JP2003083910A - 回路パターン検査装置および回路パターン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プリント配線板中の非検査領域による影響を
排除し，より適切な位置補正を可能にした回路パターン
検査装置および回路パターン検査方法を提供すること。 【解決手段】 不一致計数回路１３２には，検査対象の
画像データである欠陥候補データと，マスターデータの
画像データである展開データと，検査領域データとが入
力される。ここでいう検査領域データは，被検査エリア
が検査領域内である場合はＨ，検査領域内でない場合は
Ｌになる信号である。不一致計数回路１３２は，計数結
果を保存するカウンタ１１２Ａと，ＸＯＲ回路１１２Ｃ
と，ＡＮＤ回路１１２Ｄとからなる。カウンタ１１２Ａ
は，ＡＮＤ回路１１２ＤがＨになる箇所を計数して，求
まった値を計数結果して出力する。ＡＮＤ回路１１２Ｄ
は，検査領域外である場合は，ＸＯＲ回路１１２Ｃの結
果に関係なくＬを出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，プリント配線板の
製造工程において，パターンが適正に形成されているか
否かを検査するための回路パターン検査装置および回路
パターン検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年，回路パターンの検査は，プリント
配線板のファインパターン化に伴って，光学的検査，す
なわち，回路パターンをカメラで撮影し，その図形の正
否を検査することにより行われている。この光学的検査
を実施する場合は，配線板の位置決め精度，形成パター
ンの仕上がり，検査装置間の機械的誤差等による虚報お
よび見逃しを防止するために，マスターデータとプリン
ト配線板との間の位置ずれを補正（以下，位置補正とす
る。）する必要がある。従来の位置補正は，カメラ１台
分の検査領域を細かく区切り，区切られたエリア毎にＸ
方向，Ｙ方向の位置ずれ量を測定している（例えば，特
開２００１−５６３０１号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，従来の
技術には，次のような問題点があった。すなわち，検査
対象となるプリント配線板には，図９に示すように，検
査領域ばかりでなく非検査領域も含まれている。この非
検査領域には，ダミーパターンや製品番号等の回路品質
に関係ないものが存在し，それらの形状は同一の仕様で
あっても個々のプリント配線板によって異なる。非検査
領域は，プリント配線板の外枠だけに限らず検査領域内
部にも存在する。

【０００４】そして従来の技術では，位置補正値の決定
を，非検査領域にも基づいて行っているのである。その
例としては，図９に示すようなワークの右端部が該当す
る。図１０は，検査領域の右端部の拡大図である。図１
０中，検査領域と非検査領域との境界上にある位置補正
エリア１では，非検査領域を含めて位置補正値の決定を
してしまう。このため，非検査領域にあるダミーパター
ン等の影響により，誤った位置補正をする可能性があ
る。

【０００５】本発明は，前記した従来の技術が有する問
題点を解決するためになされたものである。すなわちそ
の課題とするところは，プリント配線板中の非検査領域
による影響を排除し，より適切な位置補正を可能にした
回路パターン検査装置および回路パターン検査方法を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題の解決を目的と
してなされた本発明の回路パターン検査装置は，マスタ
ーデータと検査対象データとを比較して回路パターンの
適否を検査する回路パターン検査装置であって，マスタ
ーデータと検査対象データとのいずれか一方を所定の範
囲内で１セルずつずらした複数の展開データを作成し，
各展開データとマスターデータと検査対象データとのい
ずれか他方とを対比し，展開データ毎に不一致セルをカ
ウントする不一致計数手段と，検査対象領域外の部分に
ついて不一致計数手段のカウントを無効化する無効化手
段と，最も不一致セルの少ない展開データの位置ずれを
マスターデータと検査対象データとの間の位置ずれであ
ると決定する位置ずれ決定手段とを有し，位置ずれ決定
手段により決定された位置ずれに基づいてマスターデー
タと検査対象データとを対比し，回路パターンの適否を
検査するものである。

【０００７】この回路パターン検査装置では，検査に先
立ち，マスターデータと検査対象データとの間の位置ず
れを決定する。すなわち，不一致計数手段により，マス
ターデータと検査対象データとのいずれか一方を所定の
範囲内で１セルずつずらした複数の展開データが作成さ
れ，各展開データと，マスターデータと検査対象データ
とのいずれか他方とが対比され，展開データ毎に不一致
セルの個数がカウントされる。ここで，無効化手段によ
り，検査対象領域外の部分についてはカウントせず無効
にしている。したがって，実際にカウントされるのは，
検査エリア領域内の部分に限られる。そして，位置ずれ
決定手段により，最も不一致セルの少ない展開データの
位置ずれがマスターデータと検査対象データとの間の位
置ずれであると決定される。そして，決定された位置ず
れに基づいてマスターデータと検査対象データとを対比
し，回路パターンの適否を検査する。このため，検査領
域外の情報に影響されず，信頼性の高い回路パターン検
査ができる。なお，不一致計数手段中の「ずらして」
は，Ｘ方向，Ｙ方向の２方向であることが好ましい。こ
のような場合，「位置ずれ」はベクトル量である。ま
た，マスターデータと検査対象データとを対比する「所
定の範囲」を複数のエリアに細分化し，エリア毎に位置
ずれを決定し検査に反映するとよりよい。この場合，単
にＸ方向Ｙ方向だけでなく，擬似的にワークの伸縮，回
転方向のずれも補正可能となり，より正確な位置ずれを
決定することができ，回路パターン検査の信頼性も向上
する。

【０００８】また，本発明の別の回路パターン検査装置
は，マスターデータと検査対象データとを比較して回路
パターンの適否を検査する回路パターン検査装置であっ
て，マスターデータおよび検査対象データを複数の位置
補正エリアに分割するエリア分割手段と，マスターデー
タと検査対象データとのいずれか一方を所定の範囲内で
１セルずつずらした複数の展開データを作成し，各展開
データと，マスターデータと検査対象データとのいずれ
か他方とを対比し，展開データ毎に各位置補正エリア内
の不一致セルをカウントする不一致計数手段と，位置補
正エリア毎に最も不一致セルの少ない展開データの位置
ずれを当該位置補正エリアにおけるマスターデータと検
査対象データとの間の位置ずれであると決定する位置ず
れ決定手段と，検査対象領域外の部分を含む位置補正エ
リアについて位置ずれ決定手段が決定した位置ずれを無
効化する無効化手段とを有し，位置ずれ決定手段により
決定され，かつ，無効化手段により無効化されなかった
位置ずれに基づいてマスターデータと検査対象データと
を対比し，回路パターンの適否を検査するものである。

【０００９】この回路パターン検査装置でも，検査に先
立ち，マスターデータと検査対象データとの間の位置ず
れを決定する。すなわち，エリア分割手段により，マス
ターデータおよび検査対象データが複数の位置補正エリ
アに分割される。そして，不一致計数手段により，マス
ターデータと検査対象データとのいずれか一方を所定の
範囲内で１セルずつずらした複数の展開データが作成さ
れ，各展開データと，マスターデータと検査対象データ
とのいずれか他方とが対比され，展開データ毎に各エリ
ア内の不一致セルの個数がカウントされる。そして，位
置ずれ決定手段により，位置補正エリア毎に最も不一致
セルの少ない展開データの位置ずれが当該位置補正エリ
アにおけるマスターデータと検査対象データとの間の位
置ずれであると決定される。ここで，無効化手段によ
り，検査対象領域外の部分を含む位置補正エリアについ
ては，位置ずれ決定手段が決定した位置ずれを無効にし
ている。したがって，実際にカウントされるのは，全体
が検査エリア領域内である位置補正エリアに限られる。
これにより，マスターデータおよび検索対象データを複
数のエリアに分割した場合であっても，分割したエリア
毎に検査対象領域外の部分を含む場合は，位置ずれを無
効にすることとなり，検査領域外の情報に影響されない
回路パターン検査ができる。

【００１０】また，本発明の回路パターン検査方法は，
マスターデータと検査対象データとを比較して回路パタ
ーンの適否を検査する回路パターン検査方法であって，
マスターデータと検査対象データとのいずれか一方を所
定の範囲内で１セルずつずらした複数の展開データを作
成し，各展開データと，マスターデータと検査対象デー
タとのいずれか他方とを対比し，検査対象領域外の部分
を除いて展開データ毎に不一致セルをカウントするステ
ップと，最も不一致セルの少ない展開データの位置ずれ
をマスターデータと検査対象データとの間の位置ずれで
あると決定するステップとを含んでいる。そして，決定
された位置ずれに基づいてマスターデータと検査対象デ
ータとを対比し，回路パターンの適否を検査するのであ
る。

【００１１】この回路パターン検査方法では，最初のス
テップとして，マスターデータと検査対象データとのい
ずれか一方を所定の範囲内で１セルずつずらした複数の
展開データが作成され，各展開データと，マスターデー
タと検査対象データとのいずれか他方とが対比され，検
査対象領域外の部分を除いて，展開データ毎に不一致セ
ルの個数がカウントされる。したがって，実際にカウン
トされるのは，検査エリア領域内の部分に限られる。次
のステップとして，最も不一致セルの少ない展開データ
の位置ずれが，マスターデータと検査対象データとの間
の位置ずれであると決定される。そして，決定された位
置ずれに基づいてマスターデータと検査対象データとが
対比され，回路パターンの適否が検査される。このた
め，検査領域外の部分に影響されず，信頼性の高い回路
パターン検査方法が実現できる。

【００１２】また，本発明の別の回路パターン検査方法
は，マスターデータと検査対象データとを比較して回路
パターンの適否を検査する回路パターン検査方法であっ
て，マスターデータおよび検査対象データを複数の位置
補正エリアに分割するステップと，マスターデータと検
査対象データとのいずれか一方を所定の範囲内で１セル
ずつずらした複数の展開データを作成し，各展開データ
とマスターデータと検査対象データとのいずれか他方と
を対比し，展開データ毎に各位置補正エリア内の不一致
セルをカウントするステップと，位置補正エリア毎に最
も不一致セルの少ない展開データの位置ずれを，当該位
置補正エリアにおけるマスターデータと検査対象データ
との間の位置ずれであると決定するステップと，検査対
象領域外の部分を含む位置補正エリアについて決定され
た位置ずれを無効化するステップとを含んでいる。そし
て，決定され，かつ，無効化されなかった位置ずれに基
づいてマスターデータと検査対象データとを対比し，回
路パターンの適否を検査するのである。

【００１３】この回路パターン検査方法では，最初のス
テップとして，マスターデータおよび検査対象データが
複数の位置補正エリアに分割される。次のステップとし
て，マスターデータと検査対象データとのいずれか一方
を所定の範囲内で１セルずつずらした複数の展開データ
が作成され，各展開データとマスターデータと検査対象
データとのいずれか他方とが対比され，展開データ毎に
各位置補正エリア内の不一致セルの個数がカウントされ
る。次のステップとして，位置補正エリア毎に最も不一
致セルの少ない展開データの位置ずれが，当該位置補正
エリアにおけるマスターデータと検査対象データとの間
の位置ずれであると決定される。次のステップとして，
検査対象領域外の部分を含む位置補正エリアについて決
定された位置ずれが無効化される。したがって，実際に
カウントされるのは，全体が検査エリア領域内である位
置補正エリアに限られる。そして，決定され，かつ，無
効化されなかった位置ずれに基づいてマスターデータと
検査対象データとが対比され，回路パターンの適否が検
査される。これにより，マスターデータおよび検索対象
データを複数のエリアに分割した場合であっても，分割
したエリア毎に検査対象領域外の部分を含む場合は，位
置ずれを無効にすることとなり，検査領域外の情報に影
響されない回路パターン検査方法が実現できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下，本発明を具体化した実施の
形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。

【００１５】［第一の形態］図１は，第一の形態におけ
る回路パターン検査装置１０の構成を示している。回路
パターン検査装置１０は，検査対象のプリント配線板を
支持する検査テーブル１２と，検査テーブル１２の位置
を調整するサーボモータ１４と，プリント配線板に光を
照射する光源１６と，プリント配線板を撮影するＣＣＤ
カメラ１８と，ＣＣＤカメラ１８で撮影された画像デー
タをデジタル値に変換するＡ／Ｄ変換部２０と，デジタ
ル値に変換された画像データを２値化する２値化部２２
と，画像データ中の特徴図形を抽出する特徴抽出部２６
と，画像データの出発先を切り換えるための切り換え器
２８と，マスターデータを保持するマスターデータメモ
リ部３６と，マスターデータメモリ部３６に保持された
マスターデータと取り込まれた画像データとを比較して
欠陥を検査し，併せて位置補正を行う欠陥照合部３０
と，欠陥照合部３０にて検査された結果の表示や，回路
パターン検査装置１０全体の操作等をするための端末３
４とを備える。切り換え器２８は，マスターデータを作
成する際にはマスターデータメモリ部３６に接続され，
回路パターンを実際に検査する際には欠陥照合部３０に
接続される。なお，マスターデータをＣＡＤから作成す
る際には，ＣＡＤデータを直接マスターデータメモリ部
３６に入力すればよい。さらに，回路パターン検査装置
１０には，欠陥箇所をオペレータに認識させるための欠
陥認識装置４０が接続されている。

【００１６】図２は，欠陥照合部３０の構成および機能
を示すブロック図である。この欠陥照合部３０は，ハー
ドウェア部１００とソフトウェア部２００とにより構成
されている。ハードウェア部１００は，マスターデータ
展開部１３１と，不一致計数回路１３２と，計数結果保
存メモリ１３３と，位置補正値レジスタ１４１と，位置
補正機能付き照合回路１４２と，欠陥情報保存メモリ１
４３と，欠陥座標カウンタ１４４とを有している。一
方，ソフトウェア部２００は，エリア別位置補正値算出
処理ルーチン２３１と，位置補正値修正処理ルーチン２
３２と，位置補正値設定処理ルーチン２４１と，欠陥情
報表示処理ルーチン２４２とを有している。ソフトウェ
ア部２００はその他，ＨＤＤ２０１を有する。

【００１７】また，欠陥照合部３０は，位置補正部３０
０（図２中上側）と，検査部４００（図２中下側）とに
分別される。位置補正部３００は，マスターデータと回
路パターン検査装置１０との位置誤差（以下，位置補正
値という。）を算出する位置補正機能を実行するための
部分である。検査部４００は，算出した位置補正値に基
づいた回路パターン検査をする検査機能を実行するため
の部分である。

【００１８】次に，位置補正部３００の各部分について
説明する。マスターデータ展開部１３１は，マスターデ
ータを１セルずつずらした画像データ（以下，展開デー
タという。）を作成する機能を有している。このため，
マスターデータ展開部１３１には，マスターデータメモ
リ部３６からマスターデータが入力される。

【００１９】不一致計数回路１３２は，各展開データと
検査対象データ(以下，欠陥候補データという。)とを対
比し，展開データ毎に不一致セルをカウントする機能を
有している。このため，不一致計数回路１３２では，マ
スターデータ展開部１３１から展開データが，特徴抽出
部２６から欠陥候補データが，端末３４から検査領域デ
ータが入力される。ここで検査領域データは，着目セル
が検査領域内である場合はＨ，検査領域内でない場合は
Ｌとなる信号である。

【００２０】図３は，不一致計数回路１３２のブロック
図である。不一致計数回路１３２は，計数結果を保持す
るカウンタ１１２Ａと，ＸＯＲ回路１１２Ｃと，ＡＮＤ
回路１１２Ｄとを有している。ＸＯＲ回路１１２Ｃに
は，欠陥候補データとマスターデータとが入力される。
また，ＡＮＤ回路１１２Ｄには，ＸＯＲ回路１１２Ｃの
出力と検査領域データとが入力される。カウンタ１１２
Ａは，ＡＮＤ回路１１２Ｄの出力がＨになる箇所を計数
して，求まった値を出力する。本論理回路１１２Ｃ，１
１２Ｄは，マスターデータと欠陥候補データとの対比結
果が不一致であり，かつ，検査領域内である箇所をＨと
して出力する。言い替えると，検査領域外の場合は，す
べてＬを出力する。すなわち，検査領域外の場合は不一
致のカウントをしない。

【００２１】また，不一致計数回路１３２は，図３中の
ＸＯＲ回路１１２ＣとＡＮＤ回路１１２Ｄとを組み合わ
せた論理回路に変えて，図４に示すような多入力ＡＮＤ
回路１１２Ｂでもよい。多入力ＡＮＤ回路１１２Ｂに
は，欠陥候補データと，展開データと，検査領域データ
とが入力される。このうち，展開データは反転入力され
る。カウンタ１１２Ａは，図３と同様の機能を有するも
のである。多入力ＡＮＤ回路１１２Ｂは，検査領域内で
あって，展開データがＬで欠陥候補データがＨとなる箇
所が存在する場合はＨを出力する。言い替えると，検査
領域外である場合は，検査領域データがＬであるため，
展開データ，欠陥候補データに関係なくカウンタ１１２
ＡにＬを出力する。すなわち，論理回路１１２Ｃ，１１
２Ｄと同様に，検査領域外である場合は，不一致のカウ
ントをしない。なお，展開データがＨで欠陥候補データ
がＬとなる箇所は，不一致であるがカウントしない。そ
のため，検査の信頼性は図３の論理回路のほうが高い
が，要求される検査精度によっては，これでも十分であ
る。

【００２２】引き続き，位置補正部３００の各部分につ
いて説明する。計数結果保存メモリ１３３は，不一致計
数回路１３２でカウントした不一致数を保存する機能を
有している。エリア別位置補正値算出処理ルーチン２３
１は，保存した不一致数から位置補正値を決定する機能
を有している。位置補正値修正処理ルーチン２３２は，
当該位置補正値の適正を検査・修正する機能を有してい
る。

【００２３】次に，検査部４００の構成および機能につ
いて説明する。位置補正値設定処理ルーチン２４１は，
位置補正値をＨＤＤ２０１から読み出す機能を有してい
る。位置補正値レジスタ１４１は，位置補正値を読み出
し記憶する機能を有している。位置補正機能付き照合回
路１４２は，位置補正したマスターデータと欠陥候補デ
ータとを対比する機能を有している。このため，位置補
正値機能付き照合回路１４２には，位置補正値レジスタ
１４１から位置補正値が，マスターデータメモリ部３６
からマスターデータが，特徴抽出部３６から欠陥候補デ
ータが入力される。欠陥情報保存メモリ１４３は，位置
補正機能付き照合回路１４２の照合結果を保存する機能
を有している。欠陥座標カウンタ１４４は，座標を求め
るための補助的なカウンタを有している。欠陥情報表示
処理ルーチン２４２は，位置補正機能付き照合回路１４
２の照合結果をモニタ表示用に加工する機能を有してい
る。

【００２４】次に，回路パターン検査装置１０の動作を
説明する。まず，検査対象のプリント配線板がＣＣＤカ
メラ１８により撮影される。ＣＣＤカメラ１８で撮影さ
れた画像データは，Ａ／Ｄ変換部２０によりデジタル値
に変換され，２値化部２２により２値化される。次に，
当該画像データ中の特徴図形が特徴抽出部２６により抽
出される。マスターデータ作成モードでは，切り換え器
２８がマスターデータメモリ部３６に接続され，マスタ
ーデータメモリ部３６でマスターデータが作成される。
検査モードでは，切り換え器２８が欠陥照合部３０に接
続される。これにより，欠陥照合部３０でマスターデー
タメモリ部３６に保持されたマスターデータと特徴抽出
部２６で抽出した欠陥候補データとが対比され欠陥が検
査される。検査結果は，端末３４に表示される。

【００２５】次に，欠陥照合部３０の動作について説明
する。まず，位置補正部３００について説明する。ま
ず，マスターデータがマスターデータ展開部１３１に入
力される。マスターデータ展開部１３１では，マスター
データを位置補正エリア毎に分割して取り込む。ここで
いう位置補正エリアとは，位置補正値が算出される領域
の単位であり，それぞれの位置補正エリアにＸ方向，Ｙ
方向の補正値が算出される。この位置補正エリアの構成
を図５に示す。図５は，カメラ１８から取り込まれる画
像データ（検査エリア）の構成を示している。図５中に
ある１つのブロックが，１つの位置補正エリアに該当す
る。図５中のパスは，カメラ１８の走査エリア（図９中
のカメラ１台の視野）に相当し，１つのパス中には複数
の位置補正エリアが存在する。また，図５中の検査方向
は，カメラ１８の走査方向である。マスターデータ展開
部１３１では，位置補正エリア毎の画像データをＹ方向
およびＸ方向に所定のセル数以内で１セルずつずらした
展開データを作成する。図６は，所定のセル数が１３×
１３個である場合の展開データの一例である。すなわ
ち，図６は，ずらされていない元の画像データ（０，
０）を基に，Ｙ方向に−６，６セルずらした画像データ
と，Ｘ方向に−６，６セルずらした画像データとが作成
された例である。実際には，１６９個の展開データ
（０，０を含む）が作成される（以下，本実施例のマス
ターデータ展開部１３１では，１つの位置補正エリアに
つき１６９個の展開データが作成されることとす
る。）。この展開データの作成は，各位置補正エリアに
ついて行われる。

【００２６】次に，不一致計数回路１３２では，マスタ
ーデータ展開部１３１で作成した１６９個の展開データ
と，欠陥候補データとが入力される。そして，展開デー
タのそれぞれ１つ１つと，欠陥候補データとを対比し，
展開データ毎に不一致数が計数される。当該計数結果
は，計数結果保存メモリ１３３に保存される。この不一
致数の計数は，各位置補正エリアについて行われる。

【００２７】次に，エリア別位置補正値算出処理ルーチ
ン２３１では，検査対象に含まれる全ての位置補正エリ
アにおいて，位置補正エリア単位で位置補正値を割り出
す。詳細には，まず，エリア別位置補正値算出処理ルー
チン２３１では，ある位置補正エリアについての１６９
個の対比結果を，計数結果保存メモリ１３３から読み出
す。次に，１６９個の計数結果の中で最小の不一致数と
なる計数結果を求め，その結果に対応する展開データを
特定する。そして，当該位置補正エリアの位置補正値
は，特定された展開データが展開されていない画像デー
タ（０，０）からＹ方向，Ｘ方向にずれているベクトル
値となる。また，当該展開データが特定できた位置補正
エリアには，位置補正値を有効な値として当該位置補正
値を保存する。特定できなかった位置補正エリアには，
位置補正値が求まらないので無効とする値を保存する。
ここで特定できなかった位置補正エリアとは，当該位置
補正エリア中に特徴抽出部２６で特徴が全く抽出されな
かったエリア等のことである。

【００２８】次に，位置補正値修正処理ルーチン２３２
では，有効な位置補正値が得られた位置補正エリアの値
と，それに隣接する位置の位置補正エリアの値とを比較
して，ある一定セル以内であるか否かを判断する。これ
は，位置補正値の連続性を確保するために行う。この比
較結果が一定セル以内であれば，位置補正値は修正され
ない。一方，比較結果が一定セル以内でなければ，位置
補正値は隣接する位置補正エリアの位置補正値に修正さ
れる。ここで「隣接する位置補正エリア値」とは，例え
ば，図５の矢印で示された位置補正エリアでいうと，位
置補正エリア１や位置補正エリア４等の位置補正値のこ
とである。もしくは，隣接している位置補正エリアの位
置補正値の平均値でもよい。なお，エリア別位置補正値
算出処理ルーチン２３１で位置補正値が無効と判断され
た位置補正エリアにも，隣接する位置補正エリアの値が
代入される。本処理により，すべての位置補正エリアに
対して位置補正値が決定する。なお，当該位置補正値は
ＨＤＤ２０１に保存される。

【００２９】次に，検査部４００について説明する。ま
ず，位置補正値設定処理ルーチン２４１では，ＨＤＤ２
０１から位置補正値を読み出して，位置補正値レジスタ
１４１に記憶する。次に，位置補正機能付き照合回路１
４２では，位置補正値レジスタ１４１と，マスターデー
タと，欠陥候補データが入力される。まず，位置補正値
レジスタ１４１から読み出した位置補正値に基づいて，
マスターデータの位置を補正する。位置の補正は，位置
補正エリア毎に行われ，すべての位置補正エリアについ
て行われる。さらに，位置補正されたマスターデータと
欠陥候補データをと対比して，不一致の場合はＨ，それ
以外の場合はＬが欠陥情報保存メモリ１４３に出力され
る。なお，欠陥座標カウンタ１４４は，座標を求めるた
めの補助的なカウンタである。この欠陥情報保存メモリ
１４３に書き込まれたデータは，欠陥情報表示処理ルー
チン２４２で，モニタ表示用に加工され出力される。

【００３０】以上詳細に説明したように第一の形態に係
る回路パターン検査装置１０では，欠陥照合部３０中の
不一致計数回路１３２において，展開データと欠陥候補
データとを対比し，不一致箇所を計数することとしてい
る。また，不一致計数回路１３２は，非検査領域のデー
タを除外する機能を有している。ここにおいて，不一致
計数回路１３２に検査領域データを入力し，検査領域外
であれば，展開データと欠陥候補データとの対比結果に
関係なくカウンタ１１２ＡにＬを出力することとしてい
る。すなわち，検査領域データが検査領域外の場合は，
カウントされず対比結果に影響しない。言い換えると，
本形態では，ハードウェア部１００の一部である不一致
計数回路１３２で非検査領域のデータを除外している。
この非検査領域には，プリント配線板の外枠だけに限ら
ず検査領域内部に存在する部分も含む。これにより，プ
リント配線板中の非検査領域の状況に影響されない高度
な位置補正機能に基づいて高度な回路パターン検査がで
きる回路パターン検査装置および回路パターン検査方法
が実現されている。

【００３１】［第二の形態］第二の形態に係る回路パタ
ーン検査方法は，非検査領域のデータを除外する処理に
関して，第一の形態ではハードウェア部１００（不一致
計数回路１３２）で実施した機能を，本形態ではソフト
ウェア部２００（位置補正値修正処理ルーチン２３２）
で実現する。

【００３２】そこで，第一の形態との共通点については
その説明を引用し，相違点について説明することとす
る。図７は，第二の形態における欠陥照合部３１の構成
および機能を示している。まず，不一致計数回路１３２
に，検査領域データが入力されない。そのため本形態で
は，検査領域の内外に関係なく展開データと欠陥候補デ
ータとの不一致数が計数される。その代わり，位置補正
値修正処理ルーチン２３２に，検査領域データが入力さ
れる。これにより，位置補正値の修正判断処理の前に，
検査領域の内外の判断処理が行われるようにしている。

【００３３】次に，本形態における位置補正値修正処理
ルーチン２３２の処理手順を，図８に示すフローチャー
トに基づいて説明する。まず，位置補正値を修正する位
置補正エリアの位置を取り込む（Ｓ１）。次に，その位
置補正エリアが完全に検査領域内に含まれているか否か
について判別する（Ｓ２）。この判別は，端末３４から
入力される検査領域データによる。完全に検査領域内に
含まれない場合，すなわち，一部でも検査領域外の場合
は（Ｓ２：ＮＯ），その位置補正エリアの位置補正値を
無効とし（Ｓ３），そして後述するＳ４へ移行する。Ｓ
２で完全に領域内であれば（Ｓ２：ＹＥＳ），Ｓ３をバ
イパスしてＳ４に移行する。

【００３４】Ｓ３の処理後およびＳ２：ＹＥＳの場合に
は，位置補正値が有効か否かを判定する（Ｓ４）。ここ
で「有効」とは，位置補正値が保存されていることをい
う。すなわち，エリア別位置補正値算出処理ルーチン２
３１で展開データが特定できた場合をいう。したがっ
て，位置補正エリア内の特徴が特徴検出部２６で全く抽
出されておらず，展開データを特定できなかった場合
は，「有効」にならない。ここで，位置補正値が有効で
なければ（Ｓ４：ＮＯ），後述するＳ７へ移行する。他
方，位置補正値が有効であれば（Ｓ４：ＹＥＳ），修正
する位置補正エリアの１つ前の位置補正エリアの位置補
正値を取り込み（Ｓ５），当該判断対象の位置補正エリ
アの位置補正値と取り込んだ１つ前の位置補正エリアの
位置補正値とを比較する（Ｓ６）。ここで，判断対象の
位置補正エリアの位置補正値と，取り込んだ位置補正値
とが所定値Ｐ以上離れていないときは（Ｓ６：ＮＯ），
当該位置補正エリアの位置補正は適正であると判断し，
当該位置補正値についての本処理を終了する。他方，Ｓ
６で所定値Ｐ以上離れているときは（Ｓ６：ＹＥＳ），
Ｓ７へ移行する。

【００３５】Ｓ４：ＮＯの場合およびＳ６：ＹＥＳの場
合には，当該位置補正エリアの位置補正値を不適切な値
であるとして，１つ前の位置補正値を代入し（Ｓ７），
当該位置補正値についての本処理を終了する。ここで
「１つ前の位置エリア」とは，例えば，図５の矢印で示
された位置補正エリアでいうと，位置補正エリア１や位
置補正エリア４等の位置補正値のことである。もしく
は，隣接している位置補正エリアの位置補正値の平均値
でもよい。以上の処理を全位置補正エリアについて行
い，本処理を終了する。

【００３６】以上詳細に説明したように第二の形態に係
る回路パターン検査方法は，位置補正値修正処理ルーチ
ン２３２において，位置補正値が有効であるか否かにつ
いて判定する（Ｓ４）前に，選択されている位置補正エ
リアが完全に検査領域内に含まれているか否かについて
判別する（Ｓ２）こととしている。当該判別処理（Ｓ
２）では，一部でも検査領域外の場合はその位置補正エ
リアの位置補正値を無効にする（Ｓ３）こととしてい
る。すなわち，ソフトウェア部２００（位置補正値修正
処理ルーチン２３２）にて，第一の形態のハードウェア
部１００（不一致計数回路１３２）で行っていた非検査
領域のデータの除外処理を実現している。この非検査領
域には，プリント配線板の外枠だけに限らず検査領域内
部に存在する部分も含む。これにより，プリント配線板
中の非検査領域の状況に影響されない高度な位置補正機
能に基づいて高度な回路パターン検査ができる回路パタ
ーン検査装置および回路パターン検査方法が実現されて
いる。

【００３７】なお，本実施の形態は単なる例示にすぎ
ず，本発明を何ら限定するものではない。したがって本
発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改
良，変形が可能である。例えば，第二の形態では，位置
補正値修正処理ルーチン２３２にて検査領域内に含まれ
るか否かの判別を行ったが，個の判別はエリア別位置補
正値算出処理ルーチン２３１で行ってもよい。この場合
は，エリア別位置補正値算出処理ルーチン２３１に検査
領域データが入力され，最小の不一致数を求める前に，
検査領域内に含まれるか否かの判別を行う。

【００３８】また，本実施の形態では，マスターデータ
を１セルずつずらした展開データを作成し，当該展開デ
ータと欠陥候補データ（検査対象データ）とを対比して
いたが，欠陥候補データを１セルずつずらした展開デー
タを作成し，当該展開データとマスターデータとを対比
してもよい。

【００３９】また，本実施の形態では，位置補正部３０
０で決定した位置補正値を，いったんＨＤＤ２０１に保
存し，検査部４００がその位置補正値を読み出して検査
することとしていたが，このＨＤＤ２０１に保存せず，
検査部４００が直接位置補正部３００の決定した位置補
正値を使用することとしてもよい。この場合は，位置補
正エリア毎に位置をリアルタイムに補正しながら検査を
実施できる。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば，プリント配線板中の非検査領域による影響を排
除し，より適切な位置補正を可能にした回路パターン検
査装置および回路パターン検査方法が提供されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一の形態における回路パターン検査装置の構
成を示すブロック図である。

【図２】第一の形態における欠陥照合部の構成および機
能を示すブロック図である。

【図３】第一の形態における不一致計数回路のブロック
図（その１）である。

【図４】第一の形態における不一致計数回路のブロック
図（その２）である。

【図５】回路パターン検査装置に取り込まれる画像デー
タの構成を示す図である。

【図６】位置補正エリアの画像データを展開した画像デ
ータ群を示す図である。

【図７】第二の形態における欠陥照合部の構成および機
能を示すブロック図である。

【図８】第二の形態における位置補正値修正処理ルーチ
ンのフローチャートである。

【図９】検査対象となる基板および検査カメラ一台分の
視野を示す図である。

【図１０】検査領域の右端部の拡大図である。

【符号の説明】

１０ 回路パターン検査装置 ２６ 特徴抽出部 ３０，３１ 欠陥照合部 １００ ハードウェア部 １３２ 不一致計数回路 ２００ ソフトウェア部 ２３２ 位置補正値修正処理ルーチン ３００ 位置補正部 ４００ 検査部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA07 AA14 AA49 AA56 BB02 CC01 FF04 JJ03 JJ26 QQ04 QQ31 QQ39 2G051 AA65 AB11 CA04 CB01 DA07 EA11 EA12 EA14 ED01 ED09 ED11

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスターデータと検査対象データとを比
   較して回路パターンの適否を検査する回路パターン検査
   装置において，マスターデータと検査対象データとのい
   ずれか一方を所定の範囲内で１セルずつずらした複数の
   展開データを作成し，各展開データと，マスターデータ
   と検査対象データとのいずれか他方とを対比し，展開デ
   ータ毎に不一致セルをカウントする不一致計数手段と，
   検査対象領域外の部分について前記不一致計数手段のカ
   ウントを無効化する無効化手段と，最も不一致セルの少
   ない展開データの位置ずれをマスターデータと検査対象
   データとの間の位置ずれであると決定する位置ずれ決定
   手段とを有し，前記位置ずれ決定手段により決定された
   位置ずれに基づいてマスターデータと検査対象データと
   を対比し，回路パターンの適否を検査することを特徴と
   する回路パターン検査装置。
2. 【請求項２】 マスターデータと検査対象データとを比
   較して回路パターンの適否を検査する回路パターン検査
   装置において，マスターデータおよび検査対象データを
   複数の位置補正エリアに分割するエリア分割手段と，マ
   スターデータと検査対象データとのいずれか一方を所定
   の範囲内で１セルずつずらした複数の展開データを作成
   し，各展開データとマスターデータと検査対象データと
   のいずれか他方とを対比し，展開データ毎に各位置補正
   エリア内の不一致セルをカウントする不一致計数手段
   と，位置補正エリア毎に最も不一致セルの少ない展開デ
   ータの位置ずれを当該位置補正エリアにおけるマスター
   データと検査対象データとの間の位置ずれであると決定
   する位置ずれ決定手段と，検査対象領域外の部分を含む
   位置補正エリアについて前記位置ずれ決定手段が決定し
   た位置ずれを無効化する無効化手段とを有し，前記位置
   ずれ決定手段により決定され，かつ，前記無効化手段に
   より無効化されなかった位置ずれに基づいてマスターデ
   ータと検査対象データとを対比し，回路パターンの適否
   を検査することを特徴とする回路パターン検査装置。
3. 【請求項３】 マスターデータと検査対象データとを比
   較して回路パターンの適否を検査する回路パターン検査
   方法において，マスターデータと検査対象データとのい
   ずれか一方を所定の範囲内で１セルずつずらした複数の
   展開データを作成し，各展開データと，マスターデータ
   と検査対象データとのいずれか他方とを対比し，検査対
   象領域外の部分を除いて展開データ毎に不一致セルをカ
   ウントするステップと，最も不一致セルの少ない展開デ
   ータの位置ずれをマスターデータと検査対象データとの
   間の位置ずれであると決定するステップとを含み，決定
   された位置ずれに基づいてマスターデータと検査対象デ
   ータとを対比し，回路パターンの適否を検査することを
   特徴とする回路パターン検査方法。
4. 【請求項４】 マスターデータと検査対象データとを比
   較して回路パターンの適否を検査する回路パターン検査
   方法において，マスターデータおよび検査対象データを
   複数の位置補正エリアに分割するステップと，マスター
   データと検査対象データとのいずれか一方を所定の範囲
   内で１セルずつずらした複数の展開データを作成し，各
   展開データと，マスターデータと検査対象データとのい
   ずれか他方とを対比し，展開データ毎に各位置補正エリ
   ア内の不一致セルをカウントするステップと，位置補正
   エリア毎に最も不一致セルの少ない展開データの位置ず
   れを当該位置補正エリアにおけるマスターデータと検査
   対象データとの間の位置ずれであると決定するステップ
   と，検査対象領域外の部分を含む位置補正エリアについ
   て決定された位置ずれを無効化するステップとを含み，
   決定され，かつ，無効化されなかった位置ずれに基づい
   てマスターデータと検査対象データとを対比し，回路パ
   ターンの適否を検査することを特徴とする回路パターン
   検査方法。