JP2003022986A

JP2003022986A - 剥離装置

Info

Publication number: JP2003022986A
Application number: JP2001204525A
Authority: JP
Inventors: Miki Nakada; 幹中田
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2001-07-05
Publication date: 2003-01-24
Anticipated expiration: 2021-07-05
Also published as: JP4739584B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被着体の外側に表出する粘着シートの粘着面
に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを防
止すること。【解決手段】ダイシングテープＴの一部領域に貼着さ
れるとともに上部に保護テープＣが貼着されたウェハＷ
を保持するテーブル３１と、保護テープＣの一端側に接
着された剥離テープＡを把持する剥がしヘッド部７２と
を備えて剥離装置１０が構成されている。この剥離装置
１０は、剥がしヘッド部７２が剥離テープＡを把持した
状態でテーブル３１と相対移動することにより、保護テ
ープＣを一端側から他端側に向かって次第にウェハＷか
ら剥離可能に設けられている。ここで、ウェハＷから剥
離された保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１と当該剥がれ部
分Ｃ１に相対するダイシングテープＴの粘着面Ｓとの間
には、邪魔板４４が所定のタイミングで配置されるよう
になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は剥離装置に係り、更
に詳しくは、被着体の外側に表出する粘着シートの粘着
面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを
回避可能な剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、表面側が回路面となる略円盤
状の半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という）が知
られている。このウェハは、一般的に、前記回路面に保
護テープを貼着した後で、裏面側をグラインダー等によ
り切削加工することで厚みが調整される。そして、リン
グフレームの内側に表出するダイシングテープの粘着面
側にウェハの裏面側を貼り合わせた状態で、保護テープ
をウェハの表面側から剥がし、その後、当該ウェハを賽
の目状に切断することにより半導体チップが形成され
る。

【０００３】ところで、本出願人は、保護テープをウェ
ハから剥離する作業を軽減するために、当該剥離作業を
自動化できる剥離装置を提案した（特願２０００−１０
６８２７号等参照）。この剥離装置は、リングフレーム
の内側で表出するダイシングテープに貼着されたウェハ
がテーブルに保持された状態で、ウェハに貼着された保
護テープの一端側に剥離テープを熱融着し、当該剥離テ
ープを把持させた剥がしヘッド部とテーブルとを保護テ
ープの面に略沿う方向に相対移動させることにより、保
護テープの一端側から他端側に向かって当該保護テープ
を次第にウェハから剥離させるものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記剥
離装置にあっては、保護テープの剥離後に、当該保護テ
ープの剥がれ部分がダイシングテープの粘着面に不用意
に付着し易く、この付着した保護テープを前記粘着面か
ら取り除く作業が新たに必要になる場合があるという問
題がある。すなわち、リングフレームは、ウェハよりも
大径に設定されており、それらの間には、ダイシングテ
ープの粘着面が表出した状態となっている。そのため、
剥がしヘッド部及びテーブルの相対移動によって、保護
テープの剥がれ部分が前記粘着面上を通過する際に、前
記剥がれ部分が垂れ下がって粘着面に付着してしまうこ
とがある。

【０００５】

【発明の目的】本発明は、既提案の構造上の問題に鑑み
て更にこれを改良したものであり、その目的は、被着体
の外側に表出する粘着シートの粘着面に保護テープの剥
がれ部分が不用意に付着することを防止可能な剥離装置
を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、粘着シートの一部領域に貼着されるとと
もに片面に保護テープが貼着された被着体を保持してな
る転写体を支持する支持体と、前記保護テープの一端側
に接着された剥離テープを把持する把持手段とを備え、
当該把持手段が前記剥離テープを把持した状態で支持体
と相対移動することにより、前記保護テープを前記一端
側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離
装置であって、前記被着体から剥離された保護テープの
剥がれ部分と当該剥がれ部分に相対する前記粘着シート
の粘着面との間に邪魔部材を配置する、という構成を採
っている。このような構成によれば、邪魔部材の存在に
よって、保護テープの剥がれ部分が相対する粘着シート
の粘着面に不用意に付着する虞を解消することができ、
当該粘着面から前記剥がれ部分を取り除く作業を不要と
することができる。

【０００７】また、本発明において、前記邪魔部材は、
前記支持体と相対移動可能に設けられる、という構成を
採ることが好ましい。このように構成することで、保護
テープの剥離開始時には、当該剥離作業の邪魔にならな
い位置に邪魔部材を退避させることが可能になる他、邪
魔部材の配置位置を調整することができ、サイズの異な
る被着体に対する保護テープの剥離作業にも難なく対応
可能となる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。

【０００９】図１には、本実施例に係る剥離装置１０に
適用されるウェハ転写体１２の概略斜視図が示されてお
り、図２には、図１の拡大縦断面図が示されている。こ
れらの図において、ウェハ転写体１２は、被着体として
の略円盤状の半導体ウェハ（以下、「ウェハＷ」とい
う）と、このウェハＷの表面側となる回路面に貼着され
る保護テープＣと、ウェハＷの裏面側に貼着されるとと
もに、ウェハＷよりも大きな平面積となる粘着シートと
してのダイシングテープＴと、このダイシングテープＴ
の外周部分に沿って配置されるリングフレームＲとによ
り構成されている。このウェハ転写体１２は、ウェハＷ
の外周側とリングフレームＲの内周側との間に略円環状
の隙間が存在し、当該隙間からダイシングテープＴの粘
着面Ｓが表出するようになっている。

【００１０】剥離装置１０は、図示しないグラインダー
等で裏面が切削された後のウェハＷから保護テープＣを
剥離する装置である。すなわち、この剥離装置１０は、
図３に模式的に示されるように、保護テープＣの一端側
に剥離テープＡを接着して、当該剥離テープＡの一端側
を把持しながらその他端側に向かってウェハＷとの間で
相対移動させることにより保護テープＣをウェハＷから
剥離できるように設定されたものである。ここで、剥離
テープＡは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルム等の耐熱性フィルムに感熱性接着剤層を設けたも
の、或いは、感熱性フィルムによって全体を構成したも
のが例示できる。要するに、剥離テープＡとしては、保
護テープＣのウェハＷへの粘着力よりも高い接着力を確
保することができ、保護テープＣをウェハＷから確実に
剥離できる限りにおいて、種々の材質のものを採用する
ことができる。

【００１１】剥離装置１０は、図４に示されるように、
ウェハ転写体１２を略鉛直方向及び略水平方向に移動可
能に支持する転写体支持手段２２と、この転写体支持手
段２２側に支持されたウェハ転写体１２における保護テ
ープＣの一端側に剥離テープＡを接着するテープ接着切
断手段２３と、剥離テープＡの端部を把持可能な把持手
段２５とを備えて構成されている。

【００１２】前記転写体支持手段２２は、図５及び図６
に示されるように、ウェハ転写体１２を昇降可能に支持
するテーブルユニット２７と、このテーブルユニット２
７を左右方向に移動させる移動機構２８と、テーブルユ
ニット２７の図５及び図６左方に位置するととともに、
テーブルユニット２７に対して離間接近可能なサイド部
材２９とを備えている。

【００１３】テーブルユニット２７は、図示しないバキ
ュームポンプからの吸引力によってウェハ転写体１２を
吸着保持可能に設けられた支持体としてのテーブル３１
と、このテーブル３１の下方に位置する板状のベース部
材３３と、このベース部材３３に固定されるとともに、
当該ベース部材３３に対してテーブル３１を昇降させる
昇降シリンダー３５と、テーブル３１の昇降をガイドす
るガイド部材３６とを備えている。テーブル３１は、特
に限定されるものではないが、図６中左右幅が１２イン
チ用のリングフレームＲの直径よりやや長尺に設定され
る一方、同図中上下幅がそのリングフレームＲの直径よ
りも小さくなっており、これにより、ウェハ転写体１２
は、その図６中上下両側がテーブル３１よりもはみ出し
た状態でテーブル３１上に載置されることとなる。

【００１４】移動機構２８は、図５に示されるように、
ベース部材３３の下方位置で図５中左右方向に延びるレ
ール部材３８と、このレール部材３８に沿って摺動可能
に設けられ、当該ベース部材３３を固定する摺動部材３
９と、当該摺動部材３９をレール部材３８に沿って摺動
させる駆動装置４２とによって構成されている。

【００１５】前記サイド部材２９は、図５及び図６に示
されるように、上部に位置する略長片状の邪魔板４４
（邪魔部材）と、この邪魔板４４の図５中左端側から垂
下するブラケット４６と、このブラケット４６の下端側
に連なるともに、ベース部材３３の裏面側に固定されて
同図中左右方向に延びるガイド４８上を移動可能に係合
する摺動部材４９とを備えて構成されている。

【００１６】ブラケット４６は、側面視略Ｕ字状に設け
られており、その下端側にベース部材３３に固定される
第１，第２シリンダー５１，５２のロッド５１Ａ，５２
Ａが連結されている（図５、図６参照）。このため、第
１シリンダー５１又は第２シリンダー５２が駆動する
と、サイド部材２９がガイド４８に沿って移動し、サイ
ド部材２９がテーブルユニット２７に対して離間接近す
ることとなる。また、ブラケット４６に設けられた開放
部４６Ａは、邪魔板４４がテーブルユニット２７に接近
したときに、昇降シリンダー３５の駆動により最下降し
た状態のテーブル３１及びベース部材３３が共に通過可
能に設けられている。

【００１７】前記テープ接着切断手段２３及び把持手段
２５は、例えば、前記特願２０００−１０６８２７号で
既に提案された構造が主に採用されている。

【００１８】すなわち、テープ接着切断手段２３は、図
７に示されるように、前記剥離テープＡを繰り出すテー
プ繰出部５４と、テープ繰出部５４によって繰り出され
た剥離テープＡをウェハＷ上の保護テープＣの端部に接
着するとともに、当該接着後の剥離テープＡをテープ繰
出部５４側から切り離すヒーターカッター部５６とを備
えて構成されている。

【００１９】テープ繰出部５４は、図示しない昇降機構
によって全体的に昇降可能に設けられており、剥離テー
プＡを巻回保持するテープ保持体５８と、このテープ保
持体５８から繰り出された剥離テープＡを挟持する一対
のピンチローラー５９及びガイドローラー６０と、これ
らピンチローラー５９及びガイドローラー６０の下流側
に位置するテープ受け板６２と、このテープ受け板６２
の上方に位置するとともに、当該テープ受け板６２に対
して上下動可能に設けられた第１テープ押さえ板６３と
を備えている。

【００２０】ヒーターカッター部５６は、図示しない昇
降機構によってテープ繰出部５４と相対的に昇降可能に
設けられており、剥離テープＡを保護テープＣの図７中
右端側に熱溶着させるヒーター部材６５と、このヒータ
ー部材６５の周囲に設けられる一対のテープ押さえガイ
ド６６，６６と、図７中左側のテープ押さえガイド６６
に固定される第２テープ押さえ板６９と、このテープ押
さえ板６９を上下方向に貫通して同図中紙面直交方向に
移動可能なカッター刃７０とを備えて構成されている。
ここで、ヒーター部材６５は、テープ押さえガイド６６
に対して昇降可能に設けられており、第２テープ押さえ
板６９は、テープ押さえガイド６６の下端側が保護テー
プＣ側に押さえ付けられた状態で、剥離テープＡをテー
プ受け板６２との間で挟み込み可能に設けられている。

【００２１】前記把持手段２５は、剥離テープＡを把持
可能な剥がしヘッド部７２を備えている。この剥がしヘ
ッド部７２は、図示しない移動機構によって、昇降可能
に設けられるとともに、図７中左方に向かって移動可能
に設けられている。また、剥がしヘッド７２の先端側に
は、内向きのチャック７３が設けられており、剥離テー
プＡの端部を挟み込み可能となっている。

【００２２】次に、剥離装置１０の全体的作用について
説明する。

【００２３】先ず、図示しないグラインダー等によって
厚みを調整した後のウェハＷが保持されたウェハ転写体
１２をテーブル３１上に吸着保持させる。そして、剥離
テープＡを繰り出して、ウェハ転写体１２が吸着保持さ
れたテーブル３１をテープ繰出部５４の下方まで移動さ
せる（図４参照）。その後、剥離テープＡの先端側を剥
がしヘッド部７２のチャック７３で挟持し、当該剥がし
ヘッド部７２をテープ繰出部５４から離反する方向に移
動させて剥離テープＡを引き出す（図８参照）。そし
て、この状態から、ヒーターカッター部５６が下降し、
第１及び第２のテープ押さえ板６３，６９、テープ押さ
えガイド６６によって剥離テープＡが押さえられ、ヒー
ター部材６５によって、剥離テープＡのリード端側がウ
ェハＷ上の保護テープＣの図中右端側上部に熱融着され
る（図７参照）。その後、カッター刃７０が図７中紙面
直交方向に移動し、保護テープＣに熱融着された剥離テ
ープＡをテープ保持体５８側から切り離す。

【００２４】そして、テープ繰出部５４及びヒーターカ
ッター部５６が上昇し、その後、図９に示されるよう
に、保護テープＣの図９中右端側に熱融着された剥離テ
ープＡの端部を挟持する剥がしヘッド部７２が同図中左
方（矢印方向）に移動するとともに、テーブル３１を含
むテーブルユニット２７が剥がしヘッド部７２と離反す
る方向（同図中右方）に移動する。これによって、保護
テープＣが同図中右端側から左端側に向かってウェハＷ
から次第に剥離されることになる。この際、剥離方向の
終端側に位置する邪魔板４４は、テーブル３１と略同一
の高さとなる当該テーブル３１の左側位置で、テーブル
ユニット２７と一体的に図９中右方に移動する。

【００２５】ここで、剥離テープＡによりウェハＷから
剥離される保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１がウェハＷの
図１０の状態となったときに、剥がしヘッド部７２及び
テーブル３１の相対移動が一旦停止する。そして、図１
０に示されるように、テーブル３１が昇降シリンダー３
５の下降動作によりベース部材３３に向かって下降し、
その後、サイド部材２９が第１シリンダー５１の作動に
よりテーブル３１に向かって接近する。そして、サイド
部材２９の邪魔板４４の先端側をウェハＷの図６，図１
０中左端部分の上方位置Ｐ１に配置させる。これによっ
て、ウェハＷの図６，図１０中左端側とリングフレーム
Ｒとの間で表出するダイシングテープＴの粘着面Ｓが邪
魔板４４によって上方から覆われることになる。すなわ
ち、ここでの邪魔板４４は、保護テープＣの剥がれ部分
Ｃ１と当該剥がれ部分Ｃ１に相対する粘着面Ｓとの間に
配置された状態となる。そして、この状態のまま、剥が
しヘッド部７２及びテーブル３１が再び相対移動し（図
１１参照）、剥離テープＡ付きの保護テープＣが完全に
ウェハＷから剥離される。このように、剥離テープＡに
よってウェハＷから剥離された保護テープＣは、剥がし
ヘッド部７２の移動により廃棄ボックス７５（図１，図
１２参照）上に送られた後で、チャック７３が開放し、
上方からのエアブローによって廃棄ボックス７５内に落
下される。この際、保護テープＣの剥離後のウェハＷを
含むウェハ転写体１２は、テーブルユニット２７に載置
された状態から図示しないロボットアーム等によって搬
出されて、図示しない収納ボックス内に収納され、或い
は、ウェハを賽の目状に切断するダイシング工程を行う
ダイサー等に搬送される。そして、ウェハ転写体１２が
搬出されたテーブル３１上には、新しいウェハ転写体１
２が図示しないロボットアームにより載置されて、剥が
しヘッド部７２の下方に位置するように搬送され、上記
工程が繰り返し行われる。

【００２６】従って、このような実施例によれば、邪魔
板４４の存在によって、保護テープＣをウェハＷから剥
離する際に、保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１がダイシン
グテープＴの粘着面Ｓの露出面に不用意に付着すること
を防ぐことができ、当該粘着面Ｓから保護テープＣを取
り除く作業を不要にすることができるという効果を得
る。

【００２７】なお、邪魔板４４の上面には、特殊剥離コ
ーティング（トシカル表面処理）が施されて仮に保護テ
ープＣの粘着面が接触しても容易に剥離可能に処理され
る。

【００２８】また、前記実施例においては、リングフレ
ームＲを備えたウェハ転写体１２に対する保護テープＣ
の剥離について説明したが、この剥離装置１０にあって
は、図６で図示するように、サイズの異なったリングフ
レームＲ（Ｒ１，Ｒ２）を備えたウェハ転写体１２に対
しても保護テープＣの剥離を行うことが可能である。例
えば、１２インチと８インチのリングフレームＲ１，Ｒ
２を備えたウェハ転写体１２を適用した場合に、邪魔板
４４を前述の位置に移動させることで１２インチサイズ
に対応できる一方、８インチサイズに対応させるために
は、図６に示されるように、第１及び第２シリンダー５
１，５２を作動させることで、前記実施例の場合よりも
邪魔板４４を図６中更に右方に移動させ、前記実施例の
場合と同様に邪魔板４４の先端側がウェハＷの端部の上
方位置Ｐ２に配置されるようになっている。

【００２９】また、前記実施例にあっては、サイド部材
２９をテーブル３１側に離間接近可能にするとともに、
テーブル３１をベース部材３３に対して昇降シリンダー
３５により昇降可能な構成としたが、本発明はこれに限
らず、サイド部材２９或いはテーブル３１の何れか一方
の部材のみを他方の部材に対して昇降及び離間接近可能
な構成とすることもできる。

【００３０】要するに、本発明における装置各部の構成
は図示構成例に限定されるものではなく、保護テープＣ
の剥がれ部分とダイシングテープＴの粘着面Ｓとの間に
邪魔板４４等の邪魔部材を配置する限りにおいて、種々
の変更が可能である。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当該剥
がれ部分に相対する粘着シートの粘着面との間に邪魔部
材を配置したから、被着体の外側に表出する粘着シート
の粘着面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着する
ことを防止できる。

【００３２】また、前記邪魔部材を支持体と相対移動可
能に設けたから、保護テープの剥離開始時には、当該剥
離作業の邪魔にならない位置に邪魔部材を退避させるこ
とが可能になる他、邪魔部材の配置位置を調整すること
ができ、サイズの異なる被着体に対する保護テープの剥
離作業にも難なく対応可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係る剥離装置に適用されるウェハ転
写体の概略斜視図。

【図２】図１の拡大縦断面図。

【図３】前記剥離装置による剥離作業を模式的に示した
概略斜視図。

【図４】前記剥離装置の概略正面図。

【図５】転写体支持手段の拡大正面図。

【図６】図５の要部拡大平面図。

【図７】テープ接着切断手段の拡大正面図。

【図８】剥離テープを繰り出す状態を説明するための要
部拡大図。

【図９】保護テープを剥離し始めた状態を示す要部拡大
図。

【図１０】保護テープの剥離途中で邪魔板が移動する状
態を説明するための要部拡大図。

【図１１】保護テープの剥離終了直前の状態を示す要部
拡大図。

【図１２】保護テープの剥離終了後の状態を示す要部拡
大図。

【符号の説明】

１０剥離装置１２ウェハ転写体（転写体）２２転写体支持手段２５把持手段３１テーブル（支持体）４４邪魔板（邪魔部材）７２剥がしヘッド部（把持手段）Ａ剥離テープＣ保護テープＣ１剥がれ部分Ｒ，Ｒ１，Ｒ２リングフレームＳ粘着面Ｔダイシングテープ（粘着シート）Ｗウェハ（被着体）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粘着シートの一部領域に貼着されるとと
もに片面に保護テープが貼着された被着体を保持してな
る転写体を支持する支持体と、前記保護テープの一端側
に接着された剥離テープを把持する把持手段とを備え、
当該把持手段が前記剥離テープを把持した状態で支持体
と相対移動することにより、前記保護テープを前記一端
側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離
装置であって、前記被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当
該剥がれ部分に相対する前記粘着シートの粘着面との間
に邪魔部材を配置したことを特徴とする剥離装置。
【請求項２】前記邪魔部材は、前記支持体と相対移動
可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の
剥離装置。