JP2003154229A - 排ガス再利用循環装置 - Google Patents
排ガス再利用循環装置Info
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- JP2003154229A JP2003154229A JP2001356615A JP2001356615A JP2003154229A JP 2003154229 A JP2003154229 A JP 2003154229A JP 2001356615 A JP2001356615 A JP 2001356615A JP 2001356615 A JP2001356615 A JP 2001356615A JP 2003154229 A JP2003154229 A JP 2003154229A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、簡略で、かつ低コストなシステム
により排ガスを高度処理することの可能な排ガス再利用
循環装置を提供する。 【解決手段】排ガス２１ は、薬液ミスト除去回収装置
主フィルタより構成される薬液ミスト除去回収装置を経
由した後、排ガス再生装置３ に流入する。排ガス再生
装置３ では、主フィルタ１２ と、充填型冷却器１３
と、後フィルタ１８ の３つのユニットにより構成され
る薬液回収装置４ を経由した後、充填材として親水性
の多孔体１９ を用いた湿式ガス除去装置５ に流入し、
その後、加熱コイル７ と、乾式ガス除去装置８ と、Ｈ
ＥＰＡフィルタ９ より構成される高度処理装置６ に流
入し、浄化空気２２ となる。この浄化空気２２ はクリ
ーンルームに供給される。
により排ガスを高度処理することの可能な排ガス再利用
循環装置を提供する。 【解決手段】排ガス２１ は、薬液ミスト除去回収装置
主フィルタより構成される薬液ミスト除去回収装置を経
由した後、排ガス再生装置３ に流入する。排ガス再生
装置３ では、主フィルタ１２ と、充填型冷却器１３
と、後フィルタ１８ の３つのユニットにより構成され
る薬液回収装置４ を経由した後、充填材として親水性
の多孔体１９ を用いた湿式ガス除去装置５ に流入し、
その後、加熱コイル７ と、乾式ガス除去装置８ と、Ｈ
ＥＰＡフィルタ９ より構成される高度処理装置６ に流
入し、浄化空気２２ となる。この浄化空気２２ はクリ
ーンルームに供給される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、簡略で、かつ低コ
ストなシステムにより排ガスを高度処理することの可能
な排ガス再利用循環装置に関する。
ストなシステムにより排ガスを高度処理することの可能
な排ガス再利用循環装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶工場等における空調シス
テム２８ は、図５ に示すように、外気処理空調機２７
より外気浄化空気を供給されたクリーンルーム２６ 内
で製品の生産を行い、生産工程で各種生産装置２５ 等
より発生する排ガス２１ は、別途浄化処理され、大気
へ排出していた。これら排ガス２１ の浄化処理は、該
排ガス２１ 中に含有する薬液ミスト、及び薬液ガスの
一部を薬液ミスト除去装置２９ と、水スクラバー３０
により行われていた。
テム２８ は、図５ に示すように、外気処理空調機２７
より外気浄化空気を供給されたクリーンルーム２６ 内
で製品の生産を行い、生産工程で各種生産装置２５ 等
より発生する排ガス２１ は、別途浄化処理され、大気
へ排出していた。これら排ガス２１ の浄化処理は、該
排ガス２１ 中に含有する薬液ミスト、及び薬液ガスの
一部を薬液ミスト除去装置２９ と、水スクラバー３０
により行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法では、前記水スクラバー３０ が高価であるととも
に、多量の水を循環させる必要があるため、エネルギー
消費量が高いといった問題を有していた。
法では、前記水スクラバー３０ が高価であるととも
に、多量の水を循環させる必要があるため、エネルギー
消費量が高いといった問題を有していた。
【０００４】一方で、クリーンルーム２６ に外気浄化
空気を供給する際にも、外気に対して、外気中の微粒子
やケミカル物質の除去処理、さらには温湿度の調整を行
う必要があるため、ランニングコストが高いと言った問
題を有していた。
空気を供給する際にも、外気に対して、外気中の微粒子
やケミカル物質の除去処理、さらには温湿度の調整を行
う必要があるため、ランニングコストが高いと言った問
題を有していた。
【０００５】上記事情に鑑み、本発明は、簡略で、かつ
低コストなシステムにより排ガスを高度処理することの
可能な排ガス再利用循環装置を提供することを目的とし
ている。
低コストなシステムにより排ガスを高度処理することの
可能な排ガス再利用循環装置を提供することを目的とし
ている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の排ガス再
利用循環装置は、薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排
ガスを高度処理してクリーンルームへ戻す排ガス再利用
循環装置であって、排ガスに含まれる薬液ミストを捕集
する薬液ミスト除去回収装置と、該薬液ミスト除去回収
装置を経由した後、排ガスに残留している薬液ミスト、
及び薬液ガスを除去する排ガス再生装置とよりなり、該
排ガス再生装置が、前記薬液ミスト除去回収装置を経由
した排ガス中に残留する薬液ミスト、及び薬液ガスを捕
集し廃液として回収する薬液回収装置と、該薬液回収装
置を経由した排ガス中に残留する薬液ガスを水に吸収さ
せて排水とし、水処理施設へ送り出す湿式ガス除去装置
と、該湿式ガス除去装置を経由した前記排ガス中に残留
する薬液ガスを除去するとともに、微粒子を除去する高
度処理装置と、によりなることを特徴としている。
利用循環装置は、薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排
ガスを高度処理してクリーンルームへ戻す排ガス再利用
循環装置であって、排ガスに含まれる薬液ミストを捕集
する薬液ミスト除去回収装置と、該薬液ミスト除去回収
装置を経由した後、排ガスに残留している薬液ミスト、
及び薬液ガスを除去する排ガス再生装置とよりなり、該
排ガス再生装置が、前記薬液ミスト除去回収装置を経由
した排ガス中に残留する薬液ミスト、及び薬液ガスを捕
集し廃液として回収する薬液回収装置と、該薬液回収装
置を経由した排ガス中に残留する薬液ガスを水に吸収さ
せて排水とし、水処理施設へ送り出す湿式ガス除去装置
と、該湿式ガス除去装置を経由した前記排ガス中に残留
する薬液ガスを除去するとともに、微粒子を除去する高
度処理装置と、によりなることを特徴としている。
【０００７】請求項２記載の排ガス再利用循環装置は、
前記薬液ミスト除去回収装置が、耐薬品性を有する長繊
維を垂直方向に複数並べて、一体化したフィルターより
なることを特徴としている。
前記薬液ミスト除去回収装置が、耐薬品性を有する長繊
維を垂直方向に複数並べて、一体化したフィルターより
なることを特徴としている。
【０００８】請求項３記載の排ガス再利用循環装置は、
前記排ガス再生装置を構成する薬液回収装置が、耐薬品
性を有する長繊維を垂直方向に複数並べて、一体化した
主フィルターと、該主フィルターの後方に配置され、コ
イル内に乱流を生じさせるための障害物が、コイル面間
に充填される冷却コイルを用いた充填型冷却器と、該充
填型冷却器の後方に配置され、前記主フィルターに比べ
て部材厚の薄い後フィルターと、により構成されること
を特徴としている。
前記排ガス再生装置を構成する薬液回収装置が、耐薬品
性を有する長繊維を垂直方向に複数並べて、一体化した
主フィルターと、該主フィルターの後方に配置され、コ
イル内に乱流を生じさせるための障害物が、コイル面間
に充填される冷却コイルを用いた充填型冷却器と、該充
填型冷却器の後方に配置され、前記主フィルターに比べ
て部材厚の薄い後フィルターと、により構成されること
を特徴としている。
【０００９】請求項４記載の排ガス再利用循環装置は、
前記排ガス再生装置を構成する湿式ガス除去装置が、親
水性の大面積を有する多孔体よりなり、該多孔体には水
が供給されることを特徴としている。
前記排ガス再生装置を構成する湿式ガス除去装置が、親
水性の大面積を有する多孔体よりなり、該多孔体には水
が供給されることを特徴としている。
【００１０】請求項５記載の排ガス再利用循環装置は、
前記排ガス再生装置を構成する高度処理装置が、前記排
ガスを加熱する加熱コイルと、該加熱コイルに加熱され
た前記排ガスに残留する薬液ガスを除去する乾式ガス除
去装置と、前記排ガスに残留する微粒子を除去するＨＥ
ＰＡフィルタと、により構成されることを特徴としてい
る。
前記排ガス再生装置を構成する高度処理装置が、前記排
ガスを加熱する加熱コイルと、該加熱コイルに加熱され
た前記排ガスに残留する薬液ガスを除去する乾式ガス除
去装置と、前記排ガスに残留する微粒子を除去するＨＥ
ＰＡフィルタと、により構成されることを特徴としてい
る。
【００１１】請求項６記載の排ガス再利用循環装置は、
前記排ガス再利用循環装置を経由した前記排ガスが、ク
リーンルームに供給されることを特徴としている。
前記排ガス再利用循環装置を経由した前記排ガスが、ク
リーンルームに供給されることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る排ガス再利用
循環装置について、図１ から図４ を用いて詳述する。
本実施の形態の排ガス再利用循環装置は、製品を製作す
る生産装置より排出される排ガスを浄化処理し、クリー
ンルーム内へ戻すことにより、外気浄化空気の生成に係
る負荷を大幅に低減するものである。
循環装置について、図１ から図４ を用いて詳述する。
本実施の形態の排ガス再利用循環装置は、製品を製作す
る生産装置より排出される排ガスを浄化処理し、クリー
ンルーム内へ戻すことにより、外気浄化空気の生成に係
る負荷を大幅に低減するものである。
【００１３】図１ に、排ガス再利用循環システムの概
略を示す。クリーンルーム２６ の中には、生産工程で
薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排ガスを発生する生
産装置２５ が配置されている。排ガス再利用循環装置
１ は、前記クリーンルーム２６の中で生産装置２５ の
近傍に配置される薬液ミスト除去回収装置２ と、クリ
ーンルーム２６ の外に配置される排ガス再生装置３ と
により構成される。
略を示す。クリーンルーム２６ の中には、生産工程で
薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排ガスを発生する生
産装置２５ が配置されている。排ガス再利用循環装置
１ は、前記クリーンルーム２６の中で生産装置２５ の
近傍に配置される薬液ミスト除去回収装置２ と、クリ
ーンルーム２６ の外に配置される排ガス再生装置３ と
により構成される。
【００１４】図２ に示すように、前記薬液ミスト除去
回収装置２ は、前記生産装置２５毎に配置されるもの
で、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０ より構成
される。該薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０
は、耐薬品性を有する長繊維１１ を鉛直方向に複数本
配置して、これらを一体化させたものである。
回収装置２ は、前記生産装置２５毎に配置されるもの
で、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０ より構成
される。該薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０
は、耐薬品性を有する長繊維１１ を鉛直方向に複数本
配置して、これらを一体化させたものである。
【００１５】一般に、排ガス２１ に含有される薬液ミ
ストは濃度が高いため、薬液ミスト除去回収装置主フィ
ルタ１０ に捕集した薬液ミストが長繊維１１ の周りに
付着した状態では、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ
１０ 内の空隙率が減少し、圧損が上昇しやすい。した
がって、前記長繊維１１ の大半を鉛直方向に配置する
ことによって、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０
は、捕集された薬液ミストが重力の作用で、前記長繊
維１１ に沿って下方に排出されるため、圧損を防ぐこ
とができるものである。このように、薬液ミスト除去回
収装置主フィルタ１０ により捕集された薬液ミスト
は、廃液２３ として回収されることとなる。
ストは濃度が高いため、薬液ミスト除去回収装置主フィ
ルタ１０ に捕集した薬液ミストが長繊維１１ の周りに
付着した状態では、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ
１０ 内の空隙率が減少し、圧損が上昇しやすい。した
がって、前記長繊維１１ の大半を鉛直方向に配置する
ことによって、薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０
は、捕集された薬液ミストが重力の作用で、前記長繊
維１１ に沿って下方に排出されるため、圧損を防ぐこ
とができるものである。このように、薬液ミスト除去回
収装置主フィルタ１０ により捕集された薬液ミスト
は、廃液２３ として回収されることとなる。
【００１６】該薬液ミスト除去回収装置主フィルタ１０
に用いられる前記長繊維１１ は、径が小さいほど薬液
ミストの捕集効率がよいが、捕集効率がよいと圧損が上
昇しやすくなる傾向がある。このため、圧損が上昇する
ことなく適度に捕集効率の良い状態を保持できる目安と
して、径が20〜50μm程度のものを用いている。また、
部材としては、捕集しようとする薬液ミストは腐食性が
強いため、本実施の形態では、耐薬品性を有するステン
レス線を用いている。なお、長繊維１１ はこれにこだ
わるものではなく、薬液ミストの捕集が可能で、かつ圧
損が上昇した際にも耐えうる強度を有しており、かつ耐
薬品性を有する部材であれば、ポリプロピレン繊維、塩
化ビニリデン繊維等、何れの繊維を用いてもよい。
に用いられる前記長繊維１１ は、径が小さいほど薬液
ミストの捕集効率がよいが、捕集効率がよいと圧損が上
昇しやすくなる傾向がある。このため、圧損が上昇する
ことなく適度に捕集効率の良い状態を保持できる目安と
して、径が20〜50μm程度のものを用いている。また、
部材としては、捕集しようとする薬液ミストは腐食性が
強いため、本実施の形態では、耐薬品性を有するステン
レス線を用いている。なお、長繊維１１ はこれにこだ
わるものではなく、薬液ミストの捕集が可能で、かつ圧
損が上昇した際にも耐えうる強度を有しており、かつ耐
薬品性を有する部材であれば、ポリプロピレン繊維、塩
化ビニリデン繊維等、何れの繊維を用いてもよい。
【００１７】前記生産装置２５ より排出された排ガス
２１ は、上述する構成による前記薬液ミスト除去回収
装置２ を経由した後、前記排ガス再生装置３ にて処理
される。該排ガス再生装置３ は、前記生産装置２５ が
配置されるクリーンルーム２６より離れた位置に配置さ
れ、複数の前記生産装置２５ の個々に設けられた前記
薬液ミスト除去回収装置２ で処理された排ガス２１ を
集合させて、一度に処理を行うものである。
２１ は、上述する構成による前記薬液ミスト除去回収
装置２ を経由した後、前記排ガス再生装置３ にて処理
される。該排ガス再生装置３ は、前記生産装置２５ が
配置されるクリーンルーム２６より離れた位置に配置さ
れ、複数の前記生産装置２５ の個々に設けられた前記
薬液ミスト除去回収装置２ で処理された排ガス２１ を
集合させて、一度に処理を行うものである。
【００１８】図３ に示すように、該排ガス再生装置３
に流入する排ガス２１ は、薬液回収装置４ 、湿式ガス
除去装置５ 、及び高度処理装置６ の順に処理される。
前記排ガス２１ がはじめに流入する薬液回収装置４
は、主フィルタ１２ と、充填型冷却器１３ と、後フィ
ルタ１８ とにより構成される。
に流入する排ガス２１ は、薬液回収装置４ 、湿式ガス
除去装置５ 、及び高度処理装置６ の順に処理される。
前記排ガス２１ がはじめに流入する薬液回収装置４
は、主フィルタ１２ と、充填型冷却器１３ と、後フィ
ルタ１８ とにより構成される。
【００１９】該主フィルタ１２ は、前記該薬液ミスト
除去回収装置主フィルタ１０ と同様に、耐薬品性を有
する前記長繊維１１ を鉛直方向に複数本配置して、こ
れらを一体化させたものを用いている。前記薬液ミスト
除去回収装置２ を経由した前記排ガス２１ は、残留し
た薬液ミスト、及び薬液ガスを含有しながら図示しない
ダクト等を介して該排ガス再生装置３ に流入される。
このような輸送過程で、肥大化した前記排ガス２１ 中
の薬液ミストの過半量を該主フィルタ１２ で捕集し、
廃液２３ とする。
除去回収装置主フィルタ１０ と同様に、耐薬品性を有
する前記長繊維１１ を鉛直方向に複数本配置して、こ
れらを一体化させたものを用いている。前記薬液ミスト
除去回収装置２ を経由した前記排ガス２１ は、残留し
た薬液ミスト、及び薬液ガスを含有しながら図示しない
ダクト等を介して該排ガス再生装置３ に流入される。
このような輸送過程で、肥大化した前記排ガス２１ 中
の薬液ミストの過半量を該主フィルタ１２ で捕集し、
廃液２３ とする。
【００２０】図４ （ａ）に示すように、該主フィルタ
１２ を経由した排ガス２１ は、次に前記充填型冷却器
１３ に流入される。該充填型冷却器１３ は、コイル面
間に障害物１７ を充填した冷却コイル１４ より構成さ
れる。該冷却コイル１４ は、一般に用いられるフィン
１５ と、冷却水管１６ とにより構成されるものである
が、図４ （ｂ）に示すように、前記冷却水管１６ の間
でフィン１５ の面上には、障害物１７ としてステンレ
ス線を縦横に配置したＳＵＳメッシュを配置している。
１２ を経由した排ガス２１ は、次に前記充填型冷却器
１３ に流入される。該充填型冷却器１３ は、コイル面
間に障害物１７ を充填した冷却コイル１４ より構成さ
れる。該冷却コイル１４ は、一般に用いられるフィン
１５ と、冷却水管１６ とにより構成されるものである
が、図４ （ｂ）に示すように、前記冷却水管１６ の間
でフィン１５ の面上には、障害物１７ としてステンレ
ス線を縦横に配置したＳＵＳメッシュを配置している。
【００２１】該障害物１７ は、薬液ミストを捕集する
役割の他に伝熱面積を増やすとともに、該冷却コイル１
４ の内部の流れに乱流を形成させて、伝熱効率を向上
させることを目的に設けられるものである。また、該障
害物１７ が前記フィン１５及び冷却水管１６ に接触し
ているため、充填物１７ も冷やされることとなり、さ
らに伝熱効率が向上するものである。
役割の他に伝熱面積を増やすとともに、該冷却コイル１
４ の内部の流れに乱流を形成させて、伝熱効率を向上
させることを目的に設けられるものである。また、該障
害物１７ が前記フィン１５及び冷却水管１６ に接触し
ているため、充填物１７ も冷やされることとなり、さ
らに伝熱効率が向上するものである。
【００２２】なお、前記障害物１７ の材質やその設置
方法は、これにこだわるものではなく、耐薬品性に優れ
る材料よりなり、薬液ミストの捕集機能と、該冷却コイ
ル１４ の内部の流れに乱流を形成させる機能とを有す
るものであれば何れを用いてもよい。該障害物１７ の
設置事例として、図４ （ｃ）に示すように、前記フィ
ン１５ の全面にＳＵＳメッシュを貼り付ける構成や、
図４ （ｄ）に示すように、前記フィン１５ 自身に突起
物を設ける構成等を適用してもよい。
方法は、これにこだわるものではなく、耐薬品性に優れ
る材料よりなり、薬液ミストの捕集機能と、該冷却コイ
ル１４ の内部の流れに乱流を形成させる機能とを有す
るものであれば何れを用いてもよい。該障害物１７ の
設置事例として、図４ （ｃ）に示すように、前記フィ
ン１５ の全面にＳＵＳメッシュを貼り付ける構成や、
図４ （ｄ）に示すように、前記フィン１５ 自身に突起
物を設ける構成等を適用してもよい。
【００２３】このように、前記排ガス２１ が充填型冷
却器１３ に流入すると、冷却されることにより薬液ミ
ストが肥大化するのみでなく薬液ガスをも液化が促進さ
れる。これら肥大化した薬液ミスト、および液化した薬
液ガスが前記充填物１７ に捕集され、廃液２３ とな
る。
却器１３ に流入すると、冷却されることにより薬液ミ
ストが肥大化するのみでなく薬液ガスをも液化が促進さ
れる。これら肥大化した薬液ミスト、および液化した薬
液ガスが前記充填物１７ に捕集され、廃液２３ とな
る。
【００２４】次に、前記排ガス２１ は、前記後フィル
タ１８ を経由する。該後フィルタ１８ は、前記主フィ
ルタ１２ と同様の構成であるが、その部材厚が主フィ
ルタ１２ に比べて薄く構成されている。
タ１８ を経由する。該後フィルタ１８ は、前記主フィ
ルタ１２ と同様の構成であるが、その部材厚が主フィ
ルタ１２ に比べて薄く構成されている。
【００２５】これは、前記充填型冷却器１３ を経由
し、後フィルタ１８ に流入する排ガス２１ には、残留
する薬液ミスト、さらには冷却により一度は液化したが
ガス流速によって、前記障害物１７ より飛散した薬液
ミストが含有している。このような経過を経た薬液ミス
トはすでに肥大化している場合が多い。このため、これ
ら薬液ミストの捕集は容易であることから、後フィルタ
１８ は部材厚の薄いものを用いている。
し、後フィルタ１８ に流入する排ガス２１ には、残留
する薬液ミスト、さらには冷却により一度は液化したが
ガス流速によって、前記障害物１７ より飛散した薬液
ミストが含有している。このような経過を経た薬液ミス
トはすでに肥大化している場合が多い。このため、これ
ら薬液ミストの捕集は容易であることから、後フィルタ
１８ は部材厚の薄いものを用いている。
【００２６】このように、主フィルタ１２ と、充填型
冷却器１３ と、後フィルタ１８ の３種ユニットによる
前記薬液回収装置４ より捕集された薬液ミストは全て
廃液２３ として回収される。
冷却器１３ と、後フィルタ１８ の３種ユニットによる
前記薬液回収装置４ より捕集された薬液ミストは全て
廃液２３ として回収される。
【００２７】図３ に示すように、前記薬液回収装置４
を経由した排ガス２１ は、湿式ガス除去装置５ に流入
する。該湿式ガス除去装置５ は、一般に用いられるも
のであるが、本実施の形態では、充填材として、親水性
の多孔体１９ を用いている。該多孔体１９ は、１ｍ3
あたり５００ｍ2程度の大面積の壁面を有するものであ
る。このような多孔体１９ に水を吸収させて壁面を濡
面として形成し、この濡面に形成される水膜に前記排ガ
ス２１ に含まれる薬液ガスを吸収させて除去するもの
である。これら薬液ガスを含んだ水は、排水２４ とし
て水処理施設２０ にて処理されることとなる。
を経由した排ガス２１ は、湿式ガス除去装置５ に流入
する。該湿式ガス除去装置５ は、一般に用いられるも
のであるが、本実施の形態では、充填材として、親水性
の多孔体１９ を用いている。該多孔体１９ は、１ｍ3
あたり５００ｍ2程度の大面積の壁面を有するものであ
る。このような多孔体１９ に水を吸収させて壁面を濡
面として形成し、この濡面に形成される水膜に前記排ガ
ス２１ に含まれる薬液ガスを吸収させて除去するもの
である。これら薬液ガスを含んだ水は、排水２４ とし
て水処理施設２０ にて処理されることとなる。
【００２８】なお、本実施の形態において、該多孔体１
９ には一般に水膜式加湿装置の充填材として用いられ
るものを流用したが、これにこだわるものではなく、大
面積を有し、水を供給されて濡壁を形成できるものであ
れば、これにこだわるものではない。
９ には一般に水膜式加湿装置の充填材として用いられ
るものを流用したが、これにこだわるものではなく、大
面積を有し、水を供給されて濡壁を形成できるものであ
れば、これにこだわるものではない。
【００２９】該湿式ガス除去装置５ を経由し、薬液ガ
スの残留が見られる排ガス２１ は、高度処理装置６ に
流入する。該高度処理装置６ は、加熱コイル７ と、乾
式ガス除去装置８ と、ＨＥＰＡフィルタ９ より構成さ
れる。
スの残留が見られる排ガス２１ は、高度処理装置６ に
流入する。該高度処理装置６ は、加熱コイル７ と、乾
式ガス除去装置８ と、ＨＥＰＡフィルタ９ より構成さ
れる。
【００３０】前記加熱コイル７ は、前記乾式ガス除去
装置８ による除去効果を向上させるとともに、後に浄
化空気２２ となる前記排ガス２１ をクリーンルーム設
定温度に、または冷風として用いる場合は、クリーンル
ーム設定温度以下まで加熱するものである。ここで、後
に浄化空気２２ となる前記排ガス２１ の温湿度制御に
ついては、加熱コイル７ の後流側に図示しない露点温
度計及び乾球温度計が設置されており、充填型冷却器１
３ の冷水温度または冷水流量が設定された露点温度に
より制御される。
装置８ による除去効果を向上させるとともに、後に浄
化空気２２ となる前記排ガス２１ をクリーンルーム設
定温度に、または冷風として用いる場合は、クリーンル
ーム設定温度以下まで加熱するものである。ここで、後
に浄化空気２２ となる前記排ガス２１ の温湿度制御に
ついては、加熱コイル７ の後流側に図示しない露点温
度計及び乾球温度計が設置されており、充填型冷却器１
３ の冷水温度または冷水流量が設定された露点温度に
より制御される。
【００３１】前記乾式ガス除去装置８ は、前記加熱コ
イル７ により加熱された排ガス２１に残留する薬液ガ
スを除去するものであり、ＨＥＰＡフィルタ９ は、薬
液ミスト、及び薬液ガスが除去された排ガス２１ 中に
残留する微粒子を除去するために用いられる。
イル７ により加熱された排ガス２１に残留する薬液ガ
スを除去するものであり、ＨＥＰＡフィルタ９ は、薬
液ミスト、及び薬液ガスが除去された排ガス２１ 中に
残留する微粒子を除去するために用いられる。
【００３２】このように、薬液ミスト除去回収装置２
、排ガス再生装置３ を経由することにより、前記生産
装置２５ より発生した排ガスは、一般にクリーンルー
ム２６に設けられる外気処理空調機２７ で処理された
外気浄化空気と同等の質を有する浄化空気２２ とな
る。この浄化空気２２ は、図示しないファンやダクト
を介して、クリーンルーム２６ に供給されることとな
る。
、排ガス再生装置３ を経由することにより、前記生産
装置２５ より発生した排ガスは、一般にクリーンルー
ム２６に設けられる外気処理空調機２７ で処理された
外気浄化空気と同等の質を有する浄化空気２２ とな
る。この浄化空気２２ は、図示しないファンやダクト
を介して、クリーンルーム２６ に供給されることとな
る。
【００３３】なお、上述する排ガス再利用循環装置１
により処理された浄化空気２２ をクリーンルーム２６
に供給する際には、前記外気処理空調機２７ より供給
される外気処理空気３１ の量は、前記浄化空気２２ の
１／１０程度でよい。
により処理された浄化空気２２ をクリーンルーム２６
に供給する際には、前記外気処理空調機２７ より供給
される外気処理空気３１ の量は、前記浄化空気２２ の
１／１０程度でよい。
【００３４】上述する構成によれば、薬液ミスト除去回
収装置２ 、排ガス再生装置３ により構成される排ガス
再利用循環装置１ を介して、前記生産装置２１ より排
出される薬液ミスト、及び薬液ガスを含む排ガス２１
を浄化することから、簡略かつコンパクトなシステムで
効果的に薬液ミスト、及び薬液ガスを除去することが可
能となり、浄化コストを大幅に低減することが可能とな
るとともに、浄化するためエネルギー消費量を大幅に低
減することが可能となる。
収装置２ 、排ガス再生装置３ により構成される排ガス
再利用循環装置１ を介して、前記生産装置２１ より排
出される薬液ミスト、及び薬液ガスを含む排ガス２１
を浄化することから、簡略かつコンパクトなシステムで
効果的に薬液ミスト、及び薬液ガスを除去することが可
能となり、浄化コストを大幅に低減することが可能とな
るとともに、浄化するためエネルギー消費量を大幅に低
減することが可能となる。
【００３５】前記薬液ミスト除去回収装置２ が、耐薬
品性の長繊維を垂直に並べて一体化した薬液ミスト除去
回収装置主フィルタを用いることから、簡略な構造で高
い捕集効果を得ることが可能となるとともに、コストを
大幅に低減することが可能となる。
品性の長繊維を垂直に並べて一体化した薬液ミスト除去
回収装置主フィルタを用いることから、簡略な構造で高
い捕集効果を得ることが可能となるとともに、コストを
大幅に低減することが可能となる。
【００３６】前記排ガス再生装置３ を構成する薬液回
収装置４ が主フィルタ１２ と充填型冷却器１３ と後
フィルタ１８ の３種類のユニットより構成されること
から、薬液ミスト、及び薬液ガスの除去効果を高めるこ
とが可能となる。
収装置４ が主フィルタ１２ と充填型冷却器１３ と後
フィルタ１８ の３種類のユニットより構成されること
から、薬液ミスト、及び薬液ガスの除去効果を高めるこ
とが可能となる。
【００３７】また、充填型冷却器１３ には、障害物１
７ を充填した冷却コイル１４ が用いられることから、
冷却コイル１４ 内の伝熱効率を高めることが可能とな
るとともに、伝熱効果が高まることにより薬液ミストの
肥大化や、薬液ガスの液化が促進されることとなり、薬
液ミスト、及び薬液ガスの捕集効率も高めることが可能
となる。
７ を充填した冷却コイル１４ が用いられることから、
冷却コイル１４ 内の伝熱効率を高めることが可能とな
るとともに、伝熱効果が高まることにより薬液ミストの
肥大化や、薬液ガスの液化が促進されることとなり、薬
液ミスト、及び薬液ガスの捕集効率も高めることが可能
となる。
【００３８】前記排ガス再生装置３ を構成する湿式ガ
ス除去装置５ が、親水性の多孔体１９ を充填されてい
ることから、該多孔体１９ の全表面積を濡壁とするこ
とができ、濡壁の表面にできる水膜を利用して効果的に
薬液ガスを捕集することが可能となる。
ス除去装置５ が、親水性の多孔体１９ を充填されてい
ることから、該多孔体１９ の全表面積を濡壁とするこ
とができ、濡壁の表面にできる水膜を利用して効果的に
薬液ガスを捕集することが可能となる。
【００３９】前記排ガス再生装置３ を構成する高度処
理装置６ が、加熱コイル７ 、乾式ガス除去装置８ 、
及びＨＥＰＡフィルタ９ を有することから、温湿度の
調整や微粒子の除去等も行えるため、外気処理空調機２
７ を介さなくても外気浄化空気と同程度の質を有する
浄化空気２２ を得ることが可能となる。
理装置６ が、加熱コイル７ 、乾式ガス除去装置８ 、
及びＨＥＰＡフィルタ９ を有することから、温湿度の
調整や微粒子の除去等も行えるため、外気処理空調機２
７ を介さなくても外気浄化空気と同程度の質を有する
浄化空気２２ を得ることが可能となる。
【００４０】排ガス再利用循環装置１ を介して、前記
生産装置２１ より排出される薬液ミスト、及び薬液ガ
スを含む排ガス２１ を浄化し浄化空気２２ として、ク
リーンルーム２６ に供給することから、容易に清浄な
空気を再生することができ、外気処理空調機２７ の負
荷を低減することが可能となる。
生産装置２１ より排出される薬液ミスト、及び薬液ガ
スを含む排ガス２１ を浄化し浄化空気２２ として、ク
リーンルーム２６ に供給することから、容易に清浄な
空気を再生することができ、外気処理空調機２７ の負
荷を低減することが可能となる。
【００４１】
【発明の効果】請求項１記載の排ガス再利用循環装置に
よれば、薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排ガスを高
度処理してクリーンルームへ戻す排ガス再利用循環装置
であって、排ガスに含まれる薬液ミストを捕集する薬液
ミスト除去回収装置と、該薬液ミスト除去回収装置を経
由した後、排ガスに残留している薬液ミスト、及び薬液
ガスを除去する排ガス再生装置とよりなり、該排ガス再
生装置が、前記薬液ミスト除去回収装置を経由した排ガ
ス中に残留する薬液ミスト、及び薬液ガスを捕集し廃液
として回収する薬液回収装置と、該薬液回収装置を経由
した排ガス中に残留する薬液ガスを水に吸収させて排水
とし、水処理施設へ送り出す湿式ガス除去装置と、該湿
式ガス除去装置を経由した前記排ガス中に残留する薬液
ガスを除去するとともに、微粒子を除去する高度処理装
置と、によりなることから、簡略かつコンパクトなシス
テムで効果的に薬液ミスト、及び薬液ガスを除去するこ
とが可能となり、浄化コストを大幅に低減することが可
能となるとともに、浄化するためエネルギー消費量を大
幅に低減することが可能となる。また、薬液ミスト除去
回収装置、及び排ガス再生装置より回収された廃液は、
濃度の高い薬液であるため、再度生産装置で再利用する
ことが可能となる。
よれば、薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排ガスを高
度処理してクリーンルームへ戻す排ガス再利用循環装置
であって、排ガスに含まれる薬液ミストを捕集する薬液
ミスト除去回収装置と、該薬液ミスト除去回収装置を経
由した後、排ガスに残留している薬液ミスト、及び薬液
ガスを除去する排ガス再生装置とよりなり、該排ガス再
生装置が、前記薬液ミスト除去回収装置を経由した排ガ
ス中に残留する薬液ミスト、及び薬液ガスを捕集し廃液
として回収する薬液回収装置と、該薬液回収装置を経由
した排ガス中に残留する薬液ガスを水に吸収させて排水
とし、水処理施設へ送り出す湿式ガス除去装置と、該湿
式ガス除去装置を経由した前記排ガス中に残留する薬液
ガスを除去するとともに、微粒子を除去する高度処理装
置と、によりなることから、簡略かつコンパクトなシス
テムで効果的に薬液ミスト、及び薬液ガスを除去するこ
とが可能となり、浄化コストを大幅に低減することが可
能となるとともに、浄化するためエネルギー消費量を大
幅に低減することが可能となる。また、薬液ミスト除去
回収装置、及び排ガス再生装置より回収された廃液は、
濃度の高い薬液であるため、再度生産装置で再利用する
ことが可能となる。
【００４２】請求項２記載の排ガス再利用循環装置によ
れば、前記薬液ミスト除去回収装置が、耐薬品性を有す
る長繊維を垂直方向に複数並べて、一体化したフィルタ
ーよりなることから、簡略な構造で高い捕集効果を得る
ことが可能となるとともに、コストを大幅に低減するこ
とが可能となる。
れば、前記薬液ミスト除去回収装置が、耐薬品性を有す
る長繊維を垂直方向に複数並べて、一体化したフィルタ
ーよりなることから、簡略な構造で高い捕集効果を得る
ことが可能となるとともに、コストを大幅に低減するこ
とが可能となる。
【００４３】請求項３記載の排ガス再利用循環装置によ
れば、前記排ガス再生装置を構成する薬液回収装置が、
耐薬品性を有する長繊維を垂直方向に複数並べて、一体
化した主フィルターと、該主フィルターの後方に配置さ
れ、コイル内に乱流を生じさせるための障害物が、コイ
ル面間に充填される冷却コイルを用いた充填型冷却器
と、該充填型冷却器の後方に配置され、前記主フィルタ
ーに比べて部材厚の薄い後フィルターと、により構成さ
れることから、３種類のユニットより構成されることか
ら、薬液ミスト、及び薬液ガスの除去効果を高めること
が可能となる。また、充填型冷却器には、障害物を充填
した冷却コイルが用いられることから、冷却コイル内の
伝熱効率を高めることが可能となるとともに、伝熱効果
が高まることにより薬液ミストの肥大化や、薬液ガスの
液化が促進されることとなり、薬液ミスト、及び薬液ガ
スの捕集効率も高めることが可能となる。
れば、前記排ガス再生装置を構成する薬液回収装置が、
耐薬品性を有する長繊維を垂直方向に複数並べて、一体
化した主フィルターと、該主フィルターの後方に配置さ
れ、コイル内に乱流を生じさせるための障害物が、コイ
ル面間に充填される冷却コイルを用いた充填型冷却器
と、該充填型冷却器の後方に配置され、前記主フィルタ
ーに比べて部材厚の薄い後フィルターと、により構成さ
れることから、３種類のユニットより構成されることか
ら、薬液ミスト、及び薬液ガスの除去効果を高めること
が可能となる。また、充填型冷却器には、障害物を充填
した冷却コイルが用いられることから、冷却コイル内の
伝熱効率を高めることが可能となるとともに、伝熱効果
が高まることにより薬液ミストの肥大化や、薬液ガスの
液化が促進されることとなり、薬液ミスト、及び薬液ガ
スの捕集効率も高めることが可能となる。
【００４４】請求項４記載の排ガス再利用循環装置によ
れば、前記排ガス再生装置を構成する湿式ガス除去装置
が、親水性の大面積を有する多孔体よりなり、該多孔体
には水が供給されることから、多孔体の全表面積を濡壁
とすることができ、濡壁の表面にできる水膜を利用して
効果的に薬液ガスを捕集することが可能となる。
れば、前記排ガス再生装置を構成する湿式ガス除去装置
が、親水性の大面積を有する多孔体よりなり、該多孔体
には水が供給されることから、多孔体の全表面積を濡壁
とすることができ、濡壁の表面にできる水膜を利用して
効果的に薬液ガスを捕集することが可能となる。
【００４５】請求項５記載の排ガス再利用循環装置によ
れば、前記排ガス再生装置を構成する高度処理装置が、
前記排ガスを加熱する加熱コイルと、該加熱コイルに加
熱された前記排ガスに残留する薬液ガスを除去する乾式
ガス除去装置と、前記排ガスに残留する微粒子を除去す
るＨＥＰＡフィルタと、により構成されることから、温
湿度の調整や微粒子の除去等も行えるため、外気処理空
調機を介さなくても外気浄化空気と同程度の質を有する
浄化空気を得ることが可能となる。
れば、前記排ガス再生装置を構成する高度処理装置が、
前記排ガスを加熱する加熱コイルと、該加熱コイルに加
熱された前記排ガスに残留する薬液ガスを除去する乾式
ガス除去装置と、前記排ガスに残留する微粒子を除去す
るＨＥＰＡフィルタと、により構成されることから、温
湿度の調整や微粒子の除去等も行えるため、外気処理空
調機を介さなくても外気浄化空気と同程度の質を有する
浄化空気を得ることが可能となる。
【００４６】請求項６記載の排ガス再利用循環装置によ
れば、前記排ガス再利用循環装置を経由した前記排ガス
が、クリーンルームに供給されることから、容易に清浄
な空気を再生することができ、外気処理空調機の負荷を
低減することが可能となる。
れば、前記排ガス再利用循環装置を経由した前記排ガス
が、クリーンルームに供給されることから、容易に清浄
な空気を再生することができ、外気処理空調機の負荷を
低減することが可能となる。
【図１ 】 本発明に係る排ガス再利用循環システムの
概略を示す図である。
概略を示す図である。
【図２ 】 本発明に係る薬液ミスト除去回収装置の詳
細を示す図である。
細を示す図である。
【図３ 】 本発明に係る排ガス再生装置の詳細を示す
図である。
図である。
【図４ 】 本発明に係る薬液回収装置の詳細を示す図
である。
である。
【図５ 】 従来の空調・排気システムの概略を示す図
である。
である。
１ 排ガス再利用循環装置
２ 薬液ミスト除去回収装置
３ 排ガス再生装置
４ 薬液回収装置
５ 湿式ガス除去装置
６ 高度処理装置
７ 加熱コイル
８ 乾式ガス除去装置
９ ＨＥＰＡフィルタ
１０ 薬液ミスト除去回収装置主フィルタ
１１ 長繊維
１２ 主フィルタ
１３ 充填型冷却器
１４ 冷却コイル
１５ フィン
１６ 冷却水管
１７ 障害物
１８ 後フィルタ
１９ 多孔体
２０ 水処理施設
２１ 排ガス
２２ 浄化空気
２３ 廃液
２４ 排水
２５ 生産装置
２６ クリーンルーム
２７ 外気処理空調機
２８ 空調・排気システム
２９ 薬液ミスト除去装置
３０ 水スクラバー
３１ 外気処理空気
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｂ０１Ｄ 51/00 Ｂ０１Ｄ 51/02
51/02 51/10 Ａ
51/10 Ｂ
Ｆ２４Ｆ 3/16
53/77 Ｂ０１Ｄ 53/34 Ｅ
Ｆ２４Ｆ 3/16
(72)発明者 清水 一雄
東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建設
株式会社内
Ｆターム(参考） 3L053 BD04
4D002 AA40 AC10 BA02 BA03 BA12
BA13 BA14 BA16 CA04 CA07
CA13 DA35 GA03 GB03 GB20
4D019 AA01 AA02 BA13 BB01 BC12
CB04 DA02
Claims (6)
- 【請求項１】 薬液ミスト、及び薬液ガスを含んだ排
ガスを高度処理してクリーンルームへ戻す排ガス再利用
循環装置であって、 排ガスに含まれる薬液ミストを捕集する薬液ミスト除去
回収装置と、 該薬液ミスト除去回収装置を経由した後、排ガスに残留
している薬液ミスト、及び薬液ガスを除去する排ガス再
生装置とよりなり、 該排ガス再生装置が、前記薬液ミスト除去回収装置を経
由した排ガス中に残留する薬液ミスト、及び薬液ガスを
捕集し廃液として回収する薬液回収装置と、 該薬液回収装置を経由した排ガス中に残留する薬液ガス
を水に吸収させて排水とし、水処理施設へ送り出す湿式
ガス除去装置と、 該湿式ガス除去装置を経由した前記排ガス中に残留する
薬液ガスを除去するとともに、微粒子を除去する高度処
理装置と、によりなることを特徴とする排ガス再利用循
環装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の排ガス再利用循環装
置において、 前記薬液ミスト除去回収装置が、耐薬品性を有する長繊
維を垂直方向に複数並べて、一体化したフィルターより
なることを特徴とする排ガス再利用循環装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の排ガス再利用循環装
置において、 前記排ガス再生装置を構成する薬液回収装置が、耐薬品
性を有する長繊維を垂直方向に複数並べて、一体化した
主フィルターと、 該主フィルターの後方に配置され、コイル内に乱流を生
じさせるための障害物が、コイル面間に充填される冷却
コイルを用いた充填型冷却器と、 該充填型冷却器の後方に配置され、前記主フィルターに
比べて部材厚の薄い後フィルターと、により構成される
ことを特徴とする排ガス再利用循環装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の排ガス再利用循環装
置において、 前記排ガス再生装置を構成する湿式ガス除去装置が、親
水性の大面積を有する多孔体よりなり、該多孔体には水
が供給されることを特徴とする排ガス再利用循環装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の排ガス再利用循環装
置において、 前記排ガス再生装置を構成する高度処理装置が、前記排
ガスを加熱する加熱コイルと、 該加熱コイルに加熱された排ガスに残留する薬液ガスを
除去する乾式ガス除去装置と、 前記排ガスに残留する微粒子を除去するＨＥＰＡフィル
タと、により構成されることを特徴とする排ガス再利用
循環装置。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の排
ガス再利用循環装置において、 前記排ガス再利用循環装置を経由した前記排ガスが、ク
リーンルームに供給されることを特徴とする排ガス再利
用循環装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001356615A JP3918525B2 (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 排ガス再利用循環装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001356615A JP3918525B2 (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 排ガス再利用循環装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003154229A true JP2003154229A (ja) | 2003-05-27 |
| JP3918525B2 JP3918525B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=19168107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001356615A Expired - Fee Related JP3918525B2 (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 排ガス再利用循環装置 |
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006035143A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | K2R:Kk | ガス処理装置 |
| CN103949133A (zh) * | 2014-05-20 | 2014-07-30 | 江苏司能润滑科技有限公司 | 用于润滑油生产线的废气处理装置及处理方法 |
| CN104548854A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-04-29 | 苏州巨联科技有限公司 | 一种溶剂回收用的废气湿度调节装置 |
| CN105115042A (zh) * | 2015-09-18 | 2015-12-02 | 广州金田瑞麟净化设备制造有限公司 | 一种具有甲醛处理功能的室内空气监测处理器 |
| CN106975302A (zh) * | 2017-04-08 | 2017-07-25 | 安徽盛运重工机械有限责任公司 | 一种水溶过滤式复合除尘装置 |
| CN107726455A (zh) * | 2017-10-01 | 2018-02-23 | 佛山智北汇科技有限公司 | 一种基于hepa技术的空气净化装置 |
| CN108518772A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-11 | 北京师范大学 | 一种植物空气净化装置及净化方法 |
| CN110115913A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-08-13 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 一种抑制吸收剂挥发的二氧化碳捕集系统及方法 |
| CN110755990A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-02-07 | 福泉市泾评环保炉业有限公司 | 一种节能炉用烟气净化装置 |
| CN112827279A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-25 | 张会兰 | 一种环保型工业废气处理装置 |
-
2001
- 2001-11-21 JP JP2001356615A patent/JP3918525B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| CN106975302A (zh) * | 2017-04-08 | 2017-07-25 | 安徽盛运重工机械有限责任公司 | 一种水溶过滤式复合除尘装置 |
| CN107726455A (zh) * | 2017-10-01 | 2018-02-23 | 佛山智北汇科技有限公司 | 一种基于hepa技术的空气净化装置 |
| CN108518772A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-11 | 北京师范大学 | 一种植物空气净化装置及净化方法 |
| CN108518772B (zh) * | 2018-04-03 | 2020-10-27 | 北京师范大学 | 一种植物空气净化装置及净化方法 |
| CN110115913A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-08-13 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 一种抑制吸收剂挥发的二氧化碳捕集系统及方法 |
| CN110755990A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-02-07 | 福泉市泾评环保炉业有限公司 | 一种节能炉用烟气净化装置 |
| CN112827279A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-25 | 张会兰 | 一种环保型工业废气处理装置 |
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|---|---|
| JP3918525B2 (ja) | 2007-05-23 |
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