JP2003014642A - 化学物質検出方法及び装置 - Google Patents

化学物質検出方法及び装置

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JP2003014642A
JP2003014642A JP2001204257A JP2001204257A JP2003014642A JP 2003014642 A JP2003014642 A JP 2003014642A JP 2001204257 A JP2001204257 A JP 2001204257A JP 2001204257 A JP2001204257 A JP 2001204257A JP 2003014642 A JP2003014642 A JP 2003014642A
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gas
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Kazuyuki Maruo
和幸 丸尾
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の化学物質検出方法及び装置の検出感度
をさらに向上し、化学物質を高精度かつリアルタイムで
検出しうる化学物質検出方法及び装置を提供する。 【解決手段】 被測定対象気体を導入する基板封入容器
１８と、基板封入容器１８内の圧力が陽圧となるように
基板封入容器１８内に被測定対象気体を導入するサンプ
リングポンプ２０と、基板封入容器１８内に載置され、
被測定対象気体中に含まれる化学物質を付着する赤外透
過基板１０と、赤外透過基板１０に赤外線を入射する入
射光学系３０と、赤外透過基板１０を透過した後に出射
された赤外線を分析することにより、被測定対象気体に
おける化学物質の種類を同定し及び／又は化学物質の濃
度を算出するＦＴ−ＩＲ装置４６とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境中に存在する
化学物質を高速かつ高感度に検出しうる化学物質検出方
法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】環境中に存在する化学物質のモニタリン
グは、我々の実生活を取り巻く環境において、急速にそ
の重要性を増している。
【０００３】例えば、近年、ゴミ焼却施設から排出され
るダイオキシン類などの微量な化学物質に起因する環境
汚染が関心を集めている。
【０００４】また、新築住宅、マンションの建材に含ま
れるＶＯＣ（Volatile Organic Compound ; 揮発性有機
物質）と称される化学物質が室内で気化して住人に健康
障害を与える事例が報告されており、シックハウス症候
群として大きな問題となっている。
【０００５】環境中に存在する化学物質を測定する従来
の方法としては、例えば、ＴＥＮＡＸなどの多孔質物質
に被測定対象気体を吸着させ、これを熱して吸着した化
学物質を放出し、質量分析計によって化学物質成分の同
定・定量化を行う方法（加熱脱離ＧＣ−ＭＳ：Gas Chro
matography-Mass Spectroscopy）が用いられている。
【０００６】また、環境中に存在する化学物質を測定す
る他の方法として、被測定対象気体に赤外線を照射し、
その吸収スペクトルを分光分析する、いわゆるＦＴ−Ｉ
Ｒ（Fourier Transform Infrared Spectroscopy）があ
る。
【０００７】しかしながら、加熱脱離ＧＣ−ＭＳでは、
測定に長時間を要し、測定のリアルタイム性に欠けるた
め、環境をその場で測定することが困難であった。一
方、ＦＴ−ＩＲでは、検出感度を上げるためには膨大な
赤外線の光路を確保しなければならず、実際には、環境
中の微量化学物質を高感度で検出することが困難であっ
た。
【０００８】このように上記従来の方法では、環境中に
存在する化学物質を高感度かつリアルタイムに測定する
ことができなかった。
【０００９】かかる観点から、本願発明者は、環境中に
存在する化学物質を高感度かつリアルタイムに検出しう
る化学物質検出方法及び装置をすでに提案している（例
えば、特願平２００１−６８８６３号公報を参照）。
【００１０】図５は、本願発明者が提案している化学物
質検出装置の一例の構造を示す概略図である。図示する
ように、被測定対象気体中の化学物質を付着して測定に
供するための赤外透過基板１００が支持台１０２に載置
されている。支持台１０２には、冷却装置１０４が設け
られており、赤外透過基板１００を冷却できるようにな
っている。
【００１１】赤外透過基板１００は、被測定対象気体が
導入される吸気口１０６と被測定対象気体が排気される
排気口１０８とを有する基板封入容器１１０内に封入さ
れている。基板封入容器１１０の一の側面には、赤外線
に透過性のある材質からなる入射窓１１２が設けられて
いる。入射窓１１２が設けられた一の側面に対向する側
面には、入射窓１１２と同様に赤外線に透過性のある材
質からなる検出窓１１４が設けられている。
【００１２】基板封入容器１１０には、加熱装置１１６
が設けられ、赤外透過基板１００を含む基板封入容器１
１０全体を加熱することができる。基板封入容器１１０
の排気口１０８には、基板封入容器１１０内で被測定対
象気体を流動させるサンプリングポンプ１１８が接続さ
れている。
【００１３】基板封入容器１１０の一の側面に設けられ
た入射窓１１２の近傍には、入射光学系１２０が配置さ
れている。入射光学系１２０は、プローブ光となる赤外
線を出射する赤外光源１２２と、赤外光源１２２から出
射された赤外線を凹面鏡１２４に導く反射鏡１２６と、
反射鏡１２６より導かれた赤外線を集光して赤外透過基
板１００端面から多重反射するようにその内部に導入す
る凹面鏡１２４とから構成されている。
【００１４】基板封入容器１１０の他の側面に設けられ
た検出窓１１４の近傍には、赤外透過基板１００内部で
多重反射した後に放出される透過性赤外線を検出して分
光分析するＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光分析）装
置１３６が、検出光学系１３０を介して配置されてい
る。検出光学系１３０は、赤外透過基板１００端面より
放出された赤外線を集光して反射鏡１３２に導く凹面鏡
１３４と、凹面鏡１３４により集光された赤外線を反射
してＦＴ−ＩＲ装置１３６に導く反射鏡１３２とから構
成されている。
【００１５】ＦＴ−ＩＲ装置１３６には、ＦＴ−ＩＲ装
置１３６による分析結果に基づき被測定対象気体中の化
学物質の種類の同定や濃度の算出を行う演算・表示装置
（図示せず）が接続されている。
【００１６】本願発明者が提案している上述の化学物質
検出装置では、サンプリングポンプ１１８により基板封
入容器１１０内で被測定対象気体を流動させる。同時
に、冷却装置１０４により赤外透過基板１００を冷却す
る。これにより、被測定対象気体中の化学物質の赤外透
過基板１００表面への付着を促進する。
【００１７】そして、赤外透過基板１００表面に付着し
た化学物質を赤外多重内部反射ＦＴ−ＩＲ法によって検
出する。すなわち、入射光学系１２０により赤外線を基
板封入容器１１０内の赤外透過基板１００の一端に基板
内部で多重反射するように入射する。赤外透過基板１０
０内部に入射された赤外線は、基板表面で反射するとき
に滲み出る光の周波数成分が基板表面に付着した化学物
質の分子振動周波数と一致していると共鳴吸収される。
そして赤外透過基板１００の他端から放出された赤外線
をＦＴ−ＩＲ装置１３６により分光分析して、赤外透過
基板１００に付着した化学物質の種類を同定し付着量を
算出する。この赤外透過基板１００に付着した化学物質
の測定結果に基づき、被測定対象気体中の化学物質の種
類、濃度を推定する。こうして、被測定対象気体中の化
学物質を高感度でリアルタイムに検出することが可能と
なっている。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】図５に示す従来の化学
物質検出装置においては、上述のように、赤外透過基板
１００への化学物質の付着を、赤外透過基板１００付近
に被測定対象気体を流動し、赤外透過基板１００を冷却
することによって促進していた。こうして赤外透過基板
１００への化学物質の付着量を増大することにより、被
測定対象気体中の化学物質を検出する感度を向上してい
た。そして、実験結果によれば、図５に示す化学物質検
出装置により、およそ１０ｐｐｂ（parts per billio
n）のオーダーの検出感度を実現することができること
が確認されている。このレベルの感度であれば、検出対
象となる化学物質の種類等によっては充分実用に耐えう
るものであった。
【００１９】しかし、厚生労働省や環境省は、ガイドラ
インとしてＶＯＣの濃度について排出基準を設けてお
り、例えば、室内環境中のホルムアルデヒドの濃度につ
いては０．０８ｐｐｍ（parts per million）（８０ｐ
ｐｂ）以下という排出基準となっている。このような排
出基準の濃度程度で微量に環境中に存在する化学物質を
定量的に検出するためには、少なくとも０．０１ｐｐｍ
オーダー、望ましくは１ｐｐｂの検出感度が必要とな
る。すなわち、厚生労働省等が定める排出基準程度の微
量のＶＯＣを高精度で検出するためには、図５に示す従
来の化学物質検出方法及び装置の検出感度をさらにおよ
そ１桁向上する必要がある。
【００２０】本発明の目的は、従来の化学物質検出方法
及び装置の検出感度をさらに向上し、化学物質を高精度
かつリアルタイムで検出しうる化学物質検出方法及び装
置を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的は、被測定対象
気体に曝露した基板に赤外線を入射し、前記基板から出
射される赤外線を分析することにより、前記被測定対象
気体中に含まれる化学物質を検出する化学物質検出方法
において、容器内に前記基板を収容し、前記被測定対象
気体を前記容器内に導入して前記容器内を陽圧にするこ
とにより、前記化学物質が前記基板に付着することを促
進することを特徴とする化学物質検出方法により達成さ
れる。
【００２２】また、上記の化学物質検出方法において、
前記容器内に導入した前記被測定対象気体を前記容器内
から排気することにより、前記容器内の陽圧状態を調整
するようにしてもよい。
【００２３】また、上記の化学物質検出方法において、
前記基板を冷却することにより、前記被測定対象気体中
の前記化学物質が前記基板に付着することをさらに促進
するようにしてもよい。
【００２４】また、上記の化学物質検出方法において、
前記基板内部を多重反射した後に出射される赤外線を分
析することにより、前記被測定対象気体における前記化
学物質の種類を同定し及び／又は前記化学物質の濃度を
算出するようにしてもよい。
【００２５】また、上記の化学物質検出方法において、
前記基板の一の面側から入射され、前記基板を透過して
前記基板の他の面側から出射される赤外線を分析するこ
とにより、前記被測定対象気体における前記化学物質の
種類を同定し及び／又は前記化学物質の濃度を算出する
ようにしてもよい。
【００２６】上記の化学物質検出方法において、定期的
に前記基板に付着した前記化学物質を除去して前記基板
の表面状態を初期化するようにしてもよい。
【００２７】また、上記目的は、被測定対象気体を導入
する容器と、前記容器内の圧力が陽圧となるように前記
容器内に前記被測定対象気体を導入する気体導入手段
と、前記容器内に載置され、前記被測定対象気体中に含
まれる化学物質を付着する基板と、前記基板に赤外線を
入射する赤外線入射手段と、前記基板を透過した後に出
射された赤外線を分析することにより、前記被測定対象
気体における前記化学物質の種類を同定し及び／又は前
記化学物質の濃度を算出する化学物質検出手段とを有す
ることを特徴とする化学物質検出装置により達成され
る。
【００２８】また、上記の化学物質検出装置において、
前記容器内に導入された前記被測定対象気体の前記容器
内からの排気を制御する排気制御手段を更に有するよう
にしてもよい。
【００２９】また、上記の化学物質検出装置において、
前記容器は、赤外線を透過する材質からなる第１及び第
２の窓を有し、前記赤外線入射手段は、前記第１の窓を
介して前記容器の外部から赤外線を入射し、前記化学物
質検出手段は、前記基板を透過した後に前記第２の窓を
介して前記容器の外部に出射された赤外線又は前記基板
の表面で反射され前記第２の窓を介して前記容器の外部
に出射された赤外線を分析するようにしてもよい。
【００３０】また、上記の化学物質検出装置において、
前記化学物質検出手段は、前記基板内部を多重反射した
後に出射される赤外線を分析することにより、前記被測
定対象気体における前記化学物質の種類を同定し及び／
又は前記化学物質の濃度を算出するようにしてもよい。
【００３１】また、上記の化学物質検出装置において、
前記化学物質検出手段は、前記基板の一の面側から入射
され、前記基板を透過して前記基板の他の面側から出射
される赤外線を分析することにより、前記被測定対象気
体における前記化学物質の種類を同定し及び／又は前記
化学物質の濃度を算出するようにしてもよい。
【００３２】また、上記の化学物質検出装置において、
前記基板を冷却し、前記被測定対象気体中の前記化学物
質が前記基板へ付着することを促進する冷却装置を更に
有するようにしてもよい。
【００３３】また、上記の化学物質検出装置において、
前記冷却装置は、前記基板に対して直接接触して前記基
板を冷却するものであり、前記赤外線入射手段は、前記
基板と前記冷却装置の接触部分が赤外線の光路上に位置
することがないように赤外線を入射するようにしてもよ
い。
【００３４】また、上記の化学物質検出装置において、
前記基板表面に付着した前記化学物質を除去して前記基
板の表面状態を初期化する基板洗浄手段を更に有するよ
うにしてもよい。
【００３５】また、上記の化学物質検出装置において、
前記基板洗浄手段は、前記基板を加熱することにより前
記基板に付着した前記化学物質を除去する加熱手段であ
るようにしてもよい。
【００３６】また、上記の化学物質検出装置において、
前記基板洗浄手段は、前記基板表面に紫外線を照射する
ことにより前記基板に付着した前記化学物質を除去する
紫外線照射手段であるようにしてもよい。
【００３７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態による化学物
質検出方法及び装置について図１を用いて説明する。図
１は、本実施形態による化学物質検出装置の構造を示す
概略図である。
【００３８】〔１〕化学物質検出装置 まず、本実施形態による化学物質検出装置について図１
を用いて説明する。
【００３９】図１に示すように、本実施形態による化学
物質検出装置では、被測定対象気体中の化学物質を付着
して測定に供するための赤外透過基板１０が支持台１２
に載置されている。
【００４０】赤外透過基板１０は、被測定対象気体が導
入される導入口１４と被測定対象気体が排気される排気
口１６とを有する基板封入容器１８内に封入されてい
る。
【００４１】基板封入容器１８の導入口１４には、基板
封入容器１８内で被測定対象気体を導入して基板封入容
器１８内を陽圧にするサンプリングポンプ２０が配管２
１を介して接続されている。
【００４２】基板封入容器１８の排気口１６には、スト
ップバルブ２２を有する配管２４が接続されており、基
板封入容器１８内からの排気を制御することができる。
【００４３】基板封入容器１８の一の側面には、赤外線
に透過性のある材質からなる入射窓２６が設けられてい
る。入射窓２６が設けられた一の側面に対向する側面に
は、入射窓２６と同様に赤外線に透過性のある材質から
なる検出窓２８が設けられている。
【００４４】基板封入容器１８の一の側面に設けられた
入射窓２６の近傍には、入射光学系３０が配置されてい
る。入射光学系３０は、プローブ光となる赤外線を放出
する赤外光源３２と、赤外光源３２から放出された赤外
線を凹面鏡３４に導く反射鏡３６と、反射鏡３６から導
かれた赤外線を集光して入射窓２６を介して赤外透過基
板１０端面からその内部で多重反射するように導入する
凹面鏡３４とから構成されている。
【００４５】基板封入容器１８の他の側面に設けられた
検出窓２８の近傍には、赤外透過基板１０内部で多重反
射した後に放出される透過性赤外線をを分光分析するＦ
Ｔ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光分析）装置４６が、検
出光学系４０を介して配置されている。検出光学系４０
は、赤外透過基板１０から検出窓２８を介して基板封入
容器１８外に放出された赤外線を集光して反射鏡４２に
導く凹面鏡４４と、凹面鏡４４から導かれた赤外線をＦ
Ｔ−ＩＲ装置４６に導く反射鏡４２とから構成されてい
る。
【００４６】ＦＴ−ＩＲ装置４６には、ＦＴ−ＩＲ装置
４６による分析結果に基づき被測定対象気体中の化学物
質の種類の同定や濃度の算出を行う演算・表示装置（図
示せず）が接続されている。
【００４７】本実施形態による化学物質検出装置は、被
測定対象気体を基板封入容器１８内に導入して基板封入
容器１８内を陽圧にするサンプリングポンプ２０を有す
ることに主たる特徴がある。これより、被測定対象気体
中の化学物質の赤外透過基板１０への付着率を向上する
ことができ、化学物質の検出感度を向上することが可能
となる。
【００４８】以下に、本実施形態による化学物質検出装
置の各構成要素について個々に詳述する。
【００４９】（ａ）赤外透過基板１０ 赤外透過基板１０は、被測定対象気体中の化学物質を吸
着して測定に供するためのものである。従って、検出す
べき化学物質の分子振動に対応する波長域の光を透過す
る材料であることが必要である。代表的な有機物質の基
本振動に対応する波数域は、５００ｃｍ-1（波長２０μ
ｍ）〜５０００ｃｍ-1（波長２μｍ）程度の赤外・近赤
外域である。この有機物質の赤外吸収の波数域内の、物
質が共通にもっている特定の種類の分子振動に起因する
赤外吸収の波数帯域、例えばＣＨ 3非対称伸縮振動に対
応する波数域を少なくとも透過する物質を赤外透過基板
１０として選択する。また、化学物質の検出に際して
は、赤外透過基板１０を大気中に曝露することとなるの
で、その材料としては、潮解性がないものであることが
必要である。
【００５０】従って、例えば、砒化ガリウム（ＧａＡ
ｓ）は、透過波長域が約１．０〜１８μｍ程度であり、
大気中において安定な物質であるので、赤外透過基板１
０を構成する一材料として選択することができる。ま
た、砒化ガリウムのほか、セレン化亜鉛（ＺｎＳｅ：透
過波長域０．６〜１３μｍ）、シリコン（Ｓｉ：透過波
長域１．２μｍ〜６μｍ）、臭化カリウム（ＫＢｒ：透
過波長域０．４〜２２μｍ）、フッ化カルシウム（Ｃａ
Ｆ2：透過波長域０．２〜８μｍ）、ゲルマニウム（Ｇ
ｅ：透過波長域２〜１８μｍ）等を赤外透過基板１０の
材料として選択することもできる。
【００５１】赤外透過基板１０の形状は、例えば、端面
の傾きを４５度に研磨することが望ましい。こうするこ
とで、赤外透過基板１０内部への赤外線の入射効率を高
めることができるとともに、赤外線を赤外透過基板１０
内部で多重反射させることができる。また、赤外線が多
重内部反射する際に光が散乱されるのを防ぐために、赤
外透過基板１０には、両面研磨された基板を用いる必要
がある。
【００５２】（ｂ）支持台１２ 支持台１２には、赤外透過基板１０が載置される。この
とき、赤外透過基板１０の上側表面だけでなく、赤外透
過基板１０の下側表面にも被測定対象気体中の化学物質
が付着するように、赤外透過基板１０の下側表面と支持
台１２とが完全に密着することがないような工夫をして
もよい。例えば、支持台１２の載置面上に複数の凸状構
造を設け、これらに赤外透過基板１０を載置する。する
と、赤外透過基板１０の下側表面が被測定対象気体に対
して曝露される状態にする。これにより、化学物質が付
着しうる赤外透過基板１０の面積が大きくなり、信号対
雑音比（Ｓ／Ｎ比）の向上を図ることができる。
【００５３】（ｃ）基板封入容器１８、サンプリングポ
ンプ２０ 基板封入容器１８には、赤外透過基板１０が収容されて
おり、サンプリングポンプ２０によって導入口３４から
被測定対象気体が導入される。このとき基板封入容器１
８内が陽圧になるように、基板封入容器１８の構造は気
密性を保つことができる構造となっている。
【００５４】基板封入容器１８に排気口１６に接続され
た配管２４に設けられたストップバルブ２２は、基板封
入容器１８からの排気を制御するものである。被測定対
象気体をサンプリングポンプ２０により基板封入容器１
８内に導入する際には、ストップバルブ２２を閉じてお
き、基板封入容器１８を密閉状態とする。これにより、
基板封入容器１８内を陽圧にすることができる。
【００５５】基板封入容器１８側面に設けられた入射窓
２６は、基板封入容器１８内に収容された赤外透過基板
１０端面に入射光学系３０により赤外線を導入するため
のものである。
【００５６】また、検出窓２８は、基板封入容器１８内
に収容された赤外透過基板１０内部を多重反射した後に
端面から放出される赤外線を、検出光学系４０を介して
ＦＴ−ＩＲ装置４６によって検出するためのものであ
る。
【００５７】このように、本実施形態による化学物質検
出装置では、基板封入容器１８に入射窓２６及び検出窓
２８を設けることにより、入射光学系３０、検出光学系
４０、ＦＴ−ＩＲ装置４６を基板封入容器１８の外部に
設置している。これにより、基板封入容器１８自体をコ
ンパクトなものとすることができ、基板封入容器１８へ
の被測定対象気体の導入及び排気など測定に要する時間
の短縮化を図ることができる。
【００５８】サンプリングポンプ２０は、環境中から被
測定対象気体を吸入する吸気口４８と、吸気した被測定
対象気体を陽圧にして排出する排気口５０とを有してい
る。サンプリングポンプ２２の排気口５０は、基板封入
容器１８の導入口１４に配管２１を介して接続されてい
る。サンプリングポンプ２０は、吸気口４８から吸入し
た被測定対象気体を基板封入容器１８内に配管２１を介
して導入し、基板封入容器１８内を陽圧にする。以下
に、サンプリングポンプ２０によって基板封入容器１８
内を陽圧にすることにより得られる効果について詳述す
る。
【００５９】一般に、固体表面に付着する気体の吸着量
は、気体分子の分圧が大きくなるほど多くなる。気体の
分圧と吸着量の関係を表すモデルは、その吸着条件によ
って複数のものがこれまで提案されている。その中で代
表的なモデルのひとつであるFreundlich の吸着式は、
気体の吸着量をｗとし、その気体の分圧をｐとすると、
次の式で表される。
【００６０】ｗ＝ｋｐ1/n ここで、ｋ及びｎは、吸着媒である固体や吸着質である
気体の種類、吸着温度等に依存する定数である。
【００６１】上記の式も明らかなように、サンプリング
ポンプ２０によって基板封入容器１８内を陽圧にして赤
外透過基板１０付近の圧力を高くすると、被測定対象気
体中の化学物質の赤外透過基板１０への吸着量を増大す
ることができる。これにより、化学物質検出装置の検出
感度を相対的に向上することが可能となる。
【００６２】このように、本実施形態による化学物質検
出装置は、サンプリングポンプ２０によって基板封入容
器１８内を陽圧にし、赤外透過基板１０に付着する被測
定対象気体中の化学物質の量を増大することにより、そ
の検出感度を増大することに主たる特徴がある。
【００６３】（ｆ）入射光学系３０（赤外光源３２、反
射鏡３６、凹面鏡３４） 赤外光源３２としては、有機分子の分子振動に対応する
２〜２５μｍ帯域の赤外線を発する光源を適用すること
ができる。例えば、フィラメントとしてのシリコンカー
バイド（ＳｉＣ）やニクロム線に電流を印加して発する
熱線を光源として用いることができる。ＳｉＣグローバ
灯などのＳｉＣを用いた光源は、１．１〜２５μｍ帯域
の赤外線を発し、かつ、空気中でむき出しで使用しても
焼損がないという特徴がある。
【００６４】反射鏡３６及び凹面鏡３４は、赤外光源３
２から発せられた赤外線を赤外透過基板１０内部で多重
反射するように、赤外透過基板１０端面から導入するた
めのものである。
【００６５】なお、赤外線の入射角度の設定に関して
は、例えば同一出願人による特願平１１−９５８５３号
公報に詳述されている。
【００６６】（ｄ）検出光学系４０（凹面鏡４４、反射
鏡４２）、ＦＴ−ＩＲ装置４６ 凹面鏡４４及び反射鏡４２は、赤外透過基板１０内部で
多重反射した後に赤外透過基板１０の端面より放出され
た赤外線をＦＴ−ＩＲ装置４６に導くものである。
【００６７】ＦＴ−ＩＲ装置４６は、例えば、二光束干
渉計（マイケルソン光干渉計）を基にしたフーリエ変換
分光のメカニズムにより、反射鏡４２により導かれた赤
外線を分光分析するするものである。或いは、ＦＴ−Ｉ
Ｒ装置４６の代わりに、回折格子（グレーティング）に
よる赤外分光計を用いてもよい。
【００６８】（ｅ）演算・表示装置 ＦＴ−ＩＲ装置４６により得られたスペクトルの測定デ
ータは、演算・表示装置に送られ、被測定対象気体中に
存在する化学物質の同定や量の算出が行われる。
【００６９】被測定対象気体中に存在する化学物質の種
類と検量線は別途データベースとして演算・表示装置の
記憶部に蓄えられており、測定データはそれらのデータ
ベースを参照して定量化される。
【００７０】被測定対象気体中の化学物質を同定するた
めに、様々な物質の各種分子振動による赤外吸収の波数
がデータベースとして演算・表示装置に蓄えられてい
る。例えば、各化学物質について、ＣＨ3対称伸縮振動
や、ＣＨ3非対称伸縮振動、ＣＨ 2対称伸縮振動、ＣＨ2
非対称伸縮振動等による吸収波数のデータが蓄えられて
いる。化学物質の同定の際には、各種分子振動による吸
収波数のデータベースの中から、ある特定の分子振動に
よる吸収波数のデータが参照される。
【００７１】〔２〕化学物質検出方法 次に、本実施形態による化学物質検出方法について図１
を用いて説明する。
【００７２】まず、測定すべき環境中に本実施形態によ
る化学物質検出装置を設置する。
【００７３】次いで、サンプリングポンプ２０を稼働
し、被測定対象気体を導入口１４から基板封入容器１８
内に導入する。このとき、基板封入容器１８の排気口１
６に接続する配管２４のストップバルブ２２を閉じる。
こうして密閉状態の基板封入容器１８内へ被測定対象気
体を導入していくことによって、基板封入容器１８内が
陽圧となる。なお、ストップバルブ２２は、基板封入容
器１８内が被測定対象気体に置換された後に閉めること
が望ましい。また、基板封入容器１８内の圧力等に応じ
て、サンプリングポンプ２０の運転を適宜制御すること
が望ましい。
【００７４】被測定対象気体中の化学物質が赤外透過基
板１０表面に付着するために必要な所定の時間経過後、
入射光学系３０により赤外線を赤外透過基板１０内部で
多重反射するように赤外透過基板１０端面からその内部
に導入する。
【００７５】赤外透過基板１０内部に導入された赤外線
は、赤外透過基板１０内部で多重反射しながら伝搬して
いく。
【００７６】続いて、赤外透過基板１０内部で多重反射
した後に端面より放出された赤外線を検出光学系４０に
よりＦＴ−ＩＲ装置４６に導く。そして、導かれた赤外
線をＦＴ−ＩＲ装置４６によって分光分析することによ
り赤外透過スペクトルを得る。
【００７７】続いて、上述のようにして得られた測定結
果に基づき、被測定対象気体中に存在する化学物質の解
析を行い、それらの種類を同定し及び／又は付着量を算
出する。なお、化学物質の種類の同定及びその付着量の
算出の方法については、例えば、特願２００１−６８８
６３号公報に詳述されている。
【００７８】次いで、必要に応じて上記測定を繰り返し
行い、被測定対象気体中の化学物質の経時変化等を測定
する。
【００７９】測定終了後、基板封入容器１８の排気口１
６に接続する配管２４のストップバルブ２２を開放し、
基板封入容器１８内の被測定対象気体を排出する。
【００８０】このように、本実施形態によれば、密閉状
態の基板封入容器１８内被測定対象気体を導入して基板
封入容器１８を陽圧にすることにより、被測定対象気体
中の化学物質の赤外透過基板１０への付着を促進するの
で、化学物質の検出感度を向上することができる。
【００８１】［変形実施形態］本発明の上記実施形態に
限らず種々の変形が可能である。
【００８２】例えば、図２に示すように、赤外透過基板
１０を冷却して被測定対象気体中の化学物質の付着を促
進する冷却装置５２を設けてもよい。冷却装置５２とし
ては、例えばペルティエ素子によるものを用いることが
できる。サンプリングポンプ２０による基板封入容器１
８内への被測定対象気体の導入と合わせて、冷却装置５
２により赤外透過基板１０を冷却する。この冷却による
被測定対象気体中の化学物質の付着率向上の効果と上述
した基板封入容器１８内を陽圧にすることによる付着率
向上の効果とが相乗的にはたらき、さらに化学物質の検
出感度を向上することができる。
【００８３】なお、冷却装置５２により赤外透過基板１
０を直接接着して冷却する場合、赤外透過基板１０内部
を多重反射する赤外線の光路からはずれた表面に冷却装
置５２を接着することが望ましい。このように赤外透過
基板１０の赤外線光路となる領域を熱伝導により間接的
に冷却することにより、赤外吸収への接着面の影響を回
避することができる。
【００８４】また、赤外透過基板１０の冷却は、赤外透
過基板１０を直接冷却するだけでなく、赤外透過基板１
０を支持する支持台１２を冷却することにより行っても
よい。
【００８５】また、図２に示すように、赤外透過基板１
０及び／又は基板封入容器１８を加熱する加熱装置５４
を設けてもよい。測定後或いは測定前に、加熱装置５４
により赤外透過基板１０及び／又は基板封入容器１８を
加熱することにより、赤外透過基板１０及び／又は基板
封入容器１８に付着している化学物質を除去することが
できる。これにより、測定条件を初期化した状態で毎回
の測定を開始することができ、精度の高い測定結果を得
ることが可能となる。
【００８６】また、赤外透過基板１０表面に付着した化
学物質を除去するために、赤外透過基板１０に赤外線を
照射する装置を設けてもよい。赤外透過基板１０に紫外
線を照射することにより、紫外線を大気中に照射した際
に発生するオゾンの酸化力と紫外線自身のエネルギーと
によって、赤外透過基板１０表面に付着した化学物質を
分解・除去することができる。
【００８７】また、上記実施形態では、基板封入容器１
８に入射窓２６、検出窓２８を設け、入射光学系３０、
検出光学系４０、ＦＴ−ＩＲ装置４６をそれぞれ基板封
入容器１８の外に配置していたが、これらを基板封入容
器１８内に配置して入射窓２６、検出窓２８を設けない
構成としてもよい。
【００８８】また、上記実施形態では、被測定対象気体
中の化学物質を赤外透過基板１０に付着させ、赤外透過
基板１０に付着した化学物質を赤外多重内部反射法によ
り検出していたが、化学物質の検出方法はこれに限定さ
れるものではない。図３及び図４は、他の検出方法とし
た場合の化学物質検出装置の構成例を示す概略図であ
る。
【００８９】例えば、図３に示すように、赤外透過基板
１０表面に赤外線を照射し、赤外透過基板１０を透過し
た赤外線を検出・分光分析する方法を用いてもよい。こ
の場合、図示するように、赤外線を赤外透過基板１０表
面に照射する赤外光源５６が、基板封入容器１８に収容
された赤外透過基板１０の一方の表面近傍に配置されて
いる。赤外透過基板１０の赤外光源５６が配置された表
面に対向する表面近傍には、赤外透過基板１０を透過す
る赤外線を分光分析するする分光分析装置５８が配置さ
れている。
【００９０】また、図４に示すように、ＡＴＲ（Attenu
ated Total Reflection）法によるものを用いることも
できる。この場合、図示するように、基板封入容器１８
には、ほぼ平行に配置された一対の基板６０ａ、６０ｂ
が収容されている。基板６０ａ、６０ｂの一方の端面近
傍には、プローブ光となる赤外線を基板６０ａ、６０ｂ
間に入射する赤外光源６２が配置されている。赤外光源
６２からの赤外線は、対向する基板６０ａ、６０ｂの間
を多重反射するように入射される。基板６０ａ、６０ｂ
の赤外光源６２が配置された端面に対向する端面近傍に
は、対向する基板６０ａ、６０ｂの間を多重反射した後
に放出される赤外線を分光分析するＦＴ−ＩＲ装置６６
が接続されている。なお、図４に示す構成とした場合に
は、基板６０ａ、６０ｂが赤外線に対して透過性を有す
るものである必要はない。
【００９１】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、被測定対
象気体に曝露した基板に赤外線を入射し、基板から出射
される赤外線を分析することにより、被測定対象気体中
に含まれる化学物質を検出する化学物質検出方法におい
て、容器内に基板を収容し、被測定対象気体を容器内に
導入して容器内を陽圧にすることにより、化学物質が基
板に付着することを促進するので、被測定対象気体中に
含まれる化学物質の検出感度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による化学物質検出装置の
構造を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施形態による化学物質検出装置の
変形例の構造を示す概略図である。
【図３】本発明の一実施形態による化学物質検出装置の
変形例の構造を示す概略図である。
【図４】本発明の一実施形態による化学物質検出装置の
変形例の構造を示す概略図である。
【図５】従来の化学物質検出装置の構造を示す概略図で
ある。
【符号の説明】
１０…赤外透過基板 １２…支持台 １４…導入口 １６…排気口 １８…基板封入容器 ２０…サンプリングポンプ ２１…配管 ２２…ストップバルブ ２４…配管 ２６…入射窓 ２８…検出窓 ３０…入射光学系 ３２…赤外光源 ３４…凹面鏡 ３６…反射鏡 ４０…検出光学系 ４２…反射鏡 ４４…凹面鏡 ４６…ＦＴ−ＩＲ装置 ４８…吸気口 ５０…排気口 ５２…冷却装置 ５４…加熱装置 ５６…赤外光源 ５８…分光分析装置 ６０ａ、６０ｂ…基板 ６２…赤外光源 ６６…ＦＴ−ＩＲ装置 １００…赤外透過基板 １０２…支持台 １０４…冷却装置 １０６…吸気口 １０８…排気口 １１０…基板封入容器 １１２…入射窓 １１４…検出窓 １１６…加熱装置 １１８…サンプリングポンプ １２０…入射光学系 １２２…赤外光源 １２４…凹面鏡 １２６…反射鏡 １３０…検出光学系 １３２…反射鏡 １３４…凹面鏡 １３６…ＦＴ−ＩＲ装置
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G052 AA01 AB12 AB22 CA02 CA12 DA05 DA13 EB11 EB13 FC01 FC09 GA11 HB07 2G059 AA01 BB10 DD12 DD18 EE01 EE02 EE10 EE12 GG00 HH01 HH03 HH06 JJ05 JJ14 KK01 MM01 MM12 PP04

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被測定対象気体に曝露した基板に赤外線
    を入射し、前記基板から出射される赤外線を分析するこ
    とにより、前記被測定対象気体中に含まれる化学物質を
    検出する化学物質検出方法において、 容器内に前記基板を収容し、前記被測定対象気体を前記
    容器内に導入して前記容器内を陽圧にすることにより、
    前記化学物質が前記基板に付着することを促進すること
    を特徴とする化学物質検出方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の化学物質検出方法におい
    て、 前記容器内に導入した前記被測定対象気体を前記容器内
    から排気することにより、前記容器内の陽圧状態を調整
    することを特徴とする化学物質検出方法。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の化学物質検出方法
    において、 前記基板を冷却することにより、前記被測定対象気体中
    の前記化学物質が前記基板に付着することをさらに促進
    することを特徴とする化学物質検出方法。
  4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
    化学物質検出方法において、 前記基板内部を多重反射した後に出射される赤外線を分
    析することにより、前記被測定対象気体における前記化
    学物質の種類を同定し及び／又は前記化学物質の濃度を
    算出することを特徴とする化学物質検出方法。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
    化学物質検出方法において、 前記基板の一の面側から入射され、前記基板を透過して
    前記基板の他の面側から出射される赤外線を分析するこ
    とにより、前記被測定対象気体における前記化学物質の
    種類を同定し及び／又は前記化学物質の濃度を算出する
    ことを特徴とする化学物質検出方法。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
    化学物質検出方法において、 定期的に前記基板に付着した前記化学物質を除去して前
    記基板の表面状態を初期化することを特徴とする化学物
    質検出方法。
  7. 【請求項７】 被測定対象気体を導入する容器と、 前記容器内の圧力が陽圧となるように前記容器内に前記
    被測定対象気体を導入する気体導入手段と、 前記容器内に載置され、前記被測定対象気体中に含まれ
    る化学物質を付着する基板と、 前記基板に赤外線を入射する赤外線入射手段と、 前記基板を透過した後に出射された赤外線を分析するこ
    とにより、前記被測定対象気体における前記化学物質の
    種類を同定し及び／又は前記化学物質の濃度を算出する
    化学物質検出手段とを有することを特徴とする化学物質
    検出装置。
  8. 【請求項８】 請求項７記載の化学物質検出装置におい
    て、 前記容器内に導入された前記被測定対象気体の前記容器
    内からの排気を制御する排気制御手段を更に有すること
    を特徴とする化学物質検出装置。
  9. 【請求項９】 請求項７又は８記載の化学物質検出装置
    において、 前記容器は、赤外線を透過する材質からなる第１及び第
    ２の窓を有し、 前記赤外線入射手段は、前記第１の窓を介して前記容器
    の外部から赤外線を入射し、 前記化学物質検出手段は、前記基板を透過した後に前記
    第２の窓を介して前記容器の外部に出射された赤外線又
    は前記基板の表面で反射され前記第２の窓を介して前記
    容器の外部に出射された赤外線を分析することを特徴と
    する化学物質検出装置。
  10. 【請求項１０】 請求項７乃至９のいずれか１項に記載
    の化学物質検出装置において、 前記化学物質検出手段は、前記基板内部を多重反射した
    後に出射される赤外線を分析することにより、前記被測
    定対象気体における前記化学物質の種類を同定し及び／
    又は前記化学物質の濃度を算出することを特徴とする化
    学物質検出装置。
  11. 【請求項１１】 請求項７乃至９のいずれか１項に記載
    の化学物質検出装置において、 前記化学物質検出手段は、前記基板の一の面側から入射
    され、前記基板を透過して前記基板の他の面側から出射
    される赤外線を分析することにより、前記被測定対象気
    体における前記化学物質の種類を同定し及び／又は前記
    化学物質の濃度を算出することを特徴とする化学物質検
    出装置。
  12. 【請求項１２】 請求項７乃至１１のいずれか１項に記
    載の化学物質検出装置において、 前記基板を冷却し、前記被測定対象気体中の前記化学物
    質が前記基板へ付着することを促進する冷却装置を更に
    有することを特徴とする化学物質検出装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１２記載の化学物質検出装置に
    おいて、 前記冷却装置は、前記基板に対して直接接触して前記基
    板を冷却するものであり、 前記赤外線入射手段は、前記基板と前記冷却装置の接触
    部分が赤外線の光路上に位置することがないように赤外
    線を入射することを特徴とする化学物質検出装置。
  14. 【請求項１４】 請求項７乃至１３のいずれか１項に記
    載の化学物質検出装置において、 前記基板表面に付着した前記化学物質を除去して前記基
    板の表面状態を初期化する基板洗浄手段を更に有するこ
    とを特徴とする化学物質検出装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１５記載の化学物質検出装置に
    おいて、 前記基板洗浄手段は、前記基板を加熱することにより前
    記基板に付着した前記化学物質を除去する加熱手段であ
    ることを特徴とする化学物質検出装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１５記載の化学物質検出装置に
    おいて、 前記基板洗浄手段は、前記基板表面に紫外線を照射する
    ことにより前記基板に付着した前記化学物質を除去する
    紫外線照射手段であることを特徴とする化学物質検出装
    置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160016384A (ko) * 2014-08-05 2016-02-15 서울시립대학교 산학협력단 기체 분석용 테라헤르츠 분광기
JP2021009145A (ja) * 2019-06-28 2021-01-28 エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ 荷電粒子分析のための生体試料の調製および送達のためのシステムおよび方法
US11610467B2 (en) 2020-10-08 2023-03-21 Ecolab Usa Inc. System and technique for detecting cleaning chemical usage to control cleaning efficacy

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01174941A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Shimadzu Corp Ｇｃ−ｆｔｉｒの試料トラップ装置
JPH08313430A (ja) * 1995-05-18 1996-11-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ガスセンサ
JP3584616B2 (ja) * 1996-07-08 2004-11-04 凸版印刷株式会社 マイクロプレート
JP2000171458A (ja) * 1998-12-07 2000-06-23 Nippon Steel Corp 金属中炭素分析用試料の予備処理方法および予備処理装置
JP2000338109A (ja) * 1999-03-19 2000-12-08 Sanyo Electric Co Ltd ニオイセンサ及びニオイ物質検出方法
JP2001004609A (ja) * 1999-06-17 2001-01-12 Hitachi Chem Co Ltd 容器及びこれを用いた吸着用器具

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160016384A (ko) * 2014-08-05 2016-02-15 서울시립대학교 산학협력단 기체 분석용 테라헤르츠 분광기
KR101606785B1 (ko) 2014-08-05 2016-03-28 서울시립대학교 산학협력단 기체 분석용 테라헤르츠 분광기
JP2021009145A (ja) * 2019-06-28 2021-01-28 エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ 荷電粒子分析のための生体試料の調製および送達のためのシステムおよび方法
JP7378359B2 (ja) 2019-06-28 2023-11-13 エフ イー アイ カンパニ 荷電粒子分析のための生体試料の調製および送達のためのシステムおよび方法
US11610467B2 (en) 2020-10-08 2023-03-21 Ecolab Usa Inc. System and technique for detecting cleaning chemical usage to control cleaning efficacy

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