JP2003187747A - 高圧放電ランプおよびその製造方法 - Google Patents
高圧放電ランプおよびその製造方法Info
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- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ランプの破損要因である、電極と金属箔との
接続部周辺の応力集中及びこれによるガラスクラックの
発生、並びに、上記の接続部周辺の、ハロゲンガスによ
る腐食の影響を従来以上に少なくする。 【解決手段】 ガラス管の中央に放電室１ａを形成する
球状部と、ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止
部１ｂ,１ｂ’とからなる石英ガラス製のバルブ１を有
する高圧放電ランプである。電極４,４’の後端とモリ
ブデン箔６,６’とを重ねて接合した接合部近傍におい
ては電極４,４’側に金属コイル３,３’が巻きつけられ
た状態でガラスに埋設されている。モリブテン箔６,
６’の電極４,４’側の端部は先細り状のテーパ部５,
５’となっている。このようなテーパ部５,５’が電極
４,４’の端部と重ねて接合され、かつ、テーパ部５,
５’の電極４,４’側の先端はその幅方向に関して電極
４,４’の径方向の内側位置に在る。
接続部周辺の応力集中及びこれによるガラスクラックの
発生、並びに、上記の接続部周辺の、ハロゲンガスによ
る腐食の影響を従来以上に少なくする。 【解決手段】 ガラス管の中央に放電室１ａを形成する
球状部と、ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止
部１ｂ,１ｂ’とからなる石英ガラス製のバルブ１を有
する高圧放電ランプである。電極４,４’の後端とモリ
ブデン箔６,６’とを重ねて接合した接合部近傍におい
ては電極４,４’側に金属コイル３,３’が巻きつけられ
た状態でガラスに埋設されている。モリブテン箔６,
６’の電極４,４’側の端部は先細り状のテーパ部５,
５’となっている。このようなテーパ部５,５’が電極
４,４’の端部と重ねて接合され、かつ、テーパ部５,
５’の電極４,４’側の先端はその幅方向に関して電極
４,４’の径方向の内側位置に在る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高圧放電ランプに
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、液晶プロジェクターの光源とし
て、超高圧水銀ランプが使用されている。一般的な水銀
ランプはメタルハライドランプ等と比較して、その光学
的演色性（スペクトル分布）において、赤領域の発光性
に乏しい。そこで、水銀ランプでも、その動作圧力（点
灯時のランプ内圧）を上げていくと、赤領域でも連続的
スペクトルが得られ、さらに効率特性および寿命特性面
からも、最も優れた光源となっている。
て、超高圧水銀ランプが使用されている。一般的な水銀
ランプはメタルハライドランプ等と比較して、その光学
的演色性（スペクトル分布）において、赤領域の発光性
に乏しい。そこで、水銀ランプでも、その動作圧力（点
灯時のランプ内圧）を上げていくと、赤領域でも連続的
スペクトルが得られ、さらに効率特性および寿命特性面
からも、最も優れた光源となっている。
【０００３】高圧放電ランプは一般に、図７に示すよう
に、ガラス管の中央に放電室１ａを形成する球状部と、
ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止部１ｂ,１
ｂ’とからなるバルブ１を有する。放電室１ａ内には、
冷却コイル２,２’を備えた一対の電極４,４’がその先
端が対向して配置されている。これらの電極４,４’の
後端にはそれぞれ、モリブテン箔（Mｏ箔）６,６’を介
してリード棒７,７’が接続されている。電極４,４’の
後端、モリブテン箔（Mｏ箔）６,６’およびリード棒
７,７’の一端は封止部１ｂ,１ｂ’を形成するガラス内
に気密に埋設されている。また、放電室１ａ内には水
銀、ハロゲンガス、および不活性ガスが封入されてい
る。
に、ガラス管の中央に放電室１ａを形成する球状部と、
ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止部１ｂ,１
ｂ’とからなるバルブ１を有する。放電室１ａ内には、
冷却コイル２,２’を備えた一対の電極４,４’がその先
端が対向して配置されている。これらの電極４,４’の
後端にはそれぞれ、モリブテン箔（Mｏ箔）６,６’を介
してリード棒７,７’が接続されている。電極４,４’の
後端、モリブテン箔（Mｏ箔）６,６’およびリード棒
７,７’の一端は封止部１ｂ,１ｂ’を形成するガラス内
に気密に埋設されている。また、放電室１ａ内には水
銀、ハロゲンガス、および不活性ガスが封入されてい
る。
【０００４】しかし、液晶プロジェクターの光源として
注目される超高圧水銀ランプの動作圧力は２００気圧以
上であるため、ランプ自体の破損防止が大きな課題とな
っている。特に、ランプの破裂は、大きな音を発した
り、水銀、ハロゲンガス等の有害な物質を飛散させたり
してエンドユーザに危険であるため、従来から、種々の
破損防止対策が提案されている。
注目される超高圧水銀ランプの動作圧力は２００気圧以
上であるため、ランプ自体の破損防止が大きな課題とな
っている。特に、ランプの破裂は、大きな音を発した
り、水銀、ハロゲンガス等の有害な物質を飛散させたり
してエンドユーザに危険であるため、従来から、種々の
破損防止対策が提案されている。
【０００５】その一つには、特開平１１−１１１２２６
号公報において、ランプの両端の封止部を形成するガラ
ス内に、放電空間に位置する電極と接合された金属箔
（例えばモリブテン箔）が埋設されていて、この金属箔
の電極側の端部を丸みのある形状（曲線状）に形成する
ことが提案されている。
号公報において、ランプの両端の封止部を形成するガラ
ス内に、放電空間に位置する電極と接合された金属箔
（例えばモリブテン箔）が埋設されていて、この金属箔
の電極側の端部を丸みのある形状（曲線状）に形成する
ことが提案されている。
【０００６】この公報では、ガラス封止部内における金
属箔の電極側端部に角部が存在しないので、この電極側
端部への応力集中や、金属箔の電極側端部でのクラック
発生を抑えることができ、その結果、ガラス膨らみ部の
両端部が、動作圧に対して十分に強い耐圧性を持つこと
ができるとしている。
属箔の電極側端部に角部が存在しないので、この電極側
端部への応力集中や、金属箔の電極側端部でのクラック
発生を抑えることができ、その結果、ガラス膨らみ部の
両端部が、動作圧に対して十分に強い耐圧性を持つこと
ができるとしている。
【０００７】また、特開２００１−２５０５０４号公報
には、ガラス管の両端開口を封止する封止部内に、電極
の端部とこれに溶接された金属箔とが封止されており、
電極と金属箔の溶接部を、電極の端部が露出しないよう
に金属箔でさらに覆い、その上、金属箔の電極側の端部
の幅をその電極とは反対側の端部の幅より狭くする構成
が提案されている。特に、金属箔は三角形型のものを準
備し、その三角形型の金属箔のエッジ部分は流線形状と
している。
には、ガラス管の両端開口を封止する封止部内に、電極
の端部とこれに溶接された金属箔とが封止されており、
電極と金属箔の溶接部を、電極の端部が露出しないよう
に金属箔でさらに覆い、その上、金属箔の電極側の端部
の幅をその電極とは反対側の端部の幅より狭くする構成
が提案されている。特に、金属箔は三角形型のものを準
備し、その三角形型の金属箔のエッジ部分は流線形状と
している。
【０００８】この公報では、電極と金属箔の溶接部にお
いて電極と金属箔の段差がなく、また、金属箔の電極側
の端部に角が無いので、ガラス管の両端を溶融して封止
部を形成したときの、電極と金属箔の溶接部周りのガラ
スに発生するクラックを小さくすることができ、ランプ
の耐圧が向上するとしている。
いて電極と金属箔の段差がなく、また、金属箔の電極側
の端部に角が無いので、ガラス管の両端を溶融して封止
部を形成したときの、電極と金属箔の溶接部周りのガラ
スに発生するクラックを小さくすることができ、ランプ
の耐圧が向上するとしている。
【０００９】また、特許第３２０４１８９号には、ラン
プの両端の封止部を形成するガラス内に、放電空間に位
置する電極と接合された金属箔（例えばモリブテン箔）
が埋設され、かつ、電極の、封止部に埋設された部分に
コイルが巻きつけられた構成が提案されている。
プの両端の封止部を形成するガラス内に、放電空間に位
置する電極と接合された金属箔（例えばモリブテン箔）
が埋設され、かつ、電極の、封止部に埋設された部分に
コイルが巻きつけられた構成が提案されている。
【００１０】この公報では、電極とガラスとの間にコイ
ルが介在していることにより、封止部を形成する過程で
の、電極表面と接触しているガラスにおけるクラック発
生を低減できるとしてる。また、高温で封止部を形成で
きるので金属箔とガラスとの密着性も良くなり、十分な
耐圧特性を持つランプを提供できることが記載されてい
る。
ルが介在していることにより、封止部を形成する過程で
の、電極表面と接触しているガラスにおけるクラック発
生を低減できるとしてる。また、高温で封止部を形成で
きるので金属箔とガラスとの密着性も良くなり、十分な
耐圧特性を持つランプを提供できることが記載されてい
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平１１−
１１１２２６号および特開２００１−２５０５０４号に
よる破損防止対策は、封止部を形成するガラス内におけ
る金属箔の電極側の端部への応力集中、さらには電極の
金属箔側の端部への応力集中に着目しているだけであ
る。また、特許第３２０４１８９号による破損防止対策
は、封止部を形成する過程での、電極表面と接触してい
るガラスにおけるクラック発生ならびに、ガラスと金属
箔との密着性に着目しているだけである。
１１１２２６号および特開２００１−２５０５０４号に
よる破損防止対策は、封止部を形成するガラス内におけ
る金属箔の電極側の端部への応力集中、さらには電極の
金属箔側の端部への応力集中に着目しているだけであ
る。また、特許第３２０４１８９号による破損防止対策
は、封止部を形成する過程での、電極表面と接触してい
るガラスにおけるクラック発生ならびに、ガラスと金属
箔との密着性に着目しているだけである。
【００１２】ランプ自体の破損の発生は、上記の各公報
に記載の要因、すなわち、封止部形成後の冷却過程で
の、接触するガラスと電極との熱膨張差によって生じる
ガラスクラックや、電極端への応力集中によるガラスク
ラックや、金属箔の端部への応力集中によるガラスクラ
ックなどの他にも様々な要因があり、これらの要因が複
合して起こる。したがって、上記の各公報に記載の対策
を一つや二つ実施しても実際の効果は期待できない。
に記載の要因、すなわち、封止部形成後の冷却過程で
の、接触するガラスと電極との熱膨張差によって生じる
ガラスクラックや、電極端への応力集中によるガラスク
ラックや、金属箔の端部への応力集中によるガラスクラ
ックなどの他にも様々な要因があり、これらの要因が複
合して起こる。したがって、上記の各公報に記載の対策
を一つや二つ実施しても実際の効果は期待できない。
【００１３】さらに、上記の各公報に記載された要因以
外では、電極のガラスに埋まった部分とそのガラスとの
間での隙間の発生がある。このような隙間を有している
と、点灯時にランプ内が高圧になった際、ハロゲンガス
が電極とガラスの隙間を通って、電極と金属箔の接合
部、ならびに金属箔の腐食が起こり、やがては、ランプ
の破損に繋がる。
外では、電極のガラスに埋まった部分とそのガラスとの
間での隙間の発生がある。このような隙間を有している
と、点灯時にランプ内が高圧になった際、ハロゲンガス
が電極とガラスの隙間を通って、電極と金属箔の接合
部、ならびに金属箔の腐食が起こり、やがては、ランプ
の破損に繋がる。
【００１４】また、電極のガラスに埋設されている部分
にコイルが巻かれた構造においても、電極とコイルの間
は完全に気密にならないため、電極のガラスに埋まった
部分とそのガラスとの間に隙間があると、その隙間に侵
入したハロゲンガスが電極とコイルの間を通って、上述
したようなランプ破裂となる腐食が起こる。なお、特許
第３２０４１８９号はコイルがガラスでのみ埋設されて
発光空間に露出しない構成を開示しているが、電極と金
属箔の接合部ならびに金属箔自体の、ハロゲンガスによ
る腐食の影響については述べられていない。
にコイルが巻かれた構造においても、電極とコイルの間
は完全に気密にならないため、電極のガラスに埋まった
部分とそのガラスとの間に隙間があると、その隙間に侵
入したハロゲンガスが電極とコイルの間を通って、上述
したようなランプ破裂となる腐食が起こる。なお、特許
第３２０４１８９号はコイルがガラスでのみ埋設されて
発光空間に露出しない構成を開示しているが、電極と金
属箔の接合部ならびに金属箔自体の、ハロゲンガスによ
る腐食の影響については述べられていない。
【００１５】さらに、電極の、封止部に封止される部分
にコイルを巻きつけた構造では、その巻きつけ時の金属
箔の変形がランプ寿命を短縮させる要因となる。つま
り、金属箔が変形した場合、ガラスと金属箔の密着性が
低下して、金属箔でのガラスの剥離が生じるため、放電
空間のガスのリークが生じるからである。
にコイルを巻きつけた構造では、その巻きつけ時の金属
箔の変形がランプ寿命を短縮させる要因となる。つま
り、金属箔が変形した場合、ガラスと金属箔の密着性が
低下して、金属箔でのガラスの剥離が生じるため、放電
空間のガスのリークが生じるからである。
【００１６】本発明の目的は、２００気圧以上という動
作圧力の高圧化に鑑み、ランプの破損要因の極めて少な
い高圧放電ランプを提供することであり、そのために、
ランプの破損要因である、電極と金属箔との接続部周辺
の応力集中およびガラスクラック、並びに、上記の接続
部周辺の、ハロゲンガスによる腐食の影響を従来以上に
無くすことができる高圧放電ランプの構造を提案する。
作圧力の高圧化に鑑み、ランプの破損要因の極めて少な
い高圧放電ランプを提供することであり、そのために、
ランプの破損要因である、電極と金属箔との接続部周辺
の応力集中およびガラスクラック、並びに、上記の接続
部周辺の、ハロゲンガスによる腐食の影響を従来以上に
無くすことができる高圧放電ランプの構造を提案する。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英ガラス管内に形成された放電室と、前
記放電室内に一端が対向して配置された一対の電極と、
前記電極の他端と重ねて接合された金属箔と、前記石英
ガラス管の両端のガラス内に前記電極の他端および前記
金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する封止部と
を有する高圧放電ランプにおいて、前記電極と前記金属
箔の接合部近傍に金属コイルが巻きつけられた状態で前
記ガラスに埋設されており、さらに前記金属箔の電極側
の端部が先細り状のテーパ部となっており、かつ、前記
テーパ部の電極側の先端がその幅方向に関して前記電極
の径方向の幅内に在ることを特徴とする。この場合、前
記放電室内に水銀、ハロゲンガス及び不活性ガスが封入
されている。
に本発明は、石英ガラス管内に形成された放電室と、前
記放電室内に一端が対向して配置された一対の電極と、
前記電極の他端と重ねて接合された金属箔と、前記石英
ガラス管の両端のガラス内に前記電極の他端および前記
金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する封止部と
を有する高圧放電ランプにおいて、前記電極と前記金属
箔の接合部近傍に金属コイルが巻きつけられた状態で前
記ガラスに埋設されており、さらに前記金属箔の電極側
の端部が先細り状のテーパ部となっており、かつ、前記
テーパ部の電極側の先端がその幅方向に関して前記電極
の径方向の幅内に在ることを特徴とする。この場合、前
記放電室内に水銀、ハロゲンガス及び不活性ガスが封入
されている。
【００１８】このような構成によれば、前記電極と前記
金属箔の接合部近傍が金属コイルを介在してガラスに埋
設されているので、封止部形成後の冷却過程において、
ガラスと電極との熱膨張差によって生じるガラスクラッ
クの発生を防止することができる。さらに、前記金属箔
の電極側の端部を先細り状のテーパ部として形成し、か
つ、前記電極の端部と接合された前記テーパ部の電極側
の先端を、その幅方向に関して前記電極の径方向の幅内
に規定していることにより、電極と金属箔の接合部近傍
に金属コイルを、金属箔を変形させないで配置できるの
で、金属箔でのガラス剥離や、電極と金属箔の接合部周
りにおける応力集中を緩和することができる。また、金
属箔の電極側の端部がテーパ状に形成され、金属コイル
は電極の端部まで巻かれていることにより、前記金属箔
の電極側の端部だけでなく前記電極の金属箔側の端部に
おける応力集中も緩和することができる。すなわち、本
発明の構造は、従来構造で起こり得る種々のランプ破裂
の要因を同時に解消するため、従来よりも著しく破損の
少ないランプを提供することができる。
金属箔の接合部近傍が金属コイルを介在してガラスに埋
設されているので、封止部形成後の冷却過程において、
ガラスと電極との熱膨張差によって生じるガラスクラッ
クの発生を防止することができる。さらに、前記金属箔
の電極側の端部を先細り状のテーパ部として形成し、か
つ、前記電極の端部と接合された前記テーパ部の電極側
の先端を、その幅方向に関して前記電極の径方向の幅内
に規定していることにより、電極と金属箔の接合部近傍
に金属コイルを、金属箔を変形させないで配置できるの
で、金属箔でのガラス剥離や、電極と金属箔の接合部周
りにおける応力集中を緩和することができる。また、金
属箔の電極側の端部がテーパ状に形成され、金属コイル
は電極の端部まで巻かれていることにより、前記金属箔
の電極側の端部だけでなく前記電極の金属箔側の端部に
おける応力集中も緩和することができる。すなわち、本
発明の構造は、従来構造で起こり得る種々のランプ破裂
の要因を同時に解消するため、従来よりも著しく破損の
少ないランプを提供することができる。
【００１９】上記の高圧放電ランプにおいて、前記金属
コイルは前記電極の金属箔側の端部を覆うように巻かれ
ていることが好ましい。つまり、前記金属コイルによっ
て前記電極の金属箔側の端部が覆われていると、一層、
前記電極の金属箔側の端部への応力集中が緩和できる。
コイルは前記電極の金属箔側の端部を覆うように巻かれ
ていることが好ましい。つまり、前記金属コイルによっ
て前記電極の金属箔側の端部が覆われていると、一層、
前記電極の金属箔側の端部への応力集中が緩和できる。
【００２０】さらに、前記金属箔のテーパ部の電極側の
先端の幅Ｗcは、前記電極の径をＤとしたとき、Ｗc≦Ｄ
（より好ましくは、Ｗc≦0.8Ｄ）を満たす寸法に規定さ
れていること、前記金属コイルのコイル線径ｄは、前記
電極の径をＤとしたとき、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ/2 を満たす寸
法に規定されていること、前記金属コイルのコイル長Ｌ
１は、前記電極の径をＤとしたとき、Ｌ１≧２Ｄ を満
たす寸法に規定されていること、前記金属箔のテーパ部
のカット長Ｌ２は、前記金属箔の幅をＷとしたとき、Ｗ
≦Ｌ２≦３Ｗ を満たす寸法に規定されていることが好
ましい。
先端の幅Ｗcは、前記電極の径をＤとしたとき、Ｗc≦Ｄ
（より好ましくは、Ｗc≦0.8Ｄ）を満たす寸法に規定さ
れていること、前記金属コイルのコイル線径ｄは、前記
電極の径をＤとしたとき、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ/2 を満たす寸
法に規定されていること、前記金属コイルのコイル長Ｌ
１は、前記電極の径をＤとしたとき、Ｌ１≧２Ｄ を満
たす寸法に規定されていること、前記金属箔のテーパ部
のカット長Ｌ２は、前記金属箔の幅をＷとしたとき、Ｗ
≦Ｌ２≦３Ｗ を満たす寸法に規定されていることが好
ましい。
【００２１】このように、前記金属箔、前記電極および
前記金属コイルの形を規定することで、封止部形成後の
冷却過程での、接触するガラスと電極との熱膨張差によ
って生じるガラスクラックや、電極端への応力集中によ
るガラスクラックや、金属箔の端部への応力集中による
ガラスクラックや、電極の、ガラスに埋設される部分に
コイルを巻きつけた時の金属箔の変形などのランプ破裂
要因を解消することができる。
前記金属コイルの形を規定することで、封止部形成後の
冷却過程での、接触するガラスと電極との熱膨張差によ
って生じるガラスクラックや、電極端への応力集中によ
るガラスクラックや、金属箔の端部への応力集中による
ガラスクラックや、電極の、ガラスに埋設される部分に
コイルを巻きつけた時の金属箔の変形などのランプ破裂
要因を解消することができる。
【００２２】そして、上記のような高圧放電ランプにお
いて、前記水銀は0.12[mg/mm3]以上封入され、前記ハロ
ゲンガスとしては塩素,臭素,ヨウ素のうち少なくとも１
つが前記放電室内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10
-6[μmol/mm3]となるように封入され、かつ、前記放電
室内の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下であることが
好ましい。このような量でガスを導入した場合、前記電
極のガラスに埋まっている部分のうちの、前記金属コイ
ルが巻かれていない電極表面と、この電極表面の周りの
ガラスとの間に隙間があっても、電極と金属箔の接合
部、ならびに金属箔のハロゲンガス腐食を抑制すること
ができ、結果的にランプ破裂も防止できる。さらに、長
時間点灯におけるガラス管の黒化および輝度低下もな
い。
いて、前記水銀は0.12[mg/mm3]以上封入され、前記ハロ
ゲンガスとしては塩素,臭素,ヨウ素のうち少なくとも１
つが前記放電室内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10
-6[μmol/mm3]となるように封入され、かつ、前記放電
室内の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下であることが
好ましい。このような量でガスを導入した場合、前記電
極のガラスに埋まっている部分のうちの、前記金属コイ
ルが巻かれていない電極表面と、この電極表面の周りの
ガラスとの間に隙間があっても、電極と金属箔の接合
部、ならびに金属箔のハロゲンガス腐食を抑制すること
ができ、結果的にランプ破裂も防止できる。さらに、長
時間点灯におけるガラス管の黒化および輝度低下もな
い。
【００２３】また、本発明は、石英ガラス管内に形成さ
れた放電室と、前記放電室内に一端が対向して配置され
た一対の電極と、前記電極の他端と重ねて接合された金
属箔と、前記電極と前記金属箔の接合部近傍に巻きつけ
られた金属コイルと、前記石英ガラス管の両端のガラス
内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前記金属箔
を埋設して前記放電室を気密に封止する封止部とを有
し、さらに前記金属箔の電極側の端部が先細り状のテー
パ部とされ、かつ、前記テーパ部の電極側の先端がその
幅方向に関して前記電極の径方向の幅内に在り、前記放
電室内に水銀、ハロゲンガス及び不活性ガスが封入され
ている高圧放電ランプを製造する方法であって、石英ガ
ラス管を用いて、前記放電室のための膨らみ部を持つバ
ルブを成形するバルブ成形工程と、前記電極に金属コイ
ルを挿入し、前記電極の端部と前記金属箔のテーパ部と
を重ね合わせた後、その重ね合わせ部を覆う位置に前記
金属コイルを移動して固定する前もしくは後に、圧着ま
たは溶接により前記電極と前記金属箔を接続すること
で、電極アセンブリを作製する電極組立て工程と、前記
電極アセンブリを前記石英ガラス管の一端の開口に挿入
し、前記石英ガラス管の一端を加熱して、この一端のガ
ラス内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前記金
属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する第１の封止
工程と、前記石英ガラス管の他端の開口から前記放電室
内の大気（Ｏ）ガスを排気する排気工程と、前記石英ガ
ラス管の他端の開口から前記放電室内に前記水銀、前記
ハロゲンガス、および前記不活性ガスを導入する導入工
程と、前記電極アセンブリを前記石英ガラス管の他端の
開口に挿入し、前記石英ガラス管の他端を加熱して、こ
の他端のガラス内に前記電極の他端、前記金属コイルお
よび前記金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する
第２の封止工程と、を有することを特徴とする。
れた放電室と、前記放電室内に一端が対向して配置され
た一対の電極と、前記電極の他端と重ねて接合された金
属箔と、前記電極と前記金属箔の接合部近傍に巻きつけ
られた金属コイルと、前記石英ガラス管の両端のガラス
内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前記金属箔
を埋設して前記放電室を気密に封止する封止部とを有
し、さらに前記金属箔の電極側の端部が先細り状のテー
パ部とされ、かつ、前記テーパ部の電極側の先端がその
幅方向に関して前記電極の径方向の幅内に在り、前記放
電室内に水銀、ハロゲンガス及び不活性ガスが封入され
ている高圧放電ランプを製造する方法であって、石英ガ
ラス管を用いて、前記放電室のための膨らみ部を持つバ
ルブを成形するバルブ成形工程と、前記電極に金属コイ
ルを挿入し、前記電極の端部と前記金属箔のテーパ部と
を重ね合わせた後、その重ね合わせ部を覆う位置に前記
金属コイルを移動して固定する前もしくは後に、圧着ま
たは溶接により前記電極と前記金属箔を接続すること
で、電極アセンブリを作製する電極組立て工程と、前記
電極アセンブリを前記石英ガラス管の一端の開口に挿入
し、前記石英ガラス管の一端を加熱して、この一端のガ
ラス内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前記金
属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する第１の封止
工程と、前記石英ガラス管の他端の開口から前記放電室
内の大気（Ｏ）ガスを排気する排気工程と、前記石英ガ
ラス管の他端の開口から前記放電室内に前記水銀、前記
ハロゲンガス、および前記不活性ガスを導入する導入工
程と、前記電極アセンブリを前記石英ガラス管の他端の
開口に挿入し、前記石英ガラス管の他端を加熱して、こ
の他端のガラス内に前記電極の他端、前記金属コイルお
よび前記金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する
第２の封止工程と、を有することを特徴とする。
【００２４】このような製造方法によれば、電極と金属
箔との接続部周辺の応力集中、及びこれによるガラスク
ラックを従来以上に少なくでき、結果的にランプ破裂も
防止できる高圧放電ランプを提供することができる。
箔との接続部周辺の応力集中、及びこれによるガラスク
ラックを従来以上に少なくでき、結果的にランプ破裂も
防止できる高圧放電ランプを提供することができる。
【００２５】上記の製造方法の場合、前記排気工程にお
いて、前記放電室内の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以
下となるように排気するとともに、前記導入工程におい
て、前記水銀の封入量が前記放電室内の空間容積に対し
て0.12[mg/mm3]以上となり、前記ハロゲンガスの前記放
電室内の分圧が1×10-8〜1×10-6[μmol/mm3]の範囲と
なるように各々導入することが好ましい。このように製
造すると、長時間点灯におけるガラス管の黒化および輝
度低下が少なく、さらに、電極と金属箔の接合部ならび
に金属箔自体の、ハロゲンガスによる腐食もない高圧放
電ランプを製造することができる。
いて、前記放電室内の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以
下となるように排気するとともに、前記導入工程におい
て、前記水銀の封入量が前記放電室内の空間容積に対し
て0.12[mg/mm3]以上となり、前記ハロゲンガスの前記放
電室内の分圧が1×10-8〜1×10-6[μmol/mm3]の範囲と
なるように各々導入することが好ましい。このように製
造すると、長時間点灯におけるガラス管の黒化および輝
度低下が少なく、さらに、電極と金属箔の接合部ならび
に金属箔自体の、ハロゲンガスによる腐食もない高圧放
電ランプを製造することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００２７】図１は本発明の一つの実施形態による高圧
放電ランプを示す断面図である。この図では図７の従来
のランプの同一の構成要素に同一符号を用いている。
放電ランプを示す断面図である。この図では図７の従来
のランプの同一の構成要素に同一符号を用いている。
【００２８】本実施形態の高圧放電ランプは図１に示す
ように、ガラス管の中央に放電室１ａを形成する球状部
と、ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止部１
ｂ,１ｂ’とからなる石英ガラス製のバルブ１を有す
る。バルブ１の放電室１ａ内には棒状のタングステン製
の一対の電極４,４’の先端が対向して位置し、各電極
４,４’の先端には冷却コイル２,２’が巻きつけられて
いる。
ように、ガラス管の中央に放電室１ａを形成する球状部
と、ガラス管の両端の開口を封止した細長の封止部１
ｂ,１ｂ’とからなる石英ガラス製のバルブ１を有す
る。バルブ１の放電室１ａ内には棒状のタングステン製
の一対の電極４,４’の先端が対向して位置し、各電極
４,４’の先端には冷却コイル２,２’が巻きつけられて
いる。
【００２９】封止部１ｂ,１ｂ’を形成するガラス内に
は電極４,４’の後端、リード棒７,７’の一端、および
電極４,４’とリード棒７,７’の間を中継したモリブテ
ン(Ｍｏ)箔（金属箔）６,６’が埋設されている。電極
４,４’の後端とモリブデン箔６,６’とを重ねて接合し
た接合部近傍においては電極４,４’側に金属コイル３,
３’が巻きつけられた状態でガラスに埋設されている。
は電極４,４’の後端、リード棒７,７’の一端、および
電極４,４’とリード棒７,７’の間を中継したモリブテ
ン(Ｍｏ)箔（金属箔）６,６’が埋設されている。電極
４,４’の後端とモリブデン箔６,６’とを重ねて接合し
た接合部近傍においては電極４,４’側に金属コイル３,
３’が巻きつけられた状態でガラスに埋設されている。
【００３０】モリブテン箔６,６’の電極４,４’側の端
部は先細り状のテーパ部５,５’となっている。このよ
うなテーパ部５,５’が電極４,４’の端部と重ねて接合
され、かつ、テーパ部５,５’の電極４,４’側の先端は
その幅方向に関して電極４,４’の径方向の内側位置に
在る。
部は先細り状のテーパ部５,５’となっている。このよ
うなテーパ部５,５’が電極４,４’の端部と重ねて接合
され、かつ、テーパ部５,５’の電極４,４’側の先端は
その幅方向に関して電極４,４’の径方向の内側位置に
在る。
【００３１】放電室１ａ内には、水銀および、ハロゲン
ガス成分を含有する不活性ガスが封入されている。本実
施形態では、水銀は0.12〜0.30[mg/mm3]封入されてい
る。水銀封入量をこの範囲にしたのは次のとおりであ
る。プロジェクター用の光源としての超高圧水銀ランプ
では、３原色の赤色を出来るだけ多く得るために動作時
の水銀圧をある一定以上に高める必要がある。この実用
上必要な最低の水銀圧を得るために、0.12[mg/mm3]以上
が必要である。また、外囲器が石英ガラスであるために
水銀の圧力を上げていくと破裂が生じるので、現状の技
術的に実用化できる上限が0.30[mg/mm3]である。したが
って、プロジェクター用光源に必要な３原色の配分を含
めた所定の輝度を得るために、実用的に必要な水銀の量
を0.12[mg/mm 3]以上、より好ましくは0.30[mg/mm3]以下
とした。
ガス成分を含有する不活性ガスが封入されている。本実
施形態では、水銀は0.12〜0.30[mg/mm3]封入されてい
る。水銀封入量をこの範囲にしたのは次のとおりであ
る。プロジェクター用の光源としての超高圧水銀ランプ
では、３原色の赤色を出来るだけ多く得るために動作時
の水銀圧をある一定以上に高める必要がある。この実用
上必要な最低の水銀圧を得るために、0.12[mg/mm3]以上
が必要である。また、外囲器が石英ガラスであるために
水銀の圧力を上げていくと破裂が生じるので、現状の技
術的に実用化できる上限が0.30[mg/mm3]である。したが
って、プロジェクター用光源に必要な３原色の配分を含
めた所定の輝度を得るために、実用的に必要な水銀の量
を0.12[mg/mm 3]以上、より好ましくは0.30[mg/mm3]以下
とした。
【００３２】さらに、不活性ガスはＮｅ(ネオン)またはＡr
(アルコ゛ン)などの希ガスであり、ハロゲンガスとしてはCｌ
(塩素),Br(臭素)，I(ヨウ素)のうち少なくとも１つが封
入され、放電室１ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1
×10-6[μmol/mm3]に調整されている。さらに、放電室
１ａ内の酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下の到達真空度と
なるように、放電室１ａ内が排気されている。ここで、
酸素分圧とはＯ2,ＣＯ,ＣＯ2,Ｈ2Ｏなど酸素含有ガスの
分圧の合計であって、作製された高圧放電ランプ内のガ
スを採取しガス分析することによって測定することがで
きる。また、不活性ガスの封入量は６×１０3[Pa]〜６
×１０4[Pa]の範囲であることが好ましい。
(アルコ゛ン)などの希ガスであり、ハロゲンガスとしてはCｌ
(塩素),Br(臭素)，I(ヨウ素)のうち少なくとも１つが封
入され、放電室１ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1
×10-6[μmol/mm3]に調整されている。さらに、放電室
１ａ内の酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下の到達真空度と
なるように、放電室１ａ内が排気されている。ここで、
酸素分圧とはＯ2,ＣＯ,ＣＯ2,Ｈ2Ｏなど酸素含有ガスの
分圧の合計であって、作製された高圧放電ランプ内のガ
スを採取しガス分析することによって測定することがで
きる。また、不活性ガスの封入量は６×１０3[Pa]〜６
×１０4[Pa]の範囲であることが好ましい。
【００３３】このような高圧放電ランプは、そのバルブ
１両端のリード棒７，７’に専用のバラスト電源から供
給される初歩的なトリガー電圧（５〜２０ｋＶ）により
点灯される。その後、電力１００〜３００Ｗにより動作
され、所定のランプ照度が得られる。
１両端のリード棒７，７’に専用のバラスト電源から供
給される初歩的なトリガー電圧（５〜２０ｋＶ）により
点灯される。その後、電力１００〜３００Ｗにより動作
され、所定のランプ照度が得られる。
【００３４】また、電極４,４’、金属コイル３,３’お
よびモリブテン箔６,６’について以下に挙げる各部の
寸法は、ランプの破損要因を無くすため、所望の範囲に
規定されている。これらの寸法を説明するために図２
に、接合前の電極およびモリブテン箔の拡大図を示す。
但し、電極４と電極４’、金属コイル３と金属コイル
３’、モリブテン箔６とモリブテン箔６’はそれぞれ同
一部品であるので、図２には代表して電極４、金属コイ
ル３およびモリブテン箔６のみを示した。
よびモリブテン箔６,６’について以下に挙げる各部の
寸法は、ランプの破損要因を無くすため、所望の範囲に
規定されている。これらの寸法を説明するために図２
に、接合前の電極およびモリブテン箔の拡大図を示す。
但し、電極４と電極４’、金属コイル３と金属コイル
３’、モリブテン箔６とモリブテン箔６’はそれぞれ同
一部品であるので、図２には代表して電極４、金属コイ
ル３およびモリブテン箔６のみを示した。
【００３５】金属コイルのコイル線径
図１に示したように電極４,４’とモリブテン箔６,６’
の接合部近傍において電極４側に巻く金属コイル３,
３’の効果は、封止部１ｂ,１ｂ’におけるガラスと電
極４,４’の直接の封着（接触）を回避し、直接封着し
た場合の、ガラスと電極４,４’の熱膨張差により発生
するガラスクラックを防止できるとともに、電極４,
４’とガラスとの間に生ずる熱応力も緩和できる。つま
り、電極４,４’と金属コイル３,３’の間は接合されて
いないため、点灯時の熱膨張によって金属コイル３,
３’が電極４,４’上を滑り動くため、電極とガラス間
の応力が緩和できる。
の接合部近傍において電極４側に巻く金属コイル３,
３’の効果は、封止部１ｂ,１ｂ’におけるガラスと電
極４,４’の直接の封着（接触）を回避し、直接封着し
た場合の、ガラスと電極４,４’の熱膨張差により発生
するガラスクラックを防止できるとともに、電極４,
４’とガラスとの間に生ずる熱応力も緩和できる。つま
り、電極４,４’と金属コイル３,３’の間は接合されて
いないため、点灯時の熱膨張によって金属コイル３,
３’が電極４,４’上を滑り動くため、電極とガラス間
の応力が緩和できる。
【００３６】図１のランプ構造に対して、金属コイル
３,３’のコイル線径を変えた場合のガラスクラックの
発生、さらにはランプの破裂を検証した。その結果、図
２に示すように金属コイル３(３’)のコイル線径をｄ、
電極４(４’)の径をＤとしたときの、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ/2
の範囲で、ガラスクラックの発生およびランプ破裂が少
ないことを確認した。
３,３’のコイル線径を変えた場合のガラスクラックの
発生、さらにはランプの破裂を検証した。その結果、図
２に示すように金属コイル３(３’)のコイル線径をｄ、
電極４(４’)の径をＤとしたときの、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ/2
の範囲で、ガラスクラックの発生およびランプ破裂が少
ないことを確認した。
【００３７】すなわち、金属コイル３(３’)を巻く効果
はコイル線径ｄと電極径Ｄとの相対比で決まる。電極径
Ｄに対し、コイル線径ｄが小さすぎる場合(ｄ＜Ｄ/8)、
上記の応力緩和部分（層）が薄くなるため、効果が著し
く低下する。一方、コイル線径ｄが大きすぎる場合(ｄ
＞Ｄ/2)、金属コイル３(３’)のコイル巻き径が大きく
なり、点灯時の熱応力が逆に大きくなる。
はコイル線径ｄと電極径Ｄとの相対比で決まる。電極径
Ｄに対し、コイル線径ｄが小さすぎる場合(ｄ＜Ｄ/8)、
上記の応力緩和部分（層）が薄くなるため、効果が著し
く低下する。一方、コイル線径ｄが大きすぎる場合(ｄ
＞Ｄ/2)、金属コイル３(３’)のコイル巻き径が大きく
なり、点灯時の熱応力が逆に大きくなる。
【００３８】そこで、金属コイル３(３’)のコイル線径
ｄは、電極４(４’)の径をＤとしたとき、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ
/2 を満たす寸法に規定されている。
ｄは、電極４(４’)の径をＤとしたとき、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ
/2 を満たす寸法に規定されている。
【００３９】モリブテン箔のテーパ状端部のカット長
図１のランプ構造に対して、モリブテン箔６,６’の電
極４,４’側の端部への応力集中によるガラスクラック
の発生、さらにはランプ破裂を検証した。その結果、図
２に示すようにモリブテン箔６(６’)の幅をＷ、カット
長をＬ２としたときの、Ｗ≦Ｌ２≦３Ｗ の範囲で、ガ
ラスクラックの発生およびランプ破裂が少ないことを確
認した。
極４,４’側の端部への応力集中によるガラスクラック
の発生、さらにはランプ破裂を検証した。その結果、図
２に示すようにモリブテン箔６(６’)の幅をＷ、カット
長をＬ２としたときの、Ｗ≦Ｌ２≦３Ｗ の範囲で、ガ
ラスクラックの発生およびランプ破裂が少ないことを確
認した。
【００４０】すなわち、モリブテン箔６(６’)のテーパ
部５(５’)のカット長Ｌ２がモリブテン箔６(６’)の幅
Ｗ未満(Ｌ２＜Ｗ)では、モリブテン箔６(６’)の幅が狭
く変わる変化部６ａが鋭角となり、応力集中が大きくな
る。一方、カット長Ｌ２が３Ｗより大きくなると、モリ
ブテン箔６(６’)のテーパ部５(５’)のカット面６ｂが
長くなり、ナイフエッジ形になっていないカット面から
ガラスの剥離が発生しやすくなる。
部５(５’)のカット長Ｌ２がモリブテン箔６(６’)の幅
Ｗ未満(Ｌ２＜Ｗ)では、モリブテン箔６(６’)の幅が狭
く変わる変化部６ａが鋭角となり、応力集中が大きくな
る。一方、カット長Ｌ２が３Ｗより大きくなると、モリ
ブテン箔６(６’)のテーパ部５(５’)のカット面６ｂが
長くなり、ナイフエッジ形になっていないカット面から
ガラスの剥離が発生しやすくなる。
【００４１】そこで、モリブテン箔６(６’)のテーパ部
５(５’)のカット長Ｌ２は、モリブテン箔６(６’)の幅
Ｗに対し、Ｗ≦Ｌ２≦３Ｗ を満たす寸法に規定されて
いる。
５(５’)のカット長Ｌ２は、モリブテン箔６(６’)の幅
Ｗに対し、Ｗ≦Ｌ２≦３Ｗ を満たす寸法に規定されて
いる。
【００４２】モリブテン箔のテーパ部の先端（電極側
の端部）の幅 図１のランプ構造において、モリブテン箔６,６’の電
極４,４’側の端部の幅（テーパ部５,５’の先端幅）が
電極４,４’の径より大きくなると、電極４,４’とモリ
ブテン箔６,６’との接合部近傍に巻きつけた金属コイ
ル３,３’によってモリブテン箔６,６’が変形してしま
うことがある。モリブテン箔６,６’が変形した場合、
モリブテン箔６,６’の周囲への石英ガラスの封着の際
さらに変形が進み、その結果、石英ガラスとモリブテン
箔６,６’との密着性が低下し、モリブテン箔６,６’に
対して石英ガラスの剥離が発生する。最後には放電室１
ａ内のガスのリークに至る。また、電極４,４’とモリ
ブテン箔６,６’の接合部周りにガラスクラックが生じ
ることもある。
の端部）の幅 図１のランプ構造において、モリブテン箔６,６’の電
極４,４’側の端部の幅（テーパ部５,５’の先端幅）が
電極４,４’の径より大きくなると、電極４,４’とモリ
ブテン箔６,６’との接合部近傍に巻きつけた金属コイ
ル３,３’によってモリブテン箔６,６’が変形してしま
うことがある。モリブテン箔６,６’が変形した場合、
モリブテン箔６,６’の周囲への石英ガラスの封着の際
さらに変形が進み、その結果、石英ガラスとモリブテン
箔６,６’との密着性が低下し、モリブテン箔６,６’に
対して石英ガラスの剥離が発生する。最後には放電室１
ａ内のガスのリークに至る。また、電極４,４’とモリ
ブテン箔６,６’の接合部周りにガラスクラックが生じ
ることもある。
【００４３】これに対し、モリブテン箔６,６’の電極
４,４’側の端部の幅（テーパ部５,５’の先端幅）を電
極４,４’の径より小さくすることは、接合した電極４,
４’とモリブテン箔６,６’の重なり部を覆うように金
属コイル３,３’を配置できるので、モリブテン箔６,
６’に変形のない、電極４,４’とモリブテン箔６,６’
の接合部を得ることができる。その結果、電極４,４’
とモリブテン箔６,６’の接合部周りにガラスクラック
が発生することなく、また、モリブテン箔６,６’での
ガラスの剥離も防止できる。
４,４’側の端部の幅（テーパ部５,５’の先端幅）を電
極４,４’の径より小さくすることは、接合した電極４,
４’とモリブテン箔６,６’の重なり部を覆うように金
属コイル３,３’を配置できるので、モリブテン箔６,
６’に変形のない、電極４,４’とモリブテン箔６,６’
の接合部を得ることができる。その結果、電極４,４’
とモリブテン箔６,６’の接合部周りにガラスクラック
が発生することなく、また、モリブテン箔６,６’での
ガラスの剥離も防止できる。
【００４４】図２に示すようにモリブテン箔６(６’)の
テーパ部５(５’)の先端幅をＷcとし、電極４(４’)の
径をＤとし、図１のランプ構造に対して、ＷcとＤの関
係と、モリブテン箔変形、ガラス剥離、さらにはランプ
破裂を検証した。その結果、表１に示すとおり、幅Ｗc
が電極４(４’)の径Ｄより大きくなると、モリブテン箔
変形およびガラス剥離、ランプ破裂ともに多くなり、問
題があることを確認した。一方、幅Ｗcが0.8Ｄ以下では
変形も少なく、ガラス剥離、ランプ破裂ともなく、良好
であった。また、幅Ｗcが0.8Ｄ〜1.0Ｄの範囲では、上
記の両方と中間的な結果となったが、実用上許容できる
範囲である。
テーパ部５(５’)の先端幅をＷcとし、電極４(４’)の
径をＤとし、図１のランプ構造に対して、ＷcとＤの関
係と、モリブテン箔変形、ガラス剥離、さらにはランプ
破裂を検証した。その結果、表１に示すとおり、幅Ｗc
が電極４(４’)の径Ｄより大きくなると、モリブテン箔
変形およびガラス剥離、ランプ破裂ともに多くなり、問
題があることを確認した。一方、幅Ｗcが0.8Ｄ以下では
変形も少なく、ガラス剥離、ランプ破裂ともなく、良好
であった。また、幅Ｗcが0.8Ｄ〜1.0Ｄの範囲では、上
記の両方と中間的な結果となったが、実用上許容できる
範囲である。
【００４５】そこで、モリブテン箔６(６’)の電極４
(４’)側の端部（テーパ部５(５’)の先端）の幅Ｗc
は、電極４(４’)の径Ｄに対し、Ｗc≦Ｄ を満たす寸
法に規定されている。より好ましくは、Ｗc≦0.8Ｄ に
規定されている。
(４’)側の端部（テーパ部５(５’)の先端）の幅Ｗc
は、電極４(４’)の径Ｄに対し、Ｗc≦Ｄ を満たす寸
法に規定されている。より好ましくは、Ｗc≦0.8Ｄ に
規定されている。
【００４６】
【表１】
【００４７】金属コイルのコイル長
図１のランプ構造において、金属コイル３,３’のコイ
ル長は電極４,４’の径に依存して変える必要がある。
ル長は電極４,４’の径に依存して変える必要がある。
【００４８】金属コイル３,３’のコイル長を変えた場
合のガラスクラックの発生、さらにはランプ破裂を検証
した。その結果、図２に示すように電極４(４’)の径を
Ｄ、金属コイル３(３’)のコイル長をＬ１としたとき
の、２Ｄ≦Ｌ１ の範囲で、ガラスクラックの発生およ
びランプ破裂が少ないことを確認した。
合のガラスクラックの発生、さらにはランプ破裂を検証
した。その結果、図２に示すように電極４(４’)の径を
Ｄ、金属コイル３(３’)のコイル長をＬ１としたとき
の、２Ｄ≦Ｌ１ の範囲で、ガラスクラックの発生およ
びランプ破裂が少ないことを確認した。
【００４９】コイル長Ｌ１が２Ｄより小さい場合、上記
の項目で述べた応力緩和の効果が乏しい。
の項目で述べた応力緩和の効果が乏しい。
【００５０】そこで、金属コイル３(３’)のコイル長Ｌ
１は、電極４(４’)の径Ｄに対し、Ｌ１≧２Ｄ を満た
す寸法に規定されている。
１は、電極４(４’)の径Ｄに対し、Ｌ１≧２Ｄ を満た
す寸法に規定されている。
【００５１】次に、図１に示した電極４(４’)とモリブ
テン箔６(６’)の接合部近傍における金属コイル３
(３’)の巻きつけ状態について説明する。図３は金属コ
イル３(３’)の望ましい巻きつけ位置を示す要部断面図
であり、図４は図３に示した金属コイル３(３’)の巻き
つけ位置と比較するための比較図である。
テン箔６(６’)の接合部近傍における金属コイル３
(３’)の巻きつけ状態について説明する。図３は金属コ
イル３(３’)の望ましい巻きつけ位置を示す要部断面図
であり、図４は図３に示した金属コイル３(３’)の巻き
つけ位置と比較するための比較図である。
【００５２】電極４(４’)とモリブテン箔６(６’)の接
合部近傍における金属コイル３(３’)は電極４(４’)の
モリブテン箔６(６’)側の端部を覆うように巻かれるこ
とが望ましい。
合部近傍における金属コイル３(３’)は電極４(４’)の
モリブテン箔６(６’)側の端部を覆うように巻かれるこ
とが望ましい。
【００５３】すなわち、図４に示すように、金属コイル
３(３’)を電極４(４’)のモリブテン箔６(６’)側の端
部まで巻いていない構成では、電極端部４ａへの応力集
中によってガラスクラック９が発生する。これに対し、
図３に示すとおり、金属コイル３(３’)を少なくとも電
極４(４’)のモリブテン箔６(６’)側の端部まで巻いた
結果、図４に示した構造で見られたガラスクラックは皆
無となり、ランプ破裂は防止できた。
３(３’)を電極４(４’)のモリブテン箔６(６’)側の端
部まで巻いていない構成では、電極端部４ａへの応力集
中によってガラスクラック９が発生する。これに対し、
図３に示すとおり、金属コイル３(３’)を少なくとも電
極４(４’)のモリブテン箔６(６’)側の端部まで巻いた
結果、図４に示した構造で見られたガラスクラックは皆
無となり、ランプ破裂は防止できた。
【００５４】なお、以上の図２および図３を用いて説明
した電極４,４’、金属コイル３,３’およびモリブテン
箔６,６’の形態は、図１のランプ構造に対して単独で
適用することは勿論のこと、適宜組み合わせて本発明の
高圧放電ランプに適用することも可能である。
した電極４,４’、金属コイル３,３’およびモリブテン
箔６,６’の形態は、図１のランプ構造に対して単独で
適用することは勿論のこと、適宜組み合わせて本発明の
高圧放電ランプに適用することも可能である。
【００５５】また、本実施形態の高圧放電ランプは、図
５に示すように電極４(４’)のガラスに埋まっている部
分のうちの、金属コイル３(３’)が巻かれていない電極
表面Ａと、電極表面Ａの周りのガラスとの間が気密に接
しておらず、隙間を有していてもよい。その理由は以下
のとおりである。
５に示すように電極４(４’)のガラスに埋まっている部
分のうちの、金属コイル３(３’)が巻かれていない電極
表面Ａと、電極表面Ａの周りのガラスとの間が気密に接
しておらず、隙間を有していてもよい。その理由は以下
のとおりである。
【００５６】放電室１ａに封入されるハロゲンガスは点
灯時の高温下にハロゲンイオンを生成し、ガラス管壁に
蒸着したタングステン（電極材料）と結合して気化し、
比較的低温の電極基部に沈着する、いわゆるハロゲンサ
イクルを繰り返すことによってガラス管壁の黒化を防止
することができる。このため、従来では放電室１ａ内の
ハロゲンガス分圧が1×10-6〜１×10-2[μmol/mm3]とな
るようにハロゲンガス封入量を調整していた。しかし、
特許第３２１９０８４号に記載されているとおり、放電
室１ａ内の酸素分圧を2.5×10-3[Pa]以下に規制した場
合、放電室１ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10
-7[μmol/mm3]になるようにハロゲンガス封入量を少な
くしても、長時間点灯におけるガラス管の黒化および輝
度低下を防止できるとしている。さらには、ハロゲンガ
スの封入量を従来よりも削減できるので、過剰のハロゲ
ンガスを導入することに起因する電極やモリブテン箔の
腐食も防止できるとしている。
灯時の高温下にハロゲンイオンを生成し、ガラス管壁に
蒸着したタングステン（電極材料）と結合して気化し、
比較的低温の電極基部に沈着する、いわゆるハロゲンサ
イクルを繰り返すことによってガラス管壁の黒化を防止
することができる。このため、従来では放電室１ａ内の
ハロゲンガス分圧が1×10-6〜１×10-2[μmol/mm3]とな
るようにハロゲンガス封入量を調整していた。しかし、
特許第３２１９０８４号に記載されているとおり、放電
室１ａ内の酸素分圧を2.5×10-3[Pa]以下に規制した場
合、放電室１ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10
-7[μmol/mm3]になるようにハロゲンガス封入量を少な
くしても、長時間点灯におけるガラス管の黒化および輝
度低下を防止できるとしている。さらには、ハロゲンガ
スの封入量を従来よりも削減できるので、過剰のハロゲ
ンガスを導入することに起因する電極やモリブテン箔の
腐食も防止できるとしている。
【００５７】そこで、本実施形態では放電室１ａ内の酸
素分圧を2.5×10-3[Pa]以下に規制し、かつ、放電室１
ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10-6[μmol/m
m3]になるようにハロゲンガスを封入した。ここで、特
許第３２１９０８４号に記載のハロゲン含有量の上限を
1×10-6[μmol/mm3]まで広げたのは、製造（製品）のバ
ラツキを考慮すると、この範囲までハロゲンを導入した
方が黒化をより防止できるからである。このようなハロ
ゲンガス導入量の場合、従来の1×10-6〜１×10- 2[μmo
l/mm3]というハロゲンガス封入量に比べて非常に少ない
ので、図５に示したように電極表面Ａとその周りのガラ
スとの間に隙間があっても、電極と金属箔の接合部、な
らびに金属箔の腐食を抑制することができ、結果的にラ
ンプ破裂も防止できる。さらに、長時間点灯におけるガ
ラス管の黒化および輝度低下もない。
素分圧を2.5×10-3[Pa]以下に規制し、かつ、放電室１
ａ内のハロゲンガス分圧が1×10-8〜1×10-6[μmol/m
m3]になるようにハロゲンガスを封入した。ここで、特
許第３２１９０８４号に記載のハロゲン含有量の上限を
1×10-6[μmol/mm3]まで広げたのは、製造（製品）のバ
ラツキを考慮すると、この範囲までハロゲンを導入した
方が黒化をより防止できるからである。このようなハロ
ゲンガス導入量の場合、従来の1×10-6〜１×10- 2[μmo
l/mm3]というハロゲンガス封入量に比べて非常に少ない
ので、図５に示したように電極表面Ａとその周りのガラ
スとの間に隙間があっても、電極と金属箔の接合部、な
らびに金属箔の腐食を抑制することができ、結果的にラ
ンプ破裂も防止できる。さらに、長時間点灯におけるガ
ラス管の黒化および輝度低下もない。
【００５８】しかし、上記の隙間は金属コイル３(３’)
が放電室１ａに完全に露出するような大きな隙間でない
ことが望ましい。金属コイル３(３’)が放電室１ａに完
全に露出していると、点灯開始直後、金属コイル４と対
向する反対側の金属コイル(４’)との間で放電が生じて
しまい、その結果ガラス管の黒化あるいは破裂を引き起
こす恐れがあるので、このような異常放電を防止する上
で望ましい。
が放電室１ａに完全に露出するような大きな隙間でない
ことが望ましい。金属コイル３(３’)が放電室１ａに完
全に露出していると、点灯開始直後、金属コイル４と対
向する反対側の金属コイル(４’)との間で放電が生じて
しまい、その結果ガラス管の黒化あるいは破裂を引き起
こす恐れがあるので、このような異常放電を防止する上
で望ましい。
【００５９】次に、本発明の高圧放電ランプの製造方法
の一例について説明する。図６に、本実施形態の高圧放
電ランプの概略構成を用いてＡ〜Ｉの工程を示す。
の一例について説明する。図６に、本実施形態の高圧放
電ランプの概略構成を用いてＡ〜Ｉの工程を示す。
【００６０】Ａ．バルブ成形工程：石英ガラス管を用い
て、中央に放電室１ａのための膨らみ部を持つバルブ１
を成形した。
て、中央に放電室１ａのための膨らみ部を持つバルブ１
を成形した。
【００６１】Ｂ．電極組立て工程：タングステン製の棒
状の電極４,４’に金属コイル３,３’を挿入し、電極
４,４’の端部とモリブテン箔６,６’のテーパ部５,
５’とを重ね合わせた後、その重ね合わせ部を覆う位置
に金属コイル３,３’を移動し固定させた後、圧着また
は溶接により、電極４,４’とモリブテン箔６,６’を接
続し、電極アセンブリ８,８’を作製した。なお、金属
コイル３,３’の移動及び固定は電極４,４’とモリブテ
ン箔６,６’を接続した後でも構わない。
状の電極４,４’に金属コイル３,３’を挿入し、電極
４,４’の端部とモリブテン箔６,６’のテーパ部５,
５’とを重ね合わせた後、その重ね合わせ部を覆う位置
に金属コイル３,３’を移動し固定させた後、圧着また
は溶接により、電極４,４’とモリブテン箔６,６’を接
続し、電極アセンブリ８,８’を作製した。なお、金属
コイル３,３’の移動及び固定は電極４,４’とモリブテ
ン箔６,６’を接続した後でも構わない。
【００６２】Ｃ．第１の電極組込み工程
電極アセンブリ８’をバルブ１の一端の開口１ｃ’より
挿入し、所定の位置に配置する。
挿入し、所定の位置に配置する。
【００６３】Ｄ．第１の排気工程
電極アセンブリ８’が配置されたバルブ１の開口１ｃ’
側を排気台（不図示）に取り付け、１０-2Ｐａ以下の真
空度まで排気後、不活性ガスを導入後、開口１ｃ’端を
ガスバーナ（不図示）で封じ切る（チップする）。
側を排気台（不図示）に取り付け、１０-2Ｐａ以下の真
空度まで排気後、不活性ガスを導入後、開口１ｃ’端を
ガスバーナ（不図示）で封じ切る（チップする）。
【００６４】Ｅ．第１の封止工程
バルブ１の封止部１ｂ’をガスバーナ等の局部加熱治具
（不図示）で約１７００℃で加熱し、封止部１ｂ’を形
成する石英ガラス内に、電極４’における冷却コイル
２’とは反対側端、リード棒７’の一端、および電極
４’とリード棒７’の間を中継したモリブテン箔６’を
埋設する。このとき、電極４’のガラスに埋まっている
部分のうちの、金属コイル３’が巻かれていない電極表
面と、この電極表面の周りのガラスとの間は気密に接し
ていてもいなくても構わない。
（不図示）で約１７００℃で加熱し、封止部１ｂ’を形
成する石英ガラス内に、電極４’における冷却コイル
２’とは反対側端、リード棒７’の一端、および電極
４’とリード棒７’の間を中継したモリブテン箔６’を
埋設する。このとき、電極４’のガラスに埋まっている
部分のうちの、金属コイル３’が巻かれていない電極表
面と、この電極表面の周りのガラスとの間は気密に接し
ていてもいなくても構わない。
【００６５】Ｆ．水銀導入工程
バルブ１の他端の開口１ｃから、０．２００ｍｇ/ｍｍ3
となる量の水銀（Ｈｇ）を専用治具（不図示）を用い
て、秤量・導入する。
となる量の水銀（Ｈｇ）を専用治具（不図示）を用い
て、秤量・導入する。
【００６６】Ｇ．第２の電極組込み工程
電極アセンブリ８をバルブ１の開口１ｃより挿入し、適
当な治具（不図示）を用いて、電極４と電極４’の間が
一定の間隔になるように配置する。
当な治具（不図示）を用いて、電極４と電極４’の間が
一定の間隔になるように配置する。
【００６７】Ｈ．第２の排気工程
バルブ１の開口１ｃ側より排気台（不図示）に取り付
け、放電室１ａ内の酸素（Ｏ）分圧が２．０×１０-3に
なるまで排気する。
け、放電室１ａ内の酸素（Ｏ）分圧が２．０×１０-3に
なるまで排気する。
【００６８】Ｉ．不活性ガス導入工程
バルブ１の開口１ｃから、５０ｋＰａとなる量のアルゴ
ンガスを導入する。
ンガスを導入する。
【００６９】Ｊ．ハロゲンガス導入工程
バルブ１の開口１ｃから、５×１０-7μｍｏｌ/ｍｍ3と
なる量の臭化メチレン（ＣＨ2Ｂｒ2）を導入する。その
後、バルブ１の開口１ｃ端をガスバーナ（不図示）で封
じ切る（チップする）。
なる量の臭化メチレン（ＣＨ2Ｂｒ2）を導入する。その
後、バルブ１の開口１ｃ端をガスバーナ（不図示）で封
じ切る（チップする）。
【００７０】Ｋ．第２の封止工程
バルブ１の封止部１ｂをガスバーナ等の局部加熱治具
（不図示）で約１７００℃で加熱し、封止部１ｂを形成
する石英ガラス内に、電極４における冷却コイル２とは
反対側端、リード棒７の一端、および電極４とリード棒
７の間を中継したモリブテン箔６を埋設する。このと
き、電極４のガラスに埋まっている部分のうちの、金属
コイル３が巻かれていない電極表面と、この電極表面の
周りのガラスとの間は気密に接していてもいなくても構
わない。以上により、本発明の高圧放電ランプが完成す
る。
（不図示）で約１７００℃で加熱し、封止部１ｂを形成
する石英ガラス内に、電極４における冷却コイル２とは
反対側端、リード棒７の一端、および電極４とリード棒
７の間を中継したモリブテン箔６を埋設する。このと
き、電極４のガラスに埋まっている部分のうちの、金属
コイル３が巻かれていない電極表面と、この電極表面の
周りのガラスとの間は気密に接していてもいなくても構
わない。以上により、本発明の高圧放電ランプが完成す
る。
【００７１】上記のような製造方法において、水銀導入
工程Ｆ、ハロゲンガス導入工程Ｊおよび不活性ガス導入
工程Ｉは相互に順序を入れ替えても差し支えなく、また
例えばハロゲンガスと不活性ガスとは予め混合して、ま
たは同時に放電室１ａ内に導入し、１工程を省略するこ
ともできる。
工程Ｆ、ハロゲンガス導入工程Ｊおよび不活性ガス導入
工程Ｉは相互に順序を入れ替えても差し支えなく、また
例えばハロゲンガスと不活性ガスとは予め混合して、ま
たは同時に放電室１ａ内に導入し、１工程を省略するこ
ともできる。
【００７２】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の高圧放電
ランプは、電極と金属箔の接合部近傍が金属コイルを介
在してガラスに埋設されているので、封止部形成後の冷
却過程において、ガラスと電極との熱膨張差によって生
じるガラスクラックの発生を防止することができる。さ
らに、前記金属箔の電極側の端部を先細り状のテーパ部
として形成し、かつ、前記電極の端部と接合された前記
テーパ部の電極側の先端を、その幅方向に関して前記電
極の径方向の幅内に規定していることにより、電極と金
属箔の接合部近傍に金属コイルを、金属箔を変形させな
いで配置できるので、金属箔でのガラス剥離や、電極と
金属箔の接合部周りにおける応力集中を緩和することが
できる。また、金属箔の電極側の端部がテーパ状に形成
され、金属コイルは電極の端部まで巻かれていることに
より、前記金属箔の電極側の端部だけでなく前記電極の
金属箔側の端部における応力集中も緩和することができ
る。すなわち、本発明の構造は、従来構造で起こり得る
種々のランプ破裂の要因を同時に解消するため、従来よ
りも著しく破損の少ないランプを提供することができ
る。
ランプは、電極と金属箔の接合部近傍が金属コイルを介
在してガラスに埋設されているので、封止部形成後の冷
却過程において、ガラスと電極との熱膨張差によって生
じるガラスクラックの発生を防止することができる。さ
らに、前記金属箔の電極側の端部を先細り状のテーパ部
として形成し、かつ、前記電極の端部と接合された前記
テーパ部の電極側の先端を、その幅方向に関して前記電
極の径方向の幅内に規定していることにより、電極と金
属箔の接合部近傍に金属コイルを、金属箔を変形させな
いで配置できるので、金属箔でのガラス剥離や、電極と
金属箔の接合部周りにおける応力集中を緩和することが
できる。また、金属箔の電極側の端部がテーパ状に形成
され、金属コイルは電極の端部まで巻かれていることに
より、前記金属箔の電極側の端部だけでなく前記電極の
金属箔側の端部における応力集中も緩和することができ
る。すなわち、本発明の構造は、従来構造で起こり得る
種々のランプ破裂の要因を同時に解消するため、従来よ
りも著しく破損の少ないランプを提供することができ
る。
【００７３】さらに、ランプの放電室内の残存酸素分圧
を2.5×10-3[Pa]以下に規定し、水銀の封入量を前記放
電室内の空間容積に対して0.12〜0.30[mg/mm3]の範囲、
前記ハロゲンガスの前記放電室内の分圧を1×10-8〜1×
10-6[μmol/mm3]の範囲としたことにより、長時間点灯
におけるガラス管の黒化および輝度低下が少なく、さら
に、電極と金属箔の接合部ならびに金属箔自体の、ハロ
ゲンガスによる腐食もない高圧放電ランプを提供するこ
とができる。
を2.5×10-3[Pa]以下に規定し、水銀の封入量を前記放
電室内の空間容積に対して0.12〜0.30[mg/mm3]の範囲、
前記ハロゲンガスの前記放電室内の分圧を1×10-8〜1×
10-6[μmol/mm3]の範囲としたことにより、長時間点灯
におけるガラス管の黒化および輝度低下が少なく、さら
に、電極と金属箔の接合部ならびに金属箔自体の、ハロ
ゲンガスによる腐食もない高圧放電ランプを提供するこ
とができる。
【００７４】このような、従来よりも極めてハロゲンガ
ス導入量の場合は、電極と金属箔の接合部、ならびに金
属箔のハロゲンガス腐食を抑制することができるため、
電極のガラスに埋まった部分とその周りのガラスとの間
に隙間があってもランプ破裂の問題はない。また、この
ような隙間をあけることで、ガラスと電極との熱膨張差
によって生じるガラスクラックも防止できる。
ス導入量の場合は、電極と金属箔の接合部、ならびに金
属箔のハロゲンガス腐食を抑制することができるため、
電極のガラスに埋まった部分とその周りのガラスとの間
に隙間があってもランプ破裂の問題はない。また、この
ような隙間をあけることで、ガラスと電極との熱膨張差
によって生じるガラスクラックも防止できる。
【図１】本発明の一つの実施形態による高圧放電ランプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】図１に示した電極、金属コイルおよびモリブテ
ン箔の形状について説明するための図である。
ン箔の形状について説明するための図である。
【図３】図１に示した電極とモリブテン箔の接合部周辺
の金属コイルの、より望ましいコイル巻きつけ位置を示
す要部断面図である。
の金属コイルの、より望ましいコイル巻きつけ位置を示
す要部断面図である。
【図４】図３に示した金属コイルの巻きつけ位置と比較
するための比較図である。
するための比較図である。
【図５】図１に示した電極のガラスに埋まった部分とそ
の周りのガラスとの気密状態について説明する図であ
る。
の周りのガラスとの気密状態について説明する図であ
る。
【図６】本発明の高圧放電ランプの製造方法の一例を説
明するための工程図である。
明するための工程図である。
【図７】従来の高圧放電ランプを示す要部断面図であ
る。
る。
【符号の説明】
１ バルブ
１ａ 放電室
１ｂ、１ｂ’ 封止部
２、２’ 冷却コイル
３、３’ 金属コイル
４、４’ 電極
５、５’ テーパ部
６、６’ モリブテン箔
６ａ 変化部
６ｂ カット面
７、７’ リード棒
８、８’ 電極アセンブリ
ｄ 金属コイルのコイル線径
Ｄ 電極径
Ｗ モリブテン箔のテーパ部以外の幅
Ｗｃ モリブテン箔の電極側の端部（テーパ部の先
端）の幅 Ｌ１ 金属コイルのコイル長 Ｌ２ モリブテン箔のテーパ部のカット長
端）の幅 Ｌ１ 金属コイルのコイル長 Ｌ２ モリブテン箔のテーパ部のカット長
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｊ 9/395 Ｈ０１Ｊ 9/395 Ｃ
Ｄ
61/12 61/12 Ａ
Claims (12)
- 【請求項１】 石英ガラス管内に形成された放電室と、
前記放電室内に一端が対向して配置された一対の電極
と、前記電極の他端と重ねて接合された金属箔と、前記
石英ガラス管の両端のガラス内に前記電極の他端および
前記金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する封止
部とを有する高圧放電ランプにおいて、 前記電極と前記金属箔の接合部近傍に金属コイルが巻き
つけられた状態で前記ガラスに埋設されており、 さらに前記金属箔の電極側の端部が先細り状のテーパ部
となっており、かつ、前記テーパ部の電極側の先端がそ
の幅方向に関して前記電極の径方向の幅内に在ることを
特徴とする高圧放電ランプ。 - 【請求項２】 前記放電室内に水銀、ハロゲンガス及び
不活性ガスが封入されている、請求項１に記載の高圧放
電ランプ。 - 【請求項３】 前記金属コイルは前記電極の金属箔側の
端部を覆うように巻かれている、請求項１又は２に記載
の高圧放電ランプ。 - 【請求項４】 前記金属箔のテーパ部の電極側の先端の
幅Ｗcは、前記電極の径をＤとしたとき、Ｗc≦Ｄ を満
たす寸法に規定されている、請求項１から３のいずれか
１項に記載の高圧放電ランプ。 - 【請求項５】 前記金属箔のテーパ部の電極側の先端の
幅Ｗcは、前記電極の径をＤとしたとき、Ｗc≦0.8Ｄ
を満たす寸法に規定されている、請求項４に記載の高圧
放電ランプ。 - 【請求項６】 前記金属コイルのコイル線径ｄは、前記
電極の径をＤとしたとき、Ｄ/8≦ｄ≦Ｄ/2 を満たす寸
法に規定されている、請求項１から５のいずれか１項に
記載の高圧放電ランプ。 - 【請求項７】 前記金属コイルのコイル長Ｌ１は、前記
電極の径をＤとしたとき、Ｌ１≧２Ｄ を満たす寸法に
規定されている、請求項１から６のいずれか１項に記載
の高圧放電ランプ。 - 【請求項８】 前記金属箔のテーパ部のカット長Ｌ２
は、前記金属箔の幅をＷとしたとき、Ｗ≦Ｌ２≦３Ｗ
を満たす寸法に規定されている、請求項１から７のいず
れか１項に記載の高圧放電ランプ。 - 【請求項９】 前記水銀は0.12[mg/mm3]以上封入され、
前記ハロゲンガスとしては塩素,臭素,ヨウ素のうち少な
くとも１つが前記放電室内のハロゲンガス分圧が1×10
-8〜1×10-6[μmol/mm3]となるように封入され、かつ、
前記放電室内の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下であ
る、請求項１から８のいずれか１項に記載の高圧放電ラ
ンプ。 - 【請求項１０】 前記電極のガラスに埋まっている部分
のうちの、前記金属コイルが巻かれていない電極表面
と、この電極表面の周りのガラスとの間が気密に接して
いない、請求項８に記載の高圧放電ランプ。 - 【請求項１１】 石英ガラス管内に形成された放電室
と、前記放電室内に一端が対向して配置された一対の電
極と、前記電極の他端と重ねて接合された金属箔と、前
記電極と前記金属箔の接合部近傍に巻きつけられた金属
コイルと、前記石英ガラス管の両端のガラス内に前記電
極の他端、前記金属コイルおよび前記金属箔を埋設して
前記放電室を気密に封止する封止部とを有し、さらに前
記金属箔の電極側の端部が先細り状のテーパ部とされ、
かつ、前記テーパ部の電極側の先端がその幅方向に関し
て前記電極の径方向の幅内に在り、前記放電室内に水
銀、ハロゲンガス及び不活性ガスが封入されている高圧
放電ランプを製造する方法であって、 石英ガラス管を用いて、前記放電室のための膨らみ部を
持つバルブを成形するバルブ成形工程と、 前記電極に金属コイルを挿入し、前記電極の端部と前記
金属箔のテーパ部とを重ね合わせた後、その重ね合わせ
部を覆う位置に前記金属コイルを移動して固定する前も
しくは後に、圧着または溶接により前記電極と前記金属
箔を接続することで、電極アセンブリを作製する電極組
立て工程と、 前記電極アセンブリを前記石英ガラス管の一端の開口に
挿入し、前記石英ガラス管の一端を加熱して、この一端
のガラス内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前
記金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する第１の
封止工程と、 前記石英ガラス管の他端の開口から前記放電室内の大気
（Ｏ）ガスを排気する排気工程と、 前記石英ガラス管の他端の開口から前記放電室内に前記
水銀、前記ハロゲンガス、および前記不活性ガスを導入
する導入工程と、 前記電極アセンブリを前記石英ガラス管の他端の開口に
挿入し、前記石英ガラス管の他端を加熱して、この他端
のガラス内に前記電極の他端、前記金属コイルおよび前
記金属箔を埋設して前記放電室を気密に封止する第２の
封止工程と、を有することを特徴とする高圧放電ランプ
の製造方法。 - 【請求項１２】 前記排気工程において、前記放電室内
の残存酸素分圧が2.5×10-3[Pa]以下となるように排気
するとともに、前記導入工程において、前記水銀の封入
量が前記放電室内の空間容積に対して0.12[mg/mm3]以上
となり、前記ハロゲンガスの前記放電室内の分圧が1×1
0-8〜1×10-6[μmol/mm3]の範囲となるように各々導入
する、請求項１１に記載の高圧放電ランプの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001388142A JP3555889B2 (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | 高圧放電ランプおよびその製造方法 |
| US10/318,211 US6693379B2 (en) | 2001-12-20 | 2002-12-13 | High-pressure discharge lamp and method of fabricating same |
| EP02090419A EP1329942A3 (en) | 2001-12-20 | 2002-12-20 | High-pressure discharge lamp and method of fabricating the same |
| US10/706,094 US6875072B2 (en) | 2001-12-20 | 2003-11-13 | High-pressure discharge lamp and method of fabricating same |
Applications Claiming Priority (1)
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