JP2003185689A - 電界測定装置、電界測定方法、プログラム、及び記憶媒体 - Google Patents

電界測定装置、電界測定方法、プログラム、及び記憶媒体

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JP2003185689A
JP2003185689A JP2001389617A JP2001389617A JP2003185689A JP 2003185689 A JP2003185689 A JP 2003185689A JP 2001389617 A JP2001389617 A JP 2001389617A JP 2001389617 A JP2001389617 A JP 2001389617A JP 2003185689 A JP2003185689 A JP 2003185689A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不要電磁波の発生源、伝達経路、放射源を切
り分けて特定する。 【解決手段】 被測定物102の任意の位置における測
定信号を基準信号として検出する基準信号入力部101
と、被測定物102から発生する電界を測定する電界セ
ンサ103と、表示部107とを備える。走査部104
が電界センサ103に対して、被測定物102近傍の複
数の位置で電界を測定させ、信号比較部105及び演算
処理部106が、電界センサ103によって測定された
各電界と、基準信号入力部101によって検出された基
準信号とに基づき、被測定物102における電界強度分
布位相変化を算出し、該算出された電界強度分布位相変
化を表示ぶ107に表示させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電界測定装置、電
界測定方法、プログラム、及び記憶媒体に関し、特に、
電子機器内から発生する不要電磁波に起因する電界分布
を測定する電界測定装置、該電界測定装置に適用される
電界測定方法、該電界測定方法をコンピュータに実行さ
せるためのプログラム、及び該プログラムを記憶した記
憶媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の高速化、高性能化など
に伴ない、電子機器から放射される不要電磁波が他の電
子機器へ与える影響が問題になっている。この不要電磁
波放射による他の電子機器への影響はEMI(Electrom
agnetic Interference)と呼ばれ、その主なものとし
て、無線機器、通信機器に発生する受信障害や、電子機
器の誤動作が挙げられる。
【0003】各国では30MHz〜1GHzあるいは3
0MHz〜2GHzの周波数帯域において電子機器から
発生する不要電磁波放射に対して規制を行っており、電
子機器メーカはこの規制に適合するように製品を設計製
造する必要がある。
【0004】電子機器から放射される不要電磁波を測定
する方法として、一般的には遠方界測定が行なわれる
が、電子機器内部の回路基板のみについては、その近傍
界強度分布を測定することが行われている。
【0005】近傍界強度分布を測定し、不要電磁波の発
生メカニズムを明らかにし、その発生抑制対策を行なう
ために使用される近傍界強度分布測定装置が、例えば特
開平11−500536号公報や、特開2000−19
204号公報などに提示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
の近傍界強度分布測定装置によって、回路基板単体を測
定した場合と、電子機器に組み込まれるとともに、筐体
やケーブルが接続された回路基板を測定した場合とで
は、不要電磁波の発生モードが異なる。したがって、近
傍界強度分布測定装置によって回路基板単体を測定して
得られた近傍界強度分布に基づき不要電磁波対策を施し
ても、電子機器全体における不要電磁波の発生抑制には
効果が現れない場合がある。こうしたことを考慮して、
回路基板単体に対して近傍界強度分布の測定を行わず、
回路基板を電子機器に組み込み、筐体やケーブルを接続
した状態で測定を行うようにしている。
【0007】しかしながら、回路基板を電子機器に組み
込み、筐体やケーブルを接続した状態で測定して得られ
た従来の近傍界強度分布測定結果は、図22に示すよう
に、不要電磁波放射をもたらす電流がどこから発生し、
どの経路を流れているかを正確に把握することができな
い。図22は、回路基板を電子機器に組み込み、筐体や
ケーブルを接続した状態の被測定物を、従来の近傍界強
度分布測定装置によって測定して得られた電流分布測定
結果の一例を示すイメージ図である。
【0008】そのため、不要電磁波の発生源と、不要電
磁波が発生源から他の部分に伝達される不要電磁波の伝
達経路と、不要電磁波が放射する放射源とを切り分けて
特定することが難しく、したがって、上記の電子機器全
体に亘る不要電磁波測定方法によっても不要電磁波の抑
制対策を的確に行うことが困難であった。
【0009】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、不要電磁波の発生源、伝達経路、放射
源を切り分けて特定することを可能にした電界測定装
置、電界測定方法、プログラム、及び記憶媒体を提供す
ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明によれば、被測定物の任意の位
置における測定信号を基準信号として検出する基準信号
検出手段と、前記被測定物から発生する電界を測定する
電界測定手段と、前記電界測定手段に対して、前記被測
定物近傍の複数の位置で電界を測定させる走査手段と、
前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
する算出手段と、前記算出手段によって算出された電界
強度分布位相変化を表示する表示手段とを有することを
特徴とする電界測定装置が提供される。
【0011】請求項18記載の発明によれば、基準信号
源に同期したクロック信号を発生し、被測定物に入力す
るクロック信号入力手段と、前記クロック信号入力に伴
い前記被測定物から発生する電界を測定する電界測定手
段と、前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の
複数の位置で電界を測定させる走査手段と、前記基準信
号源を内蔵し、前記電界測定手段によって測定された各
電界と前記基準信号源に同期した測定周波数の基準信号
とに基づき、前記被測定物における電界強度分布位相変
化を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出さ
れた電界強度分布位相変化を表示する表示手段とを有す
ることを特徴とする電界測定装置が提供される。
【0012】また、請求項26記載の発明によれば、被
測定物の任意の位置における測定信号を基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る電界を測定する電界測定手段と、表示装置とを備えた
電界測定装置に適用される電界測定方法において、前記
電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置
で電界を測定させる走査ステップと、前記電界測定手段
によって測定された各電界と、前記基準信号検出手段に
よって検出された基準信号とに基づき、前記被測定物に
おける電界強度分布位相変化を算出する算出ステップ
と、前記算出ステップによって算出された電界強度分布
位相変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを
有することを特徴とする電界測定方法が提供される。
【0013】請求項33記載の発明によれば、基準信号
源と、被測定物にクロック信号を入力するクロック信号
入力手段と、前記被測定物から発生する電界を測定する
電界測定手段と、表示装置とを備えた電界測定装置に適
用される電界測定方法において、前記クロック信号と測
定周波数の基準信号とを、前記基準信号源に同期させる
とともに、該基準信号源の位相を連続的に変化させる基
準信号源制御ステップと、前記電界測定手段に対して、
前記被測定物近傍の複数の位置で電界を測定させる走査
ステップと、前記電界測定手段によって測定された各電
界と前記基準信号源に同期した測定周波数の基準信号と
に基づき、前記被測定物における電界強度分布位相変化
を算出する算出ステップと、前記算出ステップによって
算出された電界強度分布位相変化を前記表示装置に表示
させる表示ステップとを有することを特徴とする電界測
定方法が提供される。
【0014】また、請求項34記載の発明によれば、被
測定物の任意の位置における測定信号を基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る電界を測定する電界測定手段と、表示装置とを備えた
電界測定装置に適用される電界測定方法を、コンピュー
タに実行させるためのプログラムにおいて、前記電界測
定方法が、前記電界測定手段に対して、前記被測定物近
傍の複数の位置で電界を測定させる走査ステップと、前
記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基準
信号検出手段によって検出された基準信号とに基づき、
前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出する
算出ステップと、前記算出ステップによって算出された
電界強度分布位相変化を前記表示装置に表示させる表示
ステップとを有することを特徴とするプログラムが提供
される。
【0015】請求項41記載の発明によれば、基準信号
源と、被測定物にクロック信号を入力するクロック信号
入力手段と、前記被測定物から発生する電界を測定する
電界測定手段と、表示装置とを備えた電界測定装置に適
用される電界測定方法を、コンピュータに実行させるた
めのプログラムにおいて、前記電界測定方法が、前記ク
ロック信号と測定周波数の基準信号とを、前記基準信号
源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を連続的
に変化させる基準信号源制御ステップと、前記電界測定
手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置で電界を
測定させる走査ステップと、前記電界測定手段によって
測定された各電界と前記基準信号源に同期した測定周波
数の基準信号とに基づき、前記被測定物における電界強
度分布位相変化を算出する算出ステップと、前記算出ス
テップによって算出された電界強度分布位相変化を前記
表示装置に表示させる表示ステップとを有することを特
徴とするプログラムが提供される。
【0016】さらに、請求項42記載の発明によれば、
被測定物の任意の位置における測定信号を基準信号とし
て検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生
する電界を測定する電界測定手段と、表示装置とを備え
た電界測定装置に適用される電界測定方法を、プログラ
ムとして記憶した、コンピュータにより読み出し可能な
記憶媒体において、前記電界測定方法が、前記電界測定
手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置で電界を
測定させる走査ステップと、前記電界測定手段によって
測定された各電界と、前記基準信号検出手段によって検
出された基準信号とに基づき、前記被測定物における電
界強度分布位相変化を算出する算出ステップと、前記算
出ステップによって算出された電界強度分布位相変化を
前記表示装置に表示させる表示ステップとを有すること
を特徴とする記憶媒体が提供される。
【0017】請求項49記載の発明によれば、基準信号
源と、被測定物にクロック信号を入力するクロック信号
入力手段と、前記被測定物から発生する電界を測定する
電界測定手段と、表示装置とを備えた電界測定装置に適
用される電界測定方法を、プログラムとして記憶した、
コンピュータにより読み出し可能な記憶媒体において、
前記電界測定方法が、前記クロック信号と測定周波数の
基準信号とを、前記基準信号源に同期させるとともに、
該基準信号源の位相を連続的に変化させる基準信号源制
御ステップと、前記電界測定手段に対して、前記被測定
物近傍の複数の位置で電界を測定させる走査ステップ
と、前記電界測定手段によって測定された各電界と前記
基準信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
する算出ステップと、前記算出ステップによって算出さ
れた電界強度分布位相変化を前記表示装置に表示させる
表示ステップとを有することを特徴とする記憶媒体が提
供される。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。
【0019】(第1の実施形態)図1は、本発明に係る
電界測定装置の第1の実施の形態の構成を示すブロック
図である。
【0020】第1の実施の形態における電界測定装置
は、基準信号入力部101と、電界センサ103と、走
査部104と、信号比較部105と、演算処理部106
と、表示部107と、制御部108とから構成される。
【0021】測定者が、ある任意の周波数の電界強度分
布を測定する場合、基準信号入力部101は、被測定物
102の任意の位置における検出信号を基準信号とし、
信号比較部105へ出力する。電界センサ103は複数
のセンサから成り、被測定物102の近傍に配されて被
測定物102の近傍電界を測定し、走査部104の制御
に従って測定信号を信号比較部105へ出力する。走査
部104は、電界センサ103の各センサの出力を順に
選択走査して、各センサからの測定信号を信号比較部1
05へ出力させる。
【0022】信号比較部105は、電界センサ103か
ら出力された測定信号と、基準信号入力部101から出
力された基準信号とを、任意の測定周波数の振幅及び位
相において比較し、その比較結果を演算処理部106へ
出力する。演算処理部106は、信号比較部105から
送られた比較結果を基に、被測定物102近傍の各位置
で測定された電界強度に対して、予め求めてある電界セ
ンサ103の周波数特性、位相特性による較正係数や、
被測定物102と電界センサ103との間の距離による
較正係数を用いて較正を行う。
【0023】この較正された電界強度は、走査部104
による走査によって電界強度分布となり、また基準信号
の位相が変化することにより、該電界強度分布が変化す
る。演算処理部106は、こうした電界強度分布の位相
変化を、表示部107に動画表示できるように処理す
る。表示部107は、電界強度分布やその位相変化を、
ユーザの指定に従った表示方式によって表示する。
【0024】制御部108は、走査部104、信号比較
部105、演算処理部106、表示部107を制御す
る。
【0025】次に、本実施の形態における測定原理につ
いて、図1を参照して説明する。
【0026】ここで、基準信号入力部101が、被測定
物102上の所定の位置から基準信号Acosωtを検
出したとする。
【0027】このとき、被測定物102の近傍のある点
において電界Eが発生しているものとする。この電界E
は、下記のように表される。
【0028】 E=aAcos(ωt+θ) … (1) ここで、aは基準信号に対する振幅比、θは基準信号に
対する位相差である。
【0029】なお、電界Eの振幅は基準信号に対する振
幅比から求めてもよいし、電界センサ103による測定
値から直接求めてもよい。
【0030】そして、被測定物102上に配置された複
数のセンサから成る電界センサ103の各々を走査部1
04により走査し、被測定物102近傍の電界を複数の
位置で測定し、演算処理部106で上記の演算を行い、
電界強度分布の位相変化を求める。
【0031】次に、第1の実施の形態における電界測定
装置において行われる電界強度分布位相変化の算出処理
を、図2を参照して説明する。
【0032】図2は、電界強度分布位相変化の算出処理
の手順を示すフローチャートである。なおここでは、被
測定物102上のN個の位置において電界測定を行うも
のとする。以下、ステップに沿って説明する。
【0033】ステップS1:制御変数nを1に設定す
る。
【0034】ステップS2:被測定物102上の第n位
置において基準信号値と電界測定値を入手する。
【0035】ステップS3:信号比較部105におい
て、入手した基準信号値と電界測定値とから基準信号に
対する測定電界の振幅比、位相差の算出を行う。
【0036】ステップS4:演算処理部106におい
て、算出された振幅比、位相差に対して較正を行う。
【0037】ステップS5:制御変数nに1を加算す
る。
【0038】ステップS6:新たに得られた制御変数n
がNよりも大きいか否かを判別する。制御変数nがN以
下であれば、ステップS3へ戻る。一方、制御変数nが
Nよりも大きいならば、被測定物102上のN個の全測
定位置における位相情報を持った電界強度の算出を終え
て、電界強度分布が得られたとして、本処理を終了す
る。
【0039】ステップS7:測定した電界強度分布にお
ける位相を変化させ、任意の位相における電界強度分布
を表示部107に表示する。
【0040】図3は、上記の電界強度分布位相変化の算
出処理によって得られた位相情報を持った電界強度分布
のデータイメージを示す図である。
【0041】ここでは、被測定物102のある平面上の
16点の測定位置で電界を測定したものとする。この1
6点の測定位置には、それぞれ基準信号Acosωtに
対して、振幅比a〜p、位相差θ1〜θ16を持つ電界強
度データが存在し、ここでωtの位相を変化させること
により電界強度分布の位相変化を知ることができる。そ
のため、被測定物102の任意の位置で検出された基準
信号Acosωtの位相を変化させると、電界強度分布
の変化が発生し、これを表示部107において動画表示
することにより、不要電磁波放射に影響する電界の発生
源などを視覚的に知ることができる。
【0042】次に、第1の実施の形態における電界測定
装置が被測定物102を測定して得られた測定結果の2
つの例について説明する。
【0043】図4は、被測定物の第1の例を示す図であ
る。
【0044】この例では、被測定物102aが、特性イ
ンピーダンス50Ωのマイクロストリップライン102
bと50Ωの終端抵抗102cとで構成されており、マ
イクロストリップライン102bに信号が供給されてい
る。
【0045】図5は、被測定物の第2の例を示す図であ
る。
【0046】この例では、被測定物102dが、特性イ
ンピーダンス50Ωのマイクロストリップライン102
eだけで構成されており、マイクロストリップライン1
02eに信号が供給されている。マイクロストリップラ
イン102eは開放されている。
【0047】図6及び図7は、図4に示す被測定物10
2aを、第1の実施の形態における電界測定装置により
測定を行った結果得られた電界強度分布を示す図であ
り、位相が30°間隔で変化して場合を示す。また、図
8及び図9は、図5に示す被測定物102dを、第1の
実施の形態における電界測定装置により測定を行った結
果得られた電界強度分布を示す図であり、位相が30°
間隔で変化して場合を示す。
【0048】こうした図6〜図9から分かるように、図
6及び図7に示す電界強度分布では進行波が、図8及び
図9に示す電界強度分布では定在波が発生しており、ユ
ーザは表示部107の表示をみることにより、こうした
発生を視覚的に確認することができる。
【0049】なお、基準信号の位相を連続的に変化させ
ることによって得られる電界強度分布の変化を表示部1
07に動画表示することにより、現象を直感的に理解す
ることが可能である。
【0050】また、電界強度分布の表示形式として、基
準信号の位相変化に伴なう電界強度分布の変化を動画表
示する他、基準信号のある位相における電界強度分布の
静止画表示、基準信号の全ての位相における電界強度分
布を示す静止画表示などの中から、測定者が制御部10
8において所望の表示形式を選び、制御部108がこの
選択された表示形式を表示部107に指示するようにし
てもよい。
【0051】なおまた、電界センサ103を、移動可能
な1つのセンサで構成し、走査部104が該電界センサ
103を被測定物102上で移動させて走査し、これに
より被測定物102近傍の各位置での電界を測定するよ
うにしてもよい。また、複数の電界センサをアレイ状に
配置して、それらを高速に切り替えて電界を測定しても
よい。
【0052】(第2の実施の形態)次に第2の実施の形
態を説明する。
【0053】図10は、本発明に係る電界測定装置の第
2の実施の形態の構成を示すブロック図である。第2の
実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態と同じ
である。そこで、図1に示す第1の実施の形態と同じ構
成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略し、
異なる部分だけを説明する。
【0054】第2の実施の形態では、信号比較部とし
て、ベクトルシグナルアナライザ201を用い、基準信
号入力部101からベクトルシグナルアナライザ201
までの間にバンドパスフィルタ(BPF)202とダウ
ンコンバータ203とを設け、電界センサ103からベ
クトルシグナルアナライザ201までの間にバンドパス
フィルタ(BPF)204とダウンコンバータ205と
を設ける。
【0055】バンドパスフィルタ202,204は、基
準信号入力部101から出力された基準信号と、電界セ
ンサ103から出力された測定信号とをそれぞれ取り込
み、測定対象の所定周波数成分のみをダウンコンバータ
203,205にそれぞれ出力する。ダウンコンバータ
203,205はそれぞれ、共通の局部発信器206と
ミキサ207、208とから構成されており、ダウンコ
ンバータ203,205へ入力された信号は、10MH
z以下の信号にそれぞれ周波数変換され、ベクトルシグ
ナルアナライザ201に出力される。
【0056】ベクトルシグナルアナライザ201では、
10MHz以下に周波数変換された基準信号と測定信号
とを振幅及び位相において比較を行う。
【0057】なお、ベクトルシグナルアナライザ201
は10MHzの基準信号源を内蔵し、ダウンコンバータ
203,205に内蔵された共通の局部発振器206
が、このベクトルシグナルアナライザ201の基準信号
源から送られたRef信号に同期する。これによって、
周波数確度をあげている。
【0058】演算処理部106は、第1の実施の形態と
同様に、ベクトルシグナルアナライザ201の比較結果
に基づいて、位相情報を持った電界強度を算出する。走
査部104による走査によって電界強度分布が得られ、
さらに基準信号の位相が変化することによって上記電界
強度分布が変化し、これが表示部107において動画表
示される。
【0059】なお、走査部104による走査は、複数の
センサから成る電界センサの各センサの出力を順に選択
走査して、各センサからの測定信号をバンドパスフィル
タ204へ出力させる構成でもよく、また、1つのセン
サから成る電界センサを被測定物102上で移動して複
数の位置で測定を行い、得られた各測定信号をバンドパ
スフィルタ204へ出力させる構成でもよい。
【0060】また、第1の実施の形態と同様に、表示部
107が、複数の表示方式のうちの指示された表示方式
で表示を行うようにしてもよい。
【0061】走査部104、ダウンコンバータ203,
205、ベクトルシグナルアナライザ201、演算処理
部106、表示部107は制御部108により制御され
る。
【0062】次に、第2の実施の形態における基準信号
入力部101の具体的な構成例について説明する。
【0063】図11は、基準信号入力部101の第1の
構成例を示す図である。
【0064】第1の構成例では、基準信号入力部101
を電界センサ306で構成する。
【0065】図中、被測定物301が、例えばIC30
2,308がそれぞれ搭載された回路基板303,30
9、シャーシ304、ケーブル305などから構成され
る。
【0066】基準信号入力部101である電界センサ3
06は、被測定物301の所定位置に固定され、電界の
信号形態で基準信号を検出する。また、電界センサ10
3は、走査部104からの制御により被測定物301近
傍を走査移動する構成になっており、走査領域における
複数の所定の位置で電界を測定する。
【0067】図12は、基準信号入力部101の第2の
構成例を示す図である。
【0068】第2の構成例では、基準信号入力部101
を磁界ループプローブ307で構成する。
【0069】図11と同様に、被測定物301が、例え
ばIC302,308がそれぞれ搭載された回路基板3
03,309、シャーシ304、ケーブル305などか
ら構成される。
【0070】基準信号入力部101である磁界ループプ
ローブ307は、被測定物301の所定位置に固定さ
れ、磁界の信号形態で基準信号を検出する。また、電界
センサ103は、走査部104からの制御により被測定
物301近傍を走査移動する構成になっており、走査領
域における複数の所定の位置で電界を測定する。
【0071】図13は、基準信号入力部101の第3の
構成例を示す図である。
【0072】第3の構成例では、基準信号入力部101
を導体接触端子311で構成する。
【0073】図11と同様に、被測定物301が、例え
ばIC302,308がそれぞれ搭載された回路基板3
03,309、シャーシ304、ケーブル305などか
ら構成される。
【0074】基準信号入力部101である導電接触端子
311は、被測定物301の信号線312やICピン3
10などに導電接触できる任意の位置に固定され、そこ
から基準信号を検出する。また、電界センサ103は、
走査部104からの制御により、被測定物301近傍を
走査移動する構成になっており、走査領域における所定
の各位置で電界を測定する。
【0075】(第3の実施の形態)次に第3の実施の形
態を説明する。
【0076】図14は、本発明に係る電界測定装置の第
3の実施の形態の構成を示すブロック図である。第3の
実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態と同じ
である。そこで、図1に示す第1の実施の形態と同じ構
成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略し、
異なる部分だけを説明する。
【0077】第3の実施の形態では、信号比較部とし
て、ベクトルシグナルアナライザ401を用い、基準信
号入力部101からベクトルシグナルアナライザ401
までの間にスペクトラムアナライザ402とダウンコン
バータ403とを設け、電界センサ103からベクトル
シグナルアナライザ401までの間にスペクトラムアナ
ライザ404とダウンコンバータ405とを設ける。
【0078】スペクトラムアナライザ402,404
は、基準信号入力部101から出力された基準信号と、
電界センサ103から出力された測定信号とをそれぞれ
取り込み、測定対象の所定周波数成分のみをIF信号
(一般的に21.4MHzを使用)に変換してダウンコ
ンバータ403,405にそれぞれ出力する。ダウンコ
ンバータ403,404では、これらのIF信号をさら
に10MHz以下の信号にそれぞれ周波数変換し、ベク
トルシグナルアナライザ401に出力する。ベクトルシ
グナルアナライザ401では、10MHz以下に周波数
変換された基準信号と測定信号とを振幅及び位相におい
て比較を行う。
【0079】なお、ベクトルシグナルアナライザ401
は10MHzの基準信号源を内蔵し、スペクトラムアナ
ライザ402,404及びダウンコンバータ403,4
05にそれぞれ内蔵された局部発振器が、このベクトル
シグナルアナライザ401の基準信号源から送られたR
ef信号に基づき同期するように構成され、これによっ
て周波数確度をあげている。
【0080】演算処理部106は、第1の実施の形態と
同様に、ベクトルシグナルアナライザ401の比較結果
に基づいて、位相情報を持った電界強度を算出する。走
査部104による走査によって電界強度分布が得られ、
さらに基準信号の位相が変化することによって上記電界
強度分布が変化し、これが表示部107において動画表
示される。
【0081】なお、走査部104による走査は、複数の
センサから成る電界センサの各センサの出力を順に選択
走査して、各センサからの測定信号をスペクトルアナラ
イザ404へ出力させる構成でもよく、また、1つのセ
ンサから成る電界センサを被測定物102上で移動して
複数の位置で測定を行い、得られた各測定信号をスペク
トルアナライザ404へ出力させる構成でもよい。ま
た、表示部107が、複数の表示方式のうちの指示され
た表示方式で表示を行うようにしてもよい。
【0082】走査部104、ベクトルシグナルアナライ
ザ401、演算処理部106、表示部107は制御部1
08により制御される。
【0083】(第4の実施の形態)次に第4の実施の形
態を説明する。
【0084】図15は、本発明に係る電界測定装置の第
4の実施の形態の構成を示すブロック図である。第4の
実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態と同じ
である。そこで、図1に示す第1の実施の形態と同じ構
成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略し、
異なる部分だけを説明する。
【0085】第4の実施の形態では、信号比較部として
ベクトルネットワークアナライザ501を用いる。ベク
トルネットワークアナライザ501では、基準信号入力
部101から出力された基準信号がRチャンネルに入力
され、一方、電界センサ103から出力された測定信号
がAチャンネルに入力され、基準信号と測定信号とが振
幅及び位相において比較される。
【0086】なお、走査部104、ベクトルネットワー
クアナライザ501、演算処理部106、表示部107
は制御部108により制御されている。
【0087】(第5の実施の形態)次に第5の実施の形
態を説明する。
【0088】図16は、本発明に係る電界測定装置の第
5の実施の形態の構成を示すブロック図である。第5の
実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態と同じ
である。そこで、図1に示す第1の実施の形態と同じ構
成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略し、
異なる部分だけを説明する。
【0089】第5の実施の形態では、被測定物102の
電気回路に任意の周波数のクロック信号を出力する信号
発生部601を新たに設ける。信号発生部601は、制
御部108の制御に従い任意の周波数のクロック信号を
出力する。
【0090】信号比較部105は10MHzの基準信号
源を内蔵し、信号発生部601は、この基準信号源と同
期してクロック信号を発生し、これによってクロック信
号の周波数確度をあげている。
【0091】信号発生部601、走査部104、信号比
較部105、演算処理部106、表示部107は制御部
108により制御されている。
【0092】(第6の実施の形態)次に第6の実施の形
態を説明する。
【0093】図17は、本発明に係る電界測定装置の第
6の実施の形態の構成を示すブロック図である。第6の
実施の形態の構成は、基本的に第4の実施の形態と同じ
である。そこで、図15に示す第4の実施の形態と同じ
構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。
【0094】第6の実施の形態では、被測定物102の
電気回路にクロック信号を出力するパルスジェネレータ
701を新たに設ける。パルスジェネレータ701は、
制御部108の制御に従い、任意の周波数のクロック信
号を出力する。なお、ベクトルネットワークアナライザ
501は10MHzの基準信号源を内蔵する。
【0095】パルスジェネレータ701内部の局部発振
器は、ベクトルネットワークアナライザ501の基準信
号源から送られたRef信号に同期してクロック信号を
発生し、これによってクロック信号の周波数確度をあげ
ている。
【0096】パルスジェネレータ701、ベクトルネッ
トワークアナライザ501、走査部104、演算処理部
106、表示部107は制御部108により制御されて
いる。
【0097】(第7の実施の形態)次に第7の実施の形
態を説明する。
【0098】図18は、本発明に係る電界測定装置の第
7の実施の形態の構成を示すブロック図である。第7の
実施の形態の構成は、基本的に第2の実施の形態と同じ
である。そこで、図10に示す第2の実施の形態と同じ
構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。
【0099】第7の実施の形態では、被測定物102の
電気回路にクロック信号を出力するパルスジェネレータ
801を新たに設ける。パルスジェネレータ801は、
制御部108の制御に従い、任意の周波数のクロック信
号を出力する。なお、ベクトルシグナルアナライザ20
1は10MHzの基準信号源を内蔵する。
【0100】パルスジェネレータ801内部の局部発振
器は、ベクトルシグナルアナライザ201の基準信号源
から送られるRef信号に同期してクロック信号を発生
し、また、ダウンコンバータ203及びダウンコンバー
タ205内部の共通の局部発振器206も、ベクトルシ
グナルアナライザ201の基準信号源からのRef信号
に同期し、周波数確度をあげている。
【0101】パルスジェネレータ801、ベクトルシグ
ナルアナライザ201、走査部104、演算処理部10
6、表示部107は制御部108により制御されてい
る。
【0102】(第8の実施の形態)次に第8の実施の形
態を説明する。
【0103】図19は、本発明に係る電界測定装置の第
8の実施の形態の構成を示すブロック図である。第8の
実施の形態の構成は、基本的に第3の実施の形態と同じ
である。そこで、図14に示す第3の実施の形態と同じ
構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。
【0104】第8の実施の形態では、被測定物102の
電気回路にクロック信号を出力するパルスジェネレータ
901を新たに設ける。パルスジェネレータ901は、
制御部108の制御に従い、任意の周波数のクロック信
号を出力する。なお、ベクトルシグナルアナライザ40
1は10MHzの基準信号源を内蔵する。
【0105】パルスジェネレータ901内部の局部発振
器は、ベクトルシグナルアナライザ401の基準信号源
から送られたRef信号に同期してクロック信号を発生
し、また、スペクトラムアナライザ402,404及び
ダウンコンバータ403,405内部の各局部発振器
も、ベクトルシグナルアナライザ401の基準信号源か
ら送られたRef信号に同期し、周波数確度をあげてい
る。
【0106】パルスジェネレータ901、ベクトルシグ
ナルアナライザ401、走査部104、演算処理部10
6、表示部107は制御部108により制御されてい
る。
【0107】(第9の実施の形態)次に第9の実施の形
態を説明する。
【0108】図20は、本発明に係る電界測定装置の第
9の実施の形態の構成を示すブロック図である。第9の
実施の形態の構成は、基本的に第5の実施の形態と同じ
である。そこで、図16に示す第5の実施の形態と同じ
構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。
【0109】第9の実施の形態では、第5の実施の形態
における基準信号入力部101が取り除かれている。そ
の代わり、第5の実施の形態における信号比較部105
に相当する信号比較部1001は、10MHzの基準信
号源を内蔵し、この基準信号源に同期して測定周波数の
基準信号を内部で発生し、電界センサ103から出力さ
れた測定信号とこの測定周波数の基準信号とを、振幅及
び位相において比較する。
【0110】信号発生部601は、第5の実施の形態と
同様に、信号比較部1001の基準信号源と同期して任
意の周波数のクロック信号を発生するとともに、制御部
108からの制御に従い、基準信号の位相を変化させ
る。こうして作成されたクロック信号は、被測定物10
2の電気回路に印加される。
【0111】信号発生部601、走査部104、信号比
較部1001、演算処理部106、表示部107は制御
部108により制御されている。
【0112】(第10の実施の形態)次に第10の実施
の形態を説明する。
【0113】図21は、本発明に係る電界測定装置の第
10の実施の形態の構成を示すブロック図である。第1
0の実施の形態の構成は、基本的に第9の実施の形態と
同じである。そこで、図20に示す第9の実施の形態と
同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省
略し、異なる部分だけを説明する。
【0114】第10の実施の形態では、第9の実施の形
態における信号比較部1001に代わってベクトルシグ
ナルアナライザ1101を設けるとともに、信号発生部
601に代わってパルスジェネレータ1102を設け
る。
【0115】第10の実施の形態でも、第9の実施の形
態と同様に、ベクトルシグナルアナライザ1101が、
10MHzの基準信号源を内蔵し、この基準信号源に同
期して測定周波数の基準信号を内部で発生し、電界セン
サ103から出力された測定信号とこの測定周波数の基
準信号とを、振幅及び位相において比較する。パルスジ
ェネレータ1102は、ベクトルシグナルアナライザ1
101の基準信号源と同期して任意の周波数のクロック
信号を発生するとともに、制御部108からの制御に従
い、基準信号の位相を変化させる。こうして作成された
クロック信号は、被測定物102の電気回路に印加され
る。
【0116】パルスジェネレータ1102、走査部10
4、ベクトルシグナルアナライザ1101、演算処理部
106、表示部107は制御部108により制御されて
いる。
【0117】(他の実施の形態)前述した各実施の形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
憶した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そ
のシステムあるいは装置のコンピュータ(またはCPU
やMPU)が記憶媒体に格納されたプログラムコードを
読み出して実行することによっても、本発明が達成され
ることは言うまでもない。
【0118】この場合、記憶媒体から読み出されたプロ
グラムコード自体が、前述の各実施の形態の機能を実現
することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶
媒体が本発明を構成することになる。
【0119】プログラムコードを供給するための記憶媒
体として、例えば、フロッピー(登録商標)ディスク、
ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、CD−
ROM、CD−R、磁気テープ、不揮発性のメモリカー
ド、ROMなどを用いることができる。
【0120】また、コンピュータが読み出したプログラ
ムコードを実行することにより、前述した各実施の形態
の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコード
の指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているOSな
どが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によ
って前述した各実施の形態の機能が実現される場合も、
本発明に含まれることは言うまでもない。
【0121】さらに、記憶媒体から読み出されたプログ
ラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボー
ドやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わ
るメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指
示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに
備わるCPUなどが実際の処理の一部または全部を行
い、その処理によって前述した各実施の形態の機能が実
現される場合も、本発明に含まれることは言うまでもな
い。
【0122】
【発明の効果】以上詳述したように請求項1、請求項2
6、請求項34または請求項42記載の発明によれば、
被測定物の任意の位置における測定信号を基準信号とし
て検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生
する電界を測定する電界測定手段と、表示装置とを備
え、前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複
数の位置で電界を測定させ、前記電界測定手段によって
測定された各電界と、前記基準信号検出手段によって検
出された基準信号とに基づき、前記被測定物における電
界強度分布位相変化を算出し、該算出された電界強度分
布位相変化を前記表示装置に表示させる。
【0123】また、請求項18、請求項33、請求項4
1または請求項49記載の発明によれば、基準信号源
と、被測定物にクロック信号を入力するクロック信号入
力手段と、前記被測定物から発生する電界を測定する電
界測定手段と、表示装置とを備え、前記クロック信号と
測定周波数の基準信号とを、前記基準信号源に同期させ
るとともに、該基準信号源の位相を連続的に変化させ、
前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で電界を測定させ、前記電界測定手段によって測定
された各電界と前記基準信号源に同期した測定周波数の
基準信号とに基づき、前記被測定物における電界強度分
布位相変化を算出し、該算出された電界強度分布位相変
化を前記表示装置に表示させる。
【0124】ここで、基準信号の位相が変化することに
より、表示装置に表示される画像が変化し、これによっ
て、この画像を見たユーザは、不要電磁波の発生源、伝
達経路、放射源を切り分けて特定することが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電界測定装置の第1の実施の形態
の構成を示すブロック図である。
【図2】電界強度分布位相変化の算出処理の手順を示す
フローチャートである。
【図3】電界強度分布位相変化の算出処理によって得ら
れた位相情報を持った電界強度分布のデータイメージを
示す図である。
【図4】被測定物の第1の例を示す図である。
【図5】被測定物の第2の例を示す図である。
【図6】図4に示す被測定物を、第1の実施の形態にお
ける電界測定装置により測定を行った結果得られた電界
強度分布を位相毎に示す図である。
【図7】図4に示す被測定物を、第1の実施の形態にお
ける電界測定装置により測定を行った結果得られた電界
強度分布を位相毎に示す図である。
【図8】図5に示す被測定物を、第1の実施の形態にお
ける電界測定装置により測定を行った結果得られた電界
強度分布を位相毎に示す図である。
【図9】図5に示す被測定物を、第1の実施の形態にお
ける電界測定装置により測定を行った結果得られた電界
強度分布を位相毎に示す図である。
【図10】本発明に係る電界測定装置の第2の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図11】基準信号入力部の第1の構成例を示す図であ
る。
【図12】基準信号入力部の第2の構成例を示す図であ
る。
【図13】基準信号入力部の第3の構成例を示す図であ
る。
【図14】本発明に係る電界測定装置の第3の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図15】本発明に係る電界測定装置の第4の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図16】本発明に係る電界測定装置の第5の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図17】本発明に係る電界測定装置の第6の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図18】本発明に係る電界測定装置の第7の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図19】本発明に係る電界測定装置の第8の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図20】本発明に係る電界測定装置の第9の実施の形
態の構成を示すブロック図である。
【図21】本発明に係る電界測定装置の第10の実施の
形態の構成を示すブロック図である。
【図22】回路基板を電子機器に組み込み、筐体やケー
ブルを接続した状態の被測定物を、従来の近傍界強度分
布測定装置によって測定して得られた電流分布測定結果
の一例を示すイメージ図である。
【符号の説明】
101 基準信号入力部(基準信号検出手段) 102 被測定物 103 電界センサ(電界測定手段) 104 走査部(走査手段) 105 信号比較部(算出手段、信号比較手段) 106 演算処理部(算出手段、演算手段) 107 表示部(表示手段) 108 制御部 201 ベクトルシグナルアナライザ 202 バンドパスフィルタ 203 ダウンコンバータ 204 バンドパスフィルタ 205 ダウンコンバータ 206 局部発信器 207 ミキサ 208 ミキサ 301 被測定物 302 IC 303 回路基板 304 シャーシ 305 ケーブル 306 電界センサ 307 磁界ループプローブ 308 IC 309 回路基板 310 ICピン 311 導電接触端子 312 信号線 401 ベクトルシグナルアナライザ 402 スペクトラムアナライザ 403 ダウンコンバータ 404 スペクトラムアナライザ 405 ダウンコンバータ 501 ベクトルネットワークアナライザ 601 信号発生部 701 パルスジェネレータ 801 パルスジェネレータ 901 パルスジェネレータ 1001 信号比較部 1101 ベクトルシグナルアナライザ 1102 パルスジェネレータ

Claims (49)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物の任意の位置における測定信号
    を基準信号として検出する基準信号検出手段と、 前記被測定物から発生する電界を測定する電界測定手段
    と、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査手段と、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
    き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
    する算出手段と、 前記算出手段によって算出された電界強度分布位相変化
    を表示する表示手段とを有することを特徴とする電界測
    定装置。
  2. 【請求項2】 前記電界測定手段は、前記被測定物近傍
    の複数の位置にそれぞれ配置された複数の電界センサか
    ら構成され、 前記走査手段は、前記複数の電界センサのうち1つを順
    次指定し、該指定した電界センサが測定した電界を前記
    算出手段に出力させることを特徴とする請求項1記載の
    電界測定装置。
  3. 【請求項3】 前記電界測定手段は、前記被測定物近傍
    を移動自在な単一の電界センサから構成され、 前記走査手段は、前記単一の電界センサを前記被測定物
    近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で電界
    の測定を行わせ、該測定された各電界を前記算出手段に
    出力させることを特徴とする請求項1記載の電界測定装
    置。
  4. 【請求項4】 前記表示手段は、前記電界強度分布を表
    示する複数の表示方法のうち1つを指定され、該指定に
    従った表示方法によって前記電界強度分布位相変化を表
    示することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれ
    かに記載の電界測定装置。
  5. 【請求項5】 前記複数の表示方法のうち1つは、前記
    基準信号の位相が連続的に変化された場合に生ずる前記
    電界強度分布位相変化を、動画表示する表示方法である
    ことを特徴とする請求項4記載の電界測定装置。
  6. 【請求項6】 前記複数の表示方法のうち1つは、前記
    基準信号の所定の位相における前記電界強度分布を、静
    止画表示する表示方法であることを特徴とする請求項4
    記載の電界測定装置。
  7. 【請求項7】 前記算出手段は、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号検出手段によって検出された基準信号とを、振幅
    及び位相において比較する信号比較手段と、 前記信号比較手段による比較の結果に基づき、前記被測
    定物における電界強度分布位相変化を算出する演算手段
    とを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6記載の
    電界測定装置。
  8. 【請求項8】 前記信号比較手段は、 ベクトルシグナルアナライザと、 前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
    ザとの間に配置された第1のバンドパスフィルタ及び第
    1のダウンコンバータと、 前記電界測定手段と前記ベクトルシグナルアナライザと
    の間に配置された第2のバンドパスフィルタ及び第2の
    ダウンコンバータとを含むことを特徴とする請求項7記
    載の電界測定装置。
  9. 【請求項9】 前記信号比較手段は、 ベクトルシグナルアナライザと、 前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
    ザとの間に配置された第1のスペクトラムアナライザ及
    び第1のダウンコンバータと、 前記電界測定手段と前記ベクトルシグナルアナライザと
    の間に配置された第2のスペクトラムアナライザ及び第
    2のダウンコンバータとを含むことを特徴とする請求項
    7記載の電界測定装置。
  10. 【請求項10】 前記信号比較手段は、ベクトルネット
    ワークアナライザからなることを特徴とする請求項7記
    載の電界測定装置。
  11. 【請求項11】 前記信号比較手段は基準信号源を備
    え、 前記基準信号源に同期したクロック信号を前記被測定物
    に入力するクロック信号入力手段を更に有することを特
    徴とする請求項7記載の電界測定装置。
  12. 【請求項12】 前記クロック信号入力手段はパルスジ
    ェネレータからなることを特徴とする請求項11記載の
    電界測定装置。
  13. 【請求項13】 前記クロック信号入力手段はパルスジ
    ェネレータからなり、 前記信号比較手段は、ベクトルシグナルアナライザと、
    前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
    ザとの間に配置された第1のバンドパスフィルタ及び第
    1のダウンコンバータと、前記電界測定手段と前記ベク
    トルシグナルアナライザとの間に配置された第2のバン
    ドパスフィルタ及び第2のダウンコンバータとを含むこ
    とを特徴とする請求項11記載の電界測定装置。
  14. 【請求項14】 前記クロック信号入力手段はパルスジ
    ェネレータからなり、 前記信号比較手段は、ベクトルシグナルアナライザと、
    前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
    ザとの間に配置された第1のスペクトラムアナライザ及
    び第1のダウンコンバータと、前記電界測定手段と前記
    ベクトルシグナルアナライザとの間に配置された第2の
    スペクトラムアナライザ及び第2のダウンコンバータと
    を含むことを特徴とする請求項11記載の電界測定装
    置。
  15. 【請求項15】 前記基準信号検出手段は、前記被測定
    物の所定の位置における電界を測定する電界センサから
    なることを特徴とする請求項1乃至請求項14のいずれ
    かに記載の電界測定装置。
  16. 【請求項16】 前記基準信号検出手段は、前記被測定
    物の所定の位置における磁界を測定する磁界ループプロ
    ーブからなることを特徴とする請求項1乃至請求項14
    のいずれかに記載の電界測定装置。
  17. 【請求項17】 前記基準信号検出手段は、前記被測定
    物内の電気回路の所定位置に接触して電流または電圧を
    検出する導体接触端子からなることを特徴とする請求項
    1乃至請求項14のいずれかに記載の電界測定装置。
  18. 【請求項18】 基準信号源に同期したクロック信号を
    発生し、被測定物に入力するクロック信号入力手段と、 前記クロック信号入力に伴い前記被測定物から発生する
    電界を測定する電界測定手段と、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査手段と、 前記基準信号源を内蔵し、前記電界測定手段によって測
    定された各電界と前記基準信号源に同期した測定周波数
    の基準信号とに基づき、前記被測定物における電界強度
    分布位相変化を算出する算出手段と、 前記算出手段によって算出された電界強度分布位相変化
    を表示する表示手段とを有することを特徴とする電界測
    定装置。
  19. 【請求項19】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の電界センサ
    から構成され、 前記走査手段は、前記複数の電界センサのうち1つを順
    次指定し、該指定した電界センサが測定した電界を前記
    算出手段に出力させることを特徴とする請求項18記載
    の電界測定装置。
  20. 【請求項20】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍を移動自在な単一の電界センサから構成され、 前記走査手段は、前記単一の電界センサを前記被測定物
    近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で電界
    の測定を行わせ、該測定された各電界を前記算出手段に
    出力させることを特徴とする請求項18記載の電界測定
    装置。
  21. 【請求項21】 前記表示手段は、前記電界強度分布を
    表示する複数の表示方法のうち1つを指定され、該指定
    に従った表示方法によって前記電界強度分布位相変化を
    表示することを特徴とする請求項18乃至請求項20の
    いずれかに記載の電界測定装置。
  22. 【請求項22】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生ずる前
    記電界強度分布位相変化を、動画表示する表示方法であ
    ることを特徴とする請求項21記載の電界測定装置。
  23. 【請求項23】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の所定の位相における前記電界強度分布を、
    静止画表示する表示方法であることを特徴とする請求項
    21記載の電界測定装置。
  24. 【請求項24】 前記算出手段は、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号源に同期した測定周波数の基準信号とを、振幅及
    び位相において比較する信号比較手段と、 前記信号比較手段による比較の結果に基づき、前記被測
    定物における電界強度分布位相変化を算出する演算手段
    とを含むことを特徴とする請求項18乃至請求項23記
    載の電界測定装置。
  25. 【請求項25】 前記クロック信号入力手段はパルスジ
    ェネレータからなり、 前記信号比較手段はベクトルシグナルアナライザからな
    ることを特徴とする請求項24記載の電界測定装置。
  26. 【請求項26】 被測定物の任意の位置における測定信
    号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
    被測定物から発生する電界を測定する電界測定手段と、
    表示装置とを備えた電界測定装置に適用される電界測定
    方法において、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
    き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
    する算出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とする電界測定方法。
  27. 【請求項27】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の電界センサ
    から構成され、 前記走査ステップは、前記複数の電界センサのうち1つ
    を順次指定し、該指定した電界センサに、該電界センサ
    が測定した電界を出力させることを特徴とする請求項2
    6記載の電界測定方法。
  28. 【請求項28】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍を移動自在な単一の電界センサから構成され、 前記走査ステップは、前記単一の電界センサを前記被測
    定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
    電界の測定を行わせ、該測定された各電界を出力させる
    ことを特徴とする請求項26記載の電界測定方法。
  29. 【請求項29】 前記表示ステップは、前記電界強度分
    布を表示する複数の表示方法のうち1つを指定され、該
    指定に従った表示方法によって前記電界強度分布位相変
    化を表示することを特徴とする請求項26乃至請求項2
    8のいずれかに記載の電界測定方法。
  30. 【請求項30】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生ずる前
    記電界強度分布位相変化を、動画表示する表示方法であ
    ることを特徴とする請求項29記載の電界測定方法。
  31. 【請求項31】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の所定の位相における前記電界強度分布を、
    静止画表示する表示方法であることを特徴とする請求項
    29記載の電界測定方法。
  32. 【請求項32】 前記電界測定装置が基準信号源を備え
    るとともに、クロック信号を前記被測定物に入力するク
    ロック信号入力手段を備え、 前記クロック信号を前記基準信号源に同期させるととも
    に、該基準信号源の位相を連続的に変化させる基準信号
    源制御ステップを、更に有することを特徴とする請求項
    26乃至請求項31記載の電界測定方法。
  33. 【請求項33】 基準信号源と、被測定物にクロック信
    号を入力するクロック信号入力手段と、前記被測定物か
    ら発生する電界を測定する電界測定手段と、表示装置と
    を備えた電界測定装置に適用される電界測定方法におい
    て、 前記クロック信号と測定周波数の基準信号とを、前記基
    準信号源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を
    連続的に変化させる基準信号源制御ステップと、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と前記基準
    信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
    記被測定物における電界強度分布位相変化を算出する算
    出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とする電界測定方法。
  34. 【請求項34】 被測定物の任意の位置における測定信
    号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
    被測定物から発生する電界を測定する電界測定手段と、
    表示装置とを備えた電界測定装置に適用される電界測定
    方法を、コンピュータに実行させるためのプログラムに
    おいて、前記電界測定方法が、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
    き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
    する算出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とするプログラム。
  35. 【請求項35】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の電界センサ
    から構成され、 前記走査ステップは、前記複数の電界センサのうち1つ
    を順次指定し、該指定した電界センサに、該電界センサ
    が測定した電界を出力させることを特徴とする請求項3
    4記載のプログラム。
  36. 【請求項36】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍を移動自在な単一の電界センサから構成され、 前記走査ステップは、前記単一の電界センサを前記被測
    定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
    電界の測定を行わせ、該測定された各電界を出力させる
    ことを特徴とする請求項34記載のプログラム。
  37. 【請求項37】 前記表示ステップは、前記電界強度分
    布を表示する複数の表示方法のうち1つを指定され、該
    指定に従った表示方法によって前記電界強度分布位相変
    化を表示することを特徴とする請求項34乃至請求項3
    6のいずれかに記載のプログラム。
  38. 【請求項38】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生ずる前
    記電界強度分布位相変化を、動画表示する表示方法であ
    ることを特徴とする請求項37記載のプログラム。
  39. 【請求項39】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の所定の位相における前記電界強度分布を、
    静止画表示する表示方法であることを特徴とする請求項
    37記載のプログラム。
  40. 【請求項40】 前記電界測定装置が基準信号源を備え
    るとともに、クロック信号を前記被測定物に入力するク
    ロック信号入力手段を備え、 前記電界測定方法が、前記クロック信号を前記基準信号
    源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を連続的
    に変化させる基準信号源制御ステップを、更に有するこ
    とを特徴とする請求項34乃至請求項39記載のプログ
    ラム。
  41. 【請求項41】 基準信号源と、被測定物にクロック信
    号を入力するクロック信号入力手段と、前記被測定物か
    ら発生する電界を測定する電界測定手段と、表示装置と
    を備えた電界測定装置に適用される電界測定方法を、コ
    ンピュータに実行させるためのプログラムにおいて、前
    記電界測定方法が、 前記クロック信号と測定周波数の基準信号とを、前記基
    準信号源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を
    連続的に変化させる基準信号源制御ステップと、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と前記基準
    信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
    記被測定物における電界強度分布位相変化を算出する算
    出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とするプログラム。
  42. 【請求項42】 被測定物の任意の位置における測定信
    号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
    被測定物から発生する電界を測定する電界測定手段と、
    表示装置とを備えた電界測定装置に適用される電界測定
    方法を、プログラムとして記憶した、コンピュータによ
    り読み出し可能な記憶媒体において、前記電界測定方法
    が、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と、前記基
    準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
    き、前記被測定物における電界強度分布位相変化を算出
    する算出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とする記憶媒体。
  43. 【請求項43】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の電界センサ
    から構成され、 前記走査ステップは、前記複数の電界センサのうち1つ
    を順次指定し、該指定した電界センサに、該電界センサ
    が測定した電界を出力させることを特徴とする請求項4
    2記載の記憶媒体。
  44. 【請求項44】 前記電界測定手段は、前記被測定物近
    傍を移動自在な単一の電界センサから構成され、 前記走査ステップは、前記単一の電界センサを前記被測
    定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
    電界の測定を行わせ、該測定された各電界を出力させる
    ことを特徴とする請求項42記載の記憶媒体。
  45. 【請求項45】 前記表示ステップは、前記電界強度分
    布を表示する複数の表示方法のうち1つを指定され、該
    指定に従った表示方法によって前記電界強度分布位相変
    化を表示することを特徴とする請求項42乃至請求項4
    4のいずれかに記載の記憶媒体。
  46. 【請求項46】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生ずる前
    記電界強度分布位相変化を、動画表示する表示方法であ
    ることを特徴とする請求項45記載の記憶媒体。
  47. 【請求項47】 前記複数の表示方法のうち1つは、前
    記基準信号の所定の位相における前記電界強度分布を、
    静止画表示する表示方法であることを特徴とする請求項
    45記載の記憶媒体。
  48. 【請求項48】 前記電界測定装置が基準信号源を備え
    るとともに、クロック信号を前記被測定物に入力するク
    ロック信号入力手段を備え、 前記電界測定方法が、前記クロック信号を前記基準信号
    源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を連続的
    に変化させる基準信号源制御ステップを、更に有するこ
    とを特徴とする請求項42乃至請求項47記載の記憶媒
    体。
  49. 【請求項49】 基準信号源と、被測定物にクロック信
    号を入力するクロック信号入力手段と、前記被測定物か
    ら発生する電界を測定する電界測定手段と、表示装置と
    を備えた電界測定装置に適用される電界測定方法を、プ
    ログラムとして記憶した、コンピュータにより読み出し
    可能な記憶媒体において、前記電界測定方法が、 前記クロック信号と測定周波数の基準信号とを、前記基
    準信号源に同期させるとともに、該基準信号源の位相を
    連続的に変化させる基準信号源制御ステップと、 前記電界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
    位置で電界を測定させる走査ステップと、 前記電界測定手段によって測定された各電界と前記基準
    信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
    記被測定物における電界強度分布位相変化を算出する算
    出ステップと、 前記算出ステップによって算出された電界強度分布位相
    変化を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
    ることを特徴とする記憶媒体。
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