JP2003160342A - ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反応容器、上煙突及び下煙突で構成されるガ
ラス微粒子堆積体製造装置を用いてガラス微粒子堆積体
を製造するに当たり、ガラス微粒子堆積体への異物の付
着、混入を効果的に抑制することができる製造方法を提
供すること。 【解決手段】 ガラス微粒子堆積体製造装置に設けられ
たクリーンエア導入管から装置内へクリーンエアを導入
し、前記装置内外の圧力を装置外の圧力より高く調整す
ることによって前記装置内への外気の混入を防ぐととも
に該装置内の浮遊ダストを装置外側の収納容器内へ排出
しながらガラス微粒子の堆積を行うことを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。
ラス微粒子堆積体製造装置を用いてガラス微粒子堆積体
を製造するに当たり、ガラス微粒子堆積体への異物の付
着、混入を効果的に抑制することができる製造方法を提
供すること。 【解決手段】 ガラス微粒子堆積体製造装置に設けられ
たクリーンエア導入管から装置内へクリーンエアを導入
し、前記装置内外の圧力を装置外の圧力より高く調整す
ることによって前記装置内への外気の混入を防ぐととも
に該装置内の浮遊ダストを装置外側の収納容器内へ排出
しながらガラス微粒子の堆積を行うことを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＯＶＤ法によるガ
ラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置、特にガラス
微粒子堆積体中への異物の混入を低減したガラス微粒子
堆積体の製造方法及び製造装置に関する。
ラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置、特にガラス
微粒子堆積体中への異物の混入を低減したガラス微粒子
堆積体の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス微粒子合成用バーナーを使用し、
酸水素火炎中にガラス原料となるＳｉＣｌ4 やＧｅＣｌ
4 を供給して火炎加水分解反応によりＳｉＯ2 やＧｅＯ
2 ガラス微粒子を生成させ、出発ロッドに対して径方向
にガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によりガラス微粒
子堆積体を製造する場合、バーナーで生成されたガラス
微粒子は出発ロッドの周囲に堆積するが、堆積体に堆積
しなかったガラス微粒子は反応容器及びそれに付設され
た上煙突や下煙突からなる製造装置の空間内に浮遊す
る。ガラス微粒子は高温ガスの影響により上方に流され
やすいため、浮遊するガラス微粒子は製造装置の内壁
面、特に反応容器や上煙突の内壁面に付着し、付着量が
多くなると剥がれ落ちガラス微粒子堆積体の表面に異物
として付着する。また、反応装置の構成材質によって
は、金属系ダストが発生する場合もある。
酸水素火炎中にガラス原料となるＳｉＣｌ4 やＧｅＣｌ
4 を供給して火炎加水分解反応によりＳｉＯ2 やＧｅＯ
2 ガラス微粒子を生成させ、出発ロッドに対して径方向
にガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によりガラス微粒
子堆積体を製造する場合、バーナーで生成されたガラス
微粒子は出発ロッドの周囲に堆積するが、堆積体に堆積
しなかったガラス微粒子は反応容器及びそれに付設され
た上煙突や下煙突からなる製造装置の空間内に浮遊す
る。ガラス微粒子は高温ガスの影響により上方に流され
やすいため、浮遊するガラス微粒子は製造装置の内壁
面、特に反応容器や上煙突の内壁面に付着し、付着量が
多くなると剥がれ落ちガラス微粒子堆積体の表面に異物
として付着する。また、反応装置の構成材質によって
は、金属系ダストが発生する場合もある。
【０００３】ガラス微粒子堆積体にこれらの異物が付着
すると、焼結透明化後に気泡が発生したり、さらには光
ファイバ化後の強度試験時において断線が頻発したり、
光ファイバの伝送損失が増加するという問題もある。従
ってガラス微粒子堆積体の製造の際には、ガラス微粒子
堆積体中に混入する異物の量を極力低減することが必要
であり、そのための方法が種々検討され、提案されてい
る。
すると、焼結透明化後に気泡が発生したり、さらには光
ファイバ化後の強度試験時において断線が頻発したり、
光ファイバの伝送損失が増加するという問題もある。従
ってガラス微粒子堆積体の製造の際には、ガラス微粒子
堆積体中に混入する異物の量を極力低減することが必要
であり、そのための方法が種々検討され、提案されてい
る。
【０００４】例えば、特開２０００−１０９３２９号公
報、特開平５−１１６９７９号公報若しくは特開平５−
１１６９８０号公報には、ガラス微粒子堆積体そのもの
にクリーンエアや酸水素火炎を吹き付けて、ガラス微粒
子堆積体への異物混入を防ぐ方法が開示されている。し
かしながら、堆積面に直接クリーンエアを吹き付ける
と、ガラス微粒子に剥離（割れ）が生じる。また、酸水
素火炎で堆積面を炙る場合、ガラス微粒子堆積体に変形
が生じ易いという問題がある。
報、特開平５−１１６９７９号公報若しくは特開平５−
１１６９８０号公報には、ガラス微粒子堆積体そのもの
にクリーンエアや酸水素火炎を吹き付けて、ガラス微粒
子堆積体への異物混入を防ぐ方法が開示されている。し
かしながら、堆積面に直接クリーンエアを吹き付ける
と、ガラス微粒子に剥離（割れ）が生じる。また、酸水
素火炎で堆積面を炙る場合、ガラス微粒子堆積体に変形
が生じ易いという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は反応容器、上
煙突及び下煙突で構成されるガラス微粒子堆積体製造装
置を用いてガラス微粒子堆積体を製造するに当たり、ガ
ラス微粒子堆積体への異物の付着、混入を効果的に抑制
することができるガラス微粒子堆積体の製造方法又は製
造装置を提供することを目的とする。
煙突及び下煙突で構成されるガラス微粒子堆積体製造装
置を用いてガラス微粒子堆積体を製造するに当たり、ガ
ラス微粒子堆積体への異物の付着、混入を効果的に抑制
することができるガラス微粒子堆積体の製造方法又は製
造装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】（１）ガラス微粒子合成
用バーナーが設けられた反応容器、支持棒挿入口を設け
た上蓋を有する上煙突及び下煙突で構成され、装置内に
クリーンエアを導入するクリーンエア導入管が設けられ
たガラス微粒子堆積体製造装置を用いて、該装置内に支
持され回転する出発ロッドに対向させてガラス微粒子合
成用バーナーを配置し、前記出発ロッドを上下に往復運
動させながらガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積さ
せてガラス微粒子堆積体を製造する方法において、前記
反応容器、上煙突又は下煙突のいずれか１つ以上に排気
口を設け、前記クリーンエア導入管から装置内へクリー
ンエアを導入し、前記ガラス微粒子堆積体製造装置内の
圧力を該装置の外側の圧力よりも高くなるように保持
し、前記装置内への外気の混入を防ぐとともに該装置内
の浮遊ダストを装置外側へ排出しながらガラス微粒子の
堆積を行うことを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造
方法。
用バーナーが設けられた反応容器、支持棒挿入口を設け
た上蓋を有する上煙突及び下煙突で構成され、装置内に
クリーンエアを導入するクリーンエア導入管が設けられ
たガラス微粒子堆積体製造装置を用いて、該装置内に支
持され回転する出発ロッドに対向させてガラス微粒子合
成用バーナーを配置し、前記出発ロッドを上下に往復運
動させながらガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積さ
せてガラス微粒子堆積体を製造する方法において、前記
反応容器、上煙突又は下煙突のいずれか１つ以上に排気
口を設け、前記クリーンエア導入管から装置内へクリー
ンエアを導入し、前記ガラス微粒子堆積体製造装置内の
圧力を該装置の外側の圧力よりも高くなるように保持
し、前記装置内への外気の混入を防ぐとともに該装置内
の浮遊ダストを装置外側へ排出しながらガラス微粒子の
堆積を行うことを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造
方法。
【０００７】（２）装置内の圧力を装置外の圧力よりも
高く保持する際に排気管回り及びバーナー回り及び支持
棒回りのクリアランス部に囲いを設け、囲いには排気管
を取り付けて装置内から囲い内へ漏れ出るガラス微粒子
を吸引することを特徴とする上記（１）に記載のガラス
微粒子堆積体の製造方法。 （３）装置内へ導入するクリーンエアのクリーン度が
０．３μｍ以上の大きさのダストで１０００個／ＣＦ以
下であることを特徴とする上記（１）に記載のガラス微
粒子堆積体の製造方法。
高く保持する際に排気管回り及びバーナー回り及び支持
棒回りのクリアランス部に囲いを設け、囲いには排気管
を取り付けて装置内から囲い内へ漏れ出るガラス微粒子
を吸引することを特徴とする上記（１）に記載のガラス
微粒子堆積体の製造方法。 （３）装置内へ導入するクリーンエアのクリーン度が
０．３μｍ以上の大きさのダストで１０００個／ＣＦ以
下であることを特徴とする上記（１）に記載のガラス微
粒子堆積体の製造方法。
【０００８】（４）上部にガラス微粒子堆積体の出し入
れを行うための上蓋を有する上煙突と、その内部におい
てガラス微粒子を堆積させる反応容器と、ガラス微粒子
堆積体を往復運動させるための下煙突と、装置内へクリ
ーンエアを導入する管と、クリーンエア発生器と反応容
器内を浮遊する余剰ガラス微粒子を排気するための排気
口と、反応容器と排気用の吸気装置とを繋ぐ排気管と、
ガラス微粒子堆積体を支持する支持棒と、ガラス微粒子
堆積体及び支持棒を往復運動させる昇降装置を有するガ
ラス微粒子堆積装置であって、好ましくは、ガラス原料
ガス噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート及び助燃性ガス
噴出ポートと不活性ガス噴出ポートを備えた１本もしく
は複数本のガラス微粒子合成用バーナーで火炎を形成
し、火炎中にガラス原料ガスを供給して火炎加水分解反
応及び酸化反応によりガラス微粒子を生成させて、ガラ
ス微粒子を製品となるガラスロッドの両端にダミーロッ
ドを溶着して作製した出発ロッドの外周に堆積させるよ
うにしてなるガラス微粒子製造装置において、排気管回
り、及びバーナー回り及び支持棒回りのクリアランス部
に囲いを設け、囲いには排気管を設けたことを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造装置。
れを行うための上蓋を有する上煙突と、その内部におい
てガラス微粒子を堆積させる反応容器と、ガラス微粒子
堆積体を往復運動させるための下煙突と、装置内へクリ
ーンエアを導入する管と、クリーンエア発生器と反応容
器内を浮遊する余剰ガラス微粒子を排気するための排気
口と、反応容器と排気用の吸気装置とを繋ぐ排気管と、
ガラス微粒子堆積体を支持する支持棒と、ガラス微粒子
堆積体及び支持棒を往復運動させる昇降装置を有するガ
ラス微粒子堆積装置であって、好ましくは、ガラス原料
ガス噴出ポート、可燃性ガス噴出ポート及び助燃性ガス
噴出ポートと不活性ガス噴出ポートを備えた１本もしく
は複数本のガラス微粒子合成用バーナーで火炎を形成
し、火炎中にガラス原料ガスを供給して火炎加水分解反
応及び酸化反応によりガラス微粒子を生成させて、ガラ
ス微粒子を製品となるガラスロッドの両端にダミーロッ
ドを溶着して作製した出発ロッドの外周に堆積させるよ
うにしてなるガラス微粒子製造装置において、排気管回
り、及びバーナー回り及び支持棒回りのクリアランス部
に囲いを設け、囲いには排気管を設けたことを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造装置。
【０００９】本発明では、ＯＶＤ法によりガラス微粒子
堆積体を調製する際に、装置内へ導入するクリーンエア
（ＣＡ）風量と反応容器に取り付けた排気管の圧力を調
整することで、装置内の圧力を装置外の圧力より上げ
る。また装置の隙間部（隙間が形成されている部位）に
は囲いを設置し、更に該囲いには排気管に連通する排気
口を設けて装置内から囲い内へと漏れ出すガラス微粒子
を排気する。これによりガラス微粒子堆積体内に混入す
る異物数を低減させることができる。ガラス微粒子堆積
体中への異物数を低減させるためにはガラス微粒子を堆
積させる装置内のクリーン度を上げる必要がある。本発
明はその１手法を開発提供するものである。まず、装置
内へはクリーンエアを導入しクリーン度を上げる。一
方、従来手法ではガラス微粒子が装置外へ漏れることを
避けて、装置内の圧力は装置外の圧力より低く管理す
る。この場合、装置外の雰囲気に含まれるダストを装置
内へ混入させてしまい、結果的にガラス微粒子堆積体中
の異物数が上がる。そこで、装置内へ導入するクリーン
エアの流量及び装置内のガラス微粒子を排気するための
排気管の圧力を調整することで装置内の圧力を装置外の
圧力より高く管理する。この際、装置内のガラス微粒子
は装置外へ漏れるので装置の隙間のある箇所に囲いを設
け、その囲いには排気管を取り付けて囲い内に漏れ出た
ガラス微粒子を排気する。装置内外の圧力差は通常１０
〜２００Ｐａ位、好ましくは５０〜１００Ｐａの範囲と
する。ここで、装置内の圧力を装置外の圧力より高く管
理するのには具体的には、装置内へ導入するＣＡの風量
やガス吸気装置１１などを用いて行う。
堆積体を調製する際に、装置内へ導入するクリーンエア
（ＣＡ）風量と反応容器に取り付けた排気管の圧力を調
整することで、装置内の圧力を装置外の圧力より上げ
る。また装置の隙間部（隙間が形成されている部位）に
は囲いを設置し、更に該囲いには排気管に連通する排気
口を設けて装置内から囲い内へと漏れ出すガラス微粒子
を排気する。これによりガラス微粒子堆積体内に混入す
る異物数を低減させることができる。ガラス微粒子堆積
体中への異物数を低減させるためにはガラス微粒子を堆
積させる装置内のクリーン度を上げる必要がある。本発
明はその１手法を開発提供するものである。まず、装置
内へはクリーンエアを導入しクリーン度を上げる。一
方、従来手法ではガラス微粒子が装置外へ漏れることを
避けて、装置内の圧力は装置外の圧力より低く管理す
る。この場合、装置外の雰囲気に含まれるダストを装置
内へ混入させてしまい、結果的にガラス微粒子堆積体中
の異物数が上がる。そこで、装置内へ導入するクリーン
エアの流量及び装置内のガラス微粒子を排気するための
排気管の圧力を調整することで装置内の圧力を装置外の
圧力より高く管理する。この際、装置内のガラス微粒子
は装置外へ漏れるので装置の隙間のある箇所に囲いを設
け、その囲いには排気管を取り付けて囲い内に漏れ出た
ガラス微粒子を排気する。装置内外の圧力差は通常１０
〜２００Ｐａ位、好ましくは５０〜１００Ｐａの範囲と
する。ここで、装置内の圧力を装置外の圧力より高く管
理するのには具体的には、装置内へ導入するＣＡの風量
やガス吸気装置１１などを用いて行う。
【００１０】クリーン度を保つ上で装置内へ導入するク
リーンエアは大きさが０．３μｍ以上のダストで１００
０個／ＣＦ以下となっていることが望ましい。こうし
て、ガラス微粒子を装置外へ漏らすことなく、装置内の
クリーン度を保つことができ、結果としてガラス微粒子
堆積体中の異物数を減少させることができる。生成され
たガラス微粒子は高温加熱してガラス化され、光ファイ
バなどのガラス部品へ加工されるものである。
リーンエアは大きさが０．３μｍ以上のダストで１００
０個／ＣＦ以下となっていることが望ましい。こうし
て、ガラス微粒子を装置外へ漏らすことなく、装置内の
クリーン度を保つことができ、結果としてガラス微粒子
堆積体中の異物数を減少させることができる。生成され
たガラス微粒子は高温加熱してガラス化され、光ファイ
バなどのガラス部品へ加工されるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を更
に詳細に説明する。図１は本発明の方法を実施するため
の、ガラス微粒子堆積体製造装置の構成を模式的に説明
する概略断面図である。図１に例示したガラス微粒子堆
積体製造装置１２は、ガラス微粒子合成用バーナー４、
出発ロッド５、支持棒６、クリーンエア導入管７、排気
管Ｄ1〜Ｄ4 、囲いＥ1 ，Ｅ2 、ガラス微粒子堆積体
８、上蓋９、昇降装置１０、ガス吸気装置１１、ＣＡ発
生器１３から構成される。本発明の方法は基本的には、
この製造装置１２内に支持棒６によって支持され、回転
する出発ロッド５に対向させてガラス微粒子合成用バー
ナー４を配置し、前記出発ロッド５を上下に往復運動さ
せながらガラス微粒子を出発ロッド５の外周に堆積させ
てガラス微粒子堆積体８を製造する方法である。
に詳細に説明する。図１は本発明の方法を実施するため
の、ガラス微粒子堆積体製造装置の構成を模式的に説明
する概略断面図である。図１に例示したガラス微粒子堆
積体製造装置１２は、ガラス微粒子合成用バーナー４、
出発ロッド５、支持棒６、クリーンエア導入管７、排気
管Ｄ1〜Ｄ4 、囲いＥ1 ，Ｅ2 、ガラス微粒子堆積体
８、上蓋９、昇降装置１０、ガス吸気装置１１、ＣＡ発
生器１３から構成される。本発明の方法は基本的には、
この製造装置１２内に支持棒６によって支持され、回転
する出発ロッド５に対向させてガラス微粒子合成用バー
ナー４を配置し、前記出発ロッド５を上下に往復運動さ
せながらガラス微粒子を出発ロッド５の外周に堆積させ
てガラス微粒子堆積体８を製造する方法である。
【００１２】本発明の特徴の１つは、反応容器１の隙間
のある部位を囲いＥ1 で覆い、上煙突２の隙間のある部
位を囲いＥ2 で覆いそれぞれ排気管Ｄ2 ，Ｄ3 及びＤ4
を経て吸気装置１１により装置若しくは囲い外部に排気
する点にある。反応容器１に設けられている排気管Ｄ1
は同様にガス吸気装置１１に連結されている。
のある部位を囲いＥ1 で覆い、上煙突２の隙間のある部
位を囲いＥ2 で覆いそれぞれ排気管Ｄ2 ，Ｄ3 及びＤ4
を経て吸気装置１１により装置若しくは囲い外部に排気
する点にある。反応容器１に設けられている排気管Ｄ1
は同様にガス吸気装置１１に連結されている。
【００１３】本発明の更なる特徴は、次のとおりであ
る。すなわち、本発明の方法においては、このガラス微
粒子堆積体製造装置１２で、クリーンエア導入管７から
装置１０内へクリーンエアを導入し、ガラス微粒子堆積
体製造装置１２（上煙突２、反応容器１、下煙突３）内
の圧力を装置外の圧力よりも高くなるように保持し（陽
圧管理）、ガラス微粒子堆積体製造装置１２内への外気
の混入を防ぐとともに、排気管Ｄ1 （図には反応容器１
に設けられた例を示す）から該装置１２内の浮遊ダスト
（装置１２内でガラス微粒子堆積体８に堆積しなかった
ガラス微粒子など）を装置１２の外側に排出しながらガ
ラス微粒子の堆積を行うことを特徴とする。
る。すなわち、本発明の方法においては、このガラス微
粒子堆積体製造装置１２で、クリーンエア導入管７から
装置１０内へクリーンエアを導入し、ガラス微粒子堆積
体製造装置１２（上煙突２、反応容器１、下煙突３）内
の圧力を装置外の圧力よりも高くなるように保持し（陽
圧管理）、ガラス微粒子堆積体製造装置１２内への外気
の混入を防ぐとともに、排気管Ｄ1 （図には反応容器１
に設けられた例を示す）から該装置１２内の浮遊ダスト
（装置１２内でガラス微粒子堆積体８に堆積しなかった
ガラス微粒子など）を装置１２の外側に排出しながらガ
ラス微粒子の堆積を行うことを特徴とする。
【００１４】すなわち、ＣＡ発生器１３からクリーンエ
ア導入管７を経て装置１２内に導入するクリーンエアの
流量を調整することにより装置１２内の圧力を上げ、装
置１２の外側の圧力よりも高く保持することで装置１２
内への外気の混入を防ぐようにする。また、装置１２に
は排気管Ｄ1 を設け、堆積しなかったガラス微粒子など
のダストを装置１２から排気管Ｄ1 を経て外部に排出す
る。なお、クリーンエア導入管７及び排気管Ｄ1 は必ず
しも図１に示したように上蓋９及び反応容器１に設ける
必要はなく、また、複数個所に設けてもよく、それぞれ
反応容器１、上煙突２又は下煙突３の少なくともいずれ
か１つ以上に設ければよい。
ア導入管７を経て装置１２内に導入するクリーンエアの
流量を調整することにより装置１２内の圧力を上げ、装
置１２の外側の圧力よりも高く保持することで装置１２
内への外気の混入を防ぐようにする。また、装置１２に
は排気管Ｄ1 を設け、堆積しなかったガラス微粒子など
のダストを装置１２から排気管Ｄ1 を経て外部に排出す
る。なお、クリーンエア導入管７及び排気管Ｄ1 は必ず
しも図１に示したように上蓋９及び反応容器１に設ける
必要はなく、また、複数個所に設けてもよく、それぞれ
反応容器１、上煙突２又は下煙突３の少なくともいずれ
か１つ以上に設ければよい。
【００１５】本発明の方法においては、ガラス微粒子堆
積体製造装置１２（上煙突２、反応容器１、下煙突３）
内を陽圧管理とする。装置１２内のクリーン度を保つた
めに、ＣＡ発生器１３からクリーンエア導入管７を経て
装置１２内に導入するクリーンエアは、大きさ０．３μ
ｍ以上のダスト数が３．５×１０4 個／ｍ3 （１０００
個／ＣＦ、ＣＦ：ｆｔ3 ）以下のクリーンエアとするの
が望ましい。ガラス微粒子合成用バーナー４としては、
従来使用されている形式のものを使用すればよいが、例
えば図２に示すバーナーが好適に使用できる。図２にお
いて１５は原料及び水素ガス噴出ポート、１６及び１９
はアルゴンガス噴出ポート、１７は水素ガス噴出ポー
ト、１８及び２０は酸素ガス噴出ポートである。
積体製造装置１２（上煙突２、反応容器１、下煙突３）
内を陽圧管理とする。装置１２内のクリーン度を保つた
めに、ＣＡ発生器１３からクリーンエア導入管７を経て
装置１２内に導入するクリーンエアは、大きさ０．３μ
ｍ以上のダスト数が３．５×１０4 個／ｍ3 （１０００
個／ＣＦ、ＣＦ：ｆｔ3 ）以下のクリーンエアとするの
が望ましい。ガラス微粒子合成用バーナー４としては、
従来使用されている形式のものを使用すればよいが、例
えば図２に示すバーナーが好適に使用できる。図２にお
いて１５は原料及び水素ガス噴出ポート、１６及び１９
はアルゴンガス噴出ポート、１７は水素ガス噴出ポー
ト、１８及び２０は酸素ガス噴出ポートである。
【００１６】
【実施例】以下、実施例により本発明の方法をさらに具
体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。 （実施例１）図１に示すようなＮｉで構成された反応容
器１と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微
粒子の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する
穴とＣＡ導入管７と上蓋９及び支持棒回りの隙間を囲う
囲いＥ2 と囲いＥ2 内の雰囲気を排気する排気管Ｄ4 を
設置した。反応容器１にはガラス微粒子生成用のバーナ
ー４を３本とバーナー回りには囲いＥ3 と排気管Ｄ
3 と、反応容器１内で浮遊するガラス微粒子を排出する
排気口と排気口へ挿入する排気管Ｄ1 と排気管Ｄ1の回
りの囲いＥ1 を設置した。囲いＥ1 には排気管Ｄ2 を設
置した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍのコア
ロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英ガラス製
ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製し、出発ロ
ッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に設置し、２
００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運
動させながらガラス微粒子合成用バーナー４から生成す
るガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラス微粒子堆
積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔
１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４ＳＬＭ（ス
タンダードリットル／分）をそれぞれ供給し、火炎を形
成するための水素８０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞ
れに供給した。
体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。 （実施例１）図１に示すようなＮｉで構成された反応容
器１と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微
粒子の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する
穴とＣＡ導入管７と上蓋９及び支持棒回りの隙間を囲う
囲いＥ2 と囲いＥ2 内の雰囲気を排気する排気管Ｄ4 を
設置した。反応容器１にはガラス微粒子生成用のバーナ
ー４を３本とバーナー回りには囲いＥ3 と排気管Ｄ
3 と、反応容器１内で浮遊するガラス微粒子を排出する
排気口と排気口へ挿入する排気管Ｄ1 と排気管Ｄ1の回
りの囲いＥ1 を設置した。囲いＥ1 には排気管Ｄ2 を設
置した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍのコア
ロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英ガラス製
ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製し、出発ロ
ッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に設置し、２
００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運
動させながらガラス微粒子合成用バーナー４から生成す
るガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラス微粒子堆
積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔
１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４ＳＬＭ（ス
タンダードリットル／分）をそれぞれ供給し、火炎を形
成するための水素８０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞ
れに供給した。
【００１７】上蓋９から大きさが０．３μｍ以上となる
ダスト数が４０〜６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風
量３０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のク
リーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１００
０００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より
１０Ｐａ低く、装置内の圧力は室圧より５０Ｐａ高くな
るよう管理した。ガラス微粒子堆積中に装置隙間に設置
した囲いＥ1 ，Ｅ2 内に漏れたガラス微粒子は排気管Ｄ
2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 から排気した。ガラス微粒子の堆積を進
め、最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を繰
り返した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高温
加熱して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行った。
その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は１０
０ｋｍで１回であった。ここでのスクリーニング試験
は、ファイバ長手方向で２％の引き伸び率となる荷重
（１．８〜２．２ｋｇｆ程度、時間：１ｓ）を負荷して
断線の有無を調べるファイバ強度試験である。なお、ダ
スト数はＭｅｔ・Ｏｎｅ社製パーティクルカウンター、
モデル２３７Ｂにより測定した。また、排気管Ｄ1 内の
圧力は、反応容器から１０００ｍｍ離れた箇所で測定
し、装置内の圧力は、反応容器後面における中心位置で
測定した。
ダスト数が４０〜６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風
量３０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のク
リーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１００
０００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より
１０Ｐａ低く、装置内の圧力は室圧より５０Ｐａ高くな
るよう管理した。ガラス微粒子堆積中に装置隙間に設置
した囲いＥ1 ，Ｅ2 内に漏れたガラス微粒子は排気管Ｄ
2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 から排気した。ガラス微粒子の堆積を進
め、最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を繰
り返した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高温
加熱して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行った。
その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は１０
０ｋｍで１回であった。ここでのスクリーニング試験
は、ファイバ長手方向で２％の引き伸び率となる荷重
（１．８〜２．２ｋｇｆ程度、時間：１ｓ）を負荷して
断線の有無を調べるファイバ強度試験である。なお、ダ
スト数はＭｅｔ・Ｏｎｅ社製パーティクルカウンター、
モデル２３７Ｂにより測定した。また、排気管Ｄ1 内の
圧力は、反応容器から１０００ｍｍ離れた箇所で測定
し、装置内の圧力は、反応容器後面における中心位置で
測定した。
【００１８】（比較例１）Ｎｉで構成された反応容器１
と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微粒子
の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する穴と
ＣＡ導入管７とを設置した。反応容器１にはガラス微粒
子生成用のバーナー４を３本と反応容器１内で浮遊する
ガラス微粒子を排出する排気口と排気口へ挿入する排気
管Ｄ1 を設置した。コア／クラッド部を有する直径３０
ｍｍのコアロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石
英ガラス製ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製
し、出発ロッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に
設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍト
ラバース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー４
から生成するガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー
３本（間隔１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４
ＳＬＭをそれぞれ供給し、火炎を形成するための水素８
０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとして
Ａｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞれに供給した。上蓋
９から大きさが０．３μｍ以上となるダスト数が４０〜
６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風量２０ｍ3 ／分導
入した。装置外における雰囲気中のクリーン度は０．３
μｍ以上の大きさのダスト数が１０００００個／ＣＦで
あった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より５０Ｐａ低く、反
応容器内圧力は室圧より１０Ｐａ低くなるよう管理し
た。ガラス微粒子の堆積を進め、最終目標の重量１０ｋ
ｇにするべく、この作業を繰り返した。最終的に得られ
たガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化させ
た後、ファイバ化を行った。その後、スクリーニング試
験の際に断線する回数は１００ｋｍで１０回であった。
と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微粒子
の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する穴と
ＣＡ導入管７とを設置した。反応容器１にはガラス微粒
子生成用のバーナー４を３本と反応容器１内で浮遊する
ガラス微粒子を排出する排気口と排気口へ挿入する排気
管Ｄ1 を設置した。コア／クラッド部を有する直径３０
ｍｍのコアロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石
英ガラス製ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製
し、出発ロッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に
設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍト
ラバース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー４
から生成するガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー
３本（間隔１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４
ＳＬＭをそれぞれ供給し、火炎を形成するための水素８
０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとして
Ａｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞれに供給した。上蓋
９から大きさが０．３μｍ以上となるダスト数が４０〜
６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風量２０ｍ3 ／分導
入した。装置外における雰囲気中のクリーン度は０．３
μｍ以上の大きさのダスト数が１０００００個／ＣＦで
あった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より５０Ｐａ低く、反
応容器内圧力は室圧より１０Ｐａ低くなるよう管理し
た。ガラス微粒子の堆積を進め、最終目標の重量１０ｋ
ｇにするべく、この作業を繰り返した。最終的に得られ
たガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化させ
た後、ファイバ化を行った。その後、スクリーニング試
験の際に断線する回数は１００ｋｍで１０回であった。
【００１９】（実施例２）Ｎｉで構成された反応容器１
と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微粒子
の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する穴と
ＣＡ導入管７設置した。反応容器１にはガラス微粒子生
成用のバーナー４を３本と、反応容器１内で浮遊するガ
ラス微粒子を排出する排気口と排気口へ挿入する排気管
Ｄ1 を設置した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍ
ｍのコアロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英
ガラス製ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製
し、出発ロッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に
設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍト
ラバース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー４
から生成するガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー
３本（間隔１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４
ＳＬＭをそれぞれ供給し、火炎を形成するための水素８
０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとして
Ａｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞれに供給した。
と上、下煙突２，３を有する装置を用いてガラス微粒子
の堆積を行った。上煙突２には支持棒６を挿入する穴と
ＣＡ導入管７設置した。反応容器１にはガラス微粒子生
成用のバーナー４を３本と、反応容器１内で浮遊するガ
ラス微粒子を排出する排気口と排気口へ挿入する排気管
Ｄ1 を設置した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍ
ｍのコアロッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英
ガラス製ダミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製
し、出発ロッド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に
設置し、２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍト
ラバース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー４
から生成するガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー
３本（間隔１５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４
ＳＬＭをそれぞれ供給し、火炎を形成するための水素８
０ＳＬＭ及び酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとして
Ａｒ２ＳＬＭをバーナー３本それぞれに供給した。
【００２０】上蓋９から大きさが０．３μｍ以上となる
ダスト数が４０〜６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風
量２０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のク
リーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１００
０００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より
２０Ｐａ低く、反応容器内圧力は室圧より２０Ｐａ高く
なるよう管理した。装置内を浮遊するガラス微粒子が装
置外へ若干もれたものの、ガラス微粒子の堆積を進め、
最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を繰り返
した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高温加熱
して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行った。その
後、スクリーニング試験の際に断線する回数は１００ｋ
ｍで２回であった。
ダスト数が４０〜６０個／ＣＦとなるクリーンエアを風
量２０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のク
リーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１００
０００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より
２０Ｐａ低く、反応容器内圧力は室圧より２０Ｐａ高く
なるよう管理した。装置内を浮遊するガラス微粒子が装
置外へ若干もれたものの、ガラス微粒子の堆積を進め、
最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を繰り返
した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高温加熱
して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行った。その
後、スクリーニング試験の際に断線する回数は１００ｋ
ｍで２回であった。
【００２１】（実施例３）図１に示すようなＮｉで構成
された反応容器１と上、下煙突２，３を有する装置を用
いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２には支持棒
を挿入する穴とＣＡ導入管７と上蓋９及び支持棒６回り
の隙間を囲う囲いと囲い内の雰囲気を排気する排気管２
を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバー
ナー４を３本とバーナー回りには囲いＥ3 と排気管Ｄ3
と、反応容器１内で浮遊するガラス微粒子を排出する排
気口と排気口へ挿入する排気管Ｄ1 と排気管Ｄ1 の回り
の囲いＥ1 を設置した。囲いＥ1 には排気管Ｄ2 を設置
した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍのコアロ
ッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英ガラス製ダ
ミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製し、出発ロッ
ド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に設置し、２０
０ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動
させながらガラス微粒子合成用バーナー４から生成する
ガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラス微粒子堆積
体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１
５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４ＳＬＭをそれ
ぞれ供給し、火炎を形成するための水素８０ＳＬＭ及び
酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ２ＳＬＭ
をバーナー３本それぞれに供給した。
された反応容器１と上、下煙突２，３を有する装置を用
いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２には支持棒
を挿入する穴とＣＡ導入管７と上蓋９及び支持棒６回り
の隙間を囲う囲いと囲い内の雰囲気を排気する排気管２
を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバー
ナー４を３本とバーナー回りには囲いＥ3 と排気管Ｄ3
と、反応容器１内で浮遊するガラス微粒子を排出する排
気口と排気口へ挿入する排気管Ｄ1 と排気管Ｄ1 の回り
の囲いＥ1 を設置した。囲いＥ1 には排気管Ｄ2 を設置
した。コア／クラッド部を有する直径３０ｍｍのコアロ
ッド（長さ５００ｍｍ）を用いて両端に石英ガラス製ダ
ミーロッドを溶着して出発ロッド５を作製し、出発ロッ
ド５を４０ｒｐｍで回転させながら鉛直に設置し、２０
０ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動
させながらガラス微粒子合成用バーナー４から生成する
ガラス微粒子堆積体を順次堆積させてガラス微粒子堆積
体８を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１
５０ｍｍ）には原料となる四塩化珪素：４ＳＬＭをそれ
ぞれ供給し、火炎を形成するための水素８０ＳＬＭ及び
酸素４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ２ＳＬＭ
をバーナー３本それぞれに供給した。
【００２２】上蓋９から大きさが０．３μｍ以上となる
ダスト数が２０００個／ＣＦとなるクリーンエアを風量
３０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のクリ
ーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１０００
００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より１
０Ｐａ低く、装置内の圧力は室圧より５０Ｐａ高くなる
よう管理した。ガラス微粒子堆積中に装置隙間に設置し
た囲いＥ1 ，Ｅ2 内に漏れたガラス微粒子は排気管
Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 から排気した。ガラス微粒子の堆積を
進め、最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を
繰り返した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高
温加熱して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行っ
た。その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は
１００ｋｍで４回であった。
ダスト数が２０００個／ＣＦとなるクリーンエアを風量
３０ｍ3 ／分導入した。装置外における雰囲気中のクリ
ーン度は０．３μｍ以上の大きさのダスト数が１０００
００個／ＣＦであった。排気管Ｄ1 の圧力は室圧より１
０Ｐａ低く、装置内の圧力は室圧より５０Ｐａ高くなる
よう管理した。ガラス微粒子堆積中に装置隙間に設置し
た囲いＥ1 ，Ｅ2 内に漏れたガラス微粒子は排気管
Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 から排気した。ガラス微粒子の堆積を
進め、最終目標の重量１０ｋｇにするべく、この作業を
繰り返した。最終的に得られたガラス微粒子堆積体を高
温加熱して透明ガラス化させた後、ファイバ化を行っ
た。その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は
１００ｋｍで４回であった。
【００２３】
【発明の効果】本発明の方法によれば、ガラス微粒子堆
積体の製造中に製造装置内に浮遊する堆積しなかったガ
ラス微粒子などのダストを効率よく装置外に排出するこ
とができ、かつ、外気の巻き込みを防いでガラス微粒子
堆積体への異物の混入を低減でき、安定した品質のガラ
ス微粒子堆積体を製造することができる。
積体の製造中に製造装置内に浮遊する堆積しなかったガ
ラス微粒子などのダストを効率よく装置外に排出するこ
とができ、かつ、外気の巻き込みを防いでガラス微粒子
堆積体への異物の混入を低減でき、安定した品質のガラ
ス微粒子堆積体を製造することができる。
【図１】本発明の方法を実施するための、ガラス微粒子
堆積体製造装置を模式的に説明する概略断面図。
堆積体製造装置を模式的に説明する概略断面図。
【図２】実施例で使用した多重管形式のガラス微粒子合
成用バーナーの構造を示す断面図。
成用バーナーの構造を示す断面図。
１ 反応容器 ２ 上煙突 ３ 下煙突
４ ガラス微粒子合成用バーナー ５ 出発ロッド
６ 支持棒 ７ クリーンエア導入管 ８ ガラス微粒子堆積体
９ 上蓋 １０ 昇降装置 １１ ガス吸気装置 １２ ガラス微粒子堆積体製造装置 １３ ＣＡ発生
器 １５ 原料及び水素ガス噴出ポート １６ アルゴン
ガス噴出ポート １７ 水素ガス噴出ポート １８ 酸素ガス噴出ポー
ト １９ アルゴンガス噴出ポート ２０ 酸素ガス噴出
ポート Ｅ1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 囲い Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4
排気管
６ 支持棒 ７ クリーンエア導入管 ８ ガラス微粒子堆積体
９ 上蓋 １０ 昇降装置 １１ ガス吸気装置 １２ ガラス微粒子堆積体製造装置 １３ ＣＡ発生
器 １５ 原料及び水素ガス噴出ポート １６ アルゴン
ガス噴出ポート １７ 水素ガス噴出ポート １８ 酸素ガス噴出ポー
ト １９ アルゴンガス噴出ポート ２０ 酸素ガス噴出
ポート Ｅ1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 囲い Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4
排気管
Claims (4)
- 【請求項１】 装置内に支持され回転する出発ロッドに
対向させてガラス微粒子合成用バーナーを配置し、前記
出発ロッドを上下に往復運動させながらガラス微粒子を
出発ロッドの外周に堆積させてガラス微粒子堆積体を製
造する方法において、クリーンエア導入管から装置内へ
クリーンエアを導入し、前記ガラス微粒子堆積体製造装
置内の圧力を該装置の外側の圧力よりも高くなるように
保持しながらガラス微粒子の堆積を行うことを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項２】 排気管回り及びバーナー回り及び支持棒
回りのクリアランス部に囲いを設け、囲いには排気管を
取り付けて装置内から囲い内へ漏れ出るガラス微粒子を
吸引することを特徴とする請求項１記載のガラス微粒子
堆積体の製造方法。 - 【請求項３】 装置内へ導入するクリーンエアのクリー
ン度が０．３μｍ以上の大きさのダストで１０００個／
ＣＦ以下であることを特徴とする請求項１記載のガラス
微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項４】 上部にガラス微粒子堆積体の出し入れを
行うための上蓋を有する上煙突と、その内部においてガ
ラス微粒子を堆積させる反応容器と、ガラス微粒子堆積
体を往復運動させるための下煙突と、装置内へクリーン
エアを導入する管と、クリーンエア発生器と反応容器内
を浮遊する余剰ガラス微粒子を排気するための排気口
と、反応容器と排気用の吸気装置とを繋ぐ排気管と、ガ
ラス微粒子堆積体を支持する支持棒と、ガラス微粒子堆
積体及び支持棒を往復運動させる昇降装置を有するガラ
ス微粒子堆積装置であって、１本もしくは複数本のガラ
ス微粒子合成用バーナーで火炎を形成し、火炎中にガラ
ス原料ガスを供給して火炎加水分解反応及び酸化反応に
よりガラス微粒子を生成させて、ガラス微粒子を製品と
なるガラスロッドの両端にダミーロッドを溶着して作製
した出発ロッドの外周に堆積させるようにしてなるガラ
ス微粒子製造装置において、排気管回り及びバーナー回
り及び支持棒回りのクリアランス部に囲いを設け、囲い
には排気管を設けたことを特徴とするガラス微粒子堆積
体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001357964A JP2003160342A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001357964A JP2003160342A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003160342A true JP2003160342A (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=19169227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001357964A Pending JP2003160342A (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003160342A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013067561A (ja) * | 2012-12-12 | 2013-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
| WO2023120595A1 (ja) * | 2021-12-22 | 2023-06-29 | 住友電気工業株式会社 | 反応容器およびそれを備えるガラス微粒子堆積体の製造装置 |
-
2001
- 2001-11-22 JP JP2001357964A patent/JP2003160342A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013067561A (ja) * | 2012-12-12 | 2013-04-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| US10308541B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-06-04 | Gerresheimer Glas Gmbh | Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter |
| WO2023120595A1 (ja) * | 2021-12-22 | 2023-06-29 | 住友電気工業株式会社 | 反応容器およびそれを備えるガラス微粒子堆積体の製造装置 |
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