JP2003152082A - 半導体集積回路とそのレイアウト方法 - Google Patents

半導体集積回路とそのレイアウト方法

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JP2003152082A JP2002133647A JP2002133647A JP2003152082A JP 2003152082 A JP2003152082 A JP 2003152082A JP 2002133647 A JP2002133647 A JP 2002133647A JP 2002133647 A JP2002133647 A JP 2002133647A JP 2003152082 A JP2003152082 A JP 2003152082A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】多相クロックに対応できると共に回路間のクロ
ックスキューを低減でき、また、消費電力を低減できる
マスタースライス方式の半導体集積回路を提供する。 【解決手段】半導体チップ上の内部コア領域に交互に配
置された順序回路セル2と組合せ回路セル3と、内部コ
ア領域を均等に分割した分割領域毎に多相クロック信号
を選択的に分配する、ツリー状に接続された複数の選択
駆動素子MC101〜MC108,MC201〜MC2
16,MC301〜MC316とを有し、複数の選択駆
動素子は、半導体チップに多相クロック信号が入力され
る入力端子から各分割領域内の順序回路セルまでの間が
互いに等負荷・等配線長となるように配置され接続され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、配線工程を除く工
程まで共通に形成され、配線工程のみを変えることによ
って各種論理回路が構成されるマスタースライス方式の
半導体集積回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、短時間でLSI等の半導体集積回
路を設計する技術としてセミカスタム設計手法がある。
特に、この手法には、論理ゲート、フリップフロップ等
の基本レベルの機能を有するセルを作り込んだマスタス
ライスを予め作成しておき、その後は利用者が個別に与
えられた論理回路に従って配線パターンを決定して所望
の半導体集積回路を実現していくマスタースライス方式
がある。
【0003】図15(a)は従来のマスタースライス方
式の半導体集積回路のチップ構造を示す平面図、図15
(b)は図15(a)の半導体集積回路のトランジスタ
セルを拡大した平面図である。従来のマスタースライス
方式の半導体集積回路101は、図15(b)のような
構造を有する同一デイメンジョンのトランジスタセル1
02をチップ上に行列的に配置したアレイ構造をしてい
る。図15(b)において、103はゲート電極、10
4は拡散層である。
【0004】また、従来のマスタースライス方式の半導
体集積回路において、チップ上の各回路へのクロック信
号の分配は、クロックツリーと呼ばれるクロックバッフ
ァのツリー構造によって分配されている。図16は従来
のマスタースライス方式の半導体集積回路におけるクロ
ック分配方法を示す平面図である。
【0005】クロックバッファのツリー構造は、中央の
第1のクロックバッファ105から複数の第2のクロッ
クバッファ106へクロック信号CLKを分配し、第2
のクロックバッファ106から複数の第3のクロックバ
ッファ107へクロック信号CLKを分配して、さらに
第3のクロックバッファ107から例えばフリップフロ
ップ等の回路108へクロック信号CLKを分配してい
る。順序回路や組合せ回路はチップ上に自由に配置さ
れ、クロック相数も必要に応じて前記ツリー構造で分配
される。
【0006】他のマスタースライス方式の半導体集積回
路としては、特開平6−188397号公報に開示され
たものがある。図17は特開平6−188397号公報
に開示されたマスタースライス方式の半導体集積回路の
チップ構造を示す平面図である。この半導体集積回路2
01は、チップ上に基本セルを行列的に配置した内部コ
ア領域Aを設け、さらに順序回路専用のセル領域Cを設
けることで、内部コア領域Aが複数の基本セル領域Dに
分割された構造を有している。順序回路専用セル領域C
には、高駆動クロックバッファが作り込まれると共に、
各基本セルが最短距離で接続可能な位置に隣接して作り
込まれる。また、順序回路以外の組合せ回路などは基本
セル領域D内の領域Eに配置される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図15、図16に示し
たマスタースライス方式の半導体集積回路では、順序回
路がランダムに配置されるため、各クロックバッファに
接続される順序回路の数やクロックバッファから順序回
路までの配線長が異なり、各クロックバッファの負荷容
量や各順序回路までの配線抵抗が不均一な状態になって
いた。このため、従来の半導体集積回路では、各順序回
路間のクロックスキューが大きいという問題点があっ
た。特に、大きなマクロなどがある場合、クロック配線
がマクロ領域を迂回することになるため、前記不均一な
状態はより顕著となる。また、各セルのトランジスタデ
イメンジョンが同じであるため、順序回路のクロックゲ
ート部のゲート容量がセルベース用のブロックに比べて
大きく、消費電力の増加を招いているという問題点があ
った。
【0008】一方、図17に示したマスタースライス方
式の半導体集積回路では、順序回路をクロックドライバ
近傍の専用領域に固めて配置しているだけであり、順序
回路の数が増えれば、その面積が増大し、結果として最
も近傍の順序回路と最も遠い順序回路間の距離は離れ、
配線抵抗による影響が大きくなるため、各順序回路間の
クロックスキューが大きくなるという問題点があった。
特に、回路全体の順序回路規模が大きくなるほど、クロ
ックスキューは増大する。また、カスタム設計で予め順
序回路個数が分かっている場合であれば、各クロックバ
ッファに均等に順序回路を割り付けることが可能である
が、ゲートアレイのようなセミカスタム設計に図17の
構成を適用しようとした場合、各クロックバッファに均
等に順序回路を割り付けることは難しく、逆にマージン
を見込んで余分に順序回路を割り付けておくと、クロッ
クバッファの負荷容量(配線容量とゲート容量)が増加
して、消費電力が増加するという問題点があった。ま
た、多相クロックに対応しようとすると、順序回路専用
領域の設定が困難になり、更に消費電力の無駄が大きく
なる。
【0009】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、多相クロックに対応することができ、回路
間のクロックスキューを低減することができるマスター
スライス方式の半導体集積回路を提供することを目的と
する。また、本発明は、消費電力を低減することができ
るマスタースライス方式の半導体集積回路を提供するこ
とを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、半導体チップ上の内部コア領域に交互に配置された
順序回路セル(2)と組合せ回路セル(3)と、前記内
部コア領域を均等に分割した分割領域毎に多相クロック
信号を選択的に分配する、ツリー状に接続された複数の
選択駆動素子(MC101〜MC108,MC201〜
MC216,MC301〜MC316)とを有し、前記
複数の選択駆動素子は、前記半導体チップに前記多相ク
ロック信号が入力される入力端子から各分割領域内の前
記順序回路セルまでの間が互いに等負荷・等配線長とな
るように配置され接続されるものである。また、本発明
の半導体集積回路の1構成例において、前記順序回路セ
ルは、前記多相クロック信号が入力されるクロック入力
部の初段に配置される第1の論理ゲート素子(INV
2)と、この第1の論理ゲート素子の直後に配置される
第2の論理ゲート素子(INV3)とを備え、使用する
順序回路セルについては前記第1の論理ゲート素子の出
力端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端子間を配線
接続し、使用しない順序回路セルについては前記第1の
論理ゲート素子の出力端子と前記第2の論理ゲート素子
の入力端子間を未配線として、前記第2の論理ゲート素
子の入力端子を電源又は接地と接続するものである。ま
た、本発明の半導体集積回路の1構成例において、前記
順序回路セルは、前記多相クロック信号が入力されるク
ロック入力部の初段に配置され、前記多相クロック信号
に応じて出力電位が決まる第1の状態と前記多相クロッ
ク信号に関係なく出力電位が一定となる第2の状態とを
イネーブル信号によって選択可能な第1の論理ゲート素
子(NAND1)と、入力端子が前記第1の論理ゲート
素子の出力端子と接続される第2の論理ゲート素子(I
NV3)とを備え、使用する順序回路セルについては前
記第1の論理ゲート素子が前記第1の状態となるよう前
記イネーブル信号を設定し、使用しない順序回路セルに
ついては前記第1の論理ゲート素子が前記第2の状態と
なるよう前記イネーブル信号を設定するものである。ま
た、本発明の半導体集積回路の1構成例において、前記
複数の選択駆動素子の中の1つの選択駆動素子により前
記多相クロック信号が分配される前記分割領域内に配置
された前記順序回路セル、又は前記1つの選択駆動素子
から他の選択駆動素子を介して前記多相クロック信号が
分配される前記分割領域内に配置された前記順序回路セ
ルが使用されない場合に、前記1つの選択駆動素子の出
力を抑止するように構成できる。
【0011】また、本発明の半導体集積回路のレイアウ
ト方法は、半導体チップ上の内部コア領域に順序回路セ
ルと組合せ回路セルとを配置する手順と、前記内部コア
領域を均等に分割した分割領域毎に多相クロック信号を
選択的に分配する複数の選択駆動素子をツリー状に配置
して接続する手順とを有し、前記半導体チップに前記多
相クロック信号が入力される入力端子から各分割領域内
の前記順序回路セルまでの間が互いに等負荷・等配線長
となるように、前記複数の選択駆動素子を配置して接続
するようにしたものである。また、本発明の半導体集積
回路のレイアウト方法の1構成例において、前記順序回
路セルは、前記多相クロック信号が入力されるクロック
入力部の初段に配置される第1の論理ゲート素子と、こ
の第1の論理ゲート素子の直後に配置される第2の論理
ゲート素子との間が未配線のまま形成され、使用する順
序回路セルについては前記第1の論理ゲート素子の出力
端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端子間が配置配
線工程で接続され、使用しない順序回路セルについては
前記第1の論理ゲート素子の出力端子と前記第2の論理
ゲート素子の入力端子間を未配線のままとして、前記第
2の論理ゲート素子の入力端子が電源又は接地と配置配
線工程で配線接続されるようにしたものである。また、
本発明の半導体集積回路のレイアウト方法の1構成例に
おいて、前記順序回路セルは、前記多相クロック信号が
入力されるクロック入力部の初段に配置され、前記多相
クロック信号に応じて出力電位が決まる第1の状態と前
記多相クロック信号に関係なく出力電位が一定となる第
2の状態とをイネーブル信号によって選択可能な第1の
論理ゲート素子と、入力端子が前記第1の論理ゲート素
子の出力端子と接続される第2の論理ゲート素子とを備
え使用する順序回路セルについては前記第1の論理ゲー
ト素子が前記第1の状態となるように前記イネーブル信
号の値が配置配線工程で設定され、使用しない順序回路
セルについては前記第1の論理ゲート素子が前記第2の
状態となるように前記イネーブル信号の値が配置配線工
程で設定されるようにしたものである。また、本発明の
半導体集積回路のレイアウト方法の1構成例において、
前記複数の選択駆動素子の中の1つの選択駆動素子によ
り前記多相クロック信号が分配される前記分割領域内に
配置された前記順序回路セル、又は前記1つの選択駆動
素子から他の選択駆動素子を介して前記多相クロック信
号が分配される前記分割領域内に配置された前記順序回
路セルが使用されない場合に、前記1つの選択駆動素子
の出力を抑止するように構成できる。
【0012】
【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]以下、本発
明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明す
る。図1は本発明の第1の実施の形態に係るマスタース
ライス方式の半導体集積回路のチップ構造を示す平面図
である。本実施の形態のマスタースライス方式の半導体
集積回路1では、出力が現在の入力のみでは定まらず入
力の過去の履歴に依存する順序回路(Sequential Circu
it)セル2と、出力が現在の入力のみに依存して定めら
れる組合せ回路(Combinational Circuit)セル3とが
半導体チップ上の内部コア領域内に交互に配置されてい
る。
【0013】さらに、本実施の形態では、図1に示すよ
うに、内部コア領域は、ほぼ均等な大きさの16個の分
割領域Area1,Area2,Area3,Area
4,Area5,Area6,Area7,Area
8,Area9,Area10,Area11,Are
a12,Area13,Area14,Area15,
Area16に分割されている。
【0014】そして、各分割領域Area1〜Area
16に多相クロック信号CLK_A,CLK_B,CL
K_C,CLK_D,CLK_E,CLK_F,CLK
_G,CLK_Hを選択的に分配可能にすべく、クロッ
ク分配用高駆動マルチプレクサMC101〜MC10
8,MC201〜MC216,MC301〜MC316
を用いた等負荷・等配線長のクロックツリー構造が形成
されている。マルチプレクサMC101〜MC108,
MC201〜MC216,MC301〜MC316は、
複数の入力の中から何れか1つを選択して出力する。
【0015】クロックツリー構造は、各デザインでどの
順序回路セル2が使用されるかどうかに依存せず、あら
かじめ汎用的に形成される。例えば、図1に示すよう
に、チップの中央部にマルチプレクサMC101〜MC
108が配置され、4つの分割領域Area1〜Are
a4の中央部にマルチプレクサMC201〜MC204
が配置され、4つの分割領域Area5〜Area8の
中央部にマルチプレクサMC205〜MC208が配置
され、4つの分割領域Area9〜Area12の中央
部にマルチプレクサMC209〜MC212が配置さ
れ、4つの分割領域Area13〜Area16の中央
部にマルチプレクサMC213〜MC216が配置され
る。さらに、分割領域Area1〜Area16の各々
の中央部付近にマルチプレクサMC301〜MC316
が1つずつ配置される。
【0016】図2〜図5は前記クロックツリー構造の回
路構成を示す回路図である。多相クロック信号CLK_
A〜CLK_Hは、外部からマルチプレクサMC101
〜MC108に共通に分配される。マルチプレクサMC
101〜MC104の各出力はマルチプレクサMC20
1〜MC208に共通に分配され、マルチプレクサMC
105〜MC108の各出力はマルチプレクサMC20
9〜MC216に共通に分配される。
【0017】さらに、マルチプレクサMC201,MC
202の各出力はマルチプレクサMC301,MC30
2に共通に分配され、マルチプレクサMC203,MC
204の各出力はマルチプレクサMC303,MC30
4に共通に分配され、マルチプレクサMC205,MC
206の各出力はマルチプレクサMC305,MC30
6に共通に分配され、マルチプレクサMC207,MC
208の各出力はマルチプレクサMC307,MC30
8に共通に分配され、マルチプレクサMC209,MC
210の各出力はマルチプレクサMC309,MC31
0に共通に分配され、マルチプレクサMC211,MC
212の各出力はマルチプレクサMC311,MC31
2に共通に分配され、マルチプレクサMC213,MC
214の各出力はマルチプレクサMC313,MC31
4に共通に分配され、マルチプレクサMC215,MC
216の各出力はマルチプレクサMC315,MC31
6に共通に分配される。
【0018】マルチプレクサMC301の出力は、分割
領域Area1内の順序回路セル2に分配される。図1
では、フリップフロップ(FF)にマルチプレクサMC
301の出力が分配されている。同様に、マルチプレク
サMC302〜MC316の出力は、それぞれ分割領域
Area2〜Area16内の順序回路セル2に分配さ
れる。
【0019】外部からマルチプレクサMC101〜MC
108に多相クロック信号CLK_A〜CLK_Hを供
給する各配線は、マルチプレクサMC101〜MC10
8までの配線長が互いに等しくなるように配設される。
マルチプレクサMC101〜MC108の出力をマルチ
プレクサMC201〜MC216に供給する各配線は、
マルチプレクサMC201〜MC216までの配線長が
互いに等しくなるように配設される。
【0020】また、マルチプレクサMC201〜MC2
16の出力をマルチプレクサMC301〜MC316に
供給する各配線は、マルチプレクサMC301〜MC3
16までの配線長が互いに等しくなるように配設され
る。さらに、マルチプレクサMC301〜MC316の
出力を順序回路セル2に供給する各配線は、順序回路セ
ル2までの配線長が互いに等しくなるように配設され
る。
【0021】マルチプレクサMC101〜MC108に
は外部から3つの制御信号S0,S1,S2が与えら
れ、マルチプレクサMC201〜MC216には2つの
制御信号S0,S1が与えられ、マルチプレクサMC3
01〜MC316には制御信号S0が与えられる。な
お、制御信号の符号をマルチプレクサ毎に変えると、記
載に要する図面スペースが大幅に増えるため、図2〜図
5では制御信号をS0,S1,S3の3つのみで表して
いるが、制御信号S0,S1,S3はマルチプレクサ毎
に異なるものである。
【0022】次に、本実施の形態の半導体集積回路のク
ロックツリー構造の動作について説明する。本実施の形
態では、マルチプレクサMC101〜MC108,MC
201〜MC216,MC301〜MC316を通じて
各分割領域Area1〜Area16に多相クロック信
号CLK_A〜CLK_Hを選択的に分配することがで
きる。
【0023】図6は、クロック分配用高駆動マルチプレ
クサMC101〜MC108,MC201〜MC21
6,MC301〜MC316の制御信号S0,S1,S
3とチップ上の各分割領域Area1〜Area16に
分配されるクロック信号との関係を示す図である。ただ
し、図6では、マルチプレクサMC101〜MC10
4,MC201〜MC204,MC301〜MC304
の制御信号S0,S1,S3と分割領域Area1〜A
rea4に分配されるクロック信号についてのみ記載し
ている。
【0024】マルチプレクサMC101〜MC108
は、制御信号S0,S1,S3が「000」のときクロ
ック信号CLK_Aを選択して出力する。同様に、マル
チプレクサMC101〜MC108は、制御信号S0,
S1,S3が「001」のときCLK_B、「010」
のときCLK_C、「011」のときCLK_D、「1
00」のときCLK_E、「101」のときCLK_
F、「110」のときCLK_G、「111」のときC
LK_Hを選択して出力する。
【0025】MC201〜MC216は、制御信号S
0,S1が「00」のとき1番目の入力(例えばMC2
01の場合、MC101の出力)を選択して出力する。
同様に、MC201〜MC216は、制御信号S0,S
1が「01」のとき2番目の入力(MC201の場合、
MC102の出力)、「10」のとき3番目の入力(M
C201の場合、MC103の出力)、「11」のとき
4番目の入力(MC201の場合、MC104の出力)
を選択して出力する。
【0026】MC301〜MC316は、制御信号S0
が「0」のとき1番目の入力(例えばMC301の場
合、MC201の出力)を選択して出力し、制御信号S
0が「1」のとき2番目の入力(MC301の場合、M
C202の出力)を選択して出力する。
【0027】したがって、図6のように各マルチプレク
サMC101〜MC104,MC201〜MC204,
MC301〜MC304の制御信号S0,S1,S3の
値を設定すれば、分割領域Area1,Area2にク
ロック信号CLK_A又はCLK_B、分割領域Are
a3,Area4にクロック信号CLK_C又はCLK
_Dを選択的に分配することができる。その他のマルチ
プレクサMC105〜MC108,MC205〜MC2
16,MC305〜MC316についても同様の制御が
可能であり、分割領域Area5〜Area16に多相
クロック信号CLK_A〜CLK_Hを選択的に分配す
ることができる。
【0028】なお、多相クロック信号CLK_A〜CL
K_Hのうちどのクロック信号をどの分割領域に分配す
るかは、半導体集積回路の仕様によって決まる。そし
て、制御信号S0,S1,S3の設定は、チップ上に順
序回路セル2及び組合せ回路セル3を形成した後の配線
工程時にて行われる。すなわち、値を「1」に設定する
制御信号については電源につなぐ配線パターンを形成
し、値を「0」に設定する制御信号については接地につ
なぐ配線パターンを形成すればよい。
【0029】次に、未使用の余剰順序回路セル2の処理
について説明する。図7(a)は順序回路セル2の1構
成例を示す回路図、図7(b)は図7(a)の順序回路
セル2の回路記号を示す図である。図7に示す順序回路
セル2はD型フリップフロップであり、インバータIN
V1〜INV8と、トランスミッションゲートTG1〜
TG4とから構成される。
【0030】本実施の形態では、チップ上に順序回路セ
ル2及び組合せ回路セル3を形成する段階では、各順序
回路セル2のクロック入力部の初段ゲート(インバータ
INV2)の出力端子と、その後段ゲート(インバータ
INV3)の入力端子との間を未配線(図7(a)の破
線部)としておく。
【0031】各順序回路セル2を使用するか否かは半導
体集積回路の仕様により異なる。使用する順序回路セル
2については、配置配線工程で、クロック入力部の初段
ゲートINV2の出力端子と後段ゲートINV3の入力
端子間をつなぐ配線パターンを形成する。一方、使用し
ない順序回路セル2については、クロック入力部の初段
ゲートINV2の出力端子と後段ゲートINV3の入力
端子間を未配線のままとし、後段ゲートINV3の入力
端子CBを電源又は接地につなぐ配線パターンを配置配
線工程時に形成する。
【0032】こうして、使用される順序回路セル2のク
ロック入力部では、図8(a)に示すように、クロック
信号CLK(CLK_A〜CLK_H)に応じて後段ゲ
ートINV3の入力端子CB及び出力端子Cの電位が変
化する。一方、未使用の順序回路セル2のクロック入力
部では、図8(b)に示すように、後段ゲートINV3
の入力端子CB及び出力端子Cの電位が不変となり、ク
ロック信号CLKに応じたスイッチング動作は行われな
い。
【0033】各マルチプレクサMC301〜MC316
から見た負荷は順序回路セル2のクロック入力部の初段
ゲートなので、各マルチプレクサMC301〜MC31
6に順序回路セル2を均等に割りつけておけば、各マル
チプレクサMC301〜MC316と接続されるゲート
数が同一となり、フローテイングゲートを発生させるこ
となく、各マルチプレクサMC301〜MC316の負
荷を等しくすることができる。
【0034】また、本実施の形態では、使用しない余剰
順序回路セル2のクロック入力部の初段ゲートの出力端
子と後段ゲートの入力端子間を未配線とすることによ
り、この余剰順序回路セル2では、図9の斜線を施した
インバータINV3、トランスミッションゲートTG1
〜TG4が非負荷トランジスタとなるので、使用するか
否かに関係なく全ての順序回路セルが負荷となる従来の
半導体集積回路と比べて消費電力を低減することができ
る。
【0035】なお、本実施の形態では、クロック信号の
相数を8、マルチプレクサMC101〜MC108,M
C201〜MC216,MC301〜MC316の入力
信号数をそれぞれ8,4,2、クロックツリー段数を
3、チップの分割領域数を16としているが、これに限
るものではないことは言うまでもない。また、本実施の
形態では、クロックツリーの全てをマルチプレクサで構
成しているが、これに限るものではなく、マルチプレク
サの代わりに一部をクロックバッファにしてもよい。
【0036】また、本実施の形態では、順序回路セル2
と組合せ回路セル3とを1列毎に交互に配置している
が、順序回路セル2と組合せ回路セル3とを1行毎に交
互に配置してもよく、また順序回路セル2と組合せ回路
セル3とを市松模様に配置してもよい。なお、順序回路
セル2と組合せ回路セル3とを交互に配置するのは、順
序回路セル2を分割領域内に均一に配置して、マルチプ
レクサからの配線長を等しくするためである。
【0037】[第2の実施の形態]図10(a)は本発
明の第2の実施の形態となる順序回路セル2の回路図、
図10(b)は図10(a)の順序回路セル2の回路記
号を示す図であり、図7と同様の構成には同一の符号を
付してある。図10に示す順序回路セル2はイネーブル
機能付きのD型フリップフロップであり、インバータI
NV1,INV3〜INV8と、トランスミッションゲ
ートTG1〜TG4と、否定論理積ゲートNAND1と
から構成される。
【0038】本実施の形態では、第1の実施の形態と異
なり、チップ上に順序回路セル2及び組合せ回路セル3
を形成する段階で、各順序回路セル2のクロック入力部
の初段ゲートNAND1の出力端子とその後段ゲートI
NV3の入力端子とを接続しておく。そして、使用する
順序回路セル2については、配置配線工程時に、クロッ
クイネーブル信号CLK_ENが「1」となる配線パタ
ーン(電源に接続される配線パターン)を形成し、使用
しない余剰順序回路セル2については、クロックイネー
ブル信号CLK_ENが「0」となる配線パターン(接
地に接続される配線パターン)を形成する。
【0039】これにより、使用される順序回路セル2の
クロック入力部では、図11(a)に示すように、クロ
ック信号CLK(CLK_A〜CLK_H)に応じて、
後段ゲートINV3の入力端子CB及び出力端子Cの電
位が変化する。一方、未使用の順序回路セル2のクロッ
ク入力部では、図11(b)に示すように、後段ゲート
INV3の入力端子CB及び出力端子Cの電位が不変と
なり、クロック信号CLKに応じたスイッチング動作は
行われない。
【0040】この結果、未使用の余剰順序回路セル2で
は、図12の斜線を施したインバータINV3、トラン
スミッションゲートTG1〜TG4が非負荷トランジス
タとなる。こうして、第1の実施の形態と同様に、低ス
キューで、低消費電力という効果が得られる。
【0041】なお、本実施の形態では、クロック入力部
の初段ゲートに否定論理積ゲートを用いたが、これに限
るものではなく、否定論理和ゲートを用いてもよい。否
定論理和ゲートを用いる場合は、使用する順序回路セル
2についてはクロックイネーブル信号CLK_ENを
「0」とし、使用しない余剰順序回路セル2については
クロックイネーブル信号CLK_ENを「1」とすれば
よい。ただし、第1の実施の形態とクロックの位相を揃
える必要が有る場合には、否定論理和ゲートのクロック
入力の直前又は出力にインバータを1段設ける必要があ
る。
【0042】[第3の実施の形態]上述した第1及び第
2の実施の形態に係る半導体集積回路では、未使用の順
序回路セル2は、その内部において、入力されるクロッ
ク信号が後段ゲート(インバータINV2)に伝達する
のを阻止することにより該順序回路セル2の動作を停止
させる。これに対し、この第3の実施の形態に係る半導
体集積回路では、クロックツリー構造を形成するマルチ
プレクサの出力を抑止することにより、該マルチプレク
サより下流側に接続された全ての順序回路セル2の動作
を停止させる。
【0043】この第3の実施の形態でクロック分配用と
して使用されるマルチプレクサは、図14に示すよう
に、第1及び第2の実施の形態で使用されたマルチプレ
クサにイネーブル端子ENが追加されることにより構成
されている。このイネーブル端子ENは、ストップ条件
により制御される。
【0044】図14(a)は、イネーブル端子ENを備
えた8入力1出力のマルチプレクサを示し、マルチプレ
クサMC101〜108として使用される。このマルチ
プレクサは、イネーブル端子ENにストップ条件として
「1」が与えられた場合に、制御信号S0〜S2に従っ
て8個の入力信号の何れかを選択して出力する。一方、
イネーブル端子ENにストップ条件として「0」が与え
られた場合は、制御信号S0〜S2に拘わらず、常に
「0」を出力する。
【0045】図14(b)は、イネーブル端子ENを備
えた4入力1出力のマルチプレクサを示し、マルチプレ
クサMC201〜MC216として使用される。このマ
ルチプレクサは、イネーブル端子ENにストップ条件と
して「1」が与えられた場合に、制御信号S0及びS1
に従って4個の入力信号の何れかを選択して出力する。
一方、イネーブル端子ENにストップ条件として「0」
が与えられた場合は、制御信号S0及びS1に拘わら
ず、常に「0」を出力する。
【0046】図14(c)は、イネーブル端子ENを備
えた2入力1出力のマルチプレクサを示し、マルチプレ
クサMC301〜MC316として使用される。このマ
ルチプレクサは、イネーブル端子ENにストップ条件と
して「1」が与えられた場合に、制御信号S0に従って
2個の入力信号の何れかを選択して出力する。一方、イ
ネーブル端子ENにストップ条件として「0」が与えら
れた場合は、制御信号S0に拘わらず、常に「0」を出
力する。
【0047】今、図13に示すように、分割領域Are
a1及びArea2、Area6、並びにArea13
〜Area16(斜線で示す部分)に存在する全ての順
序回路セル2が未使用であるとする。
【0048】この場合、2つの分割領域Area1及び
Area2の順序回路セル2を駆動するためのマルチプ
レクサMC201及びMC202の出力が抑止される。
この抑止は、図14(b)に示すように構成されたマル
チプレクサMC201及び202のイネーブル端子EN
に「0」を与えることにより行われる。これにより、分
割領域Area1及びArea2へのクロック信号の分
配が停止され、換言すればクロック信号のスイッチング
が停止され、これら分割領域Area1及びArea2
の中の全ての順序回路セル2の動作が停止される。な
お、マルチプレクサMC301及びMC302の出力を
抑止することによっても上記と同様の動作を行わせるこ
とができる。
【0049】また、1つの分割領域Area6の順序回
路セル2を駆動するためのマルチプレクサMC306の
出力が抑止される。この抑止は、図14(C)に示すよ
うに構成されたマルチプレクサMC306のイネーブル
端子ENに「0」を与えることにより行われる。これに
より、分割領域Area6へのクロック信号の分配が停
止され、換言すればクロック信号のスイッチングが停止
され、この分割領域Area6の中の全ての順序回路セ
ル2の動作が停止される。
【0050】更に、4つの分割領域Area13〜Ar
ea16の順序回路セル2を駆動するマルチプレクサM
C213〜MC216の出力が抑止される。この抑止
は、図14(b)に示すように構成されたマルチプレク
サMC213〜MC216のイネーブル端子ENに
「0」を与えることにより行われる。これにより、分割
領域Area13〜Area16へのクロック信号の分
配が停止され、換言すればクロック信号のスイッチング
が停止され、これら分割領域Area13〜Area1
6の中の全ての順序回路セル2の動作が停止される。な
お、マルチプレクサMC313〜MC316の出力を抑
止することによっても上記と同様の動作を行わせること
ができる。
【0051】なお、図13では示されていないが、8つ
の分割領域Area1〜Area8に存在する全ての順
序回路セル2が未使用であるとすると、8つの分割領域
Area1〜Area8の順序回路セル2を駆動するた
めのマルチプレクサMC101〜MC104の出力が抑
止される。この抑止は、図14(a)に示すように構成
されたマルチプレクサMC101〜MC104のイネー
ブル端子ENに「0」を与えることにより行われる。こ
れにより、分割領域Area1〜Area8へのクロッ
ク信号の分配が停止され、換言すればクロック信号のス
イッチングが停止され、これら分割領域Area1〜A
rea8の中の全ての順序回路セル2の動作が停止され
る。この場合、マルチプレクサMC201〜MC208
又は又は301〜MC308の出力を抑止することによ
っても上記と同様の動作を行わせることができる。
【0052】各マルチプレクサMC101〜MC10
8、MC201〜MC216及びMC301〜MC31
6のイネーブル端子ENをストップ条件として「1」及
び「0」の何れに設定するかは、半導体集積回路の仕様
によって決まる。そして、イネーブル端子ENの設定
は、チップ上に順序回路セル2及び組合せ回路セル3を
形成した後の配線工程時に行われる。
【0053】すなわち、配置工程が完了すると、順序回
路セル2が1つも使用されていない分割領域が存在する
かどうかが調べられる。そして、順序回路セル2が1つ
も使用されていない分割領域が存在することが判断され
ると、その分割領域にクロック信号を分配するマルチプ
レクサのイネーブル端子ENが「0」に設定される。
【0054】例えば、図13に示した例では、分割領域
Area6に順序回路セル2が1つも使用されていない
ことが判断されるのでマルチプレクサMC306のイネ
ーブル端子ENが「0」に設定される。また、分割領域
Area1及びArea2に順序回路セル2が1つも使
用されていないことが判断されるのでマルチプレクサM
C301及びMC302又はマルチプレクサMC201
及びMC202のイネーブル端子ENが「0」に設定さ
れる。更に、分割領域Area13〜Area16に順
序回路セル2が1つも使用されていないことが判断され
るのでマルチプレクサMC313〜MC3162又はマ
ルチプレクサMC213〜MC2216のイネーブル端
子ENが「0」に設定される。そして、上記以外のマル
チプレクサのイネーブル端子ENは「1」に設定され
る。
【0055】上記イネーブル端子ENの設定は、配線パ
ターンをイネーブル端子ENに接続することで行い、イ
ネーブル端子ENを「1」に設定する場合は、電源につ
なぐ配線パターンを接続し、「0」に設定する場合は接
地につなぐ配線パターンを接続することにより行われ
る。
【0056】以上説明したように、この第3の実施の形
態に係る半導体集積回路によれば、未使用の順序回路セ
ル2だけから成る分割領域へのクロック信号の分配は停
止されるので未使用の順序回路セル2の動作が停止さ
れ、上述した第1の実施の形態の場合と同様に、従来に
比べて半導体集積回路全体としての消費電力を低減させ
ることができる。
【0057】
【発明の効果】本発明によれば、半導体チップ上の内部
コア領域に順序回路セルと組合せ回路セルとを交互に配
置し、内部コア領域を均等に分割した分割領域毎に多相
クロック信号を選択的に分配する、ツリー状に接続され
た複数の選択駆動素子とを設け、複数の選択駆動素子
を、半導体チップに多相クロック信号が入力される入力
端子から各分割領域内の順序回路セルまでの間が互いに
等負荷・等配線長となるように配置接続することによ
り、多相クロック信号に対応した等負荷・等配線長のク
ロックツリー構造を実現することができ、各順序回路間
のクロックスキューを低減することができる。
【0058】また、順序回路セルに、クロック入力部の
初段に配置される第1の論理ゲート素子と、第2の論理
ゲート素子とを設け、使用する順序回路セルについては
第1の論理ゲート素子の出力端子と第2の論理ゲート素
子の入力端子間を配線接続し、使用しない順序回路セル
については第1の論理ゲート素子の出力端子と第2の論
理ゲート素子の入力端子間を未配線として、第2の論理
ゲート素子の入力端子を電源又は接地と接続するように
したことにより、未使用の順序回路セルで消費される電
力を低減することができるので、等負荷構造を保ちつ
つ、消費電力の損失を最小限に抑えることができる。
【0059】また、順序回路セルに、クロック入力部の
初段に配置され、多相クロック信号に応じて出力電位が
決まる第1の状態と多相クロック信号に関係なく出力電
位が一定となる第2の状態とをイネーブル信号によって
選択可能な第1の論理ゲート素子と、入力端子が第1の
論理ゲート素子の出力端子と接続される第2の論理ゲー
ト素子とを備え、使用する順序回路セルについては第1
の論理ゲート素子が第1の状態となるようイネーブル信
号を設定し、使用しない順序回路セルについては第1の
論理ゲート素子が第2の状態となるようイネーブル信号
を設定することにより、未使用の順序回路セルで消費さ
れる電力を低減することができるので、等負荷構造を保
ちつつ、消費電力の損失を最小限に抑えることができ
る。
【0060】更に、複数の選択駆動素子の中の1つの選
択駆動素子から下流側の分割領域内に配置された順序回
路セルが1つも使用されない場合に、1つの選択駆動素
子の出力を抑止するように構成したので、未使用の順序
回路セルで消費される電力を低減することができ、等負
荷構造を保ちつつ、消費電力の損失を最小限に抑えるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態となるマスタース
ライス方式の半導体集積回路のチップ構造を示す平面図
である。
【図2】 本発明の第1の実施の形態におけるクロック
ツリー構造の回路構成を示す回路図である。
【図3】 本発明の第1の実施の形態におけるクロック
ツリー構造の回路構成を示す回路図である。
【図4】 本発明の第1の実施の形態におけるクロック
ツリー構造の回路構成を示す回路図である。
【図5】 本発明の第1の実施の形態におけるクロック
ツリー構造の回路構成を示す回路図である。
【図6】 クロック分配用高駆動マルチプレクサの制御
信号とチップ上の各領域に分配されるクロック信号との
関係を示す図である。
【図7】 本発明の第1の実施の形態において順序回路
セルの1構成例を示す回路図及び順序回路セルの回路記
号を示す図である。
【図8】 本発明の第1の実施の形態において順序回路
セルのクロック入力部の動作を示す図である。
【図9】 本発明の第1の実施の形態において余剰順序
回路セルの非負荷トランジスタを示す図である。
【図10】 本発明の第2の実施の形態となる順序回路
セルの回路図及び順序回路セルの回路記号を示す図であ
る。
【図11】 本発明の第2の実施の形態において順序回
路セルのクロック入力部の動作を示す図である。
【図12】 本発明の第2の実施の形態において余剰順
序回路セルの非負荷トランジスタを示す図である。
【図13】 本発明の第3の実施の形態において余剰順
序回路セルの動作を停止させる状態を説明するための図
である。
【図14】 本発明の第3の実施の形態において余剰順
序回路セルの動作を停止させるためのセレクタの構成を
示す図である。
【図15】 従来のマスタースライス方式の半導体集積
回路のチップ構造を示す平面図及び半導体集積回路のト
ランジスタセルを拡大した平面図である。
【図16】 従来のマスタースライス方式の半導体集積
回路におけるクロック分配方法を示す平面図である。
【図17】 従来の他のマスタースライス方式の半導体
集積回路のチップ構造を示す平面図である。
【符号の説明】
1…半導体集積回路 2…順序回路セル 3…組合せ回路セル Area1〜Area16…領域 CLK_A〜CLK_H…多相クロック信号 MC101〜MC108、MC201〜MC216、M
C301〜MC316…クロック分配用高駆動マルチプ
レクサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 27/04 D F (72)発明者 前田 直孝 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 Fターム(参考) 5F038 CA03 CA05 CA07 CA17 CD06 CD09 DF08 EZ09 EZ20 5F064 AA03 BB02 BB05 BB07 BB19 DD02 DD03 DD05 DD22 DD24 DD26 EE02 EE03 EE06 EE08 EE18 EE47 EE54 HH12

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マスタースライス方式の半導体集積回路
    において、 半導体チップ上の内部コア領域に交互に配置された順序
    回路セルと組合せ回路セルと、 前記内部コア領域を均等に分割した分割領域毎に多相ク
    ロック信号を選択的に分配する、ツリー状に接続された
    複数の選択駆動素子とを有し、 前記複数の選択駆動素子は、前記半導体チップに前記多
    相クロック信号が入力される入力端子から各分割領域内
    の前記順序回路セルまでの間が互いに等負荷・等配線長
    となるように配置され接続されることを特徴とする半導
    体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記順序回路セルは、 前記多相クロック信号が入力されるクロック入力部の初
    段に配置される第1の論理ゲート素子と、 この第1の論理ゲート素子の直後に配置される第2の論
    理ゲート素子とを備え、 使用する順序回路セルについては前記第1の論理ゲート
    素子の出力端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端子
    間を配線接続し、 使用しない順序回路セルについては前記第1の論理ゲー
    ト素子の出力端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端
    子間を未配線として、前記第2の論理ゲート素子の入力
    端子を電源又は接地と接続することを特徴とする半導体
    集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記順序回路セルは、 前記多相クロック信号が入力されるクロック入力部の初
    段に配置され、前記多相クロック信号に応じて出力電位
    が決まる第1の状態と前記多相クロック信号に関係なく
    出力電位が一定となる第2の状態とをイネーブル信号に
    よって選択可能な第1の論理ゲート素子と、 入力端子が前記第1の論理ゲート素子の出力端子と接続
    される第2の論理ゲート素子とを備え、 使用する順序回路セルについては前記第1の論理ゲート
    素子が前記第1の状態となるよう前記イネーブル信号を
    設定し、 使用しない順序回路セルについては前記第1の論理ゲー
    ト素子が前記第2の状態となるよう前記イネーブル信号
    を設定することを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記複数の選択駆動素子の中の1つの選択駆動素子によ
    り前記多相クロック信号が分配される前記分割領域内に
    配置された前記順序回路セル、又は前記1つの選択駆動
    素子から他の選択駆動素子を介して前記多相クロック信
    号が分配される前記分割領域内に配置された前記順序回
    路セルが使用されない場合に、前記1つの選択駆動素子
    の出力を抑止することを特徴とする半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 マスタースライス方式の半導体集積回路
    のレイアウト方法において、 半導体チップ上の内部コア領域に順序回路セルと組合せ
    回路セルとを配置する手順と、 前記内部コア領域を均等に分割した分割領域毎に多相ク
    ロック信号を選択的に分配する複数の選択駆動素子をツ
    リー状に配置して接続する手順とを有し、 前記半導体チップに前記多相クロック信号が入力される
    入力端子から各分割領域内の前記順序回路セルまでの間
    が互いに等負荷・等配線長となるように、前記複数の選
    択駆動素子を配置して接続することを特徴とする半導体
    集積回路のレイアウト方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の半導体集積回路のレイア
    ウト方法において、 前記順序回路セルは、前記多相クロック信号が入力され
    るクロック入力部の初段に配置される第1の論理ゲート
    素子と、この第1の論理ゲート素子の直後に配置される
    第2の論理ゲート素子との間が未配線のまま形成され、 使用する順序回路セルについては前記第1の論理ゲート
    素子の出力端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端子
    間が配置配線工程で接続され、 使用しない順序回路セルについては前記第1の論理ゲー
    ト素子の出力端子と前記第2の論理ゲート素子の入力端
    子間を未配線のままとして、前記第2の論理ゲート素子
    の入力端子が電源又は接地と配置配線工程で配線接続さ
    れることを特徴とする半導体集積回路のレイアウト方
    法。
  7. 【請求項7】 請求項5記載の半導体集積回路のレイア
    ウト方法において、 前記順序回路セルは、前記多相クロック信号が入力され
    るクロック入力部の初段に配置され、前記多相クロック
    信号に応じて出力電位が決まる第1の状態と前記多相ク
    ロック信号に関係なく出力電位が一定となる第2の状態
    とをイネーブル信号によって選択可能な第1の論理ゲー
    ト素子と、入力端子が前記第1の論理ゲート素子の出力
    端子と接続される第2の論理ゲート素子とを備え 使用する順序回路セルについては前記第1の論理ゲート
    素子が前記第1の状態となるように前記イネーブル信号
    の値が配置配線工程で設定され、 使用しない順序回路セルについては前記第1の論理ゲー
    ト素子が前記第2の状態となるように前記イネーブル信
    号の値が配置配線工程で設定されることを特徴とする半
    導体集積回路のレイアウト方法。
  8. 【請求項8】 請求項5記載の半導体集積回路のレイア
    ウト方法において、 前記複数の選択駆動素子の中の1つの選択駆動素子によ
    り前記多相クロック信号が分配される前記分割領域内に
    配置された前記順序回路セル、又は前記1つの選択駆動
    素子から他の選択駆動素子を介して前記多相クロック信
    号が分配される前記分割領域内に配置された前記順序回
    路セルが使用されない場合に、前記1つの選択駆動素子
    の出力を抑止することを特徴とする半導体集積回路のレ
    イアウト方法。
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