JP2003166964A - 湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法 - Google Patents
湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長期に渡り高精度な湿度検出ができる湿度セ
ンサの制御装置及び湿度センサの制御方法を提供するこ
と。 【解決手段】 第１比較抵抗（２３）と感湿素子部
（３）と第２比較抵抗（２５）と直列に接続し、それら
に例えば２Ｖの直流電圧を印加し、その際の感湿素子部
（３）の両端の（感湿素子部３の抵抗を示す）直流分圧
を検出し、この直流分圧に基づいて排気ガスの湿度を求
める。また、湿度センサ（１）のセンサ出力を、正常な
湿度センサ（１）のセンサ出力と比較することにより、
湿度センサ（１）の劣化の状態を検出することができ
る。更に、湿度センサ（１）の出力に基づいて、湿度セ
ンサ（１）の故障の状態を的確に判定することができ
る。
ンサの制御装置及び湿度センサの制御方法を提供するこ
と。 【解決手段】 第１比較抵抗（２３）と感湿素子部
（３）と第２比較抵抗（２５）と直列に接続し、それら
に例えば２Ｖの直流電圧を印加し、その際の感湿素子部
（３）の両端の（感湿素子部３の抵抗を示す）直流分圧
を検出し、この直流分圧に基づいて排気ガスの湿度を求
める。また、湿度センサ（１）のセンサ出力を、正常な
湿度センサ（１）のセンサ出力と比較することにより、
湿度センサ（１）の劣化の状態を検出することができ
る。更に、湿度センサ（１）の出力に基づいて、湿度セ
ンサ（１）の故障の状態を的確に判定することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、内燃機関の排気ガ
ス雰囲気内で使用されるインピーダンス変化式の湿度セ
ンサの制御装置及び湿度センサの制御方法に関する。
ス雰囲気内で使用されるインピーダンス変化式の湿度セ
ンサの制御装置及び湿度センサの制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、内燃機関の排気ガスを浄化す
るために、排気ガス中の炭化水素及び水分を吸着する吸
着材を利用した三元触媒等の浄化材が使用されている。
ところが、この浄化材は、長期間使用するとその浄化性
能が劣化するため、例えばＥＰ１１３２５８９Ａ１号公
報に記載されている様に、浄化材の状態を、浄化材の下
流側に配置した湿度センサによって検出する方法が知ら
れている。
るために、排気ガス中の炭化水素及び水分を吸着する吸
着材を利用した三元触媒等の浄化材が使用されている。
ところが、この浄化材は、長期間使用するとその浄化性
能が劣化するため、例えばＥＰ１１３２５８９Ａ１号公
報に記載されている様に、浄化材の状態を、浄化材の下
流側に配置した湿度センサによって検出する方法が知ら
れている。
【０００３】具体的には、この方法は、浄化材が劣化す
ると、内燃機関の始動後における湿度（絶対湿度）が急
上昇するタイミングが変化（早まる）するので、このセ
ンサ出力の変化から浄化材の劣化の状態を検出するもの
である。上述した技術においては、湿度センサにより湿
度を検出するために、湿度センサの感湿素子（即ち湿度
が変化すると抵抗が変化する素子）と比較抵抗を直列に
配置し、それらに高周波の交流電圧を印加することによ
り感湿素子の交流分圧を検出し、その交流分圧から感湿
素子の抵抗（従って湿度）を求めている。
ると、内燃機関の始動後における湿度（絶対湿度）が急
上昇するタイミングが変化（早まる）するので、このセ
ンサ出力の変化から浄化材の劣化の状態を検出するもの
である。上述した技術においては、湿度センサにより湿
度を検出するために、湿度センサの感湿素子（即ち湿度
が変化すると抵抗が変化する素子）と比較抵抗を直列に
配置し、それらに高周波の交流電圧を印加することによ
り感湿素子の交流分圧を検出し、その交流分圧から感湿
素子の抵抗（従って湿度）を求めている。
【０００４】また、前記湿度センサは、抵抗とコンデン
サーを並列に接続した等価回路として表現でき、この等
価回路のインピーダンスＺは、下記式（１）にて示すこ
とができる。 Ｚ＝Ｒ／（１＋ω2Ｃ2Ｒ2）−ｉ（ωＣＲ2／（１＋ω2Ｃ2Ｒ2）・・（１） 但しｉ：虚数 ω：２πｆ 第１項（実数項）：抵抗成分（Ｒ成分） 第２項（虚数項）：コンデンサによるリアクタンス成分
（Ｃ成分）
サーを並列に接続した等価回路として表現でき、この等
価回路のインピーダンスＺは、下記式（１）にて示すこ
とができる。 Ｚ＝Ｒ／（１＋ω2Ｃ2Ｒ2）−ｉ（ωＣＲ2／（１＋ω2Ｃ2Ｒ2）・・（１） 但しｉ：虚数 ω：２πｆ 第１項（実数項）：抵抗成分（Ｒ成分） 第２項（虚数項）：コンデンサによるリアクタンス成分
（Ｃ成分）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成の湿度センサを、自動車等の内燃機関に装着した
場合には、還元性雰囲気による劣化、各種コンタミネー
ション成分、化学吸着水の付着等によって、湿度センサ
のＣ成分、Ｒ成分が大きくなる方向に変化してしまう。
た構成の湿度センサを、自動車等の内燃機関に装着した
場合には、還元性雰囲気による劣化、各種コンタミネー
ション成分、化学吸着水の付着等によって、湿度センサ
のＣ成分、Ｒ成分が大きくなる方向に変化してしまう。
【０００６】そこで、前記湿度センサを使用する際に
は、Ｃ成分によるインピーダンスが０になるように、制
御周波数を例えば５００Ｈｚ〜１０００Ｈｚに設定する
が、その場合でも、湿度センサが劣化すると、どうして
もＣ成分が変化して位相がずれてしまう。そのため、例
えば交流分圧を検出するためにマイコン等を使用する場
合には、交流電圧のピーク値がとれず、結果として正確
に交流分圧を検出できないという問題があった。
は、Ｃ成分によるインピーダンスが０になるように、制
御周波数を例えば５００Ｈｚ〜１０００Ｈｚに設定する
が、その場合でも、湿度センサが劣化すると、どうして
もＣ成分が変化して位相がずれてしまう。そのため、例
えば交流分圧を検出するためにマイコン等を使用する場
合には、交流電圧のピーク値がとれず、結果として正確
に交流分圧を検出できないという問題があった。
【０００７】例えば図１４にインピーダンス特性模式図
を示す様に、従来の高周波の交流電圧を印加する湿度セ
ンサでは、使用しているうちに、特にＣ成分の影響を受
けて、新品センサと比べてその特性が変化してしまう。
その結果、排気ガスの湿度を正確に求めることができ
ず、それにより、浄化材の劣化の判定を正しく行うこと
ができないという問題があった。
を示す様に、従来の高周波の交流電圧を印加する湿度セ
ンサでは、使用しているうちに、特にＣ成分の影響を受
けて、新品センサと比べてその特性が変化してしまう。
その結果、排気ガスの湿度を正確に求めることができ
ず、それにより、浄化材の劣化の判定を正しく行うこと
ができないという問題があった。
【０００８】また、これとは別に、通常の排煙装置など
に用いられる湿度センサとして、湿度センサに一定期間
（例えば十数秒〜数十秒間）直流電圧を印加して湿度を
検出する方法も考えられるが、計測に数十秒要するよう
な検出方法では、自動車等の内燃機関における湿度計測
には不適であるという問題があった。
に用いられる湿度センサとして、湿度センサに一定期間
（例えば十数秒〜数十秒間）直流電圧を印加して湿度を
検出する方法も考えられるが、計測に数十秒要するよう
な検出方法では、自動車等の内燃機関における湿度計測
には不適であるという問題があった。
【０００９】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れたものであり、長期に渡り高精度な湿度検出ができる
湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法を提供
することを目的とする。
れたものであり、長期に渡り高精度な湿度検出ができる
湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法を提供
することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】（１）請
求項１の発明は、内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置さ
れるインピーダンス変化式の湿度センサの制御装置にお
いて、湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部
と、前記感湿素子部と直列に接続された比較抵抗と、前
記感湿素子部及び比較抵抗に直流電圧を印加する直流電
圧印加手段と、前記感湿素子部に印加されている直流分
圧を検知する直流分圧検知手段と、を備えたことを特徴
とする。
求項１の発明は、内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置さ
れるインピーダンス変化式の湿度センサの制御装置にお
いて、湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部
と、前記感湿素子部と直列に接続された比較抵抗と、前
記感湿素子部及び比較抵抗に直流電圧を印加する直流電
圧印加手段と、前記感湿素子部に印加されている直流分
圧を検知する直流分圧検知手段と、を備えたことを特徴
とする。
【００１１】本発明は、内燃機関の排気ガス中に配置さ
れた浄化材（例えば排気ガス中の炭化水素や水分を吸着
する吸着材）の劣化を、排気ガスの湿度の変化により検
出できるものである。本発明では、感湿素子部と比較抵
抗を直列に接続し、感湿素子部と比較抵抗に直流電圧を
印加して、感湿素子部の直流分圧を測定するので、上述
した高周波の交流を印加した場合に生ずる位相のずれを
無くすることができる。
れた浄化材（例えば排気ガス中の炭化水素や水分を吸着
する吸着材）の劣化を、排気ガスの湿度の変化により検
出できるものである。本発明では、感湿素子部と比較抵
抗を直列に接続し、感湿素子部と比較抵抗に直流電圧を
印加して、感湿素子部の直流分圧を測定するので、上述
した高周波の交流を印加した場合に生ずる位相のずれを
無くすることができる。
【００１２】これにより、排気ガスにおける湿度の変化
のタイミングを正確に求めることができるので、浄化材
の劣化を的確に検出することができる。尚、後述する様
に、直流電圧を印加する場合には、インピーダンスのう
ちの抵抗成分の変化を利用するので、その場合の湿度セ
ンサは、いわゆる抵抗変化式の湿度センサである。
のタイミングを正確に求めることができるので、浄化材
の劣化を的確に検出することができる。尚、後述する様
に、直流電圧を印加する場合には、インピーダンスのう
ちの抵抗成分の変化を利用するので、その場合の湿度セ
ンサは、いわゆる抵抗変化式の湿度センサである。
【００１３】（２）請求項２の発明は、内燃機関の排気
ガス雰囲気中に配置されるインピーダンス変化式の湿度
センサの制御装置において、湿度によりインピーダンス
が変化する感湿素子部と、前記感湿素子部と直列に接続
された比較抵抗と、前記感湿素子部及び比較抵抗に１０
０Ｈｚ以下の交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、
前記感湿素子部に印加されている交流分圧を検知する交
流分圧検知手段と、を備えたことを特徴とする。
ガス雰囲気中に配置されるインピーダンス変化式の湿度
センサの制御装置において、湿度によりインピーダンス
が変化する感湿素子部と、前記感湿素子部と直列に接続
された比較抵抗と、前記感湿素子部及び比較抵抗に１０
０Ｈｚ以下の交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、
前記感湿素子部に印加されている交流分圧を検知する交
流分圧検知手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】本発明は、内燃機関の排気ガス中に配置さ
れた浄化材（例えば排気ガス中の炭化水素や水分を吸着
する吸着材）の劣化を、排気ガスの湿度の変化により検
出できるものである。本発明では、感湿素子部と比較抵
抗を直列に接続し、感湿素子部と比較抵抗に１００Ｈｚ
以下の従来より低周波の交流電圧を印加して、感湿素子
部の交流分圧を測定するので、上述した高周波の交流を
印加した場合に生ずる位相のずれを低減することができ
る。
れた浄化材（例えば排気ガス中の炭化水素や水分を吸着
する吸着材）の劣化を、排気ガスの湿度の変化により検
出できるものである。本発明では、感湿素子部と比較抵
抗を直列に接続し、感湿素子部と比較抵抗に１００Ｈｚ
以下の従来より低周波の交流電圧を印加して、感湿素子
部の交流分圧を測定するので、上述した高周波の交流を
印加した場合に生ずる位相のずれを低減することができ
る。
【００１５】これにより、排気ガスにおける湿度の変化
のタイミングを正確に求めることができるので、浄化材
の劣化を的確に検出することができる。 （３）請求項３の発明は、前記内燃機関の始動直後か
ら、前記湿度センサの低湿度側から高湿度側への急激な
出力の変化までの期間に基づいて、前記排気ガスの浄化
に用いられる浄化材の劣化の状態を検出することを特徴
とする。
のタイミングを正確に求めることができるので、浄化材
の劣化を的確に検出することができる。 （３）請求項３の発明は、前記内燃機関の始動直後か
ら、前記湿度センサの低湿度側から高湿度側への急激な
出力の変化までの期間に基づいて、前記排気ガスの浄化
に用いられる浄化材の劣化の状態を検出することを特徴
とする。
【００１６】本発明は、浄化材の劣化の状態を検出する
手順を例示したものである。つまり、後述する図６に示
す様に、浄化材が劣化すると、例えば、内燃機関の始動
直後から、湿度センサの低湿度側から高湿度側への急激
な出力の変化（図６の立ち下がり）までの期間が変化す
る（即ち短くなる）ので、この期間を測定することによ
って、浄化材の劣化を検出することができる。
手順を例示したものである。つまり、後述する図６に示
す様に、浄化材が劣化すると、例えば、内燃機関の始動
直後から、湿度センサの低湿度側から高湿度側への急激
な出力の変化（図６の立ち下がり）までの期間が変化す
る（即ち短くなる）ので、この期間を測定することによ
って、浄化材の劣化を検出することができる。
【００１７】（４）請求項４の発明は、前記内燃機関の
始動直後における、前記湿度センサの低湿度側への変化
の程度に基づいて、前記湿度センサの劣化の状態を検出
することを特徴とする。湿度センサは、長期間使用する
と、排気ガス中のカーボン、結晶水、各種コンタミネー
ション等の汚れ物質が感湿素子部などに付着し、その特
性が変化（高抵抗化：劣化）する。
始動直後における、前記湿度センサの低湿度側への変化
の程度に基づいて、前記湿度センサの劣化の状態を検出
することを特徴とする。湿度センサは、長期間使用する
と、排気ガス中のカーボン、結晶水、各種コンタミネー
ション等の汚れ物質が感湿素子部などに付着し、その特
性が変化（高抵抗化：劣化）する。
【００１８】そして、後述する図１２に示す様に、湿度
センサが劣化した場合には、劣化していない場合と比べ
て、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側
への変化の程度（例えばセンサ出力の傾き：立ち上がり
特性）が異なる。例えば劣化が進んでいるほどセンサ出
力の傾きが大である。従って、この出力の変化の程度を
求めることにより、湿度センサの劣化の程度を検出する
ことができる。
センサが劣化した場合には、劣化していない場合と比べ
て、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側
への変化の程度（例えばセンサ出力の傾き：立ち上がり
特性）が異なる。例えば劣化が進んでいるほどセンサ出
力の傾きが大である。従って、この出力の変化の程度を
求めることにより、湿度センサの劣化の程度を検出する
ことができる。
【００１９】（５）請求項５の発明は、前記内燃機関の
始動直後における、前記湿度センサの低湿度側への出力
の値の大きさに基づいて、前記湿度センサの劣化の状態
を検出することを特徴とする。図１２に示す様に、湿度
センサが劣化した場合には、劣化していない場合と比べ
て、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側
への出力の値の大きさ（例えば絶対値：上限の２Ｖに張
り付いた値）が異なる。例えば劣化が進んでいるほどセ
ンサ出力の上限値が大である。従って、この出力の大き
さを求めることにより、湿度センサの劣化の程度を検出
することができる。
始動直後における、前記湿度センサの低湿度側への出力
の値の大きさに基づいて、前記湿度センサの劣化の状態
を検出することを特徴とする。図１２に示す様に、湿度
センサが劣化した場合には、劣化していない場合と比べ
て、内燃機関の始動直後における湿度センサの低湿度側
への出力の値の大きさ（例えば絶対値：上限の２Ｖに張
り付いた値）が異なる。例えば劣化が進んでいるほどセ
ンサ出力の上限値が大である。従って、この出力の大き
さを求めることにより、湿度センサの劣化の程度を検出
することができる。
【００２０】（６）請求項６の発明は、前記内燃機関の
始動後における、前記湿度センサの低湿度側から高湿度
側へ急変した出力の値の大きさに基づいて、前記湿度セ
ンサの劣化の状態を検出することを特徴とする。図１２
に示す様に、湿度センサが劣化した場合には、劣化して
いない場合と比べて、内燃機関の始動後における湿度セ
ンサの低湿度側から高湿度側へ急変した出力の値の大き
さ（例えば立ち下がりの場合の下限値）が異なる。例え
ば劣化が進んでいるほどセンサ出力の下限値が大きくな
る。従って、この出力の大きさを求めることにより、湿
度センサの劣化の程度を検出することができる。
始動後における、前記湿度センサの低湿度側から高湿度
側へ急変した出力の値の大きさに基づいて、前記湿度セ
ンサの劣化の状態を検出することを特徴とする。図１２
に示す様に、湿度センサが劣化した場合には、劣化して
いない場合と比べて、内燃機関の始動後における湿度セ
ンサの低湿度側から高湿度側へ急変した出力の値の大き
さ（例えば立ち下がりの場合の下限値）が異なる。例え
ば劣化が進んでいるほどセンサ出力の下限値が大きくな
る。従って、この出力の大きさを求めることにより、湿
度センサの劣化の程度を検出することができる。
【００２１】（７）請求項７の発明は、前記内燃機関の
始動後における、前記湿度センサの低湿度側から高湿度
側へ急変した後の分極反応による出力増加の程度に基づ
いて、前記湿度センサの劣化の状態を検出することを特
徴とする。図１２に示す様に、湿度センサが劣化した場
合には、劣化していない場合と比べて、内燃機関の始動
後における湿度センサの低湿度側から高湿度側へ急変し
た後の分極反応による出力増加の程度（例えば立ち下が
りの後の増加の勾配）が異なる。例えば制御方法によっ
て異なるが、後述する図４に基づく実施の形態では、劣
化が進んでいるほどセンサ出力の増加の勾配が急にな
る。従って、この出力の増加の程度を求めることによ
り、湿度センサの劣化の程度を検出することができる。
始動後における、前記湿度センサの低湿度側から高湿度
側へ急変した後の分極反応による出力増加の程度に基づ
いて、前記湿度センサの劣化の状態を検出することを特
徴とする。図１２に示す様に、湿度センサが劣化した場
合には、劣化していない場合と比べて、内燃機関の始動
後における湿度センサの低湿度側から高湿度側へ急変し
た後の分極反応による出力増加の程度（例えば立ち下が
りの後の増加の勾配）が異なる。例えば制御方法によっ
て異なるが、後述する図４に基づく実施の形態では、劣
化が進んでいるほどセンサ出力の増加の勾配が急にな
る。従って、この出力の増加の程度を求めることによ
り、湿度センサの劣化の程度を検出することができる。
【００２２】尚、分極反応とは、直流電圧を印加するこ
とによる一方向の電気の流れのために、電荷が偏ること
により抵抗が徐々に増加する現象のことである。 （８）請求項８の発明は、前記感湿素子部を加熱するヒ
ータを備え、前記内燃機関中の作動中又は停止後に、所
定期間にわたり前記感湿素子部の加熱クリーニングを実
施することを特徴とする。
とによる一方向の電気の流れのために、電荷が偏ること
により抵抗が徐々に増加する現象のことである。 （８）請求項８の発明は、前記感湿素子部を加熱するヒ
ータを備え、前記内燃機関中の作動中又は停止後に、所
定期間にわたり前記感湿素子部の加熱クリーニングを実
施することを特徴とする。
【００２３】湿度センサに汚れ物質が付着した場合に
は、湿度センサの性能が低下（高抵抗化）するが、本発
明では、ヒータにより加熱クリーニングを行うので、汚
れ物質を除去して性能を回復することができる。 （９）請求項９の発明は、前記湿度センサの出力に基づ
いて、前記加熱クリーニングの実施内容を設定する。
は、湿度センサの性能が低下（高抵抗化）するが、本発
明では、ヒータにより加熱クリーニングを行うので、汚
れ物質を除去して性能を回復することができる。 （９）請求項９の発明は、前記湿度センサの出力に基づ
いて、前記加熱クリーニングの実施内容を設定する。
【００２４】湿度センサの出力は、前記図１２に示す様
に、劣化の状態に応じて変化するので、湿度センサの出
力に応じて劣化の程度を検出し、例えば劣化の程度が大
きな場合には、加熱温度を高くしたり加熱時間を長くす
ることにより、十分に且つ効率よく汚れ物質を除去する
ことができる。
に、劣化の状態に応じて変化するので、湿度センサの出
力に応じて劣化の程度を検出し、例えば劣化の程度が大
きな場合には、加熱温度を高くしたり加熱時間を長くす
ることにより、十分に且つ効率よく汚れ物質を除去する
ことができる。
【００２５】（１０）請求項１０の発明は、前記加熱ク
リーニングの実施内容は、前記請求項３〜７のいずれか
に記載の前記湿度センサの検出した劣化の状態に応じて
行うことを特徴とする。本発明は、加熱クリーニングを
実施するための劣化の検出の手順を例示したものであ
る。
リーニングの実施内容は、前記請求項３〜７のいずれか
に記載の前記湿度センサの検出した劣化の状態に応じて
行うことを特徴とする。本発明は、加熱クリーニングを
実施するための劣化の検出の手順を例示したものであ
る。
【００２６】（１１）請求項１１の発明は、前記湿度セ
ンサの出力に基づいて、前記湿度センサの故障の状態を
判定することを特徴とする。湿度センサの出力は、湿度
の状態に応じて変動するが、正常と異なるセンサ出力と
なった場合には、湿度センサの故障が発生したと見なす
ことができる。これにより、湿度センサの故障を検出す
ることができる。
ンサの出力に基づいて、前記湿度センサの故障の状態を
判定することを特徴とする。湿度センサの出力は、湿度
の状態に応じて変動するが、正常と異なるセンサ出力と
なった場合には、湿度センサの故障が発生したと見なす
ことができる。これにより、湿度センサの故障を検出す
ることができる。
【００２７】（１２）請求項１２の発明は、前記内燃機
関の始動直後における前記湿度センサの出力が、高湿度
側又は低湿度側に張り付いた状態となった場合には、前
記湿度センサに故障が発生したと判定することを特徴と
する。後述する図７に例示する様に、センサ出力が、例
えば内燃時間の始動時から変動がなく、低湿度側を示す
上限値に張り付いている場合には、断線（オープン）し
ていると判定することができる。
関の始動直後における前記湿度センサの出力が、高湿度
側又は低湿度側に張り付いた状態となった場合には、前
記湿度センサに故障が発生したと判定することを特徴と
する。後述する図７に例示する様に、センサ出力が、例
えば内燃時間の始動時から変動がなく、低湿度側を示す
上限値に張り付いている場合には、断線（オープン）し
ていると判定することができる。
【００２８】また、逆に、センサ出力が、高湿度側を示
す下限値に張り付いている場合には、短絡（ショート）
又はヒータの断線により加熱ができない状態であると判
定することができる。更に、加熱クリーニングを実施す
る際に、ヒータに電流が流れない場合には、ヒータ断線
と判定することができるので、ヒータが断線でないにも
かかわらず、センサ出力が下限値に張り付いている場合
には、湿度センサのショートであると判定することがで
きる。
す下限値に張り付いている場合には、短絡（ショート）
又はヒータの断線により加熱ができない状態であると判
定することができる。更に、加熱クリーニングを実施す
る際に、ヒータに電流が流れない場合には、ヒータ断線
と判定することができるので、ヒータが断線でないにも
かかわらず、センサ出力が下限値に張り付いている場合
には、湿度センサのショートであると判定することがで
きる。
【００２９】（１３）請求項１３〜２４の湿度センサの
制御方法の発明は、それぞれ順次対応する前記請求項１
〜１２の湿度センサの制御装置の発明と、同様な作用効
果を奏する。尚、上述した各発明において、直流電圧を
印加する場合には、インピーダンスの抵抗成分（Ｒ成
分）の変化を用いて湿度を検出する、いわゆる抵抗変化
式の湿度センサを示している。この抵抗変化式の湿度セ
ンサとしては、感湿素子部の抵抗の変化に基づいて湿度
（相対湿度及び／又は絶対湿度）を測定するものが挙げ
られる。
制御方法の発明は、それぞれ順次対応する前記請求項１
〜１２の湿度センサの制御装置の発明と、同様な作用効
果を奏する。尚、上述した各発明において、直流電圧を
印加する場合には、インピーダンスの抵抗成分（Ｒ成
分）の変化を用いて湿度を検出する、いわゆる抵抗変化
式の湿度センサを示している。この抵抗変化式の湿度セ
ンサとしては、感湿素子部の抵抗の変化に基づいて湿度
（相対湿度及び／又は絶対湿度）を測定するものが挙げ
られる。
【００３０】一方、交流電圧を印加する場合には、イン
ピーダンスの抵抗成分（Ｒ成分）だけでなく、リアクタ
ンス成分（Ｃ成分）の変化をも用いて湿度を検出するこ
とができる。また、感湿素子部の材料としては、湿度に
より抵抗が変化する（例えば湿度が上昇すると抵抗が低
下する）例えばＡｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ
3−ＴｉＯ2−ＳｎＯ2などの酸化物セラミックス系材料
が挙げられる。
ピーダンスの抵抗成分（Ｒ成分）だけでなく、リアクタ
ンス成分（Ｃ成分）の変化をも用いて湿度を検出するこ
とができる。また、感湿素子部の材料としては、湿度に
より抵抗が変化する（例えば湿度が上昇すると抵抗が低
下する）例えばＡｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ
3−ＴｉＯ2−ＳｎＯ2などの酸化物セラミックス系材料
が挙げられる。
【００３１】更に、感湿素子部の抵抗は、経時変化等に
より抵抗が大きくなる方向に変化するので、比較抵抗を
複数用意しておいて、大きい抵抗に順次切り替えてゆく
と、経時変化の影響を低減することができる。
より抵抗が大きくなる方向に変化するので、比較抵抗を
複数用意しておいて、大きい抵抗に順次切り替えてゆく
と、経時変化の影響を低減することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の湿度センサの制
御装置及び湿度センサの制御方法の実施の形態の例（実
施例）について説明する。 （実施例１） ａ）まず、本実施例の湿度センサの構成について説明す
る。尚、図１は湿度センサの全体及びその分解した状態
を示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
御装置及び湿度センサの制御方法の実施の形態の例（実
施例）について説明する。 （実施例１） ａ）まず、本実施例の湿度センサの構成について説明す
る。尚、図１は湿度センサの全体及びその分解した状態
を示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
【００３３】図１に示す様に、本実施例の湿度センサ１
は、抵抗変化式の湿度センサ１であり、その要部を構成
する感湿素子部３は、アルミナ製の絶縁基板５上に、一
対のリード部７、９が配置されるとともに、一方のリー
ド部７と接するように下部電極１１が配置され、この下
部電極１１の上に感湿材料からなる感湿層１３が配置さ
れ、更に感湿層１３の上に他方のリード部９と接触して
上部電極１５が配置されたものである。
は、抵抗変化式の湿度センサ１であり、その要部を構成
する感湿素子部３は、アルミナ製の絶縁基板５上に、一
対のリード部７、９が配置されるとともに、一方のリー
ド部７と接するように下部電極１１が配置され、この下
部電極１１の上に感湿材料からなる感湿層１３が配置さ
れ、更に感湿層１３の上に他方のリード部９と接触して
上部電極１５が配置されたものである。
【００３４】また、図２に示す様に、絶縁基板５内に
は、感湿素子部３を加熱するヒータ１７が配置されてい
る。尚、図示しないが、絶縁基板５内に測温抵抗体であ
る温度センサを配置してもよい。前記下部電極１１及び
上部電極１５は、厚膜印刷により形成された膜厚約１５
μｍの主として白金からなる層である。感湿層１３は、
厚膜印刷により形成された膜厚約３０μｍの主としてＡ
ｌ2Ｏ3−ＳｎＯ2−ＴｉＯ2の感湿材料からなる層であ
り、この感湿材料は、周囲の雰囲気の湿度が変化する
と、その抵抗値が変化する（即ち湿度が増加すると抵抗
が低下する）ものである。また、ヒータ１７は主として
白金からなる。
は、感湿素子部３を加熱するヒータ１７が配置されてい
る。尚、図示しないが、絶縁基板５内に測温抵抗体であ
る温度センサを配置してもよい。前記下部電極１１及び
上部電極１５は、厚膜印刷により形成された膜厚約１５
μｍの主として白金からなる層である。感湿層１３は、
厚膜印刷により形成された膜厚約３０μｍの主としてＡ
ｌ2Ｏ3−ＳｎＯ2−ＴｉＯ2の感湿材料からなる層であ
り、この感湿材料は、周囲の雰囲気の湿度が変化する
と、その抵抗値が変化する（即ち湿度が増加すると抵抗
が低下する）ものである。また、ヒータ１７は主として
白金からなる。
【００３５】ｂ）次に、上述した構成の湿度センサ１を
制御する制御装置について説明する。図３に湿度を測定
するための回路構成を示す様に、湿度センサ１の感湿素
子部３は、マイコン２１に接続されて、その出力が取り
出されるように構成されている。尚、この出力とは、感
湿素子部３の抵抗値に対応した値であり、抵抗値が増加
するとセンサ出力が増加するように設定されている。
制御する制御装置について説明する。図３に湿度を測定
するための回路構成を示す様に、湿度センサ１の感湿素
子部３は、マイコン２１に接続されて、その出力が取り
出されるように構成されている。尚、この出力とは、感
湿素子部３の抵抗値に対応した値であり、抵抗値が増加
するとセンサ出力が増加するように設定されている。
【００３６】具体的には、（例えば２ＭΩの）第１比較
抵抗２３と（湿度センサ１の）感湿素子部３と（例えば
２ＭΩの）第２比較抵抗２５とが直列に接続され、この
第１比較抵抗２３と感湿素子部３と第２比較抵抗２５と
には、バッファ２７を介して、マイコン２１のＤ／Ａ部
（デジタルアナログ変換部）から、例えば２Ｖの直流電
圧が印加される。また、感湿素子部３の両端間の直流電
圧出力（直流分圧）は、オペアンプ２９を介して、マイ
コン２１のＡ／Ｄ部（アナログデジタル変換部）に入力
される。更に、マイコン２１からは、Ｄ／Ａコンバータ
３１を介してセンサ出力が取り出される。
抵抗２３と（湿度センサ１の）感湿素子部３と（例えば
２ＭΩの）第２比較抵抗２５とが直列に接続され、この
第１比較抵抗２３と感湿素子部３と第２比較抵抗２５と
には、バッファ２７を介して、マイコン２１のＤ／Ａ部
（デジタルアナログ変換部）から、例えば２Ｖの直流電
圧が印加される。また、感湿素子部３の両端間の直流電
圧出力（直流分圧）は、オペアンプ２９を介して、マイ
コン２１のＡ／Ｄ部（アナログデジタル変換部）に入力
される。更に、マイコン２１からは、Ｄ／Ａコンバータ
３１を介してセンサ出力が取り出される。
【００３７】つまり、図４に湿度を測定するための回路
構成の要部を模式的に示す様に、第１比較抵抗２３と感
湿素子部３と第２比較抵抗２５とを直列に接続した回路
に、直流電圧を印加し、この際の感湿素子部３の両端間
における直流分圧を、例えばマルチメータやマイコン２
１等による電圧検出手段により電圧を測定し、これによ
り排気ガスの湿度を求める。
構成の要部を模式的に示す様に、第１比較抵抗２３と感
湿素子部３と第２比較抵抗２５とを直列に接続した回路
に、直流電圧を印加し、この際の感湿素子部３の両端間
における直流分圧を、例えばマルチメータやマイコン２
１等による電圧検出手段により電圧を測定し、これによ
り排気ガスの湿度を求める。
【００３８】更に、図５にヒータ１７を制御するための
回路構成を示す様に、マイコン２１には、スイッチ素子
３７を介してヒータ１７が接続されており、マイコン２
１の信号出力部（ＰＷＭ）からの信号により、ヒータ１
７をオン・オフする。このヒータ１７のオン・オフのタ
イミングは、例えば３０ｍｓの周期にて、９０％以下の
範囲のデューティ比により設定することができる。
回路構成を示す様に、マイコン２１には、スイッチ素子
３７を介してヒータ１７が接続されており、マイコン２
１の信号出力部（ＰＷＭ）からの信号により、ヒータ１
７をオン・オフする。このヒータ１７のオン・オフのタ
イミングは、例えば３０ｍｓの周期にて、９０％以下の
範囲のデューティ比により設定することができる。
【００３９】尚、ここでは、説明のために、マイコン２
１を図３、図５の様に分けて記載したが、通常は同一の
マイコン２１にて湿度の計測とヒータ１７の制御を行
う。また、それぞれ異なるマイコン２１を使用してもよ
い。 ｃ）次に、前記湿度センサ１の基本的な使用方法につい
て説明する。
１を図３、図５の様に分けて記載したが、通常は同一の
マイコン２１にて湿度の計測とヒータ１７の制御を行
う。また、それぞれ異なるマイコン２１を使用してもよ
い。 ｃ）次に、前記湿度センサ１の基本的な使用方法につい
て説明する。
【００４０】排気ガス浄化用付帯装置の劣化検知方法
本実施例では、車両の排気管の排気ガス浄化用付帯装置
の下流側に湿度センサ１を取り付け、その排気ガスの湿
度を検出する。排気管内は、通常低湿度であり、例えば
内燃機関が始動すると燃焼によって水分が生じるため、
高湿度に推移する。この状態は、内燃機関の始動毎に繰
り返し行われる現象である。
の下流側に湿度センサ１を取り付け、その排気ガスの湿
度を検出する。排気管内は、通常低湿度であり、例えば
内燃機関が始動すると燃焼によって水分が生じるため、
高湿度に推移する。この状態は、内燃機関の始動毎に繰
り返し行われる現象である。
【００４１】そして、内燃機関が始動する際に、排気ガ
ス浄化用付帯装置が正常である場合には、排気ガス浄化
用付帯装置を構成する吸着材にて、炭化水素や水分が所
定の範囲内で吸着されるので、排気ガス浄化用付帯装置
の下流では、特に始動直後の所定の期間では、排気ガス
中の水分量が極めて少ない。つまり、吸着し切れなくな
って排気ガス浄化用付帯装置から水分が流出するタイミ
ングが遅い。
ス浄化用付帯装置が正常である場合には、排気ガス浄化
用付帯装置を構成する吸着材にて、炭化水素や水分が所
定の範囲内で吸着されるので、排気ガス浄化用付帯装置
の下流では、特に始動直後の所定の期間では、排気ガス
中の水分量が極めて少ない。つまり、吸着し切れなくな
って排気ガス浄化用付帯装置から水分が流出するタイミ
ングが遅い。
【００４２】それに対して、排気ガス浄化用付帯装置が
劣化している場合には、吸着し切れなくなって排気ガス
浄化用付帯装置から水分が流出するタイミングが早く、
排気ガス浄化用付帯装置の下流の排気ガス中には水分量
が早めに多くなる。従って、内燃機関を始動した際に、
排気ガス浄化用付帯装置の下流側の排気ガスの水分の状
態を湿度センサ１によって検出することによって、排気
ガス浄化用付帯装置の劣化の状態を検出することができ
る。
劣化している場合には、吸着し切れなくなって排気ガス
浄化用付帯装置から水分が流出するタイミングが早く、
排気ガス浄化用付帯装置の下流の排気ガス中には水分量
が早めに多くなる。従って、内燃機関を始動した際に、
排気ガス浄化用付帯装置の下流側の排気ガスの水分の状
態を湿度センサ１によって検出することによって、排気
ガス浄化用付帯装置の劣化の状態を検出することができ
る。
【００４３】上述した水分の状態に対応した湿度センサ
１のセンサ出力（即ち感湿素子部３の抵抗値）の変化を
図６に示す。排気ガス浄化用付帯装置が劣化していない
場合（同図の実線）には、内燃機関の始動直後に湿度セ
ンサ１をオンして作動させると、始動直後は、排気ガス
浄化用付帯装置にて水分が十分に吸着されて、湿度セン
サ１までに殆ど到らないので高い抵抗値となる。その
後、吸着する限界に達すると、排気ガス中の水分量が増
加して結露するので、時点ｔ０にて、抵抗値が急減する
（センサ出力が急激に立ち下がる）。
１のセンサ出力（即ち感湿素子部３の抵抗値）の変化を
図６に示す。排気ガス浄化用付帯装置が劣化していない
場合（同図の実線）には、内燃機関の始動直後に湿度セ
ンサ１をオンして作動させると、始動直後は、排気ガス
浄化用付帯装置にて水分が十分に吸着されて、湿度セン
サ１までに殆ど到らないので高い抵抗値となる。その
後、吸着する限界に達すると、排気ガス中の水分量が増
加して結露するので、時点ｔ０にて、抵抗値が急減する
（センサ出力が急激に立ち下がる）。
【００４４】それに対して、排気ガス浄化用付帯装置が
劣化している場合（同図の破線）には、始動直後は、排
気ガス浄化用付帯装置にて水分が吸着されるが、劣化し
ていない場合と比べてその吸着量が少ないので、吸着す
る限界により早く達し、そのため早い時点ｔ１にて結露
し、抵抗値が急減する。
劣化している場合（同図の破線）には、始動直後は、排
気ガス浄化用付帯装置にて水分が吸着されるが、劣化し
ていない場合と比べてその吸着量が少ないので、吸着す
る限界により早く達し、そのため早い時点ｔ１にて結露
し、抵抗値が急減する。
【００４５】従って、例えば内燃機関が始動してから抵
抗値が急減するまでの時間を測定することにより、排気
ガス浄化用付帯装置の劣化を検出することができる。 湿度センサ１の劣化検知 湿度センサ１の抵抗特性が高抵抗化する現象（湿度セン
サ１の劣化）は、湿度センサ１の感湿素子部３及び各リ
ード部７、９等に付着した不純物成分（汚れ物質）が堆
積し、従来の加熱クリーニングを実施しても完全に焼失
できないために生じる現象である。
抗値が急減するまでの時間を測定することにより、排気
ガス浄化用付帯装置の劣化を検出することができる。 湿度センサ１の劣化検知 湿度センサ１の抵抗特性が高抵抗化する現象（湿度セン
サ１の劣化）は、湿度センサ１の感湿素子部３及び各リ
ード部７、９等に付着した不純物成分（汚れ物質）が堆
積し、従来の加熱クリーニングを実施しても完全に焼失
できないために生じる現象である。
【００４６】後述する実験例の結果を示す図１２から明
らかな様に、湿度センサ１が汚れ物質により劣化してい
ない場合には（同図の実線）、湿度センサ１のセンサ出
力（即ち感湿素子部３の抵抗に対応した値）は、内燃機
関の始動後、速やかに増加し、その後急に立ち下がる。
らかな様に、湿度センサ１が汚れ物質により劣化してい
ない場合には（同図の実線）、湿度センサ１のセンサ出
力（即ち感湿素子部３の抵抗に対応した値）は、内燃機
関の始動後、速やかに増加し、その後急に立ち下がる。
【００４７】一方、湿度センサ１が劣化している場合に
は、同図の破線で示す様に、ある程度似た変化はするも
のの、その数値等は大きく異なっている。具体的には、
劣化した湿度センサ１の出力は、比較抵抗２３、２５に
対して非常に高抵抗化しているため、劣化していない正
常な湿度センサ１の出力に比べて、急速に立ち上がり、
印加電圧にほぼ張り付くような出力となり、立ち下がり
の下限値が大きく、その後生じる分極反応による抵抗増
加の勾配が大きい等の明らかな違いがある。
は、同図の破線で示す様に、ある程度似た変化はするも
のの、その数値等は大きく異なっている。具体的には、
劣化した湿度センサ１の出力は、比較抵抗２３、２５に
対して非常に高抵抗化しているため、劣化していない正
常な湿度センサ１の出力に比べて、急速に立ち上がり、
印加電圧にほぼ張り付くような出力となり、立ち下がり
の下限値が大きく、その後生じる分極反応による抵抗増
加の勾配が大きい等の明らかな違いがある。
【００４８】従って、この様なセンサ出力の違いによ
り、湿度センサ１の劣化の程度を検出することができ
る。 ｄ）次に、本実施例の湿度センサの制御装置の動作及び
それによる効果について説明する。
り、湿度センサ１の劣化の程度を検出することができ
る。 ｄ）次に、本実施例の湿度センサの制御装置の動作及び
それによる効果について説明する。
【００４９】・本実施例では、第１比較抵抗２３と感湿
素子部３と第２比較抵抗２５と直列に接続し、それらに
例えば２Ｖの直流電圧を印加し、その際の感湿素子部３
の両端の（感湿素子部３の抵抗を示す）直流分圧を検出
し、この直流分圧に基づいて排気ガスの湿度を求めるこ
とができる。
素子部３と第２比較抵抗２５と直列に接続し、それらに
例えば２Ｖの直流電圧を印加し、その際の感湿素子部３
の両端の（感湿素子部３の抵抗を示す）直流分圧を検出
し、この直流分圧に基づいて排気ガスの湿度を求めるこ
とができる。
【００５０】この方法では、従来の高周波の交流電圧を
印加する方法のように、センサの劣化によって生じる位
相の変化が生じない。そのため、排気ガスにおける湿度
の変化のタイミング、具体的には、図６に示す様に、内
燃機関の始動直後から湿度センサ１の低湿度側から高湿
度側への急激な出力の立ち下がりまでの期間を正確に求
めることができるので、浄化材の劣化を的確に検出する
ことができる。
印加する方法のように、センサの劣化によって生じる位
相の変化が生じない。そのため、排気ガスにおける湿度
の変化のタイミング、具体的には、図６に示す様に、内
燃機関の始動直後から湿度センサ１の低湿度側から高湿
度側への急激な出力の立ち下がりまでの期間を正確に求
めることができるので、浄化材の劣化を的確に検出する
ことができる。
【００５１】・また、本実施例では、既に図１２を参照
して説明した様に、湿度センサ１のセンサ出力を、正常
な湿度センサ１のセンサ出力と比較することにより、湿
度センサ１の劣化の状態を、下記〜の様にして検出
することができる。 具体的には、湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、
内燃機関の始動直後における湿度センサ１の立ち上がり
の勾配が急であるので、その勾配の程度により、劣化の
程度を検出することができる。例えばある勾配以上の場
合を、劣化と判定することができる。
して説明した様に、湿度センサ１のセンサ出力を、正常
な湿度センサ１のセンサ出力と比較することにより、湿
度センサ１の劣化の状態を、下記〜の様にして検出
することができる。 具体的には、湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、
内燃機関の始動直後における湿度センサ１の立ち上がり
の勾配が急であるので、その勾配の程度により、劣化の
程度を検出することができる。例えばある勾配以上の場
合を、劣化と判定することができる。
【００５２】湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、
内燃機関の始動直後に張り付いた上限値が大きいので、
この出力の大きさにより、劣化の程度を検出することが
できる。例えばセンサ出力がある値以上の場合を、劣化
と判定することができる。 湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、立ち下がりの
下限値が大きいので、この立ち下がりの下限値等の大き
さにより、劣化の程度を検出することができる。例えば
ある値以下にならない場合を、劣化と判定することがで
きる。
内燃機関の始動直後に張り付いた上限値が大きいので、
この出力の大きさにより、劣化の程度を検出することが
できる。例えばセンサ出力がある値以上の場合を、劣化
と判定することができる。 湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、立ち下がりの
下限値が大きいので、この立ち下がりの下限値等の大き
さにより、劣化の程度を検出することができる。例えば
ある値以下にならない場合を、劣化と判定することがで
きる。
【００５３】湿度センサ１の劣化が進んでいるほど、
立ち下がり後の分極反応によって生じる出力増加の勾配
が大きいので、この増加の勾配により、劣化の程度を判
定することができる。例えば増加の勾配が所定値以上の
場合に、劣化と判定することができる。
立ち下がり後の分極反応によって生じる出力増加の勾配
が大きいので、この増加の勾配により、劣化の程度を判
定することができる。例えば増加の勾配が所定値以上の
場合に、劣化と判定することができる。
【００５４】・更に、本実施例では、感湿素子部３を加
熱するヒータ１７を備えおり、内燃機関中の作動中又は
停止後に、例えばヒータ１７の抵抗値を所定値に保つフ
ィードバック制御を所定期間にわたって行うことによ
り、感湿素子部３の加熱クリーニングを実施する。
熱するヒータ１７を備えおり、内燃機関中の作動中又は
停止後に、例えばヒータ１７の抵抗値を所定値に保つフ
ィードバック制御を所定期間にわたって行うことによ
り、感湿素子部３の加熱クリーニングを実施する。
【００５５】これにより、湿度センサ１に付着した汚れ
物質を焼きとばすことができるので、常に湿度センサ１
の高い性能を維持することができる。この場合に、例え
ば前記〜の方法で検出した湿度センサ１の劣化の程
度に応じ、劣化の程度が進んでいるほど加熱温度を高く
したり加熱時間を長くするように、加熱クリーニングの
実施内容を設定するので、効率良く且つ十分に加熱クリ
ーニングを実施することができる。
物質を焼きとばすことができるので、常に湿度センサ１
の高い性能を維持することができる。この場合に、例え
ば前記〜の方法で検出した湿度センサ１の劣化の程
度に応じ、劣化の程度が進んでいるほど加熱温度を高く
したり加熱時間を長くするように、加熱クリーニングの
実施内容を設定するので、効率良く且つ十分に加熱クリ
ーニングを実施することができる。
【００５６】・その上、本実施例では、湿度センサ１の
出力に基づいて、湿度センサ１の故障の状態を的確に判
定することができる。具体的には、図７に示す様に、セ
ンサ出力が、例えば内燃時間の始動時から変動がなく上
限値（例えば２Ｖ）に張り付いている場合には、断線
（オープン）していると判定することができる。また、
逆に、センサ出力が、下限値（例えば０Ｖ）に張り付い
ている場合には、短絡（ショート）又はヒータ１７の断
線により加熱ができない状態であると判定することがで
きる。
出力に基づいて、湿度センサ１の故障の状態を的確に判
定することができる。具体的には、図７に示す様に、セ
ンサ出力が、例えば内燃時間の始動時から変動がなく上
限値（例えば２Ｖ）に張り付いている場合には、断線
（オープン）していると判定することができる。また、
逆に、センサ出力が、下限値（例えば０Ｖ）に張り付い
ている場合には、短絡（ショート）又はヒータ１７の断
線により加熱ができない状態であると判定することがで
きる。
【００５７】更に、加熱クリーニングを実施する際に、
ヒータ１７に電流が流れない場合には、ヒータ１７を断
線と判定することができるので、ヒータ１７が断線でな
いにもかかわらず、センサ出力が下限値に張りついてい
る場合には、湿度センサ１のショートであると判定する
ことができる。
ヒータ１７に電流が流れない場合には、ヒータ１７を断
線と判定することができるので、ヒータ１７が断線でな
いにもかかわらず、センサ出力が下限値に張りついてい
る場合には、湿度センサ１のショートであると判定する
ことができる。
【００５８】尚、直流電圧を印加する場合に、直流分圧
をマルチメータやマイコン等の電圧検出手段で測定する
ときには、電圧検出手段の入力インピーダンスが、例え
ば１ＧΩ程度であるが、交流分圧を測定する場合には、
入力インピーダンスは例えば１ＭΩ程度である。つま
り、同じ抵抗を検出するにも、直流は入力インピーダン
スが１ＧΩあるので、（電圧検出手段自身が抵抗とな
る）交流の場合と比べて、電圧検出手段の誤差が生じに
くく、コスト的にも有利であるという利点がある。 （実施例２）次に、実施例２の湿度センサの制御装置及
び湿度センサの制御方法について説明するが、前記実施
例１と同様な内容の説明は省略する。
をマルチメータやマイコン等の電圧検出手段で測定する
ときには、電圧検出手段の入力インピーダンスが、例え
ば１ＧΩ程度であるが、交流分圧を測定する場合には、
入力インピーダンスは例えば１ＭΩ程度である。つま
り、同じ抵抗を検出するにも、直流は入力インピーダン
スが１ＧΩあるので、（電圧検出手段自身が抵抗とな
る）交流の場合と比べて、電圧検出手段の誤差が生じに
くく、コスト的にも有利であるという利点がある。 （実施例２）次に、実施例２の湿度センサの制御装置及
び湿度センサの制御方法について説明するが、前記実施
例１と同様な内容の説明は省略する。
【００５９】本実施例は、図８に示す様に、第１比較抵
抗４１と感湿素子部４３と第２比較抵抗４５とを直列に
接続したものであるが、前記実施例１とは異なり、第１
比較抵抗４１と感湿素子部４３と第２比較抵抗４５と
に、１００Ｈｚ以下の交流電圧を印加し、その際に感湿
素子部４３の両端の交流分圧を測定する。
抗４１と感湿素子部４３と第２比較抵抗４５とを直列に
接続したものであるが、前記実施例１とは異なり、第１
比較抵抗４１と感湿素子部４３と第２比較抵抗４５と
に、１００Ｈｚ以下の交流電圧を印加し、その際に感湿
素子部４３の両端の交流分圧を測定する。
【００６０】本実施例は、直流電圧を印加するものでは
ないが、低い周波数を交流電圧を印加するので、上述し
た位相のずれは少なく、好適に排気ガスの湿度を検出す
ることができる。従って、本実施例においても、前記実
施例１とほぼ同様な効果を奏する。 （実験例１）本実験例は、湿度センサのインピーダンス
を調べたものである。
ないが、低い周波数を交流電圧を印加するので、上述し
た位相のずれは少なく、好適に排気ガスの湿度を検出す
ることができる。従って、本実施例においても、前記実
施例１とほぼ同様な効果を奏する。 （実験例１）本実験例は、湿度センサのインピーダンス
を調べたものである。
【００６１】ａ）本実験例では、前記実施例２と同様な
構造の湿度センサを用い、下記の条件や手順にて、応答
特性を調べた。 ・評価装置：Ｓｏｌａｒｔｒｏｎ社製、インピーダンス
アナライザー、印加電圧：ＡＣ２Ｖ、制御周波数：１．
５Ｍ〜１Ｈｚ ・評価環境：大気中、２０℃、２０ＲＨ％ ・試験手順： 実車試験前の湿度センサのインピーダンス特性を計
測。
構造の湿度センサを用い、下記の条件や手順にて、応答
特性を調べた。 ・評価装置：Ｓｏｌａｒｔｒｏｎ社製、インピーダンス
アナライザー、印加電圧：ＡＣ２Ｖ、制御周波数：１．
５Ｍ〜１Ｈｚ ・評価環境：大気中、２０℃、２０ＲＨ％ ・試験手順： 実車試験前の湿度センサのインピーダンス特性を計
測。
【００６２】自動車の排気管に湿度センサを装着し、
実走試験（シャーシダイナモ上にて、市街地走行、高速
道路走行を想定した約５００ｋｍの走行パターン）を実
施。 走行後、７５０℃にて２分間加熱クリーニング実施
し、その後で、湿度センサのインピーダンスを計測。
実走試験（シャーシダイナモ上にて、市街地走行、高速
道路走行を想定した約５００ｋｍの走行パターン）を実
施。 走行後、７５０℃にて２分間加熱クリーニング実施
し、その後で、湿度センサのインピーダンスを計測。
【００６３】ｂ）この実験の結果を、図９（実車試験前
のインピーダンス特性）及び図１０（実車試験後のイン
ピーダンス特性）に示す。尚、横軸のｚ’は、湿度セン
サの抵抗成分（Ｒ成分）、縦軸のｚ”は、リアクタンス
成分（Ｃ成分）。
のインピーダンス特性）及び図１０（実車試験後のイン
ピーダンス特性）に示す。尚、横軸のｚ’は、湿度セン
サの抵抗成分（Ｒ成分）、縦軸のｚ”は、リアクタンス
成分（Ｃ成分）。
【００６４】図９に示す様に、実車試験前の湿度センサ
のインピーダンス特性は、制御周波数が５００Ｈｚ、１
００Ｈｚであっても、Ｃ成分が小さいが、図１０に示す
様に、実車試験後のインピーダンス特性は、加熱クリー
ニングが十分でないことにより、Ｃ成分、Ｒ成分が大き
くなり、制御周波数を５００Ｈｚとした場合、Ｃ成分の
影響を大きく受け位相ずれを起こす。
のインピーダンス特性は、制御周波数が５００Ｈｚ、１
００Ｈｚであっても、Ｃ成分が小さいが、図１０に示す
様に、実車試験後のインピーダンス特性は、加熱クリー
ニングが十分でないことにより、Ｃ成分、Ｒ成分が大き
くなり、制御周波数を５００Ｈｚとした場合、Ｃ成分の
影響を大きく受け位相ずれを起こす。
【００６５】つまり、（劣化前及び劣化後に対応する）
試験前後によって位相が変化することにより、実際のイ
ンピーダンス特性よりも低い値を出力するため、劣化判
定時間（内燃機関の始動から高湿度側への立ち下がりま
での時間）を正確に検知できなくなることが分かる。
試験前後によって位相が変化することにより、実際のイ
ンピーダンス特性よりも低い値を出力するため、劣化判
定時間（内燃機関の始動から高湿度側への立ち下がりま
での時間）を正確に検知できなくなることが分かる。
【００６６】また、１００Ｈｚ以下を制御点とすると、
比較的Ｃ成分の影響を受けないので、前記実施例２の様
に、印加する交流電圧の周波数を１００Ｈｚ以下とする
と良いことが分かる。 （実験例２）本実験例は、湿度センサの応答特性を調べ
たものである。
比較的Ｃ成分の影響を受けないので、前記実施例２の様
に、印加する交流電圧の周波数を１００Ｈｚ以下とする
と良いことが分かる。 （実験例２）本実験例は、湿度センサの応答特性を調べ
たものである。
【００６７】ａ）本実験例では、前記実施例と同様な構
造の湿度センサを用い、下記の装置や手順で、応答特性
を調べた。 ・評価方法：「ＪＩＳ Ｚ ８８０６」の規定による分
流式評価法を用いて、初期の感湿特性を計測した。
造の湿度センサを用い、下記の装置や手順で、応答特性
を調べた。 ・評価方法：「ＪＩＳ Ｚ ８８０６」の規定による分
流式評価法を用いて、初期の感湿特性を計測した。
【００６８】この分流式評価法を、図１１に模式的に示
すが、測定温度を２０℃に設定し、評価ガスのＡｉｒを
５Ｌ／分供給し、加える水分量を調節して、測定湿度を
２０ＲＨ％（１０sec間）から８０ＲＨ％（１０sec間）
に変化させ、その際の湿度センサの出力を測定した。
尚、正確な温度及び湿度は、周知の温湿度測定器により
計測した。
すが、測定温度を２０℃に設定し、評価ガスのＡｉｒを
５Ｌ／分供給し、加える水分量を調節して、測定湿度を
２０ＲＨ％（１０sec間）から８０ＲＨ％（１０sec間）
に変化させ、その際の湿度センサの出力を測定した。
尚、正確な温度及び湿度は、周知の温湿度測定器により
計測した。
【００６９】・試験手順：
実車試験前の湿度センサの２０→８０ＲＨ％に変化し
た際の応答特性を計測。 自動車の排気管に湿度センサを装着し、実走試験（シ
ャーシダイナモ上にて、市街地走行、高速道路走行を想
定した約５００ｋｍの走行パターン）を実施。
た際の応答特性を計測。 自動車の排気管に湿度センサを装着し、実走試験（シ
ャーシダイナモ上にて、市街地走行、高速道路走行を想
定した約５００ｋｍの走行パターン）を実施。
【００７０】走行後、７５０℃にて２分間加熱クリー
ニング実施し、その後で、湿度センサの応答特性を計
測。 尚、応答特性は、直流電圧と交流電圧とを加えた場合の
応答特性をそれぞれ調べた。
ニング実施し、その後で、湿度センサの応答特性を計
測。 尚、応答特性は、直流電圧と交流電圧とを加えた場合の
応答特性をそれぞれ調べた。
【００７１】ｂ）この実験の結果を、図１２（正常及び
劣化した湿度センサの応答特性）及び図１３（直流電圧
及び交流電圧を印加した応答特性）に示す。尚、図１２
の実線は実車試験前の（正常な）湿度センサのセンサ出
力を示し、破線は実車試験後の（劣化した）湿度センサ
のセンサ出力を示す。
劣化した湿度センサの応答特性）及び図１３（直流電圧
及び交流電圧を印加した応答特性）に示す。尚、図１２
の実線は実車試験前の（正常な）湿度センサのセンサ出
力を示し、破線は実車試験後の（劣化した）湿度センサ
のセンサ出力を示す。
【００７２】図１２に、実施例１と同様な構成の湿度セ
ンサに直流を印加した場合における実車試験前後の湿度
センサの応答特性を示す。同図に示す様に、実車試験前
の湿度センサの応答特性は、電圧印加と同時に急激に立
ち上がり、その後分極反応が生じるため徐々に出力増加
（抵抗増加）して、湿度が急変した時点でほぼ垂直に立
ち下がる特性である。一方、実車試験後の応答特性で
は、電圧印加と同時に印加電圧近傍まで急激に立ち上が
り、湿度が急変した時点では、試験前同様ほぼ垂直に立
ち下がる特性であった。
ンサに直流を印加した場合における実車試験前後の湿度
センサの応答特性を示す。同図に示す様に、実車試験前
の湿度センサの応答特性は、電圧印加と同時に急激に立
ち上がり、その後分極反応が生じるため徐々に出力増加
（抵抗増加）して、湿度が急変した時点でほぼ垂直に立
ち下がる特性である。一方、実車試験後の応答特性で
は、電圧印加と同時に印加電圧近傍まで急激に立ち上が
り、湿度が急変した時点では、試験前同様ほぼ垂直に立
ち下がる特性であった。
【００７３】この結果、湿度が急変するような条件での
出力特性は、試験前後で同様であり、実車試験による影
響を受けないことが分かった。また、電圧印加された直
後、湿度急変時の立ち上がり、立ち下がり後のセンサ出
力は、実施試験前後によって、大きく変化するので、こ
のセンサ出力の変化により、湿度センサの劣化の状態を
検出できることが分かる。
出力特性は、試験前後で同様であり、実車試験による影
響を受けないことが分かった。また、電圧印加された直
後、湿度急変時の立ち上がり、立ち下がり後のセンサ出
力は、実施試験前後によって、大きく変化するので、こ
のセンサ出力の変化により、湿度センサの劣化の状態を
検出できることが分かる。
【００７４】従って、センサ出力に応じて、加熱クリー
ニングの条件を設定することにより、汚れ物質を好適に
除去することが可能である。また、図１３は、実車試験
後の湿度センサを用いて、直流電圧制御、および交流電
圧制御を実施したときの応答特性を示すが、同図より、
直流電圧制御と交流電圧制御を比較した場合、印加電圧
等の違い、分極の有無によって絶対値の違いは見られる
が、湿度急変時の応答性に変化（グラフの形状の変化）
は無く、互いの制御方法も有効であることが分かる。但
し、交流電圧制御の場合、検出精度を高めるためには、
１００Ｈｚ以下の制御周波数を用いる必要がある。
ニングの条件を設定することにより、汚れ物質を好適に
除去することが可能である。また、図１３は、実車試験
後の湿度センサを用いて、直流電圧制御、および交流電
圧制御を実施したときの応答特性を示すが、同図より、
直流電圧制御と交流電圧制御を比較した場合、印加電圧
等の違い、分極の有無によって絶対値の違いは見られる
が、湿度急変時の応答性に変化（グラフの形状の変化）
は無く、互いの制御方法も有効であることが分かる。但
し、交流電圧制御の場合、検出精度を高めるためには、
１００Ｈｚ以下の制御周波数を用いる必要がある。
【００７５】更に、図１３に示す様に、直流電圧制御の
場合、上限の２Ｖに張り付いているときには、印加電圧
近傍まで抵抗上昇しているので、分極が見えないだけで
あり、立ち下がり後の部分にて、分極のための出力増加
が現れる。この様に、単に直流電圧を印加した場合、分
極反応が生じるため、湿度計測に支障が生ずることがあ
るが、上述した様に、例えば「内燃機関の始動直後にお
ける湿度センサの低湿度側への変化の程度に基づいて、
湿度センサの劣化の状態を検出する」などの手法によ
り、湿度センサの劣化の程度を的確に検出することがで
きる。
場合、上限の２Ｖに張り付いているときには、印加電圧
近傍まで抵抗上昇しているので、分極が見えないだけで
あり、立ち下がり後の部分にて、分極のための出力増加
が現れる。この様に、単に直流電圧を印加した場合、分
極反応が生じるため、湿度計測に支障が生ずることがあ
るが、上述した様に、例えば「内燃機関の始動直後にお
ける湿度センサの低湿度側への変化の程度に基づいて、
湿度センサの劣化の状態を検出する」などの手法によ
り、湿度センサの劣化の程度を的確に検出することがで
きる。
【００７６】尚、本発明は前記実施例になんら限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て種々の態様で実施しうることはいうまでもない。 （１）例えば前記本実施例１、２では、第１比較抵抗及
び第２比較抵抗を、感湿素子部の両端に配置して耐ノイ
ズ性を高めているが、特にこの配列に限定されるもので
はない。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て種々の態様で実施しうることはいうまでもない。 （１）例えば前記本実施例１、２では、第１比較抵抗及
び第２比較抵抗を、感湿素子部の両端に配置して耐ノイ
ズ性を高めているが、特にこの配列に限定されるもので
はない。
【００７７】（２）また、前記図４に示す回路にて、そ
のセンサ出力を取り出す部分（マルチメータ等の入力部
分）に、バッファ回路を配置してよい。例えばオペアン
プを配置することにより、インピーダンス成分をキャン
セルすることが可能である。
のセンサ出力を取り出す部分（マルチメータ等の入力部
分）に、バッファ回路を配置してよい。例えばオペアン
プを配置することにより、インピーダンス成分をキャン
セルすることが可能である。
【図１】 実施例１の湿度センサの感湿素子部の全体及
び分解した状態を示す説明図である。
び分解した状態を示す説明図である。
【図２】 感湿素子部の図１におけるＡ−Ａ断面図であ
る。
る。
【図３】 湿度センサの湿度を検出するための電気的構
成を示す説明図である。
成を示す説明図である。
【図４】 実施例１の湿度センサの概略の回路構成を示
す説明図である。
す説明図である。
【図５】 ヒータ制御のための電気的構成を示す説明図
である。
である。
【図６】 内燃機関の始動直後の感湿素子部の抵抗の変
化を示すグラフである。
化を示すグラフである。
【図７】 内燃機関の始動直後の湿度センサの出力の変
化を示すグラフである。
化を示すグラフである。
【図８】 実施例２の湿度センサの概略の回路構成を示
す説明図である。
す説明図である。
【図９】 実験例１における正常な湿度センサのインピ
ーダンス特性を示すグラフである。
ーダンス特性を示すグラフである。
【図１０】 実験例１における劣化した湿度センサのイ
ンピーダンス特性を示すグラフである。
ンピーダンス特性を示すグラフである。
【図１１】 分流式評価法に用いる実験装置を示す説明
図である。
図である。
【図１２】 実験例２における正常及び劣化した湿度セ
ンサの出力特性を示すグラフである。
ンサの出力特性を示すグラフである。
【図１３】 実験例２における直流及び交流を印加した
場合の湿度センサの出力特性を示すグラフである。
場合の湿度センサの出力特性を示すグラフである。
【図１４】 従来技術等を示す説明図である。
１…湿度センサ
３、４３…感湿素子部
５…絶縁基板
７、９…リード部
１１…下部電極
１３…感湿層
１５…上部電極
２１…マイコン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ０２Ｄ 45/00 Ｆ０２Ｄ 45/00 ３５８Ｎ
３６０ ３６０Ｇ
Ｇ０１Ｎ 27/12 Ｇ０１Ｎ 27/12 Ｅ
Ｐ
(72)発明者 石田 昇
愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日
本特殊陶業株式会社内
(72)発明者 大島 崇文
愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日
本特殊陶業株式会社内
Ｆターム(参考） 2G046 AA09 BA01 BA09 BB02 BB04
BC01 BD01 BE03 BG02 BG07
DA02 DB02 DB03 DB05 DB08
DC07 DC08 DC11 DC14 DC16
DC17 DC18 DD01 DD02 EB05
EB06 EB07 FB02 FE03 FE39
FE44
2G060 AA01 AB02 AE19 AE26 AE27
AF02 AF03 AF06 AF07 AF09
AG11 BA01 BB02 BB09 BB13
BB14 BB15 BD02 HA01 HA02
HA07 HA08 HB02 HB03 HB06
HB07 HC03 HC09 HC13 HC19
HC21 HC22 HC26 HC27 HD01
HD02 HE01 HE03 KA03 KA04
3G084 BA00 BA24 CA01 CA07 DA00
DA04 DA10 DA22 DA28 DA30
EA01 EA04 EA08 EB11
3G091 AA02 AB01 BA00 BA26 BA33
DC01 FA01 FA06 FC01
Claims (24)
- 【請求項１】 内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置され
るインピーダンス変化式の湿度センサの制御装置におい
て、 湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部と、 前記感湿素子部と直列に接続された比較抵抗と、 前記感湿素子部及び比較抵抗に直流電圧を印加する直流
電圧印加手段と、 前記感湿素子部に印加されている直流分圧を検知する直
流分圧検知手段と、 を備えたことを特徴とする湿度センサの制御装置。 - 【請求項２】 内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置され
るインピーダンス変化式の湿度センサの制御装置におい
て、 湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部と、 前記感湿素子部と直列に接続された比較抵抗と、 前記感湿素子部及び比較抵抗に１００Ｈｚ以下の交流電
圧を印加する交流電圧印加手段と、 前記感湿素子部に印加されている交流分圧を検知する交
流分圧検知手段と、 を備えたことを特徴とする湿度センサの制御装置。 - 【請求項３】 前記内燃機関の始動直後から、前記湿度
センサの低湿度側から高湿度側への急激な出力の変化ま
での期間に基づいて、前記排気ガスの浄化に用いられる
浄化材の劣化の状態を検出することを特徴とする前記請
求項１又は２に記載の湿度センサの制御装置。 - 【請求項４】 前記内燃機関の始動直後における、前記
湿度センサの低湿度側への変化の程度に基づいて、前記
湿度センサの劣化の状態を検出することを特徴とする前
記請求項１〜３のいずれかに記載の湿度センサの制御装
置。 - 【請求項５】 前記内燃機関の始動直後における、前記
湿度センサの低湿度側への出力の値の大きさに基づい
て、前記湿度センサの劣化の状態を検出することを特徴
とする前記請求項１〜３のいずれかに記載の湿度センサ
の制御装置。 - 【請求項６】 前記内燃機関の始動後における、前記湿
度センサの低湿度側から高湿度側へ急変した出力の値の
大きさに基づいて、前記湿度センサの劣化の状態を検出
することを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記
載の湿度センサの制御装置。 - 【請求項７】 前記内燃機関の始動後における、前記湿
度センサの低湿度側から高湿度側へ急変した後の分極反
応による出力増加の程度に基づいて、前記湿度センサの
劣化の状態を検出することを特徴とする前記請求項１又
は３に記載の湿度センサの制御装置。 - 【請求項８】 前記感湿素子部を加熱するヒータを備
え、 前記内燃機関中の作動中又は停止後に、所定期間にわた
り前記感湿素子部の加熱クリーニングを実施することを
特徴とする前記請求項１〜７のいずれかに記載の湿度セ
ンサの制御装置。 - 【請求項９】 前記湿度センサの出力に基づいて、前記
加熱クリーニングの実施内容を設定することを特徴とす
る前記請求項８に記載の湿度センサの制御装置。 - 【請求項１０】 前記加熱クリーニングの実施内容は、
前記請求項３〜７のいずれかに記載の前記湿度センサの
検出した劣化の状態に応じて行うことを特徴とする前記
請求項９に記載の湿度センサの制御装置。 - 【請求項１１】 前記湿度センサの出力に基づいて、前
記湿度センサの故障の状態を判定することを特徴とする
前記請求項１〜１０のいずれかに記載の湿度センサの制
御装置。 - 【請求項１２】 前記内燃機関の始動直後における前記
湿度センサの出力が、高湿度側又は低湿度側に張り付い
た状態となった場合には、前記湿度センサに故障が発生
したと判定することを特徴とする前記請求項１１に記載
の湿度センサの制御装置。 - 【請求項１３】 内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置さ
れるインピーダンス変化式の湿度センサの制御方法にお
いて、 湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部と比較
抵抗とを直列に接続し、前記感湿素子部及び比較抵抗に
直流電圧を印加することにより、前記感湿素子部に印加
されている直流分圧を検知することを特徴とする湿度セ
ンサの制御方法。 - 【請求項１４】 内燃機関の排気ガス雰囲気中に配置さ
れるインピーダンス変化式の湿度センサの制御方法にお
いて、 湿度によりインピーダンスが変化する感湿素子部と比較
抵抗を直列に接続し、前記感湿素子部及び比較抵抗に１
００Ｈｚ以下の交流電圧を印加することにより、前記感
湿素子部に印加されている交流分圧を検知することを特
徴とする湿度センサの制御方法。 - 【請求項１５】 前記内燃機関の始動直後から、前記湿
度センサの低湿度側から高湿度側への急激な出力の変化
までの期間に基づいて、前記排気ガスの浄化に用いられ
る浄化材の劣化の状態を検出することを特徴とする前記
請求項１３又は１４に記載の湿度センサの制御方法。 - 【請求項１６】 前記内燃機関の始動直後における、前
記湿度センサの低湿度側への変化の程度に基づいて、前
記湿度センサの劣化の状態を検出することを特徴とする
前記請求項１３〜１５のいずれかに記載の湿度センサの
制御方法。 - 【請求項１７】 前記内燃機関の始動直後における、前
記湿度センサの低湿度側への出力の値の大きさに基づい
て、前記湿度センサの劣化の状態を検出することを特徴
とする前記請求項１３〜１５のいずれかに記載の湿度セ
ンサの制御方法。 - 【請求項１８】 前記内燃機関の始動後における、前記
湿度センサの低湿度側から高湿度側へ急変した出力の値
の大きさに基づいて、前記湿度センサの劣化の状態を検
出することを特徴とする前記請求項１３〜１５のいずれ
かに記載の湿度センサの制御方法。 - 【請求項１９】 前記内燃機関の始動後における、前記
湿度センサの低湿度側から高湿度側へ急変した後の分極
反応による出力増加の程度に基づいて、前記湿度センサ
の劣化の状態を検出することを特徴とする前記請求項１
３又は１５に記載の湿度センサの制御方法。 - 【請求項２０】 前記感湿素子部を加熱するヒータを用
い、 前記内燃機関中の作動中又は停止後に、所定期間にわた
り前記感湿素子部の加熱クリーニングを実施することを
特徴とする前記請求項１３〜１９のいずれかに記載の湿
度センサの制御方法。 - 【請求項２１】 前記湿度センサの出力に基づいて、前
記加熱クリーニングの実施内容を設定することを特徴と
する前記請求項２０に記載の湿度センサの制御方法。 - 【請求項２２】 前記加熱クリーニングの実施内容は、
前記請求項１６〜１９のいずれかに記載の前記湿度セン
サの検出した劣化の状態に応じて行うことを特徴とする
前記請求項２１に記載の湿度センサの制御方法。 - 【請求項２３】 前記湿度センサの出力に基づいて、前
記湿度センサの故障の状態を判定することを特徴とする
前記請求項１３〜２２のいずれかに記載の湿度センサの
制御方法。 - 【請求項２４】 前記内燃機関の始動直後における前記
湿度センサの出力が、高湿度側又は低湿度側に張り付い
た状態となった場合には、前記湿度センサに故障が発生
したと判定することを特徴とする前記請求項２３に記載
の湿度センサの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001366911A JP3840104B2 (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001366911A JP3840104B2 (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003166964A true JP2003166964A (ja) | 2003-06-13 |
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|---|---|---|---|
| JP2001366911A Expired - Fee Related JP3840104B2 (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 湿度センサの制御装置及び湿度センサの制御方法 |
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|---|---|
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