JP2003065972A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線検査装置の分解能を向上させる。
【解決手段】 物品Ｍを搬送する搬送手段１３と、前記
物品ＭにＸ線を照射するＸ線源１４と、前記搬送手段１
３による物品Ｍの搬送方向Ｘに概ね直交する方向にライ
ン状に配列され、前記物品Ｍを通過したＸ線を受光する
複数の主検出素子１０を有するＸ線検出手段１５とを備
え、前記Ｘ線検出手段１５からの出力により物品Ｍ中の
検査を行うことを特徴とする。
物品ＭにＸ線を照射するＸ線源１４と、前記搬送手段１
３による物品Ｍの搬送方向Ｘに概ね直交する方向にライ
ン状に配列され、前記物品Ｍを通過したＸ線を受光する
複数の主検出素子１０を有するＸ線検出手段１５とを備
え、前記Ｘ線検出手段１５からの出力により物品Ｍ中の
検査を行うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品にＸ線を照射
し、その透過光に基づいて物品についての検査を行うＸ
線検査装置に関するものである。
し、その透過光に基づいて物品についての検査を行うＸ
線検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線検査装置は、物品中に混入した異物
の検出、物品の入り数の検査、物品の形状（割れや欠
け）の検査等を行う（たとえば、特願昭１１−１６８１
６５号、特願２０００−２００６５１号）。かかる検査
装置には、図５（ａ），（ｂ）に示すように、複数個の
リニアセンサ（一次元アレイ型検出器）１００を並べて
用いる。
の検出、物品の入り数の検査、物品の形状（割れや欠
け）の検査等を行う（たとえば、特願昭１１−１６８１
６５号、特願２０００−２００６５１号）。かかる検査
装置には、図５（ａ），（ｂ）に示すように、複数個の
リニアセンサ（一次元アレイ型検出器）１００を並べて
用いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、隣接するリニ
アセンサ１００同士の継ぎ目の部分２００は、不感帯と
なる。また、各リニアセンサ１００を構成するフォトダ
イオード１０１同士の間には不感帯が存在する。かかる
不感帯の存在は、分解能の低下を招き、そのため、極く
小さな異物や小さな欠けを検出できないなどの問題を招
く。したがって、本発明の主目的は、Ｘ線検査装置の分
解能を向上させることである。
アセンサ１００同士の継ぎ目の部分２００は、不感帯と
なる。また、各リニアセンサ１００を構成するフォトダ
イオード１０１同士の間には不感帯が存在する。かかる
不感帯の存在は、分解能の低下を招き、そのため、極く
小さな異物や小さな欠けを検出できないなどの問題を招
く。したがって、本発明の主目的は、Ｘ線検査装置の分
解能を向上させることである。
【０００４】さらに、Ｘ線用のリニアセンサ１００は、
図５（ｂ）のＸ線が入射すると光を発生するシンチレー
タ１０２を用いており、そのため、周知のように、リニ
アセンサ１００の端部では、図５（ｃ）のように、光量
が低下し、感度が低下する。このように、感度が低下す
ると誤検出の原因となる。したがって、本発明の他の目
的は、感度の低い領域をなくすことである。
図５（ｂ）のＸ線が入射すると光を発生するシンチレー
タ１０２を用いており、そのため、周知のように、リニ
アセンサ１００の端部では、図５（ｃ）のように、光量
が低下し、感度が低下する。このように、感度が低下す
ると誤検出の原因となる。したがって、本発明の他の目
的は、感度の低い領域をなくすことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送手段
と、前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、前記搬送手段
による物品の搬送方向に概ね直交する方向にライン状に
配列され、前記物品を通過したＸ線を受光する複数の主
検出素子を有するＸ線検出手段とを備え、前記Ｘ線検出
手段からの出力により物品中の検査を行うことを特徴と
する。
に、本発明のＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送手段
と、前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、前記搬送手段
による物品の搬送方向に概ね直交する方向にライン状に
配列され、前記物品を通過したＸ線を受光する複数の主
検出素子を有するＸ線検出手段とを備え、前記Ｘ線検出
手段からの出力により物品中の検査を行うことを特徴と
する。
【０００６】本発明によれば、副検出素子が各主検出素
子間の非受光部分のＸ線を検出するので、各主検出素子
間が不感帯とならず、分解能が向上する。
子間の非受光部分のＸ線を検出するので、各主検出素子
間が不感帯とならず、分解能が向上する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
にしたがって説明する。まず、本発明が適用されるＸ線
検査装置の全体構成の一例について簡単に説明する。
にしたがって説明する。まず、本発明が適用されるＸ線
検査装置の全体構成の一例について簡単に説明する。
【０００８】図１（ａ）に示すＸ線検査装置１１は、た
とえば、物品Ｍを該検査装置１１に搬入する搬入コンベ
ヤ（図示せず）と、検査後の物品Ｍをこの検査装置１１
から搬出する搬出コンベヤ（図示せず）との間に配設さ
れている。該検査装置１１はその本体１２内に設けた搬
送コンベヤ（搬送手段）１３で物品Ｍを搬送方向Ｘに搬
送しながら、異物検査を行う。検査装置１１は、この搬
送コンベヤ１３の上方に配設されたＸ線源１４と、該Ｘ
線源１４に対向するように搬送コンベヤ１３の下方に配
置されて、Ｘ線源１４から出射されて物品Ｍを通過した
Ｘ線Ｘ１を受光するＸ線検出手段１５とを備えている。
とえば、物品Ｍを該検査装置１１に搬入する搬入コンベ
ヤ（図示せず）と、検査後の物品Ｍをこの検査装置１１
から搬出する搬出コンベヤ（図示せず）との間に配設さ
れている。該検査装置１１はその本体１２内に設けた搬
送コンベヤ（搬送手段）１３で物品Ｍを搬送方向Ｘに搬
送しながら、異物検査を行う。検査装置１１は、この搬
送コンベヤ１３の上方に配設されたＸ線源１４と、該Ｘ
線源１４に対向するように搬送コンベヤ１３の下方に配
置されて、Ｘ線源１４から出射されて物品Ｍを通過した
Ｘ線Ｘ１を受光するＸ線検出手段１５とを備えている。
【０００９】なお、本体１２の前後の壁部材１２ａ，１
２ｂには、搬入側および搬出側の開口部１２ｃ，１２ｄ
がそれぞれ設けられている。
２ｂには、搬入側および搬出側の開口部１２ｃ，１２ｄ
がそれぞれ設けられている。
【００１０】図１（ｂ）はＸ線検出手段１５の第１実施
形態を示す。図１（ｂ）に示すように、前記Ｘ線検出手
段１５は、第１の直線Ｌ１上に配列された複数本の第１
Ｘ線検出器１i と、第２の直線Ｌ２上に配列された複数
本の第２Ｘ線検出器２i とを備えている。前記第１Ｘ線
検出器１i と第２Ｘ線検出器２i とは、互いに近接して
いると共に平行に配列されており、したがって、Ｘ線検
出手段１５はライン状に配列されている。なお、各Ｘ線
検出器１i ，２i は、帯状（棒状）のシンチレータと多
数のフォトダイオードを備えた周知の一次元アレイ型検
出器からなる。
形態を示す。図１（ｂ）に示すように、前記Ｘ線検出手
段１５は、第１の直線Ｌ１上に配列された複数本の第１
Ｘ線検出器１i と、第２の直線Ｌ２上に配列された複数
本の第２Ｘ線検出器２i とを備えている。前記第１Ｘ線
検出器１i と第２Ｘ線検出器２i とは、互いに近接して
いると共に平行に配列されており、したがって、Ｘ線検
出手段１５はライン状に配列されている。なお、各Ｘ線
検出器１i ，２i は、帯状（棒状）のシンチレータと多
数のフォトダイオードを備えた周知の一次元アレイ型検
出器からなる。
【００１１】図２（ａ）に示すように、前記第１Ｘ線検
出器１i は、物品の搬送方向Ｘに直交するＹ方向に沿っ
て配列された多数の主検出素子（フォトダイオード）１
０を備えている。また、前記第２Ｘ線検出器２i は、Ｙ
方向に沿って配列された多数の副検出素子（フォトダイ
オード）２０を備えている。
出器１i は、物品の搬送方向Ｘに直交するＹ方向に沿っ
て配列された多数の主検出素子（フォトダイオード）１
０を備えている。また、前記第２Ｘ線検出器２i は、Ｙ
方向に沿って配列された多数の副検出素子（フォトダイ
オード）２０を備えている。
【００１２】隣り合う２つの第１Ｘ線検出器１i と、第
１Ｘ線検出器１i+1 とは離れており、そのため、これら
の検出手段の間には不感領域（非受光部分）αが存在す
る。この不感領域αに対応する部分には、前記第２Ｘ線
検出器２i が配置されており、両検出素子１０，２０が
一定のピッチＰで規則正しく配列されている。一方、図
１（ｂ）の第２Ｘ線検出器２i-1 と第２Ｘ線検出器２i
との間には、第１Ｘ線検出器１i が配置されている。し
たがって、両Ｘ線検出器１i ，２i は、それぞれ、互い
の非受光部分についての物品Ｍの検出を補完し合うの
で、各第１Ｘ線検出器１i および第２Ｘ線検出器２i の
継ぎ目の部分についても検出が可能となる。したがっ
て、この継ぎ目の部分を異物が通過しても、当該異物を
検出することができる。
１Ｘ線検出器１i+1 とは離れており、そのため、これら
の検出手段の間には不感領域（非受光部分）αが存在す
る。この不感領域αに対応する部分には、前記第２Ｘ線
検出器２i が配置されており、両検出素子１０，２０が
一定のピッチＰで規則正しく配列されている。一方、図
１（ｂ）の第２Ｘ線検出器２i-1 と第２Ｘ線検出器２i
との間には、第１Ｘ線検出器１i が配置されている。し
たがって、両Ｘ線検出器１i ，２i は、それぞれ、互い
の非受光部分についての物品Ｍの検出を補完し合うの
で、各第１Ｘ線検出器１i および第２Ｘ線検出器２i の
継ぎ目の部分についても検出が可能となる。したがっ
て、この継ぎ目の部分を異物が通過しても、当該異物を
検出することができる。
【００１３】なお、第１Ｘ線検出器１i と第２Ｘ線検出
器２i が搬送方向Ｘに互いに近接しているので、画像処
理に要する時間が短くなる。
器２i が搬送方向Ｘに互いに近接しているので、画像処
理に要する時間が短くなる。
【００１４】ところで、図２（ａ）の場合には、各Ｘ線
検出器１i ，２i の端部の感度が図２（ｂ）のように低
下する。そこで、図２（ｃ）のように、第１Ｘ線検出器
１i の端部の主検出素子１０と、第２Ｘ線検出器２i の
端部の副検出素子２０とが互いにオーバーラップするよ
うに配置すれば、かかる感度の低下を防止することがで
きる。
検出器１i ，２i の端部の感度が図２（ｂ）のように低
下する。そこで、図２（ｃ）のように、第１Ｘ線検出器
１i の端部の主検出素子１０と、第２Ｘ線検出器２i の
端部の副検出素子２０とが互いにオーバーラップするよ
うに配置すれば、かかる感度の低下を防止することがで
きる。
【００１５】なお、図２（ｃ）のように配列した場合、
ハッチングを施した端部の検出素子１０，２０について
は、検出して光電変換した電荷を無視してもよいし、あ
るいは、オーバーラップする素子の電荷を重畳させても
よい。
ハッチングを施した端部の検出素子１０，２０について
は、検出して光電変換した電荷を無視してもよいし、あ
るいは、オーバーラップする素子の電荷を重畳させても
よい。
【００１６】図３（ａ），（ｂ）はＸ線検出手段１５の
第２実施形態を示す。本実施形態では、隣り合う各第１
Ｘ線検出器１i ，１i+1 同士が互いに隙間なく隣接して
配置されている。また、隣り合う各第２Ｘ線検出器
２i ，２i+1 同士も互いに隙間なく隣接して配置されて
いる。図３（ｂ）に示すように、第１Ｘ線検出器１i の
検出素子１０および第２Ｘ線検出器２i の検出素子２０
は、それぞれ、同一のピッチＰで配列されている。前記
第１Ｘ線検出器１i の主検出素子１０と、第２Ｘ線検出
器２i の副検出素子２０とは、互いに半ピッチ０．５Ｐ
づつ位置ズレして配置されている。すなわち、第１Ｘ線
検出器１i における隣接する主検出素子１０、１０の間
に対応する位置には、第２Ｘ線検出器２i の副検出素子
２０が配置されており、一方、第２Ｘ線検出器２i にお
ける隣接する副検出素子２０，２０の間に対応する位置
には、第１Ｘ線検出器１i の主検出素子１０が配置され
ている。
第２実施形態を示す。本実施形態では、隣り合う各第１
Ｘ線検出器１i ，１i+1 同士が互いに隙間なく隣接して
配置されている。また、隣り合う各第２Ｘ線検出器
２i ，２i+1 同士も互いに隙間なく隣接して配置されて
いる。図３（ｂ）に示すように、第１Ｘ線検出器１i の
検出素子１０および第２Ｘ線検出器２i の検出素子２０
は、それぞれ、同一のピッチＰで配列されている。前記
第１Ｘ線検出器１i の主検出素子１０と、第２Ｘ線検出
器２i の副検出素子２０とは、互いに半ピッチ０．５Ｐ
づつ位置ズレして配置されている。すなわち、第１Ｘ線
検出器１i における隣接する主検出素子１０、１０の間
に対応する位置には、第２Ｘ線検出器２i の副検出素子
２０が配置されており、一方、第２Ｘ線検出器２i にお
ける隣接する副検出素子２０，２０の間に対応する位置
には、第１Ｘ線検出器１i の主検出素子１０が配置され
ている。
【００１７】本実施形態では、主検出素子１０と副検出
素子２０とが互いに半ピッチ０．５Ｐずつ位置ズレして
配置されているので、分解能が２倍になる。したがっ
て、たとえば、極く細い金属糸や薄い金属片などの検出
も可能となる。
素子２０とが互いに半ピッチ０．５Ｐずつ位置ズレして
配置されているので、分解能が２倍になる。したがっ
て、たとえば、極く細い金属糸や薄い金属片などの検出
も可能となる。
【００１８】なお、図３（ｃ）のように、第１Ｘ線検出
器１i と第２Ｘ線検出器２i の端部と中央部分とが互い
に重なるように配置してもよい。この場合、２つの第１
Ｘ線検出器１i と第２Ｘ線検出器２i とが互いにオーバ
ーラップする部分βのみを検出領域として使用するのが
好ましい。
器１i と第２Ｘ線検出器２i の端部と中央部分とが互い
に重なるように配置してもよい。この場合、２つの第１
Ｘ線検出器１i と第２Ｘ線検出器２i とが互いにオーバ
ーラップする部分βのみを検出領域として使用するのが
好ましい。
【００１９】図４（ａ）は第３実施形態を示す。本実施
形態では、１枚の基板３０上に、主検出素子１０および
副検出素子２０が互いに平行にそれぞれ第１および第２
直線Ｌ１，Ｌ２上に配置されている。前記主検出素子１
０の配列ピッチＰと副検出素子２０の配列ピッチＰは、
互いに等しく、かつ、相互に半ピッチ０．５Ｐだけ位置
ズレして配置されている。
形態では、１枚の基板３０上に、主検出素子１０および
副検出素子２０が互いに平行にそれぞれ第１および第２
直線Ｌ１，Ｌ２上に配置されている。前記主検出素子１
０の配列ピッチＰと副検出素子２０の配列ピッチＰは、
互いに等しく、かつ、相互に半ピッチ０．５Ｐだけ位置
ズレして配置されている。
【００２０】なお、本発明では、図４（ｂ）のように、
２つのＸ線検出器１i ，２i を搬送方向Ｘに互いに離間
させた場合も含まれる。また、図４（ｃ）のように、第
１Ｘ線検出器１i の両側に第２Ｘ線検出器２を配設して
もよい。更に、図４（ｄ）のように、同じ構造のＸ線検
出器１i ，２i，３i を３列設け、１／３ピッチずつ位
置ズレさせて配置してもよい。また、Ｘ線検出手段を２
つのコンベヤの間の切れ間に設けてもよい。
２つのＸ線検出器１i ，２i を搬送方向Ｘに互いに離間
させた場合も含まれる。また、図４（ｃ）のように、第
１Ｘ線検出器１i の両側に第２Ｘ線検出器２を配設して
もよい。更に、図４（ｄ）のように、同じ構造のＸ線検
出器１i ，２i，３i を３列設け、１／３ピッチずつ位
置ズレさせて配置してもよい。また、Ｘ線検出手段を２
つのコンベヤの間の切れ間に設けてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
隣り合う主検出素子間の非受光部分についてのＸ線の検
出を行う副検出素子を設けたので、前記非受光部分が不
感領域とならず、したがって、極く小さな異物や小さな
欠けを見落とすおそれがない等の効果がある。
隣り合う主検出素子間の非受光部分についてのＸ線の検
出を行う副検出素子を設けたので、前記非受光部分が不
感領域とならず、したがって、極く小さな異物や小さな
欠けを見落とすおそれがない等の効果がある。
【００２２】また、第１および第２のＸ線検出器の端部
同士が互いにオーバーラップするように配置すれば、端
部の非受光部分や感度の小さい部分を補完することがで
きる。
同士が互いにオーバーラップするように配置すれば、端
部の非受光部分や感度の小さい部分を補完することがで
きる。
【００２３】また、第１Ｘ線検出器の各主検出素子の間
の非受光部分に、各々、副検出素子を配置すれば、当該
非受光部分についても検出が可能となり、したがって、
分解能が向上する。
の非受光部分に、各々、副検出素子を配置すれば、当該
非受光部分についても検出が可能となり、したがって、
分解能が向上する。
【００２４】また、請求項５の発明によれば、同じ構造
の汎用的なＸ線検出器を用いて分解能を向上させること
ができ、したがって、ローコスト化を図ることができ
る。
の汎用的なＸ線検出器を用いて分解能を向上させること
ができ、したがって、ローコスト化を図ることができ
る。
【００２５】なお、主検出素子に対し副検出素子を近接
して配置すれば、画像処理に要する時間が短縮される。
して配置すれば、画像処理に要する時間が短縮される。
【図１】（ａ）は本発明が適用されるＸ線検査装置の一
例を示す概略構成図、（ｂ）は第１実施形態にかかるＸ
線検出器の配置を示す平面図である。
例を示す概略構成図、（ｂ）は第１実施形態にかかるＸ
線検出器の配置を示す平面図である。
【図２】（ａ）は同拡大した部分的な概念図、（ｂ）は
Ｘ線検出手段の検出特性を示す特性図、（ｃ）は変形例
を示す部分的な概念図である。
Ｘ線検出手段の検出特性を示す特性図、（ｃ）は変形例
を示す部分的な概念図である。
【図３】（ａ）は第２実施形態にかかるＸ線検出器の配
置を示す平面図、（ｂ）は同拡大した部分的な概念図、
（ｃ）はＸ線検出器の他の配置を示す平面図である。
置を示す平面図、（ｂ）は同拡大した部分的な概念図、
（ｃ）はＸ線検出器の他の配置を示す平面図である。
【図４】（ａ）は第３実施形態を示すＸ線検出手段の概
念図、（ｂ），（ｃ），（ｄ）は他の例を示す図であ
る。
念図、（ｂ），（ｃ），（ｄ）は他の例を示す図であ
る。
【図５】（ａ），（ｂ）は従来のＸ線検出器の配置を示
す平面図および側面図、（ｃ）は同検出器の検出特性を
示す特性図である。
す平面図および側面図、（ｃ）は同検出器の検出特性を
示す特性図である。
１i ：第１Ｘ線検出器
２i ：第２Ｘ線検出器
１０：主検出素子
１３：搬送コンベヤ（搬送手段）
１４：Ｘ線源
１５：Ｘ線検出手段
２０：副検出素子
Ｍ：物品
Claims (6)
- 【請求項１】 物品を搬送する搬送手段と、前記物品に
Ｘ線を照射するＸ線源と、前記搬送手段による物品の搬
送方向に概ね直交する方向にライン状に配列され、前記
物品を通過したＸ線を受光する複数の主検出素子を有す
るＸ線検出手段とを備え、前記Ｘ線検出手段からの出力
により物品中の検査を行うＸ線検査装置であって、 前記Ｘ線検出手段には前記隣り合う各主検出素子間の非
受光部分のＸ線の検出を補完する副検出素子を有するＸ
線検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のＸ線検査装置であっ
て、 前記副検出素子を複数備えたＸ線検査装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載のＸ線検査装置であっ
て、 前記Ｘ線検出手段は、前記複数の主検出素子をライン状
に配置した複数の第１Ｘ線検出器と、前記複数の副検出
素子を前記主検出素子と平行にライン状に配置した第２
Ｘ線検出器とを備え、 前記第１Ｘ線検出器と前記第２Ｘ線検出器との少なくと
も端部同士が互いにオーバーラップするように配置した
Ｘ線検査装置。 - 【請求項４】 請求項２に記載のＸ線検査装置であっ
て、 前記Ｘ線検出手段は前記複数の主検出素子をライン状に
配置した第１Ｘ線検出器と、前記複数の副検出素子を前
記主検出素子と平行にライン状に配置した第２Ｘ線検出
器とを備え、 前記第１Ｘ線検出器の各主検出素子間の非受光部分に対
応する位置に前記第２Ｘ線検出器の各副検出素子を配置
したＸ線検査装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載のＸ線検査装置であっ
て、 前記第１Ｘ線検出器の各主検出素子と前記第２Ｘ線検出
器の各副検出素子とは同一ピッチで配列され、 前記第１Ｘ線検出器と前記第２Ｘ線検出器とが互いに平
行に配置され、 前記各主検出素子と前記各副検出素子とが互いに半ピッ
チずれて配置されているＸ線検査装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか１項におい
て、 前記主検出素子と副検出素子が前記直交する方向に互い
に近接して配置されているＸ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252259A JP2003065972A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252259A JP2003065972A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003065972A true JP2003065972A (ja) | 2003-03-05 |
Family
ID=19080769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001252259A Pending JP2003065972A (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003065972A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009150782A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Saki Corp:Kk | 被検査体の検査装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS58223083A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-12-24 | ザ・ボ−ド・オブ・トラステイ−ズ・オブ・ザ・リ−ランド・スタンフオ−ド・ジユニア・ユニバ−シテイ | 線走査式放射線システム |
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- 2001-08-23 JP JP2001252259A patent/JP2003065972A/ja active Pending
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