JP2005050874A - 光プリンタヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】画像データに対応した所定の画像が得られ、しかも、生産性に優れ、高い精度をもった光プリンタヘッドを提供すること。
【解決手段】基板1上に多数の第1の回路導体2を設け、その上に絶縁層3を被覆してなる回路基板上に発光素子アレイチップ5を搭載し、第1の回路導体2を接続パッド6に電気的に接続してなり、基板1の上面に発光素子アレイチップ5が埋設される凹部1aを形成するとともに凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を充填し、第1の回路導体2の一端を導体ペーストによる第2の回路導体9を形成して接続パッド6に接続するとともに、第2の回路導体9上に樹脂から成る保護膜10を形成しており、保護膜10の樹脂が含有する溶剤に対して第2の回路導体9の導体ペーストの樹脂が溶解しない光プリンタヘッドである。充分な密着強度と硬度を持った保護膜10を形成することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】基板1上に多数の第1の回路導体2を設け、その上に絶縁層3を被覆してなる回路基板上に発光素子アレイチップ5を搭載し、第1の回路導体2を接続パッド6に電気的に接続してなり、基板1の上面に発光素子アレイチップ5が埋設される凹部1aを形成するとともに凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を充填し、第1の回路導体2の一端を導体ペーストによる第2の回路導体9を形成して接続パッド6に接続するとともに、第2の回路導体9上に樹脂から成る保護膜10を形成しており、保護膜10の樹脂が含有する溶剤に対して第2の回路導体9の導体ペーストの樹脂が溶解しない光プリンタヘッドである。充分な密着強度と硬度を持った保護膜10を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子写真プリンタ等の光書込み手段として用いられる光プリンタヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から電子写真プリンタ等の光書込み手段として、LEDアレイヘッドに代表される光プリンタヘッドが用いられている。
【0003】
かかる従来の光プリンタヘッドとしては、例えば図6に断面図で示す如く、多数の回路導体22が所定のパターンに被着されている回路基板21の上面に、多数の発光素子27および多数の接続パッド26を有する複数個の発光素子アレイチップ25を全ての発光素子27が直線状に配列されるようにして一列に並べて接着剤24で接着することにより搭載し、各発光素子アレイチップ25の接続パッド26とこの接続パッド26に対応する回路導体22とをボンディングワイヤ32等で電気的に接続した構造のものが知られている。これによれば、外部からの画像データに基づいて発光素子27を個々に選択的に発光させるとともに、この発光した光を図示しないロッドレンズアレイ等の光学系を介して外部の感光体に照射して結像させ、感光体に所定の潜像を形成することによって光プリンタヘッドとして機能する。
【0004】
そして、感光体に形成された潜像は、その後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー像を記録紙に転写し、定着させることによって記録紙に所定の印画が形成される。
【0005】
しかしながら、上述した従来の光プリンタヘッドを例えばA3サイズ,600dpi(dot per inch)の製品仕様にて構成した場合には、接続パッド36と回路導体22との接続個所は約15000箇所にも及び、両者は約15000本もの多数のボンディングワイヤ32で個々に接続されることになる。それゆえ、これらのボンディングワイヤ32を従来周知のワイヤボンディング法によってボンディングすると、その接続作業には極めて長時間を要するため、光プリンタヘッドの生産性の向上を図ることができないという問題点があった。また、光プリンタヘッドの使用時等にボンディングワイヤ32が外部からの振動や衝撃によって倒れてしまって、隣接するボンディングワイヤ32同士を短絡させることがあり、このことが光プリンタヘッドの信頼性を低下させていたという問題点もあった。
【0006】
また、上述した従来の光プリンタヘッドにおけるボンディングワイヤ32は、ワイヤボンディング法にて回路導体22や発光素子アレイチップ25の接続パッド26に対して接続されたものであり、通常、ファーストボンディングが発光素子アレイチップ25側で、セカンドボンディングが回路導体22側でなされている。この場合、接続パッド26に接合されるボンディングワイヤ32の端部には、ボール状のネイルヘッドが形成されることから、光プリンタヘッドを使用する際に、発光素子27の発した光の一部がボンディングワイヤ32のネイルヘッドで反射してしまい、このような反射光が外部の感光体に照射されると、感光体には反射光の照射に起因した不要な潜像が形成されることとなり、画像データに対応した正確な画像を得ることができなくなるという問題点も有していた。
【0007】
また、上述した従来の光プリンタヘッドによれば、ボンディングワイヤ32を発光素子アレイチップ25の接続パッド26に接続するためには、ボンディングワイヤ32のボール状のネイルヘッドを接続させるのに接続パッド26の大きさが80μm×80μm以上必要となるので、発光素子アレイチップ25の小型化が図れず、また製造に際して1枚のウエハ基板から多数個のチップを作製する際の取り数が少ないものとなってしまうため、多数の発光素子アレイチップ25を使用する光プリンタヘッドの低価格化が図れないという問題点もあった。
【0008】
そこで、これらの問題点を解決するために、ワイヤボンディングを使わない、一括配線型の光プリンタヘッドが提案されている。
【0009】
このような一括配線型の光プリンタヘッドについて、本願出願人は、特願2002−167044号において新規な構成を提案している。その内容について、図5に示す断面図を参照しつつ説明する。
【0010】
図5において、1は回路基板を構成する基板、2は第1の回路導体、3は絶縁層、4は固定用接着剤、5は発光素子アレイチップである。また、6は発光素子アレイチップ5の接続パッド、7は発光素子、8は基板1の凹部1aと発光素子アレイチップ5との間隙を充填する接着剤、9は第1の回路導体2と発光素子アレイチップ5の接続パッド6とを電気的に接続する回路導体である第2の回路導体、10は保護膜である。図5に示す光プリンタヘッドによれば、基板1の上面に発光素子アレイチップ5が埋設される凹部1aを形成し、この凹部1aの底部に発光素子アレイチップ5を固定用接着剤4により固定し、さらに凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を充填し、基板1上の絶縁層3の上面および接着剤8の上面8aを介して、絶縁層3の開口部3aより露出した回路導体2上から発光素子アレイチップ5の接続パッド6上まで第2の回路導体9により電気的に接続し、第2の回路導体9の上面に保護膜10を形成している。これにより、第2の回路導体9をパターン形成する際に、これらを発光素子アレイチップ5の接続パッド6に対しても同時に、かつ一括的に接続することができ、これらをワイヤボンディング等で接続する場合に比べ、接続作業に要する時間を短縮することができるというものである。
【0011】
【特許文献1】
特開平1−34760号公報
【0012】
【特許文献2】
特開平1−208874号公報
【0013】
【特許文献3】
特開平4−87383号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような一括配線型の光プリンタヘッドにおいても、第2の回路導体9上に保護膜10を形成することによって、第2の回路導体9の第1の回路導体2,絶縁層3,接着剤8および接続パッド6に対する密着強度が低下する、第1の回路導体2と第2の回路導体9との接触抵抗が上昇する、あるいは保護膜10が充分な強度を有しないために第2の回路導体9の腐食等の劣化が進む、などというような、改善が望まれる問題点があった。
【0015】
本発明は上記のような問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、高解像度の画像データに対応した所定の画像が得られ、しかも、小型で、生産性に優れた光プリンタヘッドを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜が含有する溶剤に対して前記導体ペーストの樹脂が溶解しないことを特徴とするものである。
【0017】
本発明の第2の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hであることを特徴とするものである。
【0018】
本発明の第3の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度がJISタイプAで10乃至65であることを特徴とするものである。
【0019】
本発明の第4の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂と前記導体ペーストの樹脂とが同じであることを特徴とするものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光プリンタヘッドを添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0021】
図1は本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す断面図であり、図2はその要部拡大平面図である。また、図3は本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す断面図であり、図4はその要部拡大平面図である。これらの図において同様の箇所には同じ符号を付してあり、1は基板、2は第1の回路導体、3は絶縁層であり、基板1上に多数の第1の回路導体2を設け、これら第1の回路導体2の上に絶縁層3を被覆して回路基板が形成されている。4は固定用接着剤、5は発光素子アレイチップであり、発光素子アレイチップ5は、基板1の上面に形成された凹部1aの底部に固定用接着剤4により固定されている。
6は発光素子アレイチップ5の接続パッド、7は発光素子である。8は凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に充填された接着剤、9は第2の回路導体、10は保護膜である。また、11は基板1の下面に実装された駆動用ICである。
【0022】
回路基板を構成する基板1は、例えばガラス布基材エポキシ樹脂や、ガラス布基材BT(ビスマレイミド・トリアジン)レジンや、ガラス布基材ポリフェニレンエーテル等の樹脂から成る。この基板1の上面には、発光素子アレイチップ5上の発光素子7に電源電力を供給するための給電配線として機能する第1の回路導体2が多数形成され、また下面には、第1の回路導体2の一部が延設され、駆動用IC13が接続される。これら第1の回路導体2は、例えば銅等の金属により形成される。また、第1の回路導体2と駆動用IC13との電気的接続は、図1に示すようなフリップチップ接続、あるいはワイヤボンディング接続等により行なわれる。
【0023】
次に、第1の回路導体2と後に形成される第2の回路導体9とを絶縁し、さらに第1の回路導体2の腐食を防止して保護するための絶縁層3が形成される。この絶縁層3は、例えばエポキシ樹脂,アクリル樹脂,フェノール樹脂等から成る。
【0024】
次に、絶縁層3の一部に第1の回路導体2上に位置するように形成された開口部3a内に露出している第1の回路導体2の表面に、ニッケルおよび金等の金属層2aが形成される。この金属層2aが形成されることにより、第1の回路導体2の腐食を防止することができるとともに、後に形成される第2の回路導体9との電気的な接続を良好なものとすることができる。ここで、例えば、耐腐食性がある高価な金から成る金属層2aは、第1の回路導体2の開口部3a内に露出した部分のみに選択的に被着させているため、金の消費量が多量となることはなく、光プリンタヘッドのコストを高めることはない。
【0025】
また、基板1の上面には、発光素子アレイチップ5とこの発光素子アレイチップ5を固定する固定用接着剤4との厚みと略等しい深さ(発光素子アレイチップ5と固定用接着剤4との合計厚みに対し±0.1mm以内の深さ)の凹部1aが設けられている。
【0026】
基板1は、その上面に多数の第1の回路導体2が配設され、また凹部1a内に多数個の発光素子アレイチップ5が固定用接着剤4により配設固定されており、これらを支持する支持部材として機能する。
【0027】
なお、基板1は、ガラス布基材エポキシ樹脂等から成る場合であれば、ガラス繊維を用いて形成したガラス布基材に液状のエポキシ樹脂を含浸させて硬化させ、これを所定形状に切断して外形加工することにより製作される。次いで、得られた基板1の上面に、ダイサー等を用いて所定の幅のブレードによりハーフダイシングすることによって凹部1aが形成される。
【0028】
また、凹部1aに埋設される発光素子アレイチップ5は、その上面に例えば300dpi以上の解像度となるように多数の発光素子7とこれら発光素子7と電気的に接続された接続パッド6とを有しており、凹部1aの底面と発光素子アレイチップ5の底面との間に配置される固定用接着剤4により凹部1a内の所定位置に固定される。
【0029】
そして、凹部1aの内面と、凹部1aに固定用接着剤4により固定された発光素子アレイチップ5の側面との間隙に、例えば熱硬化の温度が室温以上80℃以下である接着剤8を充填して熱硬化させることにより、基板1の上面と発光素子アレイチップ5の上面と接着剤8の上面8aとが±0.1mm以内で平坦化されている。
【0030】
発光素子アレイチップ5の上面に設けられている多数の発光素子7は、例えば600dpiの密度で主走査方向に直線状に配列されている。これら発光素子7は、例えばAlGaAsやGaAsP等から成るp型半導体とn型半導体とを積層して両者をpn接合させた構造を有しているため、接続パッド6に電気的に接続される第2の回路導体9等を介して外部からの電源電力が印加されると、発光素子7のp型半導体中に電子が、n型半導体中に正孔がそれぞれ注入され、これらをpn接合部付近で再結合させてこの再結合の際に生じたエネルギーを光に変換することによって、所定の波長および輝度で発光する。
【0031】
なお、発光素子アレイチップ5は、半導体製造技術、具体的にはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法等を採用し、上述の化合物半導体を単結晶のGaAsやSi等から成る基板の上面にエピタキシャル成長させて発光素子7を形成した後、薄膜形成技術により接続パッド6を所定パターンに被着させることにより製作される。
【0032】
また、得られた発光素子アレイチップ5を基板1の凹部1a内に固定するには、まず発光素子アレイチップ5を凹部1aの底部に固定用接着剤4を用いて固定した後、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙にディスペンサや印刷機等を用いて、エポキシ樹脂,アクリル樹脂,フェノール樹脂,シリコーン樹脂等を主成分とする接着剤8を充填する。その後、これを所定の温度で熱硬化させることによって、発光素子アレイチップ5が凹部1a内に埋設される。
【0033】
このときディスペンサにより接着剤8を充填する場合であれば、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙の形状および接着剤8の硬化収縮量や発光素子アレイチップ5の底部からチップ間への回り込み量等を考慮して、ディスペンサからの接着剤8の吐出量を制御し、接着剤8の硬化後に基板1の上面と発光素子アレイチップ5の上面と接着剤8の上面8aとが同一平面となるようにその間隙に接着剤8を充填する。
【0034】
この際、接着剤8の吐出量は、ディスペンサの吐出圧力あるいはディスペンサの凹部1aに対する相対走査速度を変化させることにより調整すればよい。また、印刷機により接着剤8を充填する場合であれば、穴埋め印刷法や真空印刷法等の印刷技術により、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を埋め込み、充填すればよい。
【0035】
これによって、発光素子アレイチップ5の上面,基板1の上面および接着剤8の上面8aは、略同一平面内に配置されることとなる。ここで、接着剤8中には、その熱膨張係数を発光素子アレイチップ5や樹脂製の基板1に近づけるために、シリカやアルミナ等の高熱伝導性の無機質フィラーが所定量(例えば40質量%〜90質量%)添加されていることが好ましい。また、かかる接着剤8の粘度は、上記間隙の奥深くまで良好に浸透し、かつ良好に表面レベリングするように、例えば1Pas〜200Pasに調整されていることが好ましい。
【0036】
そして、基板1上の第1の回路導体2から絶縁層3上および接着剤8上を介して発光素子アレイチップ5の接続パッド6に至るように形成した第2の回路導体9は、発光素子アレイチップ5の発光素子7に電源電力を供給するための給電配線として機能するものであり、例えばアルミニウム,銅,金,ニッケル等の金属あるいは銀,銅等のフィラーが含まれた導電性樹脂により形成されている。この第2の回路導体9の一端側は基板1上の第1の回路導体2に電気的に接続されており、他端側は基板1上より絶縁層3上および接着剤8上を経て発光素子アレイチップ5上の対応する接続パッド6まで延在され、その接続パッド6と電気的に接続されている。
【0037】
この場合、多数の第2の回路導体9は絶縁層3,接着剤8および発光素子アレイチップ5の上面に直接被着させてあるため、光プリンタヘッドの使用時等に外部からの振動や衝撃が印加されても、隣合う第2の回路導体9同士が短絡するといった不具合を発生することがなく、光プリンタヘッドの信頼性向上にも寄与することができる。またその上に、接続パッド6上まで延在させた第2の回路導体9は、その全体が膜状に形成されていることから、発光素子アレイチップ5上にはボンディングワイヤのネイルヘッドの如き光を反射する大きな物体は何ら存在せず、従って、この本発明の光プリンタヘッドを使用する際には、反射光等の不要な光が外部の感光体に照射されて不要な潜像が形成されるのを有効に防止して、画像データに対応した高解像度の画像を得ることが可能である。
【0038】
なお、これら第2の回路導体9は、例えばスクリーン印刷法等の印刷法を採用して、前述の金属フィラーを樹脂と混練した導体ペーストを、絶縁層3の開口部3a内に露出した第1の回路導体2,絶縁層3,接着剤8および接続パッド6の上面に例えば10μm〜40μmの厚みに所定のパターンで被着させた後、所定の温度、好ましくは80℃以上の温度で、また接着剤8のガラス転移点以下の温度で熱硬化させることにより形成される。このとき、絶縁層3の開口部3aの底部と上面との段差が大きい場合には、絶縁層3の開口部3aのみ選択的に第2の回路導体9を埋め込むようにして形成してもよい。また、第2の回路導体9は、メッキ法およびフォトプロセス等を採用して形成してもよい。
【0039】
このような第2の回路導体9は、それ自体をパターン形成する際に、発光素子アレイチップ5の上面に設けた多数の接続パッド6に対しても同時に、かつ一括的に接続されるように形成されるため、従来のようにワイヤボンディング等で接続する場合に比べて接続作業に要する時間を大幅に短縮することができ、光プリンタヘッドの生産性を向上させることができる。
【0040】
また、第2の回路導体9と発光素子アレイチップ5の上面の接続パッド6との接続のためには、接続パッド6の大きさは数十μm角程度で十分であるので、発光素子アレイチップ5を小型にすることができ、多数の発光素子アレイチップ5を使用した光プリンタヘッドを小型化し低コスト化することができる。
【0041】
そして、第2の回路導体9を腐食から保護し、また第2の回路導体9間のマイグレーションの発生を抑制するために、第2の回路導体9を覆うように樹脂から成る保護膜10を形成する。この保護膜10の形成工程においては、条件によっては例えばその樹脂が含有する溶剤が第2の回路導体9を形成する導体ペースト中の樹脂を溶解してしまったりして、結果として絶縁層3や接着剤8に対する第2の回路導体9の密着強度を低下させる恐れがあるが、保護膜10の材料はそのようなものであってはならない。例えば、第2の回路導体9を形成する導体ペーストがウレタン樹脂をバインダとした導体ペーストの場合であれば、保護膜10の樹脂の溶剤にメチルエチルケトン溶剤を用いることにより第2の回路導体9の樹脂が溶解して、密着強度が低下し、抵抗値が増加するという不具合が生じることとなる。
【0042】
また、保護膜10の形成後も、基板1の分断工程や洗浄工程等に対して保護膜10が充分な硬度を持つ必要がある。このためには、保護膜10の硬度は鉛筆硬度でB乃至9Hの範囲であればよい。このような硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hである樹脂としては、例えば具体的にはアクリレート樹脂が挙げられる。
【0043】
また、保護膜10の形成後は、保護膜10が適度な硬度を持つ必要があり、このためには、保護膜10の硬度がJISタイプAで10乃至65の範囲であればよい。この範囲よりも硬度が低いと、保護膜10がタック性を持ちゴミ等が付着しやすくなるという不具合が生じるようになり、この範囲よりも硬度が高いと、保護膜10の残留応力が高くなり、第2の回路導体9の架橋密度が低くて強度が低い場合には、第1の回路導体2と第2の回路導体9との接触抵抗が上昇したり、発光素子アレイチップ5の端部における発光素子7の信頼性が劣化したりする。このような硬度がJISタイプAで10乃至65である樹脂としては、例えば具体的にはシリコーン樹脂が挙げられる。
【0044】
さらに、保護膜10の形成によって第2の回路導体9の絶縁層3および接着剤8に対する密着強度の低下をもたらさないためには、保護膜10の樹脂と第2の回路導体9を形成する導体ペーストの樹脂とが同じ樹脂であること、例えば、両者ともアクリレート樹脂であること、あるいはシリコーン樹脂であること、あるいはエポキシ樹脂であること、あるいはウレタン樹脂であることが望ましい。
【0045】
ここで、第2の回路導体9を形成する導体ペーストの樹脂は、通常は熱硬化型樹脂が用いられ、熱硬化前は保護膜10の樹脂に用いる溶剤に通常は容易に溶解するものとなっているが、熱硬化により架橋密度が十分高いものとなると溶剤によっては十分に不溶となり、その導体ペーストの樹脂と同じ樹脂を保護膜10に用いた場合にも、その溶剤に対して第2の回路導体9の導体ペーストの樹脂は溶解しないようになる。なお、保護膜10も、熱硬化型樹脂を用いて十分高い架橋密度で熱硬化させることにより、その樹脂に用いていた溶剤に対して不溶とすることができる。
【0046】
このような保護膜10は、図1および図2に示す例のように、第2の回路導体9を被覆し、かつ開口部10aを設けて発光素子7を被覆しないようにすることにより、例えばスクリーン印刷によって保護膜の厚み,色,フィラーの有無に関わらず容易に形成することができる。
【0047】
また、この保護膜10は、図3および図4に示す例のように、第2の回路導体9とともに発光素子アレイチップ5の発光素子7の表面を覆うように発光素子7から発する光に透明な保護膜10で被覆することにより、例えばスクリーン印刷の位置合わせ精度を低いものとすることができ、生産性を高くすることができる。またこの場合には、ディスペンサやスプレーによる保護膜10の塗布形成も可能となる。
【0048】
かくしてこのような本発明の第1乃至第4の光プリンタヘッドは、発光素子アレイチップ5の発光素子7を外部からの画像データに基づいて個々に選択的に発光させるとともに、これら発光した光を図示しないロッドレンズ等の光学系を介して外部の感光体に照射して結像させ、感光体に所望の高解像度の潜像を形成することができる光プリンタヘッドとして機能する。
【0049】
そして、感光体に形成された潜像は、その後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー像を記録紙に転写し、定着させることによって記録紙に所定の画像が記録されることとなる。
【0050】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更・改良等が可能である。
【0051】
例えば、上述の実施の形態の例において、基板1の下面に実装した発光素子7の発光を制御するための駆動用IC13は、基板1の上面に搭載してもよい。
【0052】
さらに、上述の実施の形態の例において、発光素子アレイチップ5の列の両側にダミーチップを配設することによって、発光素子アレイチップ5の配列領域内で接着剤8の形状を安定させることができ、第2の回路導体9を所定のパターンに安定して形成することができる。
【0053】
さらにまた、上述の実施の形態の例において、発光ダイオードを発光素子7として用いたLEDアレイヘッドを例に説明したが、それ以外の光プリンタヘッド、例えば、ELヘッド,プラズマドットヘッド,液晶シャッタヘッド,蛍光ヘッド,PLZTヘッド等にも本発明は適用可能である。
【0054】
【発明の効果】
以上のように、本発明の第1の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂が含有する溶剤に対して前記導体ペーストの樹脂が溶解しないことから、保護膜の形成工程における第2の回路導体の劣化をなくし、絶縁層や接着剤に対する第2の回路導体の密着強度を低下させることがない、高信頼性の光プリンタヘッドとすることができる。
【0055】
さらに、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の1端を前記回路基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に保護膜を形成し、該保護膜の樹脂の鉛筆硬度Bから9Hであることを特徴としたことから、十分な強度を持った保護膜の形成が可能である。
【0056】
また、本発明の第2の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hであることから、基板の分断工程や洗浄工程等に対して十分な強度を持った保護膜の形成が可能である。
【0057】
また、本発明の第3の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度がJISタイプAで10乃至65であることから、ゴミ等が付着しにくく、第1の回路導体と第2の回路導体との接触抵抗の上昇を抑制することができる光プリンタヘッドとなる。またこの場合は、発光素子アレイチップの端部の発光素子間に挿入された保護膜は柔軟性を持っているので、発光素子アレイチップの端部における発光素子の信頼性の劣化を抑制することができる。
【0058】
さらに、本発明の第4の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂と前記導体ペーストの樹脂とが同じであることから、保護膜と第2の回路導体との強固な密着を図ることが可能となる。
【0059】
その結果、本発明によれば、第2の回路導体を形成した導体ペーストの腐食や第2の回路導体間でのマイグレーションの発生を十分抑制できる保護膜を形成することが可能となり、高解像度の画像データに対応した所定の画像が得られる良好な印画品質を有し、しかも小型で、かつ大量生産が可能で生産性に優れた信頼性の高い光プリンタヘッドを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す断面図である。
【図2】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す要部拡大平面図である。
【図3】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す断面図である。
【図4】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す要部拡大平面図である。
【図5】本願出願人が先に提案した、一括配線型の光プリンタヘッドの例を示す断面図である。
【図6】従来のワイヤボンディング型の光プリンタヘッドの例を示す断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板
1a・・・凹部
2・・・第1の回路導体
3・・・絶縁層
4・・・固定用接着剤
5・・・発光素子アレイチップ
6・・・接続パッド
7・・・発光素子
8・・・接着剤
9・・・第2の回路導体
10・・・保護膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子写真プリンタ等の光書込み手段として用いられる光プリンタヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から電子写真プリンタ等の光書込み手段として、LEDアレイヘッドに代表される光プリンタヘッドが用いられている。
【0003】
かかる従来の光プリンタヘッドとしては、例えば図6に断面図で示す如く、多数の回路導体22が所定のパターンに被着されている回路基板21の上面に、多数の発光素子27および多数の接続パッド26を有する複数個の発光素子アレイチップ25を全ての発光素子27が直線状に配列されるようにして一列に並べて接着剤24で接着することにより搭載し、各発光素子アレイチップ25の接続パッド26とこの接続パッド26に対応する回路導体22とをボンディングワイヤ32等で電気的に接続した構造のものが知られている。これによれば、外部からの画像データに基づいて発光素子27を個々に選択的に発光させるとともに、この発光した光を図示しないロッドレンズアレイ等の光学系を介して外部の感光体に照射して結像させ、感光体に所定の潜像を形成することによって光プリンタヘッドとして機能する。
【0004】
そして、感光体に形成された潜像は、その後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー像を記録紙に転写し、定着させることによって記録紙に所定の印画が形成される。
【0005】
しかしながら、上述した従来の光プリンタヘッドを例えばA3サイズ,600dpi(dot per inch)の製品仕様にて構成した場合には、接続パッド36と回路導体22との接続個所は約15000箇所にも及び、両者は約15000本もの多数のボンディングワイヤ32で個々に接続されることになる。それゆえ、これらのボンディングワイヤ32を従来周知のワイヤボンディング法によってボンディングすると、その接続作業には極めて長時間を要するため、光プリンタヘッドの生産性の向上を図ることができないという問題点があった。また、光プリンタヘッドの使用時等にボンディングワイヤ32が外部からの振動や衝撃によって倒れてしまって、隣接するボンディングワイヤ32同士を短絡させることがあり、このことが光プリンタヘッドの信頼性を低下させていたという問題点もあった。
【0006】
また、上述した従来の光プリンタヘッドにおけるボンディングワイヤ32は、ワイヤボンディング法にて回路導体22や発光素子アレイチップ25の接続パッド26に対して接続されたものであり、通常、ファーストボンディングが発光素子アレイチップ25側で、セカンドボンディングが回路導体22側でなされている。この場合、接続パッド26に接合されるボンディングワイヤ32の端部には、ボール状のネイルヘッドが形成されることから、光プリンタヘッドを使用する際に、発光素子27の発した光の一部がボンディングワイヤ32のネイルヘッドで反射してしまい、このような反射光が外部の感光体に照射されると、感光体には反射光の照射に起因した不要な潜像が形成されることとなり、画像データに対応した正確な画像を得ることができなくなるという問題点も有していた。
【0007】
また、上述した従来の光プリンタヘッドによれば、ボンディングワイヤ32を発光素子アレイチップ25の接続パッド26に接続するためには、ボンディングワイヤ32のボール状のネイルヘッドを接続させるのに接続パッド26の大きさが80μm×80μm以上必要となるので、発光素子アレイチップ25の小型化が図れず、また製造に際して1枚のウエハ基板から多数個のチップを作製する際の取り数が少ないものとなってしまうため、多数の発光素子アレイチップ25を使用する光プリンタヘッドの低価格化が図れないという問題点もあった。
【0008】
そこで、これらの問題点を解決するために、ワイヤボンディングを使わない、一括配線型の光プリンタヘッドが提案されている。
【0009】
このような一括配線型の光プリンタヘッドについて、本願出願人は、特願2002−167044号において新規な構成を提案している。その内容について、図5に示す断面図を参照しつつ説明する。
【0010】
図5において、1は回路基板を構成する基板、2は第1の回路導体、3は絶縁層、4は固定用接着剤、5は発光素子アレイチップである。また、6は発光素子アレイチップ5の接続パッド、7は発光素子、8は基板1の凹部1aと発光素子アレイチップ5との間隙を充填する接着剤、9は第1の回路導体2と発光素子アレイチップ5の接続パッド6とを電気的に接続する回路導体である第2の回路導体、10は保護膜である。図5に示す光プリンタヘッドによれば、基板1の上面に発光素子アレイチップ5が埋設される凹部1aを形成し、この凹部1aの底部に発光素子アレイチップ5を固定用接着剤4により固定し、さらに凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を充填し、基板1上の絶縁層3の上面および接着剤8の上面8aを介して、絶縁層3の開口部3aより露出した回路導体2上から発光素子アレイチップ5の接続パッド6上まで第2の回路導体9により電気的に接続し、第2の回路導体9の上面に保護膜10を形成している。これにより、第2の回路導体9をパターン形成する際に、これらを発光素子アレイチップ5の接続パッド6に対しても同時に、かつ一括的に接続することができ、これらをワイヤボンディング等で接続する場合に比べ、接続作業に要する時間を短縮することができるというものである。
【0011】
【特許文献1】
特開平1−34760号公報
【0012】
【特許文献2】
特開平1−208874号公報
【0013】
【特許文献3】
特開平4−87383号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような一括配線型の光プリンタヘッドにおいても、第2の回路導体9上に保護膜10を形成することによって、第2の回路導体9の第1の回路導体2,絶縁層3,接着剤8および接続パッド6に対する密着強度が低下する、第1の回路導体2と第2の回路導体9との接触抵抗が上昇する、あるいは保護膜10が充分な強度を有しないために第2の回路導体9の腐食等の劣化が進む、などというような、改善が望まれる問題点があった。
【0015】
本発明は上記のような問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、高解像度の画像データに対応した所定の画像が得られ、しかも、小型で、生産性に優れた光プリンタヘッドを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜が含有する溶剤に対して前記導体ペーストの樹脂が溶解しないことを特徴とするものである。
【0017】
本発明の第2の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hであることを特徴とするものである。
【0018】
本発明の第3の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度がJISタイプAで10乃至65であることを特徴とするものである。
【0019】
本発明の第4の光プリンタヘッドは、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂と前記導体ペーストの樹脂とが同じであることを特徴とするものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光プリンタヘッドを添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0021】
図1は本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す断面図であり、図2はその要部拡大平面図である。また、図3は本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す断面図であり、図4はその要部拡大平面図である。これらの図において同様の箇所には同じ符号を付してあり、1は基板、2は第1の回路導体、3は絶縁層であり、基板1上に多数の第1の回路導体2を設け、これら第1の回路導体2の上に絶縁層3を被覆して回路基板が形成されている。4は固定用接着剤、5は発光素子アレイチップであり、発光素子アレイチップ5は、基板1の上面に形成された凹部1aの底部に固定用接着剤4により固定されている。
6は発光素子アレイチップ5の接続パッド、7は発光素子である。8は凹部1aの内面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に充填された接着剤、9は第2の回路導体、10は保護膜である。また、11は基板1の下面に実装された駆動用ICである。
【0022】
回路基板を構成する基板1は、例えばガラス布基材エポキシ樹脂や、ガラス布基材BT(ビスマレイミド・トリアジン)レジンや、ガラス布基材ポリフェニレンエーテル等の樹脂から成る。この基板1の上面には、発光素子アレイチップ5上の発光素子7に電源電力を供給するための給電配線として機能する第1の回路導体2が多数形成され、また下面には、第1の回路導体2の一部が延設され、駆動用IC13が接続される。これら第1の回路導体2は、例えば銅等の金属により形成される。また、第1の回路導体2と駆動用IC13との電気的接続は、図1に示すようなフリップチップ接続、あるいはワイヤボンディング接続等により行なわれる。
【0023】
次に、第1の回路導体2と後に形成される第2の回路導体9とを絶縁し、さらに第1の回路導体2の腐食を防止して保護するための絶縁層3が形成される。この絶縁層3は、例えばエポキシ樹脂,アクリル樹脂,フェノール樹脂等から成る。
【0024】
次に、絶縁層3の一部に第1の回路導体2上に位置するように形成された開口部3a内に露出している第1の回路導体2の表面に、ニッケルおよび金等の金属層2aが形成される。この金属層2aが形成されることにより、第1の回路導体2の腐食を防止することができるとともに、後に形成される第2の回路導体9との電気的な接続を良好なものとすることができる。ここで、例えば、耐腐食性がある高価な金から成る金属層2aは、第1の回路導体2の開口部3a内に露出した部分のみに選択的に被着させているため、金の消費量が多量となることはなく、光プリンタヘッドのコストを高めることはない。
【0025】
また、基板1の上面には、発光素子アレイチップ5とこの発光素子アレイチップ5を固定する固定用接着剤4との厚みと略等しい深さ(発光素子アレイチップ5と固定用接着剤4との合計厚みに対し±0.1mm以内の深さ)の凹部1aが設けられている。
【0026】
基板1は、その上面に多数の第1の回路導体2が配設され、また凹部1a内に多数個の発光素子アレイチップ5が固定用接着剤4により配設固定されており、これらを支持する支持部材として機能する。
【0027】
なお、基板1は、ガラス布基材エポキシ樹脂等から成る場合であれば、ガラス繊維を用いて形成したガラス布基材に液状のエポキシ樹脂を含浸させて硬化させ、これを所定形状に切断して外形加工することにより製作される。次いで、得られた基板1の上面に、ダイサー等を用いて所定の幅のブレードによりハーフダイシングすることによって凹部1aが形成される。
【0028】
また、凹部1aに埋設される発光素子アレイチップ5は、その上面に例えば300dpi以上の解像度となるように多数の発光素子7とこれら発光素子7と電気的に接続された接続パッド6とを有しており、凹部1aの底面と発光素子アレイチップ5の底面との間に配置される固定用接着剤4により凹部1a内の所定位置に固定される。
【0029】
そして、凹部1aの内面と、凹部1aに固定用接着剤4により固定された発光素子アレイチップ5の側面との間隙に、例えば熱硬化の温度が室温以上80℃以下である接着剤8を充填して熱硬化させることにより、基板1の上面と発光素子アレイチップ5の上面と接着剤8の上面8aとが±0.1mm以内で平坦化されている。
【0030】
発光素子アレイチップ5の上面に設けられている多数の発光素子7は、例えば600dpiの密度で主走査方向に直線状に配列されている。これら発光素子7は、例えばAlGaAsやGaAsP等から成るp型半導体とn型半導体とを積層して両者をpn接合させた構造を有しているため、接続パッド6に電気的に接続される第2の回路導体9等を介して外部からの電源電力が印加されると、発光素子7のp型半導体中に電子が、n型半導体中に正孔がそれぞれ注入され、これらをpn接合部付近で再結合させてこの再結合の際に生じたエネルギーを光に変換することによって、所定の波長および輝度で発光する。
【0031】
なお、発光素子アレイチップ5は、半導体製造技術、具体的にはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法等を採用し、上述の化合物半導体を単結晶のGaAsやSi等から成る基板の上面にエピタキシャル成長させて発光素子7を形成した後、薄膜形成技術により接続パッド6を所定パターンに被着させることにより製作される。
【0032】
また、得られた発光素子アレイチップ5を基板1の凹部1a内に固定するには、まず発光素子アレイチップ5を凹部1aの底部に固定用接着剤4を用いて固定した後、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙にディスペンサや印刷機等を用いて、エポキシ樹脂,アクリル樹脂,フェノール樹脂,シリコーン樹脂等を主成分とする接着剤8を充填する。その後、これを所定の温度で熱硬化させることによって、発光素子アレイチップ5が凹部1a内に埋設される。
【0033】
このときディスペンサにより接着剤8を充填する場合であれば、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙の形状および接着剤8の硬化収縮量や発光素子アレイチップ5の底部からチップ間への回り込み量等を考慮して、ディスペンサからの接着剤8の吐出量を制御し、接着剤8の硬化後に基板1の上面と発光素子アレイチップ5の上面と接着剤8の上面8aとが同一平面となるようにその間隙に接着剤8を充填する。
【0034】
この際、接着剤8の吐出量は、ディスペンサの吐出圧力あるいはディスペンサの凹部1aに対する相対走査速度を変化させることにより調整すればよい。また、印刷機により接着剤8を充填する場合であれば、穴埋め印刷法や真空印刷法等の印刷技術により、凹部1aの内壁面と発光素子アレイチップ5の側面との間隙に接着剤8を埋め込み、充填すればよい。
【0035】
これによって、発光素子アレイチップ5の上面,基板1の上面および接着剤8の上面8aは、略同一平面内に配置されることとなる。ここで、接着剤8中には、その熱膨張係数を発光素子アレイチップ5や樹脂製の基板1に近づけるために、シリカやアルミナ等の高熱伝導性の無機質フィラーが所定量(例えば40質量%〜90質量%)添加されていることが好ましい。また、かかる接着剤8の粘度は、上記間隙の奥深くまで良好に浸透し、かつ良好に表面レベリングするように、例えば1Pas〜200Pasに調整されていることが好ましい。
【0036】
そして、基板1上の第1の回路導体2から絶縁層3上および接着剤8上を介して発光素子アレイチップ5の接続パッド6に至るように形成した第2の回路導体9は、発光素子アレイチップ5の発光素子7に電源電力を供給するための給電配線として機能するものであり、例えばアルミニウム,銅,金,ニッケル等の金属あるいは銀,銅等のフィラーが含まれた導電性樹脂により形成されている。この第2の回路導体9の一端側は基板1上の第1の回路導体2に電気的に接続されており、他端側は基板1上より絶縁層3上および接着剤8上を経て発光素子アレイチップ5上の対応する接続パッド6まで延在され、その接続パッド6と電気的に接続されている。
【0037】
この場合、多数の第2の回路導体9は絶縁層3,接着剤8および発光素子アレイチップ5の上面に直接被着させてあるため、光プリンタヘッドの使用時等に外部からの振動や衝撃が印加されても、隣合う第2の回路導体9同士が短絡するといった不具合を発生することがなく、光プリンタヘッドの信頼性向上にも寄与することができる。またその上に、接続パッド6上まで延在させた第2の回路導体9は、その全体が膜状に形成されていることから、発光素子アレイチップ5上にはボンディングワイヤのネイルヘッドの如き光を反射する大きな物体は何ら存在せず、従って、この本発明の光プリンタヘッドを使用する際には、反射光等の不要な光が外部の感光体に照射されて不要な潜像が形成されるのを有効に防止して、画像データに対応した高解像度の画像を得ることが可能である。
【0038】
なお、これら第2の回路導体9は、例えばスクリーン印刷法等の印刷法を採用して、前述の金属フィラーを樹脂と混練した導体ペーストを、絶縁層3の開口部3a内に露出した第1の回路導体2,絶縁層3,接着剤8および接続パッド6の上面に例えば10μm〜40μmの厚みに所定のパターンで被着させた後、所定の温度、好ましくは80℃以上の温度で、また接着剤8のガラス転移点以下の温度で熱硬化させることにより形成される。このとき、絶縁層3の開口部3aの底部と上面との段差が大きい場合には、絶縁層3の開口部3aのみ選択的に第2の回路導体9を埋め込むようにして形成してもよい。また、第2の回路導体9は、メッキ法およびフォトプロセス等を採用して形成してもよい。
【0039】
このような第2の回路導体9は、それ自体をパターン形成する際に、発光素子アレイチップ5の上面に設けた多数の接続パッド6に対しても同時に、かつ一括的に接続されるように形成されるため、従来のようにワイヤボンディング等で接続する場合に比べて接続作業に要する時間を大幅に短縮することができ、光プリンタヘッドの生産性を向上させることができる。
【0040】
また、第2の回路導体9と発光素子アレイチップ5の上面の接続パッド6との接続のためには、接続パッド6の大きさは数十μm角程度で十分であるので、発光素子アレイチップ5を小型にすることができ、多数の発光素子アレイチップ5を使用した光プリンタヘッドを小型化し低コスト化することができる。
【0041】
そして、第2の回路導体9を腐食から保護し、また第2の回路導体9間のマイグレーションの発生を抑制するために、第2の回路導体9を覆うように樹脂から成る保護膜10を形成する。この保護膜10の形成工程においては、条件によっては例えばその樹脂が含有する溶剤が第2の回路導体9を形成する導体ペースト中の樹脂を溶解してしまったりして、結果として絶縁層3や接着剤8に対する第2の回路導体9の密着強度を低下させる恐れがあるが、保護膜10の材料はそのようなものであってはならない。例えば、第2の回路導体9を形成する導体ペーストがウレタン樹脂をバインダとした導体ペーストの場合であれば、保護膜10の樹脂の溶剤にメチルエチルケトン溶剤を用いることにより第2の回路導体9の樹脂が溶解して、密着強度が低下し、抵抗値が増加するという不具合が生じることとなる。
【0042】
また、保護膜10の形成後も、基板1の分断工程や洗浄工程等に対して保護膜10が充分な硬度を持つ必要がある。このためには、保護膜10の硬度は鉛筆硬度でB乃至9Hの範囲であればよい。このような硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hである樹脂としては、例えば具体的にはアクリレート樹脂が挙げられる。
【0043】
また、保護膜10の形成後は、保護膜10が適度な硬度を持つ必要があり、このためには、保護膜10の硬度がJISタイプAで10乃至65の範囲であればよい。この範囲よりも硬度が低いと、保護膜10がタック性を持ちゴミ等が付着しやすくなるという不具合が生じるようになり、この範囲よりも硬度が高いと、保護膜10の残留応力が高くなり、第2の回路導体9の架橋密度が低くて強度が低い場合には、第1の回路導体2と第2の回路導体9との接触抵抗が上昇したり、発光素子アレイチップ5の端部における発光素子7の信頼性が劣化したりする。このような硬度がJISタイプAで10乃至65である樹脂としては、例えば具体的にはシリコーン樹脂が挙げられる。
【0044】
さらに、保護膜10の形成によって第2の回路導体9の絶縁層3および接着剤8に対する密着強度の低下をもたらさないためには、保護膜10の樹脂と第2の回路導体9を形成する導体ペーストの樹脂とが同じ樹脂であること、例えば、両者ともアクリレート樹脂であること、あるいはシリコーン樹脂であること、あるいはエポキシ樹脂であること、あるいはウレタン樹脂であることが望ましい。
【0045】
ここで、第2の回路導体9を形成する導体ペーストの樹脂は、通常は熱硬化型樹脂が用いられ、熱硬化前は保護膜10の樹脂に用いる溶剤に通常は容易に溶解するものとなっているが、熱硬化により架橋密度が十分高いものとなると溶剤によっては十分に不溶となり、その導体ペーストの樹脂と同じ樹脂を保護膜10に用いた場合にも、その溶剤に対して第2の回路導体9の導体ペーストの樹脂は溶解しないようになる。なお、保護膜10も、熱硬化型樹脂を用いて十分高い架橋密度で熱硬化させることにより、その樹脂に用いていた溶剤に対して不溶とすることができる。
【0046】
このような保護膜10は、図1および図2に示す例のように、第2の回路導体9を被覆し、かつ開口部10aを設けて発光素子7を被覆しないようにすることにより、例えばスクリーン印刷によって保護膜の厚み,色,フィラーの有無に関わらず容易に形成することができる。
【0047】
また、この保護膜10は、図3および図4に示す例のように、第2の回路導体9とともに発光素子アレイチップ5の発光素子7の表面を覆うように発光素子7から発する光に透明な保護膜10で被覆することにより、例えばスクリーン印刷の位置合わせ精度を低いものとすることができ、生産性を高くすることができる。またこの場合には、ディスペンサやスプレーによる保護膜10の塗布形成も可能となる。
【0048】
かくしてこのような本発明の第1乃至第4の光プリンタヘッドは、発光素子アレイチップ5の発光素子7を外部からの画像データに基づいて個々に選択的に発光させるとともに、これら発光した光を図示しないロッドレンズ等の光学系を介して外部の感光体に照射して結像させ、感光体に所望の高解像度の潜像を形成することができる光プリンタヘッドとして機能する。
【0049】
そして、感光体に形成された潜像は、その後、現像のプロセスを経てトナー像となり、このトナー像を記録紙に転写し、定着させることによって記録紙に所定の画像が記録されることとなる。
【0050】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更・改良等が可能である。
【0051】
例えば、上述の実施の形態の例において、基板1の下面に実装した発光素子7の発光を制御するための駆動用IC13は、基板1の上面に搭載してもよい。
【0052】
さらに、上述の実施の形態の例において、発光素子アレイチップ5の列の両側にダミーチップを配設することによって、発光素子アレイチップ5の配列領域内で接着剤8の形状を安定させることができ、第2の回路導体9を所定のパターンに安定して形成することができる。
【0053】
さらにまた、上述の実施の形態の例において、発光ダイオードを発光素子7として用いたLEDアレイヘッドを例に説明したが、それ以外の光プリンタヘッド、例えば、ELヘッド,プラズマドットヘッド,液晶シャッタヘッド,蛍光ヘッド,PLZTヘッド等にも本発明は適用可能である。
【0054】
【発明の効果】
以上のように、本発明の第1の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂が含有する溶剤に対して前記導体ペーストの樹脂が溶解しないことから、保護膜の形成工程における第2の回路導体の劣化をなくし、絶縁層や接着剤に対する第2の回路導体の密着強度を低下させることがない、高信頼性の光プリンタヘッドとすることができる。
【0055】
さらに、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の1端を前記回路基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に保護膜を形成し、該保護膜の樹脂の鉛筆硬度Bから9Hであることを特徴としたことから、十分な強度を持った保護膜の形成が可能である。
【0056】
また、本発明の第2の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hであることから、基板の分断工程や洗浄工程等に対して十分な強度を持った保護膜の形成が可能である。
【0057】
また、本発明の第3の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂の硬度がJISタイプAで10乃至65であることから、ゴミ等が付着しにくく、第1の回路導体と第2の回路導体との接触抵抗の上昇を抑制することができる光プリンタヘッドとなる。またこの場合は、発光素子アレイチップの端部の発光素子間に挿入された保護膜は柔軟性を持っているので、発光素子アレイチップの端部における発光素子の信頼性の劣化を抑制することができる。
【0058】
さらに、本発明の第4の光プリンタヘッドによれば、基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともにこの凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、この保護膜の樹脂と前記導体ペーストの樹脂とが同じであることから、保護膜と第2の回路導体との強固な密着を図ることが可能となる。
【0059】
その結果、本発明によれば、第2の回路導体を形成した導体ペーストの腐食や第2の回路導体間でのマイグレーションの発生を十分抑制できる保護膜を形成することが可能となり、高解像度の画像データに対応した所定の画像が得られる良好な印画品質を有し、しかも小型で、かつ大量生産が可能で生産性に優れた信頼性の高い光プリンタヘッドを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す断面図である。
【図2】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の一例を示す要部拡大平面図である。
【図3】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す断面図である。
【図4】本発明の光プリンタヘッドの実施の形態の他の例を示す要部拡大平面図である。
【図5】本願出願人が先に提案した、一括配線型の光プリンタヘッドの例を示す断面図である。
【図6】従来のワイヤボンディング型の光プリンタヘッドの例を示す断面図である。
【符号の説明】
1・・・基板
1a・・・凹部
2・・・第1の回路導体
3・・・絶縁層
4・・・固定用接着剤
5・・・発光素子アレイチップ
6・・・接続パッド
7・・・発光素子
8・・・接着剤
9・・・第2の回路導体
10・・・保護膜
Claims (4)
- 基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、該保護膜の樹脂が含有する溶剤に対して前記導体ペーストの樹脂が溶解しないことを特徴とする光プリンタヘッド。
- 基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、該保護膜の樹脂の硬度が鉛筆硬度でB乃至9Hであることを特徴とする光プリンタヘッド。
- 基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、該保護膜の樹脂の硬度がJISタイプAで10乃至65であることを特徴とする光プリンタヘッド。
- 基板上に多数の第1の回路導体を設け、これら第1の回路導体の上に絶縁層を被覆してなる回路基板上に、上面に多数の発光素子および接続パッドを有する発光素子アレイチップを搭載し、前記第1の回路導体を前記接続パッドに電気的に接続してなる光プリンタヘッドであって、前記基板の上面に前記発光素子アレイチップが埋設される凹部を形成するとともに該凹部の内面と前記発光素子アレイチップの側面との間隙に接着剤を充填し、前記第1の回路導体の一端を前記基板の上面より前記絶縁層上および前記接着剤上を介して前記発光素子アレイチップの前記接続パッド上まで延在させた、導体ペーストによる第2の回路導体を形成して前記接続パッドに電気的に接続するとともに、前記第2の回路導体上に樹脂から成る保護膜を形成しており、該保護膜の樹脂と前記導体ペーストの樹脂とが同じであることを特徴とする光プリンタヘッド。
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JP2003203400A JP2005050874A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | 光プリンタヘッド |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2014033168A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-20 | Nichia Chem Ind Ltd | 発光装置 |
JP2022128578A (ja) * | 2021-02-23 | 2022-09-02 | 晶呈科技股▲分▼有限公司 | Ledパッケージ構造及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-07-29 JP JP2003203400A patent/JP2005050874A/ja active Pending
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