JP2003139703A

JP2003139703A - カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置

Info

Publication number: JP2003139703A
Application number: JP2001334389A
Authority: JP
Inventors: Tetsuro Tanabe; 哲朗田邊; Shunsuke Muto; 俊介武藤; Toshihiko Nagamura; 俊彦長村
Original assignee: UNISOKU CO Ltd
Current assignee: UNISOKU CO Ltd
Priority date: 2001-10-31
Filing date: 2001-10-31
Publication date: 2003-05-14
Anticipated expiration: 2021-10-31
Also published as: JP3718818B2

Abstract

(57)【要約】【課題】既設の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて
カソードルミネッセンス分析を容易に行うことを可能と
するカソードルミネッセンス用試料ホルダ、及び該カソ
ードルミネッセンス用試料ホルダを用いた分光分析装置
を提供する。【解決手段】本カソードルミネッセンス分光分析装置
１００は、真空チャンバ１０内において試料Ｓに電子線
ＥＢを照射して透過電子線ＴＢを観察する透過型電子顕
微鏡１０１と、透過型電子顕微鏡１０１に取付可能なカ
ソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２と、カソード
ルミネッセンス用試料ホルダ１０２により導かれた光Ｃ
Ｌを分光して測定する分光測定器１０３と、分光測定器
１０３の測定値に基づいて測定結果を表示するコンピュ
ータ１０４と、を具備してなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に電子線を照
射してカソードルミネッセンスを検出するための試料ホ
ルダ、特に透過型電子顕微鏡に取り付けるに好適なカソ
ードルミネッセンス用試料ホルダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カソードルミネッセンス分析とは、分析
すべき試料に電子線を照射することにより試料に生じた
励起子の再結合による発光（カソードルミネッセンス）
を検出して分析する方法であり、例えば試料の一定領域
に電子線を走査して得られた検出値に基づいてカソード
ルミネッセンス像を作成して観察することにより、試料
の結晶状態や不純物の有無等、試料の局所領域からの情
報を得ることができ、誘電体、イオン結晶、半導体等の
研究に幅広く利用可能である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】例えば、既設の透過型
電子顕微鏡を利用してカソードルミネッセンス分析を行
う場合には、検出器を試料の上方又は下方に配置する
が、透過電子線や反射電子線等を検出する場合には、透
過電子線や反射電子線を遮蔽して検出効率を下げないよ
うに、該検出器を試料近傍から移動させる必要がある。
しかし、既設の電子顕微鏡に任意に移動可能な前記分光
器や検出器等を設けるような複雑な改造を行うことは一
般の実験者等には困難であり、カソードルミネッセンス
分析の幅広い利用を妨げる一要因となっている。

【０００４】一方、真空チャンバが比較的大きく、光学
測定を行うための窓を設けることが容易な走査型電子顕
微鏡（ＳＥＭ）においては、レンズ等を用いて真空チャ
ンバ外に光を導いて発光測定するような測定システムが
存在する。しかし、透過型電子顕微鏡の試料ホルダは、
真空チャンバ内に収納されて非常に狭い空間にあるの
で、試料ホルダの出入口に光学測定を行うための窓を設
けることは困難であった。

【０００５】本発明は、かかる問題に鑑みてなされたも
のであり、既設の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて
カソードルミネッセンス分析を容易に行うことを可能と
するカソードルミネッセンス用試料ホルダ、及び該カソ
ードルミネッセンス用試料ホルダを用いた分光分析装置
を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
になされた本発明に係るカソードルミネッセンス用試料
ホルダは、透過型電子顕微鏡に取付可能なカソードルミ
ネッセンス用試料ホルダであって、透過型電子顕微鏡の
真空チャンバに挿入可能な中空状のホルダ本体と、ホル
ダ本体の先端近傍に設けられ、真空チャンバ内において
電子線が照射される試料を固定するための試料固定部
と、試料固定部近傍に光取込口が位置するようにして、
ホルダ本体内の試料固定部近傍から基端側へ延設された
光ファイバと、試料固定部と対向位置に配置され、試料
から発生した光を光ファイバの光取込口に向かって反射
するとともに、所定位置に穿たれた孔により電子線を通
過させる反射板と、を具備するものである。

【０００７】また、本発明（請求項２）は、請求項１に
記載のカソードルミネッセンス用試料ホルダにおいて、
前記ホルダ本体は、略円筒状のものであって、ホルダ本
体を所定の姿勢に規制するために、透過型電子顕微鏡の
真空チャンバに設けられた挿入孔と係合する係止部が外
周面に設けられたものである。

【０００８】また、本発明（請求項３）は、請求項２に
記載のカソードルミネッセンス用試料ホルダにおいて、
前記係止部は、ホルダ本体の外周面から突出して、前記
挿入溝の形成されたガイド溝と係合するガイドピンであ
り、ホルダ本体の外周面には該ピンが挿入されるピン孔
が、少なくとも、ホルダ本体を試料固定部が上側となる
姿勢と下側となる姿勢とに規制する位置に穿設されたも
のである。

【０００９】また、本発明（請求項４）は、請求項１か
ら３のいずれかに記載のカソードルミネッセンス用試料
ホルダにおいて、前記反射板は、試料から発生した光を
光ファイバの光取込口に集光するように湾曲されたもの
である。

【００１０】また、本発明（請求項５）は、請求項４に
記載のカソードルミネッセンス用試料ホルダにおいて、
前記反射板は、試料の発光位置と光ファイバの光取込口
とを焦点とする回転楕円面を構成するものである。

【００１１】また、本発明（請求項６）は、請求項１か
ら５のいずれかに記載のカソードルミネッセンス用試料
ホルダにおいて、前記光ファイバと反射板との間に、反
射板が反射した光を光ファイバの光取込口に集光する集
光レンズが介設されたものである。

【００１２】また、本発明の請求項７に係るカソードル
ミネッセンス分光分析装置は、請求項１から６のいずれ
かに記載のカソードルミネッセンス用試料ホルダと、カ
ソードルミネッセンス用試料ホルダの光ファイバにより
導かれたカソードルミネッセンスを分光して検出する分
光測定手段と、分光測定手段の測定値に基づいて測定結
果を表示する演算表示手段と、を具備してなるものであ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
カソードルミネッセンス分光分析装置１００を、図面に
基づいて具体的に説明する。本実施の形態に係るカソー
ドルミネッセンス分光分析装置１００は、図１に示すよ
うに、真空チャンバ１０内において試料Ｓに電子線ＥＢ
を照射して透過電子線ＴＢを観察する透過型電子顕微鏡
１０１と、透過型電子顕微鏡１０１に取付可能なカソー
ドルミネッセンス用試料ホルダ１０２と、カソードルミ
ネッセンス用試料ホルダ１０２により導かれた光ＣＬを
分光して測定する分光測定器１０３と、分光測定器１０
３の測定値に基づいて測定結果を表示するコンピュータ
（演算表示手段）１０４と、を具備してなるものであ
る。

【００１４】透過型電子顕微鏡１０１は、図１に示すよ
うに、真空チャンバ１０内に、電子線照射部１１及び透
過電子線検出器１２が設けられてなるものであり、図に
は示していないが、透過型電子顕微鏡で通常使用される
試料ホルダ、位置調整機構、冷却手段等をも具備する周
知の構造のものである。

【００１５】真空チャンバ１０は、室内圧力を約１０
^−５Ｐａ〜１０^−７Ｐａ程度の真空とするものであり、
真空チャンバ１０の側壁には、カソードルミネッセンス
用試料ホルダ１０２を挿入するための挿入孔１３が形成
されている。該挿入孔１３は、真空チャンバ１０の室内
に貫通された断面形状が円形のもので、真空チャンバ１
０の外壁側から一定深さまでは、図２に示すように、上
方に向かって凹欠したガイド溝１３ａが形成されてい
る。このように構成された挿入孔１３は、透過型電子顕
微鏡で通常使用される試料ホルダの挿入孔と共用させる
ことが可能である。

【００１６】電子線照射部１１は、電子線源から発生す
る電子線ＥＢを集束レンズにより集束し、対物レンズに
より焦点を合わせて試料Ｓ上に照射するものであり、こ
れにより、試料Ｓから光ＣＬ、即ちカソードルミネッセ
ンスが発生する。一方、試料Ｓを透過した透過電子線Ｔ
Ｂは、図１に示すように、試料Ｓの下方に配置された透
過電子線検出器１２により検出される。

【００１７】カソードルミネッセンス用試料ホルダ１０
２は、図３に示すように、透過型電子顕微鏡１０１の真
空チャンバ１０の側壁に設けられた挿入孔１３に挿抜可
能な中空状のホルダ本体２０と、ホルダ本体２０の先端
近傍に設けられた試料固定部２１と、ホルダ本体２０内
に延設された光ファイバ２２と、試料固定部２１の対向
位置に配置された反射板２３と、を備えてなるものであ
る。

【００１８】前記ホルダ本体２０は、真空チャンバ１０
の挿入孔１３に挿入可能な円筒状のものであって、外径
が前記挿入孔１３の内径と略等しいステンレス製の円筒
２０ａの基端側に径大の円筒２０ｂが連接され、先端側
に径小の円筒２０ｃが連設されてなるものであり、さら
に該円筒２０ｃの先端側が一定厚みの平板状となって試
料固定部２１をなしている。円筒２０ｂは挿入孔１３の
内径より径大のものであり、円筒２０ｂの端面が真空チ
ャンバ１０の挿入孔１３周辺の外側壁と当接することに
より、カソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２の挿
入深さを所定位置に規制する。また、円筒２０ａの先端
近傍には径方向に溝が周設され該溝にＯ−リング２４が
嵌設されている。該Ｏ−リング２４により、挿入孔１３
とホルダ本体２０の円筒２０ａとの隙間を密閉して真空
チャンバ１０内の真空が維持されるようになっている。

【００１９】さらに、ホルダ本体２０の外周面には、カ
ソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２を所定の姿勢
に規制するために、透過型電子顕微鏡１０１の真空チャ
ンバ１０に設けられた挿入孔１３のガイド溝１３ａと係
合するガイドピン２５が突設されている。該ガイドピン
２５は略円柱状のものであり、ホルダ本体２０の外周面
に穿設されたピン孔２６に嵌挿されており挿抜可能なも
のである。ピン孔２６は、ホルダ本体２０を試料固定部
２１が電子線照射部１１側、即ち上側となる姿勢と、透
過電子線検出器１２側、即ち下側となる姿勢とに規制で
きるように、ホルダ本体２０の外周面の２箇所、具体的
には試料固定部２１と同じ側と反対側とに穿設されてい
る。従って、ガイドピン２５を嵌挿する位置により、カ
ソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２を挿入孔１３
に挿入可能な姿勢が１８０°異なり、試料固定部２１が
上側又は下側となる姿勢を任意に選択することができ
る。

【００２０】図４は、カソードルミネッセンス用試料ホ
ルダ１０２の先端付近を示す拡大斜視図である。前記試
料固定部２１は、真空チャンバ１０内において電子線Ｅ
Ｂが照射される試料Ｓを固定するためのものであり、図
に示すように、カソードルミネッセンス用試料ホルダ１
０２先端の中空平板状部分の外平面に、試料Ｓを嵌め込
むための試料溝２１０が凹設され、該試料溝２１０の底
部には電子線ＥＢ又は透過電子線ＴＢの光路となる孔２
１１が中空部を介して反対側の外平面にまで貫設され、
さらに、試料溝２１０の近傍に、試料溝２１０に嵌め込
まれた試料Ｓを固定するための試料押えバネ２１２が設
けられてなる。これにより、カソードルミネッセンス用
試料ホルダ１０２の姿勢、即ち、試料固定部２１が上側
又は下側であるに拘わらず、試料Ｓがカソードルミネッ
センス用試料ホルダ１０２の一定位置に固定され、該試
料Ｓに、孔２１１を光路として電子線ＥＢを照射するこ
とができる。

【００２１】光ファイバー２２は、試料Ｓから発せられ
た光ＣＬを分光測定器１０３に導くためのものであり、
図５に示すように、その一端側の光取込口２２ａが、ホ
ルダ本体２０内の試料固定部２１の孔２１１近傍であっ
て、電子線ＥＢ又は透過電子線ＴＢの光路を遮蔽しない
位置に固定され、他端側（図示せず）がホルダ本体２０
内の基端側ヘ延設されている。さらに、図３に示すよう
に、光ファイバ２２はホルダ本体２０の基端において光
ファイバ２７とジョイントされ、該光ファイバ２７が分
光測定器１０３に連結されている。勿論、光ファイバ２
２と光ファイバ２７を１本の光ファイバとすることも可
能である。これにより、光取込口２２ａに入射した光Ｃ
Ｌが、真空チャンバ１０外の分光測定器１０３にまで導
かれるものとなっている。

【００２２】反射板２３は、例えばミラーや基板にアル
ミを蒸着したもの等、試料Ｓから発せられるカソードル
ミネッセンス、即ち、光ＣＬを反射可能なものである。
該反射板２３は、図５に示すように、ホルダ本体２０内
の先端近傍であって、前記試料溝２１０の下方に所定の
傾き角で固定されており、試料Ｓから発せられた光ＣＬ
を光ファイバ２２の光取込口２２ａに向かって反射す
る。反射板２３の傾き角は、試料固定部２１の孔２１１
と光ファイバ２２の光取込口２２ａとの位置関係によっ
て設定され、図に示すように、孔２１１を通過する透過
電子線ＴＢの光路と光ファイバ２２の軸方向とが直交す
る場合には、水平方向に対して約４５°とすることが好
ましい。なお、図５においては、説明の便宜上、試料押
えバネ２１２は省略している。

【００２３】さらに、反射板２３の中央近傍には、電子
線ＥＢ又は透過電子線ＴＢを通過させるための孔２３０
が穿設されている。該孔２３０の径は、収束された電子
線ＥＢ又は透過電子線ＴＢが通過可能な大きさで十分で
あり、該孔２３０は試料Ｓから発せられる光ＣＬをも通
過させるので、収束された電子線ＥＢのスポット径に依
るものではあるが、例えば０．１〜０．５ｍｍ程度と可
能な限り小さくすることが好ましい。

【００２４】なお、図５は、カソードルミネッセンス用
試料ホルダ１０２が試料固定部２１を上側とする姿勢を
示しているが、図６に示すように、該試料固定部２１を
下側とする姿勢にすれば、電子線ＥＢは試料固定部２１
の孔２１１及び反射板２３の孔２３０を通過して試料Ｓ
に照射され、該試料Ｓの上方に発せられた光ＣＬが反射
板２３により光ファイバ２２の光取込口２２ａに反射さ
れることにより、試料Ｓ上方の光ＣＬを観察することが
できるものとなる。なお、図６においても、説明の便宜
上、試料押えバネ２１２は省略しているが、実際には試
料Ｓは該試料押えバネ２１２で固定されるので、試料溝
２１０から脱落することはない。

【００２５】また、前記反射板２３は平板であるが、図
７に示すように光ファイバ２２の光取込口２２ａを焦点
として湾曲された反射板２８を用いることにより、光Ｃ
Ｌの集光率を向上させることが可能となる。該反射板２
８は、光取込口２２ａを焦点とした球面状のものとして
もよいが、収差等の影響を抑制するために、試料Ｓの発
光位置と光取込口２２ａとを焦点とする回転楕円面を構
成するように湾曲させたものとすることが好ましい。

【００２６】また、図８に示すように、前記反射板２３
と光ファイバ２２の光取込口２２ａとの間に集光レンズ
２９を介設することとしても、光ＣＬの集光率を向上さ
せることが可能となる。該集光レンズ２９は、測光波長
領域に合わせて、例えば石英製の光学レンズ等を用いる
ことができ、光取込口２２ａ付近を焦点とし、電子線Ｅ
Ｂ又は透過電子線ＴＢの光路を遮蔽しない位置に設け
る。

【００２７】分光測定器１０３は、光ファイバ２２、２
７により導かれた光ＣＬを分光して検出し、該検出値を
電気信号として出力するものであり、周知の分光器と、
光倍増管や半導体検出器等の測定機器とから構成され、
例えば紫外域から赤外域の波長域で光ＣＬの測定を行う
ことができる。分光測定器１０３からの電気信号はコン
ピュータ１０４に送信され、コンピュータ１０４内のデ
ータ格納領域（図示せず）に測定値が記憶され、各測定
値をプロットしたグラフ又はマッピングした画像等、所
望の形式に演算されてモニタに表示される。なお、図１
には示していないが、該コンピュータ１０４を汎用コン
ピュータとして、透過電子線検出器１２の測定値を演算
するものと共用可能なことは勿論である。

【００２８】このように、本実施の形態に係るカソード
ルミネッセンス分光分析装置１００によれば、透過型電
子顕微鏡１０１の真空チャンバ１０の側壁に設けられた
挿入孔１３にカソードルミネッセンス用試料ホルダ１０
２を挿入可能とし、試料Ｓから発せられる光ＣＬを光フ
ァイバ２２、２７により真空チャンバ１０外に導いて分
光測定器１０３で測定するので、周知の構造の透過型電
子顕微鏡１０１を用いて、簡便且つ容易にカソードルミ
ネッセンス分析を行うことが可能である。また、透過電
子ＴＢの観察も同時に行い、両者により得られた測定結
果を同時に、又は交互に観察することができる。

【００２９】

【実施例】以下、本発明の実施例を示す。透過型電子顕
微鏡として日本電子株式会社製のものを用い、本発明に
係るカソードルミネッセンス用試料ホルダによりアルミ
ナ（Ａｌ_２Ｏ_３）のカソードルミネッセンス分析を行っ
た。図９は、波長範囲２００ｎｍ〜１０００ｎｍの測定
結果をグラフに表したものであり、縦軸が発光強度（任
意スケール）、横軸が波長（単位：ｎｍ）であり、グラ
フ中、Ｆ−ｃｅｎｔｅｒは酸素空孔からの発光を、Ｆ^＋
−ｃｅｎｔｅｒはさらに１ケの電子を失った酸素空孔か
らの発光を示している。測定結果より、発光強度の弱い
スペクトルも取得でき、また、良い波長分解能で測定が
行えることがわかる。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るカソ
ードルミネッセンス用試料ホルダによれば、透過型電子
顕微鏡の真空チャンバに挿入可能な中空状のホルダ本体
と、ホルダ本体の先端近傍に設けられ、真空チャンバ内
において電子線が照射される試料を固定するための試料
固定部と、試料固定部近傍に光取込口が位置するように
して、ホルダ本体内の試料固定部近傍から基端側へ延設
された光ファイバと、試料固定部と対向位置に配置さ
れ、試料から発生した光を光ファイバの光取込口に向か
って反射するとともに、所定位置に穿たれた孔により電
子線を通過させる反射板と、を具備するものとしたの
で、透過型電子顕微鏡に容易に取付可能であって、試料
固定部及び集光部をすべて一体に集約したコンパクトな
試料ホルダを実現することができる。これにより、既設
の透過型電子顕微鏡を用いて簡便にカソードルミネッセ
ンス分析を行うことが可能であり、また、本カソードル
ミネッセンス用試料ホルダは、透過電子顕微鏡による透
過電子の観察を妨げず、透過電子観察及びカソードルミ
ネッセンス分析の併用も可能とする。

【００３１】また、本発明によれば、前記ホルダ本体
は、略円筒状のものであって、ホルダ本体を所定の姿勢
に規制するために、透過型電子顕微鏡の真空チャンバに
設けられた挿入孔と係合する係止部が外周面に設けられ
たものとしたので、カソードルミネッセンス用試料ホル
ダの挿入姿勢が係止部により規制され、電子線に対する
試料の傾きを一定に維持することが容易となる。

【００３２】また、本発明によれば、前記係止部は、ホ
ルダ本体の外周面から突出して、前記挿入溝の形成され
たガイド溝と係合するガイドピンであり、ホルダ本体の
外周面には該ピンが挿入されるピン孔が、少なくとも、
ホルダ本体を試料固定部が上側となる姿勢と下側となる
姿勢とに規制する位置に穿設されたものとしたので、ガ
イドピンの付け替えにより、カソードルミネッセンス用
試料ホルダの挿入姿勢が選択可能となり、試料の上方又
は下方に発せられる光の分析を任意に選択して観察でき
る。

【００３３】また、本発明によれば、前記反射板は、試
料から発生した光を光ファイバの光取込口に集光するよ
うに湾曲されたもの、好ましくは、試料の発光位置と光
ファイバの光取込口とを焦点とする回転楕円面を構成す
るものとしたので、反射板が試料から発せられる光を光
取込口に向かって集光して反射することにより、カソー
ドルミネッセンスの集光率を向上させることができる。

【００３４】また、本発明によれば、前記光ファイバと
反射板との間に、反射板が反射した光を光ファイバの光
取込口に集光する集光レンズを介設したので、反射板が
反射した光を光取込口に集光することにより、カソード
ルミネッセンスの集光率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るカソードルミネッセ
ンス分光分析装置１００の概略構成を示す模式図であ
る。

【図２】挿入孔１３の断面形状を示す断面図である。

【図３】(a)は、カソードルミネッセンス用試料ホルダ
１０２の平面図であり、(b)は、カソードルミネッセン
ス用試料ホルダ１０２の断面図である。

【図４】試料固定部２１付近の拡大斜視図である。

【図５】カソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２の
先端付近の構造を示す模式図である。

【図６】カソードルミネッセンス用試料ホルダ１０２の
先端付近の構造を示す模式図である。

【図７】別形態のカソードルミネッセンス用試料ホルダ
１０２の先端付近の構造を示す模式図である。

【図８】別形態のカソードルミネッセンス用試料ホルダ
１０２の先端付近の構造を示す模式図である。

【図９】実施例によるアルミナのカソードルミネッセン
ス測定結果を示すグラフである。

【符号の説明】

１００カソードルミネッセンス分光分析装置１０１透過型電子顕微鏡１０２カソードルミネッセンス用試料ホルダ１０３分光測定器（分光測定手段）１０４コンピュータ（演算表示手段）１０真空チャンバ１３挿入孔１３ａガイド溝２０ホルダ本体２１試料固定部２２、２７光ファイバ２２ａ光取込口２３、２８反射板２３０孔２５ガイドピン（係止部）２６ピン孔２９集光レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長村俊彦大阪府枚方市大峰元町１丁目28−５Ｆターム(参考） 2G043 AA03 BA03 BA09 CA05 DA06 EA11 FA02 GA04 GB01 GB03 GB05 HA01 HA02 HA03 HA05 JA01 KA01 KA02 KA03 NA01 NA06 5C001 AA01 AA08 CC03 CC04 CC08 5C033 RR03 RR04 RR09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透過型電子顕微鏡に取付可能なカソード
ルミネッセンス用試料ホルダであって、透過型電子顕微鏡の真空チャンバに挿入可能な中空状の
ホルダ本体と、ホルダ本体の先端近傍に設けられ、真空チャンバ内にお
いて電子線が照射される試料を固定するための試料固定
部と、試料固定部近傍に光取込口が位置するようにして、ホル
ダ本体内の試料固定部近傍から基端側へ延設された光フ
ァイバと、試料固定部と対向位置に配置され、試料から発生した光
を光ファイバの光取込口に向かって反射するとともに、
所定位置に穿たれた孔により電子線を通過させる反射板
と、を具備するものであることを特徴とするカソードル
ミネッセンス用試料ホルダ。
【請求項２】前記ホルダ本体は、略円筒状のものであ
って、ホルダ本体を所定の姿勢に規制するために、透過
型電子顕微鏡の真空チャンバに設けられた挿入孔と係合
する係止部が外周面に設けられたものであることを特徴
とする請求項１に記載のカソードルミネッセンス用試料
ホルダ。
【請求項３】前記係止部は、ホルダ本体の外周面から
突出して、前記挿入溝の形成されたガイド溝と係合する
ガイドピンであり、ホルダ本体の外周面には該ピンが挿
入されるピン孔が、少なくとも、ホルダ本体を試料固定
部が上側となる姿勢と下側となる姿勢とに規制する位置
に穿設されたものであることを特徴とする請求項２に記
載のカソードルミネッセンス用試料ホルダ。
【請求項４】前記反射板は、試料から発生した光を光
ファイバの光取込口に集光するように湾曲されたもので
あることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載
のカソードルミネッセンス用試料ホルダ。
【請求項５】前記反射板は、試料の発光位置と光ファ
イバの光取込口とを焦点とする回転楕円面を構成するも
のであることを特徴とする請求項４に記載のカソードル
ミネッセンス用試料ホルダ。
【請求項６】前記光ファイバと反射板との間に、反射
板が反射した光を光ファイバの光取込口に集光する集光
レンズが介設されたことを特徴とする請求項１から５の
いずれかに記載のカソードルミネッセンス用試料ホル
ダ。
【請求項７】請求項１から６のいずれかに記載のカソ
ードルミネッセンス用試料ホルダと、カソードルミネッセンス用試料ホルダの光ファイバによ
り導かれたカソードルミネッセンスを分光して検出する
分光測定手段と、分光測定手段の測定値に基づいて測定結果を表示する演
算表示手段と、を具備してなるものであることを特徴と
するカソードルミネッセンス分光分析装置。