JP2003117801A

JP2003117801A - 表面平滑化装置およびその方法

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Publication number: JP2003117801A
Application number: JP2001313670A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Fukaya; 谷勝美深; Chiaki Kato; 藤千明加
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-10-11
Filing date: 2001-10-11
Publication date: 2003-04-23

Abstract

(57)【要約】【課題】基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位
を効率良く除去して製品の歩留まりを向上させることが
できる表面平滑化装置を提供する。【解決手段】表面平滑化槽１０において、基材４１上
に形成された樹脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液
ノズル１３により微粒子分散液を吹き付けながら、回転
したロール状ブラシ１２を物理的に接触させ、基材４１
上に形成された樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去して
当該樹脂膜４２の表面を平滑化する。次いで、拭取洗浄
槽２０において、基材４１上に形成された樹脂膜４２の
表面に対して、洗浄液ノズル２３により水等の洗浄液を
吹き付けながら、回転したロール状ブラシ２２を物理的
に接触させ、表面が平滑化された基材４１上の樹脂膜４
２から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取
る。その後、水洗槽３０において、基材４１上に形成さ
れた樹脂膜４２の表面に対して水洗用ノズル３２により
水を吹き付けることにより、基材４１上に形成された樹
脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基材上に形成され
た樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化装置に係り、と
りわけ、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位
（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して製
品の歩留まりを向上させることができる表面平滑化装置
および表面平滑化方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイ用カラーフィ
ルタは、ガラス基板等からなる基材上に規則的なパター
ンを有する着色された樹脂膜を形成することにより製造
されている。このような製造プロセスにおいて、基材上
に形成される樹脂膜は、基材上に樹脂の溶解液をコーテ
ィングした後に当該溶解液を硬化させることにより形成
される。また、このようにして基材上に形成される樹脂
膜は、フォトリソ法等により、規則的なパターンに成形
される。

【０００３】ここで、基材上に形成される樹脂膜の表面
には、製造プロセス中に混入した樹脂膜中の異物等に起
因して突起物が発生することが多い。また、樹脂膜を形
成するための樹脂の溶解液中に顔料等の成分が含有され
ている場合には、当該溶解液を硬化させた際に樹脂膜の
表面に連続的な微小凹凸が発生することが多い。なお、
このような微小凹凸の発生傾向は、樹脂膜中に含まれる
顔料の含有率が高くなる程、顕著になる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うにして製造された液晶ディスプレイ用カラーフィルタ
において、基材上に形成された樹脂膜の表面に突起物が
存在していると、樹脂膜上に形成される透明電極とそれ
に対向する駆動電極とが接触して両者がショートし、表
示画像の乱れを引き起こす原因となる。また、カラーフ
ィルタ側基板と駆動電極側基板との間の距離（セルギャ
ップ）が不均一になり、これによっても表示画像の乱れ
が生じる。すなわち、樹脂膜の表面に存在する突起物は
表示画像の不良を引き起こす重要な要因の一つとなる。

【０００５】また、上述したようにして製造された液晶
ディスプレイ用カラーフィルタにおいて、基材上に形成
された樹脂膜の表面に連続的な微小凹凸が存在している
と、ポリイミド等からなる配向膜を表面に均一にコーテ
ィングすることができなくなり、配向不良を引き起こす
要因となる。

【０００６】ここで、樹脂膜の表面に存在する突起物
は、製造プロセス中の様々な要因によって発生すること
から、突起物の発生数そのものを直接減少させることは
困難である。また、樹脂膜の表面に存在する連続的な微
小凹凸は、着色のために用いられる顔料等に起因するも
のであることから、このような連続的な微小凹凸の発生
を直接抑制することは困難である。このため、製造プロ
セス中において、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠
陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去
して樹脂膜の表面を平滑化することが強く求められてい
る。

【０００７】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部
位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効率良く除去して
製品の歩留まりを向上させることができる表面平滑化装
置および表面平滑化方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、その第１の解
決手段として、基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑
化する表面平滑化装置において、基材上に形成された樹
脂膜の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜の表面を平
滑化する表面平滑化槽を備え、前記表面平滑化槽は、前
記基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散
液を供給する微粒子分散液供給部と、微粒子分散液が供
給された前記樹脂膜の表面に物理的に接触して当該樹脂
膜の表面の欠陥部位を除去する表面平滑化用ブラシとを
有することを特徴とする表面平滑化装置を提供する。

【０００９】なお、上述した第１の解決手段において、
前記微粒子分散液供給部は、前記基材に対して微粒子分
散液を直接吹き付けることにより前記樹脂膜の表面に対
して微粒子分散液を供給することが好ましい。また、前
記微粒子分散液供給部は、前記表面平滑化用ブラシに対
して微粒子分散液を吹き付けることにより前記樹脂膜の
表面に対して微粒子分散液を供給することが好ましい。
さらに、前記表面平滑化用ブラシはスポンジ状の材料か
らなることが好ましい。さらに、前記表面平滑化用ブラ
シはロール状、または平坦な接触面を有するディスク状
をなしていることが好ましい。さらに、前記表面平滑化
槽は、前記微粒子分散液供給部により供給された微粒子
分散液を回収する回収容器と、この回収容器により回収
された微粒子分散液を前記基材上の前記樹脂膜の表面に
対して再度供給する微粒子分散液再供給路とをさらに有
することが好ましい。さらに、前記表面平滑化槽の前記
表面平滑化用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持さ
れた前記基材の下方に設置されていることが好ましい。
さらに、前記微粒子分散液供給部により供給される微粒
子分散液は、平滑化される樹脂膜の主成分よりも硬度が
高い微粒子を含有することが好ましい。ここで、前記微
粒子分散液の粒子濃度は０．０１〜１．０ｗｔ％である
ことが好ましい。また、前記微粒子分散液中に含有され
た前記微粒子はその粒子径が１０〜１０００ｎｍである
ことが好ましい。

【００１０】また、上述した第１の解決手段において
は、前記表面平滑化槽により表面が平滑化された前記基
材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂
膜片を拭き取る拭取洗浄槽をさらに備えることが好まし
い。ここで、前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹脂
膜の表面に物理的に接触して当該基材から微粒子分散液
および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄用ブラシを
有することが好ましい。また、前記拭取洗浄槽は、前記
基材上の前記樹脂膜の表面に対して洗浄液を供給する洗
浄液供給部をさらに有することが好ましい。

【００１１】本発明は、その第２の解決手段として、基
材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化
方法において、基材上に形成された樹脂膜の表面に対し
て微粒子分散液を供給する工程と、微粒子分散液が供給
された前記樹脂膜の表面に表面平滑化用ブラシを物理的
に接触させて当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する工
程とを含むことを特徴とする表面平滑化方法を提供す
る。

【００１２】なお、上述した第２の解決手段において、
表面が平滑化された前記基材上の前記樹脂膜から微粒子
分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取る工程をさらに
含むことが好ましい。

【００１３】本発明の第１および第２の解決手段によれ
ば、基材上の樹脂膜の表面に対して、微粒子分散液を吹
き付けながら、表面平滑化用ブラシを物理的に接触させ
て当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去するので、樹脂膜
の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を効
率良く除去して基材上の樹脂膜の表面を平滑化すること
ができる。このため、突起物や連続的な微小凹凸等に起
因した表示画像の不良等を効果的に防止することがで
き、製品の歩留まりを向上させることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は本発明による表面平
滑化装置の一実施の形態を示す図である。なお、本実施
の形態においては、処理対象物として、ガラス基板から
なる基材４１上にネガ型レジストからなる着色された樹
脂膜４２が形成されたカラーフィルタ基板等を用いる場
合を例に挙げて説明する。

【００１５】図１に示すように、表面平滑化装置１は、
基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面を平滑化する
ものであり、基材４１上に形成された樹脂膜４２の表面
の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）を除去して
当該樹脂膜４２の表面を平滑化する表面平滑化槽１０
と、表面平滑化槽１０により表面が平滑化された基材４
１上の樹脂膜４２から微粒子分散液および除去後の樹脂
膜片を拭き取る拭取洗浄槽２０と、拭取洗浄槽２０によ
り微粒子分散液および除去後の樹脂膜片が拭き取られた
樹脂膜４２付きの基材４１を水洗する水洗槽３０とを備
えている。なお、表面平滑化槽１０、拭取洗浄槽２０お
よび水洗槽３０にはそれぞれ搬送ローラ１１，２１，３
１が設けられており、表面平滑化槽１０の挿入口（ロー
ダ）３５から挿入された樹脂膜４２付きの基材４１が水
平状態で排出口（アンローダ）３６まで搬送されるよう
になっている。なお、本実施の形態においては、樹脂膜
４２付きの基材４１が、樹脂膜４２が上方を向くよう支
持された状態で搬送されるようになっている。

【００１６】表面平滑化槽１０は、搬送ローラ１１によ
り搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して微
粒子分散液を供給する微粒子分散液ノズル（微粒子分散
液供給部）１３と、微粒子分散液が供給された樹脂膜４
２の表面に物理的に接触するロール状ブラシ（表面平滑
化用ブラシ）１２とを有し、基材４１上に形成された樹
脂膜４２の表面に対して、微粒子分散液ノズル１３によ
り微粒子分散液を吹き付けながら、回転したロール状ブ
ラシ１２を物理的に接触させることにより、基材４１上
の樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去して当該樹脂膜４
２の表面を平滑化するようになっている。なお、ロール
状ブラシ１２は、スポンジ状の材料からなることが好ま
しい。また、ロール状ブラシ１２は、必要に応じて任意
の数だけ設置することが好ましい。さらに、ロール状ブ
ラシ１２は、基材４１上の樹脂膜４２の表面に均一に接
触した状態で樹脂膜４２付きの基材４１の搬送速度と異
なる速度で回転させることが好ましい。

【００１７】ここで、表面平滑化槽１０においては、微
粒子分散液ノズル１３により、樹脂膜４２付きの基材４
１に対して微粒子分散液を直接吹き付けることにより基
材４１上の樹脂膜４２の表面に対して微粒子分散液を供
給しているが、これに限らず、図２に示すように、微粒
子分散液ノズル１４により、ロール状ブラシ１２に対し
て微粒子分散液を吹き付けることにより、微粒子分散液
ノズル１４単独で、または微粒子分散液ノズル１３と協
働で、基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して間接的に
微粒子分散液を供給するようにしてもよい。また、表面
平滑化槽１０においては、図２に示すように、微粒子分
散液ノズル１３，１４により吹き付けられた微粒子分散
液を回収する回収トレイ（回収容器）１５と、この回収
トレイ１５により回収された微粒子分散液を微粒子分散
液ノズル１３，１４に対して再度供給する、ポンプ（図
示せず）等を備えた微粒子分散液再供給路１６とを有
し、表面平滑化槽１０内にて微粒子分散液を再利用する
ことができるようになっている。なお、微粒子分散液再
供給路１６には、除去後の樹脂膜片を捕集する濾過機能
を付与してもよい。

【００１８】なお、微粒子分散液ノズル１３，１４によ
り供給される微粒子分散液としては、水や有機溶剤（樹
脂膜４２付きの基材４１や微粒子等に影響がないもの）
等の液体に微粒子を含有させたものを用いることが好ま
しい。微粒子としては、金属酸化物等の無機物の他、樹
脂ビーズ等の有機物や、無機物と有機物との混合物を用
いることができる。なお、微粒子の硬度は、表面の平滑
化効果を高めるため、平滑化される樹脂膜４２の主成分
の硬度よりも高いことが好ましい。また一方で、微粒子
の硬度は、樹脂膜４２が形成されていない基材４１の表
面に傷が入ることと等を防止するため、基材４１の硬度
よりも低いことが好ましい。また、微粒子分散液の粒子
濃度は０．０１〜１．０ｗｔ％であることが好ましい。
さらに、微粒子の粒子径は、１０〜１０００ｎｍである
ことが好ましく、特に、樹脂膜４２中の顔料分子の粒径
（顔料の１次凝集体の最大粒径２μｍ）よりも小さいこ
とが好ましい。さらにまた、このような微粒子分散液に
は、必要に応じて、界面活性剤等を添加してもよい。な
お、ロール状ブラシ１２の材質としては、このような微
粒子分散液に対して耐性があることが好ましく、例えば
ポリビニルアルコールやポリ塩化ビニル、ポリウレタン
等を用いることが好ましい。

【００１９】拭取洗浄槽２０は、搬送ローラ２１により
搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して水等
の洗浄液を供給する洗浄液ノズル（洗浄液供給部）２３
と、洗浄液が供給された基材４１上の樹脂膜４２の表面
に物理的に接触するロール状ブラシ（拭取洗浄用ブラ
シ）２２とを有し、基材４１上に形成された樹脂膜４２
の表面に対して、洗浄液ノズル２３により洗浄液を吹き
付けながら、回転したロール状ブラシ２２を物理的に接
触させることにより、樹脂膜４２付きの基材４１から微
粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取るようにな
っている。なお、ロール状ブラシ２２は、スポンジ状の
材料からなることが好ましい。また、ロール状ブラシ２
２は、必要に応じて任意の数だけ設置することが好まし
い。さらに、ロール状ブラシ２２は、基材４１上の樹脂
膜４２の表面に均一に接触した状態で樹脂膜４２付きの
基材４１の搬送速度と異なる速度で回転させることが好
ましい。なお、ロール状ブラシ２２および洗浄液ノズル
２３は樹脂膜４２付きの基材４１の下面側に設けること
も可能であり、この場合には、樹脂膜４２付きの基材４
１の裏面に回り込んだ微粒子分散液および除去後の樹脂
膜片を確実に取り除くことができる。なお、これに伴っ
て、水洗槽３０においても、樹脂膜４２付きの基材４１
の裏面に対して水を吹き付ける水洗用ノズルを設けるよ
うにするとよい。

【００２０】ここで、拭取洗浄槽２０においては、洗浄
液ノズル２３により、樹脂膜４２付きの基材４１に対し
て水等の洗浄液を直接吹き付けているが、これに限ら
ず、ロール状ブラシ２２に対して、または樹脂膜４２付
きの基材４１とロール状ブラシ２２の両方に対して、洗
浄液を吹き付けるようにしてもよい。

【００２１】水洗槽３０は、搬送ローラ３１により搬送
される基材４１上の樹脂膜４２の表面に対して水を吹き
付ける水洗用ノズル３２を有し、基材４１上に形成され
た樹脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等を除去す
るようになっている。なお、水洗槽３０は、必要な洗浄
度合いに応じて任意の構成で複数設けることができる。
また、水洗槽３０には、必要に応じて、基材４１上に形
成された樹脂膜４２の表面に物理的に接触して樹脂膜４
２付きの基材４１から微粒子分散液等を取り除くための
ロール状またはディスク状のブラシを設けるようにして
もよい。なお、水洗用ノズル３１により吹き付けられる
水としては、オゾン水や水素水等を用いてもよく、また
必要に応じて、洗浄剤を用いてもよい。

【００２２】次に、このような構成からなる本実施の形
態の作用について説明する。

【００２３】まず、表面平滑化装置１において、樹脂膜
４２付きの基材４１が表面平滑化槽１０の挿入口３５か
ら挿入される。表面平滑化槽１０においては、搬送ロー
ラ１１により搬送される基材４１上の樹脂膜４２の表面
に対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液
を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理
的に接触させる。これにより、ロール状ブラシ１２によ
り基材４１上の樹脂膜４２の表面が擦られ、樹脂膜４２
の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微小凹凸等）が除
去されることにより基材４１上の樹脂膜４２の表面が平
滑化される。

【００２４】次いで、樹脂膜４２付きの基材４１は次段
の拭取洗浄槽２０に送り込まれ、拭取洗浄槽２０におい
て、搬送ローラ２１により搬送される基材４１上の樹脂
膜４２の表面に対して、洗浄液ノズル２３により水等の
洗浄液を吹き付けながら、回転したロール状ブラシ２２
を物理的に接触させる。これにより、ロール状ブラシ２
２により基材４１上の樹脂膜４２の表面が擦られ、表面
が平滑化された基材４１上の樹脂膜４２から微粒子分散
液および除去後の樹脂膜片が拭き取られる。

【００２５】その後、拭取洗浄槽２０により微粒子分散
液および除去後の樹脂膜片が除去された樹脂膜４２付き
の基材４１は次段の水洗槽３０に送り込まれ、水洗槽３
０において、搬送ローラ３１により搬送される基材４１
上の樹脂膜４２の表面に対して水洗用ノズル３２により
水を吹き付けることにより、基材４１上の樹脂膜４２の
表面に付着した微粒子分散液等を除去する。

【００２６】最後に、水洗槽３０により基材４１上の樹
脂膜４２の表面に付着した微粒子分散液等が除去された
樹脂膜４２付きの基材４１を必要に応じて乾燥させた
後、排出口３６から取り出す。

【００２７】このように本実施の形態によれば、表面平
滑化槽１０において、基材４１上の樹脂膜４２の表面に
対して、微粒子分散液ノズル１３により微粒子分散液を
吹き付けながら、回転したロール状ブラシ１２を物理的
に接触させて樹脂膜４２の表面の欠陥部位を除去するの
で、樹脂膜４２の表面の欠陥部位（突起物や連続的な微
小凹凸等）を効率良く除去して基材４１上の樹脂膜４２
の表面を平滑化することができる。このため、突起物や
連続的な微小凹凸等に起因した表示画像の不良等を効果
的に防止することができ、カラーフィルタ基板等の製品
の歩留まりを向上させることができる。

【００２８】なお、上述した実施の形態においては、基
材４１としてガラス基板を用いる場合を例に挙げて説明
したが、微粒子分散液に対して耐久性があるものであれ
ば、ガラス基板に限らず、金属やプラスチック等からな
る任意の基板を用いることができる。また、基材４１上
に形成された樹脂膜４２としてネガ型レジストを用いる
場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、その他の
硬化型樹脂やポジ型レジスト等からなる任意の樹脂膜を
用いることができる。

【００２９】また、上述した実施の形態においては、表
面平滑化用ブラシおよび拭取洗浄用ブラシとしてロール
状ブラシ１２，２２を用いているが、これに限らず、平
坦な接触面を有するディスク状ブラシ等の任意のものを
用いることができる。また、ロール状ブラシとディスク
状ブラシとを併用して用いることも可能である。

【００３０】さらに、上述した実施の形態においては、
樹脂膜４２が上方を向くよう支持された状態で樹脂膜４
２付きの基材４１が搬送される場合を例に挙げて説明し
たが、これに限らず、図３に示すように、樹脂膜４２が
下方を向くよう支持された状態で樹脂膜４２付きの基材
４１を搬送し、表面平滑化槽１０のロール状ブラシ１２
を樹脂膜４２付きの基材４１の下方に設置するようにし
てもよい。なお、樹脂膜４２付きの基材４１の下方に
は、微粒子分散液を収容する供給トレイ１８が設置され
ており、ロール状ブラシ１２の一部を供給トレイ１８内
の微粒子分散液に浸漬させた状態でロール状ブラシ１２
を回転させることにより、樹脂膜４２付きの基材４１に
対して微粒子分散液を供給することができるようになっ
ている。この場合には、樹脂膜４２付きの基材４１の裏
面側にのみ微粒子分散液が供給され、表面側に微粒子分
散液が回り込むことがないので、少量の微粒子分散液に
よって基材４１上の樹脂膜４２の表面を平滑化すること
が可能となり、拭取洗浄槽２０や水洗槽３０における洗
浄の負担を軽くすることができる。なお、図３におい
て、供給トレイ１８の代わりに、樹脂膜４２付きの基材
４１の下方に微粒子分散液ノズルを設置し、樹脂膜４２
付きの基材４１やロール状ブラシ１２に対して微粒子分
散液を吹き付けるようにしてもよい。

【００３１】さらに、上述した実施の形態においては、
表面平滑化槽１０および拭取洗浄槽２０において、基材
４１の一方の面にのみロール状ブラシ１２，２２を接触
させて基材４１上の樹脂膜４２の表面を平滑化するよう
にしているが、図４に示すように、基材４１の両面に樹
脂膜４２，４２が形成されているような場合には、樹脂
膜４２，４２の両方の表面にロール状ブラシ１２，２２
を接触させて基材４１の両面に形成された樹脂膜４２の
表面を平滑化するようにしてもよい。

【００３２】さらにまた、上述した実施の形態において
は、表面平滑化槽１０と拭取洗浄槽２０とを分離して設
置しているが、これに限らず、表面平滑化槽１０と拭取
洗浄槽２０とを一体化し、ノズルから吹き付けられる液
の種類を適宜変えることにより、一つの槽において、表
面平滑化槽１０および拭取洗浄槽２０の両方の処理を行
うようにしてもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位（突起物や連
続的な微小凹凸等）を効率良く除去して製品の歩留まり
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による表面平滑化装置の一実施の形態を
示す図。

【図２】図１に示す表面平滑化装置の変形例を示す図。

【図３】図１に示す表面平滑化装置の他の変形例を示す
図。

【図４】図１に示す表面平滑化装置のさらに他の変形例
を示す図。

【符号の説明】

１表面平滑化装置１０表面平滑化槽１１搬送ローラ１２ロール状ブラシ（表面平滑化用ブラシ）１３，１４微粒子分散液ノズル（微粒子分散液供給
部）１５回収トレイ（回収容器）１６微粒子分散液再供給路１８供給トレイ２０拭取洗浄槽２１搬送ローラ２２ロール状ブラシ（拭取洗浄用ブラシ）２３洗浄液ノズル（洗浄液供給部）３０水洗槽３１搬送ローラ３２水洗用ノズル３５挿入口３６排出口４１基材４２樹脂膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ０８Ｂ 7/04 Ｂ０８Ｂ 7/04 ＡＧ０２Ｂ 1/10 Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ 5/20 １０１ 1/10 ＺＦターム(参考） 2H048 BA45 BB02 BB28 BB44 2K009 CC21 DD16 EE00 3B116 AA02 AB14 BA08 BA14 BB22 CC01 CC03 CD22 3B201 AA02 AB14 BA08 BA14 BB22 BB92 BB95 CC01 CC11 CD22 3C058 AC04 CA06 CB02 DA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑化
する表面平滑化装置において、基材上に形成された樹脂膜の表面の欠陥部位を除去して
当該樹脂膜の表面を平滑化する表面平滑化槽を備え、前記表面平滑化槽は、前記基材上に形成された樹脂膜の
表面に対して微粒子分散液を供給する微粒子分散液供給
部と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に物
理的に接触して当該樹脂膜の表面の欠陥部位を除去する
表面平滑化用ブラシとを有することを特徴とする表面平
滑化装置。
【請求項２】前記微粒子分散液供給部は、前記基材に対
して微粒子分散液を直接吹き付けることにより前記樹脂
膜の表面に対して微粒子分散液を供給することを特徴と
する請求項１記載の表面平滑化装置。
【請求項３】前記微粒子分散液供給部は、前記表面平滑
化用ブラシに対して微粒子分散液を吹き付けることによ
り前記樹脂膜の表面に対して微粒子分散液を供給するこ
とを特徴とする請求項１記載の表面平滑化装置。
【請求項４】前記表面平滑化用ブラシはスポンジ状の材
料からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
記載の表面平滑化装置。
【請求項５】前記表面平滑化用ブラシはロール状をなし
ていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載
の表面平滑化装置。
【請求項６】前記表面平滑化用ブラシは平坦な接触面を
有するディスク状をなしていることを特徴とする請求項
１乃至４のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項７】前記表面平滑化槽は、前記微粒子分散液供
給部により供給された微粒子分散液を回収する回収容器
と、この回収容器により回収された微粒子分散液を前記
基材上の前記樹脂膜の表面に対して再度供給する微粒子
分散液再供給路とをさらに有することを特徴とする請求
項１乃至６のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項８】前記表面平滑化槽の前記表面平滑化用ブラ
シは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下
方に設置されていることを特徴とする請求項１乃至７の
いずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項９】前記微粒子分散液供給部により供給される
微粒子分散液は、平滑化される樹脂膜の主成分よりも硬
度が高い微粒子を含有することを特徴とする請求項１乃
至８のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１０】前記微粒子分散液の粒子濃度は０．０１
〜１．０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１乃至９
のいずれか記載の表面平滑化装置。
【請求項１１】前記微粒子分散液中に含有された前記微
粒子はその粒子径が１０〜１０００ｎｍであることを特
徴とする請求項１乃至１０のいずれか記載の表面平滑化
装置。
【請求項１２】前記表面平滑化槽により表面が平滑化さ
れた前記基材上の前記樹脂膜から微粒子分散液および除
去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄槽をさらに備えたこ
とを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか記載の表面
平滑化装置。
【請求項１３】前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹
脂膜の表面に物理的に接触して当該基材から微粒子分散
液および除去後の樹脂膜片を拭き取る拭取洗浄用ブラシ
を有することを特徴とする請求項１２記載の表面平滑化
装置。
【請求項１４】前記拭取洗浄槽は、前記基材上の前記樹
脂膜の表面に対して洗浄液を供給する洗浄液供給部をさ
らに有することを特徴とする請求項１３記載の表面平滑
化装置。
【請求項１５】基材上に形成された樹脂膜の表面を平滑
化する表面平滑化方法において、基材上に形成された樹脂膜の表面に対して微粒子分散液
を供給する工程と、微粒子分散液が供給された前記樹脂膜の表面に表面平滑
化用ブラシを物理的に接触させて当該樹脂膜の表面の欠
陥部位を除去する工程とを含むことを特徴とする表面平
滑化方法。
【請求項１６】表面が平滑化された前記基材上の前記樹
脂膜から微粒子分散液および除去後の樹脂膜片を拭き取
る工程をさらに含むことを特徴とする請求項１５記載の
表面平滑化方法。