KR20060055019A - 배향막 형성 장치 및 배향물질 클리닝 방법 - Google Patents

배향막 형성 장치 및 배향물질 클리닝 방법 Download PDF

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문현율
원민영
김태희
김종원
백형렬
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Abstract

배향막을 형성하기 위한 배향막 형성 장치 및 배향물질 클리닝 방법이 개시된다. 배향막 형성 장치는 복합 유닛, 제1 및 제2 롤러들, 제1 및 제2 에어 나이프들 및 이송 장치를 포함한다. 복합 유닛은 배향액 공급 유닛 및 세정액 공급 유닛을 포함한다. 제1 롤러에는 배향액 또는 세정액이 적하된다. 제1 에어 나이프는 제1 롤러에 제1 롤러의 회전 방향으로 기체를 분사한다. 제2 에어 나이프는 제1 롤러에 제1 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사한다. 제2 롤러는 제1 롤러와 접촉하고 이송 장치는 기판이 제2 롤러와 접촉하도록 기판을 이송한다. 배향물질 클리닝 방법은 롤러에 세정액을 제공하고, 세정액 및 배향액이 묻은 롤러의 회전방향으로 기체를 분사하고, 용매 제거용액을 롤러에 제공한 후 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사한다. 이에 따라, 제1 롤러에 잔류하는 배향막의 세정을 균일하게 할 수 있고 세정시간이 단축된다.
배향막, 롤러, 세정, 에어 나이프, 회전

Description

배향막 형성 장치 및 배향물질 클리닝 방법{APPARATUS FOR FORMING AN ORIENTATION FILM ON SUBSTRATE AND METHOD OF A CLEANNING ORIENTATION MATERIAL}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 배향막 형성 장치의 개념도이다.
도 2는 잔류 배향물질을 제거하기 위한 복합 유닛, 제1 및 제2 에어 나이프들의 관계를 도시한 개념도이다.
도 3a는 도 2에 도시된 제1 영역(A)의 확대도이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 제2 영역(C)의 확대도이다.
도 4는 도 2에 도시된 제3 영역(B)의 확대도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 배향막 형성 장치의 개념도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 한 배향물질 클리닝 방법을 도시한 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
5 : 배향액 공급 유닛 10 : 세정액 공급 유닛
20 : 디스펜서 30 : 복합 유닛
40 : 제1 롤러 50 : 제1 에어 나이프
60 : 제2 에어 나이프 70 : 제2 롤러
본 발명은 배향막 형성 장치 및 배향물질 클리닝 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판에 액정을 배향시키기 위한 배향막 형성 장치 및 배향물질을 클리닝하기 위한 배향물질 클리닝 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정(Liquid Crystal)은 전기장에 의하여 배열이 변경되는 전기적 특성, 배열에 따라서 광의 투과율이 변경되는 광학적 특성을 함께 갖는다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display device)는 액정의 전기-광학적인 특성을 이용하여 디스플레이를 수행한다.
그러나, 액정표시장치에 포함된 액정은 일정한 방향성을 가지도록 배열되어야만 액정의 전기-광학적인 특성이 발휘되어 영상을 표시할 수 있다. 즉, 소정의 규칙을 따라 액정이 배열되어 있어야만 전기장의 변화에 대하여 액정의 배열의 변화 또한 규칙적인 것이 되고 따라서 이러한 규칙성을 이용하여 액정을 투과하는 광량을 정밀하게 조절할 수 있다.
액정을 규칙적으로 배열하기 위하여 액정 표시 장치는 서로 대향하는 제1 기판, 제2 기판 및 양 기판 사이에 배치된 액정층을 포함하고, 액정층과 대향하는 양 기판의 표면에는 폴리이미드(polyimide)를 포함하는 배향막(align film)이 형성된다. 배향막에는 일정한 방향성을 가지는 배향홈(align groove)이 형성되고 이로 인해 액정은 배향홈에 의하여 규칙적으로 배향된다.
통상적으로 기판 상에서 롤러를 롤링시켜 기판 상에 배향막을 프린팅 (Printering) 한다. 상호 접촉되어 배향물질을 전이하는 롤러들의 표면에는 배향물질을 타 롤러에 전이한 후에도 배향물질이 잔류한다. 따라서, 이후의 기판 상에 배향막 형성 공정을 위해서는 배향막 형성 장치가 포함하는 롤러에 잔류하는 배향물질이 제거되어야 한다.
그러나, 종래에는 작업자가 수작업으로 롤러의 표면에 잔류하는 배향물질을 클리닝하였다. 이에 따라, 클리닝 작업에 시간이 많이 소요되고, 클리닝되는 정도가 불균일하며, 롤러 표면에 스크래치가 발생할 수 있고, 작업자의 안전에도 많은 문제점이 있다.
최근 들어, 액정표시장치의 스크린 사이즈가 점차 증가됨에 따라 배향막이 형성될 기판의 사이즈도 기판의 한 변의 길이가 2m 이상이 될 정도로 증가하고 있다. 이에 따라, 기판 상에 배향막을 형성하는 장치의 사이즈 또한 점차 증가되고 있는 추세여서 상기 수작업 상의 문제점들은 배향막 형성 장치의 생산성을 크게 저하시키고 있다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 제1 목적은 배향막 세정 수단을 포함하는 배향막 형성 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제2 목적은 롤러에 기체를 분사하는 단계를 포함하는 배향물질 클리닝 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 제1 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 배향막 형성 장치는 복합 유닛, 제1 및 제2 롤러들, 제1 및 제2 에어 나이프들 및 이송 장치를 포함한다. 복합 유닛은 배향액을 제1 위치에 공급하는 배향액 공급유닛 및 배향액을 세정하기 위한 세정액을 제1 위치에 공급하는 세정액 공급유닛을 포함한다. 제1 롤러에는 배향액 또는 세정액이 적하된다. 제1 에어 나이프는 제1 롤러에 제1 롤러의 회전 방향으로 기체를 분사한다. 제2 에어 나이프는 제1 롤러에 제1 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사한다. 제2 롤러는 제1 롤러와 접촉하고 이송 장치는 기판이 제2 롤러와 접촉하도록 기판을 이송한다.
본 발명의 제2 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 배향물질 클리닝 방법은 배향액이 묻은 롤러에 세정액을 제공하는 단계, 배향액 및 세정액을 교반하기 위하여 세정액 및 배향액이 묻은 롤러의 회전방향으로 기체를 분사하여 하는 단계, 세정액을 제거하기 위한 용매 제거용액을 롤러에 제공하는 단계 및 롤러를 건조시키기 위하여 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 배향막 형성 장치를 구현함에 있어서, 제1 및 제2 에어 나이프가 배치되는 위치 및 기체를 분하하는 압력, 세정액 또는 용매 제거 용액을 제공하는 방법 등이 설계 변수가 된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 구체적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
배향막 형성 장치
실시예 1
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 배향막 형성 장치의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 배향막 형성 장치(100)는 복합 유닛(30), 제1 롤러(40), 제1 에어 나이프(50), 제2 에어 나이프(60), 제2 롤러(70) 및 이송장치(90)를 포함한다. 도 1은 기판 상에 배향막을 형성하고 있는 배향막 형성 장치(100)를 도시한 것이다.
복합 유닛(30)은 배향액 공급 유닛(8), 세정액 공급 유닛(13) 및 디스펜서(20)를 포함한다. 배향액 공급 유닛(8)은 배향액(3)을 제1 위치에 공급한다. 배향액 공급 유닛(8)은 배향액 저장 탱크(5) 및 배관(6)을 포함한다. 세정액 공급 유닛(13)은 세정액 저장 탱크(10) 및 배관(11)을 포함한다.
배향액 공급 유닛(8) 및 세정액 공급 유닛(13)은 배관(6, 11)들을 통하여 디스펜서(20)에 연결된다. 디스펜서(20)는 배향액 저장 탱크(5)로부터 공급된 배향액(3)을 소정 유량으로 배출한다. 배향액(3)은 고형분과 휘발성 솔벤트로 이루어진다. 고형분은 배향액(3)에 3∼7 wt%가 포함된다.
제1 롤러(40)는 제1 직경을 갖는 원통 형상을 갖으며, 일례로 시계 방향으로 회전된다. 제1 롤러(40) 상의 제1 위치에는 디스펜서(20)로부터 배출된 배향액(3)이 직접 드롭 되어 불균일한 두께를 가지는 제1 배향막(3a)이 형성된다.
제1 에어 나이프(50)는 제1 롤러(40)의 회전 방향으로 기체를 분사한다. 바람직하게는, 제1 에어 나이프(50)는 제1 롤러(40)의 길이에 대응하는 길이를 가지는 슬릿 형상의 노즐이다. 제1 에어 나이프(50)는 제1 롤러(40) 상의 제1 위치로부 터 반시계 방향으로 제1 각도만큼 이격되고 제1 롤러(40)에 근접하게 배치된다. 제1 에어 나이프(50)는 배향막 형성 장치(100)가 기판 상에 배향막을 형성하는 공정에서는 기체를 분사하지 않는다.
제2 에어 나이프(60)는 제1 롤러(40)의 역회전 방향으로 기체를 분사한다. 바람직하게는, 제2 에어 나이프(60)는 제1 롤러(40)의 길이에 대응하는 길이를 가지는 슬릿 형상의 노즐이다. 제2 에어 나이프(60)는 제1 롤러(40) 상의 제1 위치로부터 반시계 방향으로 제1 각도보다 큰 제2 각도만큼 이격되고 제1 롤러(40)에 근접하게 배치된다. 제2 에어 나이프(60)는 배향막 형성 장치(100)가 기판 상에 배향막을 형성하는 공정에서는 기체를 분사하지 않는다.
배향막 형성 장치(100)는 제1 배향막(3a)의 두께를 조절하기 위한 두께 조절 유닛(45)을 더 포함한다. 제1 배향막(3a)은 제1 롤러(40)에 적하된 배향액(3)으로부터 형성되어 불균일한 두께를 가진다. 두께 조절 유닛(45)은 제1 배향막(3a) 두께를 요구되는 두께로 균일하게 한다. 제1 배향막(3a)이 두께 조절 유닛(45)에 의하여 두께가 조절되면, 비교적 균일한 두께를 가지는 제2 배향막이 제1 롤러(40)의 표면에 형성된다.
제2 롤러(70)는 제2 직경을 갖는 원통 형상을 가지며, 반시계 방향으로 회전한다. 제2 롤러(70)는 제2 롤러(70)의 표면에 설치된 전사 플레이트(74)를 더 포함한다. 전사 플레이트(74)는 제3 배향막이 형성될 기판의 면적과 실질적으로 동일하다. 이때, 제1 롤러(40)와 전사 플레이트(74)는 상호 접촉된다.
전사 플레이트(74)와 제1 롤러(40)는 제2 배향막의 두께보다 작은 두께를 가 지는 제3 배향막의 두께만큼 이격되어 배치된다.
이송 장치(90)는 제3 배향막이 형성될 기판을 이송한다. 이송 장치(90)는 전사 플레이트(74)와 맞물리도록 제2 롤러(70)의 접선 방향으로 이송된다.
따라서, 전사 플레이트(74)와 기판이 맞닿으면서 전사 플레이트(74)에 도포된 제3 배향막은 기판에 전사되고, 기판에는 제3 배향막이 형성된다.
그러나, 제1 롤러(40)에 형성된 제2 배향막이 제2 롤러(70)의 전사 플레이트(74)로 전사되어 전사 플레이트(74)에 제3 배향막이 형성될 때, 제2 배향막이 완전히 전사되지 못하고 제1 롤러(40)의 표면에는 잔류 배향물질(3b)이 남게된다. 따라서, 배향막 형성 장치(100)가 다음 배향막 형성 공정을 수행하기 위해서는 잔류 배향물질(3b)이 제거될 필요가 있다.
도 2는 잔류 배향물질을 제거하기 위한 복합 유닛, 제1 및 제2 에어 나이프들의 관계를 도시한 개념도이다. 도 2를 참조하면, 잔류 배향물질(3b)을 제거하기 위하여 복합 유닛(30), 제1 및 제2 에어 나이프(50, 60)들이 상호 연관하여 작동한다.
복합 유닛(30)은 배향액 공급 유닛(8)을 차단하고 세정액 공급 유닛(13)을 작동시킨다.
세정액 공급 유닛(13)은 잔류 배향물질(3b)을 제거하기 위하여 세정액(7)을 제1 롤러(40)의 제1 위치에 제공한다. 세정액(7)은 세정액 저장 탱크(10)로부터 배관(11)을 따라 디스펜서(20)에 도달하고 세정액(7)은 직접 제1 롤러(40)에 드롭된다. 여기서 세정액(7)은 배향액(3)을 용해시키는 용매 또는 상기 용매를 제거하기 위한 용매 제거용액일 수 있다.
잔류 배향물질(3b)을 제거하기 위하여 세정액 공급 유닛(13)은 먼저, 배향액(3)을 용해시키는, 예를 들어, 알콜 계열의 세정 용매를 제1 롤러(40)의 제1 위치에 공급한다. 이에 따라, 잔류 배향물질(3b)에 용매가 묻은 혼합막이 형성된다.
제1 롤러(40)가 시계방향으로 회전함에 따라 제1 위치로부터 연속적으로 형성되고 있는 혼합막은 제1 에어 나이프(50)가 배치된 위치에 도달한다.
도 3a는 도 2에 도시된 제1 영역(A)의 확대도이다.
도 3a를 참조하면, 제1 에어 나이프(50)는 잔류 배향물질(3b)이 세정 용매에 의해 더욱 잘 용해될 수 있도록 제1 압력으로 기체, 예를 들어, 공기를 제1 롤러(40)의 회전 방향으로 분사한다. 이에 따라, 잔류 배향물질(3b)과 세정 용매는 더욱 활발히 교반되고 잔류 배향물질(3b)이 세정 용매에 의해 용해되어 혼합 용액이 된다.
제1 에어 나이프(50)는 제1 롤러(40)에 묻은 상기 혼합 용액이 비산되는 것을 방지하기 위한 비산 방지 부재(53)를 더 포함한다. 비산 방지 부재(53)는 잔류 배향물질(3b)이 세정 용매에 더욱 잘 용해되도록 제1 롤러(40)와 함께 소정의 공간을 마련해 준다.
도 3b는 도 3a에 도시된 제2 영역(C)의 확대도이다.
도 3b를 참조하면, 제1 롤러(40)의 표면은 제1 롤러(40)의 배향막에 대한 접촉성을 향상시키기 위하여 골과 마루를 가지는 요철 형상으로 형성된다. 수작업으로 잔류 배향물질(3b)을 세정하는 경우 상기 골에 형성된 잔류 배향물질(3b)을 제 거하기가 어렵다.
그러나 본 실시예에 따른 배향막 형성 장치(100)에 의하면, 제1 에어 나이프(50)에서 분사되는 공기에 의한 잔류 배향물질(3b)에 버블링 효과와 세정 용매와의 교반 작용으로 상기 골에 형성된 잔류 배향물질(3b) 까지 제거된다.
도 4는 도 2에 도시된 제3 영역(B)의 확대도이다.
제1 에어 나이프(50)에 의하여 상호 교반된 세정 용매와 배향액(3)의 혼합용액은 제1 롤러(40)가 시계방향으로 회전함에 따라 제2 에어 나이프(60)가 배치된 위치에 도달한다.
제2 에어 나이프(60)는 제1 압력보다 큰 제2 압력으로 기체, 예를 들어, 공기를 제1 롤러(40)의 역회전 방향으로 분사한다. 이에 따라, 세정 용매에 용해된 잔류 배향물질(3b)은 제1 롤러(40)로부터 분리되어 폐용액 수납용기(80)에 수납된다.
도 2를 다시 참조하면, 제2 에어 나이프(60)에 의하여 세정 용매에 용해된 잔류 배향물질(3b)이 제거된 후에도 제1 롤러(40)의 표면에는 세정 용매가 잔류한다. 따라서, 제1 롤러(40)에 잔류하는 세정 용매를 제거하기 위하여 세정 용액 공급 유닛(13)은 제1 롤러(40)의 제1 위치에 용매 제거 용액, 예를 들어, 아세톤을 공급한다.
제1 에어 나이프(50)는 제1 롤러(40)의 회전 방향으로 기체, 예를 들어, 공기를 분사하여 버블링 작용에 의해 세정 용매와 용매 제거 용액을 교반한다.
제2 에어 나이프(60)는 제1 롤러(40)의 역회전 방향으로 기체, 예를 들어, 공기를 분사하여 용매 제거 용액에 용해된 세정 용매를 제1 롤러(40)의 표면으로부터 분리시켜고 세정 용매는 폐용액 수납용기(80)에 수납된다.
이후, 용매 제거 용액이 증발하여 제1 롤러(40)의 표면이 건조되어 잔류 배향물질(3b) 제거를 위한 배향막 형성 장치(100)의 작동이 완료된다.
본 실시예에 따른 배향막 형성 장치(100)에 의하면, 기계적으로 제1 롤러(40)에 형성된 잔류 배향물질(3b)을 제거할 수 있어 세정 상태가 균일하고, 세정 시간이 단축되어 배향막 형성 장치(100)의 생산성이 향상된다.
실시예 2
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 배향막 형성 장치의 개념도이다.
본 실시예에 따른 배향막 형성 장치(200)는 제1 및 제2 디스펜서(210, 220)들에 배향액 공급 유닛(208) 및 세정액 공급 유닛(218)이 각각 연결되는 것을 제외하고는 도 1에 도시된 배향막 형성 장치(100)와 동일하므로 동일한 구성요소에 대해서는 대응하는 참조 부호를 부여하고 그 중복된 설명은 생략한다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 배향막 형성 장치(200)는 복합 유닛(230), 제1 롤러(240), 제1 에어 나이프(250), 제2 에어 나이프(260), 제2 롤러(270) 및 이송장치(90)를 포함한다.
도 5는 제1 롤러(240)에 형성되어 세정 용매와 교반된 잔류 배향물질(217a)을 제거하고 있는 배향막 형성 장치(200)를 도시한 것이다.
복합 유닛(230)은 배향액 공급 유닛(208), 세정액 공급 유닛(218), 제1 및 제2 디스펜서(210, 220)들을 포함한다.
배향액 공급 유닛(208)은 배향막 형성 공정에서는 배향액(217)을 제1 롤러(240) 상의 제1 위치에 공급한다. 배향액 공급 유닛(208)은 배향액 저장 탱크(205) 및 배관(206)을 포함하고 배관(206)을 통하여 제1 디스펜서(210)에 연결된다.
세정액 공급 유닛(218)은 잔류 배향물질(217a) 제거 공정에서는 제1 롤러(240) 상의 제1 위치에 잔류 배향물질(217a)을 제거하기 위한 세정액(217)을 공급한다. 세정액 공급 유닛(218)은 세정액 저장 탱크(215) 및 배관(216)을 포함한다. 세정액 공급 유닛(218)은 배관(216)을 통하여 제2 디스펜서(220)에 연결된다. 세정액(217)은 세정액 저장탱크(215)로부터 배관(216)을 따라 제2 디스펜서(220)에 도달하고 세정액(217)은 직접 제1 롤러(240)에 드롭된다. 여기서 세정액(217)은 배향액(217)을 용해시키는 용매 또는 상기 용매를 제거하기 위한 용매 제거용액일 수 있다.
복합 유닛(230)은 배향막 형성 공정에서는 제1 디스펜서(210)로부터 배향액(217)을 소정 유량으로 배출하고 잔류 배향물질(217a) 제거 공정에서는 제2 디스펜서(220)로부터 세정액(217)을 소정 유량으로 배출한다.
제1 에어 나이프(250)는 제1 롤러(240)의 회전 방향으로 기체를 분사한다. 바람직하게는, 제1 에어 나이프(250)는 제1 롤러(240)의 길이에 대응하는 길이를 가지는 슬릿 형상의 노즐이다. 제1 에어 나이프(250)는 제1 롤러(240) 상의 제1 위치로부터 반시계 방향으로 제1 각도만큼 이격되고 제1 롤러(240)에 근접하게 배치된다.
제2 에어 나이프(260)는 제1 롤러(240)의 역회전 방향으로 기체를 분사한다. 바람직하게는, 제2 에어 나이프(260)는 제1 롤러(240)의 길이에 대응하는 길이를 가지는 슬릿 형상의 노즐이다. 제2 에어 나이프(260)는 제1 롤러(240) 상의 제1 위치로부터 반시계 방향으로 제1 각도보다 큰 제2 각도만큼 이격되고 제1 롤러(240)에 근접하게 배치된다.
배향물질 클리닝 방법
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 배향물질 클리닝 방법을 도시한 순서도이다.
도 6을 참조하면, 먼저 세정 용매는 롤러의 제1 위치에 드롭(drop) 되어 롤러의 표면에 잔류하는 잔류 배향물질에 묻는다(단계 1). 이때, 세정 용매는 배향막과 충분한 교반이 되지 못한다. 제1 위치로부터 연속적으로 잔류 배향물질에 세정 용매가 묻은 혼합막이 형성되고 혼합막은 롤러의 회전에 따라 제1 에어 나이프가 배치된 위치에 도달한다.
제1 에어 나이프는 롤러의 회전 방향으로 기체를 분사하여 잔류 배향물질과 세정 용매를 버블링 작용에 의하여 교반한다(단계 2).
이때, 상호 교반된 잔류 배향물질과 세정 용매의 혼합물은 비산 방지 부재에 의하여 비산되는 것이 방지된다. 롤러의 회전에 따라 연속적으로 형성되고 있는 상기 혼합물은 제2 에어 나이프가 배치된 위치에 도달한다.
이어서 제2 에어 나이프는 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하여 잔류 배향물질을 제거한다(단계 3).
이때, 잔류 배향물질이 제거되어도 잔류 배향물질을 용해하기 위한 세정 용매의 일부는 롤러의 표면에 잔류한다.
계속해서, 세정 용매가 묻은 롤러에는 제1 위치에 용매 제거 용액이 제공된다(단계 4). 용매 제거 용액은 롤러의 표면에 묻어 세정 용매를 용해한다. 이때, 용매 제거 용액과 세정 용매의 혼합은 충분하지 못하다.
이후, 제1 에어 나이프는 롤러의 회전 방향으로 기체를 분사하여 버블링 작용에 의하여 세정 용매와 용매 제거 용액을 교반한다(단계 5). 이에 따라, 세정 용매는 용매 제거 용액에 의해 충분히 용해된다.
계속해서, 롤러가 회전하고 제2 에어 나이프는 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하여 용매 제거 용액에 용해된 용매는 롤러의 표면으로부터 분리 제거되어 롤러의 표면에 존재하는 잔류 배향물질의 클리닝 공정이 완료된다(단계 6).
본 실시예에 따른 배향물질 클리닝 방법에 의하면, 롤러에 잔류 배향물질의 세정상태를 균일하게 할수 있고 세정 시간을 단축하여 배향막 클리닝 공정의 생산성이 향상된다.
이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 배향막 형성 장치에 의하면, 기 계적으로 제1 롤러에 형성된 잔류 배향물질을 제거할 수 있어 세정 상태가 균일하고, 세정 시간이 단축되어 배향막 형성 장치의 생산성이 향상된다.
또한, 본 발명에 따른 배향물질 클리닝 방법에 의하면, 롤러에 잔류 배향물질의 세정상태를 균일하게 할수 있고 세정 시간을 단축하여 배향막 클리닝 공정의 생산성이 향상된다.

Claims (8)

  1. 배향액을 제1 위치에 공급하는 배향액 공급유닛 및 상기 배향액을 세정하기 위한 세정액을 상기 제1 위치에 공급하는 세정액 공급유닛을 포함하는 복합 유닛;
    상기 배향액 또는 상기 세정액이 적하 되는 제1 롤러;
    상기 제1 롤러에 상기 제1 롤러의 회전 방향으로 기체를 분사하는 제1 에어 나이프;
    상기 제1 롤러에 상기 제1 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하는 제2 에어 나이프;
    상기 제1 롤러와 접촉하는 제2 롤러; 및
    상기 제2 롤러와 접촉하는 기판을 이송하는 이송장치를 포함하는 배향막 형성 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 에어 나이프는 상기 제1 롤러에 묻은 상기 세정액의 비산을 방지하기 위한 비산 방지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 복합 유닛은 상기 배향액 또는 상기 세정액을 상기 제1 위치에 적하 하는 디스펜서를 포함하고, 상기 배향액 공급 유닛 및 상기 세정액 공급유닛은 하나의 디스펜서에 연결된 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 복합 유닛은 상기 배향액 또는 상기 세정액을 상기 제1 위치에 적하 하는 디스펜서를 포함하고, 상기 배향액 공급 유닛은 제1 디스펜서에 연결되고, 상기 세정액 공급 유닛은 제2 디스펜서에 연결된 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 세정액은 상기 배향액을 용해시키는 용매 또는 상기 용매를 제거하기 위한 용매 제거용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 형성 장치.
  6. 배향액이 묻은 롤러에 세정액을 제공하는 단계;
    상기 배향액 및 상기 세정액을 교반하기 위하여 상기 세정액 및 상기 배향액이 묻은 상기 롤러의 회전방향으로 기체를 분사하여 하는 단계;
    상기 세정액을 제거하기 위한 용매 제거용액을 상기 롤러에 제공하는 단계; 및
    상기 롤러를 건조시키기 위하여 상기 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하는 단계를 포함하는 배향물질 클리닝 방법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 롤러의 회전방향으로 기체를 분사하여 하는 단계 이후에는 상호 교반된 상기 세정액 및 상기 배향액을 제거하기 위하여 상기 롤러의 역회전 방향으로 기체를 분사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향물질 클리닝 방법.
  8. 제6 항에 있어서, 상기 용매 제거용액을 상기 롤러에 제공하는 단계 이후에는 상기 세정액 및 상기 용매 제거용액을 교반하기 위하여 상기 세정액 및 상기 용매 제거용액이 묻은 상기 롤러의 회전방향으로 기체를 분사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배향물질 클리닝 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101340230B1 (ko) * 2011-12-07 2013-12-10 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시소자용 배향막 형성장치
KR20160006355A (ko) * 2014-07-08 2016-01-19 세메스 주식회사 예비 토출 유닛, 이를 가지는 기판 처리 장치 및 방법

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