JP2003080117A

JP2003080117A - 噴射ノズル

Info

Publication number: JP2003080117A
Application number: JP2001272745A
Authority: JP
Inventors: Tokuo Araida; 徳雄新井田; Hitoshi Takahashi; 等高橋; Ryoji Kobayashi; 陵二小林
Original assignee: Keihin Corp
Current assignee: Keihin Corp
Priority date: 2001-09-07
Filing date: 2001-09-07
Publication date: 2003-03-18

Abstract

(57)【要約】【課題】液体中に浸漬されているワークに向けてオリフ
ィス状に急激に絞られて形成された噴射口より液体を噴
射して、前記液体中にキャビテーションを発生し、効果
的なバリ取りまたは洗浄を行う噴射ノズルを提供するこ
とを目的とする。【解決手段】液路１２が設けられた筒状部材１４と、該
筒状部材１４の先端壁部に設けられた噴射口１６から構
成された噴射ノズル１０Ａは、前記噴射口１６から排出
されるキャビテーション発生用液Ｌ１を、浸漬液Ｌ２内
で開口した噴射口１６を介して浸漬液Ｌ２内に噴射させ
る。前記噴射口１６はオリフィス状に急激に絞られて形
成されている。キャビテーション発生用液Ｌ１は、液路
１２を流通した後、噴射口１６から排出され、浸漬液Ｌ
２中に浸漬されたワークに指向して噴射される。このと
き発生するキャビテーションＣＡによって該ワークから
バリ、切り屑および工作油（異物）が洗浄除去される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、第１の液体を第２
の液体中に浸漬されているワークに向けて噴射して該ワ
ークのバリを洗浄除去する噴射ノズルに関し、より詳細
には前記第２の液体中にキャビテーションを発生させ
て、該ワークの成形時、加工時、または成形加工時等に
形成されたバリを容易かつ確実に洗浄除去することが可
能な噴射ノズルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、鋳造、鍛造、溶接、プレス加工、
成形、成形加工等で製造されたワークに残存しているバ
リおよび前記ワークの表面に依然として付着しているバ
リの切り屑、工作油等の異物を洗浄除去する装置とし
て、キャビテーション発生装置がある。本出願人はこの
種のキャビテーション発生装置として、ワークが浸漬さ
れた液中に噴射ノズルから液を噴射することに伴ってキ
ャビテーションを発生させる装置（例えば、特開平６−
１３４４１４号公報および特開平６−１３４４１５号公
報参照）を提案している。具体的には、図１２に示す噴
射ノズル１００において、前記噴射口１０６の径と該噴
射口１０６からワークまでの距離との比を一定の範囲内
とすることによって、または図１３に示す噴射ノズル１
１０において、突端部１１２の吐出口１１４の径と、噴
射口１０６の径との比を一定の範囲とすることによっ
て、切り屑、工作油等の異物を洗浄除去するキャビテー
ション発生装置を提案している。ここで該噴射ノズル１
００および１１０は、液路１０４から噴射口１０６にか
けて徐々に縮径された構造１０７を有している（以後、
該噴射ノズル１００、１１０を収縮ノズルという）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
キャビテーション発生装置にあっては、キャビテーショ
ンの気泡の壊食力が弱く、ワークに付着する異物等を洗
浄除去することは可能であるが、ワークの成形時、加工
時、または成形加工時等に形成されたバリを確実に安定
して除去することまでには至らなかった。

【０００４】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであり、キャビテーションの気泡の壊食力
を向上して、例えば水のみでワークにおける異物の洗浄
除去やバリ取りを確実に安定して行うことが可能な、キ
ャビテーション発生装置用の噴射ノズルを提供すること
を目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明に係る噴射ノズルの噴射口は、オリフィス状
に急激に絞られて形成されている。従来の収縮ノズルと
比較して、本発明に係る噴射ノズルは、該噴射ノズルの
内部で急激に縮径されるため、前記噴射口において縮流
が発生する。そして、この縮流の周りに大きなせん断応
力が発生するため、噴流内部から強いキャビテーション
の発生が始まる。該キャビテーションは、噴流とともに
ワークに向けて噴射される。従って、従来の収縮ノズル
と比較して、ワークに対して十分に大きな壊食効果を得
ることができる。それ故、キャビテーションの発生効率
を大きく向上できるとともに、ワークのバリ取り加工が
容易に行える。また、前記縮流の発生により、第１の液
体の流量を減少できるので、該噴射ノズルに対し前記液
体を送液するポンプを小型化することが可能となり、洗
浄除去に要する前記液体の使用量が削減でき、コストの
削減が実現できる。さらに、前記縮流の発生により、強
いキャビテーションを発生することができるので、前記
噴射ノズルからワークまでの距離を短くすることが可能
となるため、キャビテーション発生装置の小型化も実現
できる。

【０００６】また、前記噴射口を囲繞するように突端部
を形成し、該突端部には前記噴射口に連通する吐出口を
設けると好ましい。すなわち、このような構成とするこ
とにより、前記吐出口内部においても噴流と第２の液体
との間に強い渦流が発生する。その結果、キャビテーシ
ョンの発生が促進され、ワークのバリ取り洗浄効果がさ
らに向上する。

【０００７】また、前記噴射ノズルは、噴射口がオリフ
ィス状に急激に絞られている噴射部材と、中空部を有
し、前記噴射口に連通する吐出口を備え、かつ前記噴射
部材の先端部にはめ込み可能な突端部材とを有して構成
されているとより好ましい。この場合、前記突端部材を
噴射口を有する前記噴射ノズルの先端部にはめ込んで噴
射ノズルを形成する。すなわち、ワークの種類に応じて
噴射ノズルの形状を変えたい場合には、形状の異なる突
端部材を交換するだけでよい。従って、噴射ノズルに要
するコストを削減することが可能となる。

【０００８】また、前記突端部または前記突端部材の吐
出口先端を面取りすることによって、さらなるキャビテ
ーションの発生が得られる。すなわち、吐出口内部に加
え、吐出口先端付近にも強い渦流が発生するため、広範
囲にわたり効率よくキャビテーションを発生させること
が可能となる。

【０００９】また、前記突端部または前記突端部材の吐
出口を、テーパ状に拡開したテーパ部として形成する
と、より一層強い渦流を発生させることができ、さらに
高いキャビテーション効果が得られる。

【００１０】また、上記したような噴射ノズルを、第２
の液体中に浸漬されたワークのバリ取りまたは洗浄を行
う噴射ノズルに用いることによって、従来の収縮ノズル
と比較して、該ワークにおけるより効果的な異物の洗浄
除去・バリ取り加工が実現できる。そして、噴射口か
ら噴射される第１の液体に、脱気された液体を用いるこ
とによって、高いキャビテーション効果を得ることが可
能となる。これは例えば、水道水のように溶存気体量が
多いと、キャビテーションで発生する気泡径が大きくな
るが、キャビテーション気泡破壊時、それら大きなキャ
ビテーション気泡同士がクッション作用を生じてしま
い、破壊時における衝撃力を弱めてしまう。しかしなが
ら、脱気手段にてあらかじめ脱気された液体は、著しく
溶存気体量が低いので、上記クッション作用が極力防止
される。このため、キャビテーション気泡破壊時におけ
る衝撃力が弱まることなく最大限に発揮できるので、高
いキャビテーション効果を得ることが可能となる。従っ
て、異物およびバリがほとんどない良好なワークが得ら
れる。

【００１１】さらに、前記第１の液体に加え、第２の液
体も脱気された液体とすることで、より一層良好な異物
の洗浄除去・バリ取り効果が得られる。

【００１２】最後に第１の液体および第２の液体は、脱
気された水であることが好ましい。水を使用することに
より、作業環境を安全なものとすることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る噴射ノズルの
好適な実施形態を、図１〜図１１を参照しながら説明す
る。

【００１４】まず、第１実施形態に係る噴射ノズル１０
Ａは、図１に示すように液路１２が設けられた筒状部材
１４と、該筒状部材１４の先端壁部に設けられた噴射口
１６から構成される。前記噴射口１６から排出されるキ
ャビテーション発生用液Ｌ１は、浸漬液Ｌ２内で開口し
た噴射口１６を介して浸漬液Ｌ２内に噴射される。

【００１５】図１から諒解されるように、液路１２の直
径は略一定である。また、噴射口１６も直径が略一定と
なるように設けられている。また、筒状部材１４におい
ては、内周壁部と先端壁部とが互いに略９０°の角度を
なしている。すなわち、この噴射ノズル１０Ａにおいて
は、噴射口１６がオリフィス状に設けられており、液路
１２から噴射口１６にかけては、図１１の収縮ノズル１
００および図１２の収縮ノズル１１０のように絞られた
部分１０７は設けられておらず、急激に絞られるように
なっている。

【００１６】図２は、浸漬液Ｌ２に浸漬されたワーク１
８表面の異物やバリを、前記噴射ノズル１０Ａによって
除去する様子を示す。噴射ノズル１０Ａの液路１２に送
液された、例えば、脱気純水は、該噴射ノズル１０Ａを
介して、キャビテーション発生用液Ｌ１として、例え
ば、脱気純水（浸漬液Ｌ２）中に噴射される。すなわ
ち、脱気純水は、噴射ノズル１０Ａを構成する筒状部材
１４の液路１２を流通した後、該筒状部材１４に設けら
れた噴射口１６から排出され、さらに、クランプ台２０
に固定された状態で浸漬液Ｌ２中に浸漬されたワーク１
８に指向して噴射される。このとき、噴流２２と浸漬液
Ｌ２との摩擦によって、キャビテーションＣＡが多数発
生する。このキャビテーションＣＡがワーク１８に衝突
した際に破壊されることに伴って生じる壊食力により、
該ワーク１８から切り屑や工作油（異物）が洗浄除去さ
れるとともに、バリが除去される。

【００１７】ここでは、溶存気体量が著しく低い脱気純
水をキャビテーション発生用液Ｌ１および浸漬液Ｌ２と
して使用している。このため、高いキャビテーション効
果を得ることが可能となる。従って、このときに生じる
壊食力が著しく大きくなるので、異物やバリを効率よく
除去することができる。

【００１８】しかも、キャビテーションＣＡの壊食力は
著しく大きいので、複雑な形状を有するワークであって
も、該ワークに残存するバリは確実に除去される。勿
論、キャビテーションＣＡがワーク１８に衝突する位置
を適宜調整することによって、最適なバリ取り加工が行
える。

【００１９】上記した噴射の際、図１に示すように、筒
状部材１４の噴射口１６が液路１２に対してオリフィス
状で急激に絞られているため、該噴射口１６において、
脱気純水の縮流ＣＯが発生する。このようにして縮流Ｃ
Ｏが発生することにより、縮流ＣＯの周りには、従来の
収縮ノズルでは得ることのできない大きなせん断応力が
生じ、噴流２２の内部から強いキャビテーションＣＡの
発生が始まる。このため、従来の収縮ノズルより大きな
壊食効果を得ることが可能となる。ワーク１８から切り
屑、工作油（異物）およびバリを一層確実に除去するこ
とができる。なお、キャビテーション発生用液Ｌ１の吐
出圧力が２．９〜１９．６ＭＰａに設定されているの
で、該キャビテーション発生用液Ｌ１の噴流２２が、ワ
ーク１８に衝突した場合であっても、該ワーク１８が損
傷することはない。

【００２０】以上のようにして、バリがほとんど存在し
ないワークが得られるに至る。

【００２１】そして、キャビテーション発生用液Ｌ１お
よび浸漬液Ｌ２として、例えば、脱気純水を使用すれ
ば、ワーク１８から異物やバリを効率よくかつ確実に除
去することが可能となる。

【００２２】図３は、第２実施形態に係る噴射ノズル１
０Ｂの断面図を示す。

【００２３】該噴射ノズル１０Ｂは、液路１２が設けら
れた筒状部材１４と、該筒状部材１４の先端壁部に設け
られた噴射口１６とに加え、前記噴射口１６を囲繞する
ように突端部２４を備えている。そして、前記突端部２
４の一端部には円柱状孔部（リセス）２６を備えた吐出
口２８が設けられている。なお、筒状部材１４と、噴射
口１６と、円柱状孔部（リセス）２６とは、その中心が
略合致する位置に設けられている。

【００２４】ここで、前記噴射ノズル１０Ｂを図２に示
すワーク１８の洗浄除去に用いた場合について説明す
る。

【００２５】この噴射ノズル１０Ｂにおいて、筒状部材
１４の液路１２に流通した、例えば、脱気純水は、該筒
状部材１４に設けられた噴射口１６から噴流２２として
浸漬液Ｌ２に排出される。その際、突端部２４の吐出口
２８を介して、クランプ台２０に固定された状態で浸漬
液Ｌ２中に浸漬されたワーク１８に指向して噴射され
る。このとき、噴流２２と浸漬液Ｌ２との摩擦の他に、
前記噴流と円柱状孔部２６（リセス）近傍の浸漬液Ｌ２
との間に強い渦流が発生するため、キャビテーションＣ
Ａの発生が促進される。従って、第１実施形態の噴射ノ
ズル１０Ａの場合と比較して、さらなる該ワーク１８の
洗浄除去効果が得られる。

【００２６】図４は、噴射ノズル１０Ｂによるワーク１
８の壊食量と、従来の収縮ノズル１１０によるワークの
壊食量を比較したものである。この場合、噴射ノズル１
０Ｂにおける液路１２の直径Ｄ１と、従来の収縮ノズル
１１０における液路１０８の直径Ｄ２とは同じ大きさに
設定している。また、噴射ノズル１０Ｂにおける吐出口
２８の直径Ｄ３と、収縮ノズル１１０における吐出口１
１４の直径Ｄ４も同じ大きさに設定している。そして、
キャビテーション発生用液Ｌ１を７ＭＰａの圧力で、ワ
ーク１８に対して３０秒間噴射した。壊食量の最大値を
比較すると収縮ノズル１１０の場合、０．００４ｇであ
ったが、噴射ノズル１０Ｂの場合は０．０１１ｇまで増
加した。すなわち、オリフィス状に急激に絞られている
噴射口１６とすることによって、２．７５倍の壊食量が
得られたことになる。

【００２７】図５は、吐出口２８を面取りした噴射ノズ
ル１０Ｃの断面図を示す。

【００２８】該噴射ノズル１０Ｃの構成は、面取り部分
以外は、噴射ノズル１０Ｂと同じ構成である。ここで面
取りによって形成される吐出口２８の角度θは、３０°
〜７０°の範囲内に設定することが好ましい。このよう
な構成とすることで、円柱状孔部（リセス）２６近傍の
浸漬液Ｌ２に加え、吐出口２８近傍の浸漬液Ｌ２と噴流
２２との間にも強い渦流を発生することができ、噴射ノ
ズル１０Ｂよりも広範囲にわたってキャビテーションＣ
Ａが発生する。従って、より強力な該ワーク１８の洗浄
除去の効果が得られるとともに、噴射ノズル１０Ｃとワ
ーク１８との間の距離の設定の自由度を向上することが
できるので、例えば装置内において、各部材のレイアウ
トの自由度を高めることが可能となる。

【００２９】図６は、噴射ノズル１０Ｂまたは１０Ｃの
円柱状孔部（リセス）２６をテーパ状に拡径したテーパ
状孔部３０を備えた噴射ノズル１０Ｄを示す。ここで、
テーパ状孔部３０のなす角度θは、３０°〜７０°の範
囲内に設定することが好ましい。このような構成とする
ことで、テーパ状孔部３０内部における噴流２２の周辺
に強い渦流ＣＷが生じ、噴射ノズル１０Ｂおよび１０Ｃ
と比較して、より高いキャビテーションＣＡ効果が得ら
れる。従って、より効果的な該ワーク１８の洗浄除去効
果が得られる。

【００３０】図７は、噴射口１６近傍に小径孔部３２が
設けられている噴射ノズル１０Ｅを示す。この小径孔部
３２が存在することにより、テーパ状孔部３０の中心軸
と噴射口１６の中心軸が位置ずれしている場合であって
も、キャビテーション発生用液Ｌ１は、テーパ状孔部３
０の略中心軸近傍から噴射される。

【００３１】これは、図６に示す噴射ノズル１０Ｄのも
のでは、テーパ状孔部３０と噴射口１６との同軸ずれが
あると、噴流２２が傾いてしまったり、噴流２２におけ
るキャビテーションＣＡの発生量が低下する等の不具合
が発生するが、図７に示す噴射ノズル１０Ｅのもので
は、テーパ状孔部３０と噴射孔１６との間に小径孔部３
２を設けるようにしたので、上記同軸ずれの影響をなく
すことが容易に可能となるからである。また、この噴射
ノズル１０Ｅは、上記のように同軸精度を高くする必要
がないにもかかわらず、噴射ノズル１０Ｄに比して、壊
食力が低下することが極力抑制されるという効果もあ
る。また、噴射ノズル１０Ｅのものでは、同軸精度を高
くする必要がないので、噴射ノズル１０Ｄに比して、そ
の加工工具の製作およびその加工を容易にすることがで
きる、というさらなる効果もある。

【００３２】なお、上記の実施形態では、噴射液体とし
て脱気純水を使用したものを示したが、この液体に限定
されるものではなく、脱気水、水等でもよい。

【００３３】図８は、第３実施形態に係る噴射ノズル１
０Ｆを示す。

【００３４】これは、図３に示す噴射ノズル１０Ｂの円
柱状孔部（リセス）２６が、突端部２４を前記噴射ノズ
ル１０Ｂと別体にした突端部材３４Ｆとして形成したも
のである。この場合、噴射ノズル１０Ｆの噴射部材３６
Ｆは、噴射ノズル１０Ａに相当する。この突端部材３４
Ｆを交換可能にすることで、キャビテーションＣＡによ
る円柱状孔部（リセス）２６に例えば摩耗が発生して
も、前記突端部材３４Ｆのみを交換すればよいので、噴
射ノズル１０Ｆそのものを交換する必要はなくなる。ま
た、ワーク１８の種類に応じて噴射ノズル１０Ｆの形状
を変えたい場合には、形状の異なる突端部材３４Ｆを交
換するだけでよい。従って、噴射ノズル１０Ｆに要する
コストを低減することができる。また、前記突端部材３
４Ｆの構成材料としては、焼入れ処理が施された金属や
超硬合金、セラミックス等、耐摩耗性が良好なものが好
適である。なお、前記突端部材３４Ｆと噴射部材３６Ｆ
とを組み合わせる方法としては、交換可能とする場合
は、ねじ等によって連結され、また、例えば条件設定後
で交換可能とする必要がない場合は、ろう付け、溶接、
圧入、加熱融着等、どのような方法を用いてもよい。

【００３５】従って、第２実施形態に係る噴射ノズル１
０Ｂ〜１０Ｅの突端部２４を、前記噴射ノズルとは別体
とし、突端部材として形成することができる。

【００３６】すなわち、噴射ノズル１０Ｃは、図９に示
す噴射ノズル１０Ｇに変形することができる。この噴射
ノズル１０Ｇは、吐出口２８を面取りした突端部材３４
Ｇと噴射部材３６Ｇとを備えたものである。

【００３７】また、図１０に示すように、噴射ノズル１
０Ｄを変形した噴射ノズル１０Ｈであってもよい。この
噴射ノズル１０Ｈは、テーパ状に拡径したテーパ状孔部
３０を有する突端部材３４Ｈと噴射部材３６Ｈとを備え
たものである。

【００３８】また、図１１に示すように、噴射ノズル１
０Ｅを変形した噴射ノズル１０Ｉであってもよい。この
噴射ノズル１０Ｉは、噴射口１６の端部を小径孔部３２
とテーパ状に拡径したテーパ状孔部３０を有する突端部
材３４Ｉと噴射部材３６Ｉとを備えたものである。

【００３９】なお、上述した実施例においては、噴射ノ
ズル１０Ｅ、１０Ｉに小径孔部３２を設けるようにした
が、この小径孔部３２の軸方向長さをゼロとして円形平
面とし、その外径からテーパ状に拡径するようにしても
勿論構わない。

【００４０】

【発明の効果】本発明に係る噴射ノズルによれば、噴射
口がオリフィス状に急激に絞られた噴射ノズルを使用し
てキャビテーションを発生させるようにしている。この
ため、キャビテーションを効率よく発生させることがで
きるので、例えば水のみでワークに付着した切り屑や工
作油等の異物を洗浄除去することができるとともに、該
ワークのバリを確実に除去することができる。従って、
清浄でかつバリのない良好なワークを得ることができる
という効果が達成される。勿論、噴射口がオリフィス状
に急激に絞られた噴射ノズルを使用し、かつ、この噴射
ノズルを介して、脱気手段によって予め脱気された液体
を噴射するようにすれば、より一層の洗浄除去効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る噴射ノズルの断面図であ
る。

【図２】噴射ノズルによるワークの洗浄除去作業を示す
図である。

【図３】第２実施形態に係る噴射ノズルであり、噴射口
を囲繞する突端部を備えた噴射ノズルの断面を示す図で
ある。

【図４】図３の噴射ノズルと、図１３に示す従来技術に
係る噴射（収縮）ノズルのワークに対する壊食量を比較
した図である。

【図５】噴射ノズルの吐出口を面取りした噴射ノズルの
断面図である。

【図６】テーパ状孔部を有する突端部を備えた噴射ノズ
ルの断面図である。

【図７】噴射ノズルの噴射口近傍に小径孔部を設けた噴
射ノズルの断面図である。

【図８】第３実施形態に係る噴射ノズルであり、突端部
材と噴射部材とから構成される噴射ノズルの断面を示す
図である。

【図９】突端部材の先端が面取りされた噴射ノズルの断
面を示す図である。

【図１０】テーパ状孔部を有する突端部材を備えた噴射
ノズルの断面図である。

【図１１】小径孔部とテーパ状孔部とを有する突端部材
を備えた噴射（収縮）ノズルの断面図である。

【図１２】従来技術に係る噴射（収縮）ノズルの断面図
である。

【図１３】従来技術に係る噴射ノズルの断面図である。

【符号の説明】

１０Ａ〜１０Ｉ、１００、１１０…噴射ノズル１２、１０８…液路１４…筒状部材１６、１０６…噴射口１８…ワーク２０…クランプ台２２…噴流２４、１１２…突端部２６…円柱状孔部
（リセス）２８、１０４、１１４…吐出口３０…テーパ状孔部３２…小径孔部３４Ｆ〜３４Ｉ…突
端部材３６Ｆ〜３６Ｉ…噴射部材１０２…噴射ノズル３６Ｆ〜３６Ｉ…噴射部材Ｌ１…キャビテーシ
ョン発生用液Ｌ２…浸漬液ＣＡ…キャビテーシ
ョンＣＯ…縮流ＣＷ…渦流Ｄ１、Ｄ２…液路の直径Ｄ３、Ｄ４…吐出口
の直径

フロントページの続き (72)発明者小林陵二宮城県仙台市太白区八木山本町二丁目８番 13号Ｆターム(参考） 3B201 AA48 BB32 BB92 4F033 AA04 BA04 CA01 DA01 EA01 NA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】噴射口から第１の液体を第２の液体中に噴
射することによって前記第２の液体中にキャビテーショ
ンを発生させる噴射ノズルにおいて、前記噴射口がオリフィス状に急激に絞られていることを
特徴とする噴射ノズル。
【請求項２】請求項１記載の噴射ノズルにおいて、前記噴射口を囲繞する突端部を有し、かつ前記噴射口に
連通する吐出口が該突端部に設けられていることを特徴
とする噴射ノズル。
【請求項３】噴射口から第１の液体を第２の液体中に噴
射することによって前記第２の液体中にキャビテーショ
ンを発生させる噴射ノズルにおいて、前記噴射口がオリフィス状に急激に絞られている噴射部
材と、中空部を有し、前記噴射口に連通する吐出口を備
え、かつ前記噴射部材の先端部にはめ込み可能な突端部
材とを有して構成されていることを特徴とする噴射ノズ
ル。
【請求項４】請求項２または３記載の噴射ノズルにおい
て、前記吐出口の先端が面取りされていることを特徴とする
噴射ノズル。
【請求項５】請求項２または３記載の噴射ノズルにおい
て、前記吐出口がテーパ状に拡開したテーパ部を有すること
を特徴とする噴射ノズル。
【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項に記載の噴射
ノズルにおいて、前記噴射ノズルは、前記第２の液体中に浸漬されたワー
クのバリを洗浄除去する噴射ノズルであることを特徴と
する噴射ノズル。
【請求項７】請求項１〜６のいずれか１項に記載の噴射
ノズルにおいて、前記第１の液体は、脱気された液体であることを特徴と
する噴射ノズル。
【請求項８】請求項７記載の噴射ノズルにおいて、前記第１の液体および前記第２の液体は、脱気された液
体であることを特徴とする噴射ノズル。
【請求項９】請求項８記載の噴射ノズルにおいて、前記第１の液体および前記第２の液体は、脱気された水
であることを特徴とする噴射ノズル。