JP2002340943A

JP2002340943A - 電流分布測定装置、電流分布測定方法、プログラム、及び記憶媒体

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Publication number: JP2002340943A
Application number: JP2001146390A
Authority: JP
Inventors: Koji Hirai; 宏治平井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-05-16
Filing date: 2001-05-16
Publication date: 2002-11-27

Abstract

(57)【要約】【課題】不要電磁波の発生源、伝達経路、放射源を切
り分けて特定することを可能にする。【解決手段】被測定物の任意の位置における測定信号
を基準信号として検出し、被測定物から発生する磁界を
被測定物上のＮ個の位置で測定するものとする。基準信
号を入手する（Ｓ１）。制御変数ｎを１に設定し（Ｓ
２）、被測定物上の第ｎ位置における磁界測定値を入手
する（Ｓ３）。信号比較部及び演算処理部において、入
手した基準信号及び磁界測定値を用いて電流ベクトルの
算出を行う（Ｓ４）。制御変数ｎに１を加算し（Ｓ
５）、新たに得られた制御変数ｎがＮよりも大きいか否
かを判別する（Ｓ６）。制御変数ｎがＮ以下であれば、
ステップＳ３へ戻る。制御変数ｎがＮよりも大きいなら
ば、被測定物上のＮ個の全部の測定位置における電流ベ
クトルの算出を終えて、電流ベクトル分布が得られたと
して、本処理を終了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電流分布測定装
置、電流分布測定方法、プログラム、及び記憶媒体に関
し、特に、被測定物の電気回路に基準信号を印加し、該
印加に伴ない被測定物から発生する電界または磁界を測
定することによって電流ベクトル分布を測定する電流分
布測定装置、該電流分布測定装置に適用される電流分布
測定方法、該電流分布測定方法をコンピュータに実行さ
せるためのプログラム、及び該プログラムを記憶した記
憶媒体に関する。

【０００２】こうした電流分布測定装置は、電子機器内
から発生する不要電磁波の測定に利用される。

【０００３】

【従来の技術】近年、電子機器の高速化、高性能化など
により、電子機器からの不要電磁波放射による他の電子
機器への影響が問題になっている。この不要電磁波放射
による他の電子機器への影響はＥＭＩ（Electromagneti
c Interference）と呼ばれ、主に無線機器、通信機器の
受信障害を引き起こしたり、電子機器の誤動作を引き起
こす。その為、各国では３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚあるいは
３０ＭＨｚ〜２ＧＨｚの周波数帯域において、電子機器
からの不要電磁波放射の規制を行っており、電子機器メ
ーカはこの規制に適合するように製品を設計製造する必
要がある。

【０００４】電子機器からの不要電磁波を測定する方法
としては、一般的には遠方界測定が行なわれるが、電子
機器内部の回路基板のみについては、その近傍界強度分
布を測定することが行われている。

【０００５】近傍界強度分布を測定し、不要電磁波の発
生メカニズムを明らかにし、その発生抑制対策を行なう
ために使用される近傍界強度分布測定装置が、例えば特
開平１１−５００５３６号公報や、特開２０００−１９
２０４号公報などで提示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の近傍界強度分布測定装置で測定した回路基板単体
の場合と、回路基板が電子機器に組み込まれ、筐体やケ
ーブルが接続された場合とでは、不要電磁波の発生モー
ドが異なる。そのため、近傍界強度分布測定装置を使用
して回路基板単体に対して不要電磁波対策を施しても、
電子機器全体における不要電磁波の発生抑制には効果が
現れない場合がある。こうしたことを考慮して、回路基
板単体に対して近傍界強度分布の測定を行わず、回路基
板を電子機器に組み込み、筐体やケーブルを接続した状
態で測定を行うようにしている。

【０００７】ところが、こうした測定方法に従っても未
だ問題がある。すなわち、図２０は、回路基板を電子機
器に組み込み、筐体やケーブルを接続した状態の被測定
物を、従来の近傍界強度分布測定装置によって測定して
得られた電流分布測定結果の一例を示すイメージ図であ
るが、この図２０に示すような近傍界強度分布のみの測
定結果からは、不要電磁波放射に影響する電流がどこか
ら発生し、どの経路を流れているかが分からない。その
ため、電流不要電磁波の発生源と、不要電磁波が発生源
から他の部分に伝達される不要電磁波伝達経路と、不要
電磁波が放射する放射源とを切り分けて特定することが
難しく、上記の測定方法に従っても不要電磁波の抑制対
策を的確に行うことを困難なものにしている。

【０００８】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、不要電磁波の発生源、伝達経路、放射
源を切り分けて特定することを可能にした電流分布測定
装置、電流分布測定方法、プログラム、及び記憶媒体を
提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明によれば、被測定物の任意の位
置における測定信号を基準信号として検出する基準信号
検出手段と、前記被測定物から発生する電界または磁界
を測定する磁界測定手段と、前記磁界測定手段に対し
て、前記被測定物近傍の複数の位置で磁界を測定させる
走査手段と、前記磁界測定手段によって測定された各磁
界と、前記基準信号検出手段によって検出された基準信
号とに基づき、前記被測定物における電流ベクトル分布
を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出され
た電流ベクトル分布を表示する表示手段とを有すること
を特徴とする電流分布測定装置が提供される。

【００１０】請求項１０記載の発明によれば、前記算出
手段は基準信号源を備え、前記電流分布測定装置は、前
記基準信号源に同期した測定周波数の基準信号を発生す
るとともに、前記基準信号源に同期したクロック信号を
前記被測定物に入力するクロック信号入力手段を、を更
に有する。

【００１１】請求項１８記載の発明によれば、基準信号
源に同期したクロック信号を発生し、被測定物に入力す
るクロック信号入力手段と、前記クロック信号の入力に
伴ない前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測
定手段と、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近
傍の複数の位置で磁界を測定させる走査手段と、前記基
準信号源を内蔵し、前記磁界測定手段によって測定され
た各磁界と前記基準信号源に同期した測定周波数の基準
信号とに基づき、前記被測定物における電流ベクトル分
布を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出さ
れた電流ベクトル分布を表示する表示手段とを有するこ
とを特徴とする電流分布測定装置が提供される。

【００１２】請求項２６記載の発明によれば、被測定物
の任意の位置における測定信号を第１の基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、前記磁界測定手段に
対して、前記被測定物近傍の複数の位置で磁界を測定さ
せる走査手段と、前記基準信号検出手段により検出され
た第１の基準信号に同期する第２の基準信号を発生する
とともに、前記磁界測定手段によって測定された各磁界
と、前記第２の基準信号に同期した測定周波数の基準信
号とに基づき、前記被測定物における電流ベクトル分布
を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出され
た電流ベクトル分布を表示する表示手段とを有すること
を特徴とする電流分布測定装置が提供される。

【００１３】また、請求項３２記載の発明によれば、被
測定物の任意の位置における測定信号を基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法におい
て、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複
数の位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界
測定手段によって測定された各磁界と、前記基準信号検
出手段によって検出された基準信号とに基づき、前記被
測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ステッ
プと、前記算出ステップによって算出された電流ベクト
ル分布を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有
することを特徴とする電流分布測定方法が提供される。

【００１４】請求項３８記載の発明によれば、前記電流
分布測定装置が基準信号源を備えるともに、基準信号に
同期したクロック信号を発生して前記被測定物に入力す
るクロック信号入力手段を備え、前記電流分布測定方法
が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させる
とともに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信
号の位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップを
更に有する。

【００１５】請求項３９記載の発明によれば、基準信号
源に同期したクロック信号を発生し、被測定物に入力す
るクロック信号入力手段と、前記被測定物から発生する
磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた電
流分布測定装置に適用される電流分布測定方法におい
て、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させる
とともに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信
号の位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップ
と、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複
数の位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界
測定手段によって測定された各磁界と前記基準信号源か
ら出力された基準信号とに基づき、前記被測定物におけ
る電流ベクトル分布を算出する算出ステップと、前記算
出ステップによって算出された電流ベクトル分布を前記
表示装置に表示させる表示ステップとを有することを特
徴とする電流分布測定方法が提供される。

【００１６】請求項４０記載の発明によれば、被測定物
の任意の位置における測定信号を第１の基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法におい
て、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複
数の位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記基準
信号検出手段により検出された第１の基準信号に同期す
る第２の基準信号を発生させるとともに、前記磁界測定
手段によって測定された各磁界と、前記第２の基準信号
に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前記被測
定物における電流ベクトル分布を算出する算出ステップ
と、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル
分布を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有す
ることを特徴とする電流分布測定方法が提供される。

【００１７】また、請求項４１記載の発明によれば、被
測定物の任意の位置における測定信号を基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法を、コ
ンピュータに実行させるためのプログラムにおいて、前
記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前
記被測定物近傍の複数の位置で磁界を測定させる走査ス
テップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界
と、前記基準信号検出手段によって検出された基準信号
とに基づき、前記被測定物における電流ベクトル分布を
算出する算出ステップと、前記算出ステップによって算
出された電流ベクトル分布を前記表示装置に表示させる
表示ステップとを有することを特徴とするプログラムが
提供される。

【００１８】請求項４７記載の発明によれば、前記電流
分布測定装置が基準信号源を備えるともに、前記基準信
号源に同期したクロック信号を発生して前記被測定物に
入力するクロック信号入力手段を備え、前記電流分布測
定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期
させるとともに、該基準信号源に同期した測定周波数の
基準信号の位相を連続的に変化させる基準信号制御ステ
ップを更に有する。

【００１９】請求項４８記載の発明によれば、基準信号
源と、基準信号源に同期したクロック信号を発生して前
記被測定物に入力するクロック信号入力手段と、前記ク
ロック信号の入力に伴ない前記被測定物から発生する磁
界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた電流
分布測定装置に適用される電流分布測定方法を、コンピ
ュータに実行させるためのプログラムにおいて、前記電
流分布測定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号
源に同期させるとともに、該基準信号源に同期した測定
周波数の基準信号の位相を連続的に変化させる基準信号
制御ステップと、前記磁界測定手段に対して、前記被測
定物近傍の複数の位置で磁界を測定させる走査ステップ
と、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と前記
基準信号源から出力された基準信号とに基づき、前記被
測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ステッ
プと、前記算出ステップによって算出された電流ベクト
ル分布を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有
することを特徴とするプログラムが提供される。

【００２０】請求項４９記載の発明によれば、被測定物
の任意の位置における測定信号を第１の基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法を、コ
ンピュータに実行させるためのプログラムにおいて、前
記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前
記被測定物近傍の複数の位置で磁界を測定させる走査ス
テップと、前記基準信号検出手段により検出された第１
の基準信号に同期する第２の基準信号を発生させるとと
もに、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、
前記第２の基準信号に同期した測定周波数の基準信号と
に基づき、前記被測定物における電流ベクトル分布を算
出する算出ステップと、前記算出ステップによって算出
された電流ベクトル分布を前記表示装置に表示させる表
示ステップとを有することを特徴とするプログラムが提
供される。

【００２１】さらに、請求項５０記載の発明によれば、
被測定物の任意の位置における測定信号を基準信号とし
て検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生
する磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備え
た電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法をプ
ログラムとして記憶した、コンピュータにより読み出し
可能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前
記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位
置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手
段によって測定されたまたは各磁界と、前記基準信号検
出手段によって検出された基準信号とに基づき、前記被
測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ステッ
プと、前記算出ステップによって算出された電流ベクト
ル分布を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有
することを特徴とする記憶媒体が提供される。

【００２２】請求項５６記載の発明によれば、前記電流
分布測定装置が基準信号源を備えるともに、前記基準信
号源に同期したクロック信号を発生して前記被測定物に
入力するクロック信号入力手段を備え、前記電流分布測
定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期
させるとともに、該基準信号源に同期した測定周波数の
基準信号の位相を連続的に変化させる基準信号制御ステ
ップを更に有する。

【００２３】請求項５７記載の発明によれば、基準信号
源と、前記基準信号源に同期したクロック信号を発生し
て前記被測定物に入力するクロック信号入力手段と、前
記クロック信号の入力に伴ない前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法をプロ
グラムとして記憶した、コンピュータにより読み出し可
能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前記
クロック信号を、前記基準信号源に同期させるととも
に、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の位
相を連続的に変化させる基準信号制御ステップと、前記
磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置
で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段
によって測定された各磁界と前記基準信号源に同期した
測定周波数の基準信号とに基づき、前記被測定物におけ
る電流ベクトル分布を算出する算出ステップと、前記算
出ステップによって算出された電流ベクトル分布を前記
表示装置に表示させる表示ステップとを有することを特
徴とする記憶媒体が提供される。

【００２４】請求項５８記載の発明によれば、被測定物
の任意の位置における測定信号を第１の基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備えた
電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法をプロ
グラムとして記憶した、コンピュータにより読み出し可
能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前記
磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置
で磁界を測定させる走査ステップと、前記基準信号検出
手段により検出された第１の基準信号に同期する第２の
基準信号を発生させるとともに、前記磁界測定手段によ
って測定された各磁界と、前記第２の基準信号に同期し
た測定周波数の同期信号とに基づき、前記被測定物にお
ける電流ベクトル分布を算出する算出ステップと、前記
算出ステップによって算出された電流ベクトル分布を前
記表示装置に表示させる表示ステップとを有することを
特徴とする記憶媒体が提供される。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。

【００２６】（第１の実施形態）図１は、本発明に係る
電流分布測定装置の第１の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。

【００２７】第１の実施の形態は、基準信号入力部１０
１と、磁界センサ１０３と、走査部１０４と、信号比較
部１０５と、演算処理部１０６と、表示部１０７と、制
御部１０８とから構成される。

【００２８】測定者が、ある任意の周波数の電流分布を
測定する場合、基準信号入力部１０１は、被測定物１０
２の任意の位置における検出信号を基準信号とし、信号
比較部１０５へ出力する。磁界センサ１０３は複数のセ
ンサから成り、被測定物１０２の近傍に配されて被測定
物１０２の近傍磁界を測定し、走査部１０４の制御に従
って測定信号を信号比較部１０５へ出力する。走査部１
０４は、磁界センサ１０３の各センサの出力を順に選択
走査して、各センサからの測定信号を信号比較部１０５
へ出力させる。

【００２９】信号比較部１０５は、磁界センサ１０３か
ら出力された測定信号と、基準信号入力部１０１から出
力された基準信号とを、任意の測定周波数の振幅及び位
相において比較し、その比較結果を演算処理部１０６へ
出力する。演算処理部１０６は、信号比較部１０５から
送られた比較結果を基に、被測定物１０２近傍の各位置
における電流ベクトルを算出する。この算出された電流
ベクトルは、走査部１０４による走査によって電流ベク
トル分布となり、また基準信号の位相が変化した状態を
演算処理することによって、該電流ベクトル分布が変化
する。演算処理部１０６は、こうした電流ベクトル分布
の変化を、表示部１０７に動画表示できるように処理す
る。表示部１０７は、電流ベクトル分布やその変化を、
ユーザの指定に従った表示方式によって表示する。制御
部１０８は、走査部１０４、信号比較部１０５、演算処
理部１０６、表示部１０７を制御する。

【００３０】次に、本実施の形態における測定原理につ
いて、図１及び図２を参照して説明する。図２は、電流
ベクトル及び磁界ベクトルを示す図である。

【００３１】ここで、基準信号入力部１０１は、被測定
物１０２上の所定の位置から、この基準信号Ａｃｏｓω
ｔを検出する。

【００３２】一方、被測定物１０２のＸＹ平面上のある
点（ｘ，ｙ）において電流（ベクトル）Ｉが流れている
とする。この電流Ｉは、直交する２方向の電流Ｉｘ
（ｘ，ｙ），Ｉｙ（ｘ，ｙ）に分解でき、下記のように
表される。

【００３３】Ｉｘ（ｘ，ｙ）＝αＡｃｏｓ（ωｔ＋θ１）（１）Ｉｙ（ｘ，ｙ）＝βＡｃｏｓ（ωｔ＋θ２）（２）こうした電流Ｉが流れることによって、電流Ｉに直交す
る方向に磁界Ｈが発生する。この磁界Ｈは、直交する２
方向の磁界Ｈｘ（ｘ，ｙ），Ｈｙ（ｘ，ｙ）に分解で
き、下記のように表される。

【００３４】Ｈｙ（ｘ，ｙ）＝ｋ・αＡｃｏｓ（ωｔ＋θ１）（３）Ｈｘ（ｘ，ｙ）＝ｋ・βＡｃｏｓ（ωｔ＋θ２）（４）ただし、α，β，ｋ，Ａは係数である。

【００３５】ここで、電流Ｉから距離ｒだけ離れた位置
で発生する磁界Ｈは、アンペールの法則に基づき、次式
（５）のように表される。

【００３６】Ｈ＝Ｉ／（２πｒ）（５）ただし、ｋ＝１／（２πｒ）（６）したがって、被測定物１０２のＸＹ平面上の点（ｘ，
ｙ）に磁界センサ１０３を配置し、直交する２方向の磁
界Ｈｘ（ｘ，ｙ），Ｈｙ（ｘ，ｙ）の振幅と位相とを測
定し、信号比較部１０５が、基準信号Ａｃｏｓωｔと磁
界センサ１０３による測定値とを比較する。これによっ
て、基準信号Ａｃｏｓωｔに対するＸ，Ｙ方向磁界Ｈｘ
（ｘ，ｙ），Ｈｙ（ｘ，ｙ）の振幅比ｋ・α，ｋ・βと
位相差θ１，θ２とが得られる。

【００３７】ここで上記式（１）〜（６）を基にして電
流値｜Ｉ｜、電流方向φが次式（７）、（８）のように
求められ、電流ベクトルを導出することができる。

【００３８】｜Ｉ｜＝（Ｉｘ²＋Ｉｙ²）^1/2 ＝１／ｋ・（Ｈｙ²＋Ｈｘ²）^1/2 ＝Ａ／ｋ・（ｋ²α²ｃｏｓ²（ωｔ＋θ１）＋ｋ²β²ｃｏｓ²（ωｔ＋θ２））^1/2 …（７） φ＝ｔａｎ^-1（Ｉｙ／Ｉｘ）＝ｔａｎ^-1（Ｈｘ／Ｈｙ）＝ｔａｎ^-1（ｋβｃｏｓ（ωｔ＋θ２）／ｋαｃｏｓ（ωｔ＋θ１）） … （８）なお、電流Ｉの振幅は基準信号に対する振幅比から求め
てもよいし、磁界センサ１０３による測定値から直接求
めてもよい。

【００３９】そして、被測定物１０２上に配置された複
数のセンサから成る磁界センサ１０３の各々を走査部１
０４により走査し、被測定物１０２近傍の磁界を複数の
位置で測定し、演算処理部１０６で上記の演算を行い、
電流ベクトル分布を求める。

【００４０】次に、第１の実施の形態の電流分布測定装
置において行われる電流ベクトル分布の算出処理を、図
３を参照して説明する。

【００４１】図３は、電流ベクトル分布の算出処理の手
順を示すフローチャートである。なおここでは、被測定
物１０２上のＮ個の位置において磁界測定を行うものと
する。以下、ステップに沿って説明する。

【００４２】ステップＳ１：基準信号を入手するステップＳ２：制御変数ｎを１に設定するステップＳ３：被測定物１０２上の第ｎ位置における磁
界測定値を入手するステップＳ４：信号比較部１０５及び演算処理部１０６
において、入手した基準信号及び磁界測定値を用いて電
流ベクトルの算出を行うステップＳ５：制御変数ｎに１を加算するステップＳ６：新たに得られた制御変数ｎがＮよりも大
きいか否かを判別する。制御変数ｎがＮ以下であれば、
ステップＳ３へ戻る。制御変数ｎがＮよりも大きいなら
ば、被測定物１０２上のＮ個の全部の測定位置における
電流ベクトルの算出を終えて、電流ベクトル分布が得ら
れたとして、本処理を終了する。また、測定においてス
テップＳ４で入手した基準信号と磁界測定値から振幅
比、位相差のみを導出してメモリに保存し、被測定物１
０２上のＮ個の全部の測定が終了したのちに、メモリに
保存した測定値から電流ベクトルを算出してもよい。

【００４３】演算処理部１０６では磁界センサ１０３の
周波数特性や位相特性などの較正も行う。また、被測定
物１０２の任意の位置で検出された基準信号Ａｃｏｓω
ｔの位相を変化させると、電流ベクトル分布の変化が発
生し、これを表示部１０７において動画表示することに
より、不要電磁波放射に影響する電流の発生源や電流経
路などを視覚的に知ることができる。

【００４４】次に、第１の実施の形態の電流分布測定装
置が、被測定物の１つの例を測定した場合の測定結果に
ついて説明する。

【００４５】図４は、被測定物の１つの例を示す図であ
る。

【００４６】この例では、金属シャーシ１６０１上に２
枚の回路基板１６０２,１６０３が配置され、回路基板
１６０２,１６０３間がケーブル１６０４で接続されて
いる。回路基板１６０２には発振器１６０５やＩＣ１６
０６が実装されている。

【００４７】図５及び図６は、図４に示す被測定物を第
１の実施の形態の電流分布測定装置により測定を行った
結果得られた電流ベクトル分布のうち、電流の絶対値分
布を示す図であり、基準信号の位相が４５°間隔で変化
している場合を示す。また、図７及び図８は、図４に示
す被測定物を第１の実施の形態の電流分布測定装置によ
り測定を行った結果得られた電流ベクトル分布のうち、
電流の方向分布を示す図であり、ここでも基準信号の位
相が４５°間隔で変化している場合を示す。

【００４８】こうした測定結果から、基準信号の周波数
ではケーブル１６０４において１／２波長の定在波が発
生していることを視覚的に確認することができる。

【００４９】なお、基準信号の位相を連続的に変化させ
ることによって得られる電流ベクトル分布の変化を、表
示部１０７に動画表示することにより、現象を直感的に
理解することが可能である。

【００５０】また、電流ベクトル分布の表示形式とし
て、電流の絶対値と電流方向とを重ねて表示してもよい
し、電流の絶対値と電流方向とを矢印の長さと方向で表
示してもよい。さらに、基準信号の位相変化に伴なう電
流ベクトル分布の変化を動画表示する他、基準信号のあ
る位相における電流ベクトル分布の静止画表示、基準信
号の全ての位相におけるピーク電流分布を示す静止画表
示などの中から、測定者が制御部１０８において所望の
表示形式を選び、制御部１０８がこの選択された表示形
式を表示部１０７に指示するようにしてもよい。

【００５１】なおまた、上記の第１の実施の形態では、
電流ベクトル分布の表示を行うようにしているが、これ
に代わって、磁界ベクトル分布の表示を行うようにして
もよい。

【００５２】また、磁界センサ１０３に代わって電界セ
ンサを用いて計測を行ってもよい。

【００５３】なおまた、磁界センサ１０３を、移動可能
な１つのセンサで構成し、走査部１０４が該磁界センサ
１０３を被測定物１０２上で移動させて走査し、これに
より被測定物１０２近傍の各位置での磁界を測定するよ
うにしてもよい。また、磁界センサ１０３を２つの直交
するセンサで構成し、この２つの磁界センサを交互に切
り替えて２方向の磁界を測定してもよい。更には、複数
の磁界センサをアレイ状に配置して、それらを高速に切
り替えて磁界を測定してもよい。

【００５４】（第２の実施の形態）次に第２の実施の形
態を説明する。

【００５５】図９は、本発明に係る電流分布測定装置の
第２の実施の形態の構成を示すブロック図である。第２
の実施の形態の構成は、基本的に第１の実施の形態と同
じである。そこで、図１に示す第１の実施の形態と同じ
構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。

【００５６】第２の実施の形態では、信号比較部とし
て、ベクトルシグナルアナライザ２０１を用い、基準信
号入力部１０１からベクトルシグナルアナライザ２０１
までの間にスペクトラムアナライザ２０３とダウンコン
バータ２０４を設け、磁界センサ１０３からベクトルシ
グナルアナライザ２０１までの間にスペクトラムアナラ
イザ２０６とダウンコンバータ２０７とを設ける。

【００５７】スペクトラムアナライザ２０３，２０６
は、基準信号入力部１０１から出力された基準信号と、
磁界センサ２０５から出力された測定信号とをそれぞれ
取り込み、測定対象の所定周波数成分のみをＩＦ信号
（一般的に２１．４ＭＨｚを使用）に変換してダウンコ
ンバータ２０４，２０７にそれぞれ出力する。ダウンコ
ンバータ２０４，２０７では、これらのＩＦ信号をさら
に１０ＭＨｚ以下の信号にそれぞれ周波数変換し、ベク
トルシグナルアナライザ２０１に出力する。ベクトルシ
グナルアナライザ２０１では、１０ＭＨｚ以下に周波数
変換された基準信号と測定信号とを振幅及び位相におい
て比較を行う。

【００５８】なお、ベクトルシグナルアナライザ２０１
は１０ＭＨｚの基準信号源を内蔵し、ベクトルシグナル
アナライザ２０１、スペクトラムアナライザ２０３，２
０６及びダウンコンバータ２０４，２０７にそれぞれ内
蔵された局部発振器が、このベクトルシグナルアナライ
ザ２０１に内蔵の基準信号源と同期され（図９に「Ｒｅ
ｆ」で同期信号ラインを表示）、これによって周波数確
度をあげている。

【００５９】演算処理部１０６は、第１の実施の形態と
同様に、ベクトルシグナルアナライザ２０１の比較結果
に基づいて電流ベクトルを導出する。走査部１０４によ
る走査によって電流ベクトル分布が得られ、さらに基準
信号の位相が変化することによって上記電流ベクトル分
布が変化し、これが表示部１０７において動画表示され
る。なお、走査部１０４による走査は、複数のセンサか
ら成る磁界センサの各センサの出力を順に選択走査し
て、各センサからの測定信号を信号比較部１０５へ出力
させる構成でも、１つのセンサから成る磁界センサを被
測定物１０２上で移動して複数の位置で測定を行い、得
られた各測定信号を信号比較部１０５へ出力させる構成
でもよく、以下に説明する各実施の形態においても同様
である。また、表示部１０７が、複数の表示方式のうち
の指示された表示方式で表示を行うようにしてもよい。
これも以下に説明する各実施の形態において同様であ
る。

【００６０】走査部１０４、スペクトラムアナライザ２
０３，２０６、ベクトルシグナルアナライザ２０１、演
算処理部１０６、表示部１０７は制御部１０８により制
御される。

【００６１】次に、第２の実施の形態における基準信号
入力部１０１及び磁界センサ１０３の具体的な構成例に
ついて説明する。

【００６２】図１０は、基準信号入力部１０１及び磁界
センサ１０３の第１の構成例を示す図である。

【００６３】第１の構成例では、基準信号入力部１０１
及び磁界センサ１０３を磁界ループプローブ３０６，３
０７でそれぞれ構成する。磁界センサ１０３は１つの磁
界ループプローブ３０７から構成される。

【００６４】図中、被測定物３０１が、例えば、ＩＣ３
０２，３０８がそれぞれ搭載された回路基板３０３，３
０９、シャーシ３０４、ケーブル３０５などから構成さ
れる。

【００６５】基準信号入力部１０１である磁界ループプ
ローブ３０６は、被測定物３０１の所定位置に固定さ
れ、磁界の信号形態で基準信号を検出する。また、磁界
センサ１０３である磁界ループプローブ３０７は、走査
部１０４からの制御により被測定物３０１近傍を走査移
動する構成になっており、走査領域における複数の所定
の位置でＸ方向、Ｙ方向の磁界を測定する。

【００６６】図１１は、基準信号入力部１０１及び磁界
センサ１０３の第２の構成例を示す図である。

【００６７】第２の構成例では、磁界センサ１０３を１
つの磁界ループプローブ４０９で構成し、基準信号入力
部１０１を導体接触端子４０６で構成する。

【００６８】図中、被測定物４０１が、ＩＣ４０２，４
１０がそれぞれ搭載された回路基板４０３，４１１、シ
ャーシ４０４、ケーブル４０５などから構成される。

【００６９】基準信号入力部１０１である導電接触端子
４０６は、被測定物４０１の信号線４０７やＩＣピン４
０８などの導電接触できる任意の位置に固定され、そこ
から基準信号を検出する。また、磁界センサ１０３であ
る磁界ループプローブ４０９は、走査部１０４からの制
御により被測定物３０１近傍を走査移動する構成になっ
ており、走査領域における所定の各位置でＸ方向、Ｙ方
向の磁界を測定する。

【００７０】（第３の実施の形態）次に第３の実施の形
態を説明する。

【００７１】図１２は、本発明に係る電流分布測定装置
の第３の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
３の実施の形態の構成は、基本的に第２の実施の形態と
同じである。そこで、図９に示す第２の実施の形態と同
じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。

【００７２】第３の実施の形態では、基準信号入力部１
０１からスペクトラムアナライザ２０３までの間にスプ
リッタ５０３を設け、該スプリッタ５０３からベクトル
シグナルアナライザ２０１までの間にプリスケーラ５１
１を設ける。第３の実施の形態では、ベクトルシグナル
アナライザ２０１が基準信号源を内蔵しない。

【００７３】スプリッタ５０３が、基準信号入力部１０
１から出力された基準信号を分岐してスペクトラムアナ
ライザ２０３とプリスケーラ５１１とに送る。プリスケ
ーラ５１１は基準信号を、１，２，５，１０ＭＨｚのい
ずれかに分周してＲｅｆ信号を作成し、ベクトルシグナ
ルアナライザ２０１を介してスペクトラムアナライザ２
０３，２０６及びダウンコンバータ２０４，２０７に送
る。ここでプリスケーラのかわりにダウンコンバータを
用いて、基準信号を、１，２，５，１０ＭＨｚのいずれ
かに変換してＲｅｆ信号を作成してもよい。

【００７４】ベクトルシグナルアナライザ２０１、スペ
クトラムアナライザ２０３，２０６及びダウンコンバー
タ２０４，２０７にそれぞれ内蔵された局部発振器は、
このＲｅｆ信号に同期され、これによって周波数確度を
あげている。

【００７５】走査部１０４、スペクトラムアナライザ２
０３，２０６、ベクトルシグナルアナライザ２０１、演
算処理部１０６、表示部１０７は制御部１０８により制
御されている。

【００７６】なお、プリスケーラ５１１に入力される基
準信号は、スプリッタ５０３から分岐されたものに限ら
ず、直接、被測定物１０２から取り込んでも、また被測
定物１０２近傍に信号取り込み部を設けてこれから取り
込んでもよい。

【００７７】（第４の実施の形態）次に第４の実施の形
態を説明する。

【００７８】図１３は、本発明に係る電流分布測定装置
の第４の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
４の実施の形態の構成は、基本的に第１の実施の形態と
同じである。そこで、図１に示す第１の実施の形態と同
じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。

【００７９】第４の実施の形態では、信号比較部として
ベクトルネットワークアナライザ６０１を用いる。ベク
トルネットワークアナライザ６０１では、基準信号入力
部１０１から出力された基準信号がＲチャンネルに入力
され、一方、磁界センサ１０３から出力された測定信号
がＡチャンネルに入力され、基準信号と測定信号とが振
幅及び位相において比較される。

【００８０】基準信号入力部１０１とベクトルネットワ
ークアナライザ６０１との間にはスプリッタ６０６が設
けられ、スプリッタ６０６とベクトルネットワークアナ
ライザ６０１との間にはプリスケーラ６０７が設けられ
る。スプリッタ６０６は、基準信号入力部１０１から出
力された基準信号を分岐してベクトルネットワークアナ
ライザ６０１とプリスケーラ６０７とに送り、プリスケ
ーラ６０７は基準信号を、１，２，５，１０ＭＨｚのい
ずれかに分周してＲｅｆ信号を作成し、ベクトルネット
ワークアナライザ６０１に送る。ここでプリスケーラの
かわりにダウンコンバータを用いて、基準信号を、１，
２，５，１０ＭＨｚのいずれかに変換してＲｅｆ信号を
作成してもよい。ベクトルネットワークアナライザ６０
１では、内蔵の局部発振器がこのＲｅｆ信号に同期さ
れ、周波数確度をあげている。

【００８１】なお、走査部１０４、ベクトルネットワー
クアナライザ６０１、演算処理部１０６、表示部１０７
は制御部１０８により制御されている。

【００８２】（第５の実施の形態）次に第５の実施の形
態を説明する。

【００８３】図１４は、本発明に係る電流分布測定装置
の第５の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
５の実施の形態の構成は、基本的に第１の実施の形態と
同じである。そこで、図１に示す第１の実施の形態と同
じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省略
し、異なる部分だけを説明する。

【００８４】第５の実施の形態では、被測定物１０２の
電気回路に任意の周波数のクロック信号を出力する信号
発生部７０２を新たに設ける。信号発生部７０２は、制
御部１０８の制御に従い任意の周波数のクロック信号を
出力する。

【００８５】信号比較部１０５は１０ＭＨｚの基準信号
源を内蔵し、信号発生部７０２は、この基準信号源と同
期してクロック信号を発生し、これによってクロック信
号の周波数確度をあげている。

【００８６】信号発生部７０２、走査部１０４、信号比
較部１０５、演算処理部１０６、表示部１０７は制御部
１０８により制御されている。

【００８７】（第６の実施の形態）次に第６の実施の形
態を説明する。

【００８８】図１５は、本発明に係る電流分布測定装置
の第６の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
６の実施の形態の構成は、基本的に第４の実施の形態と
同じである。そこで、図１３に示す第４の実施の形態と
同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省
略し、異なる部分だけを説明する。

【００８９】第６の実施の形態では、被測定物１０２の
電気回路にクロック信号を出力するパルスジェネレータ
８０２を新たに設ける。パルスジェネレータ８０２は、
制御部１０８の制御に従い、任意の周波数のクロック信
号を出力する。なお、ベクトルネットワークアナライザ
６０１は１０ＭＨｚの基準信号源を内蔵するとともに、
第４の実施の形態におけるスプリッタ６０６及びプリス
ケーラ６０７は取り除かれる。

【００９０】パルスジェネレータ８０２内部の局部発振
器は、ベクトルネットワークアナライザ６０１に内蔵の
基準信号源に同期して基準信号を発生し、これによって
基準信号の周波数確度をあげている。

【００９１】ベクトルネットワークアナライザ６０１、
走査部１０４、演算処理部１０６、表示部１０７は制御
部１０８により制御されている。

【００９２】（第７の実施の形態）次に第７の実施の形
態を説明する。

【００９３】図１６は、本発明に係る電流分布測定装置
の第７の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
７の実施の形態の構成は、基本的に第３の実施の形態と
同じである。そこで、図１２に示す第３の実施の形態と
同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省
略し、異なる部分だけを説明する。

【００９４】第７の実施の形態では、被測定物１０２の
電気回路にクロック信号を出力するパルスジェネレータ
９０２を新たに設ける。パルスジェネレータ９０２は、
制御部１０８の制御に従い、任意の周波数のクロック信
号を出力する。なお、ベクトルシグナルアナライザ２０
１は１０ＭＨｚの基準信号源を内蔵するとともに、第３
の実施の形態におけるスプリッタ５０３及びプリスケー
ラ５１１は取り除かれる。

【００９５】パルスジェネレータ９０２内部の局部発振
器は、ベクトルシグナルアナライザ２０１に内蔵の基準
信号源に同期して基準信号を発生し、また、スペクトラ
ムアナライザ２０３，２０６及びダウンコンバータ２０
４，２０７内部の各局部発振器も、ベクトルシグナルア
ナライザ２０１に内蔵の基準信号源に同期し、周波数確
度をあげている。

【００９６】パルスジェネレータ９０２、ベクトルシグ
ナルアナライザ２０１、走査部１０４、演算処理部１０
６、表示部１０７は制御部１０８により制御されてい
る。

【００９７】（第８の実施の形態）次に第８の実施の形
態を説明する。

【００９８】図１７は、本発明に係る電流分布測定装置
の第８の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
８の実施の形態の構成は、基本的に第５の実施の形態と
同じである。そこで、図１４に示す第５の実施の形態と
同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省
略し、異なる部分だけを説明する。

【００９９】第８の実施の形態では、第５の実施の形態
における基準信号入力部１０１が取り除かれている。そ
の代わり、第５の実施の形態における信号比較部１０５
に相当する信号比較部１００５は、１０ＭＨｚの基準信
号源を内蔵し、この基準信号源に同期して測定周波数の
基準信号を内部で発生し、磁界センサ１０３から出力さ
れた測定信号とこの測定周波数の基準信号とを、振幅及
び位相において比較する。

【０１００】信号発生部７０２は、第５の実施の形態と
同様に、信号比較部１００５の基準信号源と同期して任
意の周波数のクロック信号を発生するとともに、制御部
１０８からの制御に従い、任意の周波数のクロック信号
を出力する。こうして作成されたクロック信号は、被測
定物１０２の電気回路に印加される。

【０１０１】信号発生部７０２、走査部１０４、信号比
較部１００５、演算処理部１０６、表示部１０７は制御
部１０８により制御されている。

【０１０２】（第９の実施の形態）次に第９の実施の形
態を説明する。

【０１０３】図１８は、本発明に係る電流分布測定装置
の第９の実施の形態の構成を示すブロック図である。第
９の実施の形態の構成は、基本的に第８の実施の形態と
同じである。そこで、図１７に示す第８の実施の形態と
同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を省
略し、異なる部分だけを説明する。

【０１０４】第９の実施の形態では、第８の実施の形態
における信号比較部１００５に代わってベクトルシグナ
ルアナライザ１１０３を設けるとともに、信号発生部７
０２に代わってパルスジェネレータ１１０２を設ける。

【０１０５】第９の実施の形態でも、第８の実施の形態
と同様に、ベクトルシグナルアナライザ１１０３が、１
０ＭＨｚの基準信号源を内蔵し、この基準信号源に同期
して測定周波数の基準信号を内部で発生し、磁界センサ
１０３から出力された測定信号とこの測定周波数の基準
信号とを、振幅及び位相において比較する。パルスジェ
ネレータ１１０２は、ベクトルシグナルアナライザ１１
０３の基準信号源と同期して任意の周波数のクロック信
号を発生するとともに、制御部１０８からの制御に従
い、基準信号の位相を変化させる。こうして作成された
クロック信号は、被測定物１０２の電気回路に印加され
る。

【０１０６】パルスジェネレータ１１０２、走査部１０
４、ベクトルシグナルアナライザ１１０３、演算処理部
１０６、表示部１０７は制御部１０８により制御されて
いる。

【０１０７】（第１０の実施の形態）次に第１０の実施
の形態を説明する。

【０１０８】図１９は、本発明に係る電流分布測定装置
の第１０の実施の形態の構成を示すブロック図である。
第１０の実施の形態の構成は、基本的に第１の実施の形
態と同じである。そこで、図１に示す第１の実施の形態
と同じ構成部分には同一の参照符号を付してその説明を
省略し、異なる部分だけを説明する。

【０１０９】第１０の実施の形態では、第１の実施の形
態における基準信号入力部１０１の代わりにＲｅｆ信号
入力部１２０２を設けるとともに、信号比較部１０５の
代わりにベクトルシグナルアナライザ１２０１を設け、
Ｒｅｆ信号入力部１２０２とベクトルシグナルアナライ
ザ１２０１との間にプリスケーラ１２０６を設ける。

【０１１０】被測定物１０２の任意の位置における測定
信号をＲｅｆ信号入力部１２０２が、基準信号に相当す
るＲｅｆ信号として検出しプリスケーラ１２０６に出力
する。プリスケーラ１２０６は、Ｒｅｆ信号を、１，
２，５，１０ＭＨｚのいずれかに分周して分周信号を作
成し、ベクトルシグナルアナライザ１２０１に送る。こ
こでプリスケーラのかわりにダウンコンバータを用い
て、基準信号を、１，２，５，１０ＭＨｚのいずれかに
変換してＲｅｆ信号を作成してもよい。

【０１１１】ベクトルシグナルアナライザ１２０１で
は、内蔵の局部発振器がこの分周信号に同期され、周波
数確度を上げている。また、ベクトルシグナルアナライ
ザ１２０１は測定周波数の基準信号を発生できるように
なっており、この測定周波数の基準信号を分周信号に同
期させる。そして、ベクトルシグナルアナライザ１２０
１では、自身が発生する測定周波数の基準信号と、磁界
センサ１０３から出力された測定信号とを、振幅及び位
相において比較する。

【０１１２】走査部１０４、ベクトルシグナルアナライ
ザ１２０１、演算処理部１０６、表示部１０７は制御部
１０８により制御されている。

【０１１３】（他の実施の形態）前述した各実施の形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
憶した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、そ
のシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ
やＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを
読み出して実行することによっても、本発明が達成され
ることは言うまでもない。

【０１１４】この場合、記憶媒体から読み出されたプロ
グラムコード自体が、前述の各実施の形態の機能を実現
することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶
媒体が本発明を構成することになる。

【０１１５】プログラムコードを供給するための記憶媒
体として、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、
ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−
ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカー
ド、ＲＯＭなどを用いることができる。

【０１１６】また、コンピュータが読み出したプログラ
ムコードを実行することにより、前述した各実施の形態
の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコード
の指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳな
どが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によ
って前述した各実施の形態の機能が実現される場合も、
本発明に含まれることは言うまでもない。

【０１１７】さらに、記憶媒体から読み出されたプログ
ラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボー
ドやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わ
るメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指
示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに
備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行
い、その処理によって前述した各実施の形態の機能が実
現される場合も、本発明に含まれることは言うまでもな
い。

【０１１８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、被
測定物の任意の位置における測定信号を基準信号として
検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生す
る電界または磁界を測定する電磁界測定手段と、表示装
置とを備えた電流分布測定装置において、前記電磁界測
定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の位置で電界
または磁界を測定させ、前記電磁界測定手段によって測
定された各電界または各磁界と、前記基準信号検出手段
によって検出された基準信号とに基づき、前記被測定物
における電流ベクトル分布を算出し、該算出された電流
ベクトル分布を前記表示装置に表示させる。

【０１１９】ここで、基準信号の位相が変化することに
より、表示装置に表示される画像が変化し、これによっ
て、この画像を見たユーザは、不要電磁波の発生源、伝
達経路、放射源を切り分けて特定することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電流分布測定装置の第１の実施の
形態の構成を示すブロック図である。

【図２】電流ベクトル及び磁界ベクトルを示す図であ
る。

【図３】電流ベクトル分布の算出処理の手順を示すフロ
ーチャートである。

【図４】被測定物の１つの例を示す図である。

【図５】図４に示す被測定物を第１の実施の形態の電流
分布測定装置により測定を行った結果得られた電流ベク
トル分布のうち、電流の絶対値分布（１／２）を示す図
である。

【図６】図４に示す被測定物を第１の実施の形態の電流
分布測定装置により測定を行った結果得られた電流ベク
トル分布のうち、電流の絶対値分布（２／２）を示す図
である。

【図７】図４に示す被測定物を第１の実施の形態の電流
分布測定装置により測定を行った結果得られた電流ベク
トル分布のうち、電流の方向分布（１／２）を示す図で
ある。

【図８】図４に示す被測定物を第１の実施の形態の電流
分布測定装置により測定を行った結果得られた電流ベク
トル分布のうち、電流の方向分布（２／２）を示す図で
ある。

【図９】本発明に係る電流分布測定装置の第２の実施の
形態の構成を示すブロック図である。

【図１０】基準信号入力部及び磁界センサの第１の構成
例を示す図である。

【図１１】基準信号入力部及び磁界センサの第２の構成
例を示す図である。

【図１２】本発明に係る電流分布測定装置の第３の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１３】本発明に係る電流分布測定装置の第４の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１４】本発明に係る電流分布測定装置の第５の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１５】本発明に係る電流分布測定装置の第６の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１６】本発明に係る電流分布測定装置の第７の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１７】本発明に係る電流分布測定装置の第８の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１８】本発明に係る電流分布測定装置の第９の実施
の形態の構成を示すブロック図である。

【図１９】本発明に係る電流分布測定装置の第１０の実
施の形態の構成を示すブロック図である。

【図２０】回路基板を電子機器に組み込み、筐体やケー
ブルを接続した状態の被測定物を、従来の近傍界強度分
布測定装置によって測定して得られた電流分布測定結果
の一例を示すイメージ図である。

【符号の説明】

１０１基準信号入力部（基準信号検出手段）１０２被測定物１０３磁界センサ（磁界測定手段）１０４走査部（走査手段）１０５信号比較部（算出手段、信号比較手段）１０６演算処理部（算出手段、演算処理手段）１０７表示部（表示手段）１０８制御部２０１ベクトルシグナルアナライザ２０３スペクトラムアナライザ２０４ダウンコンバータ２０６スペクトラムアナライザ２０７ダウンコンバータ３０１被測定物３０２ＩＣ３０３回路基板３０４シャーシ３０５ケーブル３０６磁界ループプローブ３０７磁界ループプローブ３０８ＩＣ３０９回路基板４０１被測定物４０２ＩＣ４０３回路基板４０４シャーシ４０５ケーブル４０６導電接触端子４０７信号線４０８ＩＣピン４０９磁界ループプローブ４１０ＩＣ４１１回路基板５０３スプリッタ５１１プリスケーラ６０１ベクトルネットワークアナライザ６０６スプリッタ６０７プリスケーラ７０２信号発生部（クロック信号入力手段）８０２パルスジェネレータ９０２パルスジェネレータ１００５信号比較部１１０２パルスジェネレータ１１０３ベクトルシグナルアナライザ１２０１ベクトルシグナルアナライザ１２０２Ｒｅｆ信号入力部１２０６プリスケーラ１６０１金属シャーシ１６０２回路基板１６０３回路基板１６０４ケーブル１６０５発振器１６０６ＩＣ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の任意の位置における測定信号
を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定手段
と、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査手段と、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する
算出手段と、前記算出手段によって算出された電流ベクトル分布を表
示する表示手段とを有することを特徴とする電流分布測
定装置。
【請求項２】前記磁界測定手段は、前記被測定物近傍
の複数の位置にそれぞれ配置された複数の磁界センサか
ら構成され、前記走査手段は、前記複数の磁界センサのうち１つを順
次指定し、該指定した磁界センサが測定した磁界を前記
算出手段に出力させることを特徴とする請求項１記載の
電流分布測定装置。
【請求項３】前記磁界測定手段は、前記被測定物近傍
を移動自在な単一の磁界センサから構成され、前記走査手段は、前記単一の磁界センサを前記被測定物
近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で磁界
の測定を行わせ、該測定された各磁界を前記算出手段に
出力させることを特徴とする請求項１記載の電流分布測
定装置。
【請求項４】前記表示手段は、前記電流ベクトル分布
を表示する複数の表示方法のうち１つを指定され、該指
定に従った表示方法によって前記電流ベクトル分布を表
示することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれ
かに記載の電流分布測定装置。
【請求項５】前記複数の表示方法のうち１つは、前記
基準信号の位相が連続的に変化された場合に生じる前記
電流ベクトル分布の変化を、動画表示する表示方法であ
ることを特徴とする請求項４記載の電流分布測定装置。
【請求項６】前記複数の表示方法のうち１つは、前記
基準信号の所定の位相における前記電流ベクトル分布
を、静止画表示する表示方法であることを特徴とする請
求項４記載の電流分布測定装置。
【請求項７】前記算出手段は、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とを、振幅
及び位相において比較する信号比較手段と、前記信号比較手段による比較の結果に基づき、前記被測
定物における電流ベクトル分布を算出する演算処理手段
とを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいず
れかに記載の電流分布測定装置。
【請求項８】前記信号比較手段は、ベクトルシグナルアナライザと、前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
ザとの間に配置された第１のスペクトラムアナライザ及
び第１のダウンコンバータと、前記磁界測定手段と前記ベクトルシグナルアナライザと
の間に配置された第２のスペクトラムアナライザ及び第
２のダウンコンバータとを含むことを特徴とする請求項
７記載の電流分布測定装置。
【請求項９】前記信号比較手段はベクトルネットワー
クアナライザから成ることを特徴とする請求項７記載の
電流分布測定装置。
【請求項１０】前記信号比較手段は基準信号源を備
え、前記基準信号源に同期した測定周波数の基準信号を発生
するとともに、前記基準信号源に同期したクロック信号
を前記被測定物に入力するクロック信号入力手段を、更
に有することを特徴とする請求項７記載の電流分布測定
装置。
【請求項１１】前記クロック信号入力手段はパルスジ
ェネレータから成り、前記信号比較手段はベクトルネッ
トワークアナライザから成ることを特徴とする請求項１
０記載の電流分布測定装置。
【請求項１２】前記クロック信号入力手段はパルスジ
ェネレータから成り、前記信号比較手段は、ベクトルシグナルアナライザと、
前記基準信号検出手段と前記ベクトルシグナルアナライ
ザとの間に配置された第１のスペクトラムアナライザ及
び第１のダウンコンバータと、前記磁界測定手段と前記
ベクトルシグナルアナライザとの間に配置された第２の
スペクトラムアナライザ及び第２のダウンコンバータと
を含むことを特徴とする請求項１０記載の電流分布測定
装置。
【請求項１３】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物の所定位置における磁界を測定する磁界ループプロー
ブから成ることを特徴とする請求項１乃至請求項１２の
いずれかに記載の電流分布測定装置。
【請求項１４】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物の所定位置における電界を測定する電界プローブから
成ることを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれ
かに記載の電流分布測定装置。
【請求項１５】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物内の電気回路の所定位置に接触して電流または電圧を
検出する導体接触端子から成ることを特徴とする請求項
１乃至請求項１２のいずれかに記載の電流分布測定装
置。
【請求項１６】前記磁界測定手段は、磁界を測定する
磁界ループプローブから成ることを特徴とする請求項１
乃至請求項１５のいずれかに記載の電流分布測定装置。
【請求項１７】前記磁界測定手段によって測定された
各磁界に基づき、前記被測定物における磁界分布を作成
し、前記表示手段に表示させる作成表示手段を、更に有
することを特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれ
かに記載の電流分布測定装置。
【請求項１８】基準信号源に同期したクロック信号を
発生し、被測定物に入力するクロック信号入力手段と、前記クロック信号の入力に伴ない前記被測定物から発生
する磁界を測定する磁界測定手段と、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査手段と、前記基準信号源を内蔵し、前記磁界測定手段によって測
定された各磁界と前記基準信号源に同期した測定周波数
の基準信号とに基づき、前記被測定物における電流ベク
トル分布を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出された電流ベクトル分布を表
示する表示手段とを有することを特徴とする電流分布測
定装置。
【請求項１９】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の磁界センサ
から構成され、前記走査手段は、前記複数の磁界センサのうち１つを順
次指定し、該指定した磁界センサが測定した磁界を前記
算出手段に出力させることを特徴とする請求項１８記載
の電流分布測定装置。
【請求項２０】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍を移動自在な単一の磁界センサから構成され、前記走査手段は、前記単一の磁界センサを前記被測定物
近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で磁界
の測定を行わせ、該測定された各磁界を前記算出手段に
出力させることを特徴とする請求項１８記載の電流分布
測定装置。
【請求項２１】前記表示手段は、前記電流ベクトル分
布を表示する複数の表示方法のうち１つを指定され、該
指定に従った表示方法によって前記電流ベクトル分布を
表示することを特徴とする請求項１８乃至請求項２０の
いずれかに記載の電流分布測定装置。
【請求項２２】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記測定周波数の基準信号の位相が連続的に変化された場
合に生じる前記電流ベクトル分布の変化を、動画表示す
る表示方法であることを特徴とする請求項２１記載の電
流分布測定装置。
【請求項２３】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の所定の位相における前記電流ベクトル分布
を、静止画表示する表示方法であることを特徴とする請
求項２１記載の電流分布測定装置。
【請求項２４】前記算出手段は、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号源に同期した前記測定周波数の基準信号とを、振
幅及び位相において比較する信号比較手段と、前記信号比較手段による比較の結果に基づき、前記被測
定物における電流ベクトル分布を算出する演算処理手段
とを含むことを特徴とする請求項１８至請求項２３のい
ずれかに記載の電流分布測定装置。
【請求項２５】前記クロック信号入力手段はパルスジ
ェネレータから成り、前記信号比較手段はベクトルシグ
ナルアナライザから成ることを特徴とする請求項２４記
載の電流分布測定装置。
【請求項２６】被測定物の任意の位置における測定信
号を第１の基準信号として検出する基準信号検出手段
と、前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定
手段と、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査手段と、前記基準信号検出手段により検出された第１の基準信号
に同期する第２の基準信号を発生するとともに、前記磁
界測定手段によって測定された各磁界と、前記第２の基
準信号に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出手
段と、前記算出手段によって算出された電流ベクトル分布を表
示する表示手段とを有することを特徴とする電流分布測
定装置。
【請求項２７】前記算出手段は、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記第
２の基準信号に同期した前記測定周波数の基準信号と
を、振幅及び位相において比較する信号比較手段と、前記信号比較手段による比較の結果に基づき、前記被測
定物における電流ベクトル分布を算出する演算処理手段
とを含むことを特徴とする請求項２６記載の電流分布測
定装置。
【請求項２８】前記信号比較手段はベクトルシグナル
アナライザから成ることを特徴とする請求項２７記載の
電流分布測定装置。
【請求項２９】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物の所定位置における磁界を測定する磁界ループプロー
ブから成ることを特徴とする請求項２６乃至請求項２８
のいずれかに記載の電流分布測定装置。
【請求項３０】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物の所定位置における電界を測定する電界プローブから
成ることを特徴とする請求項２６乃至請求項２８のいず
れかに記載の電流分布測定装置。
【請求項３１】前記基準信号検出手段は、前記被測定
物内の電気回路の所定位置に接触して電流または電圧を
検出する導体接触端子から成ることを特徴とする請求項
２６乃至請求項２８のいずれかに記載の電流分布測定装
置。
【請求項３２】被測定物の任意の位置における測定信
号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定手段と、
表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用される電流
分布測定方法において、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する
算出ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする電流分布測定方法。
【請求項３３】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の磁界センサ
から構成され、前記走査ステップは、前記複数の磁界センサのうち１つ
を順次指定し、該指定した磁界センサに、該磁界センサ
が測定した磁界を出力させることを特徴とする請求項３
２記載の電流分布測定方法。
【請求項３４】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍を移動自在な単一の磁界センサから構成され、前記走査ステップは、前記単一の磁界センサを前記被測
定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
磁界の測定を行わせ、該測定された各磁界を出力させる
ことを特徴とする請求項３２記載の電流分布測定方法。
【請求項３５】前記表示ステップは、前記電流ベクト
ル分布を表示する複数の表示方法のうち１つを指定さ
れ、該指定に従った表示方法によって前記電流ベクトル
分布を表示することを特徴とする請求項３２乃至請求項
３４のいずれかに記載の電流分布測定方法。
【請求項３６】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生じる前
記電流ベクトル分布の変化を、動画表示する表示方法で
あることを特徴とする請求項３５記載の電流分布測定方
法。
【請求項３７】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の所定の位相における前記電流ベクトル分布
を、静止画表示する表示方法であることを特徴とする請
求項３５記載の電流分布測定方法。
【請求項３８】前記電流分布測定装置が基準信号源を
備えるともに、前記基準信号源に同期したクロック信号
を発生して前記被測定物に入力するクロック信号入力手
段を備え、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップを、更
に有することを特徴とする請求項３２乃至請求項３７の
いずれかに記載の電流分布測定方法。
【請求項３９】基準信号源に同期したクロック信号を
発生し、被測定物に入力するクロック信号入力手段と、
前記クロック信号の入力に伴ない前記被測定物から発生
する磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備え
た電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法にお
いて、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップと、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と前記基準
信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ス
テップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする電流分布測定方法。
【請求項４０】被測定物の任意の位置における測定信
号を第１の基準信号として検出する基準信号検出手段
と、前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定手段
と、表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用される
電流分布測定方法において、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記基準信号検出手段により検出された第１の基準信号
に同期する第２の基準信号を発生させるとともに、前記
磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記第２の
基準信号に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、
前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出
ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする電流分布測定方法。
【請求項４１】被測定物の任意の位置における測定信
号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定手段と、
表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用される電流
分布測定方法を、コンピュータに実行させるためのプロ
グラムにおいて、前記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する
算出ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とするプログラム。
【請求項４２】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の磁界センサ
から構成され、前記走査ステップは、前記複数の磁界センサのうち１つ
を順次指定し、該指定した磁界センサに、該磁界センサ
が測定した磁界を出力させることを特徴とする請求項４
１記載のプログラム。
【請求項４３】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍を移動自在な単一の磁界センサから構成され、前記走査ステップは、前記単一の磁界センサを前記被測
定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
磁界の測定を行わせ、該測定された各磁界を出力させる
ことを特徴とする請求項４１記載のプログラム。
【請求項４４】前記表示ステップは、前記電流ベクト
ル分布を表示する複数の表示方法のうち１つを指定さ
れ、該指定に従った表示方法によって前記電流ベクトル
分布を表示することを特徴とする請求項４１乃至請求項
４３のいずれかに記載のプログラム。
【請求項４５】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生じる前
記電流ベクトル分布の変化を、動画表示する表示方法で
あることを特徴とする請求項４４記載のプログラム。
【請求項４６】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の所定の位相における前記電流ベクトル分布
を、静止画表示する表示方法であることを特徴とする請
求項４４記載のプログラム。
【請求項４７】前記電流分布測定装置が基準信号源を
備えるともに、前記基準信号源に同期したクロック信号
を発生して前記被測定物に入力するクロック信号入力手
段を備え、前記電流分布測定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップを更に
有することを特徴とする請求項４１乃至請求項４６のい
ずれかに記載のプログラム。
【請求項４８】基準信号源に同期したクロック信号を
発生して被測定物に入力するクロック信号入力手段と、
前記クロック信号の入力に伴ない前記被測定物から発生
する磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを備え
た電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法を、
コンピュータに実行させるためのプログラムにおいて、前記電流分布測定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップと、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と前記基準
信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ス
テップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とするプログラム。
【請求項４９】被測定物の任意の位置における測定信
号を第１の基準信号として検出する基準信号検出手段
と、前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定
手段と、表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用さ
れる電流分布測定方法を、コンピュータに実行させるた
めのプログラムにおいて、前記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記基準信号検出手段により検出された第１の基準信号
に同期する第２の基準信号を発生させるとともに、前記
磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記第２の
基準信号に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、
前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出
ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とするプログラム。
【請求項５０】被測定物の任意の位置における測定信
号を基準信号として検出する基準信号検出手段と、前記
被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定手段と、
表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用される電流
分布測定方法をプログラムとして記憶した、コンピュー
タにより読み出し可能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記基
準信号検出手段によって検出された基準信号とに基づ
き、前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する
算出ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする記憶媒体。
【請求項５１】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍の複数の位置にそれぞれ配置された複数の磁界センサ
から構成され、前記走査ステップは、前記複数の磁界センサのうち１つ
を順次指定し、該指定した磁界センサに、該磁界センサ
が測定した磁界を出力させることを特徴とする請求項５
０記載の記憶媒体。
【請求項５２】前記磁界測定手段は、前記被測定物近
傍を移動自在な単一の磁界センサから構成され、前記走査ステップは、前記単一の磁界センサを前記被測
定物近傍で移動させ、前記被測定物近傍の複数の位置で
磁界の測定を行わせ、該測定された各磁界を出力させる
ことを特徴とする請求項５０記載の記憶媒体。
【請求項５３】前記表示ステップは、前記電流ベクト
ル分布を表示する複数の表示方法のうち１つを指定さ
れ、該指定に従った表示方法によって前記電流ベクトル
分布を表示することを特徴とする請求項５１乃至請求項
５２のいずれかに記載の記憶媒体。
【請求項５４】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の位相が連続的に変化された場合に生じる前
記電流ベクトル分布の変化を、動画表示する表示方法で
あることを特徴とする請求項５３記載の記憶媒体。
【請求項５５】前記複数の表示方法のうち１つは、前
記基準信号の所定の位相における前記電流ベクトル分布
を、静止画表示する表示方法であることを特徴とする請
求項５３記載の記憶媒体。
【請求項５６】前記電流分布測定装置が基準信号源を
備えるともに、前記基準信号源に同期したクロック信号
を発生して前記被測定物に入力するクロック信号入力手
段を備え、前記電流分布測定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップを更に
有することを特徴とする請求項５０乃至請求項５５のい
ずれかに記載の記憶媒体。
【請求項５７】基準信号源に同期したクロック信号を
発生して前記被測定物に入力するクロック信号入力手段
と、前記クロック信号の入力に伴ない前記被測定物から
発生する磁界を測定する磁界測定手段と、表示装置とを
備えた電流分布測定装置に適用される電流分布測定方法
をプログラムとして記憶した、コンピュータにより読み
出し可能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前記クロック信号を、前記基準信号源に同期させるとと
もに、該基準信号源に同期した測定周波数の基準信号の
位相を連続的に変化させる基準信号制御ステップと、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記磁界測定手段によって測定された各磁界と前記基準
信号源に同期した測定周波数の基準信号とに基づき、前
記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出ス
テップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする記憶媒体。
【請求項５８】被測定物の任意の位置における測定信
号を第１の基準信号として検出する基準信号検出手段
と、前記被測定物から発生する磁界を測定する磁界測定
手段と、表示装置とを備えた電流分布測定装置に適用さ
れる電流分布測定方法をプログラムとして記憶した、コ
ンピュータにより読み出し可能な記憶媒体において、前記電流分布測定方法が、前記磁界測定手段に対して、前記被測定物近傍の複数の
位置で磁界を測定させる走査ステップと、前記基準信号検出手段により検出された第１の基準信号
に同期する第２の基準信号を発生させるとともに、前記
磁界測定手段によって測定された各磁界と、前記第２の
基準信号に同期した測定周波数の同期信号とに基づき、
前記被測定物における電流ベクトル分布を算出する算出
ステップと、前記算出ステップによって算出された電流ベクトル分布
を前記表示装置に表示させる表示ステップとを有するこ
とを特徴とする記憶媒体。