JP2003011416A - 光プリンタヘッド - Google Patents

光プリンタヘッド

Info

Publication number
JP2003011416A
JP2003011416A JP2001197528A JP2001197528A JP2003011416A JP 2003011416 A JP2003011416 A JP 2003011416A JP 2001197528 A JP2001197528 A JP 2001197528A JP 2001197528 A JP2001197528 A JP 2001197528A JP 2003011416 A JP2003011416 A JP 2003011416A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
emitting element
element array
array chip
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001197528A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisashi Sakai
久 坂井
Genichi Ogawa
元一 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2001197528A priority Critical patent/JP2003011416A/ja
Publication of JP2003011416A publication Critical patent/JP2003011416A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/18High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/23Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
    • H01L2224/24Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15153Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】画像データに対応した所定の画像を得ることが
可能で、しかも生産性に優れた高信頼性の光プリンタヘ
ッドを提供する。 【解決手段】ベースプレート2上に多数の回路導体3を
設けてなる回路基板1上に、上面に多数の発光素子5及
び接続パッド6を有する発光素子アレイチップ4を搭載
し、前記回路導体3を前記接続パッド6に電気的に接続
してなる光プリンタヘッドにおいて、前記ベースプレー
ト2の上面に前記発光素子アレイチップ4が埋設される
凹部1aを形成するとともに該凹部1aの内面と発光素
子アレイチップ4の側面との間隙に接着剤7を充填し、
前記回路導体3の一端を回路基板1の上面より前記接着
剤7上を介して前記発光素子アレイチップ4の接続パッ
ド6上まで延在させることにより回路導体3を対応する
接続パッド6に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真プリンタ
等の光書込み手段として用いられる光プリンタヘッドに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、電子写真プリンタ等の光書込
み手段として光プリンタヘッドが用いられている。
【0003】かかる従来の光プリンタヘッドとしては、
例えば図3に示す如く、多数の回路導体12が所定パタ
ーンに被着されている回路基板11の上面に、多数の発
光素子14及び多数の接続パッド14を有する複数個の
発光素子アレイチップ13を全ての発光素子14が直線
状に配列されるようにして一列に並べて搭載し、各発光
素子アレイチップ13の接続パッド15と該パッド15
に対応する回路導体12とをボンディングワイヤ16等
で電気的に接続した構造のものが知られており、外部か
らの画像データに基づいて前記発光素子14を個々に選
択的に発光させるとともに該発光した光を図示しないロ
ッドレンズアレイ等の光学系を介して外部の感光体に照
射・結像させ、感光体に所定の潜像を形成することによ
って光プリンタヘッドとして機能する。
【0004】そして、感光体に形成された潜像は、その
後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー
像を記録紙に転写・定着させることによって記録紙に所
定の印画が形成される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光プリンタヘッドを例えばA3サイズ、600
dpi(dot per inch)の製品仕様にて構成した場合、
接続パッド15と回路導体12との接続箇所は約150
00箇所にも及び、両者は約15000本もの多数のボ
ンディングワイヤ16で個々に接続されることとなる。
それ故、これらのボンディングワイヤ16を従来周知の
ワイヤボンディング法によってボンディングすると、そ
の接続作業には極めて長時間を要し、光プリンタヘッド
の生産性向上に供することができない上に、光プリンタ
ヘッドの使用時等にボンディングワイヤ16が外部から
の振動や衝撃によって倒れ、隣接するボンディングワイ
ヤ同士を短絡させることがあり、このことが光プリンタ
ヘッドの信頼性を低下させていた。
【0006】また上述の光プリンタヘッドにおけるボン
ディングワイヤ16は従来周知のワイヤボンディング法
にて回路導体12や発光素子アレイチップ13の接続パ
ッド15に対して接続されたものであり、通常、ファー
ストボンディングが発光素子アレイチップ13側で、セ
カンドボンディングが回路導体12側でなされている。
この場合、接続パッド15に接合されるボンディングワ
イヤ16の一端部には、ボール状のネイルヘッドが形成
されることから、光プリンタヘッドを使用した際に、発
光素子14の発した光の一部がボンディングワイヤ16
のネイルヘッドで反射し、このような反射光が外部の感
光体に照射されると、感光体には反射光の照射に起因し
た不要な潜像が形成されることとなり、画像データに対
応した正確な画像を得ることが不可となる欠点も有して
いた。
【0007】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもの
で、その目的は、画像データに対応した所定の画像を得
ることが可能で、しかも生産性に優れた高信頼性の光プ
リンタヘッドを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の光プリンタヘッ
ドは、ベースプレート上に多数の回路導体を設けてなる
回路基板上に、上面に多数の発光素子及び接続パッドを
有する発光素子アレイチップを搭載し、前記回路導体を
前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッ
ドにおいて、前記ベースプレートの上面に前記発光素子
アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹
部内面と発光素子アレイチップ側面との間隙に接着剤を
充填し、前記回路導体の一端を回路基板の上面より前記
接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの接続パッ
ド上まで延在させることにより回路導体を対応する接続
パッドに電気的に接続したことを特徴とするものであ
る。
【0009】また本発明の光プリンタヘッドは、前記接
着剤が熱硬化性樹脂を硬化して形成されており、かつ前
記ベースプレート並びに接着剤と、前記回路導体との間
に、感光性樹脂をパターン形成してなる下地層が介在さ
れていることを特徴とするものである。
【0010】更に本発明の光プリンタヘッドは、前記接
着剤の上面に窪みを形成するとともに該窪み内に前記下
地層の一部を充填せしめたことを特徴とするものであ
る。
【0011】また更に本発明の光プリンタヘッドは、前
記接着剤を形成する熱硬化性樹脂と前記下地層を形成す
る感光性樹脂とが同系の樹脂により形成されていること
を特徴とするものである。
【0012】更にまた本発明の光プリンタヘッドは、前
記発光素子アレイチップの上面角部が前記下地層の一部
で被覆されていることを特徴とするものである。
【0013】また更に本発明の光プリンタヘッドは、前
記発光素子アレイチップが前記凹部内で複数個、列状に
並んでおり、該列の両端に位置する発光素子アレイチッ
プに近接して、発光素子アレイチップと略等しい幅のダ
ミーチップを更に並べたことを特徴とするものである。
【0014】本発明の光プリンタヘッドによれば、回路
基板のベースプレートに発光素子アレイチップが埋設さ
れる凹部を形成するとともに該凹部内面と発光素子アレ
イチップ側面との間隙に接着剤を充填し、前記ベースプ
レート上に設けられる回路導体の一端を前記接着剤上を
介して発光素子アレイチップの接続パッド上まで延在さ
せることにより回路導体を対応する接続パッドに電気的
に接続させたことから、上記回路導体をパターン形成す
る際に、これらを発光素子アレイチップの接続パッドに
対しても同時に、かつ一括的に接続することができ、こ
れらをワイヤボンディング等で接続する場合に比し接続
作業に要する時間を大幅に短縮して、光プリンタヘッド
の生産性を向上させることができる。
【0015】しかも、これらの回路導体は、ベースプレ
ートや発光素子アレイチップ,接着剤等の上面に直に被
着されるものであるため、光プリンタヘッドの使用時な
どに外部からの振動や衝撃が印加されても、隣合う回路
導体同士が短絡するといった不具合を発生することはな
く、光プリンタヘッドの信頼性向上にも供することがで
きる上に、回路導体はその全体が膜状に形成されている
ことから、ボンディングワイヤのネイルヘッドの如き光
を反射する大きな物体は発光素子アレイチップ上に何ら
存在せず、光プリンタヘッドの使用時、反射光等の不要
な光が感光体に照射されて不要な潜像が形成されるのを
有効に防止することもできる。
【0016】また本発明の光プリンタヘッドによれば、
凹部内面と発光素子アレイチップ側面との間隙に充填す
る接着剤として熱硬化性樹脂を使用することにより、間
隙の奥深くまで浸透させた接着剤を比較的短時間で確実
に硬化させることができる上に、ベースプレート並びに
接着剤と、回路導体との間に介在させる下地層の形成に
感光性樹脂を使用することにより、全ての発光素子と接
続パッドとを露出させる形に下地層をパターン形成する
フォトプロセスが、下地層上に別途フォトレジスト膜等
を被着させて下地層をパターニングする場合に比し大幅
に簡略化されることとなり、光プリンタヘッドの生産性
を高く維持することができる。
【0017】更にまた本発明の光プリンタヘッドは、前
記接着剤の上面に窪みを形成するとともに該窪み内に前
記下地層の一部を充填させておくことにより、接着剤と
下地層との接触面積を広く確保することができ、下地層
を接着剤に対して良好に密着させて光プリンタヘッドの
信頼性を向上させることが可能となる。
【0018】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記接着剤を形成する熱硬化性樹脂と前記下地層を
形成する感光性樹脂とを同系の樹脂により形成すること
により、下地層と接着剤との馴染みが良好となることか
ら、両者の密着性が向上され、これによっても光プリン
タヘッドの信頼性を向上させることが可能となる。
【0019】更にまた本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記発光素子アレイチップの上面角部を下地層の一
部で被覆しておくことにより、発光素子アレイチップの
ベースとして単結晶シリコン等の半導体材料を使用する
場合に、発光素子アレイチップの外周部に露出された単
結晶シリコン等と回路導体とが電気的に短絡したり、回
路導体が発光素子アレイチップ外周部の鋭利な角部によ
って断線するといった不具合を有効に防止することもで
きる。
【0020】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記発光素子アレイチップを前記凹部内で複数個、
列状に並べ、その両端に位置する発光素子アレイチップ
に近接させてダミーチップを並べておくことにより、発
光素子アレイチップの配列領域内で接着剤や下地層の形
状を安定させることができ、回路導体をパターン形成す
る際の加工精度を高く維持することが可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づい
て詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係る光
プリンタヘッドの断面図、図2は図1の光プリンタヘッ
ドの要部を拡大して示す平面図であり、図中の1は回路
基板、2はベースプレート、3は回路導体、4は発光素
子アレイチップ、5は発光素子、6は発光素子アレイチ
ップの接続パッド、7は接着剤、8は下地層である。
【0022】前記回路基板1は、ガラス布基材エポキシ
樹脂等から成るベースプレート2の上面に発光素子アレ
イチップ4の厚みと略等しい深さ(発光素子アレイチッ
プ4の厚みに対し±0.1mm以内の深さ)の凹部1a
が設けられている。
【0023】前記ベースプレート2は、その上面に下地
層8や回路導体3等が、また上述の凹部1a内に発光素
子アレイチップ4等がそれぞれ配設され、これらを支持
する支持母材として機能する。
【0024】尚、前記ベースプレート2は、ガラス布基
材エポキシ樹脂から成る場合、ガラス糸を用いて形成し
たガラス布基材に液状のエポキシ樹脂を含浸・硬化さ
せ、これを所定形状に切断して外形加工することにより
製作され、得られたベースプレート2の上面をダイサー
を用いてハーフダイシングすることにより凹部1aが形
成される。
【0025】また前記凹部1aに埋設される発光素子ア
レイチップ4は、その上面に多数の発光素子5と該素子
5に電気的に接続される接続パッド6とを有し、凹部内
面と発光素子アレイチップ側面との間隙に充填される接
着剤7でもって凹部1a内の所定位置に固定されてい
る。
【0026】前記発光素子アレイチップ4の上面に設け
られている多数の発光素子5は、例えば600dpi
(dot per inch)の密度で主走査方向に直線状に配列さ
れており、該発光素子5はGaAlAsやGaAsP等
から成るp型半導体とn型半導体とを積層して両者をp
n接合させた構造を有しているため、接続パッド6に電
気的に接続される回路導体3等を介して外部からの電源
電力が印加されると、発光素子5のp型半導体中に電子
が、n型半導体中に正孔がそれぞれ注入され、これらを
pn接合部付近で再結合させて該結合の際に生じたエネ
ルギーを光に変換することによって発光素子5が所定の
輝度で発光する。
【0027】尚、前記発光素子アレイチップ4は、従来
周知の半導体製造技術、具体的にはMOCVD(Metal
Organic Chemical Vapor Deposition)法等を採用し、
上述の化合物半導体を単結晶シリコン等から成るベース
の上面にエピタキシャル成長させて発光素子5を形成し
た後、従来周知の薄膜形成技術により接続パッド6等を
所定パターンに被着させることにより製作される。
【0028】また、得られた発光素子アレイチップ4を
回路基板1の凹部1a内に固定するには、まず発光素子
アレイチップ4を、凹部1aの底面に載置させた後、凹
部1aの壁面と発光素子アレイチップ4の側面との間隙
にディスペンサ等を用いてエポキシ樹脂、アクリル樹
脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂等を主成分とする
熱硬化性樹脂製の接着剤7を充填し、これを約150℃
の温度で硬化・重合させることによって行なわれ、これ
によって発光素子アレイチップ4の上面はベースプレー
ト2の上面と略同一平面内に配置されることとなる。こ
こで前記接着剤7中には、その熱膨張係数を発光素子ア
レイチップ4や回路基板1に近づけるためにシリカやア
ルミナ等の良熱伝導性の無機質フィラが所定量(例えば
60重量%〜80重量%)添加されており、かかる接着
剤7の粘度は上記間隙の奥深くまで良好に浸透するよう
に例えば1Pa・s〜100Pa・sに調整されてい
る。
【0029】また前記接着剤7として熱硬化性樹脂を使
用するのは、上記間隙の奥深くまで浸透させた接着剤7
を比較的短時間で確実に硬化させるためであり、これを
光硬化性樹脂により形成すると、間隙の奥深くまで浸透
させた接着剤に光を十分に照射させることが難しく、樹
脂を完全に硬化させることができない場合もある。従っ
て、凹部内面と発光素子アレイチップとの間に充填され
る接着剤7として熱硬化性樹脂を用いることが好まし
い。
【0030】そして、前記ベースプレート2、接着剤7
及び発光素子アレイチップ4の上面には下地層8が所定
パターンをなすように被着され、該下地層8上には更に
回路導体3が被着されている。
【0031】前記下地層8は、回路導体3の下地を平坦
化するためのものであり、接着剤7を形成する熱硬化性
樹脂と同系の樹脂、例えば接着剤7がエポキシ樹脂から
成る場合、下地層8もエポキシ樹脂により形成され、回
路導体3の被着領域にわたり例えば10μm〜100μ
mの厚みに形成される。
【0032】かかる下地層8の形成には感光性樹脂が用
いられ、液状になした感光性樹脂をベースプレート2や
接着剤7,発光素子アレイチップ4の上面全体に従来周
知のスピンコート法等によって薄く塗布し、該液状樹脂
を紫外線の照射によって全ての発光素子5と接続パッド
6とを露出させれるように所定パターンに現像した後、
これを150℃〜200℃の温度で硬化・重合させるこ
とによって形成される。
【0033】この下地層8を形成するのに感光性樹脂を
用いることにより、全ての発光素子5と接続パッド6と
を露出させるためのフォトプロセスが、下地層8上に別
途フォトレジスト膜等を被着させて下地層8をパターニ
ングする場合に比し大幅に簡略化されることとなり、光
プリンタヘッドの生産性を高く維持することができる。
【0034】更に前述した接着剤7の上面に深さ10μ
m〜100μm程度の窪み7aを形成して、この窪み7
a内に上記下地層8の一部を充填させておくことによ
り、接着剤7と下地層8との接触面積を広く確保するこ
とができ、下地層8を接着剤7に対して良好に密着させ
ておくことができる利点もある。従って接着剤7の上面
に窪み7aを形成して、この窪み7a内に下地層8の一
部を充填させるように構成することが好ましい。
【0035】また更に前記接着剤7を形成する熱硬化性
樹脂と下地層8を形成する感光性樹脂とを同系の樹脂に
より形成しておけば、下地層8と接着剤7との馴染みが
良好となることから、両者の密着性が向上され、これに
よっても光プリンタヘッドの信頼性を向上させることが
可能となる。従って、接着剤7を形成する熱硬化性樹脂
と下地層8を形成する感光性樹脂とを共通の基本組成を
もった同系の樹脂により形成することが好ましい。
【0036】また一方、前記下地層8上の回路導体3
は、先に述べた発光素子アレイチップ4の発光素子5に
電源電力を供給するための給電配線として機能するもの
であり、アルミニウム、銅、金、ニッケル、クロム等の
金属により形成され、その一端側はベースプレート2上
より前記接着剤7上を介し発光素子アレイチップ4の接
続パッド6上まで延在され、該延在部で対応する接続パ
ッド6と電気的に接続されている。
【0037】この場合、上述した多数の回路導体3は下
地層8及び発光素子アレイチップ4の上面に直に被着さ
せてあるため、光プリンタヘッドの使用時などに外部か
らの振動や衝撃が印加されても、隣合う回路導体同士が
短絡するといった不具合を発生することはなく、光プリ
ンタヘッドの信頼性向上にも供することができる上に、
接続パッド6上まで延在させた回路導体3はその全体が
膜状をなすように形成されていることから、発光素子ア
レイチップ4上にはボンディングワイヤのネイルヘッド
の如き光を反射する大きな物体は何ら存在せず、従っ
て、光プリンタヘッドを使用する際、反射光等の不要な
光が外部の感光体に照射されて不要な潜像が形成される
のを有効に防止して、画像データに対応した正確な画像
を得ることが可能である。
【0038】尚、前記回路導体3は、従来周知のメッキ
法や薄膜形成技術、例えば従来周知の真空蒸着法等を採
用して、上述の金属材料を下地層8及び発光素子アレイ
チップ4の上面に例えば0.5μm〜20μmの厚みに
被着させ、これを従来周知のフォトリソグラフィー技術
及びエッチング技術等を採用し所定パターンに微細加工
することによって形成される。
【0039】このような回路導体3は、それ自体をパタ
ーン形成する際に、発光素子アレイチップ4の上面に設
けた多数の接続パッド6に対しても同時に、かつ一括的
に接続されるため、これらをワイヤボンディング等で接
続する場合に比し接続作業に要する時間を大幅に短縮し
て、光プリンタヘッドの生産性を向上させることができ
る。
【0040】しかもこの場合、ベースプレート2の上面
と発光素子アレイチップ4の上面は略等しい高さに位置
している上に、回路導体3の被着面は下地層8によって
平坦化されているため、回路導体3を膜欠陥の少ない良
好な連続膜としてパターン形成することができる。
【0041】また更に前記下地層8の一部を用いて発光
素子アレイチップ4の上面角部を被覆しておけば、発光
素子アレイチップ4をシリコンウエハより切り出して得
る場合などに、シリコンウエハの上面に形成されている
絶縁層(図示せず)が発光素子アレイチップ4の上面角
部付近で剥離し、単結晶シリコン等の表面が一部露出し
たとしても、該露出部は下地層8によって良好に被覆さ
れることとなるため、回路導体3と単結晶シリコン等が
電気的に短絡したり、或いは、回路導体3が発光素子ア
レイチップ外周の鋭利な角部によって断線するといった
不具合も有効に防止され、これによっても光プリンタヘ
ッドの生産性が向上される。従って、前記下地層8の一
部を用いて発光素子アレイチップ4の上面角部を被覆し
ておくことが好ましい。
【0042】かくして上述した光プリンタヘッドは、発
光素子アレイチップ4の発光素子5を外部からの画像デ
ータに基づいて個々に選択的に発光させるとともに、該
発光した光を図示しないロッドレンズアレイ等の光学系
を介して外部の感光体に照射・結像させ、感光体に所定
の潜像を形成することによって光プリンタヘッドとして
機能する。
【0043】そして、感光体に形成された潜像は、その
後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー
像を記録紙に転写・定着させることによって記録紙に所
定の画像が記録されることとなる。
【0044】尚、本発明は上述の実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
種々の変更、改良等が可能である。
【0045】例えば上述の実施形態において回路基板1
上に発光素子5の発光を制御するためのドライバーIC
を搭載したり、回路導体3や発光素子アレイチップ4の
表面をエポキシ樹脂等から成る保護膜で被覆するように
しても構わない。
【0046】また上述の実施形態において、発光素子ア
レイチップ4の列の両側にダミーチップを配設しておけ
ば、発光素子アレイチップ4の配列領域内で接着剤7や
下地層8の形状を安定させることができ、回路導体3を
パターン形成する際の加工精度を高く維持することがで
きる利点もある。
【0047】更に上述の実施形態において、発光素子ア
レイチップ4を接着剤7で凹部1a内に固定する際、発
光素子アレイチップ4の下面と凹部1aの底面を予め別
の接着剤で接着しておけば、上述した接着剤7の充填・
硬化するプロセス中も発光素子アレイチップ4は凹部1
a内の所定位置に固定されているため、大きな位置ずれ
を生じることはなく、発光素子アレイチップ4の搭載精
度を高く維持することができる。
【0048】また更に上述の実施形態においては、下地
層8を形成するのに、液状になした感光性樹脂を用いた
が、これに代えてフィルム状に加工された感光性樹脂を
用いて下地層8を形成するようにしても良い。
【0049】更にまた上述の実施形態においては発光ダ
イオードを発光素子として用いたLEDアレイヘッドを
例に説明したが、それ以外の光プリンタヘッド、例え
ば、ELヘッド、プラズマドットヘッド、液晶シャッタ
ヘッド、蛍光ヘッド、PLZT等にも本発明は適用可能
である。
【0050】
【発明の効果】本発明の光プリンタヘッドによれば、回
路基板のベースプレートに発光素子アレイチップが埋設
される凹部を形成するとともに該凹部内面と発光素子ア
レイチップ側面との間隙に接着剤を充填し、前記ベース
プレート上に設けられる回路導体の一端を前記接着剤上
を介して発光素子アレイチップの接続パッド上まで延在
させることにより回路導体を接続パッドに電気的に接続
するように構成したことから、上記回路導体をパターン
形成する際に、これらを発光素子アレイチップの接続パ
ッドに対しても同時に、かつ一括的に接続することがで
き、これらをワイヤボンディング等で接続する場合に比
し接続作業に要する時間を大幅に短縮して、光プリンタ
ヘッドの生産性を向上させることができる。
【0051】しかも、これらの回路導体は、ベースプレ
ートや発光素子アレイチップ,接着剤等の上面に直に被
着されるものであるため、光プリンタヘッドの使用時な
どに外部からの振動や衝撃が印加されても、隣合う回路
導体同士が短絡するといった不具合を発生することはな
く、光プリンタヘッドの信頼性向上にも供することがで
きる上に、回路導体はその全体が膜状に形成されている
ことから、ボンディングワイヤのネイルヘッドの如き光
を反射する大きな物体は発光素子アレイチップ上に何ら
存在せず、光プリンタヘッドの使用時、反射光等の不要
な光が感光体に照射されて不要な潜像が形成されるのを
有効に防止することもできる。
【0052】また本発明の光プリンタヘッドによれば、
凹部内面と発光素子アレイチップ側面との間隙に充填す
る接着剤として熱硬化性樹脂を使用することにより、間
隙の奥深くまで浸透させた接着剤を比較的短時間で確実
に硬化させることができる上に、ベースプレート並びに
接着剤と、回路導体との間に介在させる下地層の形成に
感光性樹脂を使用することにより、全ての発光素子と接
続パッドとを露出させる形に下地層をパターン形成する
フォトプロセスが、下地層上に別途フォトレジスト膜等
を被着させて下地層をパターニングする場合に比し大幅
に簡略化されることとなり、光プリンタヘッドの生産性
を高く維持することができる。
【0053】更にまた本発明の光プリンタヘッドは、前
記接着剤の上面に窪みを形成するとともに該窪み内に前
記下地層の一部を充填させておくことにより、接着剤と
下地層との接触面積を広く確保することができ、下地層
を接着剤に対して良好に密着させて光プリンタヘッドの
信頼性を向上させることが可能となる。
【0054】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記接着剤を形成する熱硬化性樹脂と前記下地層を
形成する感光性樹脂とを、共通の基本組成を有する同系
の樹脂により形成することにより、下地層と接着剤との
馴染みが良好となることから、両者の密着性が向上さ
れ、これによっても光プリンタヘッドの信頼性を向上さ
せることが可能となる。
【0055】更にまた本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記発光素子アレイチップの上面角部を下地層の一
部で被覆しておくことにより、発光素子アレイチップ4
をシリコンウエハより切り出して得る場合などに、発光
素子アレイチップの外周部に露出された単結晶シリコン
等と回路導体とが電気的に短絡したり、回路導体が発光
素子アレイチップ外周部の鋭利な角部によって断線する
といった不具合を有効に防止することもできる。
【0056】また更に本発明の光プリンタヘッドによれ
ば、前記発光素子アレイチップを前記凹部内で複数個、
列状に並べ、その両端に位置する発光素子アレイチップ
に近接させてダミーチップを並べておくことにより、発
光素子アレイチップの配列領域内で接着剤や下地層の形
状を安定させることができ、回路導体をパターン形成す
る際の加工精度を高く維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る光プリンタヘッドの
断面図である。
【図2】図1の光プリンタヘッドの要部を拡大して示す
平面図である。
【図3】従来の光プリンタヘッドの断面図である。
【符号の説明】
1・・・回路基板、2・・・ベースプレート、3・・・
回路導体、4・・・発光素子アレイチップ、5・・・発
光素子、6・・・発光素子アレイチップの接続パッド、
7・・・接着剤、8・・・下地層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2C162 AE28 AE47 AG01 AH22 FA04 FA17 FA23 5F041 AA06 AA25 CB22 DA01 DA06 DA19 DA20 DA35 DA75 DA82 DC23 FF13

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベースプレート上に多数の回路導体を設け
    てなる回路基板上に、上面に多数の発光素子及び接続パ
    ッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記回路
    導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリン
    タヘッドにおいて、 前記ベースプレートの上面に前記発光素子アレイチップ
    が埋設される凹部を形成するとともに該凹部内面と発光
    素子アレイチップ側面との間隙に接着剤を充填し、前記
    回路導体の一端を回路基板の上面より前記接着剤上を介
    して前記発光素子アレイチップの接続パッド上まで延在
    させることにより回路導体を対応する接続パッドに電気
    的に接続したことを特徴とする光プリンタヘッド。
  2. 【請求項2】前記接着剤が熱硬化性樹脂を硬化して形成
    されており、かつ前記ベースプレート並びに接着剤と、
    前記回路導体との間に、感光性樹脂をパターン形成して
    なる下地層が介在されていることを特徴とする請求項1
    に記載の光プリンタヘッド。
  3. 【請求項3】前記接着剤の上面に窪みを形成するととも
    に該窪み内に前記下地層の一部を充填せしめたことを特
    徴とする請求項2に記載の光プリンタヘッド。
  4. 【請求項4】前記接着剤を形成する熱硬化性樹脂と前記
    下地層を形成する感光性樹脂とが同系の樹脂により形成
    されていることを特徴とする請求項2または請求項3に
    記載の光プリンタヘッド。
  5. 【請求項5】前記発光素子アレイチップの上面角部が前
    記下地層の一部で被覆されていることを特徴とする請求
    項2乃至請求項4のいずれかに記載の光プリンタヘッ
    ド。
  6. 【請求項6】前記発光素子アレイチップが前記凹部内で
    複数個、列状に並んでおり、該列の両端に位置する発光
    素子アレイチップに近接して、発光素子アレイチップと
    略等しい幅のダミーチップを更に並べたことを特徴とす
    る請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の光プリンタ
    ヘッド。
JP2001197528A 2001-06-28 2001-06-28 光プリンタヘッド Pending JP2003011416A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001197528A JP2003011416A (ja) 2001-06-28 2001-06-28 光プリンタヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001197528A JP2003011416A (ja) 2001-06-28 2001-06-28 光プリンタヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003011416A true JP2003011416A (ja) 2003-01-15

Family

ID=19035118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001197528A Pending JP2003011416A (ja) 2001-06-28 2001-06-28 光プリンタヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003011416A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008277828A (ja) * 2007-05-07 2008-11-13 Neovison Pnv Co Ltd 電光板に設置される発光ダイオード
JP2011507291A (ja) * 2007-12-19 2011-03-03 バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト Leddieを有する発光体およびその製造方法
US11605766B2 (en) 2019-12-27 2023-03-14 Nichia Corporation Light-emitting module and method of manufacturing light-emitting module
US11824031B2 (en) * 2020-06-10 2023-11-21 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure with dielectric structure covering upper surface of chip

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008277828A (ja) * 2007-05-07 2008-11-13 Neovison Pnv Co Ltd 電光板に設置される発光ダイオード
JP2011507291A (ja) * 2007-12-19 2011-03-03 バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト Leddieを有する発光体およびその製造方法
KR101556807B1 (ko) 2007-12-19 2015-10-01 바이엘 머티리얼사이언스 아게 Led 다이를 가지는 발광체 및 그의 제조
US11605766B2 (en) 2019-12-27 2023-03-14 Nichia Corporation Light-emitting module and method of manufacturing light-emitting module
US11824031B2 (en) * 2020-06-10 2023-11-21 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure with dielectric structure covering upper surface of chip

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101210090B1 (ko) 금속 코어 인쇄회로기판 및 이를 이용한 발광 다이오드패키징 방법
JP2004079750A (ja) 発光装置
TWI442450B (zh) 遷移功能區域的方法,發光二極體陣列,發光二極體列印頭,以及發光二極體列印機
JP2007273898A (ja) 発光ダイオードアレイ、ledヘッド及び画像記録装置
JP2006179862A (ja) 発光ダイオードアレイパッケージ構造およびその方法
JP2003011417A (ja) 光プリンタヘッド
JP2003011416A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005153335A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005050873A (ja) 光プリンタヘッド
JP2003011415A (ja) 光プリンタヘッド
JP2002326384A (ja) 光プリンタヘッド
JP2004216649A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005050874A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005050871A (ja) 光プリンタヘッド
JP4991125B2 (ja) 光プリンタヘッド及びそれを用いた光プリンタ
JP2003103826A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005047035A (ja) 光プリンタヘッドの製造方法
JP2005014321A (ja) 光プリンタヘッド
JP2003191522A (ja) 光プリンタヘッド
JP2002043635A (ja) 発光素子アレイチップ及びそれを用いた光プリンタヘッド
JP2005050872A (ja) 光プリンタヘッド
KR101195569B1 (ko) 발광소자 탑재용 기판 및 이의 제조방법
JP2005050869A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005050870A (ja) 光プリンタヘッド
JP2005047036A (ja) 光プリンタヘッド