JP2003098072A - 透明な対象物を検出する方法および検出装置 - Google Patents

透明な対象物を検出する方法および検出装置

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JP2003098072A JP2002214285A JP2002214285A JP2003098072A JP 2003098072 A JP2003098072 A JP 2003098072A JP 2002214285 A JP2002214285 A JP 2002214285A JP 2002214285 A JP2002214285 A JP 2002214285A JP 2003098072 A JP2003098072 A JP 2003098072A
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    • G01N21/21Polarisation-affecting properties

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の光学センサでは、透明な対象物の主光
学軸の位置の変更等によって透明な対象物を通過して受
光される光の強度が弱まり、透明な対象物を明確に検出
することが困難であった。 【解決手段】 透明な対象物の主光学軸に依存しない光
強度の変化を検出することによって前記の課題は解決さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明な対象物を通
過する場合に光強度が変化する偏光された光によって透
明な対象物を検出する方法、および少なくとも1つの放
射源と、当該放射源からのビームを受光する少なくとも
1つの受光装置を有する、有利には請求項1に記載の方
法を実施する検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】印刷機では、被印刷物を印刷機内で搬送
する透明なベルトコンベヤやウェブが頻繁に使用されて
いる。正しい印刷には、狭い許容範囲内でウェブを正し
く配置することがとりわけ重要である。
【0003】印刷機のウェブがずれている場合、搬送さ
れる被印刷物も相応にずれて印刷の位置がずれてしま
う。それ故にウェブの位置を突き止めて、制御すること
が望ましい。このために光学的センサが用いられるが、
透過性の材料を光ビームによって識別するのには特有の
問題がある。なぜなら透明な材料の反射能力は限られて
おり、透明なウェブを通って受光部へ向かう光と受光装
置によって直接的に受光される光との差が少ないからで
ある。既知の解決方法はコストがかかり、感受性の良い
受光部を必要とする。さらに問題なのは、透明なウェブ
の汚れや表面の損傷である。これらの汚れや損傷は、ビ
ーム路を変えることで光学的な測定を多大に妨害する。
さらに光学的センサ装置による解決では次のことが問題
になる。つまり主光学軸hの位置が透明なウェブの偏光
フィルタの透過方向に対して不所望に僅かに変わった時
に既に光ビームのビーム路が激しく変わり、この測定方
法が光学的放射部の方向の調整なしに使用不可能になる
ことである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】それ故に本発明の課題
は、コストがかからずに信頼できて簡易な、透明な対象
物を検出する検出装置および方法を提供することであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、透明な対
象物の主光学軸に依存しない光強度の変化を検出するこ
とで解決される。
【0006】
【発明の実施の形態】上記の課題を解決するために、偏
光された光を用いて透明な対象物を検出する方法を開示
する。この光は透明な対象物を通過した場合に自身の光
強度が変化するようにされており、透明な対象物の主光
学軸の位置Φ(以下では単に主軸位置Φと呼ぶ)に依存
しないこの光強度の変化が検出される。
【0007】さらに少なくとも1つの放射源と、この放
射源からのビームを円偏光計を用いて受光する少なくと
も1つの受光装置とを有する検出装置を開示する。この
ようにして、透明な対象物が理想的な位置にない場合に
もこれを精確に測定または検出することができる。
【0008】有利な実施例を従属請求項に記載する。
【0009】とりわけ簡単で有利なのは、次の場合に測
定または検出が主軸位置Φに依存しないことで行われる
ことである。すなわち4分の1の波長光路差を有する2
つの遅延板(λ/4板とも称される)が直線偏光フィル
タにそれぞれ割り当てられる場合である。ここで偏光フ
ィルタは相互に交差して配置されている。つまり2つの
直線偏光フィルタの、ビームに対する透過方向は相互に
90°ずつずれている。
【0010】
【実施例】以下で本発明を図1から図4にもとづいて説
明する。
【0011】図1には、主光学軸hを有する透明な対象
物10が備えられた本発明が図4に相応して示されてい
る。透明な対象物10は例えば印刷機の搬送ベルトまた
はウェブである。透明な対象物10の上方には放射源1
と第1の直線偏光フィルタ3が設けられている。さらに
透明な対象物10の下方には受光装置2と第2の偏光フ
ィルタ4とが配置されている。放射源1と受光装置2
は、透明な対象物10によって部分的に分断されてい
る。放射源1のビーム路の一部は第1の偏光フィルタ3
を通過した後に透明な対象物10に入射し、別の一部は
第2の偏光フィルタ4に(すなわち透明な対象物10の
脇を通過して)入射する。引き続きこの構造の作用を図
1に即して説明する。放射源1は光ビームを放つ。この
光ビームは図では、ビーム路の方向(受光装置2)に向
かっている矢印を先端に有する線として記号で示されて
おり、放射源1付近で直線偏光フィルタ3を通過して直
線偏光される。放射源1の偏光された光はここで矢印の
方向へさらに伝播し、一部は透明な対象物10に入射す
る。光の別の部分は、透明な対象物10の脇を通り過
ぎ、第2の直線偏光フィルタ4に入射する。この第2の
直線偏光フィルタ4は、第1の偏光フィルタ3と交差し
て配置されている。すなわち2つの偏光フィルタ3、4
の偏光方向と2つの偏光フィルタ3、4を通過した光の
軸の方向は相互に90°ずれている。つまり左側の矢印
で示されているように、第2の偏光フィルタ4は第1の
偏光フィルタ3を通過した光ビームを透過させることが
できない。光源1から見て第2の偏光フィルタ4の後方
に配置されている受光装置2は、左側の領域aで放射源
1からのビームを受光しない。右側の矢印で示されてい
るように、放射源1のビームの一部は透明な対象物10
に入射する。透明な対象物10はこの実施例では、印刷
機の無端式透過性搬送ベルトまたはウェブである。この
ようなベルトまたはウェブは、観察面を指している矢印
の方向へ、駆動装置13によって駆動されて、被印刷物
を印刷機内で搬送する。透明な対象物10から斜め上方
へ向かう矢印が示しているように、透明な対象物10に
入射したビームは僅かに反射する。しかし大部分のビー
ムは、透明な対象物10を通過する。透明な対象物10
は、光ビームに対して偏光フィルタのように作用する。
放射源1のビームの透明な対象物10を通過した後の光
強度は、以下の式に従って計算される。
【0012】
【数1】
【0013】この式でIは光強度を、Δはビームが透明
な対象物10を通過したときの位相の遅れ分をあらわ
す。この位相の遅れは透明な対象物10の複屈折が原因
である。またΦは、偏光フィルタ3、4の透過方向に対
する透明な対象物10の主光学軸hの位置をあらわして
いる。上記の式によると、光強度
【0014】
【数2】
【0015】は、Φの角度が45°であるときに最高に
なる。図1で調整された主軸位置Φは45°であり、こ
のような主軸位置Φのもとでビームが透明な対象物10
を通過するときに光強度が最高になる。主光学軸hが2
つの偏光フィルタ3,4の透過方向に対して平行(また
はほぼ平行)である場合、通過する光の偏光状態は全く
変化しない、またはほんの僅かに変化する。図1の実施
例では45°の主軸位置Φによってビームが最も良く通
過し、光強度Iが透明な対象物10の後方で最大にな
る。放射源1のビームの偏光状態は、透明な対象物10
の偏光性の光学的特性によってさらに変化する。ビーム
は次に第2の直線偏光フィルタ4に入射する。この偏光
フィルタ4は第1の偏光フィルタ3と交差して配置され
ている。すなわちこの偏光フィルタ4は、第1の偏光フ
ィルタ3の振動面に対して90°ずれている振動面の所
定の位置を有する光を透過させる。このような場合にビ
ームは第2の偏光フィルタ4を通過する。なぜならビー
ムの偏光状態が透明な対象物10で偏光されるからであ
る。受光装置2の領域bで放射源1の大部分の光は受光
装置2に入射して検出される。光強度Iは図に記号で質
的に、矢印の密度によってあらわされている。受光装置
2はダイオード列またはCCD(電荷結合素子)エレメ
ントを有する。従って図1の光強度/光路グラフに質的
に示されているように、受光装置2の領域aとbとの間
で光強度Iにギャップが生じる。式1に即した光強度I
対0のギャップが理想的である。放射源1から光が垂直
に放射されると、透明な対象物10の縁部11は光強度
のギャップまたはコントラストの上方に位置する。前述
したプロセスは、透明な対象物10の主軸位置Φが約4
5°であることを前提条件とする。透明な対象物10の
主軸位置Φが約45°でない場合、式1に従って光強度
Iが低下し、領域aとbとの間のコントラストが減少す
る。結果として、透明な対象物10の検出がより不明瞭
になる。問題なのは主軸位置Φが透明な対象物10での
機械的な緊張力等で変わることや、透明な対象物10の
個所によって主軸位置Φの値が様々に異なることであ
る。透明な対象物10の光学的特性および機械的な緊張
力には製造過程が大きく係わっている。透明な対象物1
0の光学的特性は、局部的に強度の差があり得る。すな
わち透明な対象物10の長さおよび幅にわたって光学的
特性が変化していることがある。透明な対象物10の表
面の汚れは、この汚れを通過する光を付加的に局部的に
弱め、受光装置2のS/N比を低下させる。これによっ
て上述のように実施される測定が、全体的に信頼できな
いものになってしまう。これらの問題を解決する方法
は、偏光フィルタ3、4を調整することである。すなわ
ち透明な対象物10の主光学軸hの位置を偏光フィルタ
3、4の透過方向に対して、より大きい光強度Iを得ら
れるように式1に即して調整することである。これは偏
光フィルタ3,4を回転させることで行われるが、この
回転は限られた角度の範囲内でのみ行われる。さらに問
題なのは、透明な対象物10の主光学軸の位置Φがあま
り定められていないこと、また光強度Iは主にテストに
よって調整されるということである。前述の問題の解決
方法を以下で図3に基づいて説明するが、その前に図2
でこの問題を図示する。
【0016】図2には、図1と同類の検出装置が示され
ている。図1との違いは、主光学軸の位置が図2では不
都合にΦ45°ではない、または理想的ではないことで
ある。光強度Iは式1に即して、ビームが透明な対象物
10を通過するときに著しく低下する。これは矢印の密
度が透明な対象物10の下方、または透明な対象物を通
過した後で減少していることで示されている。受光装置
2の領域bに入射して、検出されるビームは図1と比較
すると少ない(図2の光強度/光路グラフでを参照)。
このため領域aと領域bとの間のコントラストが低下し
て、透明な対象物10の縁部11の検出が図1等より困
難になる。
【0017】領域aと領域bとの間のコントラストを高
めるために、図3には検出装置の実施例が示されてい
る。この検出装置は放射源1および受光装置2を有す
る。図2のように、放射源1から放射された光はまず最
初に第1の偏光フィルタ3によって直線偏光される。前
述した実施例との違いは、この光が引き続き4分の1の
波長光路差を有する遅延板(以下で第1のλ/4板5と
称する)を通過することである。この第1のλ/4板5
によって、第1の偏光フィルタ3で偏光された光が円偏
光される。ここで図1の場合のように、光の2つのビー
ム路が区別される。図2で左側の矢印によってあらわさ
れたビーム路では、円偏光された光は第2のλ/4板6
に入射し、ここで直線偏光される。直線偏光されたこの
光は引き続き第2の直線偏光フィルタ4に入射する。図
1の場合と同様に、ここでこの光は別の外部の影響を受
けない限り第2の直線偏光フィルタ4を通過しない。従
って図3の光強度/光路グラフは、受光装置2の領域a
では光強度が0であることを示す。図3の第2のケース
において、光は第1のλ/4板5で円偏光された後で、
縁部11の領域で透明な対象物10に入射する。透明な
対象物の主軸位置Φは機械的な緊張力が原因で45°で
はない。しかし光強度Iは、透明な対象物10の前と後
でのこのケースではほぼ一定であり、透明な対象物10
の主光学軸hの位置が理想的でないために顕著に弱まる
ことはない。このような現象は、以下の説明で理解され
るだろう。第1のλ/4板5においてビームが円偏光さ
れることで、式1を数回計算し直した後に次の式2が得
られる。この式は、透明な対象物10を通過した後の光
強度Iをあらわす。
【0018】
【数3】
【0019】式1と比べると、式2には主軸位置Φに対
する記号がない。すなわち式2および図3の光強度I
は、主軸位置Φに依存しないのである。光強度Iはこの
式で、透明な対象物10を通過したときのビームの位相
遅延分Δだけに依存する。この位相遅延分は受光装置2
で測定され、式2で光強度Iに計算し直される。これら
の説明から、図3の光強度/光路グラフは主軸位置Φが
45°でないのにもかかわらず領域bで高い光強度Iを
有していることが理解できる。これは図3の光強度/光
路グラフにおける比較値Iによって示されている。こ
の比較値は、理想的な主軸位置Φが使用されている式1
の場合の値とほぼ一致している。最終的に本発明は上述
のように、透明な対象物10の主光学軸hの位置を偏光
フィルタ3、4の透過方向に対して変える機械的な緊張
力および透明な対象物10の変更に依存せずに、透明な
対象物10を精確に検出し、評価装置12で評価する方
法を容易に供給する。しかも光強度の損出を補填するこ
とはない。
【0020】最終的に図4で、上述した実態が別の視点
から見た図を用いて明確にされている。参照番号は、図
1から図3の参照番号と同じ目印を示している。第1の
偏光フィルタ3でビームはy軸方向に直線偏光される。
その後でこのビームは第1のλ/4板5で円偏光され、
ビームの進角軸fは45°だけ傾斜する。透明な対象物
10を通過するときに、偏光状態は透明な対象物10の
主軸hの位置に依存して変えられる。この位置は透明な
対象物10の特性によって決まる。円偏光は第2のλ/
4板6によって戻され、進角軸はマイナス方向に45°
傾く。次にビームは第2の直線偏光フィルタ4でx軸方
向に直線偏光され、受光装置2で受光される。図4で
は、ビームが透明な物質10を通過する場合だけが説明
されている。ビームが透明な対象物10の脇を通過する
別のケースは図1から図3に説明されている。角度Φが
一定である場合、主軸hが変化した場合にビームの進角
軸fも変化することが図4から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1には、透明な対象物が備えられた放射源お
よび受光部を有する検出装置の正面図が示されている。
ここでこの放射源と受光部には偏光フィルタが1つずつ
割り当てられており、透明な対象物は理想的な主光学軸
位置Φを有している。また受光部によって受光されたビ
ームの光強度をあらわすグラフが示されている。
【図2】図2は光学的主軸位置が理想的でない、図1の
検出装置と同類の検出装置である。
【図3】図3は、放射源と受光装置とが備えられた検出
装置を有する本発明の正面図である。ここで放射源と受
光装置には偏光フィルタとλ/4板とが1つずつ割り当
てられている。またこの装置は、任意の主光学軸位置Φ
を有する透明な対象物を有している。
【図4】図4には本発明にもとづく基本的な配置が示さ
れている。ここで放射ベクトルは質的に示されている。
【符号の説明】
1 放射源 2 受光装置 3 第1の直線偏光フィルタ 4 第2の直線偏光フィルタ 5 第1のλ/4板 6 第2のλ/4板 10 透明な対象物 11 縁部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G059 AA05 BB08 EE01 EE05 GG04 GG10 JJ13 JJ19 JJ20 KK04 LL04 2H049 BA02 BA07 BB03 BC23 2H099 AA00 BA09 BA17 CA07 CA11 DA00

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明な対象物(10)を通過する場合に
    光強度が変化する偏光された光によって透明な対象物
    (10)を検出する方法において、 前記透明な対象物(10)の主光学軸に依存しない光強
    度の変化を検出する、ことを特徴とする透明な対象物を
    検出する方法。
  2. 【請求項2】 前記透明な対象物(10)による光の位
    相変化に依存する光強度の変化を検出する、請求項1記
    載の方法。
  3. 【請求項3】 少なくとも1つの円偏光計を使用する、
    請求項1または2記載の方法。
  4. 【請求項4】 放射源(1)から光ビームを放出し、 第1の直線偏光フィルタ(3)で前記光ビームを偏光
    し、 前記光ビームの偏光面を、光の4分の1波長分ずらし、 透明な対象物(10)に前記光ビームの一部を通過さ
    せ、 前記光ビームを第2の直線偏光フィルタ(4)で偏光
    し、 前記光ビームの偏光面を光の4分の1波長分ずらし、 前記光ビームを受光装置(2)で受光して評価する、請
    求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
  5. 【請求項5】 受光装置(2)で受光され、評価された
    光ビームをもとに透明な対象物(10)の位置を計算す
    る、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
  6. 【請求項6】 透明な対象物(10)の位置の誤りを計
    算ステップの結果にもとづいて自動的に修正する、請求
    項1から5までのいずれか1項記載の方法。
  7. 【請求項7】 少なくとも1つの放射源(1)と、当該
    放射源(1)からのビームを受光する少なくとも1つの
    受光装置(2)を有する、有利には請求項1に記載の方
    法を実施する検出装置において、 円偏光形が設けられている、ことを特徴とする検出装
    置。
  8. 【請求項8】 相互に交差して配置されている2つの直
    線フィルタ(3、4)にλ/4板(5、6)がそれぞれ
    割り当てられており、 ここで第1のλ/4板(5)は第1の偏光フィルタ
    (3)の後方に配置されており、第2のλ/4板(6)
    は第2の偏光フィルタ(4)の前方に配置されている、
    請求項7記載の検出装置。
  9. 【請求項9】 計算ユニットで透明な対象物(10)の
    位置を特定する、請求項7または8記載の検出装置。
  10. 【請求項10】 前記受光装置(2)はホトダイオード
    列を有している、請求項7から9までのいずれか1項記
    載の検出装置。
  11. 【請求項11】 前記受光装置(2)は、2次元のホト
    ダイオードマトリックスを有している、請求項7から1
    0までのいずれか1項記載の検出装置。
  12. 【請求項12】 前記受光装置(2)はCCD列を有し
    ている、請求項7から11までのいずれか1項記載の検
    出装置。
  13. 【請求項13】 検出された光強度変化を評価する評価
    装置が前記検出装置に接続されている、請求項7から1
    2までのいずれか1項記載の検出装置。
  14. 【請求項14】 放射源(1)と受光装置(2)が同一
    装置構成に設けられており、 透明な対象物(10)の反対側には光を受光装置(2)
    へ反射させる鏡が配置されている、請求項7から13ま
    でのいずれか1項記載の検出装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010508525A (ja) * 2006-11-03 2010-03-18 テューダー アルヴィンテ 試料評価方法および装置
US11399144B2 (en) 2017-07-12 2022-07-26 Sony Group Corporation Imaging apparatus, image forming method, and imaging system

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10312872A1 (de) * 2003-03-22 2004-10-14 Nexpress Solutions Llc Verfahren und Sensoreinrichtung zum Erfassen eines Gegenstands
DE102004038940A1 (de) * 2004-08-11 2006-02-23 Leuze Electronic Gmbh & Co Kg Optischer Sensor
JP4607080B2 (ja) 2005-09-27 2011-01-05 オムロン株式会社 プログラマブル・コントローラ・システム
JP6502282B2 (ja) * 2015-04-24 2019-04-17 富士フイルム株式会社 検知方法および検知システム
WO2019102734A1 (ja) 2017-11-24 2019-05-31 ソニー株式会社 検出装置、及び電子機器の製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB627228A (en) * 1945-08-03 1949-08-03 British Cellophane Ltd Improvements in or relating to apparatus for gauging film width variation of a continuous length of transparent birefringent film of artificial organic material
JPS59114445A (ja) * 1982-12-21 1984-07-02 Yamamura Glass Kk 透明体の欠陥検出装置
DE29621093U1 (de) * 1996-12-05 1997-02-13 Goebel Gmbh Maschf Einrichtung zum Messen
WO2000047947A1 (de) * 1999-02-10 2000-08-17 Nexpress Llc Anordnung zur messung der kantenposition eines transparenten objektes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010508525A (ja) * 2006-11-03 2010-03-18 テューダー アルヴィンテ 試料評価方法および装置
US11399144B2 (en) 2017-07-12 2022-07-26 Sony Group Corporation Imaging apparatus, image forming method, and imaging system

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