JP2001126327A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JP2001126327A JP30133699A JP30133699A JP2001126327A JP 2001126327 A JP2001126327 A JP 2001126327A JP 30133699 A JP30133699 A JP 30133699A JP 30133699 A JP30133699 A JP 30133699A JP 2001126327 A JP2001126327 A JP 2001126327A
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magneto
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Masataka Shinoda
昌孝 篠田
Yasuto Tanaka
靖人 田中
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録層の記録磁区が再生層に転写される過程
を有する磁気超解像再生方法において、更にその再生も
しくは記録再生が、特に青紫色レーザ(すなわち350
nm〜450nm)によってなされるか、あるいは/お
よびその再生もしくは記録再生が、特に開口数N.A.
が0.7以上の対物レンズによってなされる新しい方法
による場合において、C/Nの、ジッタ等の改善を図
る。 【解決手段】 少なくとも再生層1と記録層3とを有
し、その記録層3が、それぞれ室温での組成が補償組成
から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁性膜
より成る少なくとも第1および第2の磁性膜31および
32を有する構成とすることによって、広い温度範囲で
すぐれた磁気特性を示すようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気光学効果を利
用してレーザにより情報の再生を行う光磁気記録媒体、
特に再生層と記録層とを有して成る磁気超解像再生がな
される光磁気記録媒体に係わる。
【0002】
【従来の技術】書き換え可能な高密度光記録方法とし
て、レーザの熱エネルギーを用いて、光磁気記録媒体の
磁性層を部分的にキュリー温度または補償温度を超えて
昇温し、この部分の保磁力を減少もしくは消滅させ、例
えば外部から印加される記録磁界の方向に磁化の向きを
反転させることによって情報磁区の形成、すなわち情報
の記録を行うことを基本原理とするものがある。
【0003】この光磁気記録媒体は、例えばポリカーボ
ネート(PC)から成る透明基板の一主面に、例えば窒
化シリコンあるいは窒化アルミニウムによる誘電体層
と、例えば希土類−遷移金属合金非晶質膜より成り膜面
と垂直方向に磁化容易軸を有し優れた磁気光学効果特性
を有する記録磁性層と、例えば窒化シリコンあるいは窒
化アルミニウムによる誘電体層と、例えばアルミニウ
ム、金、銀より成る反射層と、例えば紫外線硬化型樹脂
よりなる保護層とが順次積層された構成とされる。
【0004】この光磁気記録媒体に対して、例えばその
透明基板側から、上述したレーザの照射がなされ、磁性
層に対する上述した情報磁区の形成、すなわち情報の記
録がなされ、その再生に当たっては、同様に、透明基板
側から再生レーザ光を照射して、上述した磁性層におけ
る情報磁区による磁気光学効果例えばカー効果による偏
光面の回転角を検出することによって記録情報の再生を
行う。
【0005】ところで、光磁気記録媒体に限らず、デジ
タルオーディオや、デジタルビデオディスクなどの光デ
ィスクにおいても、線記録密度は主として再生時のS/
Nによって決められており、また再生信号の信号量は、
記録されている信号のビット列の周期と再生光学系のレ
ーザ波長、対物レンズの開口数に依存する。すなわち、
再生光学系のレーザ波長λと、対物レンズの開口数N.
A.によって決まる光学的な検出限界すなわち光の回折
限界によってビット周期fが決まる。すなわち、光学的
な検出限界ビット周期fは、f=λ/(2N.A.)で
ある。
【0006】したがって、光磁気記録媒体において、高
密度化を図るためには、再生光学系のレーザ波長λを短
くし、対物レンズの開口数N.A.を大きくする必要が
ある。昨今、レーザ波長として青紫色レーザ光、すなわ
ち350nm〜450nmのレーザ光を得ることのでき
る半導体レーザが開発され、例えばGaN半導体レーザ
による波長400nm近傍の青紫色レーザ光を用いて光
磁気記録媒体に対する記録再生がなされようとしてい
る。また、対物レンズの開口数N.A.に関しても、こ
のN.A.が0.7以上のレンズ系が実現され、N.
A.が0.7以上の対物レンズを用いて、光磁気記録媒
体に対する光磁気記録再生がなされようとしている。
【0007】このようにして光学的検出限界を、より小
さくすることで、高密度化を図ることができるが、更
に、この光学的検出限界に制限されることなく、より記
録密度の向上を図ることができるようにしたいわゆる磁
気超解像再生方法の提案がなされた。
【0008】この磁気超解像再生方法においては、特に
少なくとも再生層と記録層とを有する光磁気記録媒体が
用いられ、高保磁力を有する記録層に記録された情報を
再生層に転写する過程を有し、再生層に対するレーザ光
の照射によって再生層における磁気光学効果によって偏
光面の回転を得てこれを検出することによって記録情報
の再生を行うものであり、この場合、その再生レーザ光
のスポット内における再生層の温度分布を利用して、ス
ポット内に位置する再生層において記録情報の一部を浮
きだすとか、消滅させて、1のスポット内で例えば1つ
の情報磁区を限定的に読み出すようにして、上述した光
学的検出限界ビット周期以下で、その再生を可能にする
ものである。
【0009】このような磁気超解像再生方法としては、
例えば特開平1−143041号公報、特開平1−14
3042号公報に開示されているものであり、これらの
磁気超解像再生方法における光磁気記録媒体は、室温で
互いに磁気的結合がなされた再生層、中間層、記録層を
有し、再生時において再生レーザ光のスポット内で加熱
された再生層の記録磁区を温度の高い部分で拡大、ある
いは縮小、または反転させることにより、再生時の情報
マーク間の干渉を減少させ、光の回折限界以下の周期の
再生を可能にすることで線記録密度、トラック記録密度
を高める方法の提案がなされている。
【0010】また、磁気超解像再生方法として、例えば
特許第2839783号の再生方法を基本とする、すな
わち再生レーザ光のスポットの中央部の記録ビット(記
録磁区)のみを読み出すようになされたいわゆる中央検
出型磁気超解像再生(CenterAperture Detection-Magne
tic Super Resolution:以下CAD−MSRと略称す
る)がある。
【0011】従来のこのCAD−MSR再生方法に用い
られる光磁気記録媒体は、例えば図4にその概略断面図
を示すように、例えばポリカーボネートよりなる透明基
板10上に、順次第1の誘電体膜5、再生層1、再生補
助層2、中間非磁性層4、記録層3、第2の誘電体膜
6、熱制御層7が形成され、表面を覆って保護層8が形
成されて成る。
【0012】しかしながら、その基本構成は、図5にそ
の模式的断面図を示すように、再生層1、再生補助層
2、非磁性中間層(切断層)4、記録層3とを有して成
るものであり、再生層1および再生補助層2は磁気面内
異方性を有する磁性層によって構成され、記録層3は、
垂直磁気異方性を有する磁性層によって構成され、中間
非磁性層4は非磁性材層によって構成される。
【0013】記録層3には、記録信号に応じて記録され
た記録マークM、すなわち情報磁区が形成(記録)され
る。図5において、白抜き矢印は磁化の向きを模式的に
示したものである。
【0014】この光磁気記録媒体に対するCAD−MS
R再生方法による記録の読み出しすなわち再生は、再生
レーザ光Lを、光学レンズ系、すなわち対物レンズ11
を通じて光磁気記録媒体に照射することによってなさ
れ、このレーザ光の照射によって生じた昇温部Iにおい
て、再生補助層2の磁化を消失させ、此処に再生窓Wい
わゆるアパーチャを形成し、この再生窓Wを通じて、再
生層1が記録層3と磁気結合し、記録マークMが再生層
1に転写され、この転写記録マークによって再生レーザ
光にカー回転を生じさせ、その戻り光のカー回転角を検
出することによって記録信号の読み出しを行うものであ
る。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな各種磁気超解像再生において、上述したように、波
長が350nm〜450nm程度の青紫色レーザ光を用
いて、その光の回折限界を低めてその再生を行う場合、
従来一般の、波長が600nm〜800nm程度の赤色
レーザ光を用いる磁気超解像再生の2倍以上の記録面密
度を得ることができる。ところが、この方法による場
合、記録情報の安定性の低下、再生パワーマージンの減
少などの問題が発生する。
【0016】また、同様に磁気超解像再生において、上
述したように、N.A.が0.7以上の対物レンズによ
って再生を行う場合、従来一般のN.A.が0.5〜
0.6程度の対物レンズによる磁気超解像再生の1.5
倍以上の記録面密度を得ることができる。ところが、こ
の方法による場合においても、記録情報の安定性の低
下、再生パワーマージンの減少などの問題が発生する。
【0017】本発明者らは、上述した各種磁気超解像再
生と、青紫色レーザ光を用いることの組み合わせによる
場合、そのスポット径は、従来一般の赤色レーザ光を用
いた磁気超解像再生におけるスポット径のおよそ1/2
以下に縮小化されることから、再生に要する一定のレー
ザパワーを用いる場合において、この再生レーザ光のス
ポットの中心のビーム強度が極めて高くなること、また
磁気超解像再生と、対物レンズの開口数N.A.を0.
7以上とすることの組み合わせによる場合においても、
そのレーザスポット径は、対物レンズのN.A.が0.
5〜0.6程度である場合のおよそ1/1.5以下に縮
小化されることから、この場合においても光磁気記録媒
体上の再生レーザ光スポットの中心部分の温度上昇がき
わめて高くなり、結果として、光磁気記録再生を行う場
合、この温度上昇によるC/Nの劣化、また、温度上昇
による例えばキュリー温度での記録情報の消去、高温に
よる再生の繰り返しによって情報記録の不安定性を来
し、上述した記録情報の安定性の低下、再生パワーマー
ジンの減少などの問題が発生することを見い出した。
【0018】本発明においては、この知見に基いて磁気
超解像再生と、青紫色レーザ光を用いることの組み合わ
せによる場合、あるいは磁気超解像再生と、対物レンズ
の開口数N.A.を0.7以上とすることの組み合わせ
による場合において、上述したようなレーザ光スポット
の縮小による温度上昇によっても、再生層と記録層との
磁気的結合が安定に実現でき、結果として再生パワーマ
ージンが広く、超解像特性に優れた光磁気記録媒体を提
供するに至った。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明による光磁気記録
媒体は、少なくとも再生層と記録層とを有し、青紫色レ
ーザによって磁気超解像再生がなされる光磁気記録媒体
であって、その記録層が、それぞれ室温での組成が補償
組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁
性膜より成る少なくとも第1および第2の磁性膜で構成
するものである。
【0020】また、本発明による光磁気記録媒体は、少
なくとも再生層と記録層とを有し、対物レンズの開口数
が0.7以上で磁気超解像再生がなされる光磁気記録媒
体であって、その記録層が、それぞれ室温での組成が補
償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属
磁性膜より成る少なくとも第1および第2の磁性膜で構
成するものである。
【0021】上述したように、本発明による光磁気記録
媒体においては、その記録層を2層以上の希土類−遷移
金属磁性膜によって構成することによって、これら2層
以上の磁性膜による記録層が全体的特性として、高い温
度領域においても高い磁化を安定して得ることができる
ようにして記録層の記録磁区からの再生層への漏洩磁界
を安定して大きくすることができるようにし、その転写
が確実になされるようにして磁気超解像再生の特性の改
善を図る。また、室温付近、中程度温度付近、高温付近
においてもそれぞれ最適な磁気特性、すなわち磁気的結
合を可能にすることができることから、再生において
は、C/Nの改善、ジッタの改善等が図られ、また室温
において、記録層の磁化を任意に小さくすることができ
ることによって確実な記録を可能にするものである。
【0022】
【発明の実施の形態】本発明による光磁気記録媒体は、
磁気超解像再生がなされる光磁気記録媒体である。すな
わち、本発明は、公知の磁気超解像再生方法を基本原理
とするものの、その再生もしくは記録再生が、特に青紫
色レーザ(すなわち350nm〜450nm)によって
なされるという新しい方法による場合に適用されるか、
あるいは/およびその再生もしくは記録再生が、特に開
口数N.A.が0.7以上の対物レンズによってなされ
る新しい方法による場合に適用される。
【0023】上述した本発明光磁気記録媒体が適用され
る磁気超解像再生の基本原理としては、前述したCAD
−MSRを始めとして、そのほか、例えば特開平9−1
71643号公報等に記載された前方検出型磁気超解像
再生(Front Aperture Detection-Magnetic Super Reso
lution: 以下FAD−MSRと略称する)や、例えば特
開平3−93058号公報等に記載された後方検出型磁
気超解像再生(Rear Aperture Detection-Magnetic Sup
er Resolution:以下RAD−MSRと略称する)や、例
えば特開平6−290496号公報等に記載された磁壁
移動検出光磁気記録再生(Domain Wall Displacement D
etection: 以下DWDDと略称する)や、例えば特開平
8−7350号公報等に記載された磁区拡大検出光磁気
記録再生(MAMMOS)等が挙げられる。これら磁気
超解像再生方法においては、少なくとも再生層と記録層
とを有する光磁気記録媒体が用いられるものであり、そ
の記録層の記録ビットを再生層に転写する過程を有す
る。
【0024】本発明による光磁気記録媒体は、このよう
な少なくとも再生層と記録層とを有する光磁気記録媒体
であって、特にその記録層が、それぞれ室温での組成が
補償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金
属磁性膜より成る少なくとも第1および第2の磁性膜で
構成するものである。
【0025】本発明による一実施形態は、CAD−MS
Rにおいて、青紫色レーザによる再生がなされる光磁気
記録媒体である。このCAD−MSRによる再生方法に
ついては、図5で説明した通りであるが、本発明による
光磁気記録媒体が用いられるCAD−MSRは、レーザ
光Lが、特にその波長が350nm〜450nmの青紫
色レーザであるか、あるいは/および対物レンズ11の
開口数N.A.が、従来より大きい0.7以上の対物レ
ンズが用いられる。
【0026】図1および図2は、本発明による光磁気記
録媒体の各例の概略断面図を示す。これら光磁気記録媒
体は、例えばCAD−MSRによる再生方法に用いられ
るものであるが、言うまでもなく本発明はこれらの構造
に限られるものではない。図1および図2に示す例にお
いては、例えばポリカーボネートよりなる透明基板10
上に、順次第1の誘電体膜5、再生層1、再生補助層
2、中間非磁性層4、記録層3、第2の誘電体層6、熱
制御層7が形成され、表面を覆って保護層8が形成され
て成る。
【0027】図1で示した例においては、その記録層3
が第1および第2の磁性膜31および32によって構成
した場合であり、この場合、第1および第2の磁性膜3
1および32は、それぞれ室温での組成が補償組成から
遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁性膜より
構成される。
【0028】第1および第2の磁性膜31および32
は、例えばその遷移金属と希土類金属との組成比が相違
する例えばTbFeCo系希土類−遷移金属磁性膜より
構成することができる。また、あるいは第1および第2
の磁性膜31および32を、相互に異なる構成材料、例
えば第1の磁性膜をGdFeCo系希土類−遷移金属磁
性膜より構成し、第2の磁性膜31をTbFeCo系希
土類−遷移金属磁性膜より構成することもできる
【0029】これら第1および第2の磁性膜31および
32は、それぞれ例えば図3AおよびBに示すように、
共に、上述したように、室温での組成が補償組成から遷
移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁性膜より成
るものの、相互にその飽和磁化Msの温度特性が異な
り、例えば第1の磁性膜31は、比較的そのキュリー温
度Tc1 が低いものの、その飽和磁化のピーク値MsR1
が高く、例えばこのピークが、再生温度TR 近傍にある
特性を有する磁性膜を用いる場合、第2の磁性膜32
は、第1の磁性膜に比し、その飽和磁化のピーク値Ms
R2は、MsR2<Ms R1であってもそのピーク値MsR2
示す温度が、第1の磁性膜31のピーク位置より高温側
のレーザ光照射による最高昇温温度近傍ににあり、飽和
磁化を有する温度範囲が比較的広い、すなわちキュリー
温度Tc2 が高い特性を有する磁性膜によって構成す
る。このような磁気特性を異にする磁性膜31および3
2による記録層3の特性は、両磁性膜31および32の
特性が、いわば合成された図3Cで示す特性となってそ
のピーク値MsR3が高められ、かつ高い温度、すなわち
レーザ光照射による最高昇温温度TH においても、単独
の磁性膜によっては得られない高い飽和磁化を示す。
【0030】図1で示した構成による光磁気記録媒体
は、その記録層3を第1および第2の2の磁性膜31お
よび32の2層構造とした場合であるが、2層以上例え
ば図2で示したように、その記録層3を第1〜第3の磁
性膜31〜33の3層構造とすることもできる。この場
合においても、各磁性膜31〜32は、それぞれそれぞ
れ室温での組成が補償組成から遷移金属優勢組成を有す
る希土類−遷移金属磁性膜より構成する。そして、この
場合においても、少なくとも1の磁性膜を、他の磁性膜
に比して、例えばその飽和磁化のピーク値は低くいとし
ても、その飽和磁化を有する温度範囲が比較的広い、す
なわちキュリー温度が高い特性を有する磁性膜によって
構成する。
【0031】また、この場合においても、例えば第1〜
第3の磁性膜31〜33を、TbFeCo系希土類−遷
移金属磁性膜より構成するものの、その希土類金属Tb
と遷移金属FeCoの組成比を、少なくとも1層以上に
関して変更する。あるいは1の磁性膜をGdFeCo系
希土類−遷移金属磁性膜より構成し、他の磁性膜をTb
FeCo系希土類−遷移金属磁性膜により構成し、磁気
特性が異なる磁性膜の積層によって前述したように、記
録層3全体としての特性、すなわち飽和磁化の温度特性
を選定することができ、高温領域側においても高い飽和
磁化を示す、ブロードな特性を有する記録層3を構成す
る。
【0032】上述した本発明による光磁気記録媒体を用
いて、CAD−MSR再生方法をとった場合、特に再生
レーザとして、その波長が350nm〜450nmの青
紫色レーザを用いた場合においても、また、対物レンズ
11の開口数N.A.が、従来より大きい0.7以上の
対物レンズを用いた場合においても、C/Nの向上や、
ジッタ、再生パワーマージンの改善が図られた。これ
は、本発明による光磁気記録媒体は、その記録層3を、
複数の磁性膜の積層によって構成し、上述したように、
飽和磁化が広い温度範囲、すなわち高い温度においても
高い飽和磁化を呈するようにしたことによって、その再
生において、高いビーム強度の再生レーザスポットが照
射された状態においても、記録層の磁化が低下すること
が回避され、例えばCAD−MSRにおいて、図5で示
した再生窓Wにおいて記録層の記録マークMから高い漏
洩磁界を再生層1に与えることができ、確実に再生層に
記録マークの転写を行うことができることに因る。
【0033】次に、本発明による光磁気記録媒体の実施
例を挙げて説明するが、この実施例についても、これら
に限られるものではない。 〔実施例1〕この実施例においては、直径120mm、
厚さ0.6mmを有し、トラック溝が形成されトラック
ピッチが0.35μmとされたポリカーボネートより成
る透明基板10を用い、これに図1で説明したように、
順次第1の誘電体膜5、再生層1、再生補助層2、中間
非磁性層4、記録層3、第2の誘電体層6、熱制御層7
が形成され、表面を覆って保護層8を形成した。
【0034】各層の形成は、次の方法で行った。すなわ
ち、2つの真空チャンバを有するマグネトロンスパッタ
リング装置に、Si,Tb,Gd,FeCo,Fe,A
lの各ターゲットを取付け、上述した透明基板10を基
板ホルダーに装着し、1×10-5 [Pa] 以下の高真空に
なるまで真空チャンバ内をクライオポンプで真空排気し
た。
【0035】第1の真空チャンバ内に、真空排気しなが
らArガスとN2 ガスとをそれぞれ50 [sccm] と30
[sccm] とをもって導入し、チャンバ内の圧力が0.2
4 [Pa] となるまでメインバルブを調整した後、Siタ
ーゲットの高周波(RF)反応性スパッタリングによ
り、透明基板10上に窒化シリコン膜を厚さ40nmに
成膜して第1の誘電体膜5を形成した。
【0036】次いで、ArガスとN2 ガスの導入バルブ
を閉じ、基板ホルダーを第1の真空チャンバから、第2
の真空チャンバに移動させた。その後、この第2の真空
チャンバ内を1×10-5 [Pa] 以下の高真空になるまで
クライオポンプで真空排気した。第2の真空チャンバ内
に、真空排気しながらArガスを100 [sccm] をもっ
て導入し、チャンバ内の圧力が0.12 [Pa] となるま
でメインバルブを調整した後、更に第1の誘電体膜5上
に、順次直流スパッタリングにより、それぞれ厚さ30
nmのGdFeCoによる再生層1、厚さ8nmのGd
Feによる再生補助層2、厚さ4nmのAlによる中間
非磁性層4、厚さ10nmのGdFeCoによる記録層
3の第1の磁性膜31、厚さ60nmのTbFeCoに
よる記録層3の第2の磁性膜32を成膜した。
【0037】次いで、Arガスの導入バルブを閉じ、基
板ホルダーを第2真空チャンバから第1の真空チャンバ
に移動させた。その後、この第1の真空チャンバ内で、
基板ホルダーを第2の真空チャンバを1×10-5 [Pa]
以下の高真空になるまでをクライオポンプで真空排気し
た。
【0038】そして、第1のチャンバ内に、真空排気し
ながらArガスとN2 ガスとをそれぞれ50 [sccm] と
30 [sccm] とをもって導入し、チャンバ内の圧力が
0.24 [Pa] となるまでメインバルブを調整した後、
SiターゲットのRF反応性スパッタリングにより、窒
化シリコン膜を厚さ20nmに成膜して第2の誘電体膜
6を形成した。
【0039】次いで、ArガスとN2 ガスの導入バルブ
を閉じ、第1の真空チャンバ内を1×10-5 [Pa] 以下
の高真空になるまでクライオポンプで真空排気した。
【0040】そして、第1の真空チャンバ内に、真空排
気しながらArガスを100 [sccm] で導入し、チャン
バ内の圧力が0.23 [Pa] となるまでメインバルブを
調整した後、第2の誘電体膜6上に、厚さ40nmのA
lによる熱制御層7を直流スパッタリングにより成膜し
た。
【0041】その後、これら成膜がなされた透明基板1
0を、真空チャンバから取出し、Alによる熱制御層7
を保護する保護膜8を、紫外線硬化樹脂の塗布および紫
外線照射による硬化を行って20μmの厚さに形成し
た。このようにして、記録層3の第1の磁性膜31が、
保磁力が200〔Oe〕を有し、室温で遷移金属優勢の組
成を有する磁性膜によって構成し、第2の磁性膜32が
室温で補償組成の光磁気記録媒体を作製した。この光磁
気記録媒体を光ディスク番号1とする。
【0042】〔実施例2〕実施例1と同様の方法および
構成によるものの、その第2の磁性膜32の組成を室温
で遷移金属優勢組成とした。この光磁気記録媒体を光デ
ィスク番号2とする。
【0043】〔比較例1〕この場合においても実施例1
と同様の方法および構成としたが、この比較例において
は、その第2の磁性膜32の組成を室温で希土類優勢組
成とした。この光磁気記録媒体を光ディスク番号3とす
る。
【0044】これら光ディスク番号1〜3の構成を表1
に示し、再生特性としてC/N、ジッタ、再生パワーマ
ージンの測定結果を表2に示す。この測定は、CAD−
MSRによる再生方法によった。そして対物レンズの開
口数N.A.は0.6、再生レーザ光の波長は、406
nmとした。また、その記録は、発光レーザ波形をパル
ス状にしたパルス照射磁界変調記録による記録を行い、
このときのパルス波形のデューティはシステムクロック
周期時間の35%とした。また、光ディスクの線速度
は、3.7m/s、外部記録磁界は350〔Oe〕とし
た。また、再生時の外部磁界は印加せずに測定した。そ
して、このような条件の下で、0.23μmと0.91
μmのマーク長の記録を行った場合の各キャリアレベル
とノイズレベルの比(C/N)と、ビット長0.17μ
mの(1.7)RLLで変調されたランダムパターンを
記録した際のジッタと、ジッタが20%以下の再生パワ
ーマージンを測定した。
【0045】
【表1】
【0046】
【表2】
【0047】〔比較例2〕この例においては、図4で示
した構成とした場合で、その記録層3を厚さ70nmの
TbFeCoによる室温で希土類優勢膜の単層構造とし
た以外は、実施例1と同様の方法および構成として光磁
気記録媒体を作製した。この光磁気記録媒体を光ディス
ク番号4とする。
【0048】〔比較例3〕この例においては、比較例2
と同様の構成とするものの、その記録層3を室温で補償
組成の単層構造とした。この光磁気記録媒体を光ディス
ク番号5とする。
【0049】〔比較例4,5,6,〕この例において
は、比較例2と同様の構成とするものの、その記録層3
を室温で遷移金属優勢組成の単層構造とし、その組成を
表3に示すように、変化させた。これら光磁気記録媒体
を光ディスク番号6〜8とする。
【0050】これら光ディスク番号4〜8の記録層3の
特性と、各光ディスク番号4〜8の、上述したと同様の
測定方法によって測定したキャリアレベルとノイズレベ
ルの比(C/N)と、ビット長0.17μmの(1.
7)RLLで変調されたランダムパターンを記録した際
のジッタと、ジッタが20%以下の再生パワーマージン
を測定結果とを表3および表4に示す。
【0051】
【表3】
【0052】
【表4】
【0053】表2および表4から明らかなように、本発
明による光磁気記録媒体すなわち光ディスク番号1およ
び2は、すぐれた再生特性を示す。これは、図3で説明
したように、記録層3を第1および第2の磁性膜31お
よび32の2層構造としたことにより、記録層3の特性
がこれら第1および第2の磁性膜31および32が合成
された特性となることによって、記録層3から再生層1
への転写に寄与する漏洩磁界を、レーザスポットの強度
の増大にもかかわらず、安定して維持することができる
ことによって、すなわち、言わば記録層3と再生層1と
の磁気的結合を安定することができ、その記録層3の記
録情報すなわち記録マークの再生層1への転写が良好に
行なわれて磁気超解像再生、この例ではCAD−MSR
による再生が良好に行われることによるものと考えられ
る。そして、比較例1による光ディスク番号3の磁気超
解像再生が良好になされないのは、両磁性膜31および
32の優勢金属組成が異なるため、これらの磁化方向が
逆向きとなって、記録層3の磁化による漏洩磁界が減少
してしまったことによると考えられる。
【0054】尚、上述した実施例1および2において、
磁性膜31および32は、これら実施例に限られるもの
ではなく、室温で補償組成から遷移金属優勢組成とさ
れ、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有する、すなわち垂
直磁化膜による構成とし、例えば室温および再生時にお
いて所要の保磁力を有する磁性材料、例えばDyFeC
o,GdTbFeCo,DyTbFeCo,GdDyF
eCo等によって構成することもできる。
【0055】また、本発明による光磁気記録媒体は、そ
の磁性層3を上述したように第1および第2の磁性膜3
1および32の2層構成とする場合に限られるものでは
なく、例えば第1、第2および第3の磁性膜による3層
構造あるいはそれ以上の多層構造とすることができる。
【0056】次に、磁性層3を、第1、第2および第3
の磁性膜による3層構造とする場合の実施例について説
明するが、この場合においても、この実施例に限られる
ものではない。
【0057】〔実施例3〕この例においては、記録層3
を図2で示した3層構造とした以外は、実施例1と同様
の方法および構成とした。そして、この例においては、
第1の磁性層31を厚さ10nmの室温で遷移金属優勢
組成の比較的磁化の大きいGdFeCoによって構成
し、第2の磁性膜32を厚さ30nmの室温で遷移金属
優勢組成で比較的磁化の小さいTbFeCoによって構
成し、第3の磁性膜33を室温で遷移金属優勢組成で比
較的磁化の小さいTbFeCoによって構成した。この
光磁気記録媒体を光ディスク番号9とする。
【0058】〔実施例4,5,〕この例においては、実
施例3と同様の構成とするものの、その記録層3の第1
〜第3の磁性膜31〜33の組成を変化させた。これら
光磁気記録媒体を光ディスク番号10および11とす
る。
【0059】〔比較例7〕この例においても、実施例3
と同様の方法、構成とするものの、その記録層3の磁性
膜33を室温で希土類優勢膜とした。この光磁気記録媒
体を光ディスク番号12とした。
【0060】これら光ディスク番号9〜12の上述した
と同様の特性と再生特性の評価の結果を表5および表6
に示す。
【0061】
【表5】
【0062】
【表6】
【0063】〔実施例8〕実施例4の光磁気記録媒体
(光ディスク番号10)を構成し、上述したCAD−M
SR再生方法において、その対物レンズの開口数N.
A.を0.7のものと交換して記録の再生を行った。
【0064】〔比較例8〕比較例4の光磁気記録媒体
(光ディスク番号6)を構成し、上述したCAD−MS
R再生方法において、その対物レンズの開口数N.A.
を0.7のものと交換して記録の再生を行った。
【0065】実施例8および比較例8の上述したと同様
の再生特性の測定結果を表7に示す。
【0066】
【表7】
【0067】表7から明らかなように、対物レンズの開
口数N.A.が大とされて磁気超解像再生がなされる場
合においても、本発明による光磁気記録媒体(光ディス
ク番号10)は、磁性層3を単層構造とした光磁気記録
媒体(光ディスク番号6)に比して、C/N、ジッタ、
再生パワーマージンのいづれについても改善されている
ことが分かる。
【0068】これは、記録層3を第1〜第3の磁性膜3
1〜33の3層構造としたことにより、記録層3の特性
がこれら磁性膜31〜33が合成された特性となること
によって、記録層3から再生層1への転写に寄与する漏
洩磁界を、レンズの開口数が大とされてレーザスポット
の強度の増大にもかかわらず、安定して維持することが
できることによって、その記録層3の記録情報すなわち
記録マークの再生層1への転写が良好に行なわれて磁気
超解像再生、この例ではCAD−MSRによる再生が良
好に行われることによるものと考えられる。
【0069】尚、この3層構造においても、磁性膜31
〜33は、上述した実施例に限られるものではなく、室
温で補償組成から遷移金属優勢組成とされ、膜面と垂直
方向に磁化容易軸を有する、すなわち垂直磁化膜による
構成とし、例えば室温および再生時において所要の保磁
力を有する磁性材料、例えばDyFeCo,GdTbF
eCo,DyTbFeCo,GdDyFeCo等によっ
て構成することもできる。
【0070】上述した例では、青紫色レーザを用いる場
合と、対物レンズの開口数を大とした場合とについて説
明したが、青紫色レーザを用い、かつ対物レンズの開口
数を大として磁気超解像再生を行う場合に用いる光磁気
記録媒体に適用することもでき、この場合においても、
C/N、ジッタ、再生パワーマージンの改善が図られ
る。
【0071】また、上述した各実施例における記録層3
を構成する磁性膜31〜33の上下の順序配列は任意に
選定できるものである。
【0072】また、上述した例では、図1および図2に
示すように、透明基板10上に各層の形成がなされ、基
板10側からレーザ照射がなされる構成とした場合であ
るが、レーザ照射を基板とは反対側から行う態様を採る
構成とする場合は、例えば図1および図2において、各
層の積層順序を図示とは逆とすることができ、この場合
基板10は例えば不透明基板によって構成することもで
きる。また、上述した形態では、CAD−MSRによる
磁気超解像再生を行う場合であるが、記録層の記録マー
クを再生層に転写する過程を有する磁気超解像再生、例
えばFAD−MSR、RAD−MSR、DWDD、MA
MMOS等に適用される光磁気記録媒体に適用して同様
の効果を奏することができるものであり、この場合にお
いて、少なくとも再生層と多層構造による記録層とを有
する構成とするものの、各層の構成は種々の変更がなさ
れ得る。
【0073】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、青紫
色レーザ、あるいは対物レンズの開口数を大として磁気
超解像再生を行う光磁気記録媒体、あるいは青紫色レー
ザを用いかつ対物レンズの開口数を大として磁気超解像
再生を行う光磁気記録媒体において、その記録層を、そ
れぞれ室温での組成が補償組成から遷移金属優勢組成を
有する希土類−遷移金属磁性膜より成る少なくとも第1
および第2の磁性膜で構成することによって、記録層と
再生層の磁気的結合を良好に行うことができ、C/N、
ジッタ、再生パワーマージンの改善が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光磁気記録媒体の一例の概略断面
図である。
【図2】本発明による光磁気記録媒体の他の一例の概略
断面図である。
【図3】A〜Cは、本発明による光磁気記録媒体の特性
の説明図である。
【図4】光磁気記録媒体の比較例の概略断面図である。
【図5】磁気超解像再生方法の一例の説明図である。
【符号の説明】
1・・・再生層、2・・・再生補助層、3・・・記録
層、4・・・非磁性中間層、5・・・第1の誘電体層、
6・・・第2の誘電体層、7・・・熱制御層、8・・・
保護層、10・・・透明基板、11・・・対物レンズ、
31・・・第1の磁性膜、32・・・第2の磁性膜、3
3・・・第3の磁性膜

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも再生層と記録層とを有し、青
    紫色レーザによって磁気超解像再生がなされる光磁気記
    録媒体であって、 上記記録層が、それぞれ室温での組成が補償組成から遷
    移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁性膜より成
    る少なくとも第1および第2の磁性膜で構成することを
    特徴とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 少なくとも再生層と記録層とを有し、対
    物レンズの開口数が0.7以上で磁気超解像再生がなさ
    れる光磁気記録媒体であって、 上記記録層が、それぞれ室温での組成が補償組成から遷
    移金属優勢組成を有する希土類−遷移金属磁性膜より成
    る少なくとも第1および第2の磁性膜で構成することを
    特徴とする光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 上記記録層の上記第1および第2の磁性
    膜が、TbFeCo系希土類−遷移金属磁性膜より成る
    ことを特徴とする請求項1に記載の光磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 上記記録層の上記第1および第2の磁性
    膜が、TbFeCo系希土類−遷移金属磁性膜より成る
    ことを特徴とする請求項2に記載の光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 上記記録層の上記第1および第2の磁性
    膜の一方がGdFeCo系希土類−遷移金属磁性膜より
    成り、他方がTbFeCo系希土類−遷移金属磁性膜よ
    り成ることを特徴とする請求項1に記載の光磁気記録媒
    体。
  6. 【請求項6】 上記記録層が、それぞれ室温での組成が
    補償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金
    属磁性膜より成る第1、第2および第3の磁性膜で構成
    され、該第1、第2および第3の磁性膜が、TbFeC
    o系希土類−遷移金属磁性膜より成ることを特徴とする
    請求項1に記載の光磁気記録媒体。
  7. 【請求項7】 上記記録層が、それぞれ室温での組成が
    補償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金
    属磁性膜より成る第1、第2および第3の磁性膜で構成
    され、該第1、第2および第3の磁性膜が、TbFeC
    o系希土類−遷移金属磁性膜より成ることを特徴とする
    請求項2に記載の光磁気記録媒体。
  8. 【請求項8】 上記記録層が、それぞれ室温での組成が
    補償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金
    属磁性膜より成る第1、第2および第3の磁性膜で構成
    され、該第1の磁性膜がGdFeCo系希土類−遷移金
    属磁性膜より成り、上記第2および第3の磁性膜がTb
    FeCo系希土類−遷移金属磁性膜より成ることを特徴
    とする請求項1に記載の光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 上記記録層が、それぞれ室温での組成が
    補償組成から遷移金属優勢組成を有する希土類−遷移金
    属磁性膜より成る第1、第2および第3の磁性膜で構成
    され、該第1の磁性膜がGdFeCo系希土類−遷移金
    属磁性膜より成り、上記第2および第3の磁性膜がTb
    FeCo系希土類−遷移金属磁性膜より成ることを特徴
    とする請求項2に記載の光磁気記録媒体。
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