JP2003148912A - 光学式寸法測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非テレセントリック系レンズを用いて高精度
に寸法を測定する。 【解決手段】 初期位置として設定した任意の被測定体
表面に焦点合わせをした時の、対物レンズと初期位置間
の距離ｂと、初期位置における１画素当たりの寸法値で
ある画素サイズｒ０を求め、表面位置が初期位置と異な
る被測定体に対して、初期位置における画素サイズｒ０
と、対物レンズと初期位置間の距離ｂと、初期位置との
高さ変動量Δｂとを用いて所定部を撮像した時の画素数
を補正し、寸法を算出する。また、貫通穴寸法を測定す
る場合、貫通穴の透過光による撮像画像から求めた穴位
置と穴径の寸法を、予め求めておいた撮像光軸からの貫
通穴の位置ｄ及び被測定体厚さｔとで規定される穴位置
変化量ｃ並びに穴径変化量ｅの関係を用いて補正し、寸
法を算出する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的に寸法を測
定する方法に関わり、特に非テレセントリック系の撮像
レンズを用いた場合に好適な寸法測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】撮像レンズと撮像素子による光学的寸法
測定では、テレセントリック系のレンズを用いるのが一
般的である。これは、テレセントリック系のレンズは、
視野内で光軸が平行であり、焦点深度内で作動距離が変
化しても撮像倍率が変化しないことや、貫通部の透過光
像が歪まないという特徴があるためである。また、測定
視野は、求める測定精度に合わせて、使用する撮像素子
の画素数及び撮像レンズの口径で規定され、広い面積を
有する被測定物の測定を行なう場合は１視野の撮像では
対応できないため、撮像機器又は被測定物を移動させた
りして対処している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】寸法測定を短時間で行
うためには、測定視野をできるだけ広くとり、移動を減
らすことが望ましいが、テレセントリック系のレンズは
視野が狭く、一般に５０ｍｍの視野が取れるような大口
径のレンズはほとんど出回っておらず、例え特注で製作
できたとしても、非常に高価なものになってしまう。そ
こで、広範囲の視野がとれ、かつ比較的安価で市場に出
回っている非テレセントリック系レンズを用いることが
できれば好都合である。しかし、非テレセントリック系
レンズは、テレセントリック系レンズと違って視野周縁
ほど視線が主光軸に対して斜めになるため、高精度な測
定に対しては次に示す問題を有している。

【０００４】（問題１）：同一寸法であっても、焦点深
度内でレンズと測定対象物間の距離が変わると像の倍率
が変わり、測定値が変化してしまう。 （問題２）：透過光照明で貫通穴の穴径や穴位置を測定
する場合、対象物の厚みにより穴底を抜けてきた光が表
面部のエッジにより部分的に隠されるため、光軸の中心
より離れた穴ほど、穴径や中心位置が変化してしまう。

【０００５】また、高精度な寸法測定を行うためには、
非テレセントリック系レンズかテレセントリック系レン
ズかに係わりなく、レンズが有する固有の収差や歪みな
どの光学的誤差や、レンズと撮像素子面及び被測定物面
との平行度のずれ等機械的誤差に起因する下記問題も無
視できなくなる。これは、高性能なレンズ系と高精度な
機械系を組合わせた光学装置を用いれば相当なレベルま
で対処することができるが、完全になくすことはできな
いし高価な装置となってしまう。 （問題３）：同一視野内であっても倍率が異なる場所が
生じ、同一寸法であっても場所によって測定値に違いが
でる。従って、本発明の目的は、非テレセントリック系
レンズを用いて寸法測定を行う場合、上記の問題１及び
２を解決して高精度に寸法を測定できる方法を提供する
ことである。また、第２の目的は、用いるレンズ系に係
わらず、光学装置がある程度光学的、機械的に測定精度
を低下させる要因を有していても、この影響が測定精度
に転写されない寸法測定方法を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、非テレセ
ントリック系レンズを用いて被測定体表面を撮像して光
学的に所定部の寸法を測定する方法において、初期位置
として設定した任意の被測定体表面に焦点合わせをした
時の、対物レンズと初期位置間の距離ｂと、初期位置に
おける１画素当たりの寸法値である画素サイズｒ０を求
め、表面位置が初期位置と異なる被測定体に対して、初
期位置における画素サイズｒ０と、対物レンズと初期位
置間の距離ｂと、初期位置との高さ変動量Δｂとを用い
て所定部を撮像した時の画素数を補正し、寸法を算出す
ることを特徴としている。寸法算出には、（ｂ−Δｂ）
／ｂ×ｒ０×画素数を計算するとよい。第２の発明は、
非テレセントリック系レンズを用いて被測定体表面を撮
像して光学的に被測定体を貫通する穴寸法を測定する方
法において、貫通穴の透過光で得られた撮像画像から求
めた穴位置と穴径の寸法を、予め求めておいた撮像光軸
からの貫通穴の位置及び被測定体厚さとで規定される穴
位置変化量並びに穴径変化量の関係を用いて補正し、寸
法を算出することを特徴としている。本発明において、
貫通穴の透過光による撮像画像から求めた穴位置と穴径
の寸法は、第１の発明を用いて補正した寸法を用いるこ
とが望ましい。

【０００７】第３の発明は、被測定体表面を撮像して所
定部の寸法を光学的に測定する方法において、被測定体
取付け部に寸法が既知のパターンを有するマスターをセ
ットしてパターンを撮像し、既知のパターン位置とパタ
ーン寸法及び該パターン撮像時の画素量の関係から、１
画素当たりの寸法値である画素サイズをマスターの平面
方向各位置で求めておき、被測定体の所定部を撮像した
時の画素数を、マスターの画素サイズ分布を利用して補
正し、寸法を算出することを特徴としている。本発明に
おいて、被測定体と対物レンズ間距離がマスターにおけ
る時とは異なる場合、その距離変化量Δｂと、マスター
表面と対物レンズ距離ｂとを用いてマスターの画素サイ
ズ分布を補正して該被測定体の寸法を算出することが望
ましい。

【０００８】

【発明の実施の形態】まず、（問題１）を解決する第１
の発明について、測定対象物として薄い柔軟性のあるシ
ート部材を用いた場合を例にして以下説明する。図１に
おいて、光学系は撮像素子と非テレセントリック系レン
ズを有し、シート部材の上方に配設されている。本例で
は、撮像素子であるＣＣＤ１表面と非テレセントリック
系の対物レンズ（以降、単にレンズと略す）２中心まで
のセット距離ａは２２０ｍｍ、レンズ２の中心とシート
部材３の表面までの焦点距離ｂは２５０ｍｍであり、レ
ンズ２の視野は約１００ｍｍである。シート部材３の表
面には、印刷や微細加工などで所定のパターンが形成さ
れており、パターン間隔などの検査に当たっては所定箇
所の位置を測定して行う。シート部材は、厚さが数十μ
ｍ〜数百μｍの各種のものがあるが、光学系の焦点深度
は数ｍｍあり、任意に選定した厚さのシート部材３を基
準とした初期位置で一度焦点合わせを行うと、厚さの違
う別のシート部材４を測定する場合にも改めて焦点合わ
せを行う必要はない。測定対象のシート厚はわかってお
り、この時の厚さ変動値Δｂは既知である。

【０００９】図１に示すように、シート部材３における
主光軸５から距離ｄ離れた点Ｐは、ＣＣＤ１面上で主光
軸５から距離ｘだけ離れた点ｐに結像される。一方、シ
ート部材４においては、主光軸５から同じく距離ｄ離れ
た点Ｐ′であっても、ＣＣＤ１面上では主光軸５から距
離ｘ′だけ離れた点ｐ′に結像される。即ち、同じ主光
軸５から距離ｄ離れた点であっても、Δｂの変化により
撮像の倍率が変わり、ＣＣＤ１面ではΔｘ（＝ｘ′−
ｘ）だけ異なった点に結像されるので、単純にＣＣＤ上
の距離からシート部材上の距離を算出することができな
いことがわかる。ΔｂとΔｘとは、幾何計算により数１
のように表すことができる。

【数１】

【００１０】数１は、シート部材３に対する撮像倍率を
Ｍ（＝ｘ／ｄ）、シート部材４に対する撮像倍率をＭ′
（＝ｘ′／ｄ）とした場合に、倍率の変化率ΔＭ（＝
Ｍ′／Ｍ）が、数２のように表せることも示している。

【数２】 ここで、ｂは焦点合わせ時に求めることができる値であ
り、またΔｂは対象のシート部材によって予め知ること
ができる値であるので、倍率の変化率ΔＭは、シート部
材の厚さ変動に合わせて前もって決定することができ
る。また、ｘに代えて画素数で表すこともできる。

【００１１】一般に、実寸法の算出は、予め実際の寸法
と画素数の比である画素サイズｒ（＝実寸法／画素数）
を求めておき、測定時にＣＣＤ１から得られる画素数を
乗ずることによって行われる。画素サイズｒは、厚さが
異なるシート部材毎に求める必要があり、予め実測して
求めてもよいが、初期位置（本説明ではシート部材３を
載置した時）で焦点合わせをした時の画素サイズｒ０を
用いることができれば、都度実測する必要がなく効率的
である。このためには、厚さがΔｂだけ変化した時の画
素サイズをｒ１とすると、画素サイズの変化率は数３に
示すように倍率の変化率であらわすことができることを
利用すれとよい。

【数３】 即ち、初期位置からの厚さがΔｂ異なるシート部材上の
実寸法は、該シート部材における画素サイズｒ１を、初
期位置における画素サイズｒ０を用いて補正した数４で
求めることができる。

【数４】

【００１２】次に、図２をもとに（問題２）を解決する
第２の発明を説明する。図２における光学系及び測定対
象物は、図１に示したものとほぼ同一であり、厚さｔ０
のシート部材５０が図１のシート部材３に相当し、シー
ト部材５０の表面に焦点合わせをした時を初期位置とす
る。シート部材５０は、透過光照明装置５１上にセット
される。シート部材５０には、直径が数十μｍ〜数ｍｍ
の複数の貫通穴（以降、穴と略す）が所定位置に形成さ
れている。中央部の穴Ｈｍを抜けてきた光は、主光軸５
とほぼ平行にそのままＣＣＤ１に入射するため穴画像に
歪みは見られないが、視野の端部の穴Ｈｄを抜けてきた
光による穴画像は歪んでいる。これは、光が主光軸５に
対して斜めにＣＣＤ１に入射するため、シート部材５０
の厚さによる穴側面のエッジで部分的に光が隠れてしま
うためである。ここで、この歪んだ穴画像を変形穴５
３、穴の側面のエッジによって光が隠されなかった場合
に撮像されるであろう歪みのない穴を正常穴５２とし、
正常穴５２の重心位置と変形穴５３の重心位置の差を穴
位置変化量ｃ、正常穴５２の穴径と変形穴５３の穴径の
最大差を穴径変化量ｅとする。

【００１３】まず、穴位置変化量ｃについて説明する。
図２に示すシート部材５０の断面図において、主光軸５
がシート部材５０の上面と下面で交わる点を点Ｑ、点Ｍ
とし、穴Ｈｄの上面エッジ部分コーナーを点Ｉ、点Ｏ、
下面エッジ部分コーナーのうち点Ｏの直下を点Ｒとし、
点Ｉ、点Ｏを結ぶ線とレンズ中心Ｓと点Ｒを結ぶ線の交
点を点Ｊとすると、穴位置変化量ｃは（ＯＩ／２−ＪＩ
／２）で表すことができる。ＯＩは穴径で既知であり、
ＪＩは（ＪＱ−ＩＱ）で計算できるので算出することが
できる。ここで、ＪＱは△ＳＪＱ∽△ＳＲＭの関係より
シート部材の厚さｔの関数として表され、ＩＱは（ｄ−
穴径／２）より主軸から穴中心までの距離ｄの関数で表
される。従って、穴位置変化量ｃは、前記ｔとｄで規定
される。

【００１４】図３は、直径４００μｍの貫通穴が主光軸
５から距離ｄのところに形成されたシート部材５０にお
いて、距離ｄと穴位置変化量ｃの関係がシート部材厚さ
ｔによってどのように変動するかを示したものである。
距離ｄが±５０ｍｍの範囲において、穴位置変化量ｃと
主光軸５からの距離ｄを比例と仮定すると、穴位置変化
量ｃは、数５のように距離ｄとシート部材厚さｔで表す
ことができる。

【数５】

【００１５】次に、穴径変化量ｅについて説明する。図
２から、幾何学的に穴径変化量ｅは（ＯＩ―ＪＩ）で求
めることができる。図４は、直径４００μｍの穴が主光
軸５から距離ｄのところに形成されたシート部材５０に
おいて、距離ｄと穴径変化量ｅの関係がシート部材厚さ
ｔによってどのように変動するかを示したものである。
距離ｄが±５０ｍｍの範囲において穴径変化量ｅと主光
軸５からの距離ｄを比例と仮定すると、穴径変化量ｅ
は、数６のように距離ｄとシート部材厚さｔで表すこと
ができる。

【数６】

【００１６】測定対象穴の主光軸５からの距離ｄと厚さ
ｔが決まれば、数式５、６をもとにして穴位置変化量
ｃ、穴径変化量ｅを求めることができるので、数７、８
のように計算することで変形穴５３から正常穴５２を求
めることが可能となる。

【数７】

【数８】

【００１７】前述したように、同一寸法であってもレン
ズと測定対象物間の距離が変わると測定値は変化する。
従って、シート部材の厚さｔが初期位置時のｔ０と異な
る場合、数７における変形穴実位置ｄ′は、初期位置に
おける画素サイズを用いた数式４を用いて算出する。数
５、６式のｄはｄ′を用いればよい。また、数８におけ
変形穴実穴径Ｄ′についても同様にして算出する。その
算出式を数９に示す。

【数９】 実際には、穴位置変化量ｃ及び穴径変化量ｅは、レンズ
の持つ収差や光の散乱等により数７、８からの算出値と
異なる場合があり、測定精度が高く求められる場合は、
実機を用いて測定データを収集し、数７、８の補正式を
作成したり、検量線を作成して使用するとよい。

【００１８】次に、（問題３）を解決する第３の発明に
ついて説明する。図５に示すように、測定対象物を載せ
るテーブル６表面のうねりや傾き等による主光軸５との
直角度誤差θｔや、レンズ主光軸５に対するＣＣＤ１面
の直角度誤差θｃの存在などにより、テーブル６表面と
レンズ２０やＣＣＤ１面までの距離は必ずしも同一では
ない。また、レンズ２０がテレセントリック系レンズで
あってもレンズ固有の収差・歪や、光軸ずれにより生じ
る歪もあり、同一視野内であっても場所によって撮像倍
率（画素サイズで表してもよい）が異なる。このため、
初期位置における視野内全域において画素サイズの分布
を予め求め、測定値を補正することにする。以下、シー
ト部材を測定対象物とした場合で説明する。

【００１９】初期位置における画素サイズ分布を求める
ためにマスター１０を使用する。マスター１０は、測定
対象のシート部材と同等な材質、寸法で厚さが既知のシ
ート部材を用い、表面にはｍ行ｎ列の各交点に小丸状の
点Ｔが形成されたマスターパターンが形成されている。
図６にマスターパターンの一例を示す。各点間の実寸法
データは予め収集しておく。初期位置における画素サイ
ズの測定は、マスター１０をテーブル６に載置し、全て
の点間距離を前記光学系で撮像することによって行う。
測定対処領域が広い場合は、一視野で全領域を撮像する
ことができないため、テーブルを移動して未測定部を順
次視野に入れて撮像する。なお、マスター１０は柔軟性
があるため、その表面にはテーブル６の表面性状が転写
される。

【００２０】まず、視野内のＸ方向の画素サイズｒ０
（ｘ）を求める。例えば、図６において、１行目と１列
目の交点の点Ｔ（１、１）を含む左上部分を第１の視野
で撮像するとすると、まずＸ方向１行目のパターンにつ
いて、点Ｔ（１、１）と点Ｔ（１、２）間の画素数ｇｘ
１１を求める。この間の実寸法は既知でｄｘ１１である
ので、この間の画素サイズｒ０（ｘ１１）はｇｘ１１／
ｄｘ１１として計算できる。引続き、点Ｔ（１、２）と
点Ｔ（１、３）間の画素数ｇｘ１２を求める。この間の
実寸法は既知でｄｘ１２であるので、この間の画素サイ
ズｒ０（ｘ１２）はｇｘ１２／ｄｘ１２で計算できる。
以下、同様にして、視野内にあるＸ方向１行目の残りの
点間の画素サイズを算出し、次いで、２行目、３行目、
…について求めていく。

【００２１】次いで、視野内のＹ方向の画素サイズｒ０
（ｙ）を求める。Ｙ方向１列目について、点Ｔ（１、
１）と点Ｔ（２、１）間の画素数ｇｙ１１を求める。こ
の間の実寸法は既知でｄｙ１１であるので、この間の画
素サイズｒ０（ｙ１１）はｇｙ１１／ｄｙ１１で計算で
きる。引続き、次ぎの点Ｔ（２、１）と点Ｔ（３、１）
間の画素数ｇｙ２１を求める。この間の実寸法は既知で
ｄｙ２１であるので、この間の画素サイズｒ０（ｙ２
１）はｇｙ２１／ｄｙ２１で計算できる。以下同様にし
て、視野内におけるＹ方向１列目の残りの点間の画素サ
イズを算出し、次いで、２列目、３列目、…についても
求めていく。以上のようにして、第１の視野において所
定範囲の点Ｔ間の画素サイズを求めると、テーブルを移
動し、第２の視野における所定範囲の点Ｔ間の画素サイ
ズを求める。以後同様にして、マスター１０の全領域に
おける点Ｔ間の画素サイズを求める。

【００２２】次に、任意の２点間の距離は、その間の画
素サイズを積分することで求めることができる。上述の
画素サイズは、隣接する点間の平均的な値で、マスター
１０内で離散的な分布となるため、より高精度の補正を
行うためには、マスター１０内の点数を増やし領域分割
をより細かくすれば良いが、分解能等の理由により無限
に細かくすることはできない。そこで得られた離散的な
画素サイズ分布をスプライン関数等により曲面近似し面
内分布を求める方が効率的である。こうして画素サイズ
分布を数式化することで、距離を求める場合に画素サイ
ズを積分することも容易となる。

【００２３】図７は、マスター１０におけるＸ方向の離
散的な画素サイズ分布を、スプライン関数でＸ方向画素
サイズ分布関数ｒ０（ｘ、ｙ）として近似した時の、画
像内のＸ方向の画素サイズを等高線マップとして表した
一例である。従って、実際にシート部材３上の位置を測
定する場合、例えば点Ｐ０の画像での位置を（ｘ０、ｙ
０）（画素単位）とし、マスター１０とシート部材４と
の厚さ変化をΔｂとすると、数式４より実際のＰ０のｘ
座標位置は下記数１０で求めることができる。ただし式
中のＯ点は任意に選択した原点である。

【数１０】 同様に、他の点Ｐ１における実際のＰ１のｘ座標値は数
１１で表される。

【数１１】 これより、２点Ｐ０、Ｐ１間のｘ方向距離は、Ｌｘ＝Ｐ
１＿ｘ−Ｐ０＿ｘで算出することができる。ｙ方向につ
いても同様に取り扱うことができ、ｙ方向距離はＬｙ＝
Ｐ１＿ｙ−Ｐ０＿ｙとなる。

【００２４】なお、上述ではｘ、ｙ方向各々にスプライ
ン関数等による曲面近似の例を述べたが、ｘ、ｙ方向の
差を無視できるなら同一に取り扱っても良く、また、多
項式やその他の高等関数を用いても良い。更には近似せ
ず離散的な画素サイズ分布をそのまま使っても良く、必
要とする精度や演算速度等に適した方法を採用すれば良
い。マスターパターンは、前述した点状に限らず、画像
処理で所定間寸法が算出できる形状であればよく、線状
や円形などとすることができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は次の効果
を有する。 １）非テレセントリック系レンズの視野周辺の視線が光
軸に対して斜めになることに起因する測定誤差を数式を
用いて解決しているので、被測定体の厚さや、測定場所
の違いに係わらず、容易にかつ効率的に誤差を補正して
測定できる。 ２）広い視野の非テレセントリック系レンズを用いて寸
法測定ができるので、測定面積が広い被測定体であって
も、効率よく、精度のよい測定ができる。 ３）実際に用いる測定装置で、マスターを用いて測定範
囲の画素サイズ分布を測定して補正に用いるので、テレ
セントリック系レンズ、非テレセントリック系レンズに
係わらず、レンズ固有の収差や歪みや、或いは機械系の
形状精度誤差が問題となるほど正確な測定を要求される
場合でも対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レンズと測定対象物の距離の変動に起因する撮
像倍率変化を示す図

【図２】貫通穴深さの変化に起因した穴径・穴位置の寸
法変化を示す図

【図３】主光軸からの距離と穴位置変化量とシート厚さ
の関係の一例を示す図

【図４】主光軸からの距離と穴径置変化量とシート厚さ
の関係の一例を示す図

【図５】測定装置の機械的誤差要因を説明するための図

【図６】マスター上のマスターパターンの一例を示す図

【図７】マスター上の画素サイズ分布を等高線マップと
して表した図

【符号の説明】

１…ＣＣＤ、 ２…非テレセントリック系レンズ、
３、４…シート部材、５…主光軸、 ６…テーブル、
１０…マスター、 ２０…レンズ、５０…貫通穴を有す
るシート部材、 ５１…透過光照明装置、 ５２…正常
穴、５３…変形穴、ａ…セット距離、 ｂ…焦点距離、
ｃ…穴位置変化量、ｄ…主光軸からの距離、 ｅ…穴
径変化量、 Ｐ…シート部材上の点、ｐ…ＣＣＤ面上の
結像点、 ｘ…ＣＣＤ面上の結像距離、ｒ…画素サイ
ズ、 ｒ０…初期位置における画素サイズ、ｒ１…厚さ
の異なるシート部材上の画素サイズ、Ｈｍ…中央部の貫
通穴、 Ｈｄ…視野端部の貫通穴、Ｔ…マスターパター
ンの点

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非テレセントリック系レンズを用いて被
   測定体表面を撮像して光学的に所定部の寸法を測定する
   方法において、初期位置として設定した任意の被測定体
   表面に焦点合わせをした時の、対物レンズと初期位置間
   の距離ｂと、初期位置における１画素当たりの寸法値で
   ある画素サイズｒ０を求め、表面位置が初期位置と異な
   る被測定体に対して、初期位置における画素サイズｒ０
   と、対物レンズと初期位置間の距離ｂと、初期位置との
   高さ変動量Δｂとを用いて所定部を撮像した時の画素数
   を補正し、寸法を算出することを特徴とする光学式寸法
   測定方法。
2. 【請求項２】 寸法算出を、（ｂ−Δｂ）／ｂ×ｒ０×
   画素数の数式を計算することによって行う請求項１記載
   の光学式寸法測定方法。
3. 【請求項３】 非テレセントリック系レンズを用いて被
   測定体表面を撮像して光学的に被測定体を貫通する穴寸
   法を測定する方法において、貫通穴の透過光で得られた
   撮像画像から求めた穴位置と穴径の寸法を、予め求めて
   おいた撮像光軸からの貫通穴の位置及び被測定体厚さと
   で規定される穴位置変化量並びに穴径変化量の関係を用
   いて補正し、寸法を算出することを特徴とする光学式寸
   法測定方法。
4. 【請求項４】 前記貫通穴の透過光による撮像画像から
   求めた穴位置と穴径の寸法は請求項１記載の方法で補正
   した寸法である請求項３記載の光学式寸法測定方法。
5. 【請求項５】 被測定体表面を撮像して所定部の寸法を
   光学的に測定する方法において、被測定体取付け部に寸
   法が既知のパターンを有するマスターをセットしてパタ
   ーンを撮像し、既知のパターン位置とパターン寸法及び
   該パターン撮像時の画素量の関係から、１画素当たりの
   寸法値である画素サイズをマスターの平面方向各位置で
   求めておき、被測定体の所定部を撮像した時の画素数
   を、マスターの画素サイズ分布を利用して補正し、寸法
   を算出することを特徴とする光学式寸法測定方法。
6. 【請求項６】 被測定体と対物レンズ間距離がマスター
   における時とは異なる場合、その距離変化量Δｂと、マ
   スター表面と対物レンズ距離ｂとを用いてマスターの画
   素サイズ分布を補正して該被測定体の寸法を算出する請
   求項５記載の光学式寸法測定方法。