JP2003116261A - リニアモータ、ステージ装置及び露光装置 - Google Patents

リニアモータ、ステージ装置及び露光装置

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JP2003116261A
JP2003116261A JP2001310053A JP2001310053A JP2003116261A JP 2003116261 A JP2003116261 A JP 2003116261A JP 2001310053 A JP2001310053 A JP 2001310053A JP 2001310053 A JP2001310053 A JP 2001310053A JP 2003116261 A JP2003116261 A JP 2003116261A
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linear motor
fixed
coil
motor according
stator
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Nobushige Korenaga
伸茂 是永
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Canon Inc
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】製作が容易な構造を有するリニアモータを提供
する。 【解決手段】固定ヨーク303を構成する複数の固定ヨ
ーク部材は、固定子支持部材301によって互いに面接
触することなく支持されている。各固定ヨーク部材は、
複数の磁性薄板を互いに絶縁して積層した構造を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータ、ス
テージ装置及び露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】リニアモータとして、図8Aに示すよう
な円筒型のリニアモータが知られている。図8Aに示す
リニアモータでは、円柱状支持棒1201の外側に、円
弧状積層ヨーク部材1202aを組み合わせて円環状に
した積層ヨーク(積層鉄心)1202が設けられてい
る。積層鉄心1202の外側には、複数の円環状部分コ
イル1203が円柱状支持棒1201の軸に沿って配列
されている。以上の円柱状支持棒1201、円環状積層
ヨーク1202及び複数の円環状部分コイル1203で
リニアモータの固定子が構成されている。
【0003】リニアモータの可動子は、固定子の円環状
部分コイル1203の外側に設けられおり、円環状ヨー
ク1205と複数の円環状部分磁石1204で構成され
ている。複数の円環状部分磁石1204には、円環の径
方向に着磁されたものと軸方向に着磁されたものとがあ
る。より具体的には、各円環状部分磁石1204は、複
数の円環状部分磁石1204で構成される円筒形状の円
筒の内側に交番磁界を発生するように着磁方向が決定さ
れている。
【0004】この従来例のリニアモータでは、いわゆる
ハルバッハ配列で円筒内部に2周期分の略サイン波磁界
を発生している。複数の円環状部分磁石1204の外側
には、円筒状ヨーク1205が設けられており、この円
環状ヨーク1205は、いわゆるバックヨークの役割を
果たしている。つまり、円環状部分磁石1204の裏に
円環状ヨーク1205を設けることで磁石の磁束を増加
するようにしている。この例では、円環状部分磁石12
04がハルバッハ配列なのでバックヨークは薄くても良
い。
【0005】また、固定子の円環状積層鉄心1202
は、複数の円環状部分磁石1204が円環内部につくる
磁界を増強する役割を果たしている。この例では、円環
状磁石1204がハルバッハ配列なので円環状積層ヨー
ク1202をバックヨークより厚くする必要がある。
【0006】また、バックヨークとしての円環状ヨーク
1205は磁石1204と一体なので無垢でよいが、固
定子の円環上積層ヨーク1202は磁石1204に対し
て相対運動をするので渦電流を防止するために軸に沿っ
た方向に絶縁層を設けるような積層構造になっている。
【0007】複数の円環状コイル1203は、複数の相
(この例では、A、Bの2相)から構成される。
【0008】このリニアモータの駆動方法は一般的なサ
イン波駆動であり、電流と磁束が直交するように制御さ
れる。ただし、この構成は可動磁石・固定コイル方式で
あり、一般的なサイン波駆動に加えてコイルの切り替え
が必要である。複数の部分コイル1203のうち複数の
部分磁石1204と対面しているコイルだけを通電して
発熱を低減するためである。図8Bには、A相の切り替
えタイミングが示されている。図8Bに示す状態で可動
子が右に進むと図示のA相がオフになって図示のAダッ
シュ相がオンになる。逆に左に進むときは図示のAダッ
シュ相がオフになって図示のA相がオンになる。それ以
外の磁石と対面している相についてはA相もB相も全て
オンである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来例の円筒型
リニアモータは、部分磁石1203、部分コイル120
3、固定子の積層ヨーク1202が円筒状で閉じている
ために、製造および性能に関して以下のような問題点を
有する。
【0010】すなわち、従来例の円筒型リニアモータで
は、固定子のコイルからの導線の引き出しが困難であ
り、推力低下をまねく。円環状コイル1203では、必
ず巻き始め部分の導線が内周側になる。これを円環状コ
イル1203の外部に引き出すには一度外周側に導線を
引き出し、さらに円環状コイル1203の外周を軸方向
に沿って引き出す必要がある。または、円環状積層鉄心
1202に溝等の空間を設けてそこに導線を這わせるよ
うにする必要がある。前者の場合は、磁石1204とコ
イル1203のギャップ部に引き出し導線を這わせるこ
とになり磁石とコイルとの機械的クリアランス(磁石と
コイルの最短距離)を一定にしようとすると磁石120
4と固定子積層鉄心1202との磁気ギャップを大きく
しなければならず、これにより推力が低下する。また、
後者の場合は、積層鉄心1202の加工がいっそう困難
になるし部分的に磁気ギャップが増加するので、推力の
低下を招く。
【0011】また、コイル1203の巻き終わり部分の
導線は必ずコイルの外周部になる。これもそのままコイ
ル1203の外周部を這わすと磁気ギャップの増加に伴
う推力低下をまねくし、一度内側に導いてから内周部を
這わすようにすると巻き始め部分の導線を内周部を這わ
せたときと同様の問題、つまり積層鉄心の加工が困難に
なることと部分的磁気ギャップの増加により推力が低下
するという問題がある。
【0012】本発明は、上記の背景に鑑みてなされたも
のであり、例えば、コイルからの巻線の引き出しを容易
にし、巻線の引き出しによる推力の低下を抑え得るリニ
アモータ並びにこれを有するステージ装置及び露光装置
を提供することを目的とする。さらに、付加的な目的と
しては、例えば、ヨーク内の渦電流を低減すること、推
力の変動を低減すること、製作が容易であることなどが
挙げられる。本発明のその他の具体的な目的は、発明の
詳細な説明において述べる。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の側面は、
固定子と可動子を有するリニアモータに係り、前記固定
子は、固定ヨークと、前記固定ヨークの外側に配置され
た固定コイルと、前記固定ヨークを支持する固定子支持
部材とを有し、前記可動子は、前記固定コイルの外側に
配置された可動磁石を有し、前記固定ヨークは、前記固
定子支持部材によって互いに面接触することなく支持さ
れた複数の固定ヨーク部材を含み、各固定ヨーク部材
は、複数の磁性薄板を互いに絶縁して積層した構造を有
することを特徴とする。
【0014】本発明の好適な実施の形態によれば、各固
定ヨーク部材が、滑らかな凸面が形成されるように前記
複数の磁性薄板を積層後に加工した凸面を有することが
好ましい。或いは、各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面
と凹面が形成されるように前記複数の磁性薄板を積層後
に加工した凸面と凹面を有することが好ましい。
【0015】本発明の好適な実施の形態によれば、各固
定ヨーク部材を構成する複数の磁性薄板が実質的に同一
の形状を有することが好ましい。ここで、各固定ヨーク
部材が、前記複数の磁性薄板を互いにずらしながら積層
した構造を有することが好ましい。或いは、他の点に着
目すれば、各固定ヨーク部材が、実質的に円弧面が形成
されるように前記複数の磁性薄板を互いにずらしながら
積層した構造を有することが好ましい。或いは、他の点
に着目すれば、各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面が形
成されるように前記複数の磁性薄板を互いにずらしなが
ら積層した構造を有することが好ましい。
【0016】本発明の好適な実施の形態によれば、各固
定ヨーク部材が凸面を有し、固定コイルがコイル軸に並
行な凹面を有し、固定ヨーク凸面と固定コイル凹面が略
平行であることが好ましい。
【0017】本発明の好適な実施の形態によれば、各固
定ヨーク部材が凸面を有し、固定コイルがコイル軸に平
行な円筒面を有し、固定ヨーク凸面と固定コイル円筒面
が略平行であることが好ましい。
【0018】本発明の好適な実施の形態によれば、各固
定ヨーク部材を構成する積層された複数の磁性薄板は、
その中央部の磁性薄板の位置と前記固定ヨークの中心軸
とで規定される面に平行に配置されていることが好まし
い。
【0019】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定コイルの巻き始め部分及び/又は巻き終わり部分
が、前記固定コイルの内側に配置された前記固定ヨーク
を構成する1つの固定ヨーク部材と他の固定ヨーク部材
との境界付近に位置することが好ましい。
【0020】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定コイルからの引き出し導線が、前記固定コイルの内
側に配置された前記固定ヨークを構成する1つの固定ヨ
ーク部材と他の固定ヨーク部材との境界付近を前記固定
子の軸に沿って通るように配置されていることが好まし
い。
【0021】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定子支持部材が、冷媒を流すための流路をその内部に
有することが好ましい。ここで、前記流路の断面形状が
円形であることが好ましい。或いは、他の点に着目すれ
ば、前記流路が、前記固定子支持部材の内部に複数個設
けられていることが好ましい。或いは、他の点に着目す
れば、前記流路が、前記固定子の軸を中心として放射状
に配置された複数の溝を有することが好ましい。或い
は、他の点に着目すれば、前記流路の断面形状が蜂の巣
状であることが好ましい。
【0022】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定子支持部材が、金属で構成されていることが好まし
い。或いは、他の点に着目すれば、前記固定子支持部材
が、セラミックで構成されていることが好ましい。
【0023】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定子の前記固定コイルと前記可動子の前記可動磁石と
の間に隔壁が配置され、前記固定コイルと前記隔壁との
間に冷媒を流すための流路が形成されていることが好ま
しい。ここで、前記隔壁の断面は、多角形であってもよ
いし、円形であってもよい。また、前記隔壁が、絶縁材
料で構成されていることが好ましい。
【0024】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
固定子は、前記固定子の軸方向に並べて配列される複数
の部分固定コイルを有し、前記リニアモータは、前記複
数の部分固定コイルをそれぞれ位置決めする位置決め部
材を更に有することが好ましい。前記位置決め部材は、
前記固定コイルの軸方向に切断した断面において櫛歯形
状を有し、該櫛歯形状を構成する櫛歯と櫛歯との間に前
記部分固定コイルが位置決めされることが好ましい。
【0025】或いは、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、前記固定子は、前記固定子の軸方向に並べて配列さ
れる複数の部分固定コイルを有し、各部分固定コイルは
ボビンに巻かれていることが好ましい。ここで、前記ボ
ビンが、その側板に切り欠き部を有することが好まし
い。また、前記ボビンの側板の厚さが、前記固定コイル
の巻線の径の1/2よりも大きいことが好ましい。
【0026】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
可動子が、前記可動磁石の外側にバックヨークを有する
ことが好ましい。ここで、前記バックヨークが、中空の
柱状構造を有することが好ましい。或いは、前記バーク
ヨークが、可動子支持部材によって互いに離間して支持
された複数の部分バックヨークを含むことが好ましい。
【0027】本発明の第2の側面は、固定子と可動子を
有するリニアモータに係り、前記固定子は、例えば該固
定子の軸に平行な複数の磁性薄板を必要に応じて互いに
絶縁して積層した積層体を複数備えた固定ヨークと、該
固定ヨークの外側又は内側に配置された固定コイルとを
有し、前記可動子は、前記固定コイルの外側又は内側に
配置された可動磁石を有し、前記固定ヨークの前記複数
の積層体を、少なくと二つの積層体に関して互いに端部
の間に空隙ができるように配置したことを特徴とする。
【0028】本発明は、上記のリニアモータを利用した
あらゆる装置においてその効果を奏する。
【0029】例えば、本発明の第3の側面は、上記のリ
ニアモータと、前記リニアモータによって駆動されるス
テージとを備えることを特徴とする。
【0030】また、本発明の第4の側面は、上記のステ
ージ装置を基板又は原版を位置決めするためのステージ
装置として有することを特徴とする。
【0031】さらに、本発明の他の側面は、上記の露光
装置によりデバイスパターンで基板を露光する段階と、
該露光した基板を現像する段階とを含むことを特徴とす
る。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明の好適な実施の形態を説明する。
【0033】[第1の実施の形態]図1A〜図1Nは、
本発明の第1の実施の形態のリニアモータの構造を示す
図である。ここで、図1Aは図1BのAA矢視断面図、
図1Bは軸方向(駆動方向)に沿ってリニアモータを切
断した断面図、図1Cはリニアモータを軸方向から見た
図(正面図)、図1Dはリニアモータを側面から見た図
(側面図)である。
【0034】この実施の形態の1つの特徴は、従来例の
ような円筒形状に代えて、断面が略多角形(より詳しく
は四角形)の構造を採用した点である。より具体的に
は、この実施の形態のリニアモータでは、軸に対して垂
直に切断した断面において、可動子の磁石列(可動磁石
列)105、可動子のバックヨーク106、固定子のコ
イル列(固定コイル列)104を円環状にせずに、略多
角形状(より詳しくは四角形状)にした点に特徴があ
る。
【0035】まず、固定子は、支持部材101、積層ヨ
ーク(積層鉄心)103及びコイル104で構成され
る。具体的には、固定子は、一番中心に四角柱形状の支
持部材101を有する。この支持部材101は、その外
側面上に四角形状の積層ヨーク103およびコイル列1
04を支持するベースとし機能し、内部には冷媒を通す
ための流路102を有する。
【0036】支持部材101に形成された流路102
は、例えば断面が円形等の形状を有し、不図示の配管が
接続されて冷媒の循環経路を構成する。この冷媒は、リ
ニアモータを冷却するために使用される。したがって、
支持部材101は熱伝導性に優れた材料で構成されるこ
とが望ましい。
【0037】四角形状の支持部材101の4つの外側面
には、図1Eに示すような4つの板状の積層ヨーク部材
103aが互いに面接触することなくそれぞれ取り付け
られる。ここで、4つの板状の積層ヨーク部材103a
が互いに面接触しないように、これらを支持部材101
によって支持することにより、各積層ヨーク部材103
aの端部を精度良く加工する必要がなくなる。従来は、
積層ヨーク部材の端部(円弧方向の端部)の面を隣の積
層ヨーク部材の端部の面に接触させて組み合わせること
により円筒状の積層ヨークを形成していたので、各積層
ヨーク部材の端部を高精度に加工する必要があった。
【0038】この実施の形態では、4つの板状積層ヨー
ク部材103aによって断面が四角形状の積層ヨーク1
03が形成される。積層ヨーク部材103aは、図1E
に示すように、表面が絶縁処理された長方形(典型的に
は同一形状)の複数の磁性薄板を積層して板状(平面形
状)にしたものである。このように積層鉄心103を構
成する積層ヨーク部材103aは、長方形の薄板を単に
積層して接合するだけなので製作が極めて容易である。
積層ヨーク部材103aは、それを構成する多数枚の薄
板が四角形状の支持部材101の外側面に直交しかつ駆
動軸に平行になるように該外側面に取り付けられる。換
言すると、積層ヨーク部材103aを構成する積層され
た多数の磁性薄板は、その中央部の磁性薄板の位置と支
持部材101或いは積層ヨーク103の中心軸とで規定
される面に平行に配置される。これにより磁石列105
が発生する磁束が薄板の絶縁層に沿って循環するように
なり、渦電流の発生を最小に抑えることが出来る。
【0039】四角形状の支持部材101の外側面に取り
付けられた4つの板状積層ヨーク部材103aの外側に
さらに複数の部分コイルからなるコイル列104が軸に
沿って設けられている。コイル列104は、4つの平面
形状部分を含み、軸に直交する方向に切断した断面にお
いて略四辺形形状を有する。詳細は後述するが、コイル
列104を構成する各部分コイルの巻き線の巻き始め部
分と巻き終わり部分は、平面部と平面部との境界付近、
換言すると略四辺形形状を有するコイル104の隅部に
設けられている。
【0040】可動子は、図1Fに示すように平面状に複
数の磁石が配列されてなる磁石列105と、その裏に設
けた平面状のバックヨークとで構成される平面状ユニッ
トを4つ組み合わせて、軸に対して直交する方向に切断
した面内において四角形形状にしたものである。平面磁
石列105を構成する複数の磁石の極の向きは磁石の表
面に交番磁界を発生するように、この例ではいわゆるハ
ルバッハ配列になっている。平面のバックヨーク106
上に平面の磁石列105が形成された構造を製作するの
は極めて容易である。従来例では円筒という閉じた空間
内に円環を挿入して位置決めしなければならなかったの
に対して、この実施の形態では大きな平面の上に小さい
平面状の磁石を列状に配置し位置決めすればよい。よっ
て、製作時にバックヨーク106の周辺空間を自由に使
うことができるので磁石同士を精度良く位置決めするた
めの治工具等の利用が容易であり、磁石同士を精度良く
位置決めすることができる。平面のバックヨーク106
上に平面磁石列105が形成されたものを4つ組み合わ
せて四角形状の可動子を作製するのもまた極めて容易で
あり、可動子全体として磁石を精度良く位置決めするこ
とが可能になる。この結果、磁石の位置決め誤差に起因
する推力変動を低減することができる。
【0041】可動子に設けた磁石列105がその内部に
形成する磁束は、磁石列105の面に垂直な成分と当該
面に平行な成分とを含む。これらの両成分は固定子の板
状積層ヨーク部材103aを介して循環する。固定子の
各積層ヨーク部材103aは、前述のように、それを構
成する複数の薄板が磁石列105の面(平面形状部)に
垂直に設置されている。磁石列105が形成する磁石面
に直角な磁束も磁石面に平行な磁束も薄板に入るが、薄
板間は絶縁されているので渦電流のループは薄板の薄い
面内に限定される。したがって、極めて単純で製作容易
な構成により渦電流の発生を最小限に抑えることが出来
る。
【0042】以上のように、従来例のような円筒形状に
代えて、磁石列105およびバックヨーク106を平面
形状を組み合わせた略四角形形状とし、コイル104を
略四辺形形状にすることにより、従来技術の問題点、す
なわち固定子の円弧状積層鉄心の製作が困難なこと、渦
電流の抑止が不十分なこと、可動子の円筒ヨークと環状
磁石との組み立てが困難なこと、それによって環状磁石
の位置決め精度が劣化しひいては推力変動が助長される
ことがすべて解決されうる。
【0043】次に、残りの問題であるコイル巻き線の引
き出し、およびそれによる推力低下を防止するための対
策および効果について説明する。
【0044】この実施の形態では、図1Lに示すよう
に、コイルの巻き始め部分104cと巻き終わり部分を
略四角形形状を有するコイル列104の隅部(平面部1
04aと平面部104aとの境界付近)に設けている。
巻き始め部分104cは必ずコイル列104の内周側
に、巻き終わり部分104dは必ず外周側に位置する。
これらの付近から軸に沿って導線を引き出せばよい。こ
の様子を図1Mに示す。この実施の形態によれば、巻き
線の巻き始め部分104cと巻き終わり部分104dを
略四角形形状を有するコイル列104の隅部に設けてそ
こから軸に沿って導線を引き出すので、引き出し導線は
略四角形形状を有するコイル列104の隅部付近を軸方
向に沿ってコイル列104の軸方向の端部に引き出され
る。図1Mから明らかなように、略四角形形状を有する
コイル列104の隅部には磁石列105も積層ヨーク部
材103a(積層鉄心103)も存在しない。従って、
この空間内にコイル列104の引き出し導線を通すこと
により、磁気ギャップに引き出し導線を配置すること
も、積層ヨーク103aの一部を削ることもなく、すな
わち何ら推力の低下を伴わずにコイル列104の引き出
し導線をコイル列104の軸方向の端部まで引き出すこ
とが出来る。つまり、平面状の4つの磁石列105を略
四角形形状に配置し、固定子のコイル列104をそれに
適合した略四角形形状にし、固定子の積層鉄心103を
それに適合した略四角形形状にすることにより、推力の
低下を伴うことなくコイル列104の隅部に空間を形成
し、この空間をコイル列104の引き出し導線を通すた
めの空間として利用することができる。
【0045】また、図1Nに示すように、全ての巻き線
をコイル列104の内周側から引き出すことも可能であ
る。この場合は、コイル列104の外周部に位置する巻
き終わり部分をコイル列104の隅部の内周部に導く必
要がある。また、図1Nとは逆に、内周部の巻き始め部
分を外周部に導いて全ての巻き線を外周部から引き出す
ことも可能である。これらのいずれの方法も、四角形状
のコイル列104の隅部の空間(内周部又は外周部)を
利用する。
【0046】次に、コイル列104を構成する複数の部
分コイルの位置決め方法およびコイル列104と積層ヨ
ーク103との絶縁について説明する。コイル列104
を構成する各部分コイルの軸方向の寸法を高精度に規定
しない場合、複数の部分コイルを単に支持部材101と
積層ヨーク103(4つの板状積層ヨーク部材103
a)で構成される棒状部材にはめ込んでいったのでは各
部分コイルの軸方向の寸法誤差が累積する。したがっ
て、各部分コイルを位置決めする必要がある。また、コ
イル列104(部分コイル)と積層鉄心103(積層ヨ
ーク103a)との絶縁も必要である。
【0047】このような課題を解決する第1の方法は、
位置決め板を使う方法である。これを図1I、図1Jに
示す。図1Iは、位置決め板107を使って複数のコイ
ル104を組み立てた後の状態を示している。図1J
は、図1Iに示す構造を作製する方法を示している。図
1A及び図1Bに示す構造と異なり、図1Iに示す構造
は、コイル列104と各積層ヨーク部材103aとの間
に位置決め板107を有する。位置決め板107は、概
ねコイル列104の平面部と同程度の幅w1を持ち、軸
方向に沿って延びる櫛歯状断面を有する板である。櫛歯
形状における櫛歯と櫛歯の間に部分コイルが配置され
る。この位置決め板107は、各板状積層ヨーク部材1
03aとコイル列104との間に配置されており、合計
で4つの位置決め板107が用いられている。各位置決
め板107は、高いピッチ精度で櫛歯107bが形成さ
れており、この櫛歯107bのピッチ精度でコイル10
4が位置決めされるので、コイル列104を構成する各
部分コイルの幅寸法誤差が累積して各部分コイルの位置
がずれることはない。また、位置決め板107は絶縁材
料で構成されている。位置決め板107のベース部10
7aがコイル列104の各部分コイルと板状積層ヨーク
部材103aとを絶縁し、位置決め板107の櫛歯部1
07bが部分コイルと部分コイルとを絶縁する。この実
施の形態では、4つの位置決め板107をそれらの幅方
向の端部を離間して配置しているので、コイル列104
の隅部の空間は内周部も外周部もそのまま残る。したが
って、位置決め板107は、前述の方法によるコイル列
104の巻き線の引出しを妨げるものではない。
【0048】次に、図1Jに示した位置決め板およびコ
イル列の組み立て手順について説明する。まず、コイル
列104を構成する部分コイルを軸方向に沿って並べ、
概略位置に仮位置決めしておく。次に、2枚の位置決め
板107をそれらのベース107aが対向した状態でコ
イル列104内に差し込む。次に、不図示の他の2枚の
位置決め板107をコイル列104内に、先の2枚の位
置決め板107と直交しかつベース107aが対向した
状態でコイル列104内に差し込む。その後、4つの位
置決め部材107を外側に移動させて、櫛歯107bの
間に部分コイルをはめ込む。最後に支持部材101と積
層ヨーク103(4つの板状積層ヨーク部材103a)
で構成される棒状部材を一連のコイル列104の開口部
に挿入して固定子が組み立てられる。
【0049】もう一つの好適な位置決めおよび絶縁方法
は、コイルボビンを使う方法である。これは軸方向に高
い精度を有するボビン108を用意し、これに導線を巻
いて各部分コイルを作製する方法である。このボビン付
き部分コイルを並べてコイル列104を形成し、これに
支持部材101と積層ヨーク103(4つの板状積層ヨ
ーク103a)で構成された棒状部材を挿入することに
より固定子が組み立てられる。ボビンの幅(軸方向の長
さ)の誤差は蓄積するが、各ボビンの幅の誤差を小さく
抑えることにより全体の誤差の蓄積量を減らすことがで
きる。このボビン108も絶縁材料で構成され、部分コ
イル同士を絶縁するとともに、部分コイルと板状積層ヨ
ーク部材103aとを絶縁する。また、ボビン108に
設けられた側板は、隅部に切り欠きが設けられている。
これはコイル列104の各部分コイルの巻き始め部分と
巻き終わり部分の導線を隅部付近において軸に沿って這
わせるための配慮である。また、ボビン108に設けら
れた側板の厚さw3はコイル104の巻き線の径の1/2
より大きな寸法となっている。これは巻き始め部分に繋
がる導線をコイル列104の外周部を這わせて引き出し
たい場合や、巻き終わり部分の導線をコイル列104の
内周を這わせて引き出したい場合に対する配慮である。
すなわち、そのような場合には導線を内周部から外周部
に向けて、あるいは外周部から内周部に向けてコイル列
104の側面を横切らせる必要がある。その際に部分コ
イルと部分コイルの間に巻き線1本分の隙間を保証する
ためにコイルボビンの側板108aの厚さは巻き線径の
1/2より厚くする必要がある。
【0050】図1G、図1Hに支持部材101の変形例
を示す。支持部材の内部に冷媒循環路を設けてここに冷
媒を循環させることによりリニアモータを冷却するの
で、支持部材は熱伝導の優れた材質、例えばSiCやアル
ミニウム等で構成されることが望ましい。アルミニウム
のような導体で支持部材101を構成しても磁石の磁束
は板状積層ヨーク103a内を循環するので、支持部材
101に漏れることはなく渦電流は発生しない。支持部
材101をSiCで作製する場合は、複雑な加工がしにく
いので図1Aに示したような単純な流路102を設ける
ことが望ましい。一方、支持部材101をアルミニウム
で作製する場合は、例えば押し出し加工により複雑な断
面形状の作製が可能なので、例えば図1Gのような日章
旗形の流路(軸を中心として放射状に配置された複数の
溝を有する流路)や、図1Hのような蜂の巣形の流路を
設けて、支持部材と冷媒との間の熱伝達の効率を高める
ことが容易である。なお、支持部材の材質や流路の形状
に制約はないが、外形は平面部を含んで構成されるコイ
ル列104に適合した平面部を有するものとすることが
望ましい。
【0051】[第2の実施の形態]図2A及び図2B
は、本発明の第2の実施の形態のリニアモータを示す図
である。この実施の形態は、第1の実施の形態の構成に
加えて、磁石列105とコイル列104との間に隔壁1
10を設け、隔壁110とコイル列104との間にも冷
媒を循環させてコイル列104の冷却能力を向上させた
ものである。隔壁110は、図2Aのように四角形形状
でもよいし、図2Bのように円筒形状でもよいし、他の
形状でもよい。隔壁110は、例えばセラミックや樹脂
等の絶縁材料で構成される。
【0052】[第3の実施の形態]図3A〜図3Gは、
本発明の第3の実施の形態のリニアモータの構成を示す
図である。図3Aは、図3BのAA矢視断面図、図3B
はリニアモータを駆動軸に沿って切断した断面図であ
る。
【0053】第1及び第2の実施の形態では、固定子の
コイル列(固定コイル列)104が複数の平面部を有す
るものであり、固定子の積層ヨーク部材103aが平板
状である。これに対して、この実施の形態では、図3A
に示すように、固定子のコイル列304が円環形状を有
し、図3C及び図3D、又は図3Eに示すように、固定
子のコイル列304の内側の積層ヨーク(固定ヨーク)
303を構成する積層ヨーク部材303aが円弧面を有
する。
【0054】この実施の形態においても、可動子の可動
磁石を複数の磁石列305で構成し、可動磁石の組み立
てを容易にすること、磁石列305の磁束が積層ヨーク
303の絶縁層に沿って循環するように構成して渦電流
をほぼ完全に防止すること、コイル列304の巻き線を
複数の積層ヨーク部材303aの境界付近の空間に沿っ
て引き出すことができる。
【0055】前述のように、この実施の形態は、コイル
列の形状、積層ヨークの形状及び磁石列の形状が第1及
び第2の実施の形態と異なる。
【0056】まず、この実施の形態では、コイル列30
4が円環形状を有する。これはコイル導線の巻きやす
さ、生産性を重視したものである。第1及び第2の実施
の形態は、上記のような優れた効果を奏するものの、積
層ヨークの断面形状が実質的に四角形形状であると、コ
イル導線を巻く際に導線にかかる張力の変化が大きく、
高速で巻く上で限界がある。また、積層ヨークの平面部
の中央の部分でコイルが膨らむ傾向があり、これが磁気
ギャップを狭める原因となり、結果的に可動磁石とコイ
ルとの間の空隙を大きくする必要がある。これに比べ
て、この実施の形態では、コイル列304を円環状に形
成したのでコイル導線を巻く際の張力に変化が低減され
極めて高速にコイル導線を巻くことができ、しかもコイ
ルの形状の均一性(軸対象性)に優れる。その結果、前
述のコイルの膨らみを考慮して磁気ギャップを大きくす
る必要がない。
【0057】コイル列304を円環状にしたことに伴っ
て、この実施の形態では、積層ヨーク303も円弧状の
積層ヨーク部材303aで構成されている。ただし、従
来例のように扇形にするのではなく、この実施の形態で
は、例えば、同一形状の表面が絶縁された磁性薄板33
0を支持部材301の表面に略沿うようにずらしながら
積層し積層ヨーク部材303aを組み立てる。従って、
図3C及び図3D、又は図3Eに示すように、円弧状に
積層された積層ヨーク部材303aの両端(円周方向の
両端)の面を薄板330の面がそのまま構成する。した
がって、積層ヨーク部材の両端を駆動軸を中心とする半
径方向に加工する従来例に比べてはるかに製造が容易で
ある。ここで、円弧状の積層ヨーク部材或いは円弧面を
有する積層ヨーク部材を製作する際に、例えば、薄板の
積層後にワイヤカット等の加工により滑らかな円弧面を
形成してもよいし、そのような加工をすることなく、単
純に円柱状の支持棒301の円筒面にならうように薄板
を配列して接着等で固定するだけでも良い。後者の方が
簡便であるが、同一形状の磁性薄板330を円柱形支持
棒301にならわせるので、円弧状積層ヨーク部材30
3aの外側面が、円柱棒の側面を平行移動させた形状に
なり円柱棒と同心円にはならない。従って、円環状コイ
ル304との間にわずかな隙間が出来る。とはいえ、こ
れが問題になるのは円柱棒の径が小さいときだけであ
り、ある程度設計的に解決できる問題である。
【0058】コイル列304を円環状としたことに伴
い、この実施の形態では、磁石列305の形状も、コイ
ル列304に対応する面を凹状の円弧面としている。磁
石列305のバックヨーク306側の面は、第1の実施
の形態と同様に平面である。磁石列305の着磁方向
は、磁石列305の幅全体にわたって円筒面に垂直(す
なわち半径方向)にするのではなく、磁石列305の裏
面の平面に垂直にされている。この結果、磁石列305
が形成する磁場は、磁石列305の裏面に垂直な向きと
なり、円弧状の積層ヨーク部材303aを構成する各磁
性薄板330の絶縁層に沿って磁束が循環する。したが
って、第1の実施の形態と同様に渦電流はほぼ完全に防
止できる。
【0059】固定子の積層ヨークは、上記のような円弧
状ではなく、図3F及び図3Gに示すように、表面側を
円弧面とし裏面側を平面としてもよい。このような形状
の加工方法の一例としては、まず、第1の実施の形態に
示すような板状積層ヨーク部材を作製し、その後、外周
面とすべき部分を円弧面状に加工する方法を挙げること
ができる。この方法によれば、加工すべき面が1箇所だ
けであるので、両面が円弧面状の構造を作製するよりも
さらに簡単である。
【0060】図3Gに示すような断面を有する積層ヨー
ク部材303aを用いた場合は、それらを支持する支持
部材301は、円柱棒ではなく略四角形又は8角形断面
の多角柱棒とすることが望ましい。
【0061】支持部材301の内部には、第1の実施の
形態と同様に、冷媒を循環させるための流路を設けるこ
とが好ましい。流路の断面形状としては、例えば、図1
C、図1G又は図1Hに示す形状が好適である。
【0062】図4は、この実施の形態におけるコイル巻
き線の引き出し方法を示す図である。この実施の形態に
おいても、第1の実施の形態と同様に、積層ヨーク30
3を構成する複数の積層ヨーク部材303aの境界部付
近にコイル巻き線の巻き始め部分304a及び巻き終わ
り部分304bを位置させ、該境界部付近の空間を軸方
向に這わせてコイルから導線を引き出しており、リニア
モータの推力を低下させることがない。
【0063】[第4の実施の形態]図5A〜図5Dは、
本発明の第4の実施の形態のリニアモータの構成を示す
図である。図5Aは、図5BのAA矢視断面図、図5B
はリニアモータを駆動軸に沿って切断した断面図であ
る。
【0064】この実施の形態では、固定子の積層ヨーク
503を8個の円弧状積層ヨーク部材503aで構成
し、可動子の磁石列505とバックヨーク506も8個
のユニットで構成している。この実施の形態では、磁石
列505とバックヨーク506が8組としたことに伴っ
て、円筒状の保持部材507により8組の磁石列505
とバックヨーク506を保持している。保持部材507
は、剛性の高いセラミック等が望ましい。この実施の形
態では、ユニットの個数を増やしたことで第3の実施の
形態よりコイル列と磁石列が対面している領域が増加
し、推力が増加する。
【0065】ユニットの個数を増やすと、個々の積層ヨ
ーク部材503aの外周面は円弧面であるにも拘わら
ず、実施的に平面とみなせるようになる。よって、図5
Dの変形例に示すように、磁石列505を平面形状にし
ても、円弧形状の場合と実質的に同程度の推力が得られ
るようになる。その結果、磁石列505の形成或いは加
工が容易になる点で有利である。
【0066】[第6の実施の形態]図6A及び図Bは、
本発明の第5の実施の形態のリニアモータの構成を示す
図である。図6Aは、図6BのAA矢視断面図、図6B
はリニアモータを駆動軸に沿って切断した断面図であ
る。
【0067】この実施の形態は、固定子のコイル列60
4を4つの滑らかな凸面を含むように構成した点に1つ
の特徴がある。可動子の磁石列605、固定子の積層ヨ
ーク603、中心の支持部材601もまた、コイル列6
04の形状に適合する形状を有する。
【0068】この実施の形態は、第1の実施の形態と第
3の実施の形態の利点を併せ持っている。第1の実施の
形態は、第3の実施の形態に比べてコイル列が磁石列と
対面している領域が大きいという利点がある。第3の実
施の形態は、コイル列を円環形状にしたのでコイル列の
巻き線を巻く際の張力変化がなく、コイルの生産性が向
上しコイルの形状精度も向上するという利点がある。
【0069】この実施の形態では、上述のようにコイル
列604を4つの滑らかな凸面(曲面)を含む形状とし
た点で第3の実施の形態よりは、やや劣るがコイル巻き
線を巻く際の張力変化が少なく、そのためコイル巻き線
を高速で巻くことができ、しかもコイルの形状のばらつ
きが少ない。また、この実施の形態は、形状としては四
角形に近いので固定子のヨークの幅を隅部に近いところ
まで広げることができコイルの利用効率が向上する。
【0070】[第7の実施の形態]図7は、本発明の第
7の実施の形態のステージ装置を示す図である。このス
テージ装置では、第1の実施の形態のリニアモータを有
する。
【0071】定盤3030上にいわゆるT型のエアスラ
イド3020が固定されており、T型エアスライド30
20に沿って1軸方向に滑動可能にステージ3010が
支持されている。ステージ3010の両側には、第1の
実施の形態の略四角形形状のコイル104を有するリニ
アモータ3000が配置されている。リニアモータ30
00の可動子はステージ3010に結合され、固定子は
支持部材101の前後端に設けた支柱3040を介して
定盤3030に固定されている。この支柱3040を介
して冷却媒体がリニアモータ3000の固定子内部を循
環する。
【0072】この実施の形態のステージ装置は、従来例
の円筒形状のリニアモータを用いた場合に比べ同一推力
での発熱が少ないという利点がある。また、このステー
ジでは、固定子内部を冷却しているのでコイルの発熱を
効率よく排熱できる。また、このステージ装置は、リニ
アモータ3000が従来例の円筒形状のリニアモータに
比べて磁石やコイルの位置決め精度が高いので推力変動
が少なく、特に一定速度で走行したときの目標に対する
誤差を少なく出来るという利点がある。
【0073】[その他]上記の種々の実施の形態に代表
されるリニアモータ或いはそれを利用したステージは、
例えば、半導体デバイス或いはマイクロデバイス等のデ
バイスを製造するための露光装置を構成する装置の一
部、例えば、ウエハステージ又はレチクルステージとし
て利用されうる。
【0074】次に前述した実施形態のいずれかのリニア
モータを用いたステージをレチクルステージまたはウエ
ハステージとして搭載した走査型露光装置の実施形態
を、図9を用いて説明する。
【0075】レチクルステージ73を支持するレチクル
ステージベース71Aは、露光装置のウエハステージ9
3を支持する台盤92に立設されたフレーム94と一体
であり、他方リニアモータベース71Bは台盤92と別
に床面Fに直接固定された支持枠90に支持される。ま
た、レチクルステージ73上のレチクルを経てウエハス
テージ93上のウエハWを露光する露光光は、破線で示
す光源装置95から発生される。
【0076】フレーム94は、レチクルステージベース
71Aを支持するとともにレチクルステージ73とウエ
ハステージ93の間に投影光学系96を支持する。レチ
クルステージ73を加速および減速するリニアモータの
固定子75がフレーム94と別体である支持枠90によ
って支持されているため、レチクルステージ73のリニ
アモータの駆動力の反力がウエハステージ93に伝わっ
てその駆動部の外乱となったり、あるいは投影光学系9
6を振動させたりするおそれはない。
【0077】なお、ウエハステージ93は、駆動部によ
ってレチクルステージ73と同期して走査される。レチ
クルステージ73とウエハステージ93の走査中、両者
の位置はそれぞれ干渉計97,98によって継続的に検
出され、レチクルステージ73とウエハステージ93の
駆動部にそれぞれフィードバックされる。これによって
両者の走査開始位置を正確に同期させるとともに、定速
走査領域の走査速度を高精度で制御することができる。
【0078】次に上述した露光装置を利用した半導体デ
バイスの製造方法の実施形態を説明する。図10は半導
体デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネ
ル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製
造のフローを示す。ステップS11(回路設計)では半
導体デバイスの回路設計を行なう。ステップS12(マ
スク製作)では設計した回路パターンを形成したマスク
を製作する。一方、ステップS13(ウエハ製造)では
シリコン等の材料を用いて基板であるウエハを製造す
る。ステップS14(ウエハプロセス)は前工程と呼ば
れ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフ
ィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次の
ステップS15(組立)は後工程と呼ばれ、ステップS
14によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化
する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボン
ディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工
程を含む。ステップS16(検査)ではステップS15
で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性
テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デ
バイスが完成し、これが出荷(ステップS17)され
る。
【0079】図11は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップS21(酸化)ではウエハの表面を
酸化させる。ステップS22(CVD)ではウエハ表面
に絶縁膜を形成する。ステップS23(電極形成)では
ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS2
4(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ス
テップS25(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗
布する。ステップS26(露光)では上記説明した露光
装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光
する。ステップS27(現像)では露光したウエハを現
像する。ステップS28(エッチング)では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップS29(レジ
スト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジス
トを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうこと
によって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成され
る。本実施形態の製造方法を用いれば、高集積度の半導
体デバイスを製造することができる。
【0080】
【発明の効果】本発明によれば、例えば製作が容易な構
造を有するリニアモータ並びにこれを有するステージ装
置及び露光装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1A】、
【図1B】、
【図1C】、
【図1D】、
【図1E】、
【図1F】、
【図1G】、
【図1H】、
【図1I】、
【図1J】、
【図1K】、
【図1L】、
【図1M】、
【図1N】本発明の第1の実施の形態のリニアモータの
構造を示す図である。
【図2A】、
【図2B】本発明の第2の実施の形態のリニアモータを
示す図である。
【図3A】、
【図3B】、
【図3C】、
【図3D】、
【図3E】、
【図3F】、
【図3G】本発明の第3の実施の形態のリニアモータの
構成を示す図である。
【図4】本発明の好適な実施の形態のコイル巻き線の引
き出し方法を示す図である。
【図5A】、
【図5B】、
【図5C】、
【図5D】本発明の第4の実施の形態のリニアモータの
構成を示す図である。
【図6A】、
【図6B】本発明の第5の実施の形態のリニアモータの
構成を示す図である。
【図7】本発明の第7の実施の形態のステージ装置を示
す図である。
【図8A】、
【図8B】従来のリニアモータの構成を示す図である。
【図9】本発明の露光装置の一例を示す図である。
【図10】本発明のデバイス製造方法の一例を示すフロ
ーチャートである。
【図11】図9のウエハプロセスの内容を示すフリーチ
ャートである。

Claims (38)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定子と可動子を有するリニアモータで
    あって、 前記固定子は、固定ヨークと、前記固定ヨークの外側に
    配置された固定コイルと、前記固定ヨークを支持する固
    定子支持部材とを有し、 前記可動子は、前記固定コイルの外側に配置された可動
    磁石を有し、 前記固定ヨークは、前記固定子支持部材によって互いに
    面接触することなく支持された複数の固定ヨーク部材を
    含み、各固定ヨーク部材は、複数の磁性薄板を互いに絶
    縁して積層した構造を有することを特徴とするリニアモ
    ータ。
  2. 【請求項2】 各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面が形
    成されるように前記複数の磁性薄板を積層後に加工した
    凸面を有することを特徴とする請求項1に記載のリニア
    モータ。
  3. 【請求項3】 各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面と凹
    面が形成されるように前記複数の磁性薄板を積層後に加
    工した凸面と凹面を有することを特徴とする請求項1に
    記載のリニアモータ。
  4. 【請求項4】 各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面と凹
    面が形成されるように前記複数の磁性薄板を積層後に加
    工した凸面と凹面を有し、その両面が同心の円筒面であ
    ることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
  5. 【請求項5】 各固定ヨーク部材を構成する複数の磁性
    薄板が実質的に同一の形状を有することを特徴とする請
    求項1に記載のリニアモータ。
  6. 【請求項6】 各固定ヨーク部材が、前記複数の磁性薄
    板を互いにずらしながら積層した構造を有することを特
    徴とする請求項5に記載のリニアモータ。
  7. 【請求項7】 各固定ヨーク部材が、実質的に円弧面が
    形成されるように前記複数の磁性薄板を互いにずらしな
    がら積層した構造を有することを特徴とする請求項5に
    記載のリニアモータ。
  8. 【請求項8】 各固定ヨーク部材が、滑らかな凸面が形
    成されるように前記複数の磁性薄板を互いにずらしなが
    ら積層した構造を有することを特徴とする請求項5に記
    載のリニアモータ。
  9. 【請求項9】 各固定ヨーク部材が凸面を有し、固定コ
    イルがコイル軸に並行な凹面を有し、固定ヨーク凸面と
    固定コイル凹面が略平行であることを特徴とする請求項
    1に記載のリニアモータ。
  10. 【請求項10】 各固定ヨーク部材が凸面を有し、固定
    コイルがコイル軸に平行な円筒面を有し、固定ヨーク凸
    面と固定コイル円筒面が略平行であることを特徴とする
    請求項1に記載のリニアモータ。
  11. 【請求項11】 各固定ヨーク部材を構成する積層され
    た複数の磁性薄板は、その中央部の磁性薄板の位置と前
    記固定ヨークの中心軸とで規定される面に平行に配置さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいず
    れか1項に記載のリニアモータ。
  12. 【請求項12】 前記固定コイルの巻き始め部分が、前
    記固定コイルの内側に配置された前記固定ヨークを構成
    する1つの固定ヨーク部材と他の固定ヨーク部材との境
    界付近に位置することを特徴とする請求項1乃至請求項
    11のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  13. 【請求項13】 前記固定コイルの巻き終わり部分が、
    前記固定コイルの内側に配置された前記固定ヨークを構
    成する1つの固定ヨーク部材と他の固定ヨーク部材との
    境界付近に位置することを特徴とする請求項1乃至請求
    項11のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  14. 【請求項14】 前記固定コイルの巻き始め部分及び巻
    き終わり部分が、前記固定コイルの内側に配置された前
    記固定ヨークを構成する1つの固定ヨーク部材と他の固
    定ヨーク部材との境界付近に位置することを特徴とする
    請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載のリニア
    モータ。
  15. 【請求項15】 前記固定コイルからの引き出し導線
    が、前記固定コイルの内側に配置された前記固定ヨーク
    を構成する1つの固定ヨーク部材と他の固定ヨーク部材
    との境界付近を前記固定子の軸に沿って通るように配置
    されていることを特徴とする請求項12乃至請求項14
    のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  16. 【請求項16】 前記固定子支持部材が、冷媒を流すた
    めの流路をその内部に有することを特徴とする請求項1
    乃至請求項15のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  17. 【請求項17】 前記流路の断面形状が円形であること
    を特徴とする請求項16に記載のリニアモータ。
  18. 【請求項18】 前記流路が、前記固定子支持部材の内
    部に複数個設けられていることを特徴とする請求項16
    に記載のリニアモータ。
  19. 【請求項19】 前記流路が、前記固定子の軸を中心と
    して放射状に配置された複数の溝を有することを特徴と
    する請求項16に記載のリニアモータ。
  20. 【請求項20】 前記流路の断面形状が蜂の巣状である
    ことを特徴とする請求項16に記載のリニアモータ。
  21. 【請求項21】 前記固定子支持部材が、金属で構成さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至請求項20のい
    ずれか1項に記載のリニアモータ。
  22. 【請求項22】 前記固定子支持部材が、セラミックで
    構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項2
    0のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  23. 【請求項23】 前記固定子の前記固定コイルと前記可
    動子の前記可動磁石との間に隔壁が配置され、前記固定
    コイルと前記隔壁との間に冷媒を流すための流路が形成
    されていることを特徴とする請求項1乃至請求項22の
    いずれか1項に記載のリニアモータ。
  24. 【請求項24】 前記隔壁の断面が多角形であることを
    特徴とする請求項23に記載のリニアモータ。
  25. 【請求項25】 前記隔壁の断面が円形であることを特
    徴とする請求項23に記載のリニアモータ。
  26. 【請求項26】 前記隔壁が、絶縁材料で構成されてい
    ることを特徴とする請求項13乃至請求項25のいずれ
    か1項に記載のリニアモータ。
  27. 【請求項27】 前記固定子は、前記固定子の軸方向に
    並べて配列される複数の部分固定コイルを有し、前記リ
    ニアモータは、前記複数の部分固定コイルをそれぞれ位
    置決めする位置決め部材を更に有することを特徴とする
    請求項1乃至請求項26のいずれか1項に記載のリニア
    モータ。
  28. 【請求項28】 前記位置決め部材は、前記固定コイル
    の軸方向に切断した断面において櫛歯形状を有し、該櫛
    歯形状を構成する櫛歯と櫛歯との間に前記部分固定コイ
    ルが位置決めされることを特徴とする請求項27に記載
    のリニアモータ。
  29. 【請求項29】 前記固定子は、前記固定子の軸方向に
    並べて配列される複数の部分固定コイルを有し、各部分
    固定コイルはボビンに巻かれていることを特徴とする請
    求項1乃至請求項26のいずれか1項に記載のリニアモ
    ータ。
  30. 【請求項30】 前記ボビンが、その側板に切り欠き部
    を有することを特徴とする請求項29に記載のリニアモ
    ータ。
  31. 【請求項31】 前記ボビンの側板の厚さが、前記固定
    コイルの巻線の径の1/2よりも大きいこと特徴とする
    請求項29又は請求項30に記載のリニアモータ。
  32. 【請求項32】 前記可動子が、前記可動磁石の外側に
    バックヨークを有することを特徴とする請求項1乃至請
    求項31のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  33. 【請求項33】 前記バックヨークが、中空の柱状構造
    を有することを特徴とする請求項32に記載のリニアモ
    ータ。
  34. 【請求項34】 前記バークヨークが、可動子支持部材
    によって互いに離間して支持された複数の部分バックヨ
    ークを含むことを特徴とする請求項32に記載のリニア
    モータ。
  35. 【請求項35】 固定子と可動子を有するリニアモータ
    であって、 前記固定子は、複数の磁性薄板を積層した積層体を複数
    備えた固定ヨークと、該固定ヨークの外側又は内側に配
    置された固定コイルとを有し、 前記可動子は、前記固定コイルの外側又は内側に配置さ
    れた可動磁石を有し、 前記固定ヨークの前記複数の積層体を、少なくと二つの
    積層体に関して互いに端部の間に空隙ができるように配
    置したことを特徴とするリニアモータ。
  36. 【請求項36】 請求項1乃至請求項35のいずれか1
    項に記載のリニアモータと、 前記リニアモータによって駆動されるステージと、 を備えることを特徴とするステージ装置。
  37. 【請求項37】 請求項35に記載のステージ装置の一
    つ又は複数を基板及び/又は原版を位置決めするための
    ステージ装置として有することを特徴とする露光装置。
  38. 【請求項38】請求項37に記載の露光装置によりデバ
    イスパターンで基板を露光する段階と、該露光した基板
    を現像する段階とを含むデバイス製造方法。
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