JP2003073131A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＯＶＤ法により、異物の混入なくガラス微粒
子堆積体を製造する方法。 【解決手段】反応容器とガラス微粒子合成用バーナーと
の隙間をなくしＯＶＤ法により製造する。該バーナーを
出発ロッドや堆積体の径方向に移動せずに堆積する場合
にはバーナーを反応容器に気密に固定する。径方向に移
動しながら堆積する場合には反応容器外に出ているバー
ナーとバーナー取付け部周辺を筒又は伸縮自在な蛇腹管
で覆って堆積する。あるいは、反応容器と排気管との隙
間をなくしＯＶＤ法により製造する。反応容器とバーナ
ーを一体形成とする、及び／又は反応容器と排気口を一
体形成とすることにより、ファイバ化した後のスクリー
ニング試験結果の極めて高いガラス微粒子堆積体を製造
できる。
子堆積体を製造する方法。 【解決手段】反応容器とガラス微粒子合成用バーナーと
の隙間をなくしＯＶＤ法により製造する。該バーナーを
出発ロッドや堆積体の径方向に移動せずに堆積する場合
にはバーナーを反応容器に気密に固定する。径方向に移
動しながら堆積する場合には反応容器外に出ているバー
ナーとバーナー取付け部周辺を筒又は伸縮自在な蛇腹管
で覆って堆積する。あるいは、反応容器と排気管との隙
間をなくしＯＶＤ法により製造する。反応容器とバーナ
ーを一体形成とする、及び／又は反応容器と排気口を一
体形成とすることにより、ファイバ化した後のスクリー
ニング試験結果の極めて高いガラス微粒子堆積体を製造
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＯＶＤ法（外付法）
によるガラス微粒子堆積体の製造方法の改良に関し、ガ
ラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減し、伝送特
性の向上した光ファイバを得ることのできるガラス微粒
子堆積体の製造方法に関する。
によるガラス微粒子堆積体の製造方法の改良に関し、ガ
ラス微粒子堆積体中に混入する異物数を低減し、伝送特
性の向上した光ファイバを得ることのできるガラス微粒
子堆積体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材の製法の一つとしてＯＶ
Ｄ法（外付法）がある。これは図１に示すように、反応
容器１内においてガラス微粒子合成用バーナー１１（図
１の例では１１，１２および１３の３本を使用している
が１本でもよい）の酸水素火炎中にガラス原料となるＳ
ｉＣｌ4 やＧｅＣｌ4 等を流し、火炎中での加水分解反
応や酸化反応により生成するＳｉＯ2 やＧｅＯ2 等のガ
ラス微粒子を、自らの中心軸を回転軸として回転し上記
バーナーとは相対的に往復運動（トラバース）する出発
ロッド９に対して径方向に堆積させ、該出発ロッド９外
周にガラス微粒子堆積体１４を形成させる方法である。
形成されたガラス微粒子堆積体１４を高温加熱により透
明ガラス化して光ファイバ用ガラス母材とし、これを線
引きして光ファイバを得る。このガラス微粒子堆積体製
造工程においてガラス微粒子堆積体１４中に異物が混入
すると、透明化したガラス体中に気泡が残存する、この
気泡が線引き（ファイバ化）工程での断線の原因とな
る、金属性異物のなどの場合には伝送特性にも影響す
る、等の問題が発生する。
Ｄ法（外付法）がある。これは図１に示すように、反応
容器１内においてガラス微粒子合成用バーナー１１（図
１の例では１１，１２および１３の３本を使用している
が１本でもよい）の酸水素火炎中にガラス原料となるＳ
ｉＣｌ4 やＧｅＣｌ4 等を流し、火炎中での加水分解反
応や酸化反応により生成するＳｉＯ2 やＧｅＯ2 等のガ
ラス微粒子を、自らの中心軸を回転軸として回転し上記
バーナーとは相対的に往復運動（トラバース）する出発
ロッド９に対して径方向に堆積させ、該出発ロッド９外
周にガラス微粒子堆積体１４を形成させる方法である。
形成されたガラス微粒子堆積体１４を高温加熱により透
明ガラス化して光ファイバ用ガラス母材とし、これを線
引きして光ファイバを得る。このガラス微粒子堆積体製
造工程においてガラス微粒子堆積体１４中に異物が混入
すると、透明化したガラス体中に気泡が残存する、この
気泡が線引き（ファイバ化）工程での断線の原因とな
る、金属性異物のなどの場合には伝送特性にも影響す
る、等の問題が発生する。
【０００３】これに対し、例えば特開平５−１１６９７
９号公報（文献１）、特開平５−１１６９８０号公報
（文献２）、特開平８−２１７４８０号公報（文献
３）、特開２０００−１０９３２９号公報（文献４）等
にガラス微粒子堆積体中の異物を低減させる先行技術が
知られている。文献１では出発ロッドに清浄ガスを吹き
つけながらガラス微粒子を堆積させることにより異物混
入を防止する方法、文献２ではガラス微粒子合成用バー
ナーとは別の酸水素バーナーから出発ロッド全長にわた
り火炎を吹きつけながら堆積させる方法が提案されてい
る。文献３では反応容器の材質をニッケル（Ｎｉ）若し
くはＮｉ基合金に限定し、非稼働時の管理方法として不
活性ガスまたは清浄空気（クリーンエア：ＣＡと略記）
を反応容器内に導入している。この方法によれば、非稼
働時の結露を防止し、反応容器金属から生成する水和物
を低減し、製造中の母材中への金属微粒子の混入を防止
できるが、ＣＡジェネレーター（ＣＡＧ）などの大掛か
り且つ高価な装置が必要となる。文献４ではガラス微粒
子堆積体の成長端前方側に設けた前室において出発ロッ
ド表面に不活性ガスまたは清浄空気を吹きつけてから該
出発ロッドにガラス微粒子を堆積させる方法が提案され
ている。
９号公報（文献１）、特開平５−１１６９８０号公報
（文献２）、特開平８−２１７４８０号公報（文献
３）、特開２０００−１０９３２９号公報（文献４）等
にガラス微粒子堆積体中の異物を低減させる先行技術が
知られている。文献１では出発ロッドに清浄ガスを吹き
つけながらガラス微粒子を堆積させることにより異物混
入を防止する方法、文献２ではガラス微粒子合成用バー
ナーとは別の酸水素バーナーから出発ロッド全長にわた
り火炎を吹きつけながら堆積させる方法が提案されてい
る。文献３では反応容器の材質をニッケル（Ｎｉ）若し
くはＮｉ基合金に限定し、非稼働時の管理方法として不
活性ガスまたは清浄空気（クリーンエア：ＣＡと略記）
を反応容器内に導入している。この方法によれば、非稼
働時の結露を防止し、反応容器金属から生成する水和物
を低減し、製造中の母材中への金属微粒子の混入を防止
できるが、ＣＡジェネレーター（ＣＡＧ）などの大掛か
り且つ高価な装置が必要となる。文献４ではガラス微粒
子堆積体の成長端前方側に設けた前室において出発ロッ
ド表面に不活性ガスまたは清浄空気を吹きつけてから該
出発ロッドにガラス微粒子を堆積させる方法が提案され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記各文献に提案され
る方法はいずれも有効ではあるが、ガラス微粒子堆積体
内への異物混入の問題が完全に解決されているわけでは
ないのが現状である。そこで、本発明はＯＶＤ法による
ガラス微粒子堆積体の製造において、異物混入をさらに
低減してガラス微粒子堆積体を製造できる方法を課題と
するものである。また本発明は、ＯＶＤ法により効率良
くガラス微粒子堆積体を製造できる方法を課題とする。
る方法はいずれも有効ではあるが、ガラス微粒子堆積体
内への異物混入の問題が完全に解決されているわけでは
ないのが現状である。そこで、本発明はＯＶＤ法による
ガラス微粒子堆積体の製造において、異物混入をさらに
低減してガラス微粒子堆積体を製造できる方法を課題と
するものである。また本発明は、ＯＶＤ法により効率良
くガラス微粒子堆積体を製造できる方法を課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は次の[1] ないし
[15]のいずれかの構成を採用することにより、上記課題
を解決するものである。 [1] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナーと該反応容器の
間に隙間がないようにして該バーナーを該ガラス微粒子
堆積体径方向へ移動させることなく堆積することを特徴
とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 [2] 上記[1] に記載の方法において、前記反応容器の
バーナー付け部と前記バーナーの隙間をシール材で気密
にシールすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 [3] 上記[1] に記載の方法において、前記反応容器が
前記バーナーを一体に形成された側壁を有することを特
徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 [4] 上記[1] ないし[3] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記反応容器が排気管と一体に形成された側壁を
有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [5] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナー外径より大きい
内径を有する筒で該バーナーの該反応容器外部に出てい
る部分及び該反応容器のバーナー取付け部周辺を気密に
覆い、該バーナーをガラス微粒子堆積体の外径変化に対
応させて該ガラス微粒子堆積体径方向に移動させながら
堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [6] 上記[5] に記載の方法において、前記筒の軸方向
長さが１０ｍｍ以上であることを特徴とするガラス微粒
子堆積体の製造方法。 [7] 上記[5] 又は[6] に記載の方法において、前記筒
の材質が石英であることを特徴とするガラス微粒子堆積
体の製造方法。 [8] 上記[5] ないし[7] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記筒と前記バーナーの間にＯリングを気密に設
置することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [9] 上記[5] ないし[8] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記反応容器が排気管と一体に形成された側壁を
有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [10] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナー外径より大きい
内径を有する蛇腹管で該バーナーの該反応容器外部に出
ている部分及び該反応容器のバーナー取付け部周辺を気
密に覆い、該バーナーを該ガラス微粒子堆積体の外径変
化に対応させてガラス微粒子堆積体径方向に移動させな
がら堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 [11] 上記[10]に記載の方法において、前記反応容器が
排気管と一体に形成された側壁を有することを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造方法。 [12] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該排気口は該反応容器を貫
通して外部に突出する排気管に連通しており、該反応容
器の該排気管取付け部と該排気管の間に隙間がないよう
にして堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の
製造方法。 [13] 上記[12]に記載の方法において、前記反応容器の
排気管取付け部と前記排気管の隙間をシールで気密にシ
ールすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [14] 上記[2] 又は[13]に記載の方法において、前記シ
ール材がガラステープ、アルミテープ、Ｏリング、アル
ミ板および／又はニッケル板であることを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。 [15] 上記[12]に記載の方法において、前記反応容器が
前記排気管を一体に形成された側壁を有することを特徴
とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
[15]のいずれかの構成を採用することにより、上記課題
を解決するものである。 [1] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナーと該反応容器の
間に隙間がないようにして該バーナーを該ガラス微粒子
堆積体径方向へ移動させることなく堆積することを特徴
とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 [2] 上記[1] に記載の方法において、前記反応容器の
バーナー付け部と前記バーナーの隙間をシール材で気密
にシールすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 [3] 上記[1] に記載の方法において、前記反応容器が
前記バーナーを一体に形成された側壁を有することを特
徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 [4] 上記[1] ないし[3] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記反応容器が排気管と一体に形成された側壁を
有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [5] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナー外径より大きい
内径を有する筒で該バーナーの該反応容器外部に出てい
る部分及び該反応容器のバーナー取付け部周辺を気密に
覆い、該バーナーをガラス微粒子堆積体の外径変化に対
応させて該ガラス微粒子堆積体径方向に移動させながら
堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [6] 上記[5] に記載の方法において、前記筒の軸方向
長さが１０ｍｍ以上であることを特徴とするガラス微粒
子堆積体の製造方法。 [7] 上記[5] 又は[6] に記載の方法において、前記筒
の材質が石英であることを特徴とするガラス微粒子堆積
体の製造方法。 [8] 上記[5] ないし[7] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記筒と前記バーナーの間にＯリングを気密に設
置することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [9] 上記[5] ないし[8] のいずれかに記載の方法にお
いて、前記反応容器が排気管と一体に形成された側壁を
有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [10] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該バーナー外径より大きい
内径を有する蛇腹管で該バーナーの該反応容器外部に出
ている部分及び該反応容器のバーナー取付け部周辺を気
密に覆い、該バーナーを該ガラス微粒子堆積体の外径変
化に対応させてガラス微粒子堆積体径方向に移動させな
がら堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 [11] 上記[10]に記載の方法において、前記反応容器が
排気管と一体に形成された側壁を有することを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造方法。 [12] ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気口を備え
た反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復運動自在
に保持された出発ロッドの外周に該バーナーから噴出す
るガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガラス微粒
子堆積体製造方法において、該排気口は該反応容器を貫
通して外部に突出する排気管に連通しており、該反応容
器の該排気管取付け部と該排気管の間に隙間がないよう
にして堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体の
製造方法。 [13] 上記[12]に記載の方法において、前記反応容器の
排気管取付け部と前記排気管の隙間をシールで気密にシ
ールすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方
法。 [14] 上記[2] 又は[13]に記載の方法において、前記シ
ール材がガラステープ、アルミテープ、Ｏリング、アル
ミ板および／又はニッケル板であることを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。 [15] 上記[12]に記載の方法において、前記反応容器が
前記排気管を一体に形成された側壁を有することを特徴
とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明者らはＯＶＤ法により製造
されるガラス微粒子堆積体中への異物混入を更に低減す
る方法を研究した結果、従来の技術においては、反応容
器とガラス微粒子合成用バーナー（以下、単にバーナー
と略記することもある）の取付け部周辺の構造について
考察されているところがないことに気づき、この反応容
器にバーナーを取付けている部分には通常２〜１０ｍｍ
のクリアランスが設けられているが、このクリアランス
部分からの空気巻き込みを極力遮断することを試みた結
果、異物混入低減に非常に有効であること、さらにガラ
ス微粒子堆積体の堆積速度向上という効果も得られるこ
とを見いだし、本発明に到達した。
されるガラス微粒子堆積体中への異物混入を更に低減す
る方法を研究した結果、従来の技術においては、反応容
器とガラス微粒子合成用バーナー（以下、単にバーナー
と略記することもある）の取付け部周辺の構造について
考察されているところがないことに気づき、この反応容
器にバーナーを取付けている部分には通常２〜１０ｍｍ
のクリアランスが設けられているが、このクリアランス
部分からの空気巻き込みを極力遮断することを試みた結
果、異物混入低減に非常に有効であること、さらにガラ
ス微粒子堆積体の堆積速度向上という効果も得られるこ
とを見いだし、本発明に到達した。
【０００７】以下、図面を参照して本発明を具体的に説
明するが、図１〜図８において共通する符号は同じ部分
であることを意味する。 (1) バーナーと出発ロッド（少なくともコア又はコアと
クラッドからなるガラスロッドを有する）の相対的運動
が略鉛直方向のみである場合、すなわちバーナーを出発
ロッドに対して出発ロッド及びガラス微粒子堆積体の径
方向（水平方向）に移動させることなくガラス微粒子堆
積体を形成する場合には、出発ロッドを鉛直方向に往復
運動させ、反応容器のバーナー取付け部（穴）とバーナ
ー外周の隙間（クリアランス）を何らかの手段でなくし
てバーナーと反応容器の間を気密にし、外気の巻き込み
なくガラス微粒子を堆積させる。
明するが、図１〜図８において共通する符号は同じ部分
であることを意味する。 (1) バーナーと出発ロッド（少なくともコア又はコアと
クラッドからなるガラスロッドを有する）の相対的運動
が略鉛直方向のみである場合、すなわちバーナーを出発
ロッドに対して出発ロッド及びガラス微粒子堆積体の径
方向（水平方向）に移動させることなくガラス微粒子堆
積体を形成する場合には、出発ロッドを鉛直方向に往復
運動させ、反応容器のバーナー取付け部（穴）とバーナ
ー外周の隙間（クリアランス）を何らかの手段でなくし
てバーナーと反応容器の間を気密にし、外気の巻き込み
なくガラス微粒子を堆積させる。
【０００８】図１は本発明の一実施態様を示す概略説明
図である。反応容器１の上下にはその内部が反応容器と
連通している上煙突２及び下煙突３（閉鎖管）が設けて
あり、上煙突２上部は支持棒４を挿入する穴のある上蓋
５が設置され、コア又はコアとクラッドを有してなるガ
ラスロッド６の両端にダミーロッド７，８を接続してな
る出発ロッド９や、これにガラス微粒子堆積体を形成し
てなる母材を反応容器から出し入れできるようにしてあ
る。また上部のダミーロッド７には熱を遮断し上蓋の支
持棒４の取付け穴部分からの異物落下等を遮断する目的
で石英円板１０を取り付けてある。反応容器にはガラス
微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３が、反応容器
１のバーナー取付け部（穴）１５，１６及び１７を介し
て各バーナーの先端が反応容器内でガラス微粒子を噴出
して出発ロッド９外周にガラス微粒子堆積体１４を形成
できるように取付けてある。１８，１９及び２０は各バ
ーナーに供給されるガスのラインを模式的に示してい
る。また、反応容器１には排気口２１が設けられ、堆積
されなかった余剰のガラス微粒子が排気と共に排出され
るようにしてある。２２は排気管、２３は圧力計、２４
は排気手段を示し、矢印は移動方向を示す。
図である。反応容器１の上下にはその内部が反応容器と
連通している上煙突２及び下煙突３（閉鎖管）が設けて
あり、上煙突２上部は支持棒４を挿入する穴のある上蓋
５が設置され、コア又はコアとクラッドを有してなるガ
ラスロッド６の両端にダミーロッド７，８を接続してな
る出発ロッド９や、これにガラス微粒子堆積体を形成し
てなる母材を反応容器から出し入れできるようにしてあ
る。また上部のダミーロッド７には熱を遮断し上蓋の支
持棒４の取付け穴部分からの異物落下等を遮断する目的
で石英円板１０を取り付けてある。反応容器にはガラス
微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３が、反応容器
１のバーナー取付け部（穴）１５，１６及び１７を介し
て各バーナーの先端が反応容器内でガラス微粒子を噴出
して出発ロッド９外周にガラス微粒子堆積体１４を形成
できるように取付けてある。１８，１９及び２０は各バ
ーナーに供給されるガスのラインを模式的に示してい
る。また、反応容器１には排気口２１が設けられ、堆積
されなかった余剰のガラス微粒子が排気と共に排出され
るようにしてある。２２は排気管、２３は圧力計、２４
は排気手段を示し、矢印は移動方向を示す。
【０００９】本発明においては、図２の（Ａ）に示すよ
うに各バーナー１１、１２及び１３の外周とバーナー取
付け部（穴）１５，１６及び１７の隙間（クリアラン
ス）１５′、１６′及び１７′をガラステープ、アルミ
テープ、アルミ板、Ｎｉ板などをシール材２５として用
いてシールすることにより各バーナー１１、１２及び１
３を反応容器１に気密に固定する。ガラステープを用い
たシールは金属発塵がない点で好ましい。また図２の
（Ｂ）に示すように金属板２５ａ及びシール材テープ２
５ｂを用いて固定することも好ましい実施の態様であ
る。なお、反応容器の材質としては例えば石英、Ｎｉ、
Ｎｉ基合金等、バーナーの材質としては例えば石英、Ｎ
ｉ、Ｎｉ基合金等を挙げることができる。
うに各バーナー１１、１２及び１３の外周とバーナー取
付け部（穴）１５，１６及び１７の隙間（クリアラン
ス）１５′、１６′及び１７′をガラステープ、アルミ
テープ、アルミ板、Ｎｉ板などをシール材２５として用
いてシールすることにより各バーナー１１、１２及び１
３を反応容器１に気密に固定する。ガラステープを用い
たシールは金属発塵がない点で好ましい。また図２の
（Ｂ）に示すように金属板２５ａ及びシール材テープ２
５ｂを用いて固定することも好ましい実施の態様であ
る。なお、反応容器の材質としては例えば石英、Ｎｉ、
Ｎｉ基合金等、バーナーの材質としては例えば石英、Ｎ
ｉ、Ｎｉ基合金等を挙げることができる。
【００１０】バーナーを反応容器に気密に固定する手段
として、さらに好ましくはバーナーを反応容器の一部と
一体化した構造にすることが挙げられる。アルミ板、Ｎ
ｉ板等を用いてシールしても、やはり金属からの発塵の
可能性があり、一体成形のものではこれをを防ぐことが
できるためである。図３は本発明に係るバーナー一体型
反応容器２６の一実施態様を説明する概略斜視図であ
り、バーナー１１，１２及び１３を一体に形成されたバ
ーナー一体型側壁２７と、排気口２１（及び排気管２
２）を一体形成された排気口一体型側壁２８が骨格部２
９に気密に取付けられる構成となっている。その他の部
分は図１と同様にしてガラス微粒子堆積体を形成でき
る。
として、さらに好ましくはバーナーを反応容器の一部と
一体化した構造にすることが挙げられる。アルミ板、Ｎ
ｉ板等を用いてシールしても、やはり金属からの発塵の
可能性があり、一体成形のものではこれをを防ぐことが
できるためである。図３は本発明に係るバーナー一体型
反応容器２６の一実施態様を説明する概略斜視図であ
り、バーナー１１，１２及び１３を一体に形成されたバ
ーナー一体型側壁２７と、排気口２１（及び排気管２
２）を一体形成された排気口一体型側壁２８が骨格部２
９に気密に取付けられる構成となっている。その他の部
分は図１と同様にしてガラス微粒子堆積体を形成でき
る。
【００１１】このようなバーナー一体型反応容器の反応
容器及びバーナー材質としては、固定型の場合と同様に
石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が挙げられる。
容器及びバーナー材質としては、固定型の場合と同様に
石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が挙げられる。
【００１２】ところで、ＯＶＤ法の一手段として、ガラ
ス微粒子堆積体の外径が大きくなるのに対応して堆積面
とバーナーの噴出口の距離を調整する目的でバーナーを
ガラス微粒子堆積体の径方向（水平方向）に移動させな
がら堆積してゆく方法がある。このような場合には前記
(1) のように反応容器にバーナーを固定することはでき
ないので、(2) 反応容器のバーナー取付け部周辺とバー
ナーの反応容器から外部に出ている部分を別の管または
伸縮自在の蛇腹管で囲い込む、という手段を採用する。
ス微粒子堆積体の外径が大きくなるのに対応して堆積面
とバーナーの噴出口の距離を調整する目的でバーナーを
ガラス微粒子堆積体の径方向（水平方向）に移動させな
がら堆積してゆく方法がある。このような場合には前記
(1) のように反応容器にバーナーを固定することはでき
ないので、(2) 反応容器のバーナー取付け部周辺とバー
ナーの反応容器から外部に出ている部分を別の管または
伸縮自在の蛇腹管で囲い込む、という手段を採用する。
【００１３】図４は本発明に係る筒で囲うタイプの反応
容器の一実施態様を示す部分説明図であり、（Ａ）は概
略断面図、（Ｂ）は部分側面図である。各バーナー１
１，１２及び１３はスライド装置３０により出発ロッド
やガラス微粒子堆積体の径方向に移動可能となってい
る。各バーナー１１，１２及び１３の外周を筒３１，３
２及び３３で覆い、筒３１，３２及び３３の端部は反応
容器１の外壁に密接する形状に加工されている。このと
き、各筒３１，３２及び３３の長さＬを１０ｍｍ以上と
することで、外気が混入しにくくなることが実験により
確認された。１０ｍｍ未満ではこの効果を得難く、また
長さの上限値は特に限定されるところはないが、設備や
バーナーのサイズ及びコストを考慮すると５００ｍｍ程
度までで十分である。好ましくは２００〜３００ｍｍ程
度である。また、筒の材質を石英とすることで筒からの
発塵（金属系異物の発生）を防ぐことができる。各筒３
１，３２及び３３とバーナー１１，１２及び１３との間
に図示のようにＯリング３４，３５及び３６を設置する
と、さらに外気が混入しにくい。またＯリング３４，３
５及び３６と各バーナー１１，１２及び１３及びＯリン
グ３４，３５及び３６と筒３１，３２及び３３の隙間部
にはゼリー状の隙間埋め剤を塗り付けると気密性が更に
向上し好ましい。なお、反応容器、バーナーの材質とし
ては石英，Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が好ましい。
容器の一実施態様を示す部分説明図であり、（Ａ）は概
略断面図、（Ｂ）は部分側面図である。各バーナー１
１，１２及び１３はスライド装置３０により出発ロッド
やガラス微粒子堆積体の径方向に移動可能となってい
る。各バーナー１１，１２及び１３の外周を筒３１，３
２及び３３で覆い、筒３１，３２及び３３の端部は反応
容器１の外壁に密接する形状に加工されている。このと
き、各筒３１，３２及び３３の長さＬを１０ｍｍ以上と
することで、外気が混入しにくくなることが実験により
確認された。１０ｍｍ未満ではこの効果を得難く、また
長さの上限値は特に限定されるところはないが、設備や
バーナーのサイズ及びコストを考慮すると５００ｍｍ程
度までで十分である。好ましくは２００〜３００ｍｍ程
度である。また、筒の材質を石英とすることで筒からの
発塵（金属系異物の発生）を防ぐことができる。各筒３
１，３２及び３３とバーナー１１，１２及び１３との間
に図示のようにＯリング３４，３５及び３６を設置する
と、さらに外気が混入しにくい。またＯリング３４，３
５及び３６と各バーナー１１，１２及び１３及びＯリン
グ３４，３５及び３６と筒３１，３２及び３３の隙間部
にはゼリー状の隙間埋め剤を塗り付けると気密性が更に
向上し好ましい。なお、反応容器、バーナーの材質とし
ては石英，Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が好ましい。
【００１４】図５は本発明に係る蛇腹管で囲うタイプの
反応容器の一実施態様を示す部分説明図であり、（Ａ）
は概略断面図、（Ｂ）は部分側面図である。各バーナー
１１，１２及び１３はスライド装置３０により出発ロッ
ドやガラス微粒子堆積体の径方向に移動可能となってい
る。各バーナー１１，１２及び１３の外周を蛇腹管３
７，３８及び３９で覆い、蛇腹管３７，３８及び３９の
端部は反応容器１の外壁に密接する形状に加工されてお
り、蛇腹管の場合にはバーナー周りの隙間を完全に密閉
することができる。伸縮自在の蛇腹管としては、例えば
テフロン（登録商標）系樹脂やガラス繊維等の耐熱性に
優れた材質を用いる。なお、反応容器、バーナーの材質
としては石英，Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が好ましい。
反応容器の一実施態様を示す部分説明図であり、（Ａ）
は概略断面図、（Ｂ）は部分側面図である。各バーナー
１１，１２及び１３はスライド装置３０により出発ロッ
ドやガラス微粒子堆積体の径方向に移動可能となってい
る。各バーナー１１，１２及び１３の外周を蛇腹管３
７，３８及び３９で覆い、蛇腹管３７，３８及び３９の
端部は反応容器１の外壁に密接する形状に加工されてお
り、蛇腹管の場合にはバーナー周りの隙間を完全に密閉
することができる。伸縮自在の蛇腹管としては、例えば
テフロン（登録商標）系樹脂やガラス繊維等の耐熱性に
優れた材質を用いる。なお、反応容器、バーナーの材質
としては石英，Ｎｉ、Ｎｉ基合金等が好ましい。
【００１５】ところで、本発明に従い反応容器にバーナ
ーを気密に固定して堆積する場合には、バーナーを移動
させる場合よりガラスの堆積速度が向上することが判明
した。同じサイズのガラス微粒子堆積体をバーナーの移
動の有無以外は同じ条件で作成すると過程すると、固定
して行う場合は移動する場合より約２０％堆積速度が向
上する。この理由としては、以下のように推察した。ガ
ラス堆積初期の堆積ターゲットとなる部分が細いときに
は、バーナーが出発材ガラスロッドから離れていると堆
積面上の火炎温度が下がり、堆積ガラスの嵩密度が下が
るため、早くガラスが太径化する。このターゲット太径
化効果で初期収率が上がる。一方、ガラス微粒子堆積体
がある程度太径化してしまうと、バーナーとガラスロッ
ド間距離が近いほうが堆積面上の火炎温度が上がり、サ
ーモホレシス効果によりガラスの堆積収率が上がる。
ーを気密に固定して堆積する場合には、バーナーを移動
させる場合よりガラスの堆積速度が向上することが判明
した。同じサイズのガラス微粒子堆積体をバーナーの移
動の有無以外は同じ条件で作成すると過程すると、固定
して行う場合は移動する場合より約２０％堆積速度が向
上する。この理由としては、以下のように推察した。ガ
ラス堆積初期の堆積ターゲットとなる部分が細いときに
は、バーナーが出発材ガラスロッドから離れていると堆
積面上の火炎温度が下がり、堆積ガラスの嵩密度が下が
るため、早くガラスが太径化する。このターゲット太径
化効果で初期収率が上がる。一方、ガラス微粒子堆積体
がある程度太径化してしまうと、バーナーとガラスロッ
ド間距離が近いほうが堆積面上の火炎温度が上がり、サ
ーモホレシス効果によりガラスの堆積収率が上がる。
【００１６】さらに本発明者らが検討を進めた結果、Ｏ
ＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を作製する際に、反応
容器内を浮遊するガラス微粒子を吸い取る排気管の周り
の隙間、すなわち該反応容器の排気管取付け部と排気管
の間のクリアランス、を塞ぐことにより、反応容器内へ
の外気の混入を防ぎ、ガラス微粒子堆積体中に混入する
異物数を低減し、且つ外形変動（変形）や割れの少ない
ガラス微粒子堆積体を製造できることにも気づいた。こ
のような排気管周辺からの混入や、排気管取付け部周辺
の具体的構造については、特開平５−１１６９７９、特
開平５−１１６９８０、特開平８−２１７４８０、特開
平２０００−１０９３２９各号公報のいずれにも記載が
ない。
ＶＤ法によりガラス微粒子堆積体を作製する際に、反応
容器内を浮遊するガラス微粒子を吸い取る排気管の周り
の隙間、すなわち該反応容器の排気管取付け部と排気管
の間のクリアランス、を塞ぐことにより、反応容器内へ
の外気の混入を防ぎ、ガラス微粒子堆積体中に混入する
異物数を低減し、且つ外形変動（変形）や割れの少ない
ガラス微粒子堆積体を製造できることにも気づいた。こ
のような排気管周辺からの混入や、排気管取付け部周辺
の具体的構造については、特開平５−１１６９７９、特
開平５−１１６９８０、特開平８−２１７４８０、特開
平２０００−１０９３２９各号公報のいずれにも記載が
ない。
【００１７】本発明において、反応容器の排気管取付け
部周りの隙間を埋める具体的手段は、反応容器バーナー
取付け部とバーナーの間を気密にする手段と同様であ
る。すなわち、図７（Ａ）に示すように、反応容器１の
排気管取付け部４０に設けた穴に排気管２２を挿入する
タイプの場合には、両者の隙間（クリアランス）４０′
をシール材２５、例えばガラステープ、アルミテープ、
Ａｌ板、Ｎｉ板、Ｏリング等で気密にシールする。この
とき、排気管２２と反応容器１とのクリアランス４０′
は外径差で２〜１０ｍｍであることが好ましい。１０ｍ
ｍを超えるクリアランスとなる場合には、シール材２５
の使用量が増えるため、シール材２５からの発塵も無視
できなくなるからである。ガラステープを用いたシール
は金属発塵がない点で好ましい。また、図７（Ｂ）に示
すように金属板等からなるシール材２５ａとシールテー
プ等のシール材２５ｂを用いて、反応容器１と排気管２
２を二重に固定することも好ましい実施の態様である。
排気管の材質としては、例えば石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金
等を挙げることができる。反応容器の材質も同様のもの
が挙げられる。
部周りの隙間を埋める具体的手段は、反応容器バーナー
取付け部とバーナーの間を気密にする手段と同様であ
る。すなわち、図７（Ａ）に示すように、反応容器１の
排気管取付け部４０に設けた穴に排気管２２を挿入する
タイプの場合には、両者の隙間（クリアランス）４０′
をシール材２５、例えばガラステープ、アルミテープ、
Ａｌ板、Ｎｉ板、Ｏリング等で気密にシールする。この
とき、排気管２２と反応容器１とのクリアランス４０′
は外径差で２〜１０ｍｍであることが好ましい。１０ｍ
ｍを超えるクリアランスとなる場合には、シール材２５
の使用量が増えるため、シール材２５からの発塵も無視
できなくなるからである。ガラステープを用いたシール
は金属発塵がない点で好ましい。また、図７（Ｂ）に示
すように金属板等からなるシール材２５ａとシールテー
プ等のシール材２５ｂを用いて、反応容器１と排気管２
２を二重に固定することも好ましい実施の態様である。
排気管の材質としては、例えば石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金
等を挙げることができる。反応容器の材質も同様のもの
が挙げられる。
【００１８】さらに、図８に示したように排気管２２と
反応容器１を一体に形成した排気管一体型側壁４１を、
骨格部２９によりバーナー取付け側壁４２と組み合わせ
た排気管一体型反応容器４３を用いると機密性が向上
し、より好結果を得られる。この理由は、ガラステー
プ、アルミテープ、Ａｌ板、Ｎｉ板等のシール材からの
発塵を防止できるためである。このような排気管一体型
反応容器の材質としては、石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金が発
塵しにくい点で好ましいものとして挙げられる。
反応容器１を一体に形成した排気管一体型側壁４１を、
骨格部２９によりバーナー取付け側壁４２と組み合わせ
た排気管一体型反応容器４３を用いると機密性が向上
し、より好結果を得られる。この理由は、ガラステー
プ、アルミテープ、Ａｌ板、Ｎｉ板等のシール材からの
発塵を防止できるためである。このような排気管一体型
反応容器の材質としては、石英、Ｎｉ、Ｎｉ基合金が発
塵しにくい点で好ましいものとして挙げられる。
【００１９】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれらの実施例に限定されるところはない。
本発明はこれらの実施例に限定されるところはない。
【００２０】（実施例１）図１に示すようなＮｉで構成
された反応容器１（本実施例では内径３１０ｍｍ）１
と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及び下煙突２及
び３（本実施例ではそれぞれ内径３００ｍｍ）を有する
装置を用いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２上
部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍｍ）を挿入す
る穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有する上蓋５を設
置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバーナー
を３本（１１，１２及び１３）設置し、図２（Ｂ）に示
すようにバーナー１１，１２及び１３と反応容器１のバ
ーナー取付け部（穴）とのクリアランス１５′，１６′
及び１７′はＮｉ製の板２５ａ，２６ａ及び２７ａで塞
いでできる限り小さくした後、ガラステープ２５ｂ，２
６ｂ及び２７ｂを使って残された隙間を完全に塞いだ。
コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００
ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７
及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッ
ド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持
棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に
設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／分の
速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動させながらガ
ラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成
するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体
を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０
ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉＣｌ4 ：
４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎を形成す
るためのＨ2 ：８０ＳＬＭ及びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ供給し
た。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガスの種
類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直
径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆
積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得
たが、外径変動も±１ｍｍと良好であり、割れも発生し
なかった。このときのガラス微粒子体堆積速度は１４．
４ｇ／分であった。得られたガラス微粒子堆積体を高温
加熱して透明ガラス化させた後、常法によりファイバ化
を行った。その後のスクリーニング試験の際に断線する
回数は１００ｋｍで１回と非常に良好であった。
された反応容器１（本実施例では内径３１０ｍｍ）１
と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及び下煙突２及
び３（本実施例ではそれぞれ内径３００ｍｍ）を有する
装置を用いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２上
部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍｍ）を挿入す
る穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有する上蓋５を設
置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバーナー
を３本（１１，１２及び１３）設置し、図２（Ｂ）に示
すようにバーナー１１，１２及び１３と反応容器１のバ
ーナー取付け部（穴）とのクリアランス１５′，１６′
及び１７′はＮｉ製の板２５ａ，２６ａ及び２７ａで塞
いでできる限り小さくした後、ガラステープ２５ｂ，２
６ｂ及び２７ｂを使って残された隙間を完全に塞いだ。
コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００
ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７
及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッ
ド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持
棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に
設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／分の
速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動させながらガ
ラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成
するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体
を作製した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０
ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉＣｌ4 ：
４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎を形成す
るためのＨ2 ：８０ＳＬＭ及びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ供給し
た。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガスの種
類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直
径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆
積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得
たが、外径変動も±１ｍｍと良好であり、割れも発生し
なかった。このときのガラス微粒子体堆積速度は１４．
４ｇ／分であった。得られたガラス微粒子堆積体を高温
加熱して透明ガラス化させた後、常法によりファイバ化
を行った。その後のスクリーニング試験の際に断線する
回数は１００ｋｍで１回と非常に良好であった。
【００２１】本実施例で行ったスクリーニング試験は、
通常海底ケーブル用ファイバに対し製品出荷前に実施さ
れるファイバの強度試験であって、ファイバの長手方向
で２％の引き伸び率となるような荷重（１．８〜２．２
ｋｇｆ）をファイバに与えて断線発生部分（低強度箇
所）を事前に切断しておく試験であり、この試験におい
て断線箇所が多くなるほど、検査頻度や接続箇所が多く
なり最終的なファイバコストが何倍にも跳ね上がるた
め、断線が少ないことが重要である。
通常海底ケーブル用ファイバに対し製品出荷前に実施さ
れるファイバの強度試験であって、ファイバの長手方向
で２％の引き伸び率となるような荷重（１．８〜２．２
ｋｇｆ）をファイバに与えて断線発生部分（低強度箇
所）を事前に切断しておく試験であり、この試験におい
て断線箇所が多くなるほど、検査頻度や接続箇所が多く
なり最終的なファイバコストが何倍にも跳ね上がるた
め、断線が少ないことが重要である。
【００２２】実施例１ではバーナーと反応容器とを個別
に組み合わせてガラス微粒子堆積体の作成を行ったが、
図１の反応容器として図３に示したバーナー及び排気口
一体型反応容器を用いてガラス微粒子堆積体の作成を行
っても同様の効果が得られることを確認した。
に組み合わせてガラス微粒子堆積体の作成を行ったが、
図１の反応容器として図３に示したバーナー及び排気口
一体型反応容器を用いてガラス微粒子堆積体の作成を行
っても同様の効果が得られることを確認した。
【００２３】（実施例２）実施例１と同様の図１の構成
において、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように石英製の筒
３１，３２及び３３（本実施例では長さＬ＝３００ｍ
ｍ）をバーナー１１，１２及び１３の周りに取り付け、
バーナー１１，１２及び１３外壁と筒３１，３２及び３
３の内壁の隙間にはＯリング３４，３５及び３６を設置
し、さらにＯリング３４，３５及び３６外周と筒３１，
３２及び３３内壁の隙間にはシリコン系樹脂を塗り付け
気密にした。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍ
ｍ、長さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製の
ダミーロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上
部のダミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取
り付けた。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器
１内部に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２
００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運
動させながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及
び１３から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体を作成した。バーナーに流すガスの種類
と流量は実施例１と同様に行ったが、ガラス微粒子堆積
体の作成中にはガラス微粒子堆積体１４の外径を常時モ
ニターし、モニターした外径変化（増加）に対応してバ
ーナー１１，１２及び１３をスライド装置３０によりガ
ラス微粒子堆積体の径方向に反応容器外側へと移動させ
た。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直径で９
３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆積を続
けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得たが、
外径変動も±１．５ｍｍと良好であり、割れも発生しな
かった。このときのガラス微粒子体堆積速度は１２ｇ／
分であった。得られたガラス微粒子堆積体を高温加熱し
て透明ガラス化させた後、常法によりファイバ化を行っ
た。その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は
１００ｋｍで２回と良好であった。
において、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように石英製の筒
３１，３２及び３３（本実施例では長さＬ＝３００ｍ
ｍ）をバーナー１１，１２及び１３の周りに取り付け、
バーナー１１，１２及び１３外壁と筒３１，３２及び３
３の内壁の隙間にはＯリング３４，３５及び３６を設置
し、さらにＯリング３４，３５及び３６外周と筒３１，
３２及び３３内壁の隙間にはシリコン系樹脂を塗り付け
気密にした。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍ
ｍ、長さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製の
ダミーロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上
部のダミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取
り付けた。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器
１内部に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２
００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運
動させながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及
び１３から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラ
ス微粒子堆積体を作成した。バーナーに流すガスの種類
と流量は実施例１と同様に行ったが、ガラス微粒子堆積
体の作成中にはガラス微粒子堆積体１４の外径を常時モ
ニターし、モニターした外径変化（増加）に対応してバ
ーナー１１，１２及び１３をスライド装置３０によりガ
ラス微粒子堆積体の径方向に反応容器外側へと移動させ
た。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直径で９
３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆積を続
けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得たが、
外径変動も±１．５ｍｍと良好であり、割れも発生しな
かった。このときのガラス微粒子体堆積速度は１２ｇ／
分であった。得られたガラス微粒子堆積体を高温加熱し
て透明ガラス化させた後、常法によりファイバ化を行っ
た。その後、スクリーニング試験の際に断線する回数は
１００ｋｍで２回と良好であった。
【００２４】（実施例３）実施例２においてバーナー１
１，１２及び１３の周りに石英製の筒３１，３２及び３
３を取付けたが、Ｏリングは取り付けずに、その他は実
施例２と同様にしてガラス微粒子堆積体を作成した。最
終的に得られたガラス微粒子堆積体（外径２００ｍｍ）
は外径変動も±２ｍｍと良好であり、スス割れも発生し
なかった。さらにガラス微粒子堆積体を高温加熱して透
明ガラス化させた後、常法によりファイバ化を行った。
その後のスクリーニング試験の際に断線する回数を１０
０ｋｍで４回であった。
１，１２及び１３の周りに石英製の筒３１，３２及び３
３を取付けたが、Ｏリングは取り付けずに、その他は実
施例２と同様にしてガラス微粒子堆積体を作成した。最
終的に得られたガラス微粒子堆積体（外径２００ｍｍ）
は外径変動も±２ｍｍと良好であり、スス割れも発生し
なかった。さらにガラス微粒子堆積体を高温加熱して透
明ガラス化させた後、常法によりファイバ化を行った。
その後のスクリーニング試験の際に断線する回数を１０
０ｋｍで４回であった。
【００２５】（実施例４）実施例１と同様の図１の構成
において、図５に示すように耐熱ゴム製の蛇腹管筒３
７，３８及び３９（本実施例では長さＬ＝３００ｍｍ）
をバーナー１１，１２及び１３の周りに気密に取り付け
た。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５
００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッ
ド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミー
ロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。
支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛
直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／
分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動させなが
らガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から
生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆
積体を作成した。バーナーに流すガスの種類と流量は実
施例１と同様に行ったが、ガラス微粒子堆積体の作成中
にはガラス微粒子堆積体１４の外径を常時モニターし、
モニターした外径変化（増加）に対応してバーナー１
１，１２及び１３をスライド装置３０によりガラス微粒
子堆積体の径方向に反応容器外側へと移動させた。最終
目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直径で９３ｍｍ、
コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆積を続けて、外
径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得たが、外径変動
も±１ｍｍと良好であり、割れも発生しなかった。得ら
れたガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化さ
せた後、常法によりファイバ化を行った。その後のスク
リーニング試験の際に断線する回数は１００ｋｍで１回
と非常に良好であった。
において、図５に示すように耐熱ゴム製の蛇腹管筒３
７，３８及び３９（本実施例では長さＬ＝３００ｍｍ）
をバーナー１１，１２及び１３の周りに気密に取り付け
た。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５
００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッ
ド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミー
ロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。
支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛
直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／
分の速度で上下に１１００ｍｍトラバース運動させなが
らガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から
生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆
積体を作成した。バーナーに流すガスの種類と流量は実
施例１と同様に行ったが、ガラス微粒子堆積体の作成中
にはガラス微粒子堆積体１４の外径を常時モニターし、
モニターした外径変化（増加）に対応してバーナー１
１，１２及び１３をスライド装置３０によりガラス微粒
子堆積体の径方向に反応容器外側へと移動させた。最終
目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直径で９３ｍｍ、
コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆積を続けて、外
径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得たが、外径変動
も±１ｍｍと良好であり、割れも発生しなかった。得ら
れたガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化さ
せた後、常法によりファイバ化を行った。その後のスク
リーニング試験の際に断線する回数は１００ｋｍで１回
と非常に良好であった。
【００２６】（比較例１）実施例１と同様に図１に示す
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置し、
バーナー１１，１２及び１３と反応容器１のバーナー取
付け部（穴）との隙間（クリアランス）は１０ｍｍであ
ったが、バーナー周りには何も設置しなかった。コア及
びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００ｍｍの
ガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７及び８
を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッド７に
は遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持棒４で
把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に設置
し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／分の速度
で上下に１１００ｍｍトラバース運動させながらガラス
微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成する
ガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体を作
成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０ｍ
ｍ）１１，１２及び１３に流したガスの種類と流量は実
施例１と同様にし、最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ
（ガラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）に
するべく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子
堆積体を得た。得られたガラス微粒子堆積体は外径変動
が±５ｍｍと大きく、スス割れも発生し、次工程に付す
ことができない不良品であった。
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置し、
バーナー１１，１２及び１３と反応容器１のバーナー取
付け部（穴）との隙間（クリアランス）は１０ｍｍであ
ったが、バーナー周りには何も設置しなかった。コア及
びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００ｍｍの
ガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７及び８
を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッド７に
は遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持棒４で
把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に設置
し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍｍ／分の速度
で上下に１１００ｍｍトラバース運動させながらガラス
微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成する
ガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体を作
成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０ｍ
ｍ）１１，１２及び１３に流したガスの種類と流量は実
施例１と同様にし、最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ
（ガラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）に
するべく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子
堆積体を得た。得られたガラス微粒子堆積体は外径変動
が±５ｍｍと大きく、スス割れも発生し、次工程に付す
ことができない不良品であった。
【００２７】（実施例５）図１に示すようなＮｉで構成
された反応容器１（本実施例では内径３１０ｍｍ）１
と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及び下煙突２及
び３（本実施例ではそれぞれ内径３００ｍｍ）を有する
装置を用いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２上
部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍｍ）を挿入す
る穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有する上蓋５を設
置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバーナー
を３本（１１，１２及び１３）設置し、図７（Ｂ）に示
すように外径φ５０ｍｍの排気管２２と反応容器１の排
気管取付け部４０の穴（穴径φ５５ｍｍ）とのクリアラ
ンス４０′はＮｉ製の板２５ａでできる限り小さくなる
ように塞ぎ、さらにその上からガラステープ２５ｂで完
全に隙間を塞いだ。コア及びクラッド部を有し、直径３
０ｍｍ、長さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英
製のダミーロッド７及び８を溶着して出発ロッド９と
し、上部のダミーロッド７には遮熱のための石英円板１
０を取り付けた。支持棒４で把持した出発ロッド９を反
応容器１内部に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させな
がら２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバ
ース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー１１，
１２及び１３から生成するガラス微粒子を順次堆積させ
てガラス微粒子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバー
ナー３本（間隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原
料となるＳｉＣｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル
／分）、火炎え形成するためのＨ2 ：８００ＳＬＭ及び
Ｏ2 ：４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ：２Ｓ
ＬＭをそれぞれ供給した。図６にバーナーの噴出ポート
構造と流したガスの種類を示す。最終目標のガラス層厚
み３０ｍｍ（ガラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３
３ｍｍ）にするべく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガ
ラス微粒子堆積体を得たが、その外径変動も±１ｍｍと
良好であり、割れも発生しなかった。このときのガラス
微粒子堆積体の堆積速度は１４．４ｇ／分であった。得
られたガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化
させた後、常法によりファイバ化を行った。その後のス
クリーニング試験の際に断線する回数は１００ｋｍで１
回と非常に良好であった。本実施例では排気管と反応容
器とのクリアランスをＮｉ板とガラステープを用いて塞
いだが、Ａｌ板、Ａｌテープを用いても同様の効果が得
られることえ確認した。
された反応容器１（本実施例では内径３１０ｍｍ）１
と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及び下煙突２及
び３（本実施例ではそれぞれ内径３００ｍｍ）を有する
装置を用いてガラス微粒子の堆積を行った。上煙突２上
部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍｍ）を挿入す
る穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有する上蓋５を設
置した。反応容器１にはガラス微粒子合成用のバーナー
を３本（１１，１２及び１３）設置し、図７（Ｂ）に示
すように外径φ５０ｍｍの排気管２２と反応容器１の排
気管取付け部４０の穴（穴径φ５５ｍｍ）とのクリアラ
ンス４０′はＮｉ製の板２５ａでできる限り小さくなる
ように塞ぎ、さらにその上からガラステープ２５ｂで完
全に隙間を塞いだ。コア及びクラッド部を有し、直径３
０ｍｍ、長さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英
製のダミーロッド７及び８を溶着して出発ロッド９と
し、上部のダミーロッド７には遮熱のための石英円板１
０を取り付けた。支持棒４で把持した出発ロッド９を反
応容器１内部に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させな
がら２００ｍｍ／分の速度で上下に１１００ｍｍトラバ
ース運動させながらガラス微粒子合成用バーナー１１，
１２及び１３から生成するガラス微粒子を順次堆積させ
てガラス微粒子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバー
ナー３本（間隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原
料となるＳｉＣｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル
／分）、火炎え形成するためのＨ2 ：８００ＳＬＭ及び
Ｏ2 ：４０ＳＬＭ、さらにシールガスとしてＡｒ：２Ｓ
ＬＭをそれぞれ供給した。図６にバーナーの噴出ポート
構造と流したガスの種類を示す。最終目標のガラス層厚
み３０ｍｍ（ガラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３
３ｍｍ）にするべく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガ
ラス微粒子堆積体を得たが、その外径変動も±１ｍｍと
良好であり、割れも発生しなかった。このときのガラス
微粒子堆積体の堆積速度は１４．４ｇ／分であった。得
られたガラス微粒子堆積体を高温加熱して透明ガラス化
させた後、常法によりファイバ化を行った。その後のス
クリーニング試験の際に断線する回数は１００ｋｍで１
回と非常に良好であった。本実施例では排気管と反応容
器とのクリアランスをＮｉ板とガラステープを用いて塞
いだが、Ａｌ板、Ａｌテープを用いても同様の効果が得
られることえ確認した。
【００２８】（実施例６）図８に示すような排気管一体
型側壁を有する反応容器を用いて、それ以外は図１に示
す構成の装置を用いてガラス微粒子堆積体を作製した。
上煙突２上部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍ
ｍ）を挿入する穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有す
る上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合成
用のバーナーを３本（１１、１２及び１３）設置した。
コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００
ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７
及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッ
ド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持
棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に
設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ／分の速
度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させながらガ
ラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成
するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体
を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０
ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉＣｌ4 ：
４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎を形成す
るためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ供給し
た。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガスの種
類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直
径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆
積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得
たが、外径変動も±１ｍｍと良好であり、割れも発生し
なかった。このときのガラス微粒子堆積体の堆積速度は
１４．４ｇであった。得られたガラス微粒子堆積体を高
温加熱して透明ガラス化させた後、常法によりファイバ
化を行った。その後のスクリーニング試験の際に断線す
る回数は１００ｋｍで０回と極めて良好であった。
型側壁を有する反応容器を用いて、それ以外は図１に示
す構成の装置を用いてガラス微粒子堆積体を作製した。
上煙突２上部には支持棒４（本実施例では外径５０ｍ
ｍ）を挿入する穴（本実施例では内径５５ｍｍ）を有す
る上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合成
用のバーナーを３本（１１、１２及び１３）設置した。
コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長さ５００
ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミーロッド７
及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダミーロッ
ド７には遮熱のための石英円板１０を取り付けた。支持
棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部に鉛直に
設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ／分の速
度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させながらガ
ラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３から生成
するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒子堆積体
を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間隔１５０
ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉＣｌ4 ：
４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎を形成す
るためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬＭ、さら
にシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ供給し
た。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガスの種
類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガラス直
径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にするべく堆
積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積体を得
たが、外径変動も±１ｍｍと良好であり、割れも発生し
なかった。このときのガラス微粒子堆積体の堆積速度は
１４．４ｇであった。得られたガラス微粒子堆積体を高
温加熱して透明ガラス化させた後、常法によりファイバ
化を行った。その後のスクリーニング試験の際に断線す
る回数は１００ｋｍで０回と極めて良好であった。
【００２９】（比較例２）実施例５と同様に図１に示す
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置した
が、排気管２２（外径φ５０ｍｍ）と反応容器の排気管
取付け部４０（穴径φ７０ｍｍ）との隙間４０′は外径
差で２０ｍｍあったがシールは行わず、そのままにして
おいた。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長
さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミー
ロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダ
ミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付け
た。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部
に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ
／分の速度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させ
ながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３
から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒
子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間
隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉ
Ｃｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎
を形成するためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬ
Ｍ、さらにシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ
供給した。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガ
スの種類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガ
ラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にする
べく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積
体を得たが、外径変動は±５ｍｍと悪く、スス割れが発
生し、次工程に至り得なかった。
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置した
が、排気管２２（外径φ５０ｍｍ）と反応容器の排気管
取付け部４０（穴径φ７０ｍｍ）との隙間４０′は外径
差で２０ｍｍあったがシールは行わず、そのままにして
おいた。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長
さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミー
ロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダ
ミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付け
た。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部
に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ
／分の速度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させ
ながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３
から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒
子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間
隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉ
Ｃｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎
を形成するためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬ
Ｍ、さらにシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ
供給した。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガ
スの種類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガ
ラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にする
べく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積
体を得たが、外径変動は±５ｍｍと悪く、スス割れが発
生し、次工程に至り得なかった。
【００３０】（比較例３）実施例５と同様に図１に示す
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置した
が、排気管２２（外径φ５０ｍｍ）と反応容器の排気管
取付け部４０（穴径φ５５ｍｍ）との隙間４０′は外径
差で５ｍｍであったがシールは行わず、そのままにして
おいた。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長
さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミー
ロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダ
ミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付け
た。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部
に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ
／分の速度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させ
ながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３
から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒
子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間
隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉ
Ｃｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎
を形成するためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬ
Ｍ、さらにシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ
供給した。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガ
スの種類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガ
ラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にする
べく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積
体を得たが、外径変動は±１．５ｍｍとまずまずであ
り、割れも発生しなかった。得られたガラス微粒子堆積
体を高温加熱して透明ガラス化させた後、常法によりフ
ァイバ化を行った。その後のスクリーニング試験の際に
断線する回数は１００ｋｍで１５回と多かった。
ようなＮｉで構成された反応容器１（本比較例では内径
３１０ｍｍ）と、該反応容器１にそれぞれ連通する上及
び下煙突２及び３（本比較例ではそれぞれ内径３００ｍ
ｍ）を有する装置を用いてガラス微粒子の堆積を行っ
た。上煙突２上部には支持棒４（本比較例では外径５０
ｍｍ）を挿入する穴（本比較例では内径５５ｍｍ）を有
する上蓋５を設置した。反応容器１にはガラス微粒子合
成用のバーナーを３本（１１，１２及び１３）設置した
が、排気管２２（外径φ５０ｍｍ）と反応容器の排気管
取付け部４０（穴径φ５５ｍｍ）との隙間４０′は外径
差で５ｍｍであったがシールは行わず、そのままにして
おいた。コア及びクラッド部を有し、直径３０ｍｍ、長
さ５００ｍｍのガラスロッド６の両側に石英製のダミー
ロッド７及び８を溶着して出発ロッド９とし、上部のダ
ミーロッド７には遮熱のための石英円板１０を取り付け
た。支持棒４で把持した出発ロッド９を反応容器１内部
に鉛直に設置し、４０ｒｐｍで回転させながら２００ｍ
／分の速度で上下に１１００ｍｍｍトラバース運動させ
ながらガラス微粒子合成用バーナー１１，１２及び１３
から生成するガラス微粒子を順次堆積させてガラス微粒
子堆積体を作成した。直径３０ｍｍのバーナー３本（間
隔１５０ｍｍ）１１，１２及び１３には原料となるＳｉ
Ｃｌ4 ：４ＳＬＭ（スタンダードリットル／分）、火炎
を形成するためのＨ2 ：８０ｓｌｍ及びＯ2 ：４０ＳＬ
Ｍ、さらにシールガスとしてＡｒ：２ＳＬＭをそれぞれ
供給した。図６にバーナーの噴出ポート構造と流したガ
スの種類を示す。最終目標のガラス層厚み３０ｍｍ（ガ
ラス直径で９３ｍｍ、コアロッド直径３３ｍｍ）にする
べく堆積を続けて、外径２００ｍｍのガラス微粒子堆積
体を得たが、外径変動は±１．５ｍｍとまずまずであ
り、割れも発生しなかった。得られたガラス微粒子堆積
体を高温加熱して透明ガラス化させた後、常法によりフ
ァイバ化を行った。その後のスクリーニング試験の際に
断線する回数は１００ｋｍで１５回と多かった。
【００３１】
【発明の効果】以上説明のとおり、本発明によれば反応
容器のバーナー取付け部( 穴) とバーナーの隙間( クリ
アランス) から外気が混入するのを防ぐことにより、ガ
ラス微粒子堆積体内に混入する異物数を低減し、かつ外
径変動（変形）や割れの少ないガラス微粒子堆積体を製
造することができる。反応容器外部に出ているバーナー
と上記取付け部を筒又は蛇腹管で覆う本発明の方法によ
れば、ガラス微粒子堆積体の外径増加に対応させてバー
ナーをガラス微粒子堆積体径方向に移動しながら堆積す
るＯＶＤ法においてもバーナー周辺からの外気混入をほ
ぼ完全に防止できて上記効果を奏する。また、実施例１
と実施例２の堆積速度のデータから明らかなように、本
発明に従いバーナーを反応容器に気密に固定し、径方向
への移動なく堆積する場合には、ガラス微粒子の堆積速
度が向上する効果もある。さらにまた、本発明の反応容
器の排気管取付け部周辺を気密な構造とする方法によれ
ば、ガラス微粒子堆積体内に混入する粒津数を低減し、
かつ外径変動（変形）や割れ発生の少ないガラス微粒子
堆積体を製造することができる。本発明により排気管及
び／又はバーナー一体型反応容器を用いてガラス図堆積
体を製造する場合には実施例６に示したように、ファイ
バ化後のスクリーニング試験における断線が１００ｋｍ
において０回という非常に良好な結果のガラス微粒子堆
積体を製造することができる。
容器のバーナー取付け部( 穴) とバーナーの隙間( クリ
アランス) から外気が混入するのを防ぐことにより、ガ
ラス微粒子堆積体内に混入する異物数を低減し、かつ外
径変動（変形）や割れの少ないガラス微粒子堆積体を製
造することができる。反応容器外部に出ているバーナー
と上記取付け部を筒又は蛇腹管で覆う本発明の方法によ
れば、ガラス微粒子堆積体の外径増加に対応させてバー
ナーをガラス微粒子堆積体径方向に移動しながら堆積す
るＯＶＤ法においてもバーナー周辺からの外気混入をほ
ぼ完全に防止できて上記効果を奏する。また、実施例１
と実施例２の堆積速度のデータから明らかなように、本
発明に従いバーナーを反応容器に気密に固定し、径方向
への移動なく堆積する場合には、ガラス微粒子の堆積速
度が向上する効果もある。さらにまた、本発明の反応容
器の排気管取付け部周辺を気密な構造とする方法によれ
ば、ガラス微粒子堆積体内に混入する粒津数を低減し、
かつ外径変動（変形）や割れ発生の少ないガラス微粒子
堆積体を製造することができる。本発明により排気管及
び／又はバーナー一体型反応容器を用いてガラス図堆積
体を製造する場合には実施例６に示したように、ファイ
バ化後のスクリーニング試験における断線が１００ｋｍ
において０回という非常に良好な結果のガラス微粒子堆
積体を製造することができる。
【図１】 本発明の実施例において用いたＯＶＤ法によ
るガラス微粒子堆積体製造装置の概略説明図である。
るガラス微粒子堆積体製造装置の概略説明図である。
【図２】 本発明に係るバーナー取付け部とバーナーの
隙間を気密にシールした反応容器の実施態様を説明する
概略部分断面図であり、（Ａ）はシール材で隙間をシー
ルした反応容器、（Ｂ）は金属板で隙間をシールし、さ
らにガラステープでシールした反応容器を示す。
隙間を気密にシールした反応容器の実施態様を説明する
概略部分断面図であり、（Ａ）はシール材で隙間をシー
ルした反応容器、（Ｂ）は金属板で隙間をシールし、さ
らにガラステープでシールした反応容器を示す。
【図３】 本発明に係るバーナー一体型反応容器の一実
施態様を説明する概略斜視図であり、各部分の組立前の
状態を示す。
施態様を説明する概略斜視図であり、各部分の組立前の
状態を示す。
【図４】 本発明に係る可動式バーナーをＯリングを介
して筒で覆った反応容器を説明する概略図であり、
（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略側面図を示す。
して筒で覆った反応容器を説明する概略図であり、
（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略側面図を示す。
【図５】 本発明に係る可動式バーナーを蛇腹管で覆っ
た反応容器の一実施態様を説明する概略図であり、
（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略側面図を示す。
た反応容器の一実施態様を説明する概略図であり、
（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略側面図を示す。
【図６】 本発明の実施例及び比較例で用いたガラス微
粒子合成用のバーナーの噴出口構造と流すガス種を説明
する概略断面図である。
粒子合成用のバーナーの噴出口構造と流すガス種を説明
する概略断面図である。
【図７】 本発明に係る排気管取付け部と排気管の隙間
を気密にシールした反応容器の実施態様を説明する概略
部分断面図であり、（Ａ）はシール材で隙間をシールし
た反応容器、（Ｂ）は金属板で隙間をシールし、さらに
ガラステープでシールした反応容器を示す。
を気密にシールした反応容器の実施態様を説明する概略
部分断面図であり、（Ａ）はシール材で隙間をシールし
た反応容器、（Ｂ）は金属板で隙間をシールし、さらに
ガラステープでシールした反応容器を示す。
【図８】 本発明に係る排気管一体型反応容器の一実施
態様を説明する概略斜視図であり、各部分の組立前の状
態を示す。
態様を説明する概略斜視図であり、各部分の組立前の状
態を示す。
１ 反応容器
２ 上煙突
３ 下煙突
４ 支持棒
５ 上蓋
６ ガラスロッド
７及び８ ダミーロッド
９ 出発ロッド
１０ 石英板
１１，１２及び１３ ガラス微粒子合成用のバーナー
１４ ガラス微粒子堆積体
１５，１６及び１７ バーナー取付け部
１５′，１６′及び１７′隙間（クリアランス）
１８，１９及び２０ ガスライン
２１ 排気口
２２ 排気管
２３ 圧力計
２４ ファン
２５，２５ａ及び２５ｂ シール材
２６ バーナー一体型反応容器
２７ バーナー一体型側壁
２８ 排気口一体型側壁
２９ 骨格部
３０ スライド装置
３１，３２及び３３ 筒
３４，３５及び３６ Ｏリング
３７，３８及び３９ 蛇腹管
４０ 排気管取付け部
４０′隙間（クリアランス）
４１ 排気管一体型側壁
４２ バーナー取付け側壁
４３ 排気管一体型反応容器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ０３Ｂ 37/018 Ｃ０３Ｂ 37/018 Ｃ
Claims (15)
- 【請求項１】 ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気
口を備えた反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復
運動自在に保持された出発ロッドの外周に該バーナーか
ら噴出するガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガ
ラス微粒子堆積体製造方法において、該バーナーと該反
応容器の間に隙間がないようにして該バーナーを該ガラ
ス微粒子堆積体径方向へ移動させることなく堆積するこ
とを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法において、前記反
応容器のバーナー取付け部と前記バーナーの隙間をシー
ル材で気密にシールすることを特徴とするガラス微粒子
堆積体の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載の方法において、前記反
応容器が前記バーナーを一体に形成された側壁を有する
ことを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の方
法において、前記反応容器が排気管と一体に形成された
側壁を有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 - 【請求項５】 ガラス微粒子合成用のバーナー及び排気
口を備えた反応容器内にて該反応容器内に回転及び往復
運動自在に保持された出発ロッドの外周に該バーナーか
ら噴出するガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法によるガ
ラス微粒子堆積体製造方法において、該バーナー外径よ
り大きい内径を有する筒で該バーナーの該反応容器外部
に出ている部分及び該反応容器のバーナー取付け部周辺
を気密に覆い、該バーナーをガラス微粒子堆積体の外径
変化に対応させて該ガラス微粒子堆積体径方向に移動さ
せながら堆積することを特徴とするガラス微粒子堆積体
の製造方法。 - 【請求項６】 請求項５に記載の方法において、前記筒
の軸方向長さが１０ｍｍ以上であることを特徴とするガ
ラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項７】 請求項５又は６に記載の方法において、
前記筒の材質が石英であることを特徴とするガラス微粒
子堆積体の製造方法。 - 【請求項８】 請求項５ないし７のいずれかに記載の方
法において、前記筒と前記バーナーの間にＯリングを気
密に設置することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 - 【請求項９】 請求項５ないし８のいずれかに記載の方
法において、前記反応容器が排気管と一体に形成された
側壁を有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製
造方法。 - 【請求項１０】 ガラス微粒子合成用のバーナー及び排
気口を備えた反応容器内にて該反応容器内に回転及び往
復運動自在に保持された出発ロッドの外周に該バーナー
から噴出するガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法による
ガラス微粒子堆積体製造方法において、該バーナー外径
より大きい内径を有する蛇腹管で該バーナーの該反応容
器外部に出ている部分及び該反応容器のバーナー取付け
部周辺を気密に覆い、該バーナーを該ガラス微粒子堆積
体の外径変化に対応させてガラス微粒子堆積体径方向に
移動させながら堆積することを特徴とするガラス微粒子
堆積体の製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の方法において、前
記反応容器が排気管と一体に形成された側壁を有するこ
とを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項１２】 ガラス微粒子合成用のバーナー及び排
気口を備えた反応容器内にて該反応容器内に回転及び往
復運動自在に保持された出発ロッドの外周に該バーナー
から噴出するガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法による
ガラス微粒子堆積体製造方法において、該排気口は該反
応容器を貫通して外部に突出する排気管に連通してお
り、該反応容器の該排気管取付け部と該排気管の間に隙
間がないようにして堆積することを特徴とするガラス微
粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の方法において、前
記反応容器の排気管取付け部と前記排気管の隙間をシー
ルで気密にシールすることを特徴とするガラス微粒子堆
積体の製造方法。 - 【請求項１４】 請求項２又は１３に記載の方法におい
て、前記シール材がガラステープ、アルミテープ、Ｏリ
ング、アルミ板および／又はニッケル板であることを特
徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - 【請求項１５】 請求項１２に記載の方法において、前
記反応容器が前記排気管を一体に形成された側壁を有す
ることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002018685A JP2003073131A (ja) | 2001-06-19 | 2002-01-28 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-185175 | 2001-06-19 | ||
| JP2001185175 | 2001-06-19 | ||
| JP2002018685A JP2003073131A (ja) | 2001-06-19 | 2002-01-28 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003073131A true JP2003073131A (ja) | 2003-03-12 |
Family
ID=26617212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002018685A Pending JP2003073131A (ja) | 2001-06-19 | 2002-01-28 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003073131A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031034A (ja) * | 2010-08-02 | 2012-02-16 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JP2013006767A (ja) * | 2012-09-18 | 2013-01-10 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
| JP2014201475A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置 |
| JP2018030729A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 信越化学工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置 |
| CN107759070A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 信越化学工业株式会社 | 粉末堆积体的制造装置及制造方法 |
| JP2019182668A (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-24 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法 |
| WO2020116523A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
| JP2020090405A (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | クアーズテック株式会社 | 合成シリカガラス製造装置 |
-
2002
- 2002-01-28 JP JP2002018685A patent/JP2003073131A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012031034A (ja) * | 2010-08-02 | 2012-02-16 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
| US8881554B2 (en) | 2010-08-02 | 2014-11-11 | Fujikura Ltd. | Optical fiber preform manufacturing apparatus and optical fiber preform manufacturing method |
| JP2012062203A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JP2013006767A (ja) * | 2012-09-18 | 2013-01-10 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ母材製造方法 |
| JP2014201475A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置 |
| CN107759070A (zh) * | 2016-08-16 | 2018-03-06 | 信越化学工业株式会社 | 粉末堆积体的制造装置及制造方法 |
| JP2018030729A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 信越化学工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置 |
| JP2019182668A (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-24 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置および製造方法 |
| WO2020116523A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
| JP2020090405A (ja) * | 2018-12-04 | 2020-06-11 | クアーズテック株式会社 | 合成シリカガラス製造装置 |
| JPWO2020116523A1 (ja) * | 2018-12-04 | 2021-10-14 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
| JP7141935B2 (ja) | 2018-12-04 | 2022-09-26 | クアーズテック株式会社 | 合成シリカガラス製造装置 |
| JP7463967B2 (ja) | 2018-12-04 | 2024-04-09 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
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