JP2003144831A - ロータ式除湿装置 - Google Patents

ロータ式除湿装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロータ式除湿装置の小型化及び装置コストの
低減を可能にする。 【解決手段】 空気OAを吸着剤層Xに通風してその空
気OAを予除湿する予処理域4と、再生用高温気体HA
を吸着剤層Xに通風してその吸着剤層Xを再生する再生
域5と、パージ用気体PAを吸着剤層Xに通風してその
吸着剤層Xをパージするパージ域6と、予処理域4を通
過した予除湿後の空気OA′を吸着剤層Xに通風してそ
の予除湿後の空気OA′を主除湿する主処理域7とを、
その順にロータ回転方向に並べて吸着ロータ3の回転経
路に配置するロータ式除湿装置において、予処理域4で
の吸着剤層Xに対する空気OAの通風向きと、主処理域
7での吸着剤層Xに対する空気OA′の通風向きとを互
いに逆向きにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気中水分の存在
を嫌う物品の製造施設や環境試験室などにおいて、低湿
度環境(すなわち、低露点環境)を形成するのに用いる
ロータ式除湿装置に関し、詳しくは、図4,図5に示す
如く、吸着剤層Xをロータ回転方向に連続的に配置した
吸着ロータ3の回転経路に、空気OAを域内通過過程に
あるロータ部分の吸着剤層Xに通風してその空気OAを
予除湿する予処理域4と、再生用高温気体HAを域内通
過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに通風してその吸
着剤層Xを再生する再生域5と、パージ用気体PAを域
内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層Xに通風してそ
の吸着剤層Xをパージするパージ域と、前記予処理域4
を通過した予除湿後の空気OA′を域内通過過程にある
ロータ部分の吸着剤層Xに通風してその予除湿後の空気
OA′を主除湿する主処理域7とを、その順にロータ回
転方向に並べて配置してあるロータ式除湿装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のロータ式除湿装置では、
同図4,図5に示す如く、吸着ロータ3の回転経路に上
記の予処理域4、再生域5、パージ域6、主処理域7を
その順にロータ回転方向に並べて配置する構成におい
て、予処理域4での吸着剤層Xに対する空気OAの通風
向きと、主処理域4での吸着剤層Xに対する空気OA′
の通風向きとを同じ向きにしており、換言すれば、予処
理域4と主処理域7との夫々において吸着剤層Xの同じ
側の面が空気OA,OA′の入口面となる装置構成にな
っていた(特開平6−343819号公報、特開200
0−240979号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来装
置では、予処理域4を通過した予除湿後の空気OA′を
主処理域7に導くのに、図4,図5に示す如く吸着ロー
タ3を跨ぐ状態の域間導風路10を形成しなければなら
ず、この為、装置構造が複雑になって装置が大型になる
とともに装置コストも高く付く問題があった。
【0004】この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、
合理的な改良により上記問題を効果的に解消する点にあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】〔1〕請求項1に係る発
明はロータ式除湿装置に係り、その特徴は、吸着剤層を
ロータ回転方向に連続的に配置した吸着ロータの回転経
路に、空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層
に通風してその空気を予除湿する予処理域と、再生用高
温気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通
風してその吸着剤層を再生する再生域と、パージ用気体
を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風して
その吸着剤層をパージするパージ域と、前記予処理域を
通過した予除湿後の空気を域内通過過程にあるロータ部
分の吸着剤層に通風してその予除湿後の空気を主除湿す
る主処理域とを、その順にロータ回転方向に並べて配置
する構成において、前記予処理域での吸着剤層に対する
空気の通風向きと、前記主処理域での吸着剤層に対する
空気の通風向きとを互いに逆向きにしてある点にある。
【0006】つまり、この構成によれば(図1,図2参
照)、予処理域4を通過した予除湿後の空気OA′を主
処理域7に導くのに、そのための域間導風路として、吸
着ロータ3を跨ぐことなく単に予除湿後の空気OA′を
変向させるだけの簡略で短尺な域間導風路10を形成す
るだけで済み、これにより、先述の従来装置に比べ装置
構造を簡略にすることができて装置を効果的に小型化す
ることができ、また、装置コストも低減することができ
る。
【0007】〔2〕請求項2に係る発明は、請求項1に
係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであ
り、その特徴は、前記予処理域での吸着剤層に対する空
気の通風向きと、前記再生域での吸着剤層に対する再生
用高温気体の通風向きとを互いに逆向きにしてある点に
ある。
【0008】つまり(同図1,図2参照)、空気通風状
態にある吸着剤層Xは空気OA,OA′の入口側にある
部分の方が出口側にある部分に比べ吸着が早く進んで含
水率が高くなるが、予処理域4で予除湿した後の低湿の
空気OA′を除湿する主処理域7に比べ、高湿の空気O
Aを除湿する予処理域4の方が域全体としての除湿量
(換言すれば吸着量)は大きいことから、吸着剤層Xに
対する空気OA,OA′の通風向きを予処理域4と主処
理域7とで互いに逆向きにする請求項1に係る発明の構
成では、主処理域7と予処理域4とを経て再生域5に入
る吸着剤層Xは、予処理域4で空気OAの入口側となっ
た部分の方が出口側となった部分よりも吸着が進んで含
水率が高くなる。
【0009】一方、再生域5にある吸着剤層Xについて
は、再生用高温気体HAの入口側にある部分の方が出口
側にある部分よりも再生用高温気体HAからの熱付与に
よる昇温が早くて高温になる。
【0010】したがって、上記の如く予処理域4での吸
着剤層Xに対する空気OAの通風向きと再生域5での吸
着剤層Xに対する再生用高温気体HAの通風向きとを互
いに逆向きにして、予処理域4で空気OAの出口側とな
った吸着剤層部分(すなわち、含水率が低くて吸着水分
の脱着に高温を要する部分)を再生域5で再生用高温気
体HAの入口側に位置させるようにすれば、逆の場合に
比べ、吸着剤層Xにおける含水率の分布に対し温度分布
を適合させた状態(略言すれば、高温の無駄使いを回避
した状態)で、再生域5の全体としての脱着性能をより
高く確保することができ、その分、主処理域7及び予処
理域4での吸着性能も高めることができ、これにより、
吸着剤層Xに対する空気OA,OA′の通風向きを予処
理域4と主処理域7とで互いに逆向きにする構成にしな
がらも、高い除湿性能を得ることができる。
【0011】〔3〕請求項3に係る発明は、請求項1又
は2に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するもの
であり、その特徴は、前記パージ域での吸着剤層に対す
るパージ用気体の通風向きと、前記主処理域での吸着剤
層に対する空気の通風向きとを同じ向きにしてある点に
ある。
【0012】つまり(同図1,図2参照)、再生域5で
高温となった吸着剤層Xはパージ域6でパージ用気体P
Aの通風により急速に冷却されるが、この際、吸着剤層
Xはパージ用気体PAの入口側にある部分の方が出口側
にある部分よりも降温が早いため、パージ域6を経て主
処理域7に入る吸着剤層Xはパージ域6でパージ用気体
PAの入口側となった部分の方が出口側となった部分よ
りも低温になる。
【0013】一方、吸着は発熱反応であるため主処理域
7にある吸着剤層Xは昇温するが、発生熱による通過空
気OA′の漸次昇温のため、吸着剤層Xの昇温巾は空気
OA′の出口側にある部分の方が入口側にある部分より
も大きくなる。
【0014】これらのことから、パージ域6での吸着剤
層Xに対するパージ用気体PAの通風向きと主処理域7
での吸着剤層Xに対する空気OA′の通風向きとを互い
に逆向きにした場合では、パージ域6でパージ用気体P
Aの入口側となった吸着剤層部分(すなわち、低温で吸
着効率の高い部分)が主処理域7で空気OA′の出口側
に位置することで高温になって、その部分の高い吸着効
率が損なわれてしまうのに対し、上記の如くパージ域6
での吸着剤層Xに対するパージ用気体PAの通風向きと
主処理域7での吸着剤層Xに対する空気OA′の通風向
きとを同じ向きにすれば、吸着効率の高い吸着剤層部分
(パージ域6でパージ用気体PAの入口側となった部
分)が主処理域7で高温になるのを抑止することができ
て、その部分の高い吸着効率を効果的に維持することが
でき、これにより、主処理域7の全体としての吸着性能
を一層高く確保して除湿性能を一層効果的に高めること
ができる。
【0015】
【発明の実施の形態】図1において、1は空気中水分の
存在を嫌う物品(例えば電子部品、薬剤、フィルム等)
の製造作業を行なう低湿化対象域としてのドライルーム
であり、このドライルーム1へは、吸着ロータ使用の除
湿装置2により生成した極低湿の空気SA(例えば、露
点温度−35℃の空気)を供給し、この低湿空気SAの
供給によりドライルーム1を所要の低湿雰囲気に維持す
る。
【0016】除湿装置2の吸着ロータ3は、シリカゲ
ル、ゼオライト、活性炭などの吸着剤を用いた通気性の
吸着剤層Xをロータ構成材としてロータ回転方向に連続
的に配置したものであり、本実施形態では図2に示す如
く、ロータ回転軸芯Pの方向に気体通過させる円盤状の
吸着ロータ3を用いている。
【0017】また、吸着ロータ3の回転経路は、ロータ
回転方向において予処理域4、再生域5、パージ域6、
主処理域7の四域に区画してあり、これら四域4〜7を
上記の記載順にロータ回転方向に並べた配置にすること
で、吸着ロータ3の回転に伴い、ロータ各部を予処理域
4、再生域5、パージ域6、主処理域7の順に移行させ
る。
【0018】8は外部から外気OAを導入する外気導入
路であり、この外気導入路8には、導入外気OA(例え
ば、乾球温度34℃,絶対湿度22.1g/kgDAの
空気)を浄化するフィルタ9A、及び、そのフィルタ9
Aにより浄化した外気OAを予冷するプレクーラ9Bを
装備してある。9Cはプレクーラ9Bに装備のエリミネ
ータである。
【0019】そして、前記予処理域4では、これらフィ
ルタ9A及びプレクーラ9Bにより浄化・予冷処理した
導入外気OAを処理対象空気として域内通過過程にある
ロータ部分の吸着剤層Xに通風することで、その外気O
Aを吸着剤層Xによる水分吸着により除湿(予除湿)す
る。
【0020】また、前記主処理域7では、域間導風路1
0を通じて予処理域4から導かれる予除湿後の外気O
A′を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層X(す
なわち、予処理域4での使用前の吸着能力が高い吸着剤
層)に対し、予処理域4での外気OAの通風向きとは逆
向きに通風することで、その予除湿後の外気OA′を同
じく吸着剤層Xによる水分吸着により所要湿度までさら
に除湿(主除湿)し、この主除湿後の外気OA″をアフ
タークーラ11により冷却した上で生成低湿空気SAと
して給気路12を通じてドライルーム1に供給する。
【0021】一方、13は再生用の外気OAを導入する
再生用外気導入路であり、この再生用外気導入路13に
は、導入した再生用外気OAを浄化するフィルタ14、
及び、そのフィルタ14により浄化した再生用外気OA
を所定温度まで加熱して再生用高温気体HAを生成する
再生用加熱器15を装備してある。
【0022】そして、前記再生域5では、再生用加熱器
15で生成した再生用高温気体HAを域内通過過程にあ
るロータ部分の吸着剤層X(すなわち、主除湿及び予除
湿に用いた後の吸着剤層)に対し、予処理域4での外気
OAの通風向きとは逆向きに通風することで、主処理域
7及び予処理域4での吸着水分を吸着剤層Xから脱着さ
せて、その吸着剤層Xを再生する。
【0023】また、パージ域6では、前記域間導風路1
0からパージ用分流路16へ分流した一部の予除湿後外
気OA′をパージ用気体PAとして域内通過過程にある
ロータ部分の吸着剤層Xに対し、主処理域7での外気O
A′の通風向きと同じ向きに通風することで、その吸着
剤層X中に残る再生用高温気体HAの掃気(パージ)、
及び、吸着剤層Xの冷却を行ない、このパージ域6での
掃気・冷却処理を経て、再生域5での再生後の吸着剤層
Xをロータ3の回転に伴い主処理域7及びそれに続く予
処理域4へ再び移行させる。
【0024】17は再生域5から送出される使用済みの
再生用高温気体HA′を外部へ排出する排気路、18は
この排気路17から使用済み再生用高温気体HA′の一
部を分流して、その分流気体HA″を再生用外気導入路
13の再生用外気OAに混合する排気側の熱回収用混合
路であり、また、19はパージ域6から送出される使用
済みのパージ用気体PA′を再生用外気導入路13の再
生用外気OAに混合するパージ側の熱回収用混合路であ
る。
【0025】20はパージ用分流路16の分岐箇所より
も上流側で域間導風路10に介装した処理側ファンであ
り、この処理側ファン20により、外気導入路8を通じ
ての外気OAの導入、予処理域4及び主処理域7の夫々
での吸着剤層Xに対する外気OA,OA′の通風、並び
に、パージ域6での吸着剤層Xに対するパージ用気体P
Aの通風を行なう。
【0026】また、21は排気側の熱回収用混合路18
の分岐箇所よりも上流側で排気路17に介装した再生側
ファンであり、この再生側ファン21により、再生用外
気導入路13を通じての再生用外気OAの導入、及び、
再生域5での吸着剤層Xに対する再生用高温気体HAの
通風を行なう。
【0027】22はパージ用分流路16に介装したパー
ジ側ダンパであり、上記の如く処理側ファン20を主処
理域7での吸着剤層Xに対する外気OA′の通風とパー
ジ域6での吸着剤層Xに対するパージ用気体PAの通風
とに兼用することに対し、このパージ側ダンパ22の開
度を調整することで主処理域7を隣のパージ域6に対し
て陽圧に保ち、これにより、除湿性能の低下原因となる
パージ域6から主処理域7への気体漏洩を確実に防止す
る。
【0028】なお、処理側ファン20を域間導風路10
に介装する形式を採ることで、主処理域7は反対隣の予
処理域4に対しても陽圧に維持され、これにより、除湿
性能の低下原因となる予処理域4から主処理域7への気
体漏洩も確実に防止される。
【0029】23は再生用加熱器15で生成した再生用
高温気体HAを再生域5に導く再生用導風路24に介装
した再生側ダンパであり、上記の如く処理側ファン20
を域間導風路10に介装する形式を採ることに対し、こ
の再生側ダンパ23の開度を調整することで予処理域4
を隣の再生域5に対して陽圧に保ち、これにより、やは
り除湿性能の低下原因となる再生域5から予処理域4へ
の気体漏洩も確実に防止する。
【0030】〔別実施形態〕次に別実施形態を列記す
る。
【0031】前述の実施形態では、ロータ回転軸芯Pの
方向に気体通過させる円盤状の吸着ロータを用いる例を
示したが、図3に示す如く、回転半径方向に気体通過さ
せる円筒状の吸着ロータ3を用いるロータ式除湿装置に
おいて、予処理域4での吸着剤層Xに対する空気OAの
通風向きと主処理域7での吸着剤層Xに対する空気O
A′の通風向きとを互いに逆向きにする請求項1に係る
発明の構成(すなわち、予処理域4と主処理域7との夫
々において吸着剤層Xの同じ側の面が空気OA,OA′
の入口面となる構成)を採るようにしてもよい。
【0032】また、このように円筒状の吸着ロータ3を
用いるロータ式除湿装置で請求項1に係る発明の構成を
採用したものに対し、同図3に示す如く、予処理域4で
の吸着剤層Xに対する空気OAの通風向きと再生域5で
の吸着剤層Xに対する再生用高温気体HAの通風向きと
を互いに逆向きにする請求項2に係る発明の構成や、パ
ージ域6での吸着剤層Xに対するパージ用気体PAの通
風向きと主処理域7での吸着剤層Xに対する空気OA′
の通風向きとを同じ向きにする請求項3に係る発明の構
成を採用するようにしてもよい。
【0033】そしてまた、吸着ロータ3は円盤状ロータ
や円筒状ロータに限られるものではなく、帯面に対し直
交する方向に気体通過させる無端帯状のロータであって
もよく、この無端帯状の吸着ロータを用いるロータ式除
湿装置において請求項1〜3に係る発明の構成を採用す
るようにしてもよい。
【0034】再生用高温気体HAは、高温空気、高温水
蒸気、燃焼ガスなど、吸着剤層Xから吸着水分を脱着さ
せ得るものであれば、どのような高温気体であってもよ
く、また、パージ用気体PAについても、予除湿後の空
気OA′の一部に限らず、主除湿後の空気OA″の一部
やその他の気体など、再生後の吸着剤層Xに対する掃気
・冷却処理を行ない得るものであれば、どのような気体
であってもよい。
【0035】前述の実施形態では、予処理域4において
吸着剤層Xに100%外気を通風する全外気方式の例を
示したが、予処理域4での処理対象空気は100%外気
に限られるものでなく、外部からの導入外気OAに対し
ドライルーム1からの排気空気の一部や主除湿後の空気
OA″の一部あるいは予除湿後の空気OA′の一部を混
合した空気などを予処理域4において予除湿するように
してもよい。
【0036】また、主処理域7での主除湿についても、
前述の実施形態の如く予除湿後の空気OA′のみを主処
理域7で主除湿するのに代え、予除湿後の空気OA′に
対しドライルーム1からの排気空気の一部や主除湿後の
空気OA″の一部を混合した空気を主処理域7において
主除湿するようにしてもよい。
【0037】主除湿後の低湿空気OA″の用途、ならび
に、主除湿後の低湿空気OA″を供給する低湿化対象域
1の用途は、どのようなものであってもよく、本発明に
よるロータ式除湿装置は各種分野において種々の用途に
使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】装置の全体構成を示す図
【図2】吸着ロータ部分の斜視図
【図3】別実施形態を示す吸着ロータ部分の斜視図
【図4】従来装置の全体構成を示す図
【図5】従来装置における吸着ロータ部分の斜視図
【符号の説明】
3 吸着ロータ 4 予処理域 5 再生域 6 パージ域 7 主処理域 HA 再生用高温気体 OA 空気 OA′ 予除湿後の空気 PA パージ用気体 X 吸着剤層

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸着剤層をロータ回転方向に連続的に配
    置した吸着ロータの回転経路に、 空気を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤層に通風
    してその空気を予除湿する予処理域と、 再生用高温気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着
    剤層に通風してその吸着剤層を再生する再生域と、 パージ用気体を域内通過過程にあるロータ部分の吸着剤
    層に通風してその吸着剤層をパージするパージ域と、 前記予処理域を通過した予除湿後の空気を域内通過過程
    にあるロータ部分の吸着剤層に通風してその予除湿後の
    空気を主除湿する主処理域とを、 その順にロータ回転方向に並べて配置してあるロータ式
    除湿装置であって、 前記予処理域での吸着剤層に対する空気の通風向きと、
    前記主処理域での吸着剤層に対する空気の通風向きとを
    互いに逆向きにしてあるロータ式除湿装置。
  2. 【請求項2】 前記予処理域での吸着剤層に対する空気
    の通風向きと、前記再生域での吸着剤層に対する再生用
    高温気体の通風向きとを互いに逆向きにしてある請求項
    1記載のロータ式除湿装置。
  3. 【請求項3】 前記パージ域での吸着剤層に対するパー
    ジ用気体の通風向きと、前記主処理域での吸着剤層に対
    する空気の通風向きとを同じ向きにしてある請求項1又
    は2記載のロータ式除湿装置。
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