JP2003142551A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2003142551A5
JP2003142551A5 JP2001338158A JP2001338158A JP2003142551A5 JP 2003142551 A5 JP2003142551 A5 JP 2003142551A5 JP 2001338158 A JP2001338158 A JP 2001338158A JP 2001338158 A JP2001338158 A JP 2001338158A JP 2003142551 A5 JP2003142551 A5 JP 2003142551A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
sealed container
adapter
detecting
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001338158A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2003142551A (ja
JP4082652B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2001338158A priority Critical patent/JP4082652B2/ja
Priority claimed from JP2001338158A external-priority patent/JP4082652B2/ja
Publication of JP2003142551A publication Critical patent/JP2003142551A/ja
Publication of JP2003142551A5 publication Critical patent/JP2003142551A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4082652B2 publication Critical patent/JP4082652B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2001338158A 2001-11-02 2001-11-02 載置装置 Expired - Lifetime JP4082652B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001338158A JP4082652B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 載置装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001338158A JP4082652B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 載置装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003142551A JP2003142551A (ja) 2003-05-16
JP2003142551A5 true JP2003142551A5 (enExample) 2005-06-16
JP4082652B2 JP4082652B2 (ja) 2008-04-30

Family

ID=19152693

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001338158A Expired - Lifetime JP4082652B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 載置装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4082652B2 (enExample)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4299111B2 (ja) * 2003-11-18 2009-07-22 株式会社ディスコ 研削装置
JPWO2006051577A1 (ja) * 2004-11-09 2008-08-07 株式会社ライト製作所 ロードポート及びアダプタ
JP4848916B2 (ja) * 2006-10-02 2011-12-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 クランプ機構
JP5211808B2 (ja) * 2008-04-01 2013-06-12 株式会社安川電機 ロードポートおよびそれを備えた半導体製造装置
JP5168329B2 (ja) * 2010-08-31 2013-03-21 Ｔｄｋ株式会社 ロードポート装置
JP5621450B2 (ja) * 2010-09-17 2014-11-12 シンフォニアテクノロジー株式会社 カセットアダプタ、及びアダプタ本体ロック装置
JP5621451B2 (ja) * 2010-09-17 2014-11-12 シンフォニアテクノロジー株式会社 カセットアダプタ、及び着座センサ機構
TWI538084B (zh) * 2010-09-17 2016-06-11 昕芙旎雅股份有限公司 卡匣轉接器
DE102011006765B4 (de) 2011-04-05 2023-10-26 Brooks Automation (Germany) Gmbh Adaptervorrichtung für Load Ports
KR101295152B1 (ko) * 2011-06-30 2013-08-09 (주)둔포기계 기판 반출입 시스템
JP6024433B2 (ja) * 2012-12-10 2016-11-16 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理システム及び搬送容器の異常検出方法
JP6212292B2 (ja) * 2013-06-11 2017-10-11 リンテック株式会社 ロードポート
JP5920302B2 (ja) * 2013-09-24 2016-05-18 村田機械株式会社 自動倉庫
US9991144B2 (en) 2013-09-30 2018-06-05 Murata Machinery, Ltd. Storage warehouse
JP6052308B2 (ja) * 2015-01-06 2016-12-27 シンフォニアテクノロジー株式会社 カセットアダプタ及びロードポート
JP2018107312A (ja) * 2016-12-27 2018-07-05 株式会社ディスコ 加工装置
JP6792457B2 (ja) * 2017-01-06 2020-11-25 株式会社ディスコ カセットステージ
JP6686914B2 (ja) * 2017-01-12 2020-04-22 株式会社ダイフク 物品保管設備
US11769682B2 (en) * 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
KR20200043753A (ko) 2018-10-18 2020-04-28 주식회사 서플러스글로벌 로드포트 어댑터
JP6853396B2 (ja) * 2019-03-29 2021-03-31 平田機工株式会社 ロードポート
US11094570B2 (en) * 2019-03-29 2021-08-17 Hirata Corporation Load port having movable member that abuts a pin
CN115298810A (zh) * 2020-03-17 2022-11-04 日本电产理德股份有限公司 晶圆装卸机用配接器
KR102200250B1 (ko) * 2020-05-29 2021-01-11 주식회사 싸이맥스 풉 로드락 도어가 구비된 로드포트모듈 및 로드포트모듈 도어와 풉 로드락 도어의 개폐방법
JP7594389B2 (ja) * 2020-09-03 2024-12-04 株式会社日立ハイテク 搬送システム
KR102707578B1 (ko) * 2022-05-26 2024-09-19 세메스 주식회사 물품 보관 장치 및 물품 보관 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3662372B2 (ja) * 1996-11-07 2005-06-22 大日本スクリーン製造株式会社 キャリア載置台
JPH1167863A (ja) * 1997-08-22 1999-03-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板収納容器搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
TW460035U (en) * 2000-09-08 2001-10-11 Ind Tech Res Inst Automatic front-opening load-in device for wafer box

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003142551A5 (enExample)
CA2261400A1 (en) Waste storage device
RU2007118685A (ru) Диспенсер датчиков и механизм для извлечения датчика
WO2005002728A3 (de) Vorrichtung zum automatischen öffnen und schliessen von reaktionsgefässen
US8313017B2 (en) Sealed enclosure for the decontamination of a medical apparatus
TW201106095A (en) Purging apparatus and purging method
KR960020975A (ko) 고형제제충전장치
DE60118634D1 (de) Biodatenschnittstellensystem
JP2003245408A5 (enExample)
CA2493658A1 (en) Dispensing apparatus for plastic bags
EP1557384A3 (en) A printable media cassette
JP2009252780A5 (enExample)
ATE254074T1 (de) Originalitätsvorrichtung für einen behälter
FR2796541B1 (fr) Dispositif de fermeture/ouverture pour un autocuiseur a couvercle rentrant
FR2863258B1 (fr) Dispositif pour ouvrir et eventuellement fermer un conditionnement
DE602006005000D1 (de) Verschlussmechanismus für eine brühvorrichtung
PL377253A1 (pl) Urządzenie uszczelniające dla otworu pojemnika
DE50307719D1 (de) Kassette für eine Speicherleuchtstoffplatte
CN210677697U (zh) 装配设备
FR2849004B1 (fr) Dispositif de remplissage d'un espace de stockage de dechets, notamment de dechets contenus dans des sacs
JPH11132356A5 (ja) 基板処理装置
JP3218917U (ja) ゴミ箱
CN220333568U (zh) 一种存储柜
TW200607720A (en) Box for receiving sheet-like articles
KR100802309B1 (ko) 포토레지스트의 배출방지장치