KR20200043753A - 로드포트 어댑터 - Google Patents

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KR20200043753A
KR20200043753A KR1020180124553A KR20180124553A KR20200043753A KR 20200043753 A KR20200043753 A KR 20200043753A KR 1020180124553 A KR1020180124553 A KR 1020180124553A KR 20180124553 A KR20180124553 A KR 20180124553A KR 20200043753 A KR20200043753 A KR 20200043753A
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김정웅
우범승
이승훈
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주식회사 서플러스글로벌
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Abstract

본 발명은 대형 웨이퍼용 캐리어가 장착되는 대형 웨이퍼용 로드포트에, 대형 웨이퍼용 캐리어 대신 소형 웨이퍼용 캐리어를 장착시키기 위하여, 소형 웨이퍼용 캐리어와 대형 웨이퍼용 로드포트 사이에 구비되는 로드포트 어댑터에 관한 것으로서, 특히, 도어개폐장치를 구비한 대형 웨이퍼용 로드포트에서도 소형 웨이퍼용 캐리어를 호환시킬 수 있는 로드포트 어댑터에 관한 것이다.

Description

로드포트 어댑터{LOADPORT ADAPTER}
본 발명은 대형 웨이퍼용 캐리어가 장착되는 대형 웨이퍼용 로드포트에, 대형 웨이퍼용 캐리어 대신 소형 웨이퍼용 캐리어를 장착시키기 위하여, 소형 웨이퍼용 캐리어와 대형 웨이퍼용 로드포트 사이에 구비되는 로드포트 어댑터에 관한 것이다.
로드포트(Loadport)는 웨이퍼의 이송이 행해지는 EFEM(Equipment Front End Module)의 전면에 접속되며, 로드포트에 장착되는 웨이퍼용 캐리어(Carrier)를 지지하는 기능을 한다.
웨이퍼용 캐리어의 내부에는 웨이퍼가 수납되며, EFEM은 로봇암을 통해 웨이퍼용 캐리어에 수납된 웨이퍼를 여러 공정 챔버 등으로 이송하게 된다.
웨이퍼는 200㎜이하의 소형 웨이퍼와, 300㎜이상의 대형 웨이퍼로 구분될 수 있으며, 반도체의 고집적화에 따라 소형 웨이퍼에서 대형 웨이퍼로 그 주류가 바뀌게 되었다.
200㎜이하의 소형 웨이퍼는 소형 웨이퍼용 캐리어에 수납되며, 소형 웨이퍼용 캐리어의 일례로는 오픈형 웨이퍼 카세트(Cassette)가 있다. 300㎜이상의 대형 웨이퍼는 대형 웨이퍼용 캐리어에 수납되며, 대형 웨이퍼용 캐리어의 일례로는 밀폐형 풉(FOUP, Front Opening Unified Pod)이 있다.
위와 같이, 웨이퍼의 크기에 맞게 소형 웨이퍼용 캐리어 및 대형 웨이퍼용 캐리어가 구분되고, 로드포트 또한, 소형 웨이퍼용 캐리어가 장착되는 소형 웨이퍼용 로드포트와 대형 웨이퍼용 캐리어가 장착되는 대형 웨이퍼용 로드포트로 구분될 수 있다.
근래의 반도체 시장에서 300㎜ 이상의 대형 웨이퍼의 사용이 주류를 이루게 됨에 따라, 기존의 소형 웨이퍼용 로드포트의 공급이 줄어들게 되었으며, 이로 인해, 아직 200㎜ 이하의 소형 웨이퍼를 사용하는 분야에서는 대형 웨이퍼용 로드포트를 개조하여 소형 웨이퍼용 로드포트로 사용하고 있는 실정이다.
그러나, 대형 웨이퍼용 로드포트를 소형 웨이퍼용 로드포트로 개조하는 것은 비용 측면에서도 부담이 될 뿐만 아니라, 로드포트, EFEM, 웨이퍼 캐리어와의 동기화 측면에서도 많은 문제점이 발생한다.
위와 같은 문제점을 해결하기 위해, 대형 웨이퍼용 로드포트에 소형 웨이퍼용 캐리어를 로딩시키는 장치들의 개발이 진행되었으며, 이러한 장치로는 일본등록특허 제3662372호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)와, 일본등록특허 제4082652호(이하, '특허문헌 2'라 한다)와, 한국공개특허 제10-2007-0083832호(이하, '특허문헌 3'이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.
특허문헌 1의 캐리어 재치대는 베이스 플레이트에 어태치먼트 트레이를 설치하고, 어태치먼트에 구비되는 위치 결정 플레이트에 200㎜이하의 소형 웨이퍼용 캐리어(웨이퍼 카세트)가 로딩됨으로써, 대형 웨이퍼용 로드포트에 웨이퍼 카세트를 로딩시킬 수 있다.
특허문헌 2의 어댑터는 대형 웨이퍼용 로드포트의 재치 플레이트에 착탈가능하게 구비되고, 이러한 재치 플레이트에 200㎜이하의 소형 웨이퍼용 캐리어(웨이퍼용 오픈 카세트)가 로딩됨으로써, 대형 웨이퍼용 로드포트에 오픈 카세트를 로딩시킬 수 있다.
특허문헌 3의 어댑터는 어댑터가 대형 웨이퍼용 로드포트의 재치대와, 200㎜ 이하의 소형 웨이퍼용 캐리어 사이에 배치되어, 소형 웨이퍼용 캐리어를 재치대에 간접적으로 재치시킴으로써, 대형 웨이퍼용 로드포트에 소형 웨이퍼용 캐리어를 로딩시킬 수 있다.
그러나, 전술한 특허문헌 1 내지 특허문헌 3의 어댑터 등은 웨이퍼 캐리어의 도어를 개방 및 폐쇄하는 도어개폐장치를 구비한 대형 웨이퍼용 로드포트에는 사용될 수 없는 문제점이 있다.
상세하게 설명하면, 최근 사용되는 대형 웨이퍼용 로드포트는 웨이퍼 캐리어가 대형 웨이퍼용 로드포트에 장착된 후, 웨이퍼의 이송을 수행하기 위해 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 웨이퍼 캐리어의 도어를 자동적으로 개방한다.
이처럼 도어개폐장치가 웨이퍼 캐리어의 도어를 개방할 때, 대형 웨이퍼용 로드포트는 웨이퍼 캐리어의 도어 개방여부를 인지하며, 도어 개방이 이루어진 후, EFEM의 로봇암이 풉에 수납된 웨이퍼를 이송시키게 된다.
그러나, 전술한 특허문헌 1 내지 특허문헌 3의 어댑터 등은 도어가 구비되지 않고, 단순히 200㎜이하의 소형 웨이퍼용 캐리어를 대형 웨이퍼용 로드포트에 장착시키기 위한 것이다. 따라서, 도어개폐장치가 구비된 대형 웨이퍼용 로드포트에 상기 어댑터 등을 사용하게 되면 도어개폐장치가 도어 개방을 수행할 수 없으므로, EFEM의 로봇암이 소형 웨이퍼용 캐리어에 수납된 소형 웨이퍼를 이송시키지 못하는 문제점이 발생한다.
일본등록특허 제3662372호 일본등록특허 제4082652호 한국공개특허 제10-2007-0083832호
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 도어개폐장치를 구비한 대형 웨이퍼용 로드포트에서도 소형 웨이퍼용 캐리어를 호환시킬 수 있는 로드포트 어댑터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 특징에 따른 로드포트 어댑터는, 소형 웨이퍼용 캐리어를 대형 웨이퍼용 로드포트에 장착시키기 위하여 상기 소형 웨이퍼용 캐리어와 상기 대형 웨이퍼용 로드포트 사이에 구비되는 로드포트 어댑터에 있어서, 상기 로드포트 어댑터의 바닥면을 이루는 베이스부; 및 상기 베이스부의 전방에 구비되어, 상기 로드포트 어댑터의 전방면을 이루는 도어부;를 포함하되, 상기 베이스부는, 베이스플레이트; 상기 베이스플레이트의 하면에서 하부 방향으로 돌출되게 구비되며, 상기 로드포트 어댑터가 상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 지지플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 지지플레이트에 구비된 로드포트센서에 접촉되어 상기 대형 웨이퍼용 로드포트에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식하도록 하는 돌출블록; 상기 로드포트 어댑터가 상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 지지플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 지지플레이트에 구비된 위치결정핀이 삽입되도록 상기 돌출불록에 구비되는 핀구멍; 및 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 안착될 수 있도록 상기 베이스플레이트의 상면에 구비되는 안착부;를 포함하고, 상기 도어부는, 중앙에 개구부가 구비된 도어프레임; 상기 개구부를 밀폐하는 도어; 및 상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치와 상호연동되어 상기 도어프레임과 상기 도어를 결속시키거나 상기 도어프레임과 상기 도어의 결속을 해제하는 락킹부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 락킹부는, 상기 도어개폐장치와 연동되어 회전하는 회전판; 상기 도어의 상부와 상기 도어프레임의 상부를 결속시키는 제1락킹블록; 그 상부가 상기 제1락킹블록과 연결되고, 그 하부가 상기 회전판에 연결되어 상기 회전판의 회전에 의해 상기 제1락킹블록을 하부로 슬라이드 시키는 제1링크부; 상기 도어의 하부와 상기 도어프레임의 하부를 결속시키는 제2락킹블록; 및 그 하부가 상기 제2락킹블록과 연결되고, 그 상부가 상기 회전판에 연결되어 상기 회전판의 회전에 의해 상기 제2락킹블록을 상부로 슬라이드 시키는 제2링크부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스플레이트를 승하강시키는 승하강부;를 더 포함하되, 상기 승하강부는, 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착되었는지 여부를 센싱하는 안착센서; 및 상기 안착센서에 의해 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착된 것이 센싱되면 상기 돌출블록이 상기 로드포트센서에 접촉될 때까지 상기 베이스플레이트를 하강시키고, 상기 안착센서에 의해 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착되지 않은 것이 센싱되면 상기 돌출블록과 상기 로드포트센서의 접촉이 해제될 때까지 상기 베이스플레이트를 상승시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 로드포트 어댑터의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면을 이루며, 상기 로드포트 어댑터의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 어느 한면을 개방하도록 상기 도어프레임에 개폐가능하게 설치되는 개폐커버;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 로드포트 어댑터에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
종래의 어댑터와 달리, 별도의 개조나 알고리즘 변경 등을 수행하지 않더라도 도어개폐장치를 갖는 대형 웨이퍼용 로드포트에서도 소형 웨이퍼용 캐리어를 장착시켜 사용할 수 있으므로, 높은 호환성이 보장된다.
승하강부가 소형 웨이퍼용 캐리어의 안착여부에 따라, 베이스플레이트를 승하강시킴으로써, 소형 웨이퍼 이송 알고리즘 사이클이 완료된 후에 별도로 베이스플레이트를 들어올리는 번거로운 작업을 피할 수 있다.
고정부가 소형 웨이퍼용 캐리어를 고정시킬 수 있으므로, 소형 웨이퍼용 캐리어의 정확한 위치의 안착이 보장되며, 이를 통해, 로봇암이 소형 웨이퍼를 이송시 위치 오차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
로드포트 어댑터에 개폐커버를 구비함으로써, 소형 웨이퍼용 캐리어를 선택적으로 외부 환경으로부터 차단할 수 있음과 동시에, 소형 웨이퍼용 캐리어를 로드포트 어댑터로부터 쉽게 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터에 소형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것을 도시한 사시도.
도 2 및 도 3은 도 1의 분리 사시도.
도 4는 도 1의 로드포트 어댑터의 안착플레이트의 하면을 도시한 저면도.
도 5는 도 1의 로드포트 어댑터의 도어를 도시한 정면도.
도 6a 내지 도 6d는 대형 웨이퍼용 로드포트에 로드포트 어댑터를 장착하고, 로드포트 어댑터에 소형 웨이퍼용 캐리어를 안착시키는 것을 도시한 작동 상태도.
도 7a 내지 도 7c는 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 로드포트 어댑터의 도어를 개방하는 것을 도시한 작동상태도.
도 8a는 본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터의 사시도.
도 8b는 본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터의 개폐커버가 열리는 것을 도시한 사시도.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 사시도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다.
본 발명의 설명에 들어가기에 앞서, 다음과 같은 사항을 전제한다.
소형 웨이퍼용 캐리어(C)에는 200㎜ 이하의 크기를 갖는 소형 웨이퍼가 수납된다. 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 일반적으로 300㎜ 이상의 크기를 갖는 대형 웨이퍼가 수납되는 대형 웨이퍼용 캐리어(미도시)가 장착되는 것이나, 본 발명에서는 로드포트 어댑터(10)에 의해 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 장착된다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 EFEM(도 7a 내지 도 7c의 700)의 일측에 접속된다. EFEM(700)은 로봇암(미도시)을 통해 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 장착된 소형 웨이퍼용 캐리어(C)에서 웨이퍼를 꺼내, EFEM(700)에 접속된 다른 공정챔버에 상기 웨이퍼를 이송시키는 기능을 한다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 본체(501)에 도어개폐장치(530)가 구비되며, 본체(501)의 상부에는 지지플레이트(510)가 구비된다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 구비되는 도어개폐장치(530)는 일반적으로 대형 웨이퍼용 캐리어(미도시)의 도어와 상호연동되어 상기 도어를 개방 또는 폐쇄시키는 기능을 하나, 본 발명에서는 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)를 개방 또는 폐쇄시키는 기능을 한다.
본 발명에서는 로봇암이 소형 웨이퍼용 캐리어(C)에 수납된 소형 웨이퍼를 꺼내 이송시키므로, 웨이퍼를 소형 웨이퍼로 통일하여 기재한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)
이하, 도 1 내지 도 7c를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터에 소형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것을 도시한 사시도이고, 도 2 및 도 3은 도 1의 분리 사시도이고, 도 4는 도 1의 로드포트 어댑터의 안착플레이트의 하면을 도시한 저면도이고, 도 5는 도 1의 로드포트 어댑터의 도어를 도시한 정면도이고, 도 6a 내지 도 6d는 대형 웨이퍼용 로드포트에 로드포트 어댑터를 장착하고, 로드포트 어댑터에 소형 웨이퍼용 캐리어를 안착시키는 것을 도시한 작동 상태도이고, 도 7a 내지 도 7c는 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 로드포트 어댑터의 도어를 개방하는 것을 도시한 작동상태도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)는, 도 6a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 장착시키기 위하여 소형 웨이퍼용 캐리어(C)와 대형 웨이퍼용 로드포트(500) 사이에 구비되는 장치이다.
도 1 내지 도 3, 도 6a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)는, 로드포트 어댑터(10)의 바닥면을 이루는 베이스부(100)와, 베이스부(100)의 전방에 구비되어, 로드포트 어댑터(10)의 전방면을 이루는 도어부(200)와, 베이스플레이트(110)를 승하강시키는 승하강부(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
이하, 베이스부(100)에 대해 설명한다.
베이스부(100)는 로드포트 어댑터(10)의 바닥면을 이룬다.
또한, 베이스부(100)는, 도 1 내지 도 4, 도 6a 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 베이스플레이트(110)와, 베이스플레이트(110)의 하면에서 하부 방향으로 돌출되게 구비되며, 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 지지플레이트(510)에 구비된 로드포트센서(513)에 접촉되어 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식하도록 하는 돌출블록(130)과, 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 지지플레이트(510)에 구비된 위치결정핀(511)이 삽입되도록 돌출블록(130)에 구비되는 핀구멍(150)과, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착될 수 있도록 베이스플레이트(110)의 상면에 구비되는 안착부(170)를 포함하여 구성될 수 있다.
베이스플레이트(110)는 로드포트 어댑터(10)의 바닥면을 이루는 부분이다.
돌출블록(130)은 베이스플레이트(110)의 하면에서 하부 방향으로 돌출되게 구비된다.
후술할 승하강부(300)에 의해 베이스부(100)가 하강된 상태에서, 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 돌출블록(130)의 하면은 지지플레이트(510)의 상면과 접촉하게 된다.
지지플레이트(510)의 상면에는 로드포트센서(513)가 구비되며, 이로 인해, 승하강부(300)에 의해 베이스부(100)가 하강된 상태에서 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 돌출블록(130)은 지지플레이트(510)의 상면에 구비된 로드포트센서(513)에 접촉되어 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식하도록 하는 기능을 한다.
핀구멍(150)은 돌출블록(130)에 하부 방향으로 개구된 형상을 갖도록 구비된다.
핀구멍(150)은 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 지지플레이트(510)의 상면에서 상부 방향으로 돌출되도록 구비된 위치결정핀(511)이 삽입될 수 있도록 하는 기능을 한다.
전술한 돌출블록(130)은 지지플레이트(510)의 상면에 구비된 로드포트센서(513)의 갯수와 동일한 갯수를 갖도록 복수개가 구비될 수 있으며, 그 위치 또한, 서로 대응되는 위치에 위치할 수 있다.
또한, 전술한 핀구멍(150)은 지지플레이트(510)의 상면에 구비된 위치결정핀(511)의 갯수와 동일한 갯수를 갖도록 복수개가 구비될 수 있으며, 그 위치 또한, 서로 대응되는 위치에 위치할 수 있다.
본 발명에서는 일례로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스플레이트(110)의 하면에 3개의 돌출블록(130)이 구비되고, 3개의 돌출블록(130) 각각에 1개의 핀구멍(150)이 구비되어, 총 3개의 핀구멍(150)이 구비되어 있다. 이러한 3개의 돌출블록(130) 및 3개의 핀구멍(150)은 도 6a에 도시된 바와 같이, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 구비된 3개의 위치결정핀(511) 및 3개의 로드포트센서(513)에 대응하기 위함이다.
위와 같은 구성에 따라, 승하강부(300)에 의해 베이스부(100)가 하강된 상태에서 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 3개의 핀구멍(150) 각각에는 3개의 위치결정핀(511) 각각이 삽입되어 로드포트 어댑터(10)의 안착 위치가 결정이 되며, 3개의 돌출블록(130) 각각의 하면이 3개의 로드포트센서(513) 각각에 접촉함으로써, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식될 수 있다.
안착부(170)는 베이스플레이트(110)의 상면에 구비되며, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 베이스플레이트(110)의 상면에 안착되는 부분이다.
이러한 안착부(170)는 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부 형상과 대응되는 형상을 갖는 홈 형상으로 이루어질 수 있다.
다시 말해, 베이스플레이트(110)의 상면에 홈 형상의 안착부(170)가 형성되고, 안착부(170)의 홈 형상은 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부 형상과 대응되는 형상을 갖을 수 있는 것이다.
위와 같은 안착부(170)는 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 베이스플레이트(110)의 상면에 안착시, 홈 형상에 의해 형성된 단턱이 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부에 밀착됨으로써, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 고정될 수 있다.
베이스플레이트(110)의 상면 또는 후술할 지지부(310)의 상면에는 고정부(190)가 구비될 수 있다.
고정부(190)는 안착부(170)의 좌, 우측 각각에 구비되며, 좌측에 구비된 고정부(190)는 고정블록(191)을 우측으로 이동시켜 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부 좌측을 고정시키고, 우측에 구비된 고정부(190)는 고정블록(191)을 좌측으로 이동시켜 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부 우측을 고정시킬 수 있다.다시 말해, 고정부(190)는 고정블록(191)을 좌, 우측(즉, 내측)으로 이동시킴으로써, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하부의 좌, 우측을 고정시킬 수 있는 것이다.
이러한 고정부(190)의 고정블록(191)의 이동은 에어실린더 구성으로 이루어질 수 있다.
또한, 고정부(190)는 안착센서(330)에 연동되어 작동할 수 있다.
상세하게 설명하면, 안착센서(330)가 안착부(170)에 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착된 것을 센싱하면, 고정부(190)에 'ON' 신호를 송신하게 되고, 'ON' 신호를 수신받은 고정부(190)는 고정블록(191)을 이동시켜, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 고정시킬 수 있다.
또한, 안착센서(330)가 안착부(170)에 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착되지 않은 것을 센싱하면, 고정부(190)에 'OFF' 신호를 송신하게 되고, 'OFF' 신호를 수신받은 고정부(190)는 고정블록(191)을 이동시켜, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 고정을 해제시킬 수 있다.
위와 같이, 고정부(190)가 구비됨에 따라, 안착부(170)에 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착될 때, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 정확한 위치의 안착이 보장될 수 있으며, 이를 통해, EFEM(700)의 로봇암을 통해, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)에 수납된 소형 웨이퍼를 위치 오차 없이 꺼내 이송시킬 수 있다.
이하, 도어부(200)에 대해 설명한다.
도어부(200)는 베이스부(100)의 전방에 구비되며, 로드포트 어댑터(10)의 전방면을 이룬다.
또한, 도어부(200)는, 도 1 내지 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 중앙에 개구부(211)가 구비된 도어프레임(210)과, 개구부(211)를 밀폐하는 도어(230)와, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)와 상호연동되어 도어프레임(210)과 도어(230)를 결속시키거나 도어프레임(210)과 도어(230)의 결속을 해제하는 락킹부(250)를 포함하여 구성될 수 있다.
도어프레임(210)은 베이스플레이트(110)의 전방에 연장되어 구비되며, 그 중앙에 개구부(211)가 구비되어 있다.
개구부(211)는 로드포트 어댑터(10)의 전후 방향으로 개구된 형상을 갖고 있다.
도어프레임(210)의 상부에는 하부 방향으로 개구된 2개의 상부락킹홈(미도시)이 구비되며, 도어프레임(210)의 하부에는 상부 방향으로 개구된 2개의 하부락킹홈(213)(미도시)이 구비된다.
2개의 상부락킹홈 각각에는 후술할 락킹부(250)의 제1락킹블록(252)이 삽입되며, 2개의 하부락킹홈(213) 각각에는 후술할 락킹부(250)의 제2락킹블록(253)이 삽입된다.
도어(230)는 도어프레임(210)의 개구부(211)를 밀폐할 수 있도록 도어프레임(210)에 탈착가능하게 설치된다.
이 경우, 도어(230)는 개구부(211)의 면적과 동일한 면적을 갖으며, 도어(230)의 형상은 개구부(211)의 형상과 대응되는 형상을 갖는다.
도어(230)의 양측에는 락킹부(250)가 위치하는 도어홈부(231)가 형성된다.
도어(230)의 상부에는 2개의 상부락킹구멍(미도시)이 구비되며, 도어(230)의 하부에는 2개의 하부락킹구멍(미도시)이 구비된다.
2개의 상부락킹구멍 각각은 후술할 락킹부(250)의 제1락킹블록(252)이 슬라이드되는 통로 기능을 하며, 2개의 하부락킹구멍 각각은 후술할 락킹부(250)의 제2락킹블록(253)이 슬라이드되는 통로 기능을 한다.
락킹부(250)에 의해 도어(230)가 도어프레임(210)에 결속될 때, 상부락킹홈 및 상부락킹구멍의 위치와, 하부락킹홈(213) 및 하부락킹구멍의 위치는 상호 대응되는 위치에 위치하도록 각각 도어프레임(210) 및 도어(230)에 형성되어 구비될 수 있다.
락킹부(250)는 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)와 상호연동되어 도어프레임(210)과 도어(230)를 결속시키거나 도어프레임(210)과 도어(230)의 결속을 해제하는 기능을 한다.
락킹부(250)는 도 5에 도시된 바와 같이, 도어(230)의 양측에 형성된 도어홈부(231)에 각각 구비되며, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)와 연동되어 회전하는 회전판(251)과, 도어(230)의 상부락킹구멍 및 도어프레임(210)의 상부락킹홈에 끼워져 도어(230)의 상부와 도어프레임(210)의 상부를 결속시키는 제1락킹블록(252)과, 상부가 제1락킹블록(252)과 연결되고, 하부가 회전판(251)에 연결되어 회전판(251)의 회전에 의해 제1락킹블록(252)을 하부로 슬라이드 시키는 제1링크부(254)와, 도어(230)의 하부락킹구멍 및 도어프레임(210)의 하부락킹홈(213)에 끼워져 도어(230)의 하부와 도어프레임(210)의 하부를 결속시키는 제2락킹블록(253)과, 하부가 제2락킹블록(253)과 연결되고, 상부가 회전판(251)에 연결되어 회전판(251)의 회전에 의해 제2락킹블록(253)을 상부로 슬라이드 시키는 제2링크부(255)를 포함하여 구성될 수 있다.
회전판(251)은 중앙에 도어개폐장치(530)의 연동부(미도시)가 삽입되는 연동구멍(261)이 구비되며, 연동구멍(261) 주위에는 제1링크부(254)의 하부에 형성되는 제1돌출핀(264)이 삽입되는 제1호형구멍(262)과, 제2링크부(255)의 상부에 형성되는 제2돌출핀(265)이 삽입되는 제2호형구멍(263)이 구비된다.
제1락킹블록(252)은 제1링크부(254)의 상부와 연결되며, 도어(230)의 상부락킹구멍 및 도어프레임(210)의 상부락킹홈에 끼워져 도어(230)의 상부와 도어프레임(210)의 상부를 결속시키는 기능을 한다. 이러한 제1락킹블록(252)은 제1링크부(254)의 제1돌출핀(264)이 하부로 이동함에 따라, 하부로 슬라이드된다.
제1링크부(254)는 하부에 형성된 제1돌출핀(264)에 의해 그 하부가 회전판(251)에 연결되고, 제1링크부(254)의 상부는 제1락킹블록(252)과 연결되어 있다.
이러한 제1링크부(254)는 회전판(251)의 회전에 의해 제1돌출핀(264)이 제1호형구멍(262)을 따라 하부로 이동되면, 제1락킹블록(252)을 하부로 슬라이드 시킴으로써, 도어(230)의 상부와 도어프레임(210)의 상부의 결속을 해제시키는 기능을 한다.
상세하게 설명하면, 제1락킹블록(252)이 도 5에 도시된 바와 같이 도어(230)의 상부 바깥쪽으로 돌출된 상태일 경우, 제1락킹블록(252)의 상부 중 일부가 도어프레임(210)의 상부락킹홈에 삽입됨으로써, 도어(230)의 상부와 도어프레임(210)의 상부의 결속시키는 잠금상태가 된다. 또한, 제1락킹블록(252)이 제1링크부(254)에 의해 하부로 슬라이드 되어 도어(230)의 상부 바깥쪽으로 돌출되지 않은 상태일 경우, 제1락킹블록(252)의 상부 중 일부가 도어프레임(210)의 상부락킹홈에 삽입되지 않음으로써, 도어(230)의 상부와 도어프레임(210)의 상부의 결속을 해제하는 잠금해제상태가 되는 것이다.
제2락킹블록(253)은 제2링크부(255)의 하부와 연결되며, 도어(230)의 하부락킹구멍 및 도어프레임(210)의 하부락킹홈(213)에 끼워져 도어(230)의 하부와 도어프레임(210)의 하부를 결속시키는 기능을 한다. 이러한 제2락킹블록(253)은 제2링크부(255)의 제2돌출핀(265)이 상부로 이동함에 따라, 상부로 슬라이드된다.
제2링크부(255)는 상부에 형성된 제2돌출핀(265)에 의해 그 상부가 회전판(251)에 연결되고, 제2링크부(255)의 하부는 제2락킹블록(253)과 연결되어 있다.
이러한 제2링크부(255)는 회전판(251)의 회전에 의해 제2돌출핀(265)이 제2호형구멍(263)을 따라 상부로 이동되면, 제1락킹블록(252)을 상부로 슬라이드 시킴으로써, 도어(230)의 하부와 도어프레임(210)의 하부의 결속을 해제시키는 기능을 한다.
상세하게 설명하면, 제2락킹블록(253)이 도 5에 도시된 바와 같이 도어(230)의 하부 바깥쪽으로 돌출된 상태일 경우, 제2락킹블록(253)의 하부 중 일부가 도어프레임(210)의 하부락킹홈(213)에 삽입됨으로써, 도어(230)의 하부와 도어프레임(210)의 하부의 결속시키는 잠금상태가 된다. 또한, 제2락킹블록(253)이 제2링크부(255)에 의해 상부로 슬라이드 되어 도어(230)의 하부 바깥쪽으로 돌출되지 않은 상태일 경우, 제2락킹블록(253)의 하부 중 일부가 도어프레임(210)의 하부락킹홈(213)에 삽입되지 않음으로써, 도어(230)의 하부와 도어프레임(210)의 하부의 결속을 해제하는 잠금해제상태가 되는 것이다.
전술한 제1링크부(254)의 제1돌출핀(264)의 하부 이동, 제2링크부(255)의 제2돌출핀(265)의 상부 이동 및 이에 따른 제1락킹블록(252)의 하부 슬라이드 이동 및 제2락킹블록(253)의 상부 슬라이드 이동은 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)의 연동부에 의해 이루어지게 되며, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
또한, 제1, 2링크부(254, 255)에는 제1, 2락킹블록(252, 253)의 원활한 슬라이드 이동을 위해, 복수개의 관절이 구비될 수도 있다.
더불어, 락킹부(250)는 도어개폐장치(530)의 연동부에 의해 연동되지 않더라도, 수동으로 회전판(251)을 회전시킴으로써, 도어(230)와 도어프레임(210)의 결속을 해제시킬 수도 있다.
이하, 승하강부(300)에 대해 설명한다.
승하강부(300)는 베이스부(100)의 베이스플레이트(110)를 승하강시키는 기능을 한다.
또한, 승하강부(300)는, 도 1 내지 도 3 및 도 6a 내지 도 6d에 도시된 바와 같이, 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 본체(501)의 상면에 지지되는 지지부(310)와, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되었는지 여부를 센싱하는 안착센서(330)와, 안착센서(330)에 의해 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착된 것이 센싱되면 돌출블록(130)의 하면이 로드포트센서(513)에 접촉될 때까지 베이스플레이트(110)를 하강시키고, 안착센서(330)에 의해 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되지 않은 것이 센싱되면 돌출블록(130)과 로드포트센서(513)의 접촉이 해제될 때까지 베이스플레이트(110)를 상승시키는 구동부(350)를 포함하여 구성될 수 있다.
지지부(310)는 로드포트 어댑터(10)가 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)의 상면에 안착될 때, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 본체(501)의 상면에 접촉되어 지지되는 기능을 한다.
이러한 지지부(310)는 베이스플레이트(110)보다 하부에 위치한다.
지지부(310)에는 구동부(350)가 설치되며, 구동부(350)에 의해 지지부(310)와 베이스플레이트(110)는 상호 연결된다.
안착센서(330)는 안착부(170)에 구비되며, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되었는지 여부를 센싱하는 기능을 한다.
안착센서(330)는 소형 웨이퍼용 캐리어(C)의 하면이 접촉되는지 여부를 통해, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되었는지 여부를 센싱하는 접촉센서일 수 있다.
구동부(350)는 안착센서(330)에 의해 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착된 것이 센싱되면 돌출블록(130)의 하면이 로드포트센서(513)에 접촉될 때까지 베이스플레이트(110)를 하강시키고, 안착센서(330)에 의해 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되지 않은 것이 센싱되면 돌출블록(130)과 로드포트센서(513)의 접촉이 해제될 때까지 베이스플레이트(110)를 상승시키는 기능을 한다.
위와 같은 구성에 따라, 안착센서(330)를 통해, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착된 것이 센싱되면, 안착센서(330)는 'ON' 신호를 구동부(350)에 송신하게 되고, 구동부(350)는 'ON' 신호를 수신받아 돌출블록(130)의 하면이 로드포트센서(513)에 접촉될 때까지 베이스플레이트(110)를 하강시킨다.
안착센서(330)를 통해, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되지 않은 것이 센싱되면, 안착센서(330)는 'OFF' 신호를 구동부(350)에 송신하게 되고, 구동부(350)는 'OFF' 신호를 수신받아 돌출블록(130)과 로드포트센서(513)의 접촉이 해제될 때까지 베이스플레이트(110)를 상승시킨다.
이러한 구동부(350)는, 지지부(310)에 설치되어 베이스플레이트(110)의 승하강을 가이드하는 가이드부(351)와, 구동모터(352)와 구동모터(352)의 피니언 기어에 맞물리는 랙 기어를 구비하고, 베이스플레이트(110)에 연결됨으로써, 구동모터(352)의 구동에 의해 베이스플레이트(110)를 승하강시키는 연결부(353)를 포함하여 구성될 수 있다.
따라서, 전술한 바와 같이, 구동부(350)에 'ON'신호가 수신되면, 구동모터(352)가 구동되어 연결부(353)가 하강되고, 연결부(353)에 연결된 베이스플레이트(110) 또한, 가이드부(351)를 따라 하강함으써, 베이스플레이트(110)의 돌출블록(130)의 하면이 로드포트센서(513)에 접촉될 수 있다.
또한, 구동부(350)에 'OFF'신호가 수신되면, 구동모터(352)가 구동되어 연결부(353)가 상승되고, 연결부(353)에 연결된 베이스플레이트(110) 또한, 가이드부(351)를 따라 상승함으써, 베이스플레이트(110)의 돌출블록(130)의 하면과 로드포트센서(513)에 접촉이 해제될 수 있다.
전술한 설명에서는 구동부(350)가 구동모터(352)에 의해 구동되는 것을 일례로써, 설명하였으나, 구동부(350)는 공압, 유압에 의해 베이스플레이트(110)를 승하강시키는 구성을 갖을 수도 있다.
이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)를 이용하여, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 장착된 소형 웨이퍼용 캐리어(C)에서 소형 웨이퍼를 꺼내기 위한 동작에 대해 설명한다.
먼저, 도 6a 내지 도 6d를 참조하여 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 로드포트 어댑터(10) 및 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 장착시키는 동작에 대해 설명한다.
도 6a는 대형 웨이퍼용 로드포트에 로드포트 어댑터를 장착시키기 전 상태를 도시한 도이고, 도 6b는 대형 웨이퍼용 로드포트에 로드포트 어댑터를 장착시킨 후의 상태를 도시한 도이고, 도 6c 및 도 6d는 로드포트 어댑터에 소형 웨이퍼용 캐리어가 안착되고, 베이스플레이트가 하강한 상태를 도시한 도이다.
도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 로드포트 어댑터(10)를 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 지지플레이트(510)에 올려놓음으로써, 로드포트 어댑터(10)를 지지플레이트(510)에 안착 및 장착시킨다.
도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 안착부(170)에 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착되어 있지 않은 상태에서는 베이스플레이트(110)가 상승되어 있는 상태이다. 따라서, 돌출블록(130)의 하면은 로드포트센서(513)에 접촉되지 않으며, 이로 인해, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 지지플레이트(510)의 상면에 아무것도 안착되어 있지 않는 것으로 인식하게 된다.
이후, 도 6c 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 안착부(170)에 안착시키면, 승하강부(300)의 안착센서(330)가 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되었다는 것을 센싱하게 된다.
따라서, 안착센서(330)가 구동부(350)에 'ON' 신호를 송신하고, 'ON' 신호를 수신받은 구동부(350)는 베이스플레이트(110)를 하강시킨다.
베이스플레이트(110)는 돌출블록(130)의 하면이 로드포트센서(513)에 접촉할 때까지 하강하게 되며, 이로 인해, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 로드포트센서(513)는 지지플레이트(510)에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착되었다고 인식하게 된다.
상세하게 설명하면, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에는 대형 웨이퍼용 캐리어가 아닌 로드포트 어댑터(10)가 안착(또는 장착)되고, 이러한 로드포트 어댑터(10)에 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착(또는 장착)된 것이다. 그러나, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 로드포트센서(513)의 센싱 여부에 따라 대형 웨이퍼용 캐리어의 안착여부를 센싱하는 것뿐이므로, 돌출블록(130)이 로드포트센서(513)에 접촉함에 따라, 마치 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식하게 되는 것이다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)가 로드포트센서(513)에 의해 마치 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착되었다고 인식하면, 제어부(미도시)에 '캐리어안착신호'가 송신된다.
이 경우, 제어부는 대형 웨이퍼용 로드포트(500)와 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 접속된 EFEM(700)의 로봇암을 제어하는 기능을 한다.
캐리어안착신호가 제어부에 수신되면, 제어부는 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)를 개방시키기 위해 도어개폐장치(530)를 작동시킨다.
이하, 도 7a 및 도 7c를 참조하여 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)가 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)를 개방시키는 동작에 대해 설명한다.
도 7a는 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 로드포트 어댑터의 도어에 밀착된 상태를 도시한 도이고, 도 7b는 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 로드포트 어댑터의 도어의 락킹부를 연동시켜 도어를 도어프레임으로부터 탈착시키는 상태를 도시한 도이고, 도 7c는 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치가 하부로 이동하여 소형 웨이퍼 이송을 준비하는 상태를 도시한 도이다.
전술한 바와 같이, 도어개폐장치(530)는 대형 웨이퍼용 로드포트(500)가 마치 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착되었다고 인식한 후, 캐리어안착신호가 제어부에 수신되면 작동한다.
먼저, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)의 이동수단(533) 및 도어개폐장치(530)의 지지프레임(532)이 상승하게 된다. 그 후, 지지프레임(532)은 도어(230) 방향, 즉, 후방으로 슬라이드하게됨으로써, 도 7a에 도시된 바와 같이, 도어개폐장치(530)의 개폐기구(531)가 도어(230)에 밀착된다.
도어(230)에 밀착된 도어개폐장치(530)의 개폐기구(531)에는 락킹부(250)의 회전판(251)의 연동구멍(261)에 삽입되는 연동부(미도시)가 구비되어 있으며, 도어개폐장치(530)의 개폐기구(531)가 도어(230)에 밀착시 연동부는 연동구멍(261)에 삽입된 상태이다.
연동부가 회전하게 되면, 연동구멍(261) 또한 회전하게됨으로써, 도 5에 도시된 제1락킹블록(252)이 하부로 슬라이드 되고, 제2락킹블록(253)이 상부로 슬라이드 된다. 따라서, 전술한 바와 같이, 도어(230)의 상, 하부와 도어프레임(210)의 상, 하부의 결속이 해제된다.
연동부의 회전, 즉, 연동부의 작동에 의해 도어(230)와 도어프레임(210)의 결속이 해제된 후, 지지프레임(532)이 전방으로 슬라이드 되면, 도 7b에 도시된 바와 같이, 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)가 도어프레임(210)으로부터 탈착됨으로써, 로드포트 어댑터(10)의 전방이 개방된다. 그 후, 도 7c에 도시된 바와 같이, 이동수단(533) 및 지지프레임(532)이 하강하게 되면 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 대형 웨이퍼용 캐리어의 도어를 개방한 것으로 인식하게 된다.
상세하게 설명하면, 도어개폐장치(530)는 대형 웨이퍼용 캐리어의 도어가 아닌 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)를 개방한 것이나, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 마치 대형 웨이퍼용 캐리어의 도어를 개방한 것으로 인식하게되는 것이다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)가 마치 대형 웨이퍼용 캐리어의 도어를 개방한 것으로 인식하면, 제어부에 '도어개방완료신호'가 송신된다.
도어개방완료신호가 제어부에 수신되면, 제어부는 EFEM(700)의 로봇암을 작동시켜 소형 웨이퍼를 소형 웨이퍼용 캐리어(C)로부터 이송시키게 된다.
다시 말해, 도 7c에 도시된 바와 같이, 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)가 개방되면, 소형 웨이퍼를 이송시키기 위한 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 동작이 완료되는 것이다.
로봇암에 의한 소형 웨이퍼의 이송이 완료된 후, 전술한 순서의 역순으로 도어개폐장치(530)는 로드포트 어댑터(10)의 도어(230)를 도어프레임(210)에 결속시킨다.
위와 같이, 도어개폐장치(530)가 도어(230)를 도어프레임(210)에 결속시키면, 제어부에 '도어폐쇄완료신호'가 송신된다.
이후, 수동 또는 자동으로 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 옮기기 위해 안착부(170)로부터 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 들어올리면, 안착센서(330)가 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에 안착되어 있지 않다는 것을 센싱하게 된다.
따라서, 안착센서(330)가 구동부(350)에 'OFF' 신호를 송신하고, 'OFF' 신호를 수신받은 구동부(350)는 베이스플레이트(110)를 상승시킨다.
이 경우, 베이스플레이트(110)는 돌출블록(130)의 하면과 로드포트센서(513)의 접촉이 해제될 때까지 상승하게 되며, 이로 인해, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 지지플레이트(510)에 대형 웨이퍼용 캐리어(본 발명에서는 로드포트 어댑터(10))가 안착되어 있지 않다고 인식하게 된다.
대형 웨이퍼용 로드포트(500)가 로드포트센서(513)에 의해 마치 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착되어 있지 않다고 인식하면, 제어부(미도시)에 '캐리어제거신호'가 송신된다.
위와 같이, 캐리어제거신호를 수신받은 제어부는 소형 웨이퍼의 이송 과정이 모두 완료되었다고 인식하게 된다.
전술한 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)는 다음과 같은 효과를 갖는다.
종래의 어댑터의 경우, 도어개폐장치가 구비된 대형 웨이퍼용 로드포트에 사용하게 되면, 도어개폐장치와 연동되는 도어가 구비되어 있지 않으므로, 전술한 '도어개방완료신호'를 제어부에 송신할 수 없다. 따라서, 제어부의 알고리즘을 수정하지 않는 이상 EFEM의 로봇암이 소형 웨이퍼 캐리어에서 자동적으로 소형 웨이퍼를 이송하는 과정을 수행할 수 없다.
그러나, 본 발명의 경우, 로드포트 어댑터(10)에 도어개폐장치(530)와 상호연동되는 도어(230)가 구비되어 있으므로, 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 도어개폐장치(530)가 도어(230)를 개방하는 과정이 수행될 수 있다. 따라서, 제어부의 알고리즘을 변경하는 등 대형 웨이퍼용 로드포트(500) 또는 EFEM(700)의 개조 등을 수행하지 않더라도, 기존의 도어개폐장치(530)를 갖는 대형 웨이퍼용 로드포트(500)에 호환하여 사용할 수 있다.
일반적으로, EFEM(700)과 대형 웨이퍼용 로드포트(500)는 상호 연동된 제어부를 갖게 되며, 제어부는 전술한 신호들에 의해 EFEM(700)의 로봇암과 대형 웨이퍼용 로드포트(500)를 제어함으로써, 웨이퍼의 이송을 달성하게 된다. 이 경우, 전술한 '캐리어안착신호', '도어개방완료신호', '도어폐쇄완료신호', '캐리어제거신호'는 순차적으로 송수신되어 제어부의 제어를 수행하게 된다. 다시 말해, 전술한 일련의 신호들이 순차적으로 송수신되어야 EFEM(700)과 대형 웨이퍼용 로드포트(500)의 소형 웨이퍼 이송 알고리즘 사이클이 완료되는 것이다.
종래의 어댑터의 경우, 소형 웨이퍼용 캐리어를 어댑터에서 제거하더라도, 어댑터가 대형 웨이퍼용 로드포트의 지지플레이트의 로드포트센서에 접촉해 있는 상태이므로, 대형 웨이퍼용 로드포트는 대형 웨이퍼용 캐리어가 지지플레이트에 안착되어 있는 것으로 인식하게 된다. 따라서, '캐리어제거신호'를 송신하기 위해서는 어댑터를 일일히 들어올려주거나 제거해야하는 번거로움이 있다.
그러나, 본 발명의 경우, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)가 안착부(170)에서 제거되면, 승하강부(300)가 자동적으로 베이스플레이트(110)를 승강시키게 되고, 이를 통해, 로드포트센서(513)와 돌출블록(130)의 접촉이 해제되므로, '캐리어제거신호'가 자동적으로 송신되게 된다. 따라서, 종래의 어댑터의 번거로운 작업 수행을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터(10')
이하, 도 8a 및 8b를 참조하여, 본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터(10')에 대해 설명한다.
도 8a는 본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터의 사시도이고, 도 8b는 본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터의 개폐커버가 열리는 것을 도시한 사시도이다.
본 발명의 변형 예에 따른 로드포트 어댑터(10')는 전술한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 로드포트 어댑터(10)에 개폐커버(400)를 더 포함한 구성을 갖을 수 있다.
개폐커버(400)는 로드포트 어댑터(10')의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면을 이루며, 로드포트 어댑터(10')의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 어느 한면을 개방하도록 도어프레임(210)에 개폐가능하게 설치된다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 개폐커버(400)는 도어프레임(210)의 상부에 힌지축(410)이 구비되어 있으며, 이러한 힌지축(410)에 의해 개폐커버(400)가 상부로 회전함으로써, 로드포트 어댑터(10')의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면을 개방하게 된다.
위와 같이, 개폐커버(400)에 의해 로드포트 어댑터(10)의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면이 폐쇄되거나, 로드포트 어댑터(10')의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면이 개방됨에 따라, EFEM(700)의 로봇암을 통해 소형 웨이퍼를 소형 웨이퍼용 캐리어(C)로 부터 꺼내 이송시키는 작업을 수행할 때, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 외부 환경으로부터 차단시키는 기능을 달성함과 동시에, 소형 웨이퍼용 캐리어(C)를 로드포트 어댑터(10')로부터 쉽게 제거할 수 있다(또는 쉽게 꺼낼 수 있다).
또한, 도면에는 도시되지 않았으나, 개폐커버는 도어프레임 및/또는 베이스플레이트에 탈착가능하게 설치됨으로써, 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면을 폐쇄/개방하는 구조를 갖을 수도 있다.
또한, 개폐커버는 상면 및 후방면을 개방시키는 슬라이드수단을 구비하여, 슬라이드 수단의 슬라이드에 의해 상면 및 후방면이 개방/폐쇄되는 구조를 갖을 수도 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
10: 로드포트 어댑터
100: 베이스부 110: 베이스플레이트
130: 돌출블록 150: 핀구멍
170: 안착부 190: 고정부
191: 고정블록
200: 도어부 210: 도어프레임
211: 개구부 213: 하부락킹홈
230: 도어 231: 도어홈부
250: 락킹부 251: 회전판
252: 제1락킹블록 253: 제2락킹블록
254: 제1링크부 255: 제2링크부
261: 연동구멍 262: 제1호형구멍
263: 제2호형구멍 264: 제1돌출핀
265: 제2돌출핀
300: 승하강부 310: 지지부
330: 안착센서 350: 구동부
351: 가이드부 352: 구동모터
353: 연결부
400: 개폐커버 410: 힌지축
500: 대형 웨이퍼용 로드포트 501: 본체
510: 지지플레이트 511: 위치결정핀
513: 로드포트센서 530: 도어개폐장치
531: 개폐기구 532: 지지프레임
533: 이동수단
700: EFEM C: 소형 웨이퍼용 캐리어

Claims (4)

  1. 소형 웨이퍼용 캐리어를 대형 웨이퍼용 로드포트에 장착시키기 위하여 상기 소형 웨이퍼용 캐리어와 상기 대형 웨이퍼용 로드포트 사이에 구비되는 로드포트 어댑터에 있어서,
    상기 로드포트 어댑터의 바닥면을 이루는 베이스부; 및
    상기 베이스부의 전방에 구비되어, 상기 로드포트 어댑터의 전방면을 이루는 도어부;를 포함하되,
    상기 베이스부는,
    베이스플레이트;
    상기 베이스플레이트의 하면에서 하부 방향으로 돌출되게 구비되며, 상기 로드포트 어댑터가 상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 지지플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 지지플레이트에 구비된 로드포트센서에 접촉되어 상기 대형 웨이퍼용 로드포트에 대형 웨이퍼용 캐리어가 안착된 것으로 인식하도록 하는 돌출블록;
    상기 로드포트 어댑터가 상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 지지플레이트의 상면에 안착될 때, 상기 지지플레이트에 구비된 위치결정핀이 삽입되도록 상기 돌출불록에 구비되는 핀구멍; 및
    상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 안착될 수 있도록 상기 베이스플레이트의 상면에 구비되는 안착부;를 포함하고,
    상기 도어부는,
    중앙에 개구부가 구비된 도어프레임;
    상기 개구부를 밀폐하는 도어; 및
    상기 대형 웨이퍼용 로드포트의 도어개폐장치와 상호연동되어 상기 도어프레임과 상기 도어를 결속시키거나 상기 도어프레임과 상기 도어의 결속을 해제하는 락킹부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 어댑터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 락킹부는,
    상기 도어개폐장치와 연동되어 회전하는 회전판;
    상기 도어의 상부와 상기 도어프레임의 상부를 결속시키는 제1락킹블록;
    그 상부가 상기 제1락킹블록과 연결되고, 그 하부가 상기 회전판에 연결되어 상기 회전판의 회전에 의해 상기 제1락킹블록을 하부로 슬라이드 시키는 제1링크부;
    상기 도어의 하부와 상기 도어프레임의 하부를 결속시키는 제2락킹블록; 및
    그 하부가 상기 제2락킹블록과 연결되고, 그 상부가 상기 회전판에 연결되어 상기 회전판의 회전에 의해 상기 제2락킹블록을 상부로 슬라이드 시키는 제2링크부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 어댑터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 베이스플레이트를 승하강시키는 승하강부;를 더 포함하되,
    상기 승하강부는,
    상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착되었는지 여부를 센싱하는 안착센서; 및
    상기 안착센서에 의해 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착된 것이 센싱되면 상기 돌출블록이 상기 로드포트센서에 접촉될 때까지 상기 베이스플레이트를 하강시키고, 상기 안착센서에 의해 상기 소형 웨이퍼용 캐리어가 상기 안착부에 안착되지 않은 것이 센싱되면 상기 돌출블록과 상기 로드포트센서의 접촉이 해제될 때까지 상기 베이스플레이트를 상승시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 어댑터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 로드포트 어댑터의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면을 이루며, 상기 로드포트 어댑터의 상면, 후방면, 좌측면 및 우측면 중 적어도 어느 한면을 개방하도록 상기 도어프레임에 개폐가능하게 설치되는 개폐커버;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트 어댑터.
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