JP2003006872A - 光情報媒体の再生方法および再生装置 - Google Patents

光情報媒体の再生方法および再生装置

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JP2003006872A JP2002093026A JP2002093026A JP2003006872A JP 2003006872 A JP2003006872 A JP 2003006872A JP 2002093026 A JP2002093026 A JP 2002093026A JP 2002093026 A JP2002093026 A JP 2002093026A JP 2003006872 A JP2003006872 A JP 2003006872A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 回折によって決定される解像限界付近の寸法
をもつピットや記録マークを再生する際に、高C/Nを
得る。 【解決手段】 光情報媒体の記録層にレーザービームを
照射して情報記録層に存在するピットまたは記録マーク
を読み出すことにより、記録情報を再生するに際し、レ
ーザービームの波長λが400〜410nmであり、開口
数NA=0.70〜0.85である対物レンズを通して
レーザービームが照射され、ピットまたは記録マークの
最小寸法PLが0.36λ/NA以下であるとき、レー
ザービームのパワーPrを0.4mW以上として再生を行
う。また、λが630〜670nmであり、NA=0.6
0〜0.65である対物レンズを通してレーザービーム
が照射され、PLが0.36λ/NA以下であるとき、
パワーPrを1.0mW以上として再生を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光情報媒体に記録
されている情報を再生する方法および再生装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光情報媒体には、コンパクトディスク等
の再生専用光ディスク、光磁気記録ディスクや相変化型
光記録ディスク等の書き換え可能型光記録ディスク、有
機色素を記録材料に用いた追記型光記録ディスクなどが
ある。
【0003】近年、光情報媒体は、画像等の膨大な情報
の処理のためにさらに情報密度を高くすることが必要と
されている。単位面積あたりの情報密度を高くするため
には、トラックピッチを狭める方法と記録マーク間やピ
ット間を縮めて線密度を高くする方法とがある。しか
し、再生光のビームスポットに対しトラック密度や線密
度が高すぎる場合、C/N(carrier to noise ratio)
が低くなってしまい、ついには信号再生が不可能となっ
てしまう。信号再生時の分解能はビームスポット径によ
って決定され、具体的には、再生光の波長をλ、再生装
置の光学系の開口数をNAとしたとき、一般に空間周波
数2NA/λが解像限界となる。したがって、再生時の
C/N向上や分解能向上のために再生光の短波長化やN
A増大が有効であり、多くの技術的検討がなされている
が、これらを導入するためには様々な技術的課題を解決
する必要がある。
【0004】このような事情から、光の回折によって決
定される解像限界(回折限界)を超えるための様々な方
法、すなわち、いわゆる超解像再生方法が提案されてい
る。
【0005】最も一般的な超解像再生方法は、記録層に
重ねていわゆるマスク層を設ける方法である。この方法
では、レーザービームスポットの強度分布がガウス分布
であることを利用して、マスク層にビームスポットより
も小さな光学的開口を形成し、これによりビームスポッ
トを回折限界より小さく絞る。この方法は、光学的開口
形成のメカニズムの違いにより、ヒートモード方式とフ
ォトンモード方式とに大別される。
【0006】ヒートモード方式では、マスク層のビーム
スポット照射部において、温度が一定値以上となった領
域で光学特性が変化する。ヒートモード方式は、例えば
特開平5−205314号公報に記載された光ディスク
において利用されている。この光ディスクは、情報信号
に応じて光学的に読み出し可能な記録ピットが形成され
た透明基板上に、温度によって反射率が変化する材料層
を有する。すなわち、この材料層がマスク層として働
く。同公報において上記材料層を構成する材料として具
体的に挙げられている元素はランタノイドであり、実施
例ではTbを使用している。同公報記載の光ディスクで
は、読み出し光が照射されたときに、上記材料層の反射
率が読み出し光の走査スポット内で温度分布により変化
し、読み出し後、温度が低下した状態で反射率が初期状
態に戻り、再生時に上記材料層が溶融することはない。
なお、ヒートモード方式としては、例えば特許第284
4824号公報に記載されているように、アモルファス
−結晶転移する材料をマスク層に用い、ビームスポット
内の高温領域を結晶転移させて反射率を向上させること
により超解像再生を行う媒体も知られている。しかし、
この媒体では、再生後にマスク層を再びアモルファスに
戻す必要があるので、実用的とはいえない。
【0007】ヒートモード方式では、光学的開口の寸法
がマスク層の温度分布で一意的に決定されるため、媒体
の線速度等の各種条件を考慮して再生光のパワーを厳密
に制御する必要がある。そのため、制御系が複雑にな
り、媒体駆動装置が高価格になってしまう。また、ヒー
トモード方式では、繰り返し加熱によりマスク層が劣化
しやすいので、繰り返し再生により再生特性が劣化しや
すい。
【0008】一方、フォトンモード方式では、マスク層
のビームスポット照射部において、フォトン量が一定値
以上となった領域で光学特性が変化する。フォトンモー
ド方式は、例えば特開平8−96412号公報に記載さ
れた情報記録媒体、特開平11−86342号公報に記
載された光記録媒体、および特開平10−340482
号公報に記載された光情報記録媒体において利用されて
いる。上記特開平8−96412号公報には、マスク層
として、フタロシアニンまたはその誘導体を樹脂または
無機誘電体に分散させたもの、および、カルコゲナイド
からなるものが記載されている。また、上記特開平11
−86342号公報では、上記再生光の照射により励起
子のエネルギー準位に電子励起して光吸収特性が変化す
る禁制帯を有する半導体材料を含有する超解像再生膜を
マスク層として用いており、マスク層の具体例として
は、SiO2母材中にCdSe微粒子を分散させたもの
が挙げられている。また、上記特開平10−34048
2号公報では、照射された光の強度分布と透過した光の
強度分布とが非線形に変化するガラス層をマスク層とし
て用いている。
【0009】フォトンモード方式の超解像再生媒体で
は、ヒートモード方式の超解像再生媒体と異なり、繰り
返し再生による劣化が比較的生じにくい。
【0010】フォトンモード方式において光学特性が変
化する領域は、入射フォトン数によって決定される。そ
して、入射フォトン数は、ビームスポットに対する媒体
の線速度に依存する。また、フォトンモード方式でも、
光学的開口の寸法は再生光のパワーに依存し、過剰なパ
ワーを与えると光学的開口が過大になってしまうため、
超解像再生が不可能となる。したがって、フォトンモー
ド方式においても、線速度に応じて、また、読み取り対
象のピットおよび記録マークの寸法に応じて、再生光の
パワーを厳密に制御する必要がある。また、フォトンモ
ード方式では、マスク層構成材料を再生光の波長に応じ
て選択しなければならない、すなわち、多波長再生に適
応しにくい、という問題もある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】超解像再生が不要な大
きな記録マークやピットであっても、その寸法が光の回
折によって決定される解像限界に近いと、十分に高いC
/Nが得られなくなる。
【0012】本発明の目的は、回折によって決定される
解像限界付近の寸法をもつピットや記録マークを再生す
る際に、高C/Nを得ることである。
【0013】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(13)の本発明により達成される。 (1) 光情報媒体の情報記録層にレーザービームを照
射して前記情報記録層に存在するピットまたは記録マー
クを読み出すことにより、記録情報を再生するに際し、
前記レーザービームの波長λが400〜410nmであ
り、開口数NA=0.70〜0.85である対物レンズ
を通して前記レーザービームが照射され、前記ピットま
たは前記記録マークの最小寸法PLが0.36λ/NA
以下であるとき、前記レーザービームのパワーPrを
0.4mW以上として再生を行う光情報媒体の再生方法。 (2) 前記最小寸法PLが0.31λ/NA以下であ
る上記(1)の光情報媒体の再生方法。 (3) 前記最小寸法PLが0.25λ/NA以上であ
る上記(1)または(2)の光情報媒体の再生方法。 (4) パワーPrを0.45mW以上として再生を行う
上記(1)〜(3)のいずれかの光情報媒体の再生方
法。 (5) パワーPrを0.5mW以上として再生を行う上
記(1)〜(3)のいずれかの光情報媒体の再生方法。 (6) 光情報媒体の記録層にレーザービームを照射し
て前記情報記録層に存在するピットまたは記録マークを
読み出すことにより、記録情報を再生するに際し、前記
レーザービームの波長λが630〜670nmであり、開
口数NA=0.60〜0.65である対物レンズを通し
て前記レーザービームが照射され、前記ピットまたは前
記記録マークの最小寸法PLが0.36λ/NA以下で
あるとき、前記レーザービームのパワーPrを1.0mW
以上として再生を行う光情報媒体の再生方法。 (7) 前記最小寸法PLが0.27λ/NA以下であ
る上記(6)の光情報媒体の再生方法。 (8) 前記最小寸法PLが0.25λ/NA以上であ
る上記(6)または(7)の光情報媒体の再生方法。 (9) パワーPrを1.4mW以上として再生を行う上
記(6)〜(8)のいずれかの光情報媒体の再生方法。 (10) パワーPrを2.0mW以上として再生を行う
上記(6)〜(8)のいずれかの光情報媒体の再生方
法。 (11) パワーPrを2.2mW以上として再生を行う
上記(6)〜(8)のいずれかの光情報媒体の再生方
法。 (12) 上記(1)〜(5)のいずれかの再生方法に
用いられる再生装置。 (13) 上記(6)〜(11)のいずれかの再生方法
に用いられる再生装置。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明では、本明細書において機
能層と呼ぶ特定の層を設けた媒体に対し、再生波長およ
び再生光照射光学系の構成に応じた特定範囲の再生パワ
ーPrを設定して、ピットや記録マークを読み出す。こ
れにより、回折によって決定される解像限界を超える超
解像再生が可能となる。しかも本発明では、解像限界に
近く、かつ解像限界よりやや大きなピットや記録マーク
を読み出す際に、従来よりも高いC/Nが得られる。
【0015】本発明の第1の態様では、ピットまたは記
録マーク(以下、「ピット/マーク」と表示することが
ある)の読み出しに用いるレーザービームの波長λが4
00〜410nmであり、このレーザービームを、開口数
NA=0.70〜0.85である対物レンズを通して媒
体に照射する。
【0016】カットオフ空間周波数は2NA/λなの
で、ピット/マークと隣接ピット/マーク間のスペース
とが同じ長さであるピット/マーク列は、その空間周波
数が2NA/λ(ラインペア/nm)以下であれば読み取
り可能である。この場合、読み取り可能な空間周波数に
対応するピット/マーク長(=スペース長)は、 λ/4NA=0.25λ/NA となる。したがって、長さ0.25λ/NA未満のピッ
ト/マーク列においてC/Nが得られれば、超解像再生
が可能であるといえる。ただし第1の態様では、解像限
界よりやや大きいピット/マークにおいて高C/Nが得
られることを特徴とする。したがって、第1の態様にお
いてピット/マークの最小寸法PLは、好ましくは0.
25λ/NA以上である。ただし、ピット/マークの最
小寸法PLが大きすぎると第1の態様による効果が損な
われるので、PLは解像限界よりやや大きい0.36λ
/NAを上限とし、好ましくは0.31λ/NA以下と
する。
【0017】第1の態様において、再生時に照射するレ
ーザービームのパワーPrは、0.4mW以上、好ましく
は0.45mW以上、より好ましくは0.5mW以上であ
る。波長λおよび開口数NAが第1の態様における限定
範囲内であるときに、そのλおよびNAに対応する解像
限界に近い上記寸法をもつピット/マークを読み出す場
合に、再生パワーPrを第1の態様で限定する範囲とす
ることにより、良好なC/Nが得られる。
【0018】本発明の第2の態様では、ピット/マーク
の読み出しに用いるレーザービームの波長λが630〜
670nmであり、このレーザービームを、開口数NA=
0.60〜0.65である対物レンズを通して媒体に照
射する。
【0019】第2の態様も、解像限界よりやや大きいピ
ット/マークにおいて高C/Nが得られることを特徴と
する。したがって、第2の態様においてピット/マーク
の最小寸法PLは、好ましくは0.25λ/NA以上で
ある。ただし、ピット/マークの最小寸法PLが大きす
ぎると第2の態様による効果が損なわれるので、PL
解像限界よりやや大きい0.36λ/NAを上限とし、
好ましくは0.27λ/NA以下とする。
【0020】第2の態様において、再生時に照射するレ
ーザービームのパワーPrは、1.0mW以上、好ましく
は1.4mW以上、より好ましくは2.0mW以上、さらに
好ましくは2.2mW以上である。波長λおよび開口数N
Aが第2の態様における限定範囲内であるときに、その
λおよびNAに対応する解像限界に近い上記寸法をもつ
ピット/マークを読み出す場合に、再生パワーPrを第
2の態様で限定する範囲とすることにより、良好なC/
Nが得られる。
【0021】なお、第1の態様および第2の態様におい
て、再生パワーPrの上限は特になく、一般に再生パワ
ーPrが高いほどC/Nは高くなる。ただし、再生パワ
ーPrが高いと、再生またはその繰り返しによって機能
層が劣化するおそれがある。また、再生パワーPrを高
くすると、媒体の反射率によっては媒体再生装置の反射
光検出系が飽和して、再生が不可能となることもある。
したがって、再生パワーPrには、このような制限によ
る実質的な上限が存在する。
【0022】本発明において、機能層を設けることによ
って解像限界付近でC/Nが著しく向上する理由は明ら
かではないが、本発明者らは、以下に説明するような機
構が関与していると考えている。
【0023】まず、ピット/マークにレーザービームを
照射すると、図2に示すように、ピット/マークの周囲
に電場が生じると考えられる。この電場の強度またはこ
の電場が影響を及ぼす範囲は、レーザービーム照射面の
エネルギー密度、すなわち照射面の単位面積当たりのエ
ネルギーと、照射面の構成材料とに相関すると考えられ
る。隣接するピット/マーク間の距離が比較的短い場
合、隣接するピット/マーク間で互いの電場同士で相互
作用を生じ、この相互作用によって、超解像再生が可能
になると考えられる。上記電場は、ピットのようにエッ
ジをもつ構造においてエッジ付近に発生しやすいと考え
られる。また、相変化型光記録媒体における非晶質記録
マークの外縁のように、結晶質と非晶質との境界など、
誘電率や電気伝導度が急峻に変化するところでも発生し
やすいと考えられる。
【0024】上記相互作用はレーザービームのエネルギ
ー密度に依存するため、再生波長λおよび再生光学系の
開口数NAが同一であれば、再生パワーPrに依存して
上記相互作用は強くなり、その結果、再生パワーPrが
高いほどC/Nが高くなると考えられる。また、レーザ
ービームスポット径はλ/NAに比例するので、再生パ
ワーPrが同一であれば、再生波長λが短いほど、ま
た、開口数NAが大きいほど、C/Nは高くなり、逆
に、λ/NAが小さければ、より低い再生パワーPrで
同等のC/Nを得ることが可能である。
【0025】一方、隣接するピット/マーク間の距離が
比較的長い場合には、上記相互作用が生じないか、相互
作用が生じたとしても小さくなるか、または、通常再生
による信号成分に比べ上記相互作用によって生じる信号
成分が小さくなる。そのため、再生パワーPrに依存し
たC/N向上が認められないか、極めて小さくなると考
えられる。
【0026】なお、前記したマスク層を有する媒体で
は、マスク層の動作原理から明らかなように、再生対象
であるピットや記録マークが解像限界を超えた小ささで
ある場合にだけ効果を発揮し、再生対象が解像限界より
やや大きい場合には、マスク層をもたない従来の媒体に
比べ高いC/Nは得られない。
【0027】本発明は、産業上、極めて有用である。現
在実用化されている最も記録密度の高い光ディスクは、
DVDである。書き換え可能なDVDであるDVD−R
Wは相変化型記録層を備えるが、この記録層は、上記機
能層として機能する。また、DVD−RW再生におい
て、再生波長λおよび開口数NAは本発明の第2の態様
を包含される。したがって、DVD−RWに対し本発明
の第2の態様を適用すれば、超解像が可能となり、ま
た、解像限界付近のC/Nを著しく向上させることがで
きる。
【0028】本発明者らは、市販のDVD−RWディス
ク(ティーディーケイ株式会社製)を本発明の第2の態
様に適用する実験を行った。この実験では、DVD−R
W規格に従い、再生波長λを650nmとし、再生光学系
の対物レンズの開口数NAを0.60としてある。結果
を図3に示す。図3において、再生パワーPrを1mWと
したときには、解像限界(0.271μm)付近のマー
ク長0.28〜0.3μmにおいて20〜30dB程度の
C/Nが得られている。また、図3において再生パワー
Prを2.4mWとしたときには、解像限界付近のマーク
長0.28〜0.3μmにおいて40dB程度のC/Nが
得られており、十分に実用的な再生が可能である。すな
わち、本発明は、単に再生パワーPrを高くするだけ
で、従来の光ディスクにおいて解像限界付近での著しい
C/N向上を実現できる。
【0029】なお、本明細書において再生が可能である
とは、20dB以上のC/Nが得られる場合である。ただ
し、実用的には、好ましくは30dB程度以上、より好ま
しくは40dB程度以上のC/Nが得られる必要がある。
【0030】図4は、上記DVD−RWディスクについ
て、さまざまな長さの記録マークを読み出したときの、
再生パワーPrとC/Nとの関係を示すグラフである。
図4から、解像限界付近において、再生パワーPrの上
昇に伴ってC/Nが向上することが明瞭にわかる。
【0031】次に、第2の態様を再生専用型(ROM)
ディスクに適用した場合の実験について説明する。この
ROMディスクは、図5に示す長さのピットが配列した
ピット列を有する樹脂基板上に、反射層を兼ねる機能層
として厚さ15nmのGe層を形成し、その上に、紫外線
硬化型樹脂からなる厚さ10μmの保護層を形成したも
のである。なお、ピット列において、隣接ピット間のス
ペースはピットと同じ長さとした。
【0032】このROMディスクに対し、再生波長λを
635nmとし、再生光学系の対物レンズの開口数NAを
0.60として、C/Nを測定した。結果を図5に示
す。この再生条件では、長さ0.3μmのピットは通常
再生が可能ではあるが解像限界(0.265μm)近傍
の寸法であり、長さ0.25μm以下のピットは通常再
生が不可能な寸法である。図5に、再生パワーを1mWま
たは5mWとしたときの、ピット長とC/Nとの関係を示
す。図5では、ピット長が0.4μm以上であると、ど
ちらの再生パワーでもC/Nはほとんど変わらないが、
ピット長が0.3μm以下であると、再生パワー上昇に
伴ってC/Nが高くなっている。具体的には、長さ0.
2〜0.3μmのピットを再生する場合、再生パワーが
1mWであるとC/Nが40dB未満であるのに対し、再生
パワーを5mWとすると40dB以上のC/Nが得られてお
り、十分に実用的な再生が可能であることがわかる。
【0033】図6に、ピット長を0.3μm、0.25
μmまたは0.2μmとしたときの、再生パワーとC/N
との関係を示す。図6から、通常再生が可能かつ解像限
界近傍の寸法をもつピットを読み出す際に、再生パワー
の増大に伴いC/Nが向上することが明瞭にわかる。
【0034】図7および図8に、本発明の第1の態様の
効果を実証する実験の結果を示す。この実験では、相変
化型記録層を有する光ディスクを用い、再生波長λは4
05nmとし、開口数NAは0.85とした。
【0035】図7は、本発明の第1の態様にしたがって
再生パワーPrを0.5mWとしたときと、本発明範囲を
外れる0.3mWとしたときとについて、マーク長とC/
Nとの関係を示すグラフである。また、図8は、さまざ
まな長さの記録マークを読み出したときの、再生パワー
PrとC/Nとの関係を示すグラフである。図7および
図8から、本発明の効果が明らかであり、また、解像限
界(0.119μm)付近において再生パワーPrの上
昇に伴ってC/Nが向上することが明らかである。
【0036】なお、図7および図8に結果を示す実験に
用いた光ディスクは、支持基体上に、反射層、第2誘電
体層、記録層、第1誘電体層、光透過層をこの順で設け
たものであり、記録/再生光は光透過層を通って入射す
る。支持基体には、射出成形によりグルーブを同時形成
した直径120mm、厚さ1.2mmのディスク状ポリカー
ボネートを用いた。反射層は、厚さ100nmとし、Ag
98Pd1Cu1から構成した。第2誘電体層は、厚さ20
nmとし、Al23から構成した。記録層は、厚さ12nm
とし、組成(原子比)は In1.1Sb74.6Te18.6Ge5.7 とした。第1誘電体層は、厚さ130nmとし、ZnS
(80モル%)−SiO2(20モル%)から構成し
た。光透過層は、厚さ100μmとし、紫外線硬化型樹
脂をスピンコートして紫外線硬化することにより形成し
た。
【0037】なお、λ/NAの大きな再生光学系を使用
する第2の態様において、記録媒体のみならず再生専用
型媒体でも本発明の効果が実現したように、λ/NAの
小さな再生光学系を使用する第1の態様においても、再
生専用型媒体で本発明の効果は実現する。
【0038】以下、本発明の詳細について説明する。
【0039】本発明の光情報媒体は、情報記録層を有す
る。本明細書において情報記録層とは、ピットおよび/
またはグルーブからなる凹凸を有するか、記録マークを
形成可能であるか、前記凹凸を有すると共に記録マーク
が形成可能である層を意味する。すなわち、本発明は、
再生専用媒体および光記録媒体(追記型または書き換え
可能型の媒体)のいずれにも適用できる。再生専用媒体
では、基板表面に設けられたピットを被覆する反射層
(金属、半金属、化合物などから構成される)が情報記
録層を構成し、光記録媒体では、記録層が情報記録層を
構成する。記録層は、相変化型のもの、有機色素を主体
とするもの、そのほかの有機材料や無機材料を主体とす
るものなどのいずれであってもよい。記録マークは、周
囲に対し反射率等の光学定数が異なるもの、凹状のも
の、凸状のもの等のいずれであってもよい。
【0040】本発明者らは、特定の材料から構成され、
かつ前記特定の材料のそれぞれに対応した特定の厚さを
もつ層を、光情報媒体に設けることにより、従来とは全
く異なるメカニズムの超解像再生が可能になること、お
よび、解像限界よりやや大きなピットや記録マークを読
み出す際に、従来よりも著しく高いC/Nが得られるこ
とを見いだした。本発明では、前記特定の材料として、
Nb、Mo、W、Mn、Pt、C、Si、Ge、Ti、
Zr、V、Cr、Fe、Co、Ni、Pd、Sb、T
a、Al、In、Cu、Sn、Te、ZnおよびBiか
ら選択される少なくとも1種の元素を含む単体もしくは
合金またはその化合物を用い、好ましくは単体またはそ
の化合物を用いる。本発明では、超解像再生を可能とす
る前記層を、機能層と呼ぶ。この機能層を設けることに
より、光の回折によって決定される解像限界を下回る寸
法のピット、グルーブ、記録マークが検出可能となる。
前記したように、情報記録層を本発明における機能層と
して利用することが可能である。
【0041】図1に示す媒体構造への適用 光情報媒体の構成例を、図1に示す。図1に示す光情報
媒体1は、再生専用媒体であり、透光性を有する基体2
の表面にピット21を有し、ピット形成面に密着して層
10を有する。再生光は、図中下側から入射する。層1
0は、特定の組成かつ特定の厚さをもつときに前記機能
層として働く。
【0042】層10を単体または合金から構成した場合 図1に示す構造の光ディスクサンプルを、以下の手順で
作製した。基体2には、射出成形により位相ピットを同
時形成した直径120mm、厚さ0.6mmのディスク状ポ
リカーボネート(屈折率n=1.58)を用いた。この
基体2は、螺旋状トラックをもつ環状のピット形成領域
を同心円状に複数設け、それぞれのピット形成領域内で
ピット長を一定としたバンディッドタイプのものであ
る。すなわち、1枚の基体に、異なる長さの位相ピット
を形成したものである。各ピット形成領域におけるピッ
ト長(pit length)は250nmとし、隣接ピット間のス
ペースはピットと同じ長さとした。層10は、Nb、M
o、W、Mn、Pt、C、Si、Ge、Ti、Zr、
V、Cr、Fe、Co、Ni、Pd、Sb、Ta、A
l、In、Cu、Sn、Te、Zn、Bi、Auおよび
Agのいずれかから構成し、その厚さは5〜100nmと
した。層10は、スパッタ法により形成した。
【0043】これらのサンプルについて、光ディスク評
価装置(レーザー波長635nm、開口数0.60)を用
い、線速度を11m/s、再生パワーを1〜7mWの範囲で
変えて、C/Nを測定した。なお、この光ディスク評価
装置におけるカットオフ空間周波数2NA/λは、 2NA/λ=1.89×103(ラインペア/mm) なので、ピットと隣接ピット間のスペースとが同じ長さ
であるピット列は、その空間周波数が1.89×103
(ラインペア/mm)以下であれば読み取り可能である。
この場合、読み取り可能な空間周波数に対応するピット
長(=スペース長)PLは、 PL≧λ/4NA=265(nm) となる。したがって、ピット長265nm未満のピット列
においてC/Nが得られれば、超解像再生が可能である
といえる。
【0044】表1〜表4に、層10の厚さとC/Nとの
関係とを示す。なお、表1〜表4には、層10の各厚さ
において再生パワーを1〜7mWの間で変えたときに得ら
れた最も高いC/Nを、層10の構成材料別に表示して
あり、表1には最大C/Nが40dB以上となったもの
を、表2には最大C/Nが30dB以上40dB未満となっ
たものを、表3には最大C/Nが20dB以上30dB未満
となったものを、表4には最大C/Nが20dB未満とな
ったものを、それぞれ分類して示してある。
【0045】
【表1】
【0046】
【表2】
【0047】
【表3】
【0048】
【表4】
【0049】表1〜表4から、超解像再生を可能とする
ためには、構成元素に応じて層10の厚さを最適化する
必要があることがわかる。例えば、表2に示されるよう
に、層10がAl層であって、かつ厚さが15nmである
場合は超解像再生が可能であるが、Al層の厚さが10
0nmになると、すなわち、CD−ROMやDVD−RO
Mなどの通常のROMディスクにおける反射層と同程度
になると、通常のROMディスクと同様に超解像再生が
できなくなることがわかる。
【0050】図9〜図12に、上記各サンプルのうち最
大C/Nが得られたものについて、再生パワーPrとC
/Nとの関係を示す。なお、図9〜図12に示すサンプ
ルは、それぞれ表1〜表4に対応している。C/Nは、
ピット長250nmのピット列について測定した。測定に
は上記光ディスク評価装置を用い、測定時の線速度は1
1m/sとした。図9〜図12から、大部分のサンプルで
は、再生パワー増大に伴ってC/Nが増大する傾向があ
ることがわかる。これらの図には再生出力は示していな
いが、再生出力もC/Nと同様な挙動を示した。なお、
図9〜図12において高Pr側のデータが存在しないも
のは、そのPrにおいて層10が劣化して再生信号が得
られなかったものか、評価装置の反射光検出系の飽和に
よりデータが得られなかったものである。
【0051】また、層10をWとMoとの合金とし、か
つ、層10の厚さを15nmとしたサンプルについて、上
記光ディスク評価装置を用い、線速度を11m/sとし
て、ピット長250nmのピット列のC/Nを測定した。
結果を図13に示す。図13から、合金を用いた場合で
も超解像再生が可能であることがわかる。
【0052】なお、上記実験では、解像限界より小さい
ピット列をもつ媒体についてC/Nを評価したが、解像
限界以上かつ0.31λ/NA以下の寸法のピット列を
有する媒体についても同様な効果が得られた。すなわ
ち、層10の厚さをその構成材料に応じて適宜設定する
ことにより、100nm厚のAl層を有する媒体に比べC
/N向上が認められた。
【0053】層10を化合物から構成した場合 本発明の光情報媒体では、層10を窒化物、酸化物、フ
ッ化物、硫化物、炭化物等の各種化合物から構成した場
合でも、超解像再生、および、解像限界よりやや大きい
再生対象に対するC/N向上が可能であり、かつ、その
場合に特有の効果が得られる。なお、この場合の化合物
とは、化学量論組成の化合物に限らず、金属または半金
属に対し窒素、酸素等を化学量論組成未満の比率で混入
させたものも包含する。すなわち本発明は、層10が、
単体または合金で超解像再生が可能な前記金属または半
金属を含み、さらに、それ以外の元素、好ましくは窒
素、酸素、フッ素、硫黄および炭素から選択される少な
くとも1種の元素、を含む場合を包含する。このような
化合物から層10を構成することにより、再生パワーマ
ージンを広げることができ、C/N向上も可能となる。
また、繰り返し再生に伴うC/N劣化を抑制することが
できる。以下、層10を化合物から構成した場合につい
ての作用効果を説明する。
【0054】まず、化合物化による化学的安定性の向上
およびそれによる作用効果について説明する。Au等の
貴金属を除く金属または半金属は、自然界では酸化物、
硫化物等の化合物の形で産出することが一般的である。
このことは、金属または半金属が、通常環境下では単体
として存在するよりも化合物として存在するほうが安定
であることを示している。すなわち、金属または半金属
は、化合物化により化学的安定性が大幅に向上する。一
方、高パワー再生および繰り返し再生による層10の劣
化は、層10の温度上昇に伴う化学変化(酸化等)によ
るものと考えられる。層10は空気と接しているため、
再生パワー照射時の加熱によって劣化しやすいが、層1
0を化合物から構成すれば層10の化学的変化が抑制さ
れるので、より高いパワーでの再生が可能となって最大
C/Nが向上し、また、繰り返し再生によるC/N劣化
が抑制されたと考えられる。したがって、層10の化合
物化は、比較的低い再生パワーで劣化が生じる材料を用
いる場合に、極めて有効である。
【0055】次に、化合物化による透明性の増大および
それによる作用効果について説明する。化合物化により
層10の透明性が増大するので、光反射率は低下する。
層10の光反射率が低下すると、反射光検出系の飽和が
生じにくくなる。その結果、使用可能な再生パワーが増
大して最大C/Nが向上したと考えられる。また、化合
物化により層10の単位厚さあたりの透明度が向上する
ので、化合物化すれば、層10をより厚くしても反射光
検出系の飽和が生じにくくなる。そのため、超解像再生
が可能な層10厚さの範囲が著しく拡張される。したが
って、層10の化合物化は、比較的低い再生パワーで反
射光検出系の飽和が生じてしまう材料を用いる場合に、
極めて有効である。
【0056】なお、層10を化合物化するためには、窒
素や酸素等の反応性ガスを用いる反応性スパッタ法、ま
たは化合物ターゲットを用いるスパッタ法を利用するこ
とが好ましいが、これらのほか、例えばCVD法も利用
することができる。
【0057】層10の厚さ 上記した各実験の結果から、金属または半金属の単体か
ら構成した場合の層10の好ましい厚さは、構成元素別
に、 Nb:100nm以下、 Mo:70nm以下、特に45nm以下、 W:70nm以下、特に40nm以下、 Mn:100nm以下、特に70nm以下、 Pt:40nm以下、特に30nm以下、 C:100nm以下、 Si:100nm以下、 Ge:100nm以下、 Ti:100nm以下、 Zr:100nm以下、特に25〜100nm、 V:100nm以下、 Cr:30nm以下、特に15nm未満、 Fe:80nm以下、特に50nm以下、 Co:70nm以下、特に45nm以下、 Ni:70nm以下、特に50nm以下、 Pd:40nm以下、特に30nm以下、 Sb:100nm以下、特に60nm以下、 Ta:100nm以下、特に60nm以下、 Al:20nm以下、特に15nm未満、 In:100nm以下、特に10nm未満、 Cu:10nm以下、 Sn:40nm以下、 Te:70nm以下、 Zn:40〜90nm、 Bi:25〜70nm であることがわかる。なお、厚さ100nmでも十分に高
いC/Nが得られているものは、特性の点では厚さの上
限を100nmに設定する必要性はないが、生産性の低下
を防ぐために、通常は厚さ100nm以下とすることが好
ましい。また、いずれの元素から構成した場合でも、層
10の厚さは2nm以上であることが好ましい。層10が
薄すぎると、反射率が低くなってトラッキングサーボが
かかりにくくなるほか、十分なC/Nが得られにくくな
る。
【0058】また、層10を化合物化した場合には、前
記したように、層10の好ましい厚さ範囲が拡張され
る。
【0059】次に、機能層を合金から構成する場合につ
いて説明する。なお、以下の説明における機能元素と
は、それ単体で機能層を構成し得る元素を意味する。
【0060】前記したW−Mo合金のように、単純固溶
型の2元系合金から機能層を構成する場合であって、両
元素共に機能元素である場合、図13に示すように合金
層は機能層として働く。
【0061】単純固溶型の合金層では、構成元素の少な
くとも1種、好ましくはすべてが機能元素であることが
望ましい。構成元素全体に占める機能元素のモル比は、
好ましくは50%以上である。
【0062】光磁気記録材料層のような非晶質合金層に
おいても、単純固溶型の合金層と同様に、構成元素の少
なくとも1種、好ましくはすべてが機能元素であること
が望ましい。構成元素全体に占める機能元素のモル比
は、好ましくは50%以上である。
【0063】Ag−In−Sb−Te系の相変化材料
は、結晶化したときにSb相と他の相とが分離する相分
離型合金であるが、このような相分離型合金では、構成
相の少なくとも1種、好ましくは全部が、単独で機能層
を構成し得るものであることが望ましい。例えば結晶化
したAg−In−Sb−Te系合金におけるSb相は、
単独で機能層として働く。
【0064】単体層と同様に、合金層においても機能層
として働くためには厚さの制限がある。例えば単純固溶
型の合金層では、図13に示すように、各機能元素の単
体層が機能層として働く厚さに合金層の厚さを設定すれ
ばよいと考えられる。
【0065】ただし、合金層の具体的な組成および厚さ
は、それぞれの組成および厚さにおいて合金層が機能層
として働くかどうかを実際に検証して決定することが好
ましい。例えば、前記したGe2Sb2Te5からなる相
変化材料のような金属間化合物は、一般に、その構成元
素のそれぞれ単体からは類推できない挙動を示すことが
多い。
【0066】再生方法 本発明の媒体では、層10の構成材料および媒体構造に
応じて、使用可能な再生パワーに上限が存在する。した
がって、これらの条件に応じた最適再生パワーを本発明
の媒体にあらかじめ記録しておき、再生前に前記最適再
生パワーを読み出して、この最適パワーで再生を行うこ
とが好ましい。また、必要に応じ、試し再生を行って最
適再生パワーを決定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光情報媒体の構成例を示す部分断面図
である。
【図2】本発明の作用を模式的に説明する図である。
【図3】マーク長とC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図4】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図5】ピット長とC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図6】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図7】マーク長とC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図8】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図9】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフであ
る。
【図10】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフで
ある。
【図11】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフで
ある。
【図12】再生パワーとC/Nとの関係を示すグラフで
ある。
【図13】Mo−W合金におけるWの含有量とC/Nと
の関係とを示すグラフである。
【符号の説明】
2 基体 21 ピット 10 層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 586 G11B 11/105 586H (72)発明者 加藤 達也 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 新開 浩 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 5D029 WA20 WD11 5D075 AA03 CC11 CD11 5D090 AA01 BB02 BB03 BB05 BB10 CC04 CC14 EE11 KK03 5D119 AA12 BA01 BB01 BB02 BB04 BB05 DA05 HA54 JA43 JB02

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光情報媒体の情報記録層にレーザービー
    ムを照射して前記情報記録層に存在するピットまたは記
    録マークを読み出すことにより、記録情報を再生するに
    際し、 前記レーザービームの波長λが400〜410nmであ
    り、開口数NA=0.70〜0.85である対物レンズ
    を通して前記レーザービームが照射され、前記ピットま
    たは前記記録マークの最小寸法PLが0.36λ/NA
    以下であるとき、前記レーザービームのパワーPrを
    0.4mW以上として再生を行う光情報媒体の再生方法。
  2. 【請求項2】 前記最小寸法PLが0.31λ/NA以
    下である請求項1の光情報媒体の再生方法。
  3. 【請求項3】 前記最小寸法PLが0.25λ/NA以
    上である請求項1または2の光情報媒体の再生方法。
  4. 【請求項4】 パワーPrを0.45mW以上として再生
    を行う請求項1〜3のいずれかの光情報媒体の再生方
    法。
  5. 【請求項5】 パワーPrを0.5mW以上として再生を
    行う請求項1〜3のいずれかの光情報媒体の再生方法。
  6. 【請求項6】 光情報媒体の記録層にレーザービームを
    照射して前記情報記録層に存在するピットまたは記録マ
    ークを読み出すことにより、記録情報を再生するに際
    し、 前記レーザービームの波長λが630〜670nmであ
    り、開口数NA=0.60〜0.65である対物レンズ
    を通して前記レーザービームが照射され、前記ピットま
    たは前記記録マークの最小寸法PLが0.36λ/NA
    以下であるとき、 前記レーザービームのパワーPrを1.0mW以上として
    再生を行う光情報媒体の再生方法。
  7. 【請求項7】 前記最小寸法PLが0.27λ/NA以
    下である請求項6の光情報媒体の再生方法。
  8. 【請求項8】 前記最小寸法PLが0.25λ/NA以
    上である請求項6または7の光情報媒体の再生方法。
  9. 【請求項9】 パワーPrを1.4mW以上として再生を
    行う請求項6〜8のいずれかの光情報媒体の再生方法。
  10. 【請求項10】 パワーPrを2.0mW以上として再生
    を行う請求項6〜8のいずれかの光情報媒体の再生方
    法。
  11. 【請求項11】 パワーPrを2.2mW以上として再生
    を行う請求項6〜8のいずれかの光情報媒体の再生方
    法。
  12. 【請求項12】 請求項1〜5のいずれかの再生方法に
    用いられる再生装置。
  13. 【請求項13】 請求項6〜11のいずれかの再生方法
    に用いられる再生装置。
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