JP2003094277A - 加工装置 - Google Patents

加工装置

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JP2003094277A
JP2003094277A JP2001297233A JP2001297233A JP2003094277A JP 2003094277 A JP2003094277 A JP 2003094277A JP 2001297233 A JP2001297233 A JP 2001297233A JP 2001297233 A JP2001297233 A JP 2001297233A JP 2003094277 A JP2003094277 A JP 2003094277A
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Japan
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moving
base
guideway
feed screw
grindstone
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Nobumitsu Hori
伸充 堀
Yuji Sasaki
雄二 佐々木
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Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 2つの工具台をワークの長手方向に割出
す送り機構の構成を簡単にし、製造コストの低減と小型
化を図った加工装置を提供する。 【解決手段】 ベット1に回転を規制して設けられた1
本の送りネジ10Aに係合された、ナット19A、19
Bが、第1、第2砥石台22A、22Bを備える第1テ
ーブル20A、第2テーブル20Bにそれぞれ取り付け
られている。第1、第2テーブル20A、20Bには、
ナット19A、19Bを駆動するサーボモータ12A、
12Bが設けられている。サーボモータ12A、12B
を用いてナット19A、19Bを駆動することにより、
第1テーブル20A、第2テーブル20Bが送りネジ1
0Aに沿って、それぞれ、スライド移動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工装置、特に加
工手段を備える複数の移動台をスライド移動させるスラ
イド移動手段を備えた加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】工作物を加工工具で機械加工する加工装
置としては、旋盤、フライス盤等の切削加工機や、研削
盤、ホーニング盤等の研削加工機が知られている。この
うち、研削盤は、一般に砥石を用いて工作物を研削加工
するものである。研削盤として、1対の砥石台が設けら
れたツインヘッド研削盤が公知である。ツインヘッド研
削盤では、各砥石台が独立して移動可能であり、なおか
つ各砥石台が工作物の回転軸線を横切る方向に進退し、
工作物を研削加工する構成となっている。
【0003】ツインヘッド研削盤では、例えば、図6に
示すように、ベッド11上にその長手左右方向に、V字
形ガイドウェイ12と平形ガイドウェイ13が設けられ
ている。V字形ガイドウェイ12と平形ガイドウェイ1
3上には、第1、第2テーブル120A、120Bが、
スライド移動手段によりZ軸方向にスライド移動自在に
設けられている。スライド移動手段には、送りネジ11
0A、110Bと、送りネジ110A、110Bにそれ
ぞれ係合されたナット111A、111Bが設けられて
いる。送りネジ110A、110Bは、ベッド11にそ
れぞれ回転自在に支持されている。また、ナット111
Aは第1テーブル120Aに取り付けられている。ま
た、ナット111Bは第2テーブル120Bに取り付け
られている。送りネジ110Aの一端には、送りネジ1
10A駆動用のサーボモータ112Aが設けられてい
る。また、送りネジ110Bの一端には、送りネジ11
0B駆動用のサーボモータ112Bが設けられている。
これにより、サーボモータ112Aを用いて送りネジ1
10Aを回転させると、ナット111Aが取り付けられ
ている第1テーブル120AがV字形ガイドウェイ12
と平形ガイドウェイ13上をスライド移動する。また、
サーボモータ112Bを用いて送りネジ110Bを回転
させると、ナット111Bが取り付けられている第2テ
ーブル120BがV字形ガイドウェイ12と平形ガイド
ウェイ13上をスライド移動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このようなツインヘッ
ド研削盤では、高価な送りネジ(例えば、ボールネジ)
を2本設けている(送りネジ110A、110B)。ま
た、V字形ガイドウェイ12と平形ガイドウェイ13の
間に2本の送りネジ110A、110Bを設けるため、
V字形ガイドウェイ12と平形ガイドウェイ13の間隔
を広くとる必要がある。すなわち、図3Bに示すよう
に、第1テーブル120Aと第2テーブル120Bの奥
行き(図3Bの左右方向の長さ)を長くとる必要があ
り、テーブルが大きくなる。また、2本の送りネジの配
置位置に制約を受ける。このため、ツインヘッド研削盤
の外形が大きくなり、製造コストが上昇し、さらに、第
1テーブル120Aと第2テーブル120Bのスライド
送り精度、特に、V字形ガイドウェイ12から遠く離れ
て配置された送りネジ110Aにて送られる第1テーブ
ル120Aの送り精度を向上できない。そこで、本発明
は、製造コストを低減でき、かつ小形化でき、さらに、
V字形ガイドウェイに対し最適な位置にスライド移動手
段を配置できる加工装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、請求項1に記載の発明は、基台と、この基台上に設
けられ1つの軸線方向にワークを支持するワーク支持装
置と、前記基台上で前記軸線と平行に設けられたガイド
ウェイと、このガイドウェイに沿う同一移動経路上を互
いに接近離間するように移動可能に案内された2つの移
動台と、それぞれが加工工具を支持し前記移動台にそれ
ぞれ搭載された工具台と、前記2つの移動台を前記移動
経路に沿って移動する移動台駆動装置とからなる加工装
置において、 この移動台駆動装置は、前記2つの移動
台の移動領域をカバーするように前記ガイドウェイと平
行に延びて前記基台上に固定して設けられた1つの第1
の手段と、 前記2つの移動台にそれぞれ設けられた各
々が前記第1の部材と協働して対応する前記移動台を独
立して移動する2つの第2の手段と、により構成したこ
とを特徴とする。この請求項1に記載の発明によれば、
基台に設けた1つの共通の第1の部材を、2つの移動台
の移動台駆動装置の一部として共用したので、移動台駆
動装置の基台に設置する部分の占有面積或いは空間を小
さくすることができ、従って加工装置の小型化及び製造
コストの低減を図ることができる。また、移動台駆動装
置の基台に設置する第1の部材が1つのみであるので、
加工装置の製造時における調整が容易となり、さらに第
1の部材をガイドウェイに対し適切な位置へ配置でき
る。
【0006】また、請求項2に記載の発明は、前記第1
の手段を前記ガイドウェイと平行に前記ベッドに回転を
規制して設けられた1本の送りネジで構成し、前記第2
の手段をそれぞれが前記1本の送りネジとネジと係合さ
れると共に前記2つの移動台に回転自在に支持された2
つのナット及びこれら2つのナットを回転させるために
前記2つの移動台にそれぞれ設けられた2つのサーボモ
ータとにより構成したことを特徴とする。この、請求項
2に記載の発明によれば、基台に設置する送りネジを1
本のみとし、このネジに共通に係合する各移動台に回転
支持したナットをサーボモータにより回転して各移動台
を移動するようにしたので、ガイドウェイに対する送り
ネジの配置が容易となり、かつガイドウェイに対する送
りネジの平行度の調整が容易となる。
【0007】また、請求項3に記載の発明は、前記移動
台の互いに対向する内側面とは反対の側面部に前記サー
ボモータをそれぞれ設けたことを特徴とする。この請求
項3に記載の発明によれば、前記サーボモータを2つの
移動台の両外側部に配置したので、2つの移動台の接近
性を向上でき、かつサーボモータの保守点検を容易に行
うことができる。
【0008】さらに、請求項4に記載の発明は、2つの
移動台駆動手段はリニアモータにて構成し、前記第1の
手段を前記ガイドウェイと平行に前記ベッド上に敷設さ
れた前記リニアモータの1つの1次側ユニットとし、前
記第2の手段を前期1次側ユニットと対向して前記2つ
の移動台にそれぞれ固定され前記1次側ユニットと協働
して各々がリニアモータを構成する2つの2次側ユニッ
トとしたことを特徴とする。この請求項4に記載の発明
によれば、2つの移動台にリニアモータの1次側ユニッ
ト(電磁石ユニット)をそれぞれ設ける一方、基台に設
けた1つの2次側ユニット(永久磁石ユニット)を共用
するように設けたので、製造コストが低減されるのみな
らず、2次側ユニットの配置が容易となる。特に、2つ
の移動台の1次側ユニットにそれぞれ対応して強力な永
久磁石板からなる2つの2次側ユニットを平行に隣接し
て取り付ける組み付け作業上の困難性や、隣接して敷設
した2つの2次側ユニットの磁気干渉による送り制御上
の問題などが、1つの2次側ユニット(永久磁石ユニッ
ト)を共用することにより排除される利点がある。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の第1の実施の形
態を、図1を用いて説明する。本実施の形態では、コン
ピュータ数値制御装置(CNC装置400)付きツイン
ヘッド研削盤で研削加工を行う加工装置について説明す
る。図1は、被加工物W(以下、「ワークW」とい
う。)を研削加工するツインヘッド研削盤の概略図を示
したものである。本実施の形態で、ワークWは、例え
ば、4気筒用のクランクシャフトである。ツインヘッド
研削盤には、例えば、ワークWを研削加工する研削盤本
体10と、ツインヘッド研削盤のCNC装置400と、
ツインヘッド研削盤を運転操作する操作盤500とが設
けられている。操作盤500は、CNC装置400と一
体になっていてもよい。
【0010】ベッド1上には、その長手左右方向(図1
では、Z軸方向)に、V字形ガイドウェイ2と平形ガイ
ドウェイ3が設けられている。V字形ガイドウェイ2と
平形ガイドウェイ3上には、第1、第2テーブル20
A、20Bが、送りネジ10A(例えば、ボールネジ)
によりZ軸方向に移動可能に設けられている。送りネジ
10Aは、左右のネジサポート11、11によりベッド
1に回転を規制されて固定されている。V字型ガイドウ
ェイ2と平形ガイドウェイ3により、第1テーブル20
A、第2テーブル20BをZ軸方向に案内するガイドレ
ールが形成される。第1、第2テーブル20A、20B
には、それぞれ第1の砥石24A、第2の砥石24Bを
回転自在に支持する第1砥石台22A、第2砥石台22
Bが、それぞれ送りネジ14A、14Bにより、Z軸方
向と直交する前後方向(図1では、X軸方向)にスライ
ド移動自在に設けられている。なお、請求項に記載の
「基台」は本実施の形態の「ベッド1」に、「複数の移
動台」は「第1テーブル20A、第2テーブル20B」
に、「移動台駆動装置」の「第1の部材」は「送りネジ
10A」に相当する。
【0011】各砥石台22A、22Bの前方には、Z軸
方向に離間して主軸台6と心押台7が設けられている。
ワークWは、一端側が主軸台6に設けられたチャック6
aにより把持され、他端側を心押台7により押圧された
状態で支持される。主軸台6には、ワークWを回転駆動
させる主軸サーボモータ8が設けられている。主軸サー
ボモータ8、したがってワークWの回転位置は、主軸サ
ーボモータ8に設けられたエンコーダ9により検出され
る。
【0012】次に、第1、第2テーブル20A、20B
をZ軸方向にスライド移動させる移動台駆動装置につい
て説明する。図2に示すように、第1テーブル20Aを
Z軸方向に移動させるためのエンコーダ付きのサーボモ
ータ12Aが、第1テーブル20Aの左側面に取り付け
られている。サーボモータ12Aの駆動軸には、駆動ギ
ア13Aが設けられ、ナットギア18Aと係合してい
る。ナットギア18Aは、ナット(移動台駆動装置の第
2の部材)19Aに取り付けられている。そして、ナッ
ト19Aは、送りネジ10Aに係合している。また、ナ
ット19Aは、第1テーブル20Aの下面に回転可能で
軸方向移動を規制して取り付けられている。この構成に
より、サーボモータ12Aが駆動され、ナット19Aが
所定の方向に回転されると、ナット19Aは送りネジ1
0Aに沿って、Z軸方向にスライド移動する。すなわ
ち、ナット19Aに取り付けられた第1テーブル20A
が、送りネジ10Aに沿ってZ軸方向にスライド移動す
る。
【0013】また、第2テーブル20BをZ軸方向に移
動させるためのエンコーダ付きのサーボモータ12B
が、第2テーブル20Bの右側面に取り付けられてい
る。サーボモータ12Bの駆動軸には、駆動ギア13B
が取り付けられ、ナットギア18Bと係合している。ナ
ットギア18Bは、ナット19Bに取り付けられてい
る。そして、ナット19Bは、送りネジ10Aに係合し
ている。また、ナット(移動台駆動装置の第2の部材)
19Bは、第2テーブル20Bの下面に回転可能で軸方
向移動を規制して取り付けられている。この構成によ
り、サーボモータ12Bが駆動され、ナット19Bが所
定の方向に回転されると、ナット19Bは送りネジ10
Aに沿ってZ軸方向にスライド移動する。すなわち、ナ
ット19Bに取り付けられた第2テーブル20Bが、送
りネジ10Aに沿ってZ軸方向にスライド移動する。こ
のように、第1テーブル20Aと第2テーブル20Bの
移動台駆動装置は、左右対称に構成されている。また、
サーボモータ12A、12Bは、各テーブルが互いに対
向する側と反対側に設けられている。このため、サーボ
モータ12A、12Bは、各テーブルにおいて砥石台よ
りも外側に設けられているので保守点検がしやすく、両
テーブル20A、20B同士の接近性を損なわないよう
にしている。
【0014】また、第1、第2テーブル20A、20B
には、それぞれ、第1、第2砥石台22A、22BをX
軸方向に移動するための送りネジ14A、14Bの端部
に、エンコーダ17A、17B付きサーボモータ16
A、16Bが設けられている。そして、第1、第2砥石
台22A、22Bには、図示しないが、それぞれ第1の
砥石24A、第2の砥石24Bを回転駆動するモータが
設けられている。サーボモータ8、12A、12B、1
6A、16B、第1、第2の砥石24A、24Bを駆動
するモータ等は、CNC装置400により制御される。
また、操作盤5により、ワークWの種類の選択、ツイン
ヘッド研削盤の起動/停止等が行われる。
【0015】次に、ツインヘッド研削盤の動作について
説明する。まず、ワークWを主軸台6と心押台7の間に
支持する。CNC装置400には、例えば、操作盤50
0により、予め、第1の砥石24Aや第2の砥石24B
で加工するワークの種類に関するデータや、加工する位
置に関するデータや、加工手順等のプログラムが入力さ
れて記憶されている。そして、例えば、操作盤5の起動
用スイッチを操作すると、記憶されているプログラムに
基づいて、主軸サーボモータ8、第1テーブル20A用
のサーボモータ12A、第2テーブル20B用のサーボ
モータ12B、第1砥石台22A用サーボモータ16
A、第2砥石台22B用サーボモータ16B、各砥石を
回転駆動するサーボモータが駆動され、加工動作が開始
される。
【0016】ここで、第1の砥石24Aと第2の砥石2
4BとによりワークWのクランクピンを同時に加工をす
る場合について説明する。ツインヘッド研削盤は、主軸
台6の主軸サーボモータ8により、ワークWを所定速度
で回転させる。そして、サーボモータ12Aを駆動し
て、送りネジ10Aに係合しているナット19Aを回転
して、スライド移動させる。これにより、ナット19A
に取り付けられている、第1砥石台22Aが設けられた
第1テーブル20Aが、砥石24Aを1つのクランクピ
ンと整列する位置までZ軸方向に移動する。次に、第1
砥石台22Aを、サーボモータ16Aにより、X軸方向
に前進させる。その際、CNC装置400により主軸サ
ーボモータ8の回転と同期させて第1砥石台22AをX
軸方向に前後動させながら、切込み前進運動を与え、第
1の砥石24AによりワークWのクランクピンの研削加
工を行う。そして、例えば、粗研削工程、精研削工程、
微研削工程を行う。なお、第1の砥石24Aは、砥石駆
動用モータにより所定の回転速度で回転されている。
【0017】第1砥石台22Aの上記した割出し及び研
削加工動作と平行して、第2砥石台22Bが次のように
動作される。すなわち、サーボモータ12Bを駆動し
て、送りネジ10Aに係合しているナット19Bを回転
してスライド移動させる。これにより、ナット19Bに
取り付けられている、第1砥石台22Bが設けられた第
2テーブル20Bが、砥石24Bを他の1つのクランク
ピンと整列する位置までZ軸方向に移動する。次に、第
2砥石台22Bを、サーボモータ16Bにより、X軸方
向に前進させる。その際、CNC装置400により主軸
サーボモータ8の回転と同期させて第2砥石台22Bを
前後動させながら、切込み前進運動を与え、第2の砥石
24BによりワークWのクランクピンの研削加工を行
う。なお、第2の砥石24Bは、砥石駆動用モータによ
り所定の回転速度で回転されている。
【0018】このようにして、第1及び第2砥石台22
A、22Bを同時並行して動作し、ワークW上の軸方向
に離間した2つのクランクピンを同時に研削加工でき
る。そして、最初の2つのクランクピンの同時研削が終
了すると、両砥石台22A、22Bは、早戻し速度で後
退され、その後、次に同時加工すべき他の2つのクラン
クピンに対しそれぞれの砥石24A、24Bを整列させ
る位置までZ軸方向に移動され、それぞれの整列位置に
て前進送りされて研削加工を行う。この第1の実施の形
態では、2つのクランクピンの同時加工を行う場合を例
のして説明したが、この他に、ワークWの2つのジャー
ナルの同時加工や、1つのジャーナルと1つのクランク
ピンの同時加工や、或いはジャーナル或いはクランクピ
ンを一方の砥石24Aで研削加工し、その後他方の砥石
24Bで超仕上げ加工する(この場合、砥石24Bは超
仕上げ砥石とする)場合など、種々の加工動作形態を採
用し得る。
【0019】第1の実施の形態における、第1テーブル
20Aと第2テーブル20Bのスライド移動手段の断面
図を、図3Aに示す。第1の実施の形態では、送りネジ
が1本であるため、図3Bに示す、送りネジが2本の従
来のツインヘッド研削盤と比較して、各テーブルのX方
向(図1では上下方向、図3では左右方向)の寸法(奥
行きの寸法)が小さい。すなわち、ツインヘッド研削盤
の奥行きの寸法を小さくすることができる。つまり、V
字形ガイドウェイ2と平形ガイドウェイ3とのスパンを
短くできることにより、単に機械の奥行き寸法を小さく
できるのみならず、砥石台22A、22Bを搭載するテ
ーブル20A、20Bの剛性が高められ、よって加工精
度の向上に寄与する。それ以上に、1本の送りネジ10
Aの使用により、次のような利点が得られる。つまり、
V字形ガイドウェイ2と平形ガイドウェイ3との間にこ
の送りネジ10Aを配置するX方向位置の選定における
自由度が増し、各砥石台とテーブルの組立体の重心直下
でかつV字形ガイドウェイ2の近くに送りネジ10Aを
配置することができ、Z軸方向送り精度を向上できる。
また、機械製作時の平行度調整は、V字形ガイドウェイ
2に対応する送りネジ10Aの平行度の調整のみで容易
となり、従来の加工装置のようにV字形ガイドウェイ1
2に対して2本のボールネジ110A、110Bを調整
する煩わしさが排除される。
【0020】次に、本発明の第2の実施の形態につい
て、図4、図5を用いて説明する。第2の実施の形態で
は、ベッド1上には、その長手左右方向(図1では、Z
軸方向)に、V字形ガイドウェイ2と平形ガイドウェイ
3が設けられている。V字形ガイドウェイ2と平形ガイ
ドウェイ3上には、第1、第2テーブル20A、20B
が、Z軸方向にスライド移動自在に設けられている。本
実施の形態では、第1、第2テーブル20A、20Bの
駆動手段として、リニアモータを用いている。V字型ガ
イドウェイ2と平形ガイドウェイ3により、第1テーブ
ル20A、第2テーブル20BをZ軸方向に案内するガ
イドレールが形成される。
【0021】第2の実施の形態のスライド移動手段につ
いて、詳細を説明する。その他の構成、動作は、第1の
実施の形態と同様であるため、説明を省略する。図4、
図5に示すように、第1砥石台22Aを載置する第1テ
ーブル20A及び第2砥石台22Bを載置する第1テー
ブル20Bの下部には、ベッド1上にベッド1の長手方
向と平行に、リニアモータの2次側である2次側ユニッ
ト(永久磁石板ユニット)30が固定して設けられてい
る。そして、第1テーブル20Aの下面にはリニアモー
タの1次側である1次側ユニット(電磁石ユニット)3
1Aが、第2テーブル20Bの下面には1次側ユニット
(電磁石ユニット)31Bが、第1、第2テーブル20
A、20Bに共通の2次側ユニット30と対向可能な位
置に設けられている。本実施の形態においては、第1、
第2テーブル20A、20Bをスライド移動させる移動
台駆動装置として、2次側ユニット30を共通に1列だ
け設ければよい。このため、ツインヘッド研削盤の奥行
きの寸法を小さくすることができる。なお、1次側ユニ
ット31A、31Bと2次側ユニット30を用いて構成
されるリニアモータ自体のそれ以上の構成については、
本発明の要旨ではないので、詳細な説明は省略する。
【0022】本発明の構成及び動作は、第1、第2の実
施の形態に限定されるものではない。実施の形態では、
ツインヘッド研削盤について説明したが、本発明は、他
の種々の加工装置にも適用することができる。また、第
1、第2砥石台22A、22Bの駆動装置は、リニアモ
ータでもよい。例えば、図5に示すように、第1砥石台
22Aの下部には、第1テーブル20A上に第1テーブ
ル20Aの奥行き方向に、リニアモータの2次側である
2次側ユニット(磁石板)40を設ける。そして、第1
砥石台22Aの下面にはリニアモータの1次側である1
次側ユニット(電磁石)41Aを、2次側ユニット(磁
石板)40に対向可能に設ける。第2砥石台22Bの駆
動装置も上述した第1砥石台22Aのそれと同様の構成
とされる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
加工装置によれば、加工装置は製造コストが抑えられ、
また、外形を小さくかつ剛性が高いものとすることがで
きる。また、請求項2に記載の加工装置によれば、送り
ネジの配置とガイドウェイに対する平行度調整が容易と
なる。また、請求項3に記載の加工装置によれば、2つ
の移動台の接近性を向上でき、かつこれら移動台を駆動
するサーボモータの保守点検が行いやすい。また、請求
項4に記載の加工装置によれば、第1の部材と第2の部
材が接触してスライド移動しないので、耐久性がよく、
また、リニアモータの2次側ユニットを各移動台毎に設
けた場合に生じる種々の問題が解消される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明をツインヘッド研削盤に適用した第1の
実施の形態の概略図である。
【図2】第1テーブル20Aと第2テーブル20Bの駆
動装置の説明図である。
【図3】本発明と従来のテーブル送り機構の断面を示す
説明図である。
【図4】テーブル駆動装置がリニアモータの場合の説明
図である。
【図5】テーブル駆動装置がリニアモータの場合の側面
図である。
【図6】従来のテーブル送り機構の説明図である。
【符号の説明】 1 ベッド 2 V字形ガイドウェイ 3 平形ガイドウェイ 6 主軸台 6a チャック 7 心押台 8 主軸サーボモータ 9 エンコーダ 10 研削盤本体 10A 送りネジ 12A、12B サーボモータ 16A、16B サーボモータ 19A、19B ナット 20A 第1テーブル 20B 第2テーブル 22A 第1砥石台 22B 第2砥石台 400 CNC装置 500 操作盤

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台と、この基台上に設けられ1つの軸
    線方向にワークを支持するワーク支持装置と、前記基台
    上で前記軸線と平行に設けられたガイドウェイと、この
    ガイドウェイに沿う同一移動経路上を互いに接近離間す
    るように移動可能に案内された2つの移動台と、それぞ
    れが加工工具を支持し前記移動台にそれぞれ搭載された
    工具台と、前記2つの移動台を前記移動経路に沿って移
    動する移動台駆動装置とからなる加工装置において、 この移動台駆動装置は、前記2つの移動台の移動領域を
    カバーするように前記ガイドウェイと平行に延びて前記
    基台上に固定して設けられた1つの第1の手段と、 前記2つの移動台にそれぞれ設けられた各々が前記第1
    の部材と協働して対応する前記移動台を独立して移動す
    る2つの第2の手段と、からなることを特徴とする加工
    装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の加工装置において、前
    記第1の手段は前記ガイドウェイと平行に前記ベッドに
    回転を規制して設けられた1本の送りネジからなり、前
    記第2の手段はそれぞれが前記1本の送りネジとネジと
    係合されると共に前記2つの移動台に回転自在に支持さ
    れた2つのナット及びこれら2つのナットを回転させる
    ために前記2つの移動台にそれぞれ設けられた2つのサ
    ーボモータとからなることを特徴とする加工装置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の加工装置において、前
    記移動台の互いに対向する内側面とは反対の側面部に前
    記サーボモータをそれぞれ設けたことを特徴とする加工
    装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の加工装置において、前
    記移動台駆動装置はリニアモータからなり、前記第1の
    手段は前記ガイドウェイと平行に前記ベッド上に敷設さ
    れた前記リニアモータの1つの1次側ユニットからな
    り、前記第2の手段は前記1次側ユニットと対向して前
    記2つの移動台にそれぞれ固定され前記1次側ユニット
    と協働して各々がリニアモータを構成する2つの2次側
    ユニットとからなることを特徴とする加工装置。
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