷するグラビア印刷装置と、段差解消誘電体用パター
ンを印刷するグラビア印刷装置とを連続に配置し、内部
電極用パターンの印刷位置と段差解消誘電体用誘電体パ
ターンの印刷位置とを位置合わせするようにキャリアフ
ィルムに所定のテンションを与えるコンペンセータロー
ルを、内部電極用パターンのグラビア印刷装置と段差解
消誘電体用パターンのグラビア印刷装置との間に配置し
て積層セラミック電子部品の製造装置を構成する。

【００２４】また、この発明は、前述の製造装置を用
い、内部電極用パターン、または段差解消誘電体用パタ
ーンを、セラミックグリーンシートの上面側に転写し、
乾燥することにより、積層セラミック電子部品を製造す
る。

【００２５】また、この発明は、前述の製造装置を用
い、内部電極用パターンと段差解消誘電体用パターンと
を連続で形成することにより、積層セラミック電子部品
を製造する。

【００２６】

【発明の実施の形態】第１の実施形態に係る積層セラミ
ック電子部品の製造装置および製造方法について、図１
を参照して説明する。図１は、積層セラミック電子部品
の一例である積層セラミックコンデンサの内部電極用パ
ターンまたは段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷
する工程の概略図である。

【００２７】図１において、１はセラミックグリーンシ
ートを表面に形成したキャリアフィルム、３ａは導電ペ
ーストをセラミックグリーンシート表面に転写するグラ
ビア印刷ロール、３ｂは誘電体ペーストをセラミックグ
リーンシート表面に転写するグラビア印刷ロール、４ａ
はグラビア印刷ロール３ａの転写を補助する圧胴、４ｂ
はグラビア印刷ロール３ｂの転写を補助する圧胴、７ａ
は導電ペーストを乾燥し、内部電極用パターンを形成す
る乾燥炉、７ｂは誘電体ペーストを乾燥し、段差解消誘
電体用パターンを形成する乾燥炉、８は位置合わせ用の
コンペンセータロール、９ａは導電ペーストをグラビア
印刷ロール３ａに供給するドクターチャンバー、９ｂは
誘電体ペーストをグラビア印刷ロール３ｂに供給するド
クターチャンバーである。また、図示されているその他
のロールはキャリアフィルム１を搬送するテンションロ
ール２である。

【００２８】図１に示すように、セラミックグリーンシ
ートを表面に形成したキャリアフィルム１は、グラビア
印刷ロール３ａまで搬送される。ここで、キャリアフィ
ルム１は、セラミックグリーンシートを上側に配置して
搬送される。グラビア印刷ロール３ａは、表面に内部電
極用パターンを形成する導電ペーストを充填する、パタ
ーン化された複数の凹部が形成されており、キャリアフ
ィルム１を搬送するパスラインの上側に設置されてい
る。このグラビア印刷ロール３ａに接触するように、導
電ペーストを供給するドクターチャンバー９ａが設置さ
れている。このドクターチャンバー９ａから導電ペース
トをグラビア印刷ロール３ａの凹部に充填する。ドクタ
ーチャンバー９ａは供給した導電ペーストの余剰分を自
ら掻き取り、回収する機能を備えており、不要な導電ペ
ーストが下方に垂れない構造となっている。これによ
り、グラビア印刷ロール３ａを、セラミックグリーンシ
ートを形成したキャリアフィルム１より上側に配置して
も、導電ペーストの垂れによる不要な箇所への付着を防
止することができる。圧胴４ａはグラビア印刷ロール３
ａに対して、キャリアフィルム１の反対側となる下側に
設置されており、グラビア印刷ロール３ａに同調して回
転する。また、圧胴４ａはキャリアフィルム１を挟ん
で、グラビア印刷ロール３ａ側に一定の押圧を与えてい
る。

【００２９】セラミックグリーンシートを表面に形成し
たキャリアフィルム１がグラビア印刷ロール３ａと圧胴
４ａとの間を通過することにより、セラミックグリーン
シートの上表面に導電ペーストが所定の形状で転写され
る。

【００３０】導電ペーストが転写されたセラミックグリ
ーンシートを備えるキャリアフィルム１は、水平方向に
搬送され、乾燥炉７ａ内を通過することにより乾燥さ
れ、内部電極用パターンを形成する。

【００３１】次に、内部電極用パターンを表面に形成し
たセラミックグリーンシートを備えるキャリアフィルム
１は、コンペンセータロール８を介し、グラビア印刷ロ
ール３ｂに搬送される。

【００３２】グラビア印刷ロール３ｂは、表面に段差解
消誘電体用パターンを形成する誘電体ペーストを充填す
る、パターン化された複数の凹部が形成されており、キ
ャリアフィルム１を搬送するパスラインの上側に設置さ
れている。このグラビア印刷ロール３ｂに接触するよう
に、誘電体ペーストを供給するドクターチャンバー９ｂ
が設置されている。このドクターチャンバー９ｂから誘
電体ペーストをグラビア印刷ロール３ｂの凹部に充填す
る。ドクターチャンバー９ｂは供給した誘電体ペースト
の余剰分を自ら掻き取り、回収する機能を備えており、
不要な誘電体ペーストが下方に垂れない構造となってい
る。これにより、グラビア印刷ロール３ｂをセラミック
グリーンシートを形成したキャリアフィルム１より上側
に配置しても、誘電体ペーストの垂れによる不要な箇所
への付着を防止することができる。圧胴４ｂはグラビア
印刷ロール３ｂに対して、キャリアフィルム１の反対側
となる下側に設置されており、グラビア印刷ロール３ｂ
に同調して回転する。また、圧胴４ｂはキャリアフィル
ム１を挟んで、グラビア印刷ロール３ｂ側に一定の押圧
を与えている。

【００３３】内部電極用パターンを形成したセラミック
グリーンシートを備えるキャリアフィルム１がグラビア
印刷ロール３ｂと圧胴４ｂとの間を通過することによ
り、セラミックグリーンシートの上表面に誘電体ペース
トが所定の形状で転写される。ここで、コンペンセータ
ロール８の位置を変化させることにより、キャリアフィ
ルム１に与えるテンションを調整し、キャリアフィルム
１を搬送方向にずらし、誘電体ペーストの転写位置を調
節する。

【００３４】誘電体ペーストが転写されたセラミックグ
リーンシートを備えるキャリアフィルム１は、水平方向
に搬送され、乾燥炉７ｂ内を通過することにより乾燥さ
れ、段差解消誘電体用パターンを形成する。

【００３５】このような構成とすることにより、グラビ
ア印刷時の導電ペーストおよび誘電体ペーストのレベリ
ング性を向上することができ、乾燥時においても同様に
レベリング性を向上することができる。

【００３６】また、導電ペーストをグラビア印刷し乾燥
する工程と、誘電体ペーストをグラビア印刷し乾燥する
工程とを、パスラインを短くして構成することができ
る。これにより、テンションロール２の数を減少させる
ことができ、テンションロール２に接触することによる
欠陥の発生を抑制することができる。また、コンペンセ
ータロール８からグラビア印刷ロール３ｂまでの距離が
短くなるため、位置合わせを容易に行うことができる。

【００３７】また、パスラインが水平方向に、直線状に
構成されるため、キャリアフィルムに対して、複雑にテ
ンションをかけながら搬送する必要がなくなり、安定し
てキャリアフィルムを搬送することができ、これに伴
い、位置決め精度も向上することができる。

【００３８】次に、内部電極用パターンおよび段差解消
誘電体用パターンを形成したセラミックグリーンシート
を、複数積層し、熱圧着プレスすることにより、複数の
誘電体層と内部電極層とを交互に有する積層体を形成す
る。そして、この積層体を厚み方向に切断し、焼成する
ことにより、個々の素体を形成し、該素体の対向する側
面に導電ペーストを塗布し、焼き付けて外部電極を形成
することにより、積層セラミックコンデンサを構成す
る。

【００３９】このような製造工程を経ることにより、信
頼性の高い積層セラミックコンデンサを容易に製造する
ことができる。

【００４０】また、装置が水平方向に配列されているた
め、設備の高さが低くなり、専用の建築物を設ける必要
が無く、低コストで設備を設置することができる。

【００４１】また、このように内部電極用パターン形成
工程と段差解消誘電体用パターン形成工程とが連続して
いることにより、二つの工程間での巻き取り、巻出しを
削減することができ、これによるハンドリング不良を抑
制することができる。

【００４２】なお、本実施形態では、内部電極用パター
ン形成工程と段差解消誘電体用パターン形成工程とが、
連続している。しかし、それぞれの形成工程を単体で備
える装置であっても、グラビア印刷をキャリアフィルム
の上面に行い、この面を上側にして乾燥するものであれ
ば、本実施形態と同様にレベリング性向上の効果は得ら
れる。

【００４３】次に、第２の実施形態に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造装置および製造方法について、図２を
参照して説明する。図２は、積層セラミック電子部品の
一例である積層セラミックコンデンサの内部電極用パタ
ーンまたは段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷す
る工程の部分概略図である。図２において、１はセラミ
ックグリーンシートを表面に形成したキャリアフィル
ム、２はキャリアフィルム１を搬送するテンションロー
ル、３ａは導電ペーストをセラミックグリーンシート表
面に転写するグラビア印刷ロール、４ａはグラビア印刷
ロール３ａの転写を補助する圧胴、７ａは導電ペースト
を乾燥し、内部電極用パターンを形成する乾燥炉、９ａ
は導電ペーストをグラビア印刷ロール３ａに供給するド
クターチャンバーである。

【００４４】図２に示すグラビア印刷工程は、グラビア
印刷ロール３ａの中心軸と圧胴４ａの中心軸とを含む平
面が鉛直方向に対して、０〜４５度をなしているもので
ある。また、乾燥炉７ａは、その内部にテンションロー
ル２（搬送用ロール）が設置されておらず、フローティ
ング方式で、乾燥を行っている。その他の構成は図１に
示した印刷工程と同じである。なお、グラビア印刷ロー
ル３ｂおよび圧胴４ｂについても同様の配置としてもよ
く、乾燥炉７ｂをもフローティング方式としてもよい。

【００４５】ここで、グラビア印刷ロールと圧胴との中
心軸を鉛直方向に対して傾斜させた場合の、グラビア印
刷された際のペーストの版離れ性について、以下の実験
結果を得た。

【００４６】

【表１】

【００４７】このように、グラビア印刷ロールと圧胴と
の中心軸を、鉛直方向に対して傾斜させることにより、
ペーストを印刷した際の版離れ性を向上することができ
る。

【００４８】また、乾燥炉をフローティング方式とする
ことにより、キャリアフィルムに接触するロールの本数
を減少させることができ、これに基づく欠陥の発生を抑
制することができる。

【００４９】なお、前述の実施形態においては、導電ペ
ーストをグラビア印刷して内部電極用パターンを形成し
た後に、誘電体ペーストをグラビア印刷して段差解消誘
電体用パターンを形成しているが、この逆に、段差解消
誘電体用パターンを形成した後に内部電極用パターンを
形成してもよい。

【００５０】また、前述の実施形態においては、内部電
極用パターンを形成した後に乾燥し、次に段差解消誘電
体用パターンを形成しているが、従来技術と同様に、内
部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを連
続して形成した後に、同時に乾燥してもよい。

【００５１】

【発明の効果】この発明によれば、内部電極用パターン
および段差解消誘電体用パターンを転写するグラビア印
刷ロールをキャリアフィルムの上方に配置し、グラビア
印刷時に印圧を与える圧胴を、キャリアフィルムの下方
にグラビア印刷ロールと対向する位置で配置し、印刷さ
れた内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パター
ンを、セラミックグリーンシートの上面側に保持しなが
ら乾燥する乾燥炉とを備えることにより、内部電極用パ
ターンを形成する導電ペーストおよび段差解消誘電体用
パターンを形成する誘電体ペーストの印刷後のレベリン
グ性を向上することができる。このように形成された内
部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを用
いることにより、信頼性の高い積層セラミック電子部品
を製造することができる。また、キャリアフィルムを搬
送するパスラインを短くすることができ、印刷時の位置
合わせを容易に行うことができる。また、装置の高さを
低く抑えることができ、専用の建築物を設ける必要がな
くなる。

【００５２】また、内部電極用パターン形成工程と段差
解消誘電体用パターン形成工程とを連続することによ
り、巻き取り、巻出しの中間処理を削減でき、ハンドリ
ングによる不良を低減することができる。

【００５３】また、この発明によれば、グラビア印刷ロ
ールと圧胴との中心軸を、鉛直方向に対して傾斜するよ
うに設置することにより、導電ペーストおよび誘電体ペ
ーストの版離れ性を向上することができ、高精度で高信
頼性を有する内部電極用パターンおよび段差解消誘電体
用パターンが形成できる。これにより、信頼性の高い積
層セラミック電子部品を容易に製造することができる。

【００５４】また、この発明によれば、内部電極用パタ
ーンを印刷するグラビア印刷装置と、段差解消誘電体用
パターンを印刷するグラビア印刷装置とを連続に配置
し、内部電極用パターンの印刷位置と段差解消誘電体用
誘電体パターンの印刷位置とを位置合わせするようにキ
ャリアフィルムに所定のテンションを与えるコンペンセ
ータロールを、内部電極用パターンのグラビア印刷装置
と段差解消誘電体用パターンのグラビア印刷装置との間
に配置することにより、短いパスラインで位置合わせの
調整を行うことができる。これにより、容易に高精度の
グラビア印刷を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の内部電極用パターンおよび段差解消誘電
体用パターンの形成工程を示した概略図

【図２】他の従来の内部電極用パターンおよび段差解消
誘電体用パターンの形成工程を示した概略図

【図３】第１の実施形態に係る内部電極用パターンおよ
び段差解消誘電体用パターンの形成工程を示した概略図

【図４】第２の実施形態に係る内部電極用パターンおよ
び段差解消誘電体用パターンの形成工程を示した部分概
略図

【符号の説明】

１，５１−セラミックグリーンシートを表面に形成した
キャリアフィルム ２，５２−テンションロール ３ａ，５３ａ−導電ペーストを転写するグラビア印刷ロ
ール ３ｂ，５３ｂ−誘電体ペーストを転写するグラビア印刷
ロール ４ａ，５４ａ−圧胴 ４ｂ，５４ｂ−圧胴 ７ａ−導電ペーストを乾燥する乾燥炉 ７ｂ−誘電体ペーストを乾燥する乾燥炉 ８，５８−コンペンセータロール ９ａ−導電ペーストをグラビア印刷ロール３ａに供給す
るドクターチャンバー ９ｂ−誘電体ペーストをグラビア印刷ロール３ｂに供給
するドクターチャンバー ３３−導電ペースト ３４−誘電体ペースト ５５ａ−導電ペースト槽 ５５ｂ−誘電体ペースト槽 ５６ａ，５６ｂ−ドクターブレード ５７−導電ペーストおよび誘電体ペーストを同時に乾燥
する乾燥炉

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 憲 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 幸川 進一 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 5E082 AA01 AB03 BB01 BB07 BC38 EE04 EE35 FF05 FG26 FG46 FG54 JJ02 MM22

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアフィルム上に形成されたセラミ
   ックグリーンシートの表面に、内部電極用パターンをグ
   ラビア印刷法により形成する積層セラミック電子部品の
   製造装置であって、 前記内部電極用パターンを転写するグラビア印刷ロール
   が前記キャリアフィルムの上部に配置され、前記グラビ
   ア印刷時に印圧を与える圧胴が、前記グラビア印刷ロー
   ルと対向する、前記キャリアフィルムの下部に配置され
   たグラビア印刷装置と、 印刷された前記内部電極用パターンを、前記セラミック
   グリーンシートの上面側に保持しながら乾燥する乾燥炉
   とを備えた積層セラミック電子部品の製造装置。
2. 【請求項２】 キャリアフィルム上に形成されたセラミ
   ックグリーンシートの表面に、内部電極用パターンおよ
   び段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷法により形
   成する積層セラミック電子部品の製造装置であって、 前記内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パター
   ンを転写するグラビア印刷ロールが前記キャリアフィル
   ムの上部に配置され、前記グラビア印刷時に印圧を与え
   る圧胴が、前記グラビア印刷ロールと対向する、前記キ
   ャリアフィルムの下部に配置されたグラビア印刷装置
   と、 印刷された前記内部電極用パターンおよび段差解消誘電
   体用パターンを、前記セラミックグリーンシートの上面
   側に保持しながら乾燥する乾燥炉とを備え、 前記内部電極用パターンをグラビア印刷し、乾燥する工
   程と、前記段差解消誘電体用パターンをグラビア印刷
   し、乾燥する工程とを連続して備える積層セラミック電
   子部品の製造装置。
3. 【請求項３】 前記グラビア印刷ロールの中心軸と前記
   圧胴の中心軸とを含む平面が、鉛直方向に対して、傾斜
   するように設置された請求項１または請求項２に記載の
   積層セラミック電子部品の製造装置。
4. 【請求項４】 前記内部電極用パターンを印刷するグラ
   ビア印刷装置と、前記段差解消誘電体用パターンを印刷
   するグラビア印刷装置とが連続に配置されている積層セ
   ラミック電子部品の製造装置であって、 前記内部電極用パターンの印刷位置と前記段差解消誘電
   体用誘電体パターンの印刷位置とを位置合わせするよう
   に、前記キャリアフィルムに所定のテンションを与える
   コンペンセータロールを、前記内部電極用パターンのグ
   ラビア印刷装置と前記段差解消誘電体用パターンのグラ
   ビア印刷装置との間で、キャリアフィルムの搬送が略水
   平となる位置に配置した請求項２に記載の積層セラミッ
   ク電子部品の製造装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
   製造装置を用い、前記内部電極用パターン、または段差
   解消誘電体用パターンを、前記セラミックグリーンシー
   トの上面側に転写し、乾燥する工程を有する積層セラミ
   ック電子部品の製造方法。
6. 【請求項６】 請求項４に記載の製造装置を用い、前記
   内部電極用パターンと前記段差解消誘電体用パターンと
   を連続して形成する積層セラミック電子部品の製造方
   法。