JP2003110288A - 対回路基板作業システムおよび電子回路製造方法 - Google Patents

対回路基板作業システムおよび電子回路製造方法

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JP2003110288A
JP2003110288A JP2002212972A JP2002212972A JP2003110288A JP 2003110288 A JP2003110288 A JP 2003110288A JP 2002212972 A JP2002212972 A JP 2002212972A JP 2002212972 A JP2002212972 A JP 2002212972A JP 2003110288 A JP2003110288 A JP 2003110288A
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electronic circuit
mounting
circuit board
monitoring
component
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Seigo Kodama
誠吾 児玉
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Fuji Corp
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Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 対回路基板作業システムにおいて、各作業機
の作業の不良発生を早期に検出し、さらに不良発生の原
因を究明することにより適切な処置を行い得るようにす
る。 【解決手段】 電子回路製造システム１０において、マ
スク印刷機１４，電子部品装着機１８，２２等、作業機
毎に作業結果を検査する検査機１６，２０，２４を設
け、作業機の監視対象部の情報と検査機による検査結果
の情報との両方を監視装置２８に供給し、監視対象部の
現況を推定するとともに、その現況と過去に蓄積された
データとに基づいて変化傾向を取得し、予め設定された
しきい状況を超えないように監視する。監視対象部の現
況がしきい状況を超えれば、作業機における情報と検査
機による検査結果とに基づいて、作業機の不良の原因を
推定し、制御データを自動的に補正したり、モニタや報
知装置により作業者に報知して処置を促す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対回路基板作業シ
ステムおよびそれを使用した電子回路製造方法に関する
ものであり、特に、プリント配線板等の回路基板に電子
回路部品を装着する電子回路部品装着機、回路基板にク
リーム状半田や接着剤等高粘性流体を塗布する高粘性流
体塗布機等、回路基板に予め定められた作業を行う作業
機を１台以上含む対回路基板作業システムおよびそれを
使用した電子回路製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子回路部品装着機を含む電子回路製造
システムにおいて、製造された電子回路を検査すること
は従来から行われていた。しかし、従来は、電子回路部
品装着機により回路基板に装着され、クリーム状半田や
接着剤により回路基板に仮止めされた電子回路部品が、
リフロー炉や硬化炉を経て回路基板に固着された後に、
作業者による目視あるいは撮像装置による撮像によって
検査が行われ、電子回路が正常に製造されたか否かが検
査されていた。
【０００３】また、本願出願人は先に、電子回路部品装
着装置に、電子回路部品が装着される毎に装着された電
子回路部品を撮像する撮像装置を含む検査装置を設け、
装着作業の不良を早期に発見することを提案した。特開
平１１−３３０７９８号公報に記載のものがそれであ
る。このようにすれば、装着作業の不良を早期に発見
し、必要な処置を早期に講じることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果】しかしながら、上記いずれの場合も、不良が発見さ
れた場合に、その不良発生の原因究明が困難である問題
があった。この問題は、電子回路部品装着機を含む対回
路基板作業システムにおいてのみならず、高粘性流体塗
布機等、他の作業機を含む対回路基板作業システムにお
いても同様に存在する問題である。本発明は、以上の事
情を背景とし、回路基板に対する作業の不良発生の原因
究明を容易にすることを課題としてなされたものであ
り、本発明によって、下記各態様の対回路基板作業シス
テムおよび電子回路製造方法が得られる。各態様は請求
項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応
じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、
あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明
細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下
の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきでは
ない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場
合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければなら
ないわけではない。一部の事項のみを選択して採用する
ことも可能なのである。
【０００５】なお、以下の各項のうち、 (1)項が請求項
１に相当し、 (2)項が請求項２に相当する。また、 (7)
項および (8)項を合わせたものが請求項３に、 (9)項が
請求項４に、(10)項が請求項５に、(11)項が請求項６
に、(12)項が請求項７にそれぞれ相当する。(17)項ない
し(19)項を合わせたものが請求項８に相当し、(20)項が
請求項９に相当し、(21)項が請求項１０に相当し、(22)
項が請求項１１に相当する。(23)項と(24)項とを合わせ
たものが請求項１２に、(25)項が請求項１３に、(26)項
が請求項１４に、(27)項が請求項１５に、(29)項が請求
項１６に、(31)項が請求項１７にそれぞれ相当する。
【０００６】（１）回路基板に対して予め定められた作
業を行うとともに、１つ以上の監視対象部に関する対象
部情報を供給可能な１台以上の作業機と、その１台以上
の作業機により行われた作業の結果を検出する１つ以上
の結果検出装置と、その１つ以上の結果検出装置の検出
結果と前記１台以上の作業機から供給される対象部情報
とに基づいて、前記１つ以上の監視対象部の状態を監視
する監視装置とを含む対回路基板作業システム。作業機
から供給される対象部情報と検査装置によって検出され
た作業結果とを合わせれば、作業機の監視対象部毎の現
況を推定することができる。また、現況推定部により推
定された複数の現況推定結果を統計処理部により統計的
に処理させれば、高い信頼性をもって各監視対象部の状
況を把握することができる。また、現況推定部により順
次取得される現況推定結果に基づいて、変化傾向取得部
に各監視対象部の状況の変化傾向を取得させれば、さら
に確実に各監視対象部の状況を把握することができる。
取得された変化傾向に基づいて、監視対象部の状況が予
め定められたしきい状況を超える時期を推定する限界時
期推定部を設け、あるいはさらに、限界時期推定部によ
り推定された限界時期に到る前に限界時期が近づいたこ
とを作業者に報知する限界時期接近報知装置を設ければ
一層有効である。 （２）前記監視装置が、前記１つ以上の監視対象部の１
つ以上が前記予め定められた作業の不良原因となる前
に、その１つ以上の監視対象部に対する処置が必要にな
ったことを検出する処置必要性検出部を備えた (1)項に
記載の対回路基板作業システム。上記処置必要性検出部
は、例えば、前記限界時期推定部により推定された限界
時期に基づいて監視対象部に対する処置が必要になった
ことを検出するものとしたり、前記現況推定部により推
定された現況と予め設定された処置必要判定条件との比
較により処置が必要になったことを検出するものとした
りすることができる。また、処置が必要になる時期とさ
れる要処置時期は、限界時期と同じ時期としたり、限界
時期の手前の時期とすることができ、一方、処置必要判
定条件は、限界時期の推定に用いられるしきい状況その
ものとしたり、しきい状況の少し手前の状況とすること
ができる。 （３）前記監視装置が、前記処置必要性検出部が前記１
つ以上の監視対象部に対する処置が必要になったことを
検出した場合に、前記作業機の作動を自動で停止させる
作動停止部を備えた (2)項に記載の対回路基板作業シス
テム。監視対象部に対する処置が必要になった場合に、
作業機の作動が自動で停止させられれば、それにより作
業者は監視対象部に対する処置が必要になったことを知
ることができるとともに、直ちに必要な処置を開始する
ことができる。 （４）前記監視装置が、前記処置必要性検出部が前記１
つ以上の監視対象部に対する処置が必要になったことを
検出した場合に、その旨を作業者が認識可能な態様で報
知する報知部を備えた (2)項または (3)項に記載の対回
路基板作業システム。報知部の報知により、作業者は監
視対象部に対する処置が必要になったことを明確に知る
ことができ、的確に処置を施すことができる。監視対象
部と、施すべき処置との少なくとも一方が複数ある場合
には、報知部を、処置が必要になった監視対象部や施す
べき処置の種類を報知するものとすることが望ましい。 （５）前記処置必要性検出部が前記１つ以上の監視対象
部に対する処置が必要になったことを検出した場合に、
その必要な処置を自動で行う自動処置装置を含む(2)項
ないし (4)項のいずれかに記載の対回路基板作業システ
ム。監視対象部に処置を施すことが必要になった場合
に、その処置が自動処置装置により行われれば、作業者
の手を煩わすことがなく、対回路基板作業システムの使
い勝手が一層向上する。 （６）前記結果検出装置が、前記作業の結果を撮像する
撮像装置を備えた (1)項ないし (5)項のいずれかに記載
の対回路基板作業システム。作業の結果を撮像装置によ
り撮像し、取得された画像のデータを画像処理装置によ
り処理すれば、作業結果の種々の情報を取得することが
できる。 （７）前記１つ以上の作業機が、前記回路基板に電子回
路部品を装着する電子回路部品装着機を含む (1)項ない
し (6)項のいずれかに記載の対回路基板作業システム。 （８）前記監視対象部が、前記電子回路部品を保持して
前記回路基板に装着する装着ヘッドと、その装着ヘッド
と前記回路基板を保持する基板保持装置とを相対移動さ
せる相対移動装置と、前記電子回路部品を供給する部品
供給装置との少なくとも１つを含む (7)項に記載の対回
路基板作業システム。装着ヘッドは、例えば、電子回路
部品を負圧により吸着して保持する吸着ノズルと、その
吸着ノズルを着脱可能に保持する保持ヘッドと、その保
持ヘッドを前記吸着ノズルの長手方向にほぼ平行な回転
軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置とを含むもの
とすることができ、その場合には、保持ヘッドの回転中
心位置や吸着ノズルを監視対象部とすることができる。
後者の場合には、例えば、吸着ノズルの吸着面の、その
吸着ノズルの軸方向やそれに直角な方向の位置である軸
方向位置や直角方向位置、あるいは吸着面の平面度を監
視対象とすることが望ましい。 （９）前記監視対象部が前記装着ヘッドを複数含み、そ
れら装着ヘッドが各々吸着ノズルにより負圧で電子回路
部品を吸着して保持するものであり、前記電子回路部品
装着機が、前記吸着ノズルによる前記電子回路部品の保
持位置誤差を検出する保持位置誤差検出装置を含み、前
記結果検出装置が、前記回路基板に装着された前記電子
回路部品の装着位置誤差を検出する装着位置誤差検出装
置を含み、前記監視装置が、前記保持位置誤差検出装置
により検出された保持位置誤差と前記装着位置誤差検出
装置により検出された装着位置誤差との両方に基づいて
前記監視対象部の状況を推定する状況推定部を含む (8)
項に記載の対回路基板作業システム。保持位置誤差は、
結果検出装置によっては得られず、電子回路部品装着機
においてのみ得られるものであり、この保持位置誤差
と、結果検出装置により得られる装着位置誤差との両方
に基づけば、監視対象部の状況を高い信頼性を以て推定
することができる。特に、(a)複数の装着ヘッドを共通
の旋回軸線まわりに旋回させるヘッド旋回装置と、(b)
そのヘッド旋回装置による装着ヘッドの旋回軌跡に対す
る接線に平行な方向に移動する複数のフィーダを備えた
部品供給装置と、(c)回路基板を保持する基板保持装置
と前記ヘッド旋回装置とを回路基板の表面に平行な方向
に相対移動させる相対移動装置とを含む形式の電子回路
部品装着機等、装着位置誤差が複数の監視対象部の状況
に起因して発生する電子回路部品装着機における装着位
置誤差発生の原因の推定の信頼性を高めるのに有効であ
る。 （１０）前記監視対象部が前記装着ヘッドを複数含み、
それら装着ヘッドが各々吸着ノズルにより負圧で電子回
路部品を吸着して保持するものであり、前記電子回路部
品装着機が、前記監視装置に、前記回路基板に装着され
たかまたは装着されるべくして装着されなかった前記電
子回路部品の各々が前記複数の吸着ノズルのいずれによ
り装着されたかまたは装着されるべきであったかの情報
であるノズル情報を供給するノズル情報供給部を備え、
前記監視装置が、少なくともそのノズル情報に基づいて
前記複数の吸着ノズルの各々を監視する (8)項または
(9)項に記載の対回路基板作業システム。本項の特徴に
よれば、複数の吸着ノズルの個々の状況を監視すること
ができる。 （１１）前記監視対象部が前記部品供給装置を含み、そ
の部品供給装置が、前記電子回路部品をそれぞれ１種類
ずつ収容し、予め定められた部品供給部から１個ずつ順
次供給する複数のフィーダを備え、前記電子回路部品装
着機が、前記監視装置に、前記回路基板に装着された前
記電子回路部品の各々が前記複数のフィーダのいずれか
ら供給されたかの情報であるフィーダ情報を供給するフ
ィーダ情報供給部を備え、前記監視装置が、少なくとも
そのフィーダ情報に基づいて前記複数のフィーダの各々
を監視する (8)項ないし(10)項のいずれかに記載の対回
路基板作業システム。本項の特徴によれば、複数のフィ
ーダの個々の状況を監視することができる。 （１２）前記監視対象部が前記相対移動装置を含み、そ
の相対移動装置が前記装着ヘッドと前記基板保持装置と
の相対位置決めデータを補正する位置決めデータ補正部
を備え、前記監視装置が、その位置決めデータ補正部に
前記位置決めデータを補正すべき旨の位置決めデータ補
正指令を発する位置決めデータ補正指令部と、その位置
決めデータ補正指令の発令間隔を監視する補正指令発令
間隔監視部とを含む (8)項ないし(11)項のいずれかに記
載の対回路基板作業システム。位置決めデータ補正指令
の発令間隔を監視すれば、オペレータによる電子回路部
品装着機の点検の必要性を検出することができる。 （１３）前記結果検出装置が、前記回路基板に装着され
た電子回路部品をその電子回路部品が回路基板に固着さ
れる前に撮像する撮像装置を備えた (7)項ないし(12)項
のいずれかに記載の対回路基板作業システム。撮像装置
によれば、電子回路部品装着機の状況に関連する十分な
情報を取得することが容易であり、その上、電子回路部
品が回路基板に半田付け等により固着される前に撮像装
置によって撮像すれば、上記情報を早期に取得すること
ができる。 （１４）前記結果検出装置として、前記電子回路部品装
着機の下流側に配設された検出機を含み、その検出機
が、前記電子回路部品装着機による１枚の回路基板への
前記複数の電子回路部品の装着が完了した後に、その回
路基板の装着予定位置における予め定められた少なくと
も１つの電子回路部品の有無と装着の位置誤差との少な
くとも一方を検出するものである (7)項ないし(13)項の
いずれかに記載の対回路基板作業システム。電子回路部
品装着機による装着作業の結果を検出する結果検出装置
を、電子回路部品装着機から独立した検出機とすれば、
電子回路部品装着機の作動が結果検出のために妨げられ
ることが殆どなくなる。電子回路部品装着機は、対回路
基板作業システムに設けられる複数の作業機のうちで、
分担作業の完遂のために要する時間が特に長いものであ
るので、上記効果は特に有効である。 （１５）前記結果検出装置が、前記電子回路部品装着機
に配設され、その電子回路部品装着機による１枚の回路
基板への前記複数の電子回路部品の装着の完了後に、そ
の回路基板の装着予定位置における予め定められた少な
くとも１つの電子回路部品の有無と装着の位置誤差との
少なくとも一方を検出するものを含む (7)項ないし(13)
項のいずれかに記載の対回路基板作業システム。前項に
おけるように、結果検出装置を電子回路部品装着機から
独立した検出機とする場合に比較して、設備コストを低
減し得る利点がある。 （１６）前記結果検出装置が、前記電子回路部品装着機
に配設され、その電子回路部品装着機による１枚の回路
基板への前記複数の電子回路部品の装着の途中に、その
回路基板の装着予定位置における予め定められた少なく
とも１つの電子回路部品の有無と装着の位置誤差との少
なくとも一方を検出するものを含む (7)項ないし(13)項
のいずれかに記載の対回路基板作業システム。設備コス
ト低減の効果と、作業結果についての情報の早期取得効
果との両方が得られる。 （１７）前記１つ以上の作業機が、前記回路基板に前記
電子回路部品を仮止めするための高粘性流体を塗布する
高粘性流体塗布機を含む (1)項ないし(16)項のいずれか
に記載の対回路基板作業システム。 （１８）前記高粘性流体塗布機がスクリーンに形成され
た複数の貫通穴を経て前記高粘性流体を前記回路基板に
印刷するスクリーン印刷機を含む(17)項に記載の対回路
基板作業システム。 （１９）前記監視対象部が、前記スクリーンと、そのス
クリーンの表面に平行な方向の位置を調節する位置調節
装置と、前記スクリーン上を移動して前記高粘性流体を
前記複数の貫通穴に充填するスキージ装置との少なくと
も一つを含む(18)項に記載の対回路基板作業システム。
スクリーンについては、例えば、貫通穴の目詰まりやス
クリーン裏面の汚れを監視対象とし、位置調節装置につ
いては、例えば、スクリーンの位置誤差を監視対象と
し、スキージ装置については、例えば、スキージのスク
リーンへの押圧力やスクリーン上の移動速度やスキージ
の損傷を監視対象とすることが望ましい。 （２０）前記高粘性流体塗布機が、前記回路基板を位置
決めして保持する基板保持装置と、その基板保持装置に
保持された前記回路基板の予め定められた複数の位置に
前記高粘性流体をスポット状に塗布する塗布ヘッドと、
その塗布ヘッドと前記回路基板保持装置とを相対移動さ
せる相対移動装置とを含み、前記監視対象部が前記基板
保持装置、前記塗布ヘッドおよび前記相対移動装置の少
なくとも一つを含むディスペンサを含む(17)項ないし(1
9)項のいずれかに記載の対回路基板作業システム。基板
保持装置については、例えば、回路基板の位置誤差を監
視対象とすることが望ましく、塗布ヘッドについては、
例えば、高粘性流体の吐出圧，吐出時間，吐出温度等を
監視対象とし、相対移動装置については、例えば、塗布
ヘッドの位置誤差を監視対象とすることが望ましい。 （２１）前記監視装置が、前記監視対象部の少なくとも
１つについての前記対象部情報の過去のデータと現在の
データとに基づいて前記監視対象部に対して処置が必要
になる時期を予測する要処置時期予測部を含む (1)項な
いし(20)項のいずれかに記載の対回路基板作業システ
ム。対象部情報の過去のデータと現在のデータとに基づ
けば、要処置時期を的確に予測することができる。 （２２）前記監視装置が、前記要処置時期予測部の予測
に基づいて前記作業機に対して前記１つ以上の監視対象
の少なくとも１つに処置指令を発する処置指令部と、そ
の処置指令部により前記少なくとも１つの監視対象の同
じものに対して相前後して処置指令が発せられた間隔で
ある処置指令間隔を監視する処置指令間隔監視部とを含
む(21)項に記載の対回路基板作業システム。処置指令間
隔を監視すれば、作業機の状況変化を容易にかつ高い信
頼性を以て推定することができる。 （２３）前記監視装置が、前記１台以上の作業機の少な
くとも１台の、前記１つ以上の監視対象の少なくとも１
つに関連して為されるべき処置指令を発する処置指令部
と、その処置指令部の処置指令の実行により得られた効
果を取得する効果取得部とを含む (1)項ないし(22)項に
記載の対回路基板作業システム。処置指令部の処置指令
の実行により得られた効果を取得すれば、処置指令の妥
当性を評価することができる。 （２４）前記監視装置が、前記効果取得部により取得さ
れた効果が設定効果より少ない場合に、前記処置指令が
不適切なものであったと判定する判定部を含む(23)項に
記載の対回路基板作業システム。 （２５）前記監視装置が、前記１台以上の作業機の少な
くとも１台の、前記１つ以上の監視対象の少なくとも１
つに関連する制御データの補正を指令する補正指令部
と、その補正指令部の指令に基づく前記制御データの補
正が許容限界に達した場合に、前記作業機のオペレータ
に、その作業機の前記制御データに関連する部分をチェ
ックすべきことを示唆するチェック示唆部とを含む (1)
項ないし(24)項のいずれかに記載の対回路基板作業シス
テム。本項の特徴によれば、通常は自動で制御データの
補正を行い、必要に応じてオペレータのチェックを要請
することができる。 （２６）前記監視装置が、前記高粘性流体塗布機の前記
１つ以上の監視対象の少なくとも１つに関連して為され
るべき処置指令を発する処置指令部と、その処置指令部
の処置指令の実行により得られた効果を取得する効果取
得部と、その効果取得部により取得された効果が設定効
果より少ない場合に、前記高粘性流体塗布機のオペレー
タに、前記高粘性流体の特性をチェックすべきことを示
唆する高粘性流体チェック示唆部とを含む(17)項ないし
(20)項のいずれかに記載の対回路基板作業システム。高
粘性流体の特性を自動でチェックすることも可能である
が、設備コストが高くなる上、十分な信頼性が得にく
い。一方、高粘性流体の特性チェックを完全にオペレー
タに任せば、オペレータの負担が大きくなる。本項の対
回路基板作業システムにおいては、オペレータは高粘性
流体チェック示唆部の示唆に従って高粘性流体の特性を
チェックすればよいため、オペレータの負担増と設備コ
スト上昇を回避しつつ、信頼性の高い高粘性流体特性チ
ェックを実現し得る。 （２７）前記監視装置が、前記高粘性流体塗布機の前記
１つ以上の監視対象の少なくとも１つに関連する制御デ
ータの補正を指令する補正指令部と、その補正指令部の
指令に基づく前記制御データの補正が許容限界に達した
場合に、前記高粘性流体塗布機のオペレータに、前記高
粘性流体の特性をチェックすべきことを示唆する高粘性
流体チェック示唆部とを含む(17)項ないし(20)項のいず
れかに記載の対回路基板作業システム。(26)項の対回路
基板作業システムにおけると同様の効果が得られる。 （２８）当該対回路基板作業システムが前記作業機を複
数台含み、前記監視装置はそれら複数の作業機に共通の
コンピュータを含む (1)項ないし(28)項のいずれかに記
載の対回路基板作業システム。 （２９）前記 (7)項ないし(16)項のいずれかに記載の対
回路基板作業システムを使用して前記回路基板に前記電
子回路部品を装着し、電子回路を製造する方法であっ
て、前記結果検出装置としての検出機を前記電子回路部
品装着機の下流側に配設し、その電子回路部品装着機に
よる１枚の回路基板への前記複数の電子回路部品の装着
が完了した後に、その回路基板の装着予定位置における
予め定められた少なくとも１つの電子回路部品の有無と
装着の位置誤差との少なくとも一方を検出し、その検出
結果と前記対象部情報とに基づいて前記電子回路部品装
着機の状態を監視しつつ複数枚の電子回路を製造する電
子回路製造方法。前記(14)項について記載した効果が得
られる。 （３０）前記 (7)項ないし(16)項のいずれかに記載の対
回路基板作業システムを使用して前記回路基板に前記電
子回路部品を装着し、電子回路を製造する方法であっ
て、前記結果検出装置を前記電子回路部品装着機に配設
し、その電子回路部品装着機による１枚の回路基板への
前記複数の電子回路部品の装着の完了後に、その回路基
板の装着予定位置における予め定められた少なくとも１
つの電子回路部品の有無と装着の位置誤差との少なくと
も一方を検出し、その検出結果と前記対象部情報とに基
づいて前記電子回路部品装着機の状態を監視しつつ複数
枚の電子回路を製造する電子回路製造方法。前記(15)項
について記載した効果が得られる。 （３１）前記 (7)項ないし(16)項のいずれかに記載の対
回路基板作業システムを使用して前記回路基板に前記電
子回路部品を装着し、電子回路を製造する方法であっ
て、前記結果検出装置を前記電子回路部品装着機に配設
し、その電子回路部品装着機による１枚の回路基板への
前記複数の電子回路部品の装着の途中に、その回路基板
の装着予定位置における予め定められた少なくとも一つ
の電子回路部品の有無と装着の位置誤差との少なくとも
一方を検出し、その検出結果と前記対象部情報とに基づ
いて前記電子回路部品装着機の状態を監視しつつ電子回
路を製造する電子回路製造方法。前記(16)項について記
載した効果が得られる。以上(30)項または(31)項は、対
回路基板作業が電子回路部品装着作業である場合につい
てのものであるが、高粘性流体塗布作業である場合につ
いても各項の特徴を同様に採用可能である。また、これ
ら各項の特徴は、 (1)項ないし(29)項の対回路基板作業
システムに適用することも可能である。結果検出装置に
(30)項または(31)項に記載の時期にこれら各項に記載の
検査をさせる制御装置を設けるのである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態である
電子回路製造システムについて詳細に説明する。図１に
示すように、本システム１０は上流側（図１において左
側）から順に、(a)回路基板たるプリント基板（図２参
照。電子回路部品装着前のプリント配線板と装着後のプ
リント回路板とをプリント基板と総称する）１２にクリ
ーム半田を印刷するマスク印刷機１４と、(b)印刷され
たクリーム半田の状態を検査する印刷状態検査機１６
と、(c)比較的小型の電子回路部品を装着する第一電子
回路部品装着機１８と、(d)第一電子回路部品装着機１
８により装着された電子回路部品の有無や位置等の装着
結果を検査する第一装着検査機２０と、(e)比較的大型
の電子回路部品を装着する第二電子回路部品装着機２２
と、(f)第二電子回路部品装着機２２により装着された
電子回路部品のプリント配線板１２に対する位置等の装
着結果を検査する第二装着検査機２４とを含む。本シス
テム１０の各機械１４ないし２４の間には、プリント配
線板１２を搬送する配線板搬送装置が設けられ、各機械
１４ないし２４における作業が終了する毎に、下流側の
装置へ搬送されるようにされている。第二装着検査機２
４の下流側には、仮止めされた電子回路部品などを固定
するためのリフロー炉２６が設けられている。本システ
ム１０は、さらに、上記各装置から作業データまたは検
査結果データを取得して、それらデータに基づいて作業
機たるマスク印刷機１４，第一および第二電子回路部品
装着機２２の現状を監視，推定し、作業機に不具合が生
じると予測された場合に、その旨を作業者に報知する監
視装置２８を備える。以下順に説明する。
【０００８】まず、マスク印刷機１４について説明す
る。本マスク印刷機１４は、特開２００１−１１６５２
８号公報に記載されているものとほぼ同じであるので簡
単に説明する。図２において、符号３０はベースであ
る。ベース３０上には、印刷対象材としてのプリント配
線板１２を搬送する搬送装置たる配線板コンベヤ３２，
配線板コンベヤ３２により搬送されてきたプリント配線
板１２を支持して昇降する対象材支持装置の一種である
対象材支持昇降装置たる配線板支持昇降装置３４，配線
板支持昇降装置３４による配線板支持時にプリント配線
板１２を押さえる配線板押さえ装置（図示省略），マス
ク版３６を支持するマスク位置決め支持装置（図３参
照）３８，プリント配線板１２に被印刷剤の一種である
クリーム半田を印刷する印刷装置４０，マスク版３６の
マスクを清掃するマスク清掃装置４２，プリント配線板
１２に設けられた基準マークを撮像する配線板用基準マ
ーク撮像装置（図９参照）４４、マスクに設けられた基
準マークを撮像するマスク用基準マーク撮像装置４６等
が設けられている。
【０００９】配線板コンベヤ３２は、図２に示すように
一対のレール４８，５０を有する。これらレール４８，
５０にはそれぞれ、巻掛部材たる無端のベルト（図示省
略）が長手方向に沿って取り付けられており、プリント
配線板１２はこれらベルト上に載置され、ベルトが図示
しないベルト駆動装置によって周回させられることによ
り搬送される。一対のレール４８，５０の互いの距離
は、プリント配線板１２の寸法に合わせて調節可能とさ
れている。プリント配線板１２は、図示しないストッパ
装置により、搬送方向においてクリーム半田の印刷が行
われる印刷位置に停止させられる。
【００１０】配線板支持昇降装置３４は、図３に示すよ
うに、印刷装置４０の下方に設けられ、一対のレール４
８，５０の間を通って昇降可能に設けられた対象材支持
台たる配線板支持台６０を有する。配線板支持台６０
は、本実施形態においては、負圧によりプリント配線板
１２を吸着し、水平に支持するものであり、昇降装置６
２により、配線板コンベヤ３２の下方に位置する下降端
位置と、プリント配線板１２を配線板コンベヤ３２のベ
ルトから持ち上げてマスク版３６のマスクの下面に接触
させる上昇端位置とに昇降させられる。
【００１１】マスク版３６は、図４に示すように、マス
ク６４の周縁部がマスク枠６６の下面に固定されて成
る。マスク６４は、本実施形態ではステンシルマスクと
されており、ニッケル合金，ステンレススチール等によ
り作られている。このマスク６４には、厚さ方向に貫通
する透孔６５が複数、形成されている。本実施形態にお
いては、複数の透孔６５はいずれも、マスク６４の板面
に平行な断面形状が矩形（正方形を含む）をなす。プリ
ント配線板１２の一平面状をなす表面上には、クリーム
半田が塗布される複数の印刷スポットがあり、マスク６
４のそれら印刷スポットに対応する位置にそれぞれ透孔
６５が形成されている。透孔６５は、本実施形態では、
上記断面形状である矩形の一方の辺がＸ軸方向に平行と
なり、他方がＹ軸方向に平行となるように形成されてい
る。
【００１２】マスク位置決め支持装置３８は、図５に示
すように、マスク枠６６を支持するマスク支持台６８を
備えている。マスク支持台６８は板状を成し、前記ベー
ス３０上に立設された４本の支柱７０上に固定されてい
る。マスク支持台６８には、図３に示すように、厚さ方
向に貫通する開口６９が形成され、マスク枠６６はマス
ク支持台６８の開口６９の周縁部により支持されてい
る。
【００１３】マスク支持台６８のマスク枠６６の４隅に
対応する位置にはそれぞれ、図５に示すように、ボール
ユニット７２が設けられている。ボールユニット７２は
本出願人に係る特開２０００−１７７１００号公報に記
載されたボールユニットと同様に構成されており、本発
明と直接関係がないので説明を省略する。
【００１４】マスク支持台６８には、さらに、押圧装置
付位置調節装置８０および固定装置８２が設けられてい
る。これら押圧装置付位置調節装置８０および固定装置
８２は、上記特開２０００−１７７１００号公報に記載
された押圧装置付位置調節装置および固定装置と同様に
構成されており、本発明と直接関係がないので簡単に説
明する。
【００１５】押圧装置付位置調節装置８０は、マスク版
３６のマスク支持台６８に対するＸ軸方向（プリント配
線板１２の搬送方向と平行な方向）の位置を調節するＸ
軸方向用押圧装置付位置調節装置８４と、水平面内にお
いてＸ軸方向と直角なＹ軸方向の位置を調節するＹ軸方
向用押圧装置付位置調節装置８６とを含む。Ｘ軸方向用
押圧装置付位置調節装置８４は、Ｘ軸方向位置調節装置
８８およびＸ軸方向押圧装置９０を含む。Ｘ軸方向位置
調節装置８８は、サーボモータを駆動源とする電動シリ
ンダにより構成された位置調節用シリンダ９２と、位置
決め部材たる頭部９６とを含み、マスク枠６６が頭部９
６に当接させられて位置決めされる。頭部９６が位置調
節用シリンダ９２によってＸ軸方向に移動させられるこ
とにより、マスク枠１８のマスク支持台６８に対するＸ
軸方向における位置が自動的に調節される。
【００１６】Ｘ軸方向押圧装置９０は、Ｘ軸方向におい
てＸ軸方向位置調節装置８８と対向して設けられ、エア
シリンダにより構成された押圧用シリンダ１００と、位
置決め部材たる頭部１０４とを備えている。エアシリン
ダは、駆動源たる流体圧アクチュエータであって、流体
圧シリンダの一種である。本マスク印刷機１４に設けら
れた他のエアシリンダについても、いちいち記載はしな
いが、同じである。頭部１０４が押圧用シリンダ１００
によって移動させられることにより、マスク枠６６が頭
部９６に押し付けられる。Ｙ軸方向用押圧装置付位置調
節装置８６は、Ｘ軸方向位置調節装置８８およびＸ軸方
向押圧装置９０と同様に構成されたＹ軸方向位置調節装
置１０６およびＹ軸方向押圧装置１０８を２組ずつ備え
ている。なお、図６においては、Ｙ軸方向押圧装置１０
８の図示が省略されている。
【００１７】前記固定装置８２は、図５に示すように、
４組のクランプユニット１１２を備えている（図６にお
いては、クランプユニット１１２は２組、図示されてい
る）。これらクランプユニット１１２は、マスク支持台
６８のマスク枠６６の４隅にほぼ対応する位置に設けら
れており、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種であ
って、流体圧シリンダであるエアシリンダ１１４，図示
しないカム装置およびクランプアーム１１６を含む。ク
ランプアーム１１６は、エアシリンダ１１４およびカム
装置により、マスク支持台６８に対して直角な方向であ
る垂直方向に移動させられるとともに、アーム軸１１８
の軸線まわりに回転させられ、マスク枠６６上に位置す
るとともにマスク枠６６をマスク支持台６８に押し付け
て固定するクランプ位置と、マスク枠６６から離間させ
られるとともに、マスク枠６６上から退避した退避位置
とに移動させられる。これらマスク支持台６８，押圧装
置付位置調節装置８０および固定装置８２等がマスク６
４のプリント配線板１２に対する位置調節が可能なマス
ク位置決め支持装置３８を構成している。なお、クラン
プアーム１１６は、垂直方向においてマスク枠６６から
上方へ離れた状態では、アーム軸１１８の軸線まわりに
おいてマスク枠６６から外れた状態となるが、図６にお
いては、クランプユニット１１２によるマスク枠６６の
クランプが解除された状態におけるクランプアーム１１
６とマスク枠６６との垂直方向の位置関係を明らかにす
るために、クランプアーム１１６がマスク枠６６から上
方へ離れるとともに、マスク枠６６の上方に位置する状
態が図示されている。
【００１８】印刷装置４０を説明する。この印刷装置４
０は、特開平９−３９２１４号公報に記載のマスク印刷
装置と同様に構成されており、簡単に図示および説明す
る。マスク支持台６８上には、図３に示すように、一対
のガイドレール１２０が基板搬送方向たる配線板搬送方
向と直角に設けられ、スライド１２２が移動可能に嵌合
されている。スライド１２２は、マスク支持台６８によ
り回転可能かつ軸方向に移動不能に支持されたボールね
じ１２４、スライド１２２に固定されてボールねじ１２
４に螺合されたナット１２６，印刷ヘッド移動用サーボ
モータ（図示省略）を含む駆動装置１３０により、ガイ
ドレール１２０に案内されて配線板搬送方向と直角なＹ
軸方向である印刷方向に移動させられる。スライド１２
２，駆動装置１３０が印刷ヘッド移動装置１３２を構成
し、一対のガイドレール１２０が案内装置を構成してい
る。
【００１９】スライド１２２上には、印刷ヘッド１３４
が昇降可能に、かつ配線板搬送方向に平行な軸線まわり
に回動可能に取り付けられている。印刷ヘッド１３４
は、スライド１２２に設けられた印刷ヘッド昇降装置を
構成する印刷ヘッド昇降用エアシリンダ１３６により昇
降させられる。印刷ヘッド１３４は、図７に示すよう
に、接触荷重調節用エアシリンダ１３８，回動板１４
０，２個の荷重センサ１４４および取付部材１４６を介
して印刷ヘッド昇降用エアシリンダ１３６に取り付けら
れており、これら荷重センサ１４４の検出値に基づいて
接触荷重調節用エアシリンダ１３８が制御され、印刷ヘ
ッド１３４が予め設定された荷重でマスク６４に接触さ
せられる。
【００２０】印刷ヘッド１３４は、被印刷材収容器たる
半田収容器１５０を含む。半田収容器１５０の収容器本
体１５２は、本実施形態においては、複数の部材が互い
に組み付けられて成り、組み付け後は一体の収容器本体
１５２として機能する。収容器本体１５２は、一対の板
状部材１５４，１５６とそれら板状部材１５４，１５６
の長手方向における両端面に固定された閉塞板１５８と
を有する。収容器本体１５２は、水平面内において印刷
方向に直角な方向（マスク位置決め支持装置３８により
位置決め支持されたマスク６４の幅方向に平行な方向）
に長く、そのマスク幅方向に長い被印刷材収容室たる半
田収容室１６０内にクリーム半田が収容されている。上
記一対の板状部材１５４，１５６にはそれぞれ、ゴム製
の吐出口形成部材１６２が着脱可能に固定されている。
これら吐出口形成部材１６２はそれぞれ板状を成し、マ
スク幅方向に長く、一対の吐出口形成部材１６２の下縁
が半田収容室１６０に連通する印刷剤吐出口たる半田吐
出口１６４を構成している。
【００２１】一対の板状部材１５４，１５６の間には、
押出部材たる押出プレート１７０が上下方向に、すなわ
ち半田吐出口１６４に接近，離間可能に挟まれている。
押出プレート１７０は、取付部材１４６に保持された駆
動源たる液体圧アクチュエータの一種であって、押出部
材駆動装置を構成する押出用エアシリンダ１７２のピス
トンロッド１７４に着脱可能に保持されており、ピスト
ンロッド１７４の伸縮により昇降させられる。押出用エ
アシリンダ１７２は複動式のエアシリンダであり、図７
に示すように、２個のエア室は電磁方向切換弁１７６の
切換えにより、一方がエア源１７８に連通し、他方が大
気に開放された状態と、一方が大気に開放され、他方が
エア源１７８に連通させられた状態と、２個のエア室が
エア源１７８と大気とのいずれにも連通させられず、エ
ア室内の圧力が保持される状態とに切り換えられる。上
側にあって押出プレート１７０を半田吐出口１６４側へ
移動させる側のエア室に供給されるエアの圧力は押出圧
力センサ１８０により検出され、押出圧力センサ１８０
の検出結果に基づいて制御装置１８２（図１０参照）が
電磁方向切換弁１７６の切換えを制御する。それによ
り、予め設定された押出圧力で押出プレート１７０が半
田収容室１６０内のクリーム半田を押し出す高さに押出
側のエア室のエア圧力が制御され、前記マスク６４の透
孔６５にクリーム半田が所定の押込圧力で押し込まれ
る。これら押出プレート１７０，押出用エアシリンダ１
７２等が被印刷剤押出装置たる半田押出装置１８４を構
成している。押出プレート１７０，押出用エアシリンダ
１７２は、クリーム半田を透孔６５に押し込む押込プレ
ートであり、押込用エアシリンダでもあり、半田押込装
置を構成している。
【００２２】マスク清掃装置４２は、特開平９−３９２
１４号公報に記載のマスク清掃装置と同様に構成されて
おり、本発明と直接関係がないので説明を簡略化して行
う。マスク清掃装置４２は、図２および図８に示すよう
に、マスク６４の下面、すなわちプリント配線板１２が
接触させられる配線板接触面２００側に配設された洗浄
ヘッド２０２を有する洗浄装置２０４と、マスク６４の
上面、すなわちクリーム半田が透孔６５に押し込まれる
被印刷剤押込面たる半田押込面２０６側に配設された拭
取ヘッド２０８を有する拭取装置２１０とを含む。
【００２３】洗浄装置２０４は、浅い容器状を成し、マ
スク幅方向に長いパレット２１２を有する。パレット２
１２の長手方向の両端部にはそれぞれ、図３に示すよう
に、２個ずつのガイドブロック２１４が設けられ、マス
ク支持台６８の下面に印刷方向に平行に設けられた一対
のガイドレール２１６に摺動可能に嵌合されている。洗
浄装置２０４はマスク支持台６８の下側に移動可能に設
けられているのであり、ガイドレール２１６は案内装置
を構成している。前記マスク支持台６８と配線板押さえ
装置との間には、上下方向において、洗浄ヘッド２０２
の侵入を許容する大きさの隙間が設けられており、洗浄
ヘッド２０２はこの隙間を移動する。
【００２４】洗浄ヘッド２０２はパレット２１２上に昇
降可能に設けられており、昇降装置２１８により昇降さ
せられる。洗浄ヘッド２０２のヘッド本体２２２には、
図８に示すように、超音波振動器２２４，洗浄剤供給部
材２２６，２２８，清掃シート側面乾燥装置２３０のエ
ア噴射部材２３２が設けられている。洗浄剤供給部材２
２６，２２８は、長手形状を成し、マスク幅方向に平行
に配設されており、それぞれ図示しない洗浄剤供給源か
ら供給される洗浄剤を複数の供給口２３４，２３６から
噴出する。また、エア噴射部材２３２は円筒状を成し、
マスク幅方向と平行に配設されており、エア供給源（図
示省略）に接続され、図示しないスリットからエアを上
方へ、すなわちマスク６４に向かって噴射する。
【００２５】前記超音波振動器２２４および洗浄剤供給
部材２２６，２２８上には、清掃シート２４４が配設さ
れている。清掃シート２４４は、マスク６４の幅（正確
には、マスク枠６６の内周面の幅）とほぼ等しい幅の帯
状を成し、多孔性で吸湿性を有する紙により形成され、
供給軸２４６に巻きつけられている。清掃シート２４４
は、供給軸２４６から引き出され、洗浄剤供給部材２２
６の下側を通った後、超音波振動器２２４および洗浄剤
供給部材２２８の上に載せられ、洗浄剤供給部材２２８
とエア噴射部材２３２との間を通り、巻取軸２４８によ
り巻き取られる。清掃シート２４４の超音波振動器２２
４，洗浄剤供給部材２２６，２２８上の位置である清掃
位置に位置する部分が配線板接触面２００を清掃する清
掃面である。
【００２６】清掃シート２４４は、洗浄ヘッド２０２が
昇降装置２１８によって昇降させられることにより、マ
スク６４の配線板接触面２００に接触，離間させられ
る。昇降装置２１８は、接触・離間装置を構成している
のである。また、清掃シート２４４は、ヘッド本体２２
２に設けられた図示しない清掃シート送り装置により一
定ピッチずつ送られる。これら供給軸２４６，巻取軸２
４８，超音波振動器２２４，洗浄剤供給部材２２６，２
２８，エア噴射部材２３２および清掃シート２４４送り
装置等が洗浄ヘッド２０２を構成している。
【００２７】拭取装置２１０を説明する。印刷装置４０
のスライド１２２には、昇降台２５０が昇降可能に設け
られており、図示しない昇降台昇降装置により昇降させ
られる。昇降台２５０に供給軸２５２がマスク幅方向に
平行な軸線まわりに回転可能に設けられ、拭取シート２
５４が巻きつけられている。拭取シート２５４はマスク
６４の幅（正確には、マスク枠６６の内周面の幅）とほ
ぼ等しい幅を成し、多孔性の吸湿性を有する紙により形
成されており、巻取軸２５６により巻き取られる。拭取
シート２５４は、図示しない拭取シート送り装置により
一定ピッチずつ送られる。拭取シート２５４はまた、拭
取シート押さえ部材２５８により押さえられ、拭取シー
ト２５４の一部にマスク６４に平行な拭取面が形成され
ている。
【００２８】昇降台２５０にはまた、ゴム製の掻取部材
２６０，掻取シート側面乾燥装置２６２のエア噴射部材
２６４が設けられている。掻取部材２６０，エア噴射部
材２６４は長手形状をなし、マスク幅方向に平行に配設
されており、エア噴射部材２６４は、図示しないエア供
給源から供給されるエアを下向きに噴射する。
【００２９】このように昇降台２５０には、供給軸２５
２，巻取軸２５６，拭取シート送り装置，拭取シート押
さえ部材２５８，掻取部材２６０、エア噴射部材２６４
などが設けられ、これらが拭取ヘッド２０８を構成して
いる。拭取ヘッド２０８は、スライド１２２に設けら
れ、マスク６４の上側に配設されているのであり、スラ
イド１２２の移動により印刷方向と同じ方向に移動させ
られる。また、拭取ヘッド２０８は昇降台２５０の昇降
により昇降させられ、拭取シート２５４がマスク６４に
接触，離間させられる。昇降台２５０，昇降台昇降装置
が拭取ヘッド昇降装置であって、拭取シート２５４など
の接触・離間装置を構成している。
【００３０】前記洗浄ヘッド２０２等と拭取ヘッド２０
８等とは、図３に概略的に示す連結装置２７０により、
前記スライド１２２を介して連結されて一体的に移動さ
せられる。連結装置２７０は、洗浄ヘッド２０２を、ス
ライド１２２に連結するとともにマスク支持台６８との
係合を解除し、スライド１２２との連結を解除するとと
もにマスク支持台６８に係合させるように構成されてい
る。これら連結，係合，解除は、マスク支持台６８のマ
スク６４から外れた位置である退避位置において行なわ
れる。
【００３１】配線板用基準マーク撮像装置４４，マスク
用基準マーク撮像装置４６を説明する。これら撮像装置
４４，４６はそれぞれ、本実施形態においては、面で像
を得るＣＣＤカメラとされており、図示は省略するが、
撮像装置４４，４６の各々と共に照明装置が設けられて
いる。これらを水平面に平行な任意の位置へ移動させる
ことにより、プリント配線板１２またはマスク６４に設
けられた基準マークを撮像する。そのため、一対のガイ
ドレール２１６に、Ｙ軸スライド２８４が複数のガイド
ブロック２８６において移動可能に嵌合されている。ガ
イドレール２１６は、マスク清掃装置４２と撮像装置４
４，４６とにより共用されている。
【００３２】Ｙ軸スライド２８４にはナット２８８が設
けられ、そのナット２８８によりマスク支持台６８に回
転可能かつ軸方向に移動不能に設けられたボールねじ２
９０に螺合されており、ボールねじ２９０が駆動源たる
Ｙ軸サーボモータ２９２（図１０参照）によって回転さ
せられることにより、Ｙ軸スライド２８４がガイドレー
ル２１６に案内されて移動させられる。
【００３３】Ｙ軸スライド２８４の垂直な側面には、一
対のガイドレール２９８がＸ軸方向に平行に設けられる
とともに、Ｘ軸スライド３００が移動可能に嵌合されて
いる。Ｘ軸スライド３００は、Ｙ軸スライド２８４にＸ
軸方向に平行な軸線まわりに回転可能にかつ軸方向に移
動不能に設けられたボールねじ３０２に螺合されてお
り、ボールねじ３０２がＸ軸サーボモータ３０４によっ
て回転させられることにより、Ｘ軸スライド３００がガ
イドレール２９８に案内されてＸ軸方向に移動させられ
る。このＸ軸スライド３００に撮像装置４４，４６が取
り付けられており、Ｙ軸スライド２８４とＸ軸スライド
３００とそれらを案内，駆動するガイドレール２１６，
２９８およびＸ軸サーボモータ３０４とＹ軸サーボモー
タ２９２とが、撮像装置を水平方向に移動させる移動装
置３０６を構成している。
【００３４】マスク用基準マーク撮像装置４６は、Ｘ軸
スライド３００上に、マスク６４に向かって上向きに設
けられ、配線板用基準マーク撮像装置４４はプリント配
線板１２に向かって下向きに設けられている。プリント
配線板１２とマスク６４とにはそれぞれ、複数個、本実
施形態においては２個の基準マークが対角線上に設けら
れており、撮像装置４４，４６は水平面内の任意の位置
へ移動させられ、それぞれプリント配線板１２，マスク
６４に設けられた基準マークを撮像する。なお、撮像装
置４４，４６は、一定距離移動する毎にライン状の像を
得るラインセンサを有するものとしてもよい。
【００３５】前述のように、Ｙ軸スライド２８４は、前
記洗浄ヘッド２０２の移動を案内するためのガイドレー
ル２１６により移動を案内され、基準マーク撮像装置４
４，４６は、洗浄ヘッド２０２と同様にマスク支持台６
８と配線板押さえ装置との間の隙間を移動するが、それ
ら退避位置は、洗浄ヘッド２０２の退避位置とは反対側
とされており、洗浄ヘッド２０２と基準マーク撮像装置
４４，４６とが互いに撮像と清掃とを妨げることはな
い。
【００３６】本マスク印刷機１４は、前記制御装置１８
２により制御される。制御装置１８２は、図１０に示す
ように、ＰＵ（プロセッシングユニット）３４０，ＲＯ
Ｍ（リードオンリメモリ）３４２，ＲＡＭ（ランダムア
クセスメモリ）３４４およびそれらを接続するバス３４
６を有するコンピュータ３４８を主体とするものであ
る。バス３４６には、入出力インタフェース３５０が接
続され、前記荷重センサ１４４等の各種センサ，基準マ
ーク撮像装置４４等の各種撮像装置が接続されるととも
に、駆動回路３５８を介して、配線板コンベヤ３２等、
各種装置を構成するアクチュエータを制御する他、前記
監視装置２８に接続されて各種センサの情報およびそれ
に関連する演算値を伝達する。また、ＲＯＭ３４２に
は、各種ルーチンが記憶されている。
【００３７】次に作動を説明する。通常の作動は特開２
０００−１７７１００号公報に詳細に記載されており、
本発明と直接関係がないので簡単に説明する。プリント
配線板１２へのクリーム半田の印刷の開始に先立って、
マスク版３６がマスク支持台６８に固定される。この
際、マスク６４のマスク支持台６８に対するそれらの板
面に平行な方向の相対位置が調節され、それによってマ
スク６４の配線板支持昇降装置３４、ひいてはプリント
配線板１２に対する位置が調節される。この調節は、プ
リント配線板１２およびマスク６４それぞれに設けられ
た基準マークを基準マーク撮像装置４４，４６により撮
像し、マスク６４とプリント配線板１２との相対位置ず
れを取得し、その位置ずれを解消すべく、マスク版３６
をマスク支持台６８に対してマスク６４の板面に平行な
方向に移動させることにより行なわれる。
【００３８】マスク支持台６８とマスク版３６との相対
位置合わせは、前記特開２０００−１７７１００号公報
に記載のマスク印刷装置におけると同様に行われるた
め、簡単に説明する。位置合わせ時には、プリント配線
板１２が配線板支持昇降装置３４により支持されるとと
もに、マスク版３６から離れた位置に位置させられてい
る。プリント配線板１２は位置決めされて配線板支持台
６０により吸着され、配線板支持台６０は吸着位置にあ
って、プリント配線板１２が配線板コンベヤ３２から持
ち上げられるとともに、マスク版３６から離間させられ
ているのである。そして、作業者によりマスク支持台６
８上にボールユニット７２を介して載せられたマスク版
３６は、固定装置８２による固定は解除されているが、
押圧装置付位置調節装置８０のＸ軸方向押圧装置９０お
よびＹ軸方向押圧装置１０８により押圧され、Ｘ軸方向
位置調節装置８８およびＹ軸方向位置調節装置１０６に
よって決められた位置に位置させられている。
【００３９】この状態で基準マーク撮像装置４４，４６
が移動させられ、プリント配線板１２とマスク版３６と
の間へ進入させられて、それぞれ、プリント配線板１２
に設けられた基準マークとマスク６４に設けられた基準
マークとを撮像する。そして、撮像データに基づいてマ
スク版３６のプリント配線板１２に対する位置ずれ量が
算出されるとともに、マスク版３６をプリント配線板１
２に対して位置ずれなく、マスク支持台６８に固定する
ための位置、すなわちＸ軸方向位置調節装置８８および
Ｙ軸方向位置調節装置１０６によるマスク版３６の位置
決め位置が算出される。
【００４０】そして、Ｘ軸方向位置調節装置８８および
Ｙ軸方向位置調節装置１０６によりマスク版３６を配線
板支持昇降装置３４に対して、プリント配線板１２に対
してずれなく位置決めする位置へ移動させられる。マス
ク版３６の位置調節時には、固定装置８２によるマスク
版３６の固定は解除されていて、マスク版３６は軽快に
移動することができる。位置調節後、固定装置８２によ
りマスク版３６がマスク支持台６８に固定される。
【００４１】マスク印刷時には、マスク清掃装置４２の
洗浄ヘッド２０２は拭取ヘッド２０８との連結を解か
れ、マスク支持台６８に係止されている。洗浄ヘッド２
０２は退避位置にあるのである。また、洗浄ヘッド２０
２は下降端位置にあり、拭取ヘッド２０８は上昇端位置
にあって、清掃シート２４４，拭取シート２５４はそれ
ぞれマスク６４から離れており、印刷を妨げない。さら
に、配線板用基準マーク撮像装置４４およびマスク用基
準マーク撮像装置４６は退避位置に退避させられてお
り、印刷を妨げない。
【００４２】マスク印刷時には、配線板コンベヤ３２に
より搬送されて来たプリント配線板１２がストッパ装置
により配線板支持台６０上において停止させられる。次
いで、配線板押さえ装置の配線板押さえ部材がプリント
配線板１２上方へ移動させられた後、配線板支持台６０
が上昇させられ、プリント配線板１２が位置決め装置に
より位置決めされるとともに、レール４８，５０，配線
板コンベヤ３２のベルトから持ち上げられる。配線板支
持台６０がプリント配線板１２を配線板押さえ部材に押
し付けたならば、配線板支持台６０に負圧が供給され、
プリント配線板１２を吸着する。
【００４３】配線板支持台６０がプリント配線板１２を
吸着した後、配線板支持台６０は小距離下降させられて
配線板押さえ部材から離間させられ、配線板押さえ部材
が退避させられた後、プリント配線板１２は更に配線板
支持台６０により上昇させられてマスク６４の配線板接
触面２００に接触させられる。次いで、印刷ヘッド１３
４が印刷ヘッド昇降用エアシリンダ１３６により下降さ
せられ、下降端位置への移動後、さらに接触荷重調節用
エアシリンダ１３８により下降させられて、吐出口形成
部材１６２がマスク６４の半田押込面２０６に接触させ
られる。
【００４４】吐出口形成部材１６２をマスク６４に接触
させるべく印刷ヘッド１３４を下降させるとき、制御装
置１８２は接触荷重調節用エアシリンダ１３８を吐出口
形成部材１６２のマスク６４への接触荷重に基づいて制
御し、吐出口形成部材１６２を設定荷重でマスク６４に
接触させる。接触後、押出プレート１７０が下降させら
れ、クリーム半田に押出圧力が加えられる。しかし、半
田収容器１５０の半田吐出口１６４はマスク６４により
閉塞されているため、クリーム半田は吐出されず、適度
に加圧される。この状態で印刷ヘッド１３４が印刷ヘッ
ド移動装置１３２によりマスク６４に沿って移動させら
れれば、半田収容室１６０内のクリーム半田は、印刷方
向において下流側に位置する吐出口形成部材１６２によ
り半田収容室１６０からの流出を防止され、上流側に位
置する吐出口形成部材１６２によりマスク上面から掻き
取られ、半田収容室１６０内に収容された状態を保って
半田収容器１５０の移動と共にマスク６４上を移動す
る。そして、半田吐出口１６４がマスク６４の透孔６５
に対向する毎に、それに対応するクリーム半田が透孔６
５内に押し込まれ、余分のクリーム半田は上流側に位置
する吐出口形成部材１６２により掻き取られて透孔６５
いっぱいに充填される。印刷ヘッド１３４は、収容した
クリーム半田を加圧して透孔６５に充填し、印刷対象材
に付着させ、塗布する加圧式印刷ヘッドないし加圧式塗
布ヘッドなのであり、このようにプリント配線板１２に
クリーム半田をマスク印刷する工程が印刷工程である。
【００４５】押出プレート１７０は、クリーム半田を押
し出すに従って下降させられるが、押出用エアシリンダ
１７２の押出側のエア室の圧力は押出圧力センサ１８０
により検出され、クリーム半田が予め設定された圧力で
押し出されるようにエア圧力が制御されるため、クリー
ム半田が減少しても常に設定された押出圧力でクリーム
半田が押し出され、設定された押込圧力でクリーム半田
が透孔６５に押し込まれ、プリント配線板１２の表面の
印刷スポットに付着させられる。１枚のプリント配線板
１２の印刷終了後、印刷ヘッド１３４は上昇させられて
吐出口形成部材１６２がマスク６４から離間させられ
る。本実施形態においては、一対の吐出口形成部材１６
２のうち、印刷方向上流側に位置するものがクリーム半
田を掻き取りつつ移動するスキージを構成し、その上流
側の吐出口形成部材１６２のマスク６４への接触荷重が
スキージ圧に相当する。
【００４６】次に配線板支持台６０が下降させられ、プ
リント配線板１２が下降させられてマスク６４から離間
させられ、配線板コンベヤ３２に載置される。配線板コ
ンベヤ３２が駆動されることにより、プリント配線板１
２は印刷状態検査機１６の検査位置まで送られる。以上
で、マスク印刷機１４によるプリント配線板１２のマス
ク印刷作業が終了する。
【００４７】マスク印刷機１４は、プリント配線板１２
にクリーム半田をマスク印刷する印刷作業を実行する際
に、制御装置１８２により、スキージ圧やスキージ速度
に関する情報を含むマスク印刷機情報（一般的には作業
機情報、厳密には各作業機を構成する各装置の情報であ
る装置情報）が監視装置２８に逐次伝達されるようにさ
れている。押出用エアシリンダ１７２の押出側のエア室
の圧力を検出する押出圧力センサ１８０や、荷重センサ
１４４により検出された装置情報が監視装置２８に送ら
れて蓄積される。装置情報には、マスク支持台６８に固
定するための位置、すなわち押圧装置付位置調節装置８
０によるマスク版３６の位置決め位置等の制御データも
含まれる。
【００４８】次に印刷状態検査機１６について説明す
る。この検査機１６の構成は、前記マスク印刷機１４と
共通する要素が多いので、共通の符号を用いることによ
り簡略化して説明する。印刷状態検査機１６は、配線板
搬送方向においてマスク印刷機１４の下流側に設けられ
ている。印刷状態検査機１６が、マスク印刷機１４から
マスク６４の板面に平行な方向に隔たった位置に設けら
れているのであり、図示は省略するが、マスク印刷機１
４から配線板搬送装置により搬送されたプリント配線板
１２の移動を、印刷状態検査機１６による検査が行われ
る検査位置に停止させるストッパ装置が設けられてい
る。ストッパ装置は、プリント配線板１２の移動を止め
る作用位置と、移動を許容する非作用位置とに移動する
ストッパ部材を有する。
【００４９】印刷状態検査機１６は、図１１および図１
２に示すように、スリット光源３８０および２次元撮像
装置３８２を含み、それらをプリント配線板１２の板面
である表面に平行な方向であって、水平面に平行な任意
の位置へ移動させることにより、プリント配線板１２に
印刷されたクリーム半田３８４を検査する。前記マスク
印刷機１４におけると同様に、配線板用基準マーク撮像
装置４４が移動装置３０６により水平方向に移動可能に
設けられ、スリット光源３８０および２次元撮像装置３
８２が、その移動装置３０６により、配線板用基準マー
ク撮像装置４４とともに移動可能とされている。移動装
置３０６のＸ軸スライド３００上には、回転装置たる揺
動エアシリンダ３８６が設けられている。揺動エアシリ
ンダ３８６はプリント配線板１２の表面と直角な方向で
ある垂直方向に設けられており、揺動軸３８８は図示し
ないストッパにより回転位置を規定され、垂直な自身の
軸線まわりに９０度の範囲で回転させられる。揺動軸３
８８はＸ軸スライド３００から下方へ延び出させられ、
その延出端部に保持体３９０が設けられている。保持体
３９０は、移動装置３０６により、水平面内の任意の位
置へ移動させられるとともに、揺動エアシリンダ３８６
により垂直軸線まわりに９０度の範囲で回転させられ
る。本印刷状態検査機１６においては、Ｘ軸スライド３
００には、前述のマスク用基準マーク撮像装置４６は設
けられていない。
【００５０】保持体３９０に、図１２に示すように、前
記スリット光源３８０および２次元撮像装置３８２が設
けられている。スリット光源３８０は、本実施形態で
は、半導体レーザ装置３９２と、その半導体レーザ装置
３９２から放射される光線の口径を拡大し、かつ、断面
が概して円形の平行光束に変換するビームエクスパンダ
３９４と、ビームエクスパンダ３９４により変換された
平行光束を平板状のスリット光に変換するスリット板３
９６とを含み、平板状のスリット光を放射する。スリッ
ト板３９６を交換することにより、スリット幅が異なる
種々のスリット光を放射することができる。スリット光
を放射し得る他の装置（シリンドリカルレンズ，非球面
レンズ等の１個またはそれらの組み合わせで構成したも
のはその一例である）を用いてもよい。
【００５１】２次元撮像装置３８２は、本実施形態で
は、面で像を撮像するＣＣＤカメラにより構成されてい
る。ＣＣＤカメラは、固体イメージセンサの一種である
ＣＣＤ（電荷結合素子）と結像レンズを含むレンズ系と
を備えている。
【００５２】保持体３９０は、スリット光源３８０およ
び２次元撮像装置３８２をスリット光源３８０の光軸
が、プリント配線板１２の水平な表面への垂線に対し
て、たとえば、４５度角度で傾斜し、２次元撮像装置３
８２の光軸が表面と直交する向きに、すなわち表面への
垂線に対して平行となる向きに保持するとともに、それ
らの光軸が互いに交差する相対位置に保持している。２
次元撮像装置３８２の光軸は表面に対して直角であっ
て、表面への垂線に対してなす角度は０度であり、スリ
ット光源３８０と２次元撮像装置３８２とは、それらの
光軸が表面への垂線に対して互いに異なる角度をなす状
態で保持体３９０により保持されている。
【００５３】スリット光源３８０および２次元撮像装置
３８２は、保持体３９０が移動装置３０６によって移動
させられることにより、水平面内の任意の位置へ移動さ
せられ、保持体３９０が揺動エアシリンダ３８６によっ
て垂直軸線まわりに回転させられることにより、９０度
の範囲で旋回させられる。スリット光源３８０および２
次元撮像装置３８２は共に保持体３９０に保持されてい
て、保持体３９０の移動，回転により、一体的に移動，
旋回させられるため、それらの相対位置関係はいずれの
移動位置，旋回位置においても変わらない。また、スリ
ット光源３８０および２次元撮像装置３８２は、保持体
３９０の回転により、それらの光軸を含む面であって、
プリント配線板１２の表面に直角な垂直面がＸ軸方向と
Ｙ軸方向とにそれぞれ平行となる２つの位置に選択的に
位置させられる。
【００５４】以上のように構成される印刷状態検査機１
６は、制御装置４００により制御される。制御装置４０
０は、図１０に示す制御装置１８２と同様に構成され、
図１３にブロック図で示す画像処理装置４０２を備え
る。画像処理装置４０２の構成および画像処理作業につ
いては、前記特開２００１−１１６５２８号公報に記載
されているものとほぼ同じであり、本発明と直接関係が
ないので簡単に説明する。
【００５５】画像処理装置４０２は、２次元撮像装置３
８２により撮像された画像を取り込む画像取込部４０６
を備え、主画像処理部４１０において画像処理が行なわ
れる。画像取込部４０６は、２次元撮像装置３８２から
画像データを取り込み、コンピュータ３４８の画像処理
部である主画像処理部４１０へ転送する。画像取り込み
部４０６は光切断処理部４０８を備えており、主画像処
理部４１０から供給されるスキャン回数（撮像回数）お
よびスキャンピッチ（撮像毎の移動距離）の情報と、前
記Ｙ軸サーボモータ２９２およびＸ軸サーボモータ３０
４の駆動回路３５８から供給される取込タイミングのト
リガ信号とに基づいて、２次元撮像装置３８２から画像
データを取り込み、画像取込メモリ４１４に格納する。
画像取込メモリ４１４はコンピュータ３４８のＲＡＭ３
４４の一部として構成される。
【００５６】画像取込部４０６は、この画像取込メモリ
４１４に格納された画像データのうち、スリット光によ
り照らされた部分の像が結ばれる可能性の高い領域とし
て予め定められた領域を選択的に主画像処理部４１０に
転送する。このため、全領域について処理を行う場合に
比較して数分の１程度の処理量で済み、処理に要する時
間が短縮される。
【００５７】主画像処理部４１０は、転送された画像デ
ータを画像処理メモリ４１６に格納する。画像処理メモ
リも、コンピュータ３４８のＲＡＭ３４４の一部として
構成され、２次元像データメモリ，３次元像データメモ
リおよび検査結果メモリ等を備えており、そのうちの２
次元像データメモリに格納するのである。そして主画像
処理部は、この２次元像データメモリに格納された画像
データに基づいて画像処理を行い、プリント配線板１２
の表面に塗布されたクリーム半田３８４の体積，塗布面
積，平均高さ，ブリッジの有無等の各情報を取得する。
【００５８】画像処理装置４０２には、さらに、基準マ
ークカメラ４４が接続されている。基準マークカメラ４
４は、別の画像取込部４１８を介して主画像処理部４１
０に接続されており、上記２次元撮像装置３８２とは異
なるタイミングでプリント配線板１２に設けられた基準
マークを撮像し、その画像データが主画像処理部４１０
に送られる。
【００５９】前述のように、本実施形態において、マス
ク６４に設けられた透孔６５は、マスク６４の板面に平
行な断面形状が矩形をなすので、表面に印刷されたクリ
ーム半田３８４は表面から盛り上がった凸部であって、
直方体状をなす３次元形状を有し、互いに直行する一方
の辺がＸ軸方向に平行となり、他方の辺がＹ軸方向に平
行となる。
【００６０】本実施形態においては、印刷された全部の
クリーム半田３８４について検査が行なわれる。これら
クリーム半田３８４にスリット光源３８０によりスリッ
ト光が照射され、２次元撮像装置３８２によって撮像さ
れる。撮像時には、保持体３９０が移動装置３０６によ
って移動させられることにより、スリット光源３８０お
よび２次元撮像装置３８２は一定の相対位置関係を保っ
た状態で、撮像対象物である印刷されたクリーム半田３
８４に対して、予め定められた移動経路に沿って移動さ
せられる。本実施形態において移動経路は、プリント配
線板１２の表面に平行であって、直方体状のクリーム半
田３８４の長手方向に平行な直線状の経路に設定されて
いる。
【００６１】上記のようにスリット光源３８０および２
次元撮像装置３８２がクリーム半田３８４に対して移動
させられるとき、移動を停止することなく、２次元撮像
装置３８２が、クリーム半田３８４のスリット光により
照らされた部分を撮像する。撮像は一定時間間隔で複数
回行なわれ、複数の２次元像が得られる。撮像により、
２次元撮像装置３８２の撮像面には、プリント配線板１
２の表面およびクリーム半田３８４のスリット光が照射
された部分の各像が形成される。このようにして取得さ
れたクリーム半田の印刷結果に関連する情報と前述の装
置情報とが後述する監視装置２８に伝達され、蓄積され
るとともに、それらを解析することによりマスク印刷機
１４の現況が推定される。
【００６２】次に、前記第一電子回路部品装着機１８に
ついて説明する。本電子回路部品装着装置は、主に小型
の電子回路部品を装着し、本出願人による特願２００１
−１７２９１５号に記載されているものとほぼ同様に構
成されるので、簡単に説明する。
【００６３】図１４において、符号４５０は電子回路部
品装着システムの一種である第一電子回路部品装着機１
８のベースである。ベース４５０上には、部品供給装置
４５４，部品装着装置４５６，および基板保持装置たる
プリント配線板保持装置４５８が設けられ、第一電子回
路部品装着機１８を構成している。
【００６４】部品供給装置４５４は、少なくとも１台、
本実施形態においては二台の部品供給テーブル４６０，
４６２を含んでいる。これら部品供給テーブル４６０，
４６２はそれぞれ、フィーダ支持台４６４とフィーダ支
持台４６４上に搭載された複数のフィーダ４６６とを有
する。フィーダ４６６は詳細な図示は省略するが、本実
施形態では電子回路部品の一種である電子回路部品４６
８（図１８参照）を部品保持テープに保持させてテープ
化電子回路部品とした状態で供給するものとされてい
る。
【００６５】電子回路部品４６８は、部品保持テープに
形成された多数の部品収容凹部にそれぞれ１個ずつ収容
され、各部品収容凹部の開口が部品保持テープに貼り付
けられたカバーテープにより覆われている。テープ化電
子回路部品は、テープ送り装置（図示省略）により送ら
れ、電子回路部品４６８が順次、部品供給部に送られ
る。複数のフィーダ４６６は、その部品供給部が、一線
上、例えば水平な一直線上に並ぶ状態でフィーダ支持台
４６４上に着脱可能に取り付けられている。
【００６６】第一電子回路部品装着機１８全体について
後述するようにＸＹ座標面が設定され、このＸＹ座標面
上において部品供給テーブル，プリント配線板保持装置
４５８等、各種移動部材の移動データ等が設定される。
上記複数のフィーダ４６６の各部品供給部は、このＸＹ
座標面のＸ軸方向（図１４においては左右方向）に平行
に並べられている。
【００６７】部品供給テーブル４６０，４６２の各フィ
ーダ支持台４６４にはそれぞれ、ナット４６９が固定さ
れており、送りねじたるボールねじ４７０がそれぞれ、
支持テーブル駆動用モータ４７２によって回転させられ
ることにより、部品供給テーブル４６０，４６２はそれ
ぞれガイドレール４７４を含む案内装置により案内され
てＸ軸方向に移動させられ、複数のフィーダ４６６の各
部品供給部が部品供給位置に選択的に位置決めされる。
これらボールねじ４７０および支持テーブル駆動用モー
タ４７２等が部品供給テーブル移動装置４７６を構成し
ている。２台の部品供給テーブル４６０，４６２はそれ
ぞれ、専用の部品供給テーブル移動装置４７６によって
独立して移動させられる。なお、ガイドレール４７４は
２つの部品供給テーブル４６０，４６２に共用である。
２つの部品供給テーブル４６０，４６２による電子回路
部品４６８の供給は、例えば、特公平８−２１７９１号
公報に記載されているように既に知られているので、説
明を省略する。なお、図１４においては、一方の部品供
給テーブル４６０については、ナット４６９が図示され
てフィーダ４６６の図示が省略され、他方の部品供給テ
ーブル４６２についてはフィーダ４６６が図示されてナ
ット４６９の図示が省略されている。
【００６８】プリント配線板保持装置４５８は、回路基
板の一種であるプリント配線板１２を水平に保持し、基
板保持装置移動装置たるＸＹテーブル４８４により、前
記ＸＹ座標面上の任意の位置へ移動させられる。ＸＹテ
ーブル４８４は、Ｘ軸スライド駆動用モータ４８８およ
び送りねじとしてのボールねじ４９０により、ガイドレ
ール４９２を含む案内装置により案内されてＸ軸方向に
移動させられるＸ軸スライド４９４と、そのＸ軸スライ
ド４９４上においてＹ軸スライド駆動用モータ４９６お
よび送りねじとしてのボールねじ４９８によりガイドレ
ール５００を含む案内装置により案内されてＹ軸方向に
移動させられるＹ軸スライド５０２とを備えている。
【００６９】プリント配線板保持装置４５８は、Ｙ軸ス
ライド５０２上に設けられ、プリント配線板１２を下方
から水平な姿勢で支持している。プリント配線板１２の
表面ないし上面には、電子回路部品４６８が装着される
複数の被装着位置ないし被装着面が予め設定されてお
り、プリント配線板保持装置４５８の移動により、被装
着位置が順次、後述する部品装着装置４５６の装着位置
に対応する位置に位置決めされる。
【００７０】プリント配線板１２の表面には、複数、本
実施形態においては２個の基準マーク５０８が設けられ
ている。プリント配線板保持装置４５８により保持され
たプリント配線板１２の基準マーク５０８は、撮像装置
たる基準マークカメラ５１０により撮像される。基準マ
ークカメラ５１０は、部品装着装置４５６の後述するフ
レーム５２０に設けられた保持部材（図示省略）により
保持されており、静止して下向きに設けられ、基準マー
ク５０８を上方から撮像する。
【００７１】基準マークカメラ５１０は固体イメージセ
ンサの一種であるＣＣＤ（電荷結合素子）と結像レンズ
を含むレンズ系とを備えるとともに、被写体の２次元像
を一挙に取得する撮像装置の一種である面撮像装置とさ
れている。ＣＣＤは、位置平面上に多数の微小な受光素
子が配列されたものであり、各受光素子の受光状態に応
じた電気信号を発生させる。多数の受光素子により撮像
領域ないし撮像面が形成されている。なお、基準マーク
カメラ５１０に対応して図示を省略する照明装置が設け
られ、撮像時に被写体およびその周辺を照明する。
【００７２】部品装着装置４５６を図１５に基づいて説
明する。本実施形態の部品装着装置４５６は、特開平６
−３４２９９８号公報に記載の電子回路部品装着装置お
よびまだ未公開であるが、本出願人による特願２０００
−１６４９５８号の出願に記載の電子回路部品装着装置
と同様に構成されているので、簡単に説明する。
【００７３】図１５において、５２０はフレームであ
り、前記ベース４５０に設けられている。フレーム５２
０には回転軸５２２が一軸線、本実施形態では垂直軸線
まわりに回転可能に支持されている。回転軸５２２は、
回転軸駆動装置５２４により回転させられる。回転軸駆
動装置５２４は、図示しないローラギヤおよびローラギ
ヤカムを含んで構成され、ローラギヤカムが間欠回転用
モータ（図２０参照）５２６によって一方向に定速で回
転させられるとき、ローラギヤの複数のローラがローラ
ギヤカムのカムリブに順次係合し、回転軸が垂直軸線ま
わりに一定角度ずつ間欠回転させられる。
【００７４】上記回転軸５２２のフレーム５２０から下
方に延び出させられた下端部には、移動部材の一種であ
る回転体としての間欠回転体たる間欠回転盤５３０が固
定されている。間欠回転盤５３０には、回転軸５２２の
回転軸線を中心とする一円周上に複数組、本実施形態で
は１６組の保持ヘッド５３２が等角度間隔に、かつ間欠
回転盤５３０の回転軸線に平行な方向に移動可能、すな
わち昇降可能であって、ヘッド回転軸線まわりに回転可
能に保持されている。保持ヘッド５３２は、部品供給装
置４５４から電子回路部品４６８を受け取ってプリント
配線板１２に装着する装着ヘッドである。
【００７５】回転軸５２２が回転させられることによ
り、間欠回転盤５３０は、１６組の保持ヘッド５３２が
取りつけ角度に等しい角度ずつ、間欠回転させられる。
それにより１６組の保持ヘッド５３２は、共通の回転軸
線、すなわち間欠回転盤５３０の回転軸線であって、垂
直な軸線まわりに回転させられ、図１６に概略的に示す
ように、その旋回軌跡上に設定された部品受取位置（あ
るいは部品保持位置，部品吸着位置とも表現できる），
部品姿勢変更位置，部品保持姿勢検出位置，部品姿勢修
正位置，部品装着位置，保持ヘッド姿勢復帰位置，保持
部検出位置，保持部選択位置等、１６個の停止位置に順
次停止させられる。本実施形態においては、回転軸５２
２および回転軸駆動装置５２４等が間欠回転装置５３４
を構成し、間欠回転盤５３０とともにヘッド移動装置た
るヘッド旋回装置を構成している。ヘッド旋回装置は、
ヘッド間欠旋回装置である。Ｘ軸方向は、部品受取位置
において、保持ヘッド５３２の旋回軌跡に対する接線方
向である。
【００７６】保持ヘッド５３２を支持し、間欠回転盤５
３０に昇降可能に保持された支持部材５３６は、カムフ
ォロワたるローラ５３８において、フレーム５２０に固
定の円筒カム５３９のカム溝に係合させられている。こ
のカム溝は高さが周方向において漸変させられたもので
あり、間欠回転盤５３０が回転させられ、保持ヘッド５
３２が旋回させられるとき、ローラ５３８がカム溝内を
溝側面に接触しつつ移動することにより、保持ヘッド５
３２が昇降させられる。本実施形態においてカム溝は、
保持ヘッド５３２が部品受取位置において上昇端に位置
し、部品装着位置において下降端位置に位置するととも
に、それら部品受取位置および部品装着位置の前後では
水平に移動するように形成されている。
【００７７】支持部材５３６の外面には、支持部材たる
筒状のスリーブ５４０が固定されるとともに、横断面形
状が円形の軸部材５４２が垂直、すなわちノズル旋回軸
線と平行な姿勢で、自身の軸線まわりに回転可能かつ軸
方向に相対移動不能に嵌合されている。軸部材５４２に
は、回転伝達軸５４４を介して被係合部材５４６が相対
回転不能かつ軸方向に相対移動可能に取りつけられてい
る。間欠回転盤５３０が回転させられ、保持ヘッド５３
２が円筒カム５３９によって昇降させられつつ旋回させ
られるとき、被係合部材５４６は昇降せず、その保持ヘ
ッド５３２の旋回軸線に平行な方向の位置は常に一定に
保たれる。
【００７８】なお、被係合部材５４６は、外歯リングギ
ヤ５４８を含む被係合部材旋回装置により、間欠回転盤
５３０の回転軸線のまわりに間欠回転盤５３０とは異な
る回転角速度で旋回させられ、保持ヘッド５３２より先
に停止位置に到達させられる。被係合部材５４６と保持
ヘッド５３２との相対移動に基づく作動は、前記特開平
６−３４２９９８号公報に記載されており、本発明とは
直接関係がないため、説明を省略する。
【００７９】前記軸部材５４２の下端部は、図１５に示
すように、スリーブ５４０から下方へ突出させられると
ともに、取付部材５５０が固定されており、取付部材５
５０には回転保持体５５２が支持軸により、軸部材５４
２の軸線と直行し、水平な軸線まわりに回転可能に支持
されている。
【００８０】回転保持体５５２には、複数、図示の例で
は６つのノズル保持部が回転保持体５５２の回転軸線ま
わりに等角度間隔に設けられ、それぞれ吸着ノズル５６
０を保持している。回転保持体５５２により６個の吸着
ノズル５６０が等角度間隔で放射状に保持されているの
であり、前記保持部選択位置に設けられた保持部選択装
置（図示省略）によって、回転保持体５５２が支持軸の
回りに回転させられることにより、複数のノズル保持部
の１つが選択的に作用位置ないし使用位置へ移動させら
れるとともに、位置決めされる。作用位置ないし使用位
置は、ノズル保持部が保持する吸着ノズル５６０が下向
きとなり、かつ、軸線が軸部材５４２の軸線と一致する
ことが予定された位置である。ノズル保持部が作用位置
に位置決めされれば、吸着ノズル５６０も作用位置に位
置決めされて電子回路部品４６８を保持，解放する。
【００８１】本実施形態においては、軸部材５４２，取
付部材５５０および回転保持体５５２が保持ヘッド５３
２を構成し、６個の吸着ノズル５６０を保持している。
保持ヘッド５３２は、軸部材５４２の軸線であって、間
欠回転盤５３０の回転軸線に平行な軸線である垂直軸線
まわりに回転可能であり、作用位置に位置決めされた吸
着ノズル５６０をほぼその回転軸線に沿って延びる姿勢
で保持する。作用位置に位置決めされた吸着ノズル５６
０を保持するノズル保持部，取付部材５５０および軸部
材５４２が保持ヘッド５３２を構成していると考えても
よい。
【００８２】１６個の保持ヘッド５３２にはそれぞれ、
保持ヘッド５３２を特定する名称の一種であるコードが
付され、６つのノズル保持部の各々にも、各ノズル保持
部を特定するコードが付されている。また、ノズル保持
部と、ノズル保持部に保持される吸着ノズル５６０の種
類とは対応付けて記憶されており、上記２種類のコード
データおよび吸着ノズルデータに基づいて、保持ヘッド
５３２に保持されて作用位置に位置決めされている吸着
ノズル５６０の種類が特定される。
【００８３】また、保持ヘッド５３２および保持ヘッド
５３２により保持された吸着ノズル５６０が部品装着ユ
ニット５６２を構成している。部品装着装置４５６に
は、複数組、図示の例では１６組の部品装着ユニット５
６２が等角度間隔に設けられているのである。なお、図
１５においては、図示を容易にするために、１つの保持
ヘッド５３２について吸着ノズル５６０が２個のみ図示
されている。前記部品供給装置４５４のフィーダ４６６
の前記開口は、部品受取位置に位置決めされた保持ヘッ
ド５３２の作用位置に位置決めされた吸着ノズル５６０
の真下に位置する状態となる位置に設けられており、部
品供給部が、部品受取位置に位置決めされた吸着ノズル
５６０の真下に位置する位置がフィーダ４６６の部品供
給位置である。
【００８４】複数の吸着ノズル５６０はそれぞれ、電子
回路部品４６８を負圧により吸着して保持するものであ
り、図１８に１つを代表的に示すように、ノズル本体５
６８と吸着管５７０とを有し、吸着管の先端面である下
端面が吸着面５７２を構成し、電子回路部品４６８を吸
着する。吸着ノズル５６０のノズル本体５６８におい
て、ノズル保持部に相対回転不能かつ軸方向に相対移動
可能であって、着脱可能に保持されており、電子回路部
品４６８の吸着および装着時には、回転保持体５５２と
の間に配設された付勢装置たるスプリング５７４の圧縮
により、回転保持体５５２に対する移動が許容され、吸
着ノズル５６０の電子回路部品４６８への当接時あるい
は電子回路部品４６８のプリント配線板１２への当接時
の衝撃の緩和等が為される。なお、図示の例では、複数
の吸着ノズル５６０は種類は異なるが、吸着管５７０の
長さはいずれも同じにされており、各吸着面５７２は回
転保持体５５２の回転軸線を中心とする一円周上に位置
する。
【００８５】作用位置に位置決めされた吸着ノズル５６
０には、負圧源の一種であるバキュームポンプ（図示省
略）により負圧が供給され、電子回路部品４６８を吸着
する。吸着ノズル５６０にはまた、正圧源の一種である
エアポンプ（図示省略）により正圧が供給されて電子回
路部品４６８を解放するとともに、大気に連通させられ
る。これらの切換えは、スリーブ５４０に固定の制御弁
たる方向切換弁５７６により機械的に行なわれる。
【００８６】フレーム５２０およびフレーム５２０に固
定された前記円筒カム５３９の部品受取位置と部品装着
位置とを含む部分に対応する部分にはそれぞれ、図１５
に示すように、保持ヘッド５３２を昇降させ、吸着ノズ
ル５６０を軸方向に移動させて昇降させるノズル移動装
置たるノズル軸方向移動装置であって、保持ヘッド移動
装置たるヘッド昇降装置５８０，５８２が設けられてい
る。ヘッド昇降装置５８０は、部品供給装置４５４と保
持ヘッド５３２とを、保持ヘッド５３２の回転軸線に平
行な方向に互いに接近させ、離間させる接近・離間装置
を構成している。
【００８７】部品受取位置に設けられたヘッド昇降装置
５８０を図１５に基づいて簡単に説明する。ヘッド昇降
装置５８０は、移動部材たる昇降部材５８４と移動部材
移動装置たる昇降部材移動装置５８６とを有する。昇降
部材５８４は、前記円筒カム５３９に、間欠回転盤５３
０の回転軸線に平行に設けられた案内溝５８８内に、間
欠回転盤５３０の回転軸線に平行な方向に移動可能に嵌
合されるとともに、その下端部に、円筒カム５３９に設
けられたカム溝に続く状態となる係合溝５９０が形成さ
れている。係合溝５９０は、昇降部材５８４が上昇端位
置に位置する状態において上記カム溝と連続する状態と
なり、前記ローラ５３８が乗り移り、保持ヘッド５３２
が昇降部材５８４に支持された状態となる。
【００８８】昇降部材移動装置５８６は、前記間欠回転
用モータ５２６を駆動源とし、その回転が、カムの一種
である回転カム５９２，カムフォロワたるローラ５９４
およびレバー５９６，５９８を含む運動変換装置により
昇降運動に変換され、連結ロッド６００，球面ジョイン
ト６０２等を含む運動伝達装置により昇降部材５８４に
伝達される。それにより昇降部材５８４が昇降させら
れ、保持ヘッド５３２が昇降させられて吸着ノズル５６
０が昇降させられる。吸着ノズル５６０の昇降と旋回と
は、前記回転軸駆動装置５２４のカムおよび回転カム５
９２の形状により、所定のタイミングで行なわれる。な
お、昇降部材５８４の昇降ストロークが調節され、保持
ヘッド５３２の下降端位置が調節されるようにされてい
るが、本発明とは直接関係がないため、説明を省略す
る。
【００８９】ヘッド昇降装置５８２は、昇降部材５８４
の昇降ストロークが調節されず一定である。部品装着位
置においては、保持ヘッド５３２の加工端位置および上
昇端位置は一定であるのである。その他の構成は、ヘッ
ド昇降装置５８０と同じであり、同じ作用を為す部分に
は同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略す
る。
【００９０】部品姿勢変更位置，部品姿勢修正位置およ
び保持ヘッド姿勢復帰位置にはそれぞれ、部品姿勢変更
装置，部品姿勢修正装置および保持ヘッド姿勢復帰装置
６１０（図１７参照）が設けられている。部品姿勢変更
装置は、電子回路部品４６８の回転位置（姿勢ないし方
位）が受取り時と装着時とで異なる場合に、電子回路部
品４６８を保持した保持ヘッド５３２を回転軸線まわり
に回転させ、電子回路部品４６８の回転位置を装着時の
回転位置に変更する。部品姿勢修正装置は、保持ヘッド
５３２を回転軸線まわりに回転させ、作用位置に位置決
めされた吸着ノズル５６０を回転させて、吸着ノズル５
６０による電子回路部品４６８の保持位置誤差であっ
て、電子回路部品４６８の吸着ノズル５６０に吸着され
る被吸着面に直角な軸線まわりの位置である回転位置の
誤差を修正する。保持ヘッド姿勢復帰装置６１０は、保
持ヘッド５３２を回転させ、上記のように姿勢変更およ
び姿勢修正のために回転させられた保持ヘッド５３２の
回転位置を部品受取り時の回転位置に戻す。
【００９１】部品姿勢変更装置，部品姿勢修正装置およ
び保持ヘッド姿勢復帰装置６１０はいずれもヘッド回転
装置であって、本実施形態では同様に構成されており、
保持ヘッド姿勢復帰装置６１０を図１７に基づいて代表
的に説明する。保持ヘッド姿勢復帰装置６１０は、前記
フレーム５２０に軸方向に相対移動可能かつ相対回転可
能に支持された係合部材６１２，係合部材６１２をそれ
の軸線方向であって、間欠回転盤５３０の回転軸線に平
行な方向である上下方向に移動させ、前記被係合部材５
４６に係合，離脱させる係脱装置６１４，係合部材６１
２を回転させる回転装置６１６とを含む。
【００９２】係脱装置６１４は、前記間欠回転用モータ
５２６を駆動源とし、カム，カムフォロワおよび運動伝
達機構による間欠回転用モータ５２６の回転の昇降運動
への変換，伝達により、係合部材６１２を昇降させ、被
係合部材５４６に係合させ、離脱させる。回転装置６１
６は、保持ヘッド姿勢復帰用モータ６２０（図２０参
照）を駆動源とする。このモータ６２０の回転は、タイ
ミングプーリ６２２等を含む回転伝達装置によって係合
部材６１２に伝達され、係合部材６１２がその軸線まわ
りであって、垂直軸線まわりに回転させられる。係合部
材６１２は、保持ヘッド５３２について設けられた被係
合部材５４６に係合した状態で回転させられ、係合部材
６１２の回転が被係合部材５４６，回転伝達軸５４４に
よって保持ヘッド５３２に伝達され、保持ヘッド５３２
がその回転軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転さ
せられる。
【００９３】保持ヘッド姿勢復帰装置６１０には、図１
７に示すように、係合部材６１２の回転原位置を検出す
る係合部材回転原位置検出装置６３０が設けられてい
る。この検出装置６３０は、フレーム５２０に取り付け
られている。係合部材回転原位置検出装置６３０は、本
実施形態では、光ファイバ式のセンサにより構成されて
おり、前記タイミングプーリ６２２に設けられた反射部
材６３２に光を照射し、反射の有無によって保持ヘッド
５３２の回転原位置を検出するようにされている。係合
部材回転原位置検出装置６３０は、部品姿勢変更装置お
よび部品姿勢修正装置にも設けられている。
【００９４】保持ヘッド姿勢復帰装置６１０にはまた、
保持ヘッド５３２の回転原位置を検出する保持ヘッド回
転原位置検出装置６４０が設けられている。この検出装
置６４０は、本実施形態においては、光ファイバ式のセ
ンサにより構成されており、保持ヘッド５３２に相対回
転不能に連結された前記回転伝達軸５４４の被係合部材
５４６には、外周面に反射面６４２が設けられ、照射し
た光の反射の有無によって保持ヘッド５３２の回転原位
置を検出するようにされている。保持ヘッド回転原位置
検出装置６４０は、保持ヘッド姿勢復帰装置６１０につ
いてのみ設けられている。保持ヘッド５３２は、回転原
位置に位置する状態で部品受取位置へ移動し、電子回路
部品４６８を部品供給装置４５４から受け取る。保持ヘ
ッド５３２の回転原位置が部品受取回転位置であり、保
持ヘッド５３２は保持ヘッド姿勢復帰位置において回転
原位置に復帰させられ、部品受取時回転位置に復帰させ
られる。保持ヘッド回転原位置検出装置６４０による回
転原位置の検出により、保持ヘッド５３２は、部品受取
り時には常に回転原位置であって、部品受取時回転位置
に位置することが保証される。保持ヘッド５３２が回転
原位置にない場合には、アラームが発せられるなど、適
宜の処理が行なわれる。
【００９５】本実施形態において、上記係合部材６１２
と被係合部材５４６とは、１８０度隔たった２つの回転
位置において係合可能に構成されており、係合部材回転
原位置検出装置６３０は、係合部材６１２が回転原位置
に位置する保持ヘッド５３２の被係合部材５４６に係合
可能な２つの回転位置の一方に位置する状態において反
射部材６３２を検出するように構成されており、この位
置を係合部材６１２の回転原位置とする。部品姿勢変更
装置および部品姿勢修正装置にそれぞれ設けられた部品
姿勢変更位置および部品姿勢修正位置に到達した状態に
おいて、その保持ヘッド５３２について設けられた被係
合部材５４６に係合可能な回転位置に位置する係合部材
６１２の反射部材を検出するように設けられている。
【００９６】前記部品保持姿勢検出位置には、複数組、
本実施形態では２組の部品カメラ６５０，６５２，導光
装置６５４および照明装置６５６が設けられ、部品カメ
ラ６５０，６５２および導光装置６５４が撮像装置６５
８を構成している。これら部品カメラ６５０，６５２等
は、本実施形態においては、特開平５−１９６４４１号
公報に記載の部品カメラと同様に構成されており、簡単
に説明する。
【００９７】部品カメラ６５０，６５２は、前記基準マ
ークカメラ５１０と同様にＣＣＤとレンズ系とを備えた
ＣＣＤカメラにより構成されるとともに、撮像装置の一
種である面撮像装置とされている。部品カメラ６５０，
６５２の各撮像画面はそれぞれ、部品カメラ６５０，６
５２の中心軸線を中心とし、中心軸線に直角に設けられ
ている。部品カメラ６５０，６５２は、それぞれ倍率が
異なり、一方の部品カメラ６５０は倍率が小さいが視野
が広いものとされ、他方の部品カメラ６５２は倍率は大
きいが視野が狭いものとされ、電子回路部品４６８の大
きさに応じて使い分けられる。
【００９８】部品カメラ６５０，６５２はそれぞれ、間
欠回転盤５３０の外側に設けられている。部品カメラ６
５０，６５２は、フレーム５２０の間欠回転盤５３０の
半径方向の延長線上であって、間欠回転盤５３０の回転
軸線と、部品保持姿勢検出位置に停止させられた保持ヘ
ッド５３２の回転軸線とを通る直線状の位置に各中心軸
線が互いに平行であって、間欠回転盤５３０の回転軸
線、すなわち垂直軸線に平行に並ぶ状態で下向きに設け
られており、各撮像画面は水平とされている。
【００９９】部品保持姿勢検出位置にはまた、部品保持
姿勢検出位置に停止させられた保持ヘッド５３２の下方
から部品カメラ６５０，６５２の下方に至る状態で前記
導光装置６５４が設けられている。導光装置６５４は、
吸着ノズル５６０に保持された電子回路部品４６８等の
像を形成する像形成光が、反射鏡により反射されて部品
カメラ６５０，６５２に入光させられるように構成され
ている。したがって、部品カメラ６５０，６５２は、電
子回路部品４６８等を下方から撮像することとなる。
【０１００】前記照明装置６５６は、本実施形態では、
吸着ノズル５６０に可視光線と紫外線とを選択的に照射
し、被写体の投影像あるいは正面像が撮像されるように
されている。吸着ノズル５６０に向かって可視光線が照
射される場合には、吸着ノズル５６０に保持された電子
回路部品４６８により反射されて、電子回路部品４６８
の正面像が形成され、紫外線が照射される場合には、吸
着ノズル５６０に設けられ、蛍光塗料が塗布された発光
面を有する発光体により紫外線が吸収され、可視光線に
変えられて電子回路部品４６８に照射され、その投影像
が形成されるのである。これら部品カメラ６５０，６５
２および導光装置６５４が照明装置６５６とともに部品
撮像システムを構成している。
【０１０１】本第一電子回路部品装着機１８は、図２０
に示す制御装置６６０によって制御される。制御装置６
６０は、図１０に示す制御装置１８２と同様に構成され
る。制御装置６６０は、ＰＵ３４０，ＲＯＭ３４２，Ｒ
ＡＭ３４４およびそれらを接続するバス３４６を有する
コンピュータ３４８を主体とするものである。バス３４
６には、入出力インタフェース３５０が接続され、係合
部材回転原位置検出装置６３０，保持ヘッド回転原位置
検出装置６４０，エンコーダ６７０等、各種センサが接
続されている。
【０１０２】入出力インタフェース３５０にはまた、駆
動回路３５８を介して支持台駆動用モータ４７２等の各
種アクチュエータが接続されている。これらモータ等は
それぞれ駆動源を構成し、電動モータの一種である電動
回転モータであって、回転角度の精度よい制御が可能な
サーボモータにより構成されている。サーボモータに代
えてステップモータを用いてもよい。また、支持台駆動
用モータ４７２等、各モータの回転角度はそれぞれ、回
転角度検出装置としてのエンコーダ６７０により検出さ
れ、その検出結果に基づいてモータ等が制御される。図
２０においては、支持台駆動用モータ４７２について設
けられたエンコーダ６７０を代表的に示す。
【０１０３】入出力インタフェース３５０にはさらに、
制御回路６７２を介して前記基準マークカメラ５１０，
部品カメラ６５０，６５２が接続されている。これら駆
動回路３５８，制御回路６７２およびコンピュータ３４
８が制御装置６６０を構成している。さらに、ＲＡＭ３
４４には、電子回路部品４６８をプリント配線板１２に
装着するためのプログラム等、種々のプログラムおよび
データ等が記憶されている。
【０１０４】入出力インタフェース３５０にはさらに、
監視装置２８が接続されており、各種センサにより取得
されたデータや、駆動装置の制御データ等、第一電子回
路部品装着機１８の装置状態に関連する情報が出力され
るとともに、監視装置２８により推定された装置状態に
基づいて制御データを補正する補正信号が入力されるよ
うにされている。
【０１０５】以上のように構成された第一電子回路部品
装着機１８における電子回路部品４６８のプリント配線
板１２への装着の基本的な動作は、例えば、特公平８−
２１７９１号公報に記載されているようによく知られて
おり、簡単に説明する。
【０１０６】電子回路部品４６８のプリント配線板１２
への装着時には、部品受取位置に移動させられた保持ヘ
ッド５３２の使用位置に位置決めされた吸着ノズル５６
０がヘッド昇降装置５８０により昇降させられ、電子回
路部品４６８を吸着する。部品供給装置４５４から電子
回路部品４６８を受け取るのであり、受取り後、必要で
あれば、部品姿勢変更位置において部品姿勢変更装置に
より保持ヘッド５３２が回転させられ、部品姿勢が変更
される。部品姿勢変更装置においては、係合部材６１２
が係脱装置６１４により下降させられて被係合部材５４
６に係合させられるとともに、回転装置６１６により回
転させられる。それにより保持ヘッド５３２が回転させ
られ、使用位置に位置する吸着ノズル５６０が回転させ
られて電子回路部品４６８が回転させられる。変更後、
部品保持姿勢検出位置において部品カメラ３５０，３５
２により電子回路部品４６８が撮像される。
【０１０７】そして、取得された電子回路部品４６８の
像と基準となる像とが比較されて保持位置誤差である水
平方向保持位置ずれΔＸEn ，ΔＹEn（電子回路部品４
６８のヘッド回転軸線に対する水平面内における位置誤
差）および回転方向保持位置ずれΔθEnが算出される。
算出後、部品姿勢修正位置において保持ヘッド５３２が
部品姿勢修正装置によって回転させられ、電子回路部品
４６８が回転させられて回転方向保持位置ずれΔθEnが
修正される。部品姿勢修正装置の係合部材６１２が、保
持ヘッド５３２について設けられた被係合部材５４６に
係合させられ、保持ヘッド５３２を回転させるのであ
る。
【０１０８】プリント配線板１２は、ＸＹテーブル４８
４により移動させられて被装着位置が、部品装着装置４
５６の部品装着位置に対応する位置へ移動させられる
が、プリント配線板保持装置４５８のＸ軸方向およびＹ
軸方向の各移動距離の修正により水平方向保持位置ずれ
ΔＸEn ，ΔＹEn が修正され、電子回路部品４６８はプ
リント配線板１２の適正な被装着位置に適正な姿勢で装
着される。この際、プリント配線板１２の被装着位置の
水平方向位置ずれΔＸP ，ΔＹP および回転方向位置ず
れΔθP の修正により生じる電子回路部品４６８の中心
位置のずれも併せて修正される。プリント配線板１２が
プリント配線板保持装置４５８によって保持される毎
に、そのプリント配線板１２への電子回路部品４６８の
装着作業開始に先立って、プリント配線板１２に設けら
れた基準マーク５０８が基準マークカメラ５１０によっ
て撮像される。そして、撮像データに基づいてプリント
配線板１２の保持位置誤差が検出されるとともに、その
保持位置誤差に基づいて複数の被装着位置の各々につい
て水平方向位置ずれΔＸP ，ΔＹP が演算される。
【０１０９】吸着ノズル５６０は部品装着位置において
ヘッド昇降装置５８２により昇降させられ、電子回路部
品４６８をプリント配線板１２に装着する。装着後、保
持ヘッド姿勢復帰位置において保持ヘッド５３２の回転
位置（回転軸線まわりの位置）が電子回路部品４６８の
回転方向位置ずれΔθP の修正前および姿勢変更前の位
置に戻される。保持ヘッド５３２は、部品受取時の回転
位置に戻されるのである。以上で、１回の電子回路部品
装着作業が終了する。
【０１１０】本電子回路部品装着機１８においては、前
述のように１６組の保持ヘッド５３２にそれぞれ、保持
ヘッド５３２を特定するコードが付されるとともに、６
つのノズル保持部の各々にも、各ノズル保持部を特定す
るコードが付されている。さらに、複数のフィーダ４６
６の各々にも各フィーダ４６６を特定するコードが付さ
れるとともに、それらフィーダ４６６に保持されている
電子回路部品４６８の種類が対応付けて記憶されてい
る。したがって、第一電子回路部品装着機１８において
は、プリント配線板１２上に装着された電子回路部品４
６８それぞれについて、いずれのフィーダ４６６から供
給され、供給位置において、いずれの保持ヘッド５３２
に保持された吸着ノズル５６０により受取，装着が行な
われたかが互いに関連付けられ、制御装置６６０により
取得された電子回路部品４６８の水平方向保持位置ずれ
ΔＸEn，ΔＹEn および回転方向保持位置ずれΔθEnと
ともに記憶されている。これら情報は、順次、監視装置
２８に伝達され、蓄積されて第一電子回路部品装着機１
８の装置状態を推定する際に用いられる。
【０１１１】次に第一装着検査機２０について説明す
る。第一装着検査機２０は、第一電子回路部品装着機１
８の下流側に設けられ、第一電子回路部品装着機１８に
より電子回路部品４６８が装着されたプリント配線板１
２が搬入されれば、それの電子回路部品装着結果を検査
する。第一装着検査機２０は、プリント配線板１２を検
査位置において固定的に保持するストッパ部材（図示省
略）を有し、プリント配線板１２の表面に装着された電
子回路部品４６８を撮像する２次元撮像装置と、その２
次元撮像装置を水平方向に移動可能に保持する移動装置
とが設けられている。
【０１１２】ここで、第一および第二装着検査機２０，
２４は、互いに共通の構成であり、しかも構成の大部分
について、以下に説明する第二電子回路部品装着機２２
と共通しており、作動も共通する部分が多いので、先に
第二電子回路部品装着機２２について図面に基づいて説
明し、共通の符号を用いることにより２つの装着検査機
２０，２４の説明を簡略して行う。
【０１１３】第二電子回路部品装着機２２について説明
する。上記第一電子回路部品装着機１８において保持ヘ
ッド５３２は、間欠回転盤５３０によって垂直軸線まわ
りに旋回可能に保持されていたが、第二電子回路部品装
着機２２においては、電子回路部品４６８を吸着・保持
する保持ヘッドは、ＸＹ移動装置により、プリント配線
板１２の表面に平行な平面内において互いに直交するＸ
軸とＹ軸とに平行なＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ
られる。本電子回路部品装着機２２を図２３ないし図２
７に基づいて説明する。第二電子回路部品装着機２２は
主に、大型・異形の電子回路部品４６８をプリント配線
板１２に装着する。この種の電子回路部品装着装置は、
例えば、特許第２８２４３７８号公報等において既に知
られており、簡単に説明する。
【０１１４】図２３において７００は電子回路部品装着
機２２のシステム本体としてのベースである。ベース７
００上には、回路基板の一種であるプリント配線板１２
をＸ軸方向（図２３においては左右方向）に搬送する配
線板コンベヤ７０４，プリント配線板１２を保持する基
板保持装置たるプリント配線板保持装置７０６，プリン
ト配線板１２に電子回路部品４６８（図２６参照）を装
着する部品装着装置７０８および部品装着装置７０８に
電子回路部品４６８を供給する部品供給装置７１０，７
１２等が設けられている。
【０１１５】本実施形態においてプリント配線板１２
は、配線板コンベヤ７０４により水平な姿勢で搬送さ
れ、図示を省略する停止装置によって予め定められた作
業位置において停止させられるとともに、ベース７００
の作業位置に対応する部分に設けられたプリント配線板
保持装置７０６により保持される。本実施形態において
プリント配線板１２は、その電子回路部品４６８が装着
される被装着面が水平な姿勢で支持される。
【０１１６】部品供給装置７１０，７１２は、図２３お
よび図２４に示すように、ＸＹ座標面内においてＸ軸方
向と直交するＹ軸方向に互いに隔たって、配線板コンベ
ヤ７０４の両側に位置を固定して静止して設けられてい
る。図示の例においては、部品供給装置７１０がフィー
ダ型部品供給装置とされ、部品供給装置７１２がトレイ
型部品供給装置とされている。
【０１１７】フィーダ型部品供給装置７１０は、多数の
フィーダ７１４がフィーダ支持台７１６上に、各部品供
給部が一線上、例えばＸ軸方向に平行な方向に並べて配
列された部品供給テーブル７１８を有する。各フィーダ
７１４は、前記フィーダ４６６と同様に、電子回路部品
４６８を部品保持テープに保持させ、テープ化電子回路
部品とした状態で供給する。
【０１１８】トレイ型部品供給装置７１２は、電子回路
部品４６８を部品トレイ７２０（図２６参照）に収容し
て供給する。部品トレイ７２０は、上下方向に配設され
た多数の部品トレイ収容箱７２２内にそれぞれ１枚ずつ
支持されている。これら部品トレイ収容箱７２２はそれ
ぞれ図示しない支持部材により支持され、コラム７２４
内に設けられた昇降装置により順次部品供給位置へ上昇
させられるのであるが、部品供給位置の上方には後述す
る保持ヘッド７３０が電子回路部品４６８を取り出すた
めのスペースを確保することが必要である。そのため、
電子回路部品４６８を供給し終わった部品トレイ収容箱
７２２は、次の部品トレイ収容箱７２２が部品供給位置
へ上昇させられるのと同時に、上記スペース分上昇させ
られ、上方の退避領域へ退避させられる。このように上
方にスペースが形成された部品トレイ収容箱７２２内の
部品トレイ７２０から部品装着装置７０８の保持ヘッド
７３０が１個ずつ電子回路部品４６８を取り出す。この
トレイ型部品供給装置７１２は、特公平２−５７７１９
号公報に記載の部品供給装置と同じであり、説明は省略
する。
【０１１９】部品装着装置７０８は、図２６に示す保持
ヘッド７３０が互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向
の成分を有する方向に直線移動して電子回路部品４６８
を搬送し、プリント配線板１２の表面ないし上面である
被装着面に装着するものとされている。そのため、図２
３に示すように、ベース７００の配線板コンベヤ７０４
のＹ軸方向における両側にはそれぞれボールねじ７３２
がＸ軸方向に平行に設けられるとともに、Ｘ軸スライド
７３４に設けられた２個のナット７３６（図２５に１個
のみ図示されている）の各々に螺合されており、これら
ボールねじ７３２がそれぞれ、Ｘ軸スライド駆動用モー
タ７３７によって回転させられることにより、Ｘ軸スラ
イド７３４がＸ軸に平行な方向の任意の位置へ移動させ
られる。
【０１２０】Ｘ軸スライド７３４は、図２３に示すよう
に、フィーダ型部品供給装置７１０から配線板コンベヤ
７０４を越えてトレイ型部品供給装置７１２にわたる長
さを有する。なお、ベース７００上には、２つのボール
ねじ７３２の下側にそれぞれ案内部材たるガイドレール
７３８（図２５参照）が設けられており、Ｘ軸スライド
７３４は被案部材たるガイドブロック７４０においてガ
イドレール７３８に摺動可能に嵌合され、移動が案内さ
れる。以上、ナット７３６，ボールねじ７３２およびＸ
軸スライド駆動用モータ７３７等がＸ軸スライド移動装
置７４２を構成している。
【０１２１】Ｘ軸スライド７３４上には、ボールねじ７
５０（図２５参照）がＹ軸方向に平行に設けられるとと
もに、Ｙ軸スライド７５２がナット７５４において螺合
されている。このボールねじ７５０がＹ軸スライド駆動
用モータ７５６（図２３参照）によりギヤ７５８，７６
０を介して回転させられることにより、Ｙ軸スライド７
５２は案内部材たる一対のガイドレール７６２に案内さ
れてＹ軸方向に平行な任意の位置に移動させられる。以
上、ナット７５４，ボールねじ７５０およびＹ軸スライ
ド駆動用モータ７５６等がＹ軸スライド移動装置７６４
を構成し、前記Ｘ軸スライド７３４，Ｘ軸スライド移動
装置７４２およびＹ軸スライド７５２と共に相対移動装
置としてのＸＹ移動装置７６６を構成しており、保持ヘ
ッド７３０は、ＸＹ移動装置７６６により、水平面内の
任意の位置へ移動させられる。
【０１２２】Ｙ軸スライド７５２に設けられた支持部７
６８には、図２５および図２６に示すように、保持ヘッ
ド７３０，保持ヘッド７３０を昇降させるヘッド軸方向
移動装置たるヘッド昇降装置７７０，保持ヘッド７３０
をその軸線まわりに回転させるヘッド回転装置７７２が
設けられており、これら保持ヘッド７３０，ヘッド昇降
装置７７０，ヘッド回転装置７７２等が部品装着ユニッ
ト７７４を構成している。本実施形態では、部品装着ユ
ニット７７４は１組設けられているのであるが、複数組
設けてもよい。例えば、Ｙ軸スライド７５２に複数の部
品装着ユニット７７４をＹ軸方向に平行に１列に並べて
設けることができる。
【０１２３】本実施形態の部品装着ユニット７７４は、
特許第３０９３３３９号公報に記載の部品装着ユニット
と同様に構成されており、簡単に説明する。支持部７６
８には、軸７８０がＺ軸方向に平行な方向に移動可能か
つ軸線まわりに回転可能に設けられ、その下端部に設け
られたホルダ７８２によって吸着ノズル７８４が着脱可
能に保持される。本実施形態においては、軸７８０およ
びホルダ７８２が保持ヘッド７３０を構成している。
【０１２４】ヘッド昇降装置７７０は、昇降用モータ７
８６を駆動源とし、昇降用モータ７８６の回転がギヤ７
８８，７９０を含む回転伝達装置によりナット７９２に
伝達され、ナット７９２が回転させられることにより、
ナット７９２に螺合された軸７８０が昇降させられ、保
持ヘッド７３０が昇降させられる。ヘッド昇降装置７７
０が接近・離間装置を構成している。ヘッド回転装置７
７２は、回転用モータ７９４（図２７参照）を駆動源と
し、その回転がギヤ７９６を含む回転伝達装置により軸
７８０に伝達され、軸７８０が軸線まわりに回転させら
れて、保持ヘッド７３０が垂直な回転軸線まわりに回転
させられる。
【０１２５】吸着ノズル７８４は電子回路部品４６８を
負圧により吸着し、プリント配線板１２に装着する。そ
のため、吸着ノズル７８４は、図示を省略する負圧源，
正圧源および大気に接続されており、電磁方向切換弁装
置（図示省略）の切換えにより、吸着管７９６が負圧
源，正圧源および大気に択一的に連通させられる。吸着
管７９６は下向きの吸着面７９８を備え、電子回路部品
４６８を吸着する。
【０１２６】Ｙ軸スライド７５２にはまた、プリント配
線板１２に設けられた複数の基準マーク５０８を撮像す
る撮像装置たる基準マークカメラ８００（図２３，図２
６参照）が移動不能に設けられている。基準マークカメ
ラ８００は、本実施形態においては、ＣＣＤカメラによ
り構成されるとともに、面撮像装置とされている。基準
マークカメラ８００に対応して照明装置８０２が配設さ
れており、基準マーク５０８およびその周辺を照明す
る。
【０１２７】Ｘ軸スライド７３４には、ちょうどＸ軸ス
ライド７３４を移動させる２つのボールねじ７３２にそ
れぞれ対応する位置であって、フィーダ型部品供給装置
７１０とプリント配線板１２との間およびトレイ型部品
供給装置７１２とプリント配線板１２との間の位置にそ
れぞれ、撮像装置８１０が移動不能に取り付けられてい
る。これら撮像装置８１０の構成は同じであり、一方の
撮像装置８１０を代表的に説明する。
【０１２８】撮像装置８１０は、図２５に示すように、
電子回路部品４６８を撮像する部品カメラ８１２および
導光装置８１４を備え、導光装置８１４は、反射装置と
しての反射鏡８１６，８１８を有している。反射鏡８１
６，８１８は、図示しないブラケットによりＸ軸スライ
ド７３４の下部に固定されており、一方の反射鏡８１６
は、保持ヘッド７３０のＹ軸方向の移動経路の真下にお
いて、吸着ノズル７８４の中心線を含む垂直面に対して
約４５度傾斜させられ、それのＸ軸スライド７３４に近
い側の端部が下方に位置する反射面８２０を有する。
【０１２９】それに対して他方の反射鏡８１８は、Ｘ軸
スライド７３４を挟んだ反対側に反射鏡８１６の反射面
８２０と垂直面に対して対称に傾斜し、Ｘ軸スライド７
３４に近い側の端部が下方に位置する反射面８２２を有
する。Ｘ軸スライド７３４の保持ヘッド７３０が設けら
れた側とは反対側であって、前記反射鏡８１８の反射面
８２２に対向する位置において、吸着ノズル７８４に保
持された電子回路部品４６８を撮像する部品カメラ８１
２が保持部材８２６により下向きに保持されて固定され
ている。
【０１３０】したがって、保持ヘッド７３０がＸＹ移動
装置７６６によって移動させられ、Ｙ軸方向においてボ
ールねじ７３２に対応する位置であって、反射鏡８１６
上に位置する位置に至れば、像形成光が反射鏡８１６，
８１８により反転されて部品カメラ８１２に入光させら
れる状態となり、部品カメラ８１２は電子回路部品４６
８を撮像することができる。撮像装置８１０は、Ｙ軸ス
ライド７５２がＸ軸スライド７３４に対して移動する際
における電子回路部品４６８の移動軌跡上において、そ
の電子回路部品４６８の像を撮像可能な位置に配設され
ているのである。本実施形態においては、部品カメラ８
１２は、前記基準マークカメラ８００と同様に、ＣＣＤ
カメラとされるとともに、面撮像装置とされている。な
お、反射鏡８１８を省略し、部品カメラ８１２を水平な
姿勢で反射鏡８１６に対向する位置に配設することも可
能である。
【０１３１】反射鏡８１６の近傍には、紫外線照射装置
としてのストロボ８３０が設けられ、吸着ノズル７８４
の発光板８３２に向かって紫外線を照射するようにされ
ている。発光板８３２は紫外線を吸収して可視光線を放
射し、部品カメラ８１２は電子回路部品４６８の投影像
を下方から撮像する。本実施形態においては、発光板８
３２およびストロボ８３０が照明装置８３３を構成して
いる。
【０１３２】また、上記ストロボ８３０に比較して吸着
ノズル７８４に近い位置に可視光線を照射する別のスト
ロボ８３４が設けられており、電子回路部品４６８の底
面（プリント配線板１２に装着される装着面）からの反
射光により、部品カメラ８１２は電子回路部品４６８の
正面像を下方から撮像する。上記撮像装置８１０，照明
装置８３３が撮像システムを構成している。
【０１３３】第二電子回路部品装着機２２は、制御手段
として、図２７に示す制御装置８５０を備えている。制
御装置８５０は、前記制御装置１８２と同様にコンピュ
ータ３４８を主体として構成されており、同じ作用を為
す構成要素には同一の符号を付して対応関係を示し、詳
細な説明を省略する。なお、本実施形態においても、駆
動源たるＸ軸スライド駆動用モータ７３７等は、サーボ
モータにより構成され、その回転角度がエンコーダ８５
２により検出されてコンピュータ３４８に入力される。
図２７には、回転用モータ７９４に設けられたエンコー
ダ８５２を代表的に示す。また、ＲＡＭ３４４には、図
示は省略するが、メインルーチン，電子回路部品装着プ
ログラム等を始めとする種々のプログラムおよびそれら
プログラムの実行等に必要なデータ等が記憶させられて
いる。
【０１３４】次に作動を説明する。電子回路部品４６８
をプリント配線板１２に装着する装着作業は、前記特許
第２８２４３７８号公報およびまだ未公開であるが、本
出願人に係る特願２０００−３４３６４１の出願等に記
載されているので簡単に説明する。
【０１３５】第二電子回路部品装着機２２により、プリ
ント配線板１２に電子回路部品４６８を装着する場合に
は、部品装着ユニット７７４は、Ｘ軸スライド７３４お
よびＹ軸スライド７５２の移動によりフィーダ型部品供
給装置７１０またはトレイ型部品供給装置７１２の部品
供給位置へ移動させられる。保持ヘッド７３０が、ヘッ
ド昇降装置７７０により昇降させられ、吸着ノズル７８
４が負圧により電子回路部品４６８を保持する。この
際、保持ヘッド７３０は予め設定された部品受取時回転
位置に位置させられる。本実施形態において部品受取時
回転位置は、回転用モータ７９４の回転角度を検出する
エンコーダ８５２の値によって規定され、保持ヘッド７
３０は、常に部品受取時回転位置において電子回路部品
４６８を吸着するようにされる。以下、フィーダ型部品
供給装置７１０のフィーダ７１４から電子回路部品４６
８を受け取る場合を例に取って説明する。
【０１３６】電子回路部品４６８を保持した保持ヘッド
７３０は、フィーダ７１４の電子回路部品４６８を供給
する部品供給位置であって、フィーダ７１４から電子回
路部品４６８を受け取る部品受取位置から、プリント配
線板１２に電子回路部品４６８を装着する装着位置へ移
動させられるのであるが、その際、Ｘ軸スライド７３４
の部品受取位置と部品装着位置との間の位置に固定され
ている反射鏡８１６上を通過する。部品供給位置および
部品装着位置がフィーダ型部品供給装置７１０およびプ
リント配線板１２のいずれの位置にあっても、保持ヘッ
ド７３０が部品供給位置から部品装着位置へ移動するた
めには必ず、Ｘ軸スライド７３４上をＹ軸方向へ移動し
て、フィーダ型部品供給装置７１０とプリント配線板１
２との間を通る。したがって、保持ヘッド７３０は、Ｘ
軸スライド７３４の部品供給位置と部品装着位置との間
に位置する部分に固定されている反射鏡８１６上を必ず
通り、部品カメラ８１２により電子回路部品４６８が撮
像される。保持ヘッド７３０が反射鏡８１６上に位置
し、部品カメラ８１２によって撮像される位置を部品保
持姿勢検出位置ないし撮像位置と称する。
【０１３７】そして、保持ヘッド７３０が部品保持姿勢
検出位置に到達すれば、電子回路部品４６８が撮像され
る。撮像装置８１０およびストロボ８３０，８３４はＸ
軸スライド７３４上に設けられているため、保持ヘッド
７３０は、Ｙ軸方向においてはその移動を停止させられ
るが、Ｘ軸方向においては移動させられたままの状態で
電子回路部品４６８が撮像される。撮像された像のデー
タは制御装置８５０において保持位置誤差のない正規の
像のデータと比較され、水平方向保持位置ずれΔＸEn
，ΔＹEn および回転方向保持位置ずれΔθEnが算出さ
れる。
【０１３８】また、プリント配線板１２の水平方向位置
ずれΔＸP ，ΔＹP はプリント配線板１２に設けられた
基準マーク５０８を予め基準マークカメラ８００によっ
て撮像することにより算出されており、部品装着位置へ
移動するまでの間に、これら位置ずれΔＸEn ，ΔＹE
n，ΔＸP ，ΔＹP およびΔθEn，ΔθPの修正により生
じる電子回路部品４６８の中心位置のずれに基づいて保
持ヘッド７３０の移動距離が修正されるとともに、保持
ヘッド７３０がヘッド回転装置７７２により回転させら
れて回転方向保持位置ずれΔθEnが修正され、電子回路
部品４６８はプリント配線板１２の正確な被装着位置に
正しい姿勢で装着される。保持ヘッド７３０は、誤差の
演算等と並行して、プリント配線板１２の被装着位置上
へ移動させられるとともに下降させられ、電子回路部品
４６８を被装着位置に装着する。以上で１サイクルの装
着作業が終了する。
【０１３９】本電子回路部品装着機２２においても、電
子回路部品４６８の部品保持姿勢検出位置において撮像
された電子回路部品４６８の画像データが、電子回路部
品供給装置７１０，７１２のコード名等とともに監視装
置２８に伝達される。さらに、ＸＹ移動装置７６６の制
御データや、水平方向位置ずれΔＸEn ，ΔＹEn，ΔＸP
，ΔＹP および回転方向位置ずれΔθEn，ΔθPのデー
タ等が監視装置２８に伝達される。
【０１４０】次に第一および第二装着検査機２０，２４
について説明する。前述のように第一および第二装着検
査機２０，２４は互いに共通の構成とされているので、
以下に第一装着検査機２０について代表して説明する。
第一装着検査機２０は、前述の第二電子回路部品装着機
２２に比較して電子回路部品供給装置７１０，７１２が
設けられないことと、保持ヘッド７３０が設けられない
点において異なるが、他の構成についてはほぼ共通して
いる。以下、共通の要素について共通の符号を用いるこ
とにより、説明を省略する。
【０１４１】ベース７００上にＸＹ移動装置７６６が設
けられ、それのＹ軸スライド７５２に、プリント配線板
１２に装着された複数の電子回路部品４６８を撮像する
撮像装置たる検査用カメラ８８０（図２１参照）が移動
不能に設けられている。検査用カメラ８８０は、本実施
形態においては、ＣＣＤカメラにより構成されるととも
に、面撮像装置とされている。検査用カメラ８８０に対
応して照明装置８０２が配設されており、電子回路部品
４６８およびその周辺を照明する。
【０１４２】第一装着検査機２０は、前述の制御装置１
８２と同様に構成された制御装置８９０を備え、コンピ
ュータ３４８のＲＯＭ３４２にメインルーチンをはじめ
検査プログラム等、種々のプログラムが記憶されてい
る。制御装置８９０は、コンピュータ３４８の入出力イ
ンタフェース３５０において監視装置２８に接続されて
おり、検査結果に関連する情報を監視装置２８へ伝達す
るようにされている。以下、検査作業について概略的に
説明する。
【０１４３】まず、第一電子回路部品装着機１８からプ
リント配線板１２が搬送されれば、プリント配線板１２
が電子回路部品４６８を撮像する撮像位置において、ス
トッパ装置により停止させられる。ＸＹ移動装置７６６
により検査用カメラ８８０が移動させられて、まず、プ
リント配線板１２に設けられた基準マーク５０８を撮像
する。本装着検査機２０においては、検査用カメラ８８
０が基準マーク撮像装置を兼ねているのである。基準マ
ーク５０８を撮像することにより、プリント配線板１２
の水平方向位置ずれΔＸP，ΔＹPを取得したならば、そ
れに基づいて、今回撮像すべき電子回路部品４６８の真
上に位置する撮像位置へ検査用カメラ８８０が移動させ
られ、プリント配線板１２の各部位とともに電子回路部
品４６８が撮像される。
【０１４４】電子回路部品４６８を撮像することにより
得られた画像データの画像処理作業については、詳細な
説明は省略するが、撮像により得られた電子回路部品４
６８の像と、予めＲＯＭ３４２に記憶された電子回路部
品４６８の正規の像とが比較されることにより、電子回
路部品４６８のプリント配線板１２に対する水平方向装
着位置ずれΔＸn，ΔＹnおよび回転方向装着位置ずれΔ
θnを取得することができる。本実施形態においては、
プリント配線板１２が搬入される毎にプリント配線板１
２に設けられた基準マーク５０８を撮像することによ
り、検査用カメラ８８０とプリント配線板１２との相対
位置が精度よく位置決めされるので、撮像領域内におい
て電子回路部品４６８の像の位置を予測することが可能
となり、それに基づいて装着位置ずれを検出することが
できる。
【０１４５】本実施形態においては、プリント配線板１
２に装着された全ての電子回路部品４６８について順に
撮像し、装着水平位置誤差ΔＸn，ΔＹnおよび装着回転
誤差Δθnを検査する。電子回路部品４６８の撮像作業
は、例えば、電子回路部品４６８の装着された順にした
がって行なわれてもよいし、それ以外の順番で撮像する
ようにしてもよい。なお、全ての電子回路部品４６８に
ついて撮像作業を行うことは不可欠ではなく、特に精度
を要求される電子回路部品４６８についてのみ検査する
ようにしてもよい。その場合には、比較的精度が低くて
もかまわない電子回路部品４６８については、一部ずつ
順に検査することが望ましい。
【０１４６】監視装置２８について説明する。監視装置
２８は、図２８に示すように、前記制御装置１８２と同
様に、ＰＵ３４０，ＲＯＭ３４２，ＲＡＭ３４４および
それらを接続するバス３４６を有するコンピュータ３４
８を主体とするものである。バス３４６には入出力イン
タフェース３５０が接続され、その入出力インタフェー
ス３５０にマスク印刷機１４，第一電子回路部品装着機
１８および第二電子回路部品装着機２２と、印刷状態検
査機１６，第一装着検査機２０および第二装着検査機２
４とが接続されている。厳密には、それぞれの制御装置
１８２，６６０，８５０，４００，８９０が接続されて
いるのであるが、単純化のために各機械が接続されてい
ると表現する。入出力インタフェース３５０は、さらに
操作盤９００に接続されている。操作盤９００は、表示
装置としてのモニタ９０２を備え、作業者により入力さ
れる入力装置としてのキーボード９０４と、作業者に警
告を発する警告装置としての報知装置９０６とを備えて
いる。本実施形態においては、監視装置２８は、電子回
路製造システム１０の近傍に設けられ、そのシステム１
０を担当している作業者により操作、監視可能とされて
いるが、監視装置２８と作業機および検査機とを有線あ
るいは無線の通信手段を介して接続することにより、電
子回路製造システム１０から離れた場所に集中管理部を
設け、そこで集中的に管理してもよい。後者の場合に
は、報知装置９０６等、操作盤９００の少なくとも一部
が、電子回路製造システム１０の近傍に設けられてもよ
いし、集中管理部に設けられてもよい。
【０１４７】コンピュータ３４８のＲＡＭ３４４には、
マスク印刷機１４，電子回路部品装着機１８，２２およ
び各検査機１６，２０，２４から伝達された装置情報お
よび検査結果データが時間経過と共に蓄積される。今回
実行された作業に関連して取得されたそれら情報に基づ
いて、作業機としてのマスク印刷機１４，第一電子回路
部品装着機１８および第二電子回路部品装着機２２それ
ぞれの現況が推定される。この場合、各検査機１６，２
０，２４によって取得された情報のみならず、各作業機
１４，１８，２２からの装置情報にも基づいて現況が推
定されるため、高い信頼性の推定が可能である。コンピ
ュータ３４８のＲＡＭ３４４には、さらに、推定された
現況が時間経過とともに蓄積され、それら現況と過去に
取得された各作業機１４，１８，２２の状況とが比較さ
れることにより、各作業機の状況の変化傾向も取得され
る。監視装置２８は、上記ＲＡＭ３４４に蓄積された各
種データと現在のデータとに基づいて各作業機１４，１
８，２２の現況を推定し、必要があれば関連する制御デ
ータを補正し、または作業者に報知して処置を促す複数
の監視プログラムが記憶されている。
【０１４８】各作業機１４，１８，２２には少なくとも
１つの監視対象部が設定され、各作業機から、それら監
視対象部の監視のために必要ないし有用な装置情報が監
視装置２８に伝達されるとともに、各検査機１６，２
０，２４からそれら監視対象部に関連する検査結果の情
報が伝達され、監視プログラムはそれら情報に基づいて
各監視対象部の現在の状態と変化傾向とを取得する。監
視対象部については後で説明する。その現況と変化傾向
とに基づいて、監視対象部の状態が予め定められたしき
い状況を超える時期を推定し、その推定した時期を限界
時期として表示装置に表示させる。しきい状況は、各作
業機における各装置の不可避の作動誤差や各検査機にお
ける検出誤差等により必然的に変動する範囲を超え、か
つ、不良基板が発生するよりも早い段階における状況に
設定されており、そのしきい状況に基づいて限界時期が
推定される。限界時期は、監視対象部の現況と、現在の
変化傾向とに基づいて、現在の変化傾向が維持された場
合にしきい状況を超えると予測される時期として取得さ
れる。
【０１４９】限界時期は、各回の現況が推定される毎に
更新されるので、前回推定された限界時期に対して増加
することも減少することもあり得る。ここで、ある監視
対象部について限界時期に到達すれば、監視装置２８に
より、その監視対象部について処置が必要になったと判
定され、必要な処置の種類に応じて制御データが自動的
に補正されるか、または作業者に報知されることにより
監視対象部に対する処置が行われる。作業者により処置
が実行される際には、その監視対象部を備える作業機を
停止させて作業者による処置が行なわれることが待たれ
る。本実施形態においては、モニタ９０２に情報を表示
することにより作業者に監視対象部の状況等が報知され
るとともに、作業者による処置が必要な場合等に報知装
置９０６により作業者の注意が喚起される。本実施形態
においては、処置が実行された回数も監視装置２８によ
り監視されており、通常は自動で処置が行われる部分に
ついても、同じ監視対象部について処置の頻度が増大す
れば、作業者に報知されて検査，処置が行われるように
される。以下、各作業機について具体的に説明する。
【０１５０】まず、マスク印刷機１４の監視作業につい
て説明する。マスク印刷機１４には、接触荷重調節用エ
アシリンダ１３８，印刷ヘッド移動装置１３２，押出用
エアシリンダ１７２，押圧装置付位置調節装置８０等が
監視対象部として設定されており、それら監視対象部の
監視対象部情報（これらはマスク印刷機１４の装置情報
の一種である）たる印刷ヘッド１３４の接触荷重，移動
速度，印刷剤の押出圧力およびマスク版３６の位置決め
位置等の制御データあるいはそれらの検出結果が、マス
ク印刷機１４の制御装置１８２から監視装置２８へ伝達
されるとともに、印刷状態検査機１６から印刷剤たるク
リーム半田３８４の水平方向位置，体積，欠けの有無，
ブリッジの有無等、作業結果たる印刷結果に関連する情
報が伝達される。さらに、マスク印刷機１４においては
印刷作業の実行回数が計数されており、それらのデータ
に基づいて、マスク印刷機１４の上記各制御データ，検
出結果の適否およびマスク洗浄の要否，印刷ヘッド１３
４の状態等が推定される。以下、印刷状態検査機１６に
より検出される各検査対象毎に、その検査結果に基づい
て推定される監視対象部の状態について具体的に説明す
る。
【０１５１】まずクリーム半田３８４の水平方向位置の
検査結果について説明する。本マスク印刷機１４におい
ては、プリント配線板１２およびマスク６４に設けられ
た基準マークをそれぞれ基準マーク撮像装置４４，４６
により撮像して、それらプリント配線板１２およびマス
ク６４の相対位置を位置決めするので、クリーム半田３
８４のプリント配線板１２に対する位置ずれが生じる可
能性は低い。しかし、例えば、配線板用基準マーク撮像
装置４４とマスク用基準マーク撮像装置４６とのＸ軸ス
ライド３００に対する取り付け位置のずれ等により、両
撮像装置４４，４６の相対位置に誤差が生ずれば、プリ
ント配線板１２とマスク６４との相対位置決めが正しく
行われたはずであるのに、クリーム半田３８４の水平方
向位置に誤差が生じることとなる。そこで、監視装置２
８には、両撮像装置４４，４６による基準マークの撮像
結果、あるいは押圧装置付位置調節装置８０による位置
調節データと、印刷状態検査機１６によるクリーム半田
３８４のプリント配線板１２に対する位置ずれの検出結
果との両方が伝達され、監視装置２８は、クリーム半田
３８４の印刷位置ずれを監視するのみならず、両撮像装
置４４，４６の相対位置ずれも監視する。
【０１５２】次に、クリーム半田３８４の体積、すなわ
ち塗布量の過不足検出作業について説明する。本実施形
態において、プリント配線板１２上における全ての印刷
スポットのクリーム半田３８４の実際の塗布量たる実塗
布量が取得され、各印刷スポットについて予め設定され
た理想的な値である設定塗布量と比較されるとともに、
全ての印刷スポットの塗布量の平均値が取得される。平
均値は、本実施形態においては、各印刷スポットにおけ
る設定塗布量に対する実塗布量の割合の平均値として取
得される。実塗布量それぞれの過不足傾向と、平均値の
過不足傾向とが取得されるとともに、同じ種類のプリン
ト配線板１２について、同じマスク６４によりマスク印
刷を行う場合には、２回目以降に印刷されたプリント配
線板１２について、それの直前または設定回数前に印刷
されたプリント配線板１２の印刷結果との比較が行なわ
れ、先の印刷結果に対する変化量に基づいて、クリーム
半田３８４の実塗布量および平均値が増加傾向にあるか
減少傾向にあるかが検出される。さらに、クリーム半田
３８４の塗布量について、しきい状況としての上限値と
下限値とが各印刷スポットの塗布量と平均値とのそれぞ
れについて設定されており、それら上限値または下限値
に対する実塗布量および平均値の差と変化傾向とに基づ
いて限界時期が推定される。しきい状況は、前述のよう
に、不良品が生産されるよりも早い段階における状況に
設定されているので、上記限界時期を越えた場合に、関
連する監視対象部の制御データを補正することにより、
不良品の発生を回避することができる。
【０１５３】本実施形態においては、印刷スポットそれ
ぞれの実塗布量と塗布量の平均値との両方を監視するこ
とにより、クリーム半田３８４の過不足の原因を推定
し、原因の種類によって異なる対応をすることができ
る。具体的には、例えば、クリーム半田３８４の塗布量
が全体的に過剰または不足であると判定されれば、印刷
ヘッド１３４の接触荷重，移動速度および押出圧力の少
なくとも１つが不適当であるか、あるいはクリーム半田
のかたさ等の特性が不適当であると推定され、クリーム
半田３８４の塗布量が部分的に過剰であるかまたは不足
していると判定されれば、クリーム半田３８４のかたさ
等特性と押出圧力のバランスが悪いことや、吐出口形成
部材１６２に異常が生じたことが推定される。さらに具
体的に説明する。
【０１５４】クリーム半田３８４の塗布量が１つのプリ
ント配線板１２について全体的に過剰傾向にあるなら
ば、印刷ヘッド１３４の接触荷重が不足しているため
に、吐出口形成部材１６２によるマスク６４からクリー
ム半田３８４の掻き取りが不足していることと、印刷ヘ
ッド１３４の移動速度が速すぎるためにクリーム半田３
８４を良好に掻き取ることができないこととの少なくと
も一方か、あるいはクリーム半田がかた過ぎることに起
因すると推定される。したがって、クリーム半田３８４
の量が上限値を超えたならば、まず、制御データが、接
触荷重を増加させるかまたは移動速度を減速させるよう
に補正されることにより、クリーム半田３８４の量を低
減させて適正値に近づけられる。なお、接触荷重を増加
させれば、印刷ヘッド１３４の長手方向に平行なＸ軸方
向の長さたる幅が大きい透孔６５については塗布量が顕
著に減少するが、幅の小さい透孔６５についてはそれほ
ど効果が期待できない。それに対して、印刷ヘッド１３
４の移動速度を減少させれば、透孔６５の幅の大きさに
かかわらず余分なクリーム半田３８４を良好に掻き取る
ことができるので、本実施形態においては、クリーム半
田３８４の塗布量が全体的に過剰傾向にあるならば、原
則として、印刷ヘッド１３４の移動速度を低減させ、そ
れでも不十分である場合には、接触荷重を増加させるよ
うに制御データを補正して、クリーム半田３８４の塗布
量を減少させ、設定塗布量に近づけるようにされる。そ
して、マスク印刷機１４から供給されたデータが表す印
刷ヘッド１３４の移動速度の減少量あるいは接触荷重の
増加量の割りに効果が小さい場合や、印刷ヘッド１３４
の接触荷重や移動速度が通常の制御範囲を超えるに到っ
た場合には、クリーム半田３８４がかた過ぎると推定さ
れ、モニタ９０２および報知装置９０６により作業者に
クリーム半田３８４の特性を調べるべき旨の報知が行わ
れるとともに、監視装置２８からの停止指令によりマス
ク印刷機１４が自動停止させられる。
【０１５５】それに対して、クリーム半田３８４の塗布
量が全体的に不足傾向にあるならば、印刷ヘッド１３４
の接触荷重が過剰であるために、吐出口形成部材１６２
のマスク６４からクリーム半田３８４を掻き取る量が過
剰であることと、接触荷重に対して印刷ヘッド１３４の
移動速度が遅いために吐出口形成部材１６２がマスク６
４の透孔６５内に一部食い込んでクリーム半田３８４を
余分に掻き取ることとの少なくとも一方か、あるいはク
リーム半田がやわらか過ぎることに起因すると考えられ
る。そこで、本実施形態においては、クリーム半田３８
４の量が下限値を超える限界時期が推定され、その限界
時期を越えたならば、まず、印刷ヘッド１３４の移動速
度の増加あるいは接触荷重の減少により、クリーム半田
３８４を過剰に掻き取ることを回避するように、制御デ
ータが補正され、クリーム半田３８４の塗布量を増加さ
せて設定塗布量に近づけるようにされる。そして、マス
ク印刷機１４から供給されたデータが表す印刷ヘッド１
３４の移動速度の増加量あるいは接触荷重の減少量の割
りに効果が小さい場合や、印刷ヘッド１３４の接触荷重
や移動速度が通常の制御範囲を超えるに到った場合に
は、クリーム半田３８４がかた過ぎると推定され、モニ
タ９０２および報知装置９０６により作業者にクリーム
半田３８４の特性を調べるべき旨の報知が行われるとと
もに、監視装置２８からの停止指令によりマスク印刷機
１４が自動停止させられる。
【０１５６】さらに、本実施形態においては、１つのプ
リント配線板１２について全ての印刷スポットにおける
クリーム半田３８４の塗布量が検出されるので、クリー
ム半田３８４の塗布量が過不足傾向を示す場合に、その
傾向が一部の印刷スポットについてのものであるか、あ
るいは１つのプリント配線板１２について全体的なもの
であるかを検査することができる。ここで、クリーム半
田３８４の塗布量が一部の印刷スポットについて過剰傾
向にあるならば、吐出口形成部材１６２が部分的に欠け
ていることに起因すると推定できる。特に過剰である部
分が、印刷ヘッド１３４の移動方向に沿って連続してい
る場合には、吐出口形成部材１６２の、その部分に対応
する部位が欠けていることに起因して、部分的にクリー
ム半田３８４の掻き取り作業が不十分となったと考えら
れる。したがって、このような傾向が検出されれば、マ
スク印刷機１４が停止させられる。モニタ９０２に吐出
口形成部材１６２の欠けが推定されることが表示される
とともに、報知装置９０６により作業者に報知されると
ともに、監視装置２８からの停止指令によりマスク印刷
機１４が自動停止させられる。作業者は、表示等に従っ
てマスク印刷機１４の検査を行い、吐出口形成部材１６
２の欠けを確認すれば、交換する。
【０１５７】これに対して、クリーム半田３８４の塗布
量が部分的に不足傾向にあるならば、クリーム半田３８
４の押出圧力の不足に起因すると推定できる。例えば、
時間が経過するとともにクリーム半田３８４が固くな
り、そのかたさに対して押出圧力が不足するようになれ
ば、まず複数の透孔６５のうち幅の狭いものについて塗
布量が不足する。このことを利用して、本実施形態にお
いては、幅の狭い形状の印刷スポットが予め選択されて
おり、監視装置２８によりそれら監視スポットについて
クリーム半田３８４が不足し、それ以外の印刷スポット
についてクリーム半田３８４が不足していないことが検
出されれば、押出圧力が不足していると判定して、押出
圧力を増大させるように制御データを補正する。そし
て、その制御データの補正にもかかわらず、その補正に
対応する効果が得られない場合には、モニタ９０２およ
び報知装置９０６により作業者にクリーム半田３８４の
特性を調べるべき旨の報知が行われ、監視装置２８から
の停止指令によりマスク印刷機１４が自動停止させられ
る。
【０１５８】本監視装置２８においては、クリーム半田
３８４の塗布量の過不足傾向を監視するとともに、しき
い状況を超える頻度や前回対処が施されてから今回補正
することが必要であると判断されるまでの経過時間等も
監視される。しきい状況を超える時間間隔（作業間隔）
が設定時間間隔より小さくなった場合には、モニタ９０
２および報知装置９０６により作業者にその旨が報知さ
れるとともに、監視装置２８によりマスク印刷機１４が
自動停止させられるのであり、作業者はモニタ９０２の
表示に従ってマスク印刷機１４の点検作業を行う。以
下、図２９に示すフローチャートに基づいてさらに詳細
に説明する。ただし、説明の単純化のために、印刷ヘッ
ド１３４の接触荷重の制御をはじめ、一部の制御につい
ては省略する。
【０１５９】本プログラムは、組み立てラインの稼働中
は繰り返し実行される。まず、ステップＳ１（以下、単
にＳ１と称する。他のステップについても同じ）におい
て、全ての印刷スポットについて印刷状態検査機１６に
おいて検出された塗布量が取得され、それら塗布量の平
均値と各印刷スポットの設定値に対する塗布量の割合が
最大のものと最小のものとが取得される。Ｓ２におい
て、それら塗布量の平均値と、今回最大および最小値と
して取得された印刷スポットについて前回または設定回
数前の検査時に検出された値に対する今回の変化量が算
出される。Ｓ３において、平均値と各印刷スポットにお
ける塗布量とについて予め設定されたしきい状況がそれ
ぞれ呼び出され、Ｓ４においてそのしきい状況に到達す
ることが予測される限界時期が算出される。限界時期
は、現時点からしきい状況に到達するまでの時間で表さ
れ、平均値および最大，最小値のそれぞれについて限界
時期が算出されるが、それらのうち最も短い時期が今回
のマスク印刷作業における限界時期として取得され、モ
ニタ９０２に表示される。
【０１６０】次に、Ｓ５において限界時期を超えている
か否かが判定される。限界時期が０より大きいならば、
まだ限界時期に到達していないので判定がＮＯとなり、
本プログラムの１回の実行が終了する。それに対して、
限界時期が０以下であるならば、既に限界時期に到達し
ているとしてＳ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６に進ん
で、塗布量の過不足傾向が全体的なものであるか、一部
の印刷スポットに偏ったものであるかが判定される。具
体的には、Ｓ４およびＳ５において選択され０以下であ
るとされた限界時期が、クリーム半田３８４の塗布量の
平均値に基づいて取得されたものであれば、塗布量の過
不足傾向が全体的なものであるとしてＳ６の判定がＹＥ
Ｓとなる。Ｓ７に進んで、塗布量が過剰であるか不足し
ているかが判定され、塗布量が過剰であるならば、Ｓ７
の判定がＹＥＳとなり、Ｓ８に進んで印刷ヘッド１３４
の移動速度が低減させられる。それに対して塗布量が全
体的に不足しているならば、Ｓ７の判定がＮＯとなり、
Ｓ９に進んで印刷ヘッド１３４の移動速度が増大させら
れる。
【０１６１】いずれの場合であっても、Ｓ１０に進んで
前回に移動速度の制御データを補正してからの時間間隔
である補正間隔ｔｖが予め設定された設定時間Ｔｖ以下
であるか否かが判定される。補正間隔ｔｖが設定時間Ｔ
ｖ以下であるならば、Ｓ１０の判定がＹＥＳとなりＳ１
１に進んでその旨が作業者に報知され、マスク印刷機１
４が自動停止させられる。それに対して、補正間隔ｔｖ
が設定時間Ｔｖより大きいならば、判定はＮＯとなり、
Ｓ１０ａに進んで、前回の補正によって設定効果以上の
効果があったか否かが判定され、設定効果以上の効果が
なければ、Ｓ１１でその旨が報知されるとともに、マス
ク印刷機１４が自動停止させられる。設定効果以上の効
果があった場合には、Ｓ１０ｂに進んで、印刷ヘッド１
３４の移動速度が制御限界に達したか否かが判定され、
制御限界に達していれば、Ｓ１１でその旨が報知される
とともに、マスク印刷機１４が自動停止させられるが、
達していなければ、本プログラムの１回の実行が終了す
る。
【０１６２】上記Ｓ１０ａで行われる判定について説明
する。マスク印刷機１４においては、印刷状態検査機１
６からの補正指令に応じてスキージの速度等が自動で増
減させられるのであるが、その際の増減量が作業者によ
り設定可能とされている。また、印刷状態検査機１６に
おいては、前回限界時期と判断された際の塗布量と、そ
の判断に応じて補正が行われた後、最初に取得された塗
布量とが記憶されるようになっており、Ｓ１０ａにおい
ては、まず、補正前の塗布量から補正後の塗布量への変
化量である前回補正後変化量が取得される。続いて、マ
スク印刷機１４から、作業者により設定されている１回
の補正分のスキージ速度等の増減量が取得される。そし
て、その１回の補正分のスキージ速度等の増減量に対し
て通常生じる変化量である補正後予測変化量が算出され
るとともに、その補正後予測変化量に予め定められた１
より小さく０より大きい係数が掛けられて、前記設定効
果量としての下限しきい変化量が算出される。例えば、
補正後予測変化量の５０％の値が下限しきい変化量とさ
れるのである。そして、上記前回補正後変化量が下限し
きい変化量に満たなければ、補正により設定効果以上の
効果がなかったと判定される。
【０１６３】それに対して、限界時期を超えたことが塗
布量の最大値または最小値に基づいて判定された場合に
は、塗布量の過不足傾向が一部の印刷スポットについて
偏ったものであると推定され、Ｓ６の判定がＮＯとな
る。符号Ａで行き先を示すように、図３０に示されるＳ
１２に進んで、その一部の印刷スポットについて塗布量
が過剰であるか否かが判定される。塗布量が過剰である
ならば、Ｓ１２の判定がＹＥＳとなり、Ｓ１３およびＳ
１４に進んでマスク印刷機１４が自動停止させられると
ともに、作業者に報知されスキージが欠けている可能性
が示唆される。これに対して一部の印刷スポットについ
て塗布量が不足しているならば、Ｓ１２の判定がＮＯと
なり、Ｓ１５に進んで最小値が取得された印刷スポット
が幅の細いものであるか否かが問われる。プリント配線
板１２に印刷する印刷スポットについて、形状が幅の細
いものがある場合には、予めその印刷スポットが特に注
意すべき監視スポットとして選択されており、今回最小
値が取得された印刷スポットがその監視スポットに該当
するか否かが問われる。監視スポットの少なくとも１つ
について塗布量が不足しているならば、Ｓ１５の判定が
ＹＥＳとなり、Ｓ１６に進んでクリーム半田３８４の押
出圧力を増すように、制御データが補正される。さらに
Ｓ１７およびＳ１８に進んで、Ｓ１０およびＳ１１と同
様に押出圧力の制御データを補正した補正間隔ｔｐが設
定時間Ｔｐより長いか否かが問われ、ｔｐ≦Ｔｐの場合
は作業者に報知され、マスク印刷機１４が自動停止させ
られる。これに対して、今回クリーム半田３８４の塗布
量が不足している印刷スポットが監視スポットでないな
らば、Ｓ１９に進んで作業者に報知され、マスク印刷機
１４が自動停止させられる。以上で本プログラムの１回
の実行が終了する。なお、監視スポットは、１つ以上複
数箇所選択されてもよいし、選択されなくてもよい。印
刷スポットのうち幅の細い形状のものがない場合には、
Ｓ１５ないしＳ１８の実行がスキップされ、Ｓ１２の判
定がＮＯとなれば、Ｓ１９に進んで報知およびマスク印
刷機１４の自動停止が実行されるようにしてもよい。
【０１６４】本プログラムによれば、印刷結果を検出し
て自動的にマスク印刷機１４の制御データを補正するこ
とにより、作業者の手を煩わせることなく不良品の発生
を低減させ、使い勝手を一層向上させることができる。
また、継続的に印刷結果およびマスク印刷機１４を監視
し、過去のデータを蓄積して利用することにより、推定
される現況の信頼性を向上させることができる。さら
に、マスク印刷機１４から供給される制御データの変更
量と、印刷状態検査機１６から供給される印刷結果の変
化量とに基づいて、制御データの変更により所期の効果
が得られないことが判明し、あるいはマスク印刷機１４
から供給される制御データに基づいて制御量が制御限界
に達したことが判明した場合には、作業者にクリーム半
田３８４の特性を調べるべきことを示唆することができ
る。
【０１６５】次にクリーム半田３８４の欠けおよびブリ
ッジの検査について説明する。クリーム半田３８４の欠
けはマスク６４の透孔６５の目詰まりに起因し、クリー
ム半田３８４のブリッジはマスク６４の裏面の汚れに起
因すると考えられる。本実施形態においては、クリーム
半田３８４の欠けやブリッジを回避するために、予め設
定された作業間隔たる設定洗浄間隔Ｔ0が経過する度に
洗浄作業を行うようにされているが、それにもかかわら
ずクリーム半田３８４の欠けまたはブリッジが検出され
れば、それを解消するためにマスク６４の洗浄作業が実
行される。このとき、前回マスク６４が洗浄されてから
の作業間隔ｔ（印刷回数、経過時間等）が取得され、そ
の作業間隔ｔに基づいて次にマスク６４を洗浄すべき設
定洗浄間隔Ｔ0が補正される。このことにより、本マス
ク印刷機１４において効率よく印刷作業を行うと共に、
印刷不良のプリント配線板１２が発生することを一層低
減させることができる。なお、前回マスク６４が洗浄さ
れてから、クリーム半田３８４の欠けやブリッジが検出
されるまでの作業間隔ｔが予め設定された設定間隔Ｔよ
りも短い場合には、比較的短い間に欠陥が再発したこと
を作業者に報知するとともに、マスク印刷機１４が自動
停止させられるようにされている。なお、設定間隔Ｔは
設定洗浄間隔Ｔ0より短い間隔に設定されている。
【０１６６】以下、図３１に示すフローチャートに基づ
いて説明する。本プログラムは、マスク印刷機１４にお
いて印刷作業が行なわれている間は繰り返し実行され
る。まず、Ｓ２０においてフラグＦが０であるか否かが
問われる。フラグＦが０であれば、Ｓ２０の判定がＹＥ
ＳとなりＳ２１において経過時間ｔの計時が開始され
る。Ｓ２２においてフラグＦが１とされ、以後Ｓ２１お
よびＳ２２の実行がスキップされる。次にＳ２３におい
て経過時間ｔが上記設定洗浄間隔Ｔ0を超えたか否かが
判定される。経過時間ｔが設定洗浄間隔Ｔ0以上であれ
ば、Ｓ２３の判定がＹＥＳとなりＳ２４に進んでマスク
６４を洗浄すべきことが指示され、Ｓ２５においてフラ
グＦが初期値０に戻されて本プログラムの１回の実行が
終了する。これに対して、経過時間ｔが設定洗浄間隔Ｔ
0より短ければ、Ｓ２３の判定がＮＯとなりＳ２６およ
びＳ２７において、印刷状態検査機１６により検査され
たプリント配線板１２についてクリーム半田３８４の欠
けまたはブリッジが存在するか否かが判定される。クリ
ーム半田３８４の欠けとブリッジとの両方が検出されな
ければ、Ｓ２６およびＳ２７の判定がＹＥＳとなり本プ
ログラムの１回の実行が終了する。それに対して、クリ
ーム半田３８４の欠けとブリッジとの少なくとも一方が
検出されれば、Ｓ２８に進んで、前回洗浄が行なわれて
からの経過時間ｔが予め設定された設定間隔Ｔと比較さ
れる。経過時間ｔが設定間隔Ｔより長ければＳ２８の判
定がＹＥＳとなりＳ２９においてマスク６４を洗浄する
ことが指示され、Ｓ３０において設定洗浄間隔Ｔ0が経
過時間ｔに基づいて補正される。Ｓ２５に進んでフラグ
Ｆが０とされ、本プログラムの１回の実行が終了する。
【０１６７】それに対して、経過時間ｔが設定間隔Ｔ以
下であれば、Ｓ２８の判定がＮＯとなり、Ｓ３１に進ん
で、前回マスク洗浄作業が行なわれてから比較的短い間
に印刷不良が再発したことが作業者に報知され、マスク
印刷機１４が自動停止させられる。この場合には、作業
者によりマスク印刷機１４の検査が行なわれる。＞＞＞
【０１６８】本プログラムによれば、クリーム半田３８
４の欠けとブリッジとを検出してマスク洗浄が自動的に
実行されるようにすることができる。また、マスク洗浄
の設定洗浄間隔Ｔ0を補正することにより、印刷作業の
能率低下を極力回避しつつ印刷不良の発生を良好に回避
することができる。
【０１６９】なお、印刷された全部のクリーム半田３８
４について上記塗布量，欠けおよびブリッジ等の検査を
行うことは不可欠ではなく、一部のクリーム半田３８４
について検査を行うようにしてもよい。その場合には、
特に目詰まり等、欠陥の生じやすい部分については毎回
検査を行うようにするとともに、それ以外の部分につい
ては抜取りで順次検査することが望ましい。例えば、フ
ラットパッケージ型電子回路部品のリード線が接合され
る箇所であって、極めて小さいピッチで塗布されたクリ
ーム半田３８４は全て検査されるが、それ以外の印刷ス
ポットに印刷されたクリーム半田３８４であって、印刷
不良が多少生じても支障がないクリーム半田３８４につ
いては、抜取りで検査される。抜取り検査については、
任意の印刷スポットに印刷されたクリーム半田３８４を
選択してもよいし、例えば、スキージの移動方向に直交
する向きに伸びる領域内に印刷されたものを選択するよ
うにしてもよい。後者の場合には、スキージの吐出口形
成部材１６２の欠けを検出することが容易となる。
【０１７０】次に、第一電子回路部品装着機１８の現況
推定作業について説明する。監視装置２８は、上記第一
電子回路部品装着機１８から伝達された監視対象部たる
フィーダ４６６，保持ヘッド５３２（または間欠回転盤
５３０），プリント配線板保持装置４５８に関する情報
および制御データと、第一装着検査機２０により取得さ
れた装着結果たる装着位置ずれおよび各装着位置におけ
る電子回路部品４６８の有無に関連する情報とに基づい
て、第一電子回路部品装着機１８における上記監視対象
部の現在の状況を推定する。さらに、状況の変化傾向を
取得することにより、各監視対象部が予め設定されたし
きい状況を超える限界時期を予測し、限界時期に達すれ
ば、制御データの補正など自動的な処置を行うか、また
はモニタ９０２，報知装置９０６等により作業者に装置
の不具合を解消すべきことを示唆されるとともに、監視
装置２８からの停止指令により第一電子回路部品装着機
１８が自動停止させられる。
【０１７１】例えば、電子回路部品４６８の保持位置ま
たは装着位置の水平方向位置ずれが大きくなった場合
に、その位置ずれがフィーダ４６６，保持ヘッド５３
２，プリント配線板保持装置４５８のいずれの位置ずれ
に起因するものかを推定し、推定された原因を解消する
ように自動的に補正するか、または作業者に報知すると
ともに監視装置２８からの停止指令により第一電子回路
部品装着機１８が自動停止させられ、作業者のメンテナ
ンスが施されることにより、電子回路部品装着機１８の
装着精度が良好に維持される。
【０１７２】まず、水平方向保持位置ずれΔＸEn，ΔＹ
En（以下、単に保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnと称する）
が大きくなる場合について説明する。保持位置ずれΔＸ
En，ΔＹEnが大きくなる原因としては、フィーダ４６６
の部品供給位置がずれることと、保持ヘッド５３２の部
品受け取り位置における位置決め位置がずれることとの
少なくとも一方が考えられる。ここで、保持ヘッド５３
２の部品受け取り位置がずれていることに起因して保持
位置ずれΔＸEn，ΔＹEnが生じたと仮定すると、その場
合には、一般に電子回路部品４６８の装着位置ずれΔＸ
n，ΔＹnも比較的大きくなると考えられる。保持ヘッド
５３２の部品受け取り位置の位置ずれは、保持ヘッド５
３２を保持する間欠回転盤５３０の回転停止位置の位置
ずれに起因して生じるのであり、その場合には、他の回
転停止位置についても位置ずれが生じる可能性が高く、
保持ヘッド５３２の部品装着位置もずれてしまう。した
がって、保持姿勢検出位置において保持位置ずれΔＸE
n，ΔＹEnが検出され、それに基づいてプリント配線板
保持装置４５８の装着位置が補正された上で電子回路部
品４６８が装着されたにもかかわらず装着位置ずれΔＸ
n，ΔＹnが大きいと判定されたならば、保持ヘッド５３
２の回転停止位置がずれていると言える。
【０１７３】それに対して、大きな保持位置ずれΔＸE
n，ΔＹEnが検出されているにもかかわらず、電子回路
部品４６８の装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが十分に小さい
ならば、今回検出された保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEn
は、フィーダ４６６の部品供給位置ずれに起因するもの
と考えられる。保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnが、間欠回
転盤５３０の回転停止位置の位置ずれに起因するもので
ないならば、保持姿勢検出位置において検出された保持
位置ずれΔＸEn，ΔＹEnに合わせて、プリント配線板保
持装置４５８の装着位置を補正することにより、装着位
置ずれΔＸn，ΔＹnを小さくすることができるはずであ
る。したがって、保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnが大き
く、装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが小さいならば、フィー
ダ４６６の部品供給位置ずれに起因して保持位置ずれΔ
ＸEn，ΔＹEnが生じていると推定することができる。こ
のように、第一電子回路部品装着機１８から供給される
保持位置ずれデータと第一装着検査機２０から供給され
る装着位置ずれデータとを組み合わせることにより、保
持位置ずれの原因を推定し、その原因に対応した処置を
行うことができる。以下、図３２に示すフローチャート
に基づいて具体的に説明する。
【０１７４】まず、Ｓ４１において、第一電子回路部品
装着機１８の部品保持姿勢検出位置において検出された
電子回路部品４６８の吸着ノズル５６０に対する水平方
向保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnが取得される。この水平
方向保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnは、複数の電子回路部
品４６８、例えば、設定枚数のプリント配線板１２に装
着される全電子回路部品４６８についての平均的な値と
されることが望ましい。次にＳ４２において、前回また
は設定回数前に取得された水平方向保持位置ずれΔＸEn
-1，ΔＹEn-1が呼び出されて、今回の保持位置ずれΔＸ
En，ΔＹEnとの差が保持位置ずれの変化量として取得さ
れる。
【０１７５】次にＳ４３において、第一装着検査機２０
において検出された、電子回路部品４６８のプリント配
線板１２に対する装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが取得され
る。この装着位置ずれΔＸn，ΔＹnも、複数の電子回路
部品４６８、例えば、設定枚数のプリント配線板１２に
装着される全電子回路部品４６８についての平均的な値
とされることが望ましい。本監視装置２８においては、
第一電子回路部品装着機１８により検出された電子回路
部品４６８の保持姿勢に関連する情報が、その電子回路
部品４６８を供給したフィーダ４６６のフィーダコード
と、吸着した吸着ノズル５６０のノズルコードと、その
吸着ノズル５６０を保持して水平方向移動させた保持ヘ
ッド５３２のヘッドコードと共に記憶されており、その
吸着ノズル５６０により運ばれた電子回路部品４６８の
プリント配線板１２上における装着位置ずれΔＸn，Δ
Ｙnのデータもそれらデータと関連付けて記憶される。
したがって、水平方向保持位置ずれΔＸEn，ΔＹEnと装
着位置ずれΔＸn，ΔＹnとは、同じ電子回路部品４６８
（複数）についてのものが演算可能である。次に、装着
位置ずれの変化量が取得される。前回または設定回数前
に取得された装着位置ずれΔＸn-1，ΔＹn-1に対する今
回の装着位置ずれΔＸn，ΔＹnの差が装着位置ずれの変
化量として取得される（Ｓ４４）。
【０１７６】続いてＳ４５において、保持位置ずれのし
きい状況が呼び出される。保持位置ずれのしきい状況
は、吸着ノズル５６０により電子回路部品４６８を吸着
する際に、吸着ノズル５６０の吸着面５７２が電子回路
部品４６８の被吸着面からはみ出さない大きさの位置ず
れに設定されている。次に、Ｓ４６において、しきい状
況と今回検出された保持位置ずれとの差が取得され、そ
の差と前述の保持位置ずれの変化量とに基づいて、現時
点からしきい状況に達するまでの時間で表される限界時
期が演算される。限界時期は保持位置ずれが検出される
毎に演算され、操作盤９００のモニタ９０２に表示され
る。次にＳ４７において、限界時期が０以下となったか
否か、すなわち、保持位置ずれがしきい状況を超えたか
否かが判断される。演算された限界時期が０より大きい
場合には、Ｓ４７の判定がＮＯとなり本プログラムの１
回の実行が終了する。それに対して限界時期が０以下で
あれば、Ｓ４７の判定がＹＥＳとなり、Ｓ４８に進んで
装着位置ずれが規定値より大きいか否かが判定される。
なお、規定値は、後述する装着位置ずれのしきい状況と
は無関係に設定することもできるが、しきい状況と同じ
か、それ以下の値とすることが望ましい。
【０１７７】装着位置ずれが規定値より大きいならば、
Ｓ４８における判定がＹＥＳとなり、Ｓ４９に進む。前
述のように、保持位置ずれと装着位置ずれとの両方が大
きいならば、保持ヘッド５３２の回転停止位置がずれて
いると推定されるので、その位置ずれに対応するよう
に、フィーダ４６６の移動の制御データが補正される。
具体的には、保持ヘッド５３２の位置ずれの向きおよび
大きさに従って、フィーダ４６６の停止位置を全体的に
移動させる補正が行われる。
【０１７８】次にＳ５０において、前回保持ヘッド５３
２の位置ずれに起因して制御データが補正されてからの
補正間隔ｔｆ1が取得され、その間隔が予め定められた
設定間隔Ｔｆ1より短いか否かが問われる。前回Ｓ４９
が実行されてから、今回Ｓ４９が実行されるまでの補正
間隔ｔｆ1が予め定められた設定間隔Ｔｆ1より長い場合
には、Ｓ５０の判定がＮＯとなり、本プログラムの１回
の実行が終了する。それに対して、補正間隔ｔｆ1が設
定間隔Ｔｆ1以下である場合には、Ｓ５０の判定がＹＥ
Ｓとなり、Ｓ５１に進んでフィーダの補正間隔ｔｆ1が
短くなったことがモニタ９０２および報知装置９０６に
より作業者に報知されるとともに、監視装置２８からの
停止指令により第一電子回路部品装着機１８が自動停止
させられる。作業者は、モニタ９０２の表示に従って、
フィーダ４６６、特に部品供給テーブル移動装置４７６
の検査等を行う。以上で本プログラムの１回の実行が終
了する。
【０１７９】前記Ｓ４８の判定時に、装着位置ずれが前
記規定値以下であれば、判定がＮＯとなり、Ｓ５２に進
んでフィーダ４６６の位置ずれを解消するように部品供
給テーブル移動装置４７６の制御データが補正される。
前述のように、保持位置ずれが大きいが装着位置ずれが
十分に小さいならば、フィーダ４６６の部品供給位置の
位置ずれに起因して保持位置ずれが生じていると推定さ
れる。このフィーダ４６６の位置ずれは、部品供給テー
ブル移動装置４７６を構成する各要素の熱膨張等の変形
による可能性が高く、その場合には、ボールねじ４７０
の支持台駆動用モータ４７２に近い部分と遠い部分とで
位置ずれ量が異なる傾向となる。このような位置ずれを
解消するために、前述のＳ４９における補正とは異な
り、位置ずれの大きい部分のみ補正される。位置ずれの
十分に小さい部位には影響が出ないように、部品供給テ
ーブル移動装置４７６の制御データが補正されるのであ
る。
【０１８０】さらにＳ５３およびＳ５４に進んで、前回
Ｓ５２が実行されてから今回Ｓ５２が実行されるまでの
補正間隔ｔｆ2が、予め設定された設定間隔Ｔｆ2以下で
あるか否かが判定され、設定間隔Ｔｆ2以下であれば報
知装置９０６により作業者に報知されるとともに、監視
装置２８からの停止指令により第一電子回路部品装着機
１８が自動停止させられる。以上で本プログラムの１回
の実行が終了する。本プログラムによれば、電子回路部
品４６８の保持位置ずれがしきい状況を超えた場合に、
それら電子回路部品４６８の装着位置ずれに関する情報
と組み合わせることにより、保持位置ずれの原因を推定
し、その原因に応じて部品供給テーブル移動装置４７６
の制御データを補正することにより保持位置ずれを適正
に解消することができる。
【０１８１】次に、水平方向装着位置ずれΔＸn，ΔＹn
（以下、単に装着位置ずれと称する）が大きくなる原因
について考える。装着位置ずれΔＸn，ΔＹnは主に保持
ヘッド５３２の回転停止位置ずれか、または、プリント
配線板保持装置４５８の位置ずれに起因すると考えられ
る。そこで、保持ヘッド５３２の回転停止位置ずれに起
因して装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが生じたと仮定する
と、その装着位置ずれΔＸn，ΔＹnは１つのプリント配
線板１２上においてほぼ均一の傾向を示すはずである。
前述のように、回転停止位置ずれは、全ての保持ヘッド
５３２についてほぼ同じ傾向となり、具体的には、プリ
ント配線板１２上のいずれの位置であっても、保持ヘッ
ド５３２の部品装着位置近傍における旋回軌跡に対する
接線にほぼ平行な方向（図１４においてＸ軸方向）に一
定量ずつずれるはずである。それに対して、プリント配
線板保持装置４５８の位置ずれに起因して装着位置ずれ
ΔＸn，ΔＹnが生じる場合には、１つのプリント配線板
１２上において装着位置ずれΔＸn，ΔＹnの傾向が異な
るはずである。プリント配線板保持装置４５８を水平方
向に移動させるＸＹテーブル４８４のボールねじ４９
０，４９８等が熱膨張等により変形すれば、それらボー
ルねじ４９０，４９８の駆動源たる駆動用モータ４８
８，４９６に接続されている基端部から遠ざかるほど送
り量の誤差が大きくなるので、プリント配線板１２上の
上記ボールねじ４９０，４９８に沿った方向において、
装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが異なる傾向で生じるのであ
る。
【０１８２】以上の考察に基づき、本実施形態において
は装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが増大すれば、１つのプリ
ント配線板１２について異なる位置に装着された電子回
路部品４６８の装着位置の位置ずれΔＸn，ΔＹnが算出
され、互いに比較される。過去の装着位置ずれデータが
監視装置２８に蓄積されており、任意の選択位置におけ
る複数の電子回路部品４６８についての平均的な電子回
路部品装着位置の位置ずれ方向と量とが、それぞれ過去
の同種のデータと比較されることにより、それぞれの位
置における変化傾向が取得される。
【０１８３】電子回路部品４６８の装着位置ずれの変化
傾向が取得された結果、一つのプリント配線板１２に装
着されたすべての電子回路部品４６８について装着位置
ずれの傾向が均一である場合には、その装着位置ずれが
保持ヘッド５３２の位置ずれ、すなわち間欠回転盤５３
０の回転停止位置ずれに起因すると推定され、装着位置
ずれの傾向が異なる場合には、プリント配線板保持装置
４５８の位置ずれに起因すると推定される。このよう
に、装着位置ずれの原因を推定するとともに、上記変化
傾向を取得することにより、位置ずれ量がしきい状況を
超えたならば、上記保持位置ずれにおける場合と同様
に、原因に応じてＸＹテーブル４８４の制御データが補
正され、装着位置ずれが解消される。以下、図３３に示
すフローチャートに基づいて説明する。
【０１８４】まず、Ｓ６０ないしＳ６３において装着位
置ずれΔＸn，ΔＹnが取得され、それにより求められる
変化量と予め設定されたしきい状況とに基づいて限界時
期が取得される。上記装着位置ずれΔＸn，ΔＹnは、複
数の電子回路部品４６８、例えば、設定枚数のプリント
配線板１２に装着される全電子回路部品４６８について
の平均的な値とされることが望ましい。次にＳ６４にお
いて限界時期が０以下となったと判定されれば、Ｓ６５
に進んでプリント配線板１２の複数の電子回路部品装着
位置のうち、互いに隔たったもの同士の装着位置ずれΔ
Ｘn，ΔＹnが互いに比較される。本実施形態において
は、１つのプリント配線板１２上に装着された全ての電
子回路部品４６８について装着位置ずれΔＸn，ΔＹnが
取得されるが、その中で特に対角線に沿った方向に互い
に最も離れた電子回路部品装着位置同士における複数ず
つの電子回路部品４６８の平均的な装着位置ずれが比較
される。それら互いに最も離れた位置の装着位置ずれの
差が、予め設定された規定値より大きい場合に、そのプ
リント配線板１２について電子回路部品４６８の装着位
置ずれが異なる傾向で生じていると推定することができ
る。なお、装着位置ずれの傾向を見るのに、別の位置の
組み合わせであってもよく、具体的には、Ｘ軸方向とＹ
軸方向とのそれぞれにおいてできる限り離れた電子回路
部品同士の装着位置ずれを比較すればよい。その場合に
は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との少なくとも一方について、
装着位置ずれの差が規定値より大きいならば、装着位置
ずれが異なる傾向で生じていると推定する。
【０１８５】装着位置ずれの差が規定値より大きい場合
には、Ｓ６５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６６に進んでＸ
Ｙテーブル４８４の制御データが補正される。前述のよ
うに、１つのプリント配線板１２上において場所によっ
て装着位置ずれの傾向が異なる場合には、ＸＹテーブル
４８４の熱膨張等による変形に起因して装着位置ずれが
生じると推定されるので、装着位置ずれの傾向に従っ
て、装着位置ずれの大きい部位では補正され、装着位置
ずれの十分に小さい部位には影響が出ないように、ＸＹ
テーブル４８４の制御データが補正される。さらにＳ６
７ないしＳ６８に進んで、前回Ｓ６６が実行されてから
今回Ｓ６６が実行されるまでの補正間隔ｔ 1が取得さ
れ、その補正間隔ｔ1が予め設定された設定補正間隔Ｔ1
より短ければ作業者に報知され、監視装置２８からの停
止指令により第一電子回路部品装着機１８が自動停止さ
せられる。以上で本プログラムの１回の実行が終了す
る。
【０１８６】それに対して、前記装着位置ずれの差が規
定値以下である場合には、Ｓ６５の判定がＮＯとなり、
Ｓ６９に進む。装着位置ずれの傾向がほぼ均一であれ
ば、保持ヘッド５３２の回転停止位置ずれに起因して装
着位置ずれが生じたと推定されるので、ＸＹテーブル４
８４の位置決め位置が、保持ヘッド５３２の停止位置ず
れに合わせて変更されるように制御データが一斉に補正
される。具体的には、ＸＹテーブル４８４の各装着位置
に、今回の装着位置ずれを解消する値が加算されて新し
い装着位置として設定される。さらにＳ７０ないしＳ７
１に進んで、前回Ｓ６９が実行されてから今回Ｓ６９が
実行されるまでの補正間隔ｔ2が取得され、その補正間
隔ｔ2が予め設定された設定補正間隔Ｔ2より短ければ作
業者に報知されるとともに、監視装置２８からの停止指
令により第一電子回路部品装着機１８が自動停止させら
れる。以上で本プログラムの１回の実行が終了する。
【０１８７】なお、上記第一電子回路部品装着機１８
は、基準マークカメラ５１０を備え、プリント配線板１
２の表面に設けられた基準マーク５０８を撮像してプリ
ント配線板１２の水平方向位置を確認して、ＸＹテーブ
ル４８４による保持位置誤差を補正しつつ電子回路部品
４６８を装着するので、プリント配線板１２のＸＹテー
ブル４８４による保持位置誤差に起因して電子回路部品
装着位置の位置ずれが生じる可能性は無視できるほど小
さいと言える。
【０１８８】さらに、本実施形態においては、プリント
配線板１２上の部品の有無を検査して、第一電子回路部
品装着機１８の異常を推定する。第一装着検査機２０の
画像データに基づいて装着されるべき電子回路部品４６
８が装着されていない（以下、「装着部品がない」と言
う）ことが検出されれば、そのプリント配線板１２を不
良品であるとして図示しない排除装置により排除し、そ
の電子回路部品４６８を吸着保持した吸着ノズル５６０
について異常が生じたと推定する。以下、図３４に示す
フローチャートに基づいて具体的に説明する。本プログ
ラムは、電子回路製造システム１０が稼働している間
は、繰り返し実行される。
【０１８９】監視対象部としての各吸着ノズル５６０に
ついて、本実施形態においては検査装置たる第一装着検
査機２０により電子回路部品４６８の有無が検査される
前に、作業機たる第一電子回路部品装着機１８の前記保
持姿勢検出位置において各保持ヘッド５３２に電子回路
部品４６８が良好に保持されているか否かが検出され、
監視対象部に関連する情報の一部として監視装置２８に
伝達される。
【０１９０】まず、Ｓ８０において、予め蓄積された監
視対象部の情報のうち、今回検査すべき吸着ノズル５６
０についての情報が呼び出され、保持姿勢検出位置にお
いて電子回路部品４６８が保持されていたか否かが問わ
れる。保持姿勢検出位置において電子回路部品４６８が
保持されていない（以下、「保持部品がない」という）
ならば、Ｓ８０の判定がＮＯとなり、Ｓ８１に進んで、
その保持ヘッド５３０に部品受取り位置において電子回
路部品４６８を供給したフィーダ４６６について、電子
回路部品４６８があるか否かが問われる。
【０１９１】具体的には、今回保持部品がないことが検
出される直前に、同じフィーダ４６６から電子回路部品
４６８を受け取った吸着ノズル５６０について電子回路
部品保持姿勢の検査結果が呼び出される。その吸着ノズ
ル５６０についても保持されるべき電子回路部品４６８
がなければ、フィーダ４６６に電子回路部品４６８がな
いことに起因して保持部品がないと推定される。この場
合には、Ｓ８１の判定がＮＯとなり、Ｓ８２に進んで報
知装置９０２により作業者にフィーダ４６６の交換を行
うべきことが報知されるとともに、監視装置２８からの
停止指令により第一電子回路部品装着機１８が自動停止
させられ、本プログラムの１回の実行が終了する。各フ
ィーダ４６６の電子回路部品４６８の残量は、制御装置
６７２または監視装置２８により監視されており、残量
が０となる前に部品供給テーブル４６０，４６２が部品
供給位置へ退避させられてテープ化電子回路部品がスプ
ライシング等により補給されるはずである。しかし、計
数が誤っていた等何らかの理由により供給すべき電子回
路部品４６８がなくなることがあり、その場合に比較的
早い時期に作業者に報知されるとともに、監視装置２８
からの停止指令により第一電子回路部品装着機１８が自
動停止させられる。
【０１９２】それに対して、前回、吸着ノズル５６０に
おいて電子回路部品４６８が保持されていたならば、Ｓ
８１の判定がＹＥＳとなり、Ｓ８３に進む。この場合に
は、今回保持部品がないことが検出された吸着ノズル５
６０が、吸着力の低下等に起因して、電子回路部品４６
８の受け取りに失敗したと推定される。吸着ノズル５６
０は、ちりやゴミを吸い込むことにより吸着力が低下す
ることがある。本実施形態においては、監視装置２８に
より各吸着ノズル５６０の使用回数Ｃｎが計測されてお
り、各吸着ノズル５６０の使用回数Ｃｎが予め設定され
た設定清掃間隔Ｔc（使用回数で設定される）を超えれ
ば、加圧空気の噴出等により自動的に吸着ノズル５６０
の清掃が行われるようにされている。したがって、吸着
ノズル５６０がゴミを吸い込むことにより吸引力が大幅
に低下する可能性は低いが、前述のように吸引力が低下
したと推定されれば、Ｓ８３において、前回清掃が実行
されてからの吸着ノズル５６０の使用回数にかかわらず
清掃を行うことが指示される。Ｓ８４において、その吸
着ノズル５６０について、前回清掃が行なわれてから今
回清掃が行われるまでの清掃間隔、すなわち使用回数Ｃ
ｎが呼び出され、その使用回数Ｃｎが予め設定された下
限値Ｃminより大きいか否かが問われる。使用回数Ｃｎ
が下限値Ｃminより小さい場合には、Ｓ８４の判定がＮ
Ｏとなり、Ｓ８５に進んで吸着ノズル５６０の目詰まり
の頻度が異常に高いとして作業者に報知されるととも
に、監視装置２８からの停止指令により第一電子回路部
品装着機１８が自動停止させられる。以上で本プログラ
ムの１回の実行が終了するが、この場合には、その吸着
ノズル５６０が寿命に達したとして、ノズル４６６の交
換が行なわれることが望ましい。
【０１９３】それに対して、使用回数Ｃｎが前記下限値
Ｃminより長いならば、Ｓ８４の判定がＹＥＳとなり、
Ｓ８６に進んで、今回の使用回数Ｃｎに基づいて前述の
設定清掃間隔Ｔcが修正され、装着作業が継続される。
以上で本プログラムの１回の実行が終了する。なお、本
実施形態においては、吸着ノズル５６０の使用を開始し
てからの使用回数が積算されており、その使用回数が予
め定められた値を超えれば、吸着ノズル５６０が寿命に
達したとして、吸着ノズル５６０の交換を行うように作
業者に報知されるとともに、監視装置２８からの停止指
令により第一電子回路部品装着機１８が自動停止させら
れる。
【０１９４】次に、保持姿勢検出位置において、電子回
路部品４６８が検出されたにもかかわらず、装着部品が
ない場合について説明する。その場合には、装着される
べき電子回路部品４６８は部品保持姿勢検出位置から部
品装着位置までの間に脱落したか、または、一旦プリン
ト配線板１２に接触させられたにもかかわらずそのまま
吸着ノズル５６０により持ち去られたと推定することが
できる。上記Ｓ８０において、保持部品があることが検
出されれば、Ｓ８０の判定がＹＥＳとなりＳ８７に進ん
で、第一装着検査機２０により装着部品の有無が検出さ
れた検出結果が呼び出され、装着部品があるか否かが判
定される。装着部品があるならば、Ｓ８７の判定がＹＥ
Ｓとなり本プログラムの１回の実行が終了する。それに
対して、装着部品がないことが検出されれば、Ｓ８７の
判定がＮＯとなり、Ｓ８８に進んで監視装置２８におい
て、対応する電子回路部品４６８の保持姿勢のデータが
呼び出される。
【０１９５】ここで、電子回路部品４６８が部品保持姿
勢検出位置から部品装着位置まで移動する間に脱落する
場合について考える。本第一電子回路部品装着機１８に
おいては、主に小型の電子回路部品４６８が装着される
ので、電子回路部品４６８の吸着される部分の最も小さ
い寸法に対して、吸着ノズル５６０の吸着面５７２の内
径が半分以上の大きさを有することが稀ではない。その
ため、吸着ノズル５６０の吸着すべき電子回路部品４６
８に対する水平方向位置がずれれば、吸着ノズル５６０
が部分的に電子回路部品４６８からはみ出した状態で電
子回路部品４６８に当接したり、吸着するのに適さない
形状の部分に当接することにより、比較的弱い吸着力で
電子回路部品４６８を吸着することがある。このような
場合に、電子回路部品４６８が部品保持姿勢検出位置に
おいて撮像されたにもかかわらず、部品保持姿勢検出位
置から部品装着位置へ移動する間に脱落したと推定する
ことができる。したがって、Ｓ８９において、部品保持
姿勢検出位置における画像データの解析結果のデータに
基づいて、吸着ノズル５６０が電子回路部品４６８を吸
着すべき吸着位置に対して大きくずれた状態で吸着保持
していたか否かが判定され、判定がＹＥＳであれば、吸
着力の不足により電子回路部品４６８が装着前に脱落し
たと推定される。この場合には、Ｓ９０に進んで、モニ
タ９０２および報知装置９０６により電子回路部品４６
８が途中で脱落したことが作業者に報知されるととも
に、監視装置２８からの停止指令により第一電子回路部
品装着機１８が自動停止させられる。以上で本プログラ
ムの１回の実行が終了する。ただし、本実施形態におい
ては、部品保持姿勢の検査により電子回路部品４６８の
吸着ノズル５６０に対する位置ずれが検出され、その位
置ずれが予め設定されたしきい状況を超えれば、前述の
ように、その原因が推定されて、位置ずれを解消するよ
うに制御データが補正されるので、上記のように吸着ミ
スにより電子回路部品４６８が途中で脱落する可能性は
ごく小さい。
【０１９６】一方、保持姿勢検出位置における画像デー
タに異常がないにもかかわらず装着部品がない場合に
は、Ｓ８９の判定がＹＥＳとなり、Ｓ９１においてモニ
タ９０２および報知装置９０６により、作業者に電子回
路部品４６８が持ち去られたことが報知されるととも
に、監視装置２８からの停止指令により第一電子回路部
品装着機１８が自動停止させられる。電子回路部品４６
８を持ち去った吸着ノズル５６０については、負圧が供
給されて電子回路部品４６８を吸着する状態から，大気
に連通させられて電子回路部品４６８を解放する状態へ
の切り換えのタイミングがずれていたり、クリーム半田
等により汚れていたりする異常が生じている可能性があ
り、そのことが作業者に報知されるとともに、監視装置
２８からの停止指令により第一電子回路部品装着機１８
が自動停止させられる。以上で本プログラムの１回の実
行が終了する。
【０１９７】なお、図３４にフローチャートで示す監視
プログラムは、第二電子回路部品装着機２２による装着
部品の有無を監視する監視プログラムとしても使用可能
であり、第二電子回路部品装着機２２の保持ヘッド７３
０に保持された吸着ノズル７８４の状態監視のために使
用される。
【０１９８】以上、作業機たる第一電子回路部品装着機
１８における監視対象部としてのフィーダ４６６，保持
ヘッド５３２，プリント配線板保持装置４５８それぞれ
の位置ずれを推定する位置ずれ推定作業について説明し
たが、この説明は、プリント配線板１２に設けられた基
準マーク５０８を撮像する基準マークカメラ５１０の位
置ずれがないことを前提として行った。基準マークカメ
ラ５１０の位置ずれがあり得る場合には、例えば、特願
２００１−１７２９１５号に記載されているように、導
光装置を用いて基準マークカメラ５１０により吸着ノズ
ル５６０の吸着面５７２を撮像し、基準マークカメラ５
１０の位置ずれを検出，補正することが望ましい。導光
装置および基準マークカメラ５１０の位置ずれ検出作業
については説明を省略する。
【０１９９】さらに、吸着ノズル５６０の曲がりにより
保持位置ずれが生じて吸着力が低下することが考えられ
る。吸着ノズル５６０の曲がりは、例えば、まだ公開さ
れていないが特願２００１−１６８１５５号に記載され
ているものと同様の方法により検出可能である。この検
査についても説明を省略する。
【０２００】次に第二電子回路部品装着機２２の現況推
定作業について説明する。監視装置２８は、第二電子回
路部品装着機２２から伝達された監視対象部たる保持ヘ
ッド７３０およびＸＹ移動装置７６６に関する情報およ
び制御データと、第二装着検査機２４により取得された
装着結果たる装着位置ずれおよび装着部品の有無に関連
する情報とに基づいて、第二電子回路部品装着機２２に
おける上記監視対象部の現況を推定する。具体的には、
第二電子回路部品装着機２２において、保持ヘッド７３
０による電子回路部品４６８の保持位置ずれが検出され
るとともに、第二装着検査機２４により電子回路部品４
６８の装着位置ずれとプリント配線板１２上の装着部品
の有無が検出され、それら検出結果に基づいて第二電子
回路部品装着機２２の現況が推定される。
【０２０１】まず、保持位置および装着位置の位置ずれ
について説明する。第二電子回路部品装着機２２につい
ては、上記保持位置ずれと装着位置ずれとが検査される
ことにより、保持ヘッド７３０が監視される。前述の第
一電子回路部品装着機１８は、フィーダ４６６と保持ヘ
ッド５３２とプリント配線板保持装置４５８とのそれぞ
れが移動して、電子回路部品４６８をプリント配線板１
２に装着するので、保持位置ずれおよび装着位置ずれの
原因となる要素が多様であるのに対して、第二電子回路
部品装着機２２は、保持ヘッド７３０がＸＹ移動装置７
６６により移動させられるが、部品供給装置７１０，７
１２とプリント配線板保持装置７０６とが移動不能であ
るので、保持位置ずれおよび装着位置ずれは保持ヘッド
７３０の位置ずれ、すなわちＸＹ移動装置７６６の熱膨
張等による変形に起因すると考えることができる。さら
に、本実施形態においては、プリント配線板保持装置７
０６により位置決め保持されたプリント配線板１２は、
表面に設けられた基準マーク５０８が撮像されることに
より保持位置誤差が除去されるので、プリント配線板１
２の位置決め誤差を考えずに済む。
【０２０２】以下、図３５に示すフローチャートに基づ
いて説明する。Ｓ１００ないしＳ１０５において、今回
検査すべき電子回路部品４６８の保持位置ずれΔＸEn，
ΔＹEnと装着位置ずれΔＸn，ΔＹnとが取得され、それ
ぞれの変化量が求められるとともに、しきい状況が呼び
出される。本フローチャートにおいても、保持位置ずれ
ΔＸEn，ΔＹEnおよび装着位置ずれΔＸn，ΔＹnは、複
数の電子回路部品４６８、例えば、設定枚数のプリント
配線板１２に装着される全電子回路部品４６８について
の平均的な値とされることが望ましい。Ｓ１０５に続い
て、Ｓ１０６において保持位置ずれと装着位置ずれとの
両方について限界時期が算出され、両者のうち値の小さ
い方が今回の限界時期としてモニタ９０２に表示され
る。Ｓ１０７において、取得された限界時期が０以下で
あるか否かが判定され、限界時期が０より大きければ、
Ｓ１０７の判定がＮＯとなり、本プログラムの１回の実
行が終了する。
【０２０３】それに対して、取得された限界時期が０以
下であれば、Ｓ１０７の判定がＹＥＳとなり、監視対象
部が限界時期を越えたとして、Ｓ１０８においてＸＹ移
動装置７６６の制御データが補正される。Ｓ１０９ない
しＳ１１０において、前述のＳ６７ないしＳ６８におけ
ると同様に、前回制御データが補正されてから今回補正
されるまでの補正間隔ｔ1の長さが問われ、補正間隔ｔ1
が設定間隔Ｔ1より短い場合には、モニタ９０２および
報知装置９０６により作業者に報知されるとともに、監
視装置２８からの停止指令により第二電子回路部品装着
機２２が自動停止させられる。本実施形態においては、
保持位置ずれと装着位置ずれとの両方を監視することに
より、保持ヘッド７３０の位置決め位置のずれを早期に
確実に検出することができ、第二電子回路部品装着機２
２の信頼性の向上を図ることができる。
【０２０４】次に、第二装着検査機２４により装着部品
がないことが検出されれば、そのプリント配線板１２が
不良品であるとして、図示を省略する排除装置により排
除されるとともに、第一電子回路部品装着機１８および
第一装着検査機２０に対すると同様に、第二電子回路部
品装着機２２の状態が推定される。この監視は、図３４
にフローチャートで示す監視プログラムにより実行され
るので、説明を省略する。
【０２０５】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、電子回路製造システム１０が「対回路基
板作業システム」を構成し、マスク印刷機１４と第一電
子回路部品装着機１８と第二電子回路部品装着機２２と
のそれぞれが「作業機」を構成し、印刷状態検査機１６
と第一および第二装着検査機２０，２４のそれぞれが
「検査機」を構成し、監視装置２８の各監視プログラム
を実行する部分のうち、Ｓ５，Ｓ１０，Ｓ１０ａ，Ｓ１
０ｂ，Ｓ１２，Ｓ１５，Ｓ１７，Ｓ２６〜Ｓ２８，Ｓ４
７，Ｓ５０，Ｓ５３，Ｓ６４，Ｓ６７，Ｓ７０，Ｓ８
０，Ｓ８１，Ｓ８４，Ｓ８７，Ｓ８９，Ｓ１０７，Ｓ１
０９等を実行する部分が「処置必要性検出部」を構成し
ている。そのうち特に、作業者による処置の必要性を検
出する作業必要性検出部は、Ｓ１０，Ｓ１０ａ，Ｓ１０
ｂ，Ｓ１２，Ｓ１５，Ｓ１７，Ｓ２８，Ｓ５０，Ｓ５
３，Ｓ６７，Ｓ７０，Ｓ８１，Ｓ８４，Ｓ８７，Ｓ８
９，Ｓ１０９等を実行する部分により構成されている。
【０２０６】本電子回路製造システム１０によれば、各
作業機における監視対象部の情報と、作業結果を検査す
る検査機により取得される情報とに基づいて、監視対象
部の現況を推定し、容易に不良発生の原因究明を行うこ
とができる。各作業機の下流側に検査機を設けることに
より、それぞれの作業機の現況を迅速に推定することが
可能となり、不良が発生した場合に遅滞なく対応するこ
とができる。さらに、過去の情報を蓄積し、参照しつつ
現況を推定することにより、信頼性の向上を図ることが
できる。
【０２０７】本実施形態においては、監視対象部につい
て、作業者による処置が必要になった場合は、少なくと
もその監視対象部を備える作業機の作動を自動停止させ
るとともに、モニタ９０２により処置が必要な監視対象
部を作業者に報知するようにされており、このことによ
り、作業者が直ちに必要な処置を開始することができる
のであるが、作業機を停止させることと、報知装置９０
６により報知することとの少なくとも一方により作業者
に処置が必要になったことを知らせるようにしてもよ
い。
【０２０８】さらに、ある監視対象部について、予め設
定された限界時期を越えて作業者による処置が必要にな
った場合に、近い時期に限界時期に到達し、作業者によ
る処置が必要となることが予測されるものがあれば、そ
の監視対象部についても処置が行われるようにしてもよ
い。このようにすれば、作業機を停止させる頻度が低下
して作業能率の向上を図ることができる。
【０２０９】限界時期は、常に表示されるようにしても
よいが、予め定められた正の値を下回ったとき等、限界
時期に近づいたときに表示されるようにしてもよい。
【０２１０】本実施形態においては、作業機たるマスク
印刷機１４，第一および第二電子回路部品装着機２２
と、検査機たる印刷状態検査機１６，第一および第二装
着検査機２４とが互いに独立して設けられているが、検
査装置は各作業機に一体的に設けられてもよく、その場
合には電子回路製造システム１０全体の省スペース化を
図ることができる。作業結果の検査は、一作業または複
数作業が実行される毎に行なわれるようにしてもよい
し、１枚のプリント配線板１２について各作業機におけ
る全ての作業が終了してから一斉に行われるようにして
もよい。具体的には、マスク印刷機１４において、Ｘ軸
スライド３００に取り付けられ、プリント配線板１２の
基準マークを撮像する基準マークカメラ４４にクリーム
半田３８４を撮像させ、第一および第二電子回路部品装
着機１８，２２において、基準マークカメラ５１０，８
００にプリント配線板１２に装着された電子回路部品４
６８を撮像させるように構成される。
【０２１１】さらに、印刷状態検査機１６の下流側であ
って、第一電子回路部品装着機１８の上流側に、印刷剤
たる接着剤をスポット状に塗布する塗布機と、塗布機に
よる塗布結果を検査する塗布状態検査機を設けてもよ
い。塗布機の一例を図３６，３７に示す。
【０２１２】図３６において、９１０は接着剤塗布機９
１２のベースである。ベース９１０上には、高粘性流体
塗布装置たる接着剤塗布装置９１４，塗布対象材であ
り、回路基板の一種であるプリント配線板１２を搬送
し、位置決め支持する基材搬送支持装置たるプリント配
線板搬送支持装置９１８が設けられている。プリント配
線板搬送支持装置９１８は、Ｘ軸方向（図３６において
は左右方向）に配設された配線板コンベア９２０，配線
板コンベア９２０の途中に設けられたプリント配線板支
持装置（図示省略）および配線板クランプ装置（図示省
略）を有し、プリント配線板１２は配線板コンベア９２
０により搬送されるとともに、予め設定された塗布位置
に位置決めされ、プリント配線板支持装置により支持さ
れるとともに、配線板クランプ装置によりクランプされ
た状態で塗布剤の一種である高粘性流体たる接着剤が塗
布される。
【０２１３】接着剤塗布装置９１４は、塗布ユニット９
３０が互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向の成分を
有する方向に直線移動してプリント配線板１２の電子回
路部品４６８が装着される装着面である表面に接着剤を
塗布するものである。そのため、図３６に示すように、
ベース９１０の配線板コンベア９２０のＹ軸方向におけ
る両側にはそれぞれ、送りねじたるボールねじ９３４が
Ｘ軸方向に平行に設けられるとともに、Ｘ軸スライド９
３６に設けられたナット９３８（図３７参照）の各々に
螺合されており、これらボールねじ９３４がそれぞれ、
Ｘ軸スライド駆動用モータ９４０によって回転させられ
ることにより、Ｘ軸スライド９３６がＸ軸方向に移動さ
せられる。なお、ベース９１０上には、図３７に示すよ
うに、２つのボールねじ９３４の下側にそれぞれ案内部
材たるガイドレール９４２が設けられており、Ｘ軸スラ
イド９３６は被案内部材たるガイドブロック９４４にお
いてガイドレール９４２に摺動可能に嵌合され、移動が
案内される。
【０２１４】Ｘ軸スライド９３６上には、図３６および
図３７に示すように、送りねじたるボールねじ９５０が
Ｙ軸方向に平行であって、軸方向に移動不能かつ回転可
能に設けられるとともに、Ｙ軸スライド９５２がナット
（図示省略）において螺合されている。ボールねじ９５
０がＹ軸スライド駆動用モータ９５６（図３７参照）に
よって回転させられることにより、Ｙ軸スライド９５２
は案内部材たる一対のガイドレール９５８に案内されて
Ｙ軸方向に移動させられる。以上、ナット９３８，ボー
ルねじ９３４，Ｘ軸スライド９３６およびＸ軸スライド
駆動用モータ９４０、およびナット，ボールねじ９５
０，Ｙ軸スライド９５２およびＹ軸スライド駆動用モー
タ９５６等がＸＹロボット９６０を構成している。本実
施形態においてプリント配線板１２は、プリント配線板
支持装置により水平に支持され、表面は水平面であり、
塗布ユニット９３０はＸＹロボット９６０により、プリ
ント配線板１２の表面に平行な一平面である水平面内の
任意の位置へ移動させられる。
【０２１５】Ｙ軸スライド９５２には、プリント配線板
１２に設けられた基準マーク５０８を撮像する基準マー
ク撮像装置９６２が垂直方向下向きに保持されている。
基準マーク撮像装置９６２は、Ｙ軸スライド９５２に相
対移動不能に設けられ、塗布ユニット９３０と一体的に
水平方向に移動可能とされている。
【０２１６】塗布ユニット９３０は、Ｙ軸スライド９５
２上において昇降させられ、プリント配線板１２に接
近，離間させられる。そのため、Ｙ軸スライド９５２に
は、図示しない一対の案内部材たるガイドレールが上下
方向に設けられるとともに、Ｚ軸スライド９７０が図示
しないガイドブロックにおいて摺動可能に嵌合されてお
り、Ｚ軸スライド駆動装置９７２により昇降させられ
る。Ｚ軸スライド駆動装置９７２は、本実施形態におい
ては、流体圧アクチュエータの一種である流体圧シリン
ダたるエアシリンダ９７４を駆動源とし、そのＺ軸スラ
イド９７０に連結されたピストンロッド９７６が伸縮さ
せられることにより、Ｚ軸スライド９７０が昇降させら
れ、Ｚ軸スライド９７０上に設けられた塗布ユニット９
３０がプリント配線板１２の表面に直角な方向に移動さ
せられる。本実施形態においてエアシリンダ９７４は、
ピストンがストロークエンド近傍へ移動した状態におい
てエア室へのエアの供給量を絞る絞り機構を備えてお
り、Ｚ軸スライド９７０は減速しつつ、衝撃少なく停止
させられる。Ｚ軸スライド９７０およびＺ軸スライド駆
動装置９７２は、塗布ユニット９３０と塗布対象材と
を、表面に直角な方向に相対移動させる相対移動装置た
る塗布ユニット昇降装置９７８を構成している。また、
塗布ユニット昇降装置９７８は、塗布ユニット９３０の
構成要素である塗布ノズルを昇降させる塗布ノズル昇降
装置でもある。本実施形態においては、Ｚ軸スライド９
７０は接着剤塗布装置９１４の装置本体を構成し、ＸＹ
ロボット９６０およびＺ軸スライド駆動装置９７２が、
Ｚ軸スライド９７０とプリント配線板１２とを、プリン
ト配線板１２の表面である表面に平行方向と直角な方向
に相対移動させる相対移動装置を構成している。なお、
塗布ユニット昇降装置９７８は、電動モータの一種であ
るサーボモータを駆動源とする装置とし、塗布ユニット
９３０を、上下方向の任意の位置へ移動させるようにし
てもよい。
【０２１７】上記塗布ユニット９３０は、塗布ノズル，
ノズル回転装置，スクリュポンプ，スクリュ回転装置お
よび塗布剤供給装置の一種である高粘性流体供給装置た
る接着剤供給装置等を備えている。これら塗布ノズル等
の構成については、本出願の出願人の未公開である特願
２０００−３３４３４２号に記載されているものと同じ
であるので図示および詳細な説明を省略する。
【０２１８】プリント配線板１２への接着剤の塗布作業
についても上記特願２０００−３３４３４２号に記載さ
れているものと同じであるので簡単に説明する。プリン
ト配線板１２への接着剤の塗布時には、プリント配線板
１２が配線板コンベア９２０によって搬入され、塗布位
置において停止させられる。そして、配線板支持装置に
よって下方から支持されるとともに、配線板クランプ装
置によりクランプされた状態で塗布ユニット９３０がＸ
Ｙロボット９６０により移動させられ、プリント配線板
１２の接着剤塗布位置に接着剤を塗布する。本実施形態
においては、プリント配線板１２の複数の位置に接着剤
が塗布される。
【０２１９】本接着剤塗布機９１２においては、監視対
象部の一つである塗布ユニット９３０については、接着
剤の吐出圧，吐出時間，吐出温度等が監視対象とされて
おり、別の監視対象部であるＸＹロボット９６０につい
ては、塗布ユニット９３０の位置決めが監視対象とされ
ている。接着剤塗布機９１２の下流側に図示を省略する
塗布状態検査機が配設される。この塗布状態検査機は、
前記印刷状態検査機１６と同様に構成され、作業につい
ても同じであるので図示および説明を省略する。
【０２２０】本態様においても、接着剤塗布機９１２か
ら監視装置２８に上記各監視対象部の情報が伝達される
とともに、塗布状態検査機から検査結果の情報が伝達さ
れ、それら情報に基づいて監視対象部の現況と変化傾向
とが推定される。実際に塗布された接着剤の塗布位置お
よび塗布量と、吐出圧，吐出時間，吐出温度等の現況と
変化傾向とに基づいて、予め設定されたしきい状況を超
える限界時間が算出され、少なくとも１つの監視対象部
について限界時間を超えれば、制御データが自動的に補
正される。
【０２２１】以上、本発明の２，３の実施形態を詳細に
説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記
〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識
に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である電子回路製造システ
ムを概念的に示すブロック図である。
【図２】上記システムにおけるマスク印刷機を示す正面
図である。
【図３】図３７のマスク印刷機の要部を抜き出して示す
正面図である。
【図４】上記マスク印刷機を示す平面図である。
【図５】図４の要部を示す平面図である。
【図６】上記マスク印刷機を示す側面図である。
【図７】上記マスク印刷機の印刷ヘッドを抜き出して示
す側面図（一部断面）である。
【図８】上記マスク印刷機の洗浄装置を抜き出して示す
側面図である。
【図９】上記マスク印刷機の別の要部を抜き出して示す
正面図である。
【図１０】上記マスク印刷機の制御装置を示すブロック
図である。
【図１１】前記システムにおける印刷状態検査機を示す
正面図である。
【図１２】上記印刷状態検査機の要部を抜き出して示す
正面図である。
【図１３】上記印刷状態検査機の制御部を示すブロック
図である。
【図１４】前記システムにおける第一電子回路部品装着
機を示す平面図である。
【図１５】上記第一電子回路部品装着機における装着装
置を示す側面図（一部断面）である。
【図１６】上記第一電子回路部品装着機の停止位置を説
明するための図である。
【図１７】上記第一電子回路部品装着機の装着ヘッド回
転装置を示す側面図（一部断面）である。
【図１８】上記装着ヘッドの吸着ノズルを示す側面断面
図である。
【図１９】上記装着ヘッドに保持された電子回路部品を
撮像する部品撮像装置を示す側面図（一部断面）であ
る。
【図２０】前記第一電子回路部品装着機の制御装置を示
すブロック図である。
【図２１】前記システムにおける第一および第二装着検
査機を示す平面図である。
【図２２】上記装着検査機の制御装置を示すブロック図
である。
【図２３】前記システムにおける第二電子回路部品装着
機を示す平面図である。
【図２４】上記第二電子回路部品装着機を示す側面図で
ある。
【図２５】上記第二電子回路部品装着機の要部を抜き出
して示す側面図（一部断面）である。
【図２６】上記第二電子回路部品装着機を示す正面図で
ある。
【図２７】上記第二電子回路部品装着機の制御装置を示
すブロック図である。
【図２８】前記システムにおける監視装置を示すブロッ
ク図である。
【図２９】前記マスク印刷機を監視する監視プログラム
の一部を示すフローチャートである。
【図３０】上記監視プログラムの別の部分を示すフロー
チャートである。
【図３１】前記マスク印刷機の別の監視プログラムを示
すフローチャートである。
【図３２】前記第一電子回路部品装着機を監視する監視
プログラムを示すフローチャートである。
【図３３】前記第一電子回路部品装着機を監視する別の
監視プログラムを示すフローチャートである。
【図３４】前記第一電子回路部品装着機を監視するさら
に別の監視プログラムを示すフローチャートである。
【図３５】前記第二電子回路部品装着機を監視する監視
プログラムを示すフローチャートである。
【図３６】前記システムとは別の態様である電子回路製
造システムに設けられた接着剤塗布機を示す平面図であ
る。
【図３７】上記接着剤塗布機を示す側面図（一部断面）
である。
【符号の説明】
１０：電子回路製造システム １２：プリント配線
板 １４：マスク印刷機 １６：印刷状態検査
機 １８：第一電子回路部品装着機 ２０：第
一装着検査機 ２２：第二電子回路部品装着機
２４：第二装着検査機 ２８：監視装置 ８
４：Ｘ軸方向用押圧装置付位置調節装置 ８６：Ｙ軸方向用押圧装置付位置調節装置 ８８：
Ｘ軸方向位置調節装置 ９０：Ｘ軸方向押圧装置
１０６：Ｙ軸方向位置調節装置 １０８：Ｙ軸
方向押圧装置 １３４：印刷ヘッド １３６：
印刷ヘッド昇降用エアシリンダ １３８：接触荷重
調節用エアシリンダ １４４：荷重センサ １
７０：押出プレート １７２：押出用エアシリンダ １８０：押出圧力センサ １８２：制御装置
２０４：洗浄装置 ３８２：２次元撮像装置 ４００：制御装置
４０２：画像処理装置 ４５４：部品供給装置 ４５６：部品装着装置
４５８：プリント配線板保持装置 ４６６：フィ
ーダ ４６８：電子回路部品 ４８４：ＸＹテ
ーブル ５０８：基準マーク ５１０：基準マ
ークカメラ ５３０：間欠回転盤 ５３２：保持ヘッド ５
６０：吸着ノズル ５６２：部品装着ユニット ５７６：方向切換弁
５８０，５８２：ヘッド昇降装置 ６５０，６
５２：部品カメラ ６５４：導光装置 ６５６：照明装置 ６５８：撮像装置 ６６
０：制御装置 ７３０：保持ヘッド ７６６：
ＸＹ移動装置 ７７０：ヘッド昇降装置 ７７２：回転装置 ７７４：部品装着ユニット
８００：基準マークカメラ ８１０：撮像装置
８１２：部品カメラ ８５０：制御装置
８８０：検査用カメラ ８９０：制御装置 ９
００：操作盤 ９０２：モニタ ９０４：キーボード ９０
６：報知装置 ９１２：接着剤塗布機 ９６
０：ＸＹロボット ９７０：Ｚ軸スライド

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 回路基板に対して予め定められた作業を
    行うとともに、１つ以上の監視対象部に関する対象部情
    報を供給可能な１台以上の作業機と、 その１台以上の作業機により行われた作業の結果を検出
    する１つ以上の検出装置と、 その１つ以上の検出装置の検出結果と前記１台以上の作
    業機から供給される対象部情報とに基づいて、前記１つ
    以上の監視対象部の状態を監視する監視装置とを含む対
    回路基板作業システム。
  2. 【請求項２】 前記監視装置が、前記１つ以上の監視対
    象部の１つ以上が前記予め定められた作業の不良原因と
    なる前に、その１つ以上の監視対象部に対する処置が必
    要になったことを検出する処置必要性検出部を備えた請
    求項１に記載の対回路基板作業システム。
  3. 【請求項３】 前記１つ以上の作業機が、前記回路基板
    に電気部品を装着する電気部品装着機を含み、 前記監視対象部が、前記電気部品を保持して前記回路基
    板に装着する装着ヘッドと、その装着ヘッドと前記回路
    基板を保持する基板保持装置とを相対移動させる相対移
    動装置と、前記電気部品を供給する部品供給装置との少
    なくとも１つを含む請求項１または２に記載の対回路基
    板作業システム。
  4. 【請求項４】 前記監視対象部が前記装着ヘッドを複数
    含み、それら装着ヘッドが各々吸着ノズルにより負圧で
    電子回路部品を吸着して保持するものであり、前記電子
    回路部品装着機が、前記吸着ノズルによる前記電子回路
    部品の保持位置誤差を検出する保持位置誤差検出装置を
    含み、前記結果検出装置が、前記回路基板に装着された
    前記電子回路部品の装着位置誤差を検出する装着位置誤
    差検出装置を含み、前記監視装置が、前記保持位置誤差
    検出装置により検出された保持位置誤差と前記装着位置
    誤差検出装置により検出された装着位置誤差との両方に
    基づいて前記監視対象部の状況を推定する状況推定部を
    含む請求項３に記載の対回路基板作業システム。
  5. 【請求項５】 前記監視対象部が前記装着ヘッドを複数
    含み、それら装着ヘッドが各々吸着ノズルにより負圧で
    電子回路部品を吸着して保持するものであり、前記電子
    回路部品装着機が、前記監視装置に、前記回路基板に装
    着されたかまたは装着されるべくして装着されなかった
    前記電子回路部品の各々が前記複数の吸着ノズルのいず
    れにより装着されたかまたは装着されるべきであったか
    の情報であるノズル情報を供給するノズル情報供給部を
    備え、前記監視装置が、少なくともそのノズル情報に基
    づいて前記複数の吸着ノズルの各々を監視する請求項３
    または４に記載の対回路基板作業システム。
  6. 【請求項６】 前記監視対象部が前記部品供給装置を含
    み、その部品供給装置が、前記電子回路部品をそれぞれ
    １種類ずつ収容し、予め定められた部品供給部から１個
    ずつ順次供給する複数のフィーダを備え、前記電子回路
    部品装着機が、前記監視装置に、前記回路基板に装着さ
    れた前記電子回路部品の各々が前記複数のフィーダのい
    ずれから供給されたかの情報であるフィーダ情報を供給
    するフィーダ情報供給部を備え、前記監視装置が、少な
    くともそのフィーダ情報に基づいて前記複数のフィーダ
    の各々を監視する請求項３ないし５のいずれかに記載の
    対回路基板作業システム。
  7. 【請求項７】 前記監視対象部が前記相対移動装置を含
    み、その相対移動装置が前記装着ヘッドと前記基板保持
    装置との相対位置決めデータを補正する位置決めデータ
    補正部を備え、前記監視装置が、その位置決めデータ補
    正部に前記位置決めデータを補正すべき旨の位置決めデ
    ータ補正指令を発する位置決めデータ補正指令部と、そ
    の位置決めデータ補正指令の発令間隔を監視する補正指
    令発令間隔監視部とを含む請求項３ないし６のいずれか
    に記載の対回路基板作業システム。
  8. 【請求項８】 前記１つ以上の作業機が、前記回路基板
    に前記電気部品を仮止めするための高粘性流体を塗布す
    る高粘性流体塗布機であって、スクリーンに形成された
    複数の貫通穴を経て前記高粘性流体を前記回路基板に印
    刷するスクリーン印刷機を含み、 前記監視対象部が、前記スクリーンと、そのスクリーン
    の表面に平行な方向の位置を調節する位置調節装置と、
    前記スクリーン上を移動して前記高粘性流体を前記複数
    の貫通穴に充填するスキージ装置との少なくとも一つを
    含む請求項１ないし７のいずれかに記載の対回路基板作
    業システム。
  9. 【請求項９】 前記１つ以上の作業機が、前記回路基板
    に前記電気部品を仮止めするための高粘性流体を塗布す
    る高粘性流体塗布機であって、 前記回路基板を位置決めして保持する基板保持装置と、 その基板保持装置に保持された前記回路基板の予め定め
    られた複数の位置に前記高粘性流体をスポット状に塗布
    する塗布ヘッドと、 その塗布ヘッドと前記回路基板保持装置とを相対移動さ
    せる相対移動装置とを含み、前記監視対象部が前記基板
    保持装置、前記塗布ヘッドおよび前記相対移動装置の少
    なくとも一つを含むディスペンサを含む請求項１ないし
    ３のいずれかに記載の対回路基板作業システム。
  10. 【請求項１０】 前記監視装置が、前記監視対象部の少
    なくとも１つについての前記対象部情報の過去のデータ
    と現在のデータとに基づいてに前記監視対象部に対して
    処置が必要になる時期を予測する要処置時期予測部を含
    む請求項１ないし９のいずれかに記載の対回路基板作業
    システム。
  11. 【請求項１１】 前記監視装置が、 前記要処置時期予測部の予測に基づいて前記作業機に対
    して前記１つ以上の監視対象の少なくとも１つに処置指
    令を発する処置指令部と、 その処置指令部により前記少なくとも１つの監視対象の
    同じものに対して相前後して処置指令が発せられた間隔
    である処置指令間隔を監視する処置指令間隔監視部とを
    含む請求項１０に記載の対回路基板作業システム。
  12. 【請求項１２】 前記監視装置が、 前記１台以上の作業機の少なくとも１台の、前記１つ以
    上の監視対象の少なくとも１つに関連して為されるべき
    処置指令を発する処置指令部と、 その処置指令部の処置指令の実行により得られた効果を
    取得する効果取得部と、 その効果取得部により取得された効果が設定効果より少
    ない場合に、前記処置指令が不適切なものであったと判
    定する判定部とを含むを含む請求項１ないし１１のいず
    れかに記載の対回路基板作業システム。
  13. 【請求項１３】 前記監視装置が、前記１台以上の作業
    機の少なくとも１台の、前記１つ以上の監視対象の少な
    くとも１つに関連する制御データの補正を指令する補正
    指令部と、 その補正指令部の指令に基づく前記制御データの補正が
    許容限界に達した場合に、前記作業機のオペレータに、
    その作業機の前記制御データに関連する部分をチェック
    すべきことを示唆するチェック示唆部とを含む請求項１
    ないし１２のいずれかに記載の対回路基板作業システ
    ム。
  14. 【請求項１４】 前記１つ以上の作業機が、前記回路基
    板に前記電気部品を仮止めするための高粘性流体を塗布
    する高粘性流体塗布機を含み、かつ、前記監視装置が、 前記高粘性流体塗布機の前記１つ以上の監視対象の少な
    くとも１つに関連して為されるべき処置指令を発する処
    置指令部と、 その処置指令部の処置指令の実行により得られた効果を
    取得する効果取得部と、 その効果取得部により取得された効果が設定効果より少
    ない場合に、前記高粘性流体塗布機のオペレータに、前
    記高粘性流体の特性をチェックすべきことを示唆する高
    粘性流体チェック示唆部とを含む請求項１ないし１１の
    いずれかに記載の対回路基板作業システム。
  15. 【請求項１５】 前記１つ以上の作業機が、前記回路基
    板に前記電気部品を仮止めするための高粘性流体を塗布
    する高粘性流体塗布機を含み、かつ、前記監視装置が、 前記高粘性流体塗布機の前記１つ以上の監視対象の少な
    くとも１つに関連する制御データの補正を指令する補正
    指令部と、 その補正指令部の指令に基づく前記制御データの補正が
    許容限界に達した場合に、前記高粘性流体塗布機のオペ
    レータに、前記高粘性流体の特性をチェックすべきこと
    を示唆する高粘性流体チェック示唆部とを含む請求項１
    ないし１１，１４のいずれかに記載の対回路基板作業シ
    ステム。
  16. 【請求項１６】 回路基板に電気部品を装着するととも
    に、１つ以上の監視対象部に関する対象部情報を供給可
    能な１台以上の電気部品装着機と、 その１台以上の電気部品装着機により行われた前記電器
    部品の装着の結果を検出する１つ以上の検出装置と、 その１つ以上の検出装置の検出結果と前記１台以上の電
    気部品装着機から供給される対象部情報とに基づいて、
    前記１つ以上の監視対象部の状態を監視する監視装置と
    を含む対回路基板作業システムを使用して前記回路基板
    に前記電気部品を複数個装着し、電気回路を製造する方
    法であって、 前記検出装置としての検出機を前記電気部品装着機の下
    流側に配設し、その電気部品装着機による１枚の回路基
    板への前記複数の電気部品の装着が完了した後に、その
    回路基板の装着予定位置における予め定められた少なく
    とも１つの電気部品の有無と装着の位置誤差との少なく
    とも一方を検出し、その検出結果と前記対象部情報とに
    基づいて前記電気部品装着機の状態を監視しつつ電気回
    路を製造する電気回路製造方法。
  17. 【請求項１７】 回路基板に電気部品を装着するととも
    に、１つ以上の監視対象部に関する対象部情報を供給可
    能な１台以上の電気部品装着機と、 その１台以上の電気部品装着機により行われた前記電器
    部品の装着の結果を検出する１つ以上の検出装置と、 その１つ以上の検出装置の検出結果と前記１台以上の電
    気部品装着機から供給される対象部情報とに基づいて、
    前記１つ以上の監視対象部の状態を監視する監視装置と
    を含む対回路基板作業システムを使用して前記回路基板
    に前記電気部品を複数個装着し、電気回路を製造する方
    法であって、 前記検出装置を前記電気部品装着機に配設し、その電気
    部品装着機による１枚の回路基板への前記複数の電気部
    品の装着の途中に、その回路基板の装着予定位置におけ
    る予め定められた少なくとも一つの電気部品の有無と装
    着の位置誤差との少なくとも一方を検出し、その検出結
    果と前記対象部情報とに基づいて前記電気部品装着機の
    状態を監視しつつ電気回路を製造する電気回路製造方
    法。
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