JP2989575B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JP2989575B2 JP10040533A JP4053398A JP2989575B2 JP 2989575 B2 JP2989575 B2 JP 2989575B2 JP 10040533 A JP10040533 A JP 10040533A JP 4053398 A JP4053398 A JP 4053398A JP 2989575 B2 JP2989575 B2 JP 2989575B2
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    • G11B11/10515Reproducing

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁区拡大により信
号を再生する光磁気記録媒体に印加する再生磁界の調整
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録媒体は、書き換え可能で、記
憶容量が大きく、且つ、信頼性の高い記録媒体として注
目されており、コンピュータメモリ等として実用化され
始めている。また、最近では、記録容量が直径12cm
で6.1Gbytesの光磁気記録媒体の規格化も進め
られている。
【0003】また、光磁気記録媒体からの信号再生にお
いて交番磁界を印加し、再生層から記録層に転写された
磁区を交番磁界により拡大して信号を再生する磁区拡大
再生技術も開発されており、この技術を用いることによ
り同じ12cmのディスクで14Gbytesの信号を
記録および/または再生することができる光磁気記録媒
体も提案されている。
【0004】かかる磁区拡大再生技術を用いた信号再生
においては、信号が記録された記録層の磁区が再生層に
転写され、その転写された磁区が外部から印加される交
番磁界により拡大して再生されるものである。この場
合、記録層から再生層へ磁区が転写される機構として
は、交換結合によるものと静磁結合によるものとがあ
る。静磁結合による転写の場合は、記録層と再生層との
間には非磁性層があり、記録層の磁区からの漏洩磁界が
再生層へ及び、この漏洩磁界が再生層の温度上昇と共に
低下する保磁力より強くなった時点で再生層への磁区の
転写が起こる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従って、静磁結合によ
り記録層から再生層に磁区を転写する場合、記録層の磁
区から再生層に及ぶ漏洩磁界を強くするために、非磁性
層の膜厚をある程度薄くする必要がある。しかし、非磁
性層の膜厚を薄くすると、図15に示すように記録層1
7から非磁性層16を介して再生層15に及ぶ漏洩磁界
の強度分布が磁区の周辺では強い漏洩磁界150とな
り、中央部では弱い漏洩磁界151となる分布となると
ともに、ドメインのすぐ外側では、再生しようとする磁
区の磁化方向と反対方向の漏洩磁界152が形成され、
この漏洩磁界152はドメインの周辺部に形成される漏
洩磁界150と同程度に強い磁界である。その結果、図
15に示すような分布を持つ漏洩磁界では、漏洩磁界1
52が磁区の拡大を妨げる方向に働くので再生層に転写
された磁区が外部から印加される交番磁界により十分拡
大されないという問題がある。一方、図14に示すよう
に、ドメインの中央部において漏洩磁界の強度が最大と
なる分布にするため、非磁性層16の膜厚をある程度厚
くすると、ドメインの外側に形成される再生磁区の磁化
方向と反対方向の漏洩磁界141の強度は小さくなる
が、ドメイン中心における漏洩磁界140の強度は弱く
なる。従って、非磁性層16の膜厚が厚い場合には、記
録層17から再生層15への漏洩磁界が弱くなり、転写
が起こりにくくなるという問題がある。
【0006】そこで、本発明は、かかる問題を解決し、
記録層から再生層に転写され易く、その転写された磁区
が容易に拡大され得る光磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段および発明の効果】請求項
1に係る発明は、基板と、基板上に形成された再生層
と、再生層上に形成された記録層と、再生層と記録層と
の間に形成され、記録層から再生層への漏洩磁界が記録
層の磁区の中央部で最大となる膜厚を有する中間層と、
再生層と反対側に記録層に接して形成され、記録層の飽
和磁化より大きい飽和磁化を有する高磁化層とを含む光
磁気記録媒体であって、高磁化層は、垂直磁化膜である
光磁気記録媒体である。請求項1に記載された発明によ
れば、記録層から再生層への漏洩磁界は、記録層の磁区
の中央部で最大となり、その漏洩磁界は高磁化層により
更に強くされるため記録層から再生層への磁化の転写が
起こり易くなる。
【0008】また、請求項2に係る発明は、請求項1に
記載された光磁気記録媒体の構成において中間層が非磁
性層である光磁気記録媒体である。請求項2に記載され
た発明によれば、記録層と再生層との間に設けられた中
間層が非磁性層であるため、記録層から再生層への磁区
の転写が静磁結合で起こり、再生層に転写された磁区
は、再生層の膜厚方向において均一に拡大され易い。
【0009】また、請求項3に係る発明は、請求項1ま
たは請求項3に記載された光磁気記録媒体の構成におい
て、高磁化層は、貴金属と遷移金属との合金である光磁
気記録媒体である。請求項3に記載された発明によれ
ば、高磁化層は貴金属と遷移金属との合金より成るの
で、高磁化層は、室温から300℃程度の温度領域にお
いてGdFeCo、TbFeCo等の通常の磁性材料よ
り強い飽和磁化を有する。その結果、信号の再生温度に
おいても記録層の磁区からの漏洩磁界を強くすることが
できる。
【0010】また、請求項4に係る発明は、請求項3に
記載された光磁気記録媒体の構成において、貴金属の含
有量が60〜80at.%の範囲である光磁気記録媒体
である。請求項4に記載された発明によれば、高磁化層
を構成する貴金属の含有量が60〜80at.%の範囲
であるので、高磁化層の飽和磁化を400emu/cc
以上にできる。その結果、高磁化層がない場合に比べ記
録層の磁区からの漏洩磁界を数倍強くできる。
【0011】また、請求項5に係る発明は、請求項1ま
たは請求項2に記載された光磁気記録媒体の構成におい
て、高磁化層は、貴金属から成る第1の薄膜と遷移金属
から成る第2の薄膜とを交互に積層して成る光磁気記録
媒体である。請求項5に記載された発明によれば、高磁
化層は、貴金属の薄膜と遷移金属の薄膜とを交互に積層
した多層膜であるので、光磁気記録媒体の平面方向にお
いて均一性よく記録層から再生層への漏洩磁界を強くで
きる。
【0012】また、請求項6に係る発明は、請求項5に
記載された光磁気記録媒体の構成において、第2の薄膜
の膜厚に対する第1の薄膜の膜厚の比が、1.5から4
の範囲である光磁気記録媒体である。請求項6に記載さ
れた発明によれば、貴金属から成る第1の薄膜は、遷移
金属から成る第2の薄膜の膜厚に対して1.5倍から4
倍の膜厚で形成されるため、高磁化層の飽和磁化を40
0emu/cc以上にできる。その結果、高磁化層がな
い場合に比べ記録層の磁区からの漏洩磁界を数倍強くで
きる。
【0013】また、請求項7に係る発明は、請求項3か
ら請求項6のいずれか1項に記載の光磁気記録媒体にお
いて、貴金属は、Pt、Pd、Au、Cu、Agのいず
れか1つであり、遷移金属は、Co、Fe、Niのいず
れか1つである光磁気記録媒体である。請求項7に記載
された発明によれば、高磁化層はPt、Pd、Au、C
u、Agのいずれか1つの貴金属と、Co、Fe、Ni
のいずれか1つの遷移金属とから成るので、記録層、再
生層用の磁性材料であるGdFeCo、TbFeCo等
の形成法と同じマグネトロンスパッタリング法により高
磁化層を形成でき、光磁気記録媒体の作製が容易であ
る。
【0014】また、請求項8に係る発明は、請求項1ま
たは請求項2に記載の光磁気記録媒体において、高磁化
層は、遷移金属と磁気モーメントがフェロ磁性的に交換
結合する金属を含む光磁気記録媒体である。請求項8に
記載された発明によれば、高磁化層は、遷移金属と磁気
モーメントがフェロ磁性的に交換結合する金属を含むの
で、高磁化層は、室温から300℃程度の温度領域にお
いてGdFeCo、TbFeCo等の通常の磁性材料よ
り強い飽和磁化を有する。その結果、信号の再生温度に
おいても記録層の磁区からの漏洩磁界を強くすることが
でき、記録層から再生層への転写が起こり易い。
【0015】また、請求項9に係る発明は、請求項8に
記載された光磁気記録媒体の構成において、金属は、軽
希土類金属である光磁気記録媒体である。請求項9に記
載された発明によれば、軽希土類金属を含む磁性材料を
高磁化層として用いるので、高磁化層の作製が容易にな
る。
【0016】また、請求項10に係る発明は、請求項9
に記載の光磁気記録媒体の構成において、軽希土類金属
は、NdもしくはPrである光磁気記録媒体である。請
求項10に記載された発明によれば、NdもしくはPr
を含む磁性材料を高磁化層として用いるので、本発明に
係る光磁気記録媒体をマグネトロンスパッタリング法に
より容易に作製できる。
【0017】また、請求項11に係る発明は、請求項2
から請求項10のいずれか1項に記載の光磁気記録媒体
において、非磁性層の膜厚は、200Å〜500Åの範
囲である光磁気記録媒体である。請求項11に記載され
た発明によれば、非磁性層の膜厚が200Å〜500Å
の範囲であるので、ドメインの中心における漏洩磁界を
300Oe以上にすることができ、静磁結合による再生
層への磁区の転写と、再生層に転写された磁区の拡大が
起こり易い。
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
【0023】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図を参照し
つつ説明する。図1は、本発明に係る光磁気記録媒体の
断面構造図である。光磁気記録媒体1は、ポリカーボネ
ート等から成る透光性基板2と、GdFeCoから成る
再生層3と、SiNから成る中間層4と、TbFeCo
から成る記録層5と、PdとCoとの合金から成る高磁
化層6とを備える。再生層3、中間層4、記録層5、お
よび高磁化層6はマクネトロンスパッタリング法により
形成されるため、各層を構成する材料のターゲットを装
置内に設置しておけば光磁気記録媒体1を、1つの装置
で作製でき、便利である。また、各層の膜厚は、再生層
3が100〜300Å、中間層4が200〜500Å、
記録層5が300〜1000Å、および高磁化層6が3
00〜1000Åである。
【0024】また、本発明に係る光磁気記録媒体は、図
1に示す光磁気記録媒体1に限らず、図2に示す光磁気
記録媒体10であってもよい。光磁気記録媒体10は、
光磁気記録媒体1のPdとCoとの合金から成る高磁化
層6を、Pdの薄膜とCoの薄膜とを交互に積層した多
層膜から成る高磁化層66に変えた点が異なるだけであ
る。図3を参照して高磁化層66の構造を詳しく説明す
る。高磁化層66は、Pdから成る第1の薄膜661と
Coから成る第2の薄膜662とを交互に積層した構造
であり、第1の薄膜661の膜厚は8Å、第2の薄膜の
膜厚は2Åである。従って、高磁化層66の1周期当た
りの膜厚は10Åであり、高磁化層66の全膜厚が50
0Åの場合、50周期分の第1の薄膜661と第2の薄
膜662とが形成される。Pdの薄膜とCoの薄膜とは
マグネトロンスパッタリング法により形成されるので、
透光性基板2をPdのターゲットとCoのターゲット上
を交互に移動させることにより多層膜66を容易に形成
できる。
【0025】上記では、高磁化層6、66を構成する貴
金属としてPd、遷移金属としてCoを用いたが、これ
に限らず、貴金属としては、Pt、Au、Cu、Agで
あってもよく、遷移金属としてはNi、Feであっても
よい。図4、5を参照して、光磁気記録媒体1における
高磁化層6の機能について説明する。図4は、記録層5
の上に高磁化層6が形成されていない場合の記録層の磁
区40からの、再生層3における漏洩磁界41を模式的
に示したものである。中間層4の膜厚は、再生層3にお
ける記録層からの漏洩磁界が図15に示したような漏洩
磁界にならないようにするため、50〜300Åの範囲
に設定されている。従って、高磁化層6が形成されてい
ない光磁気記録媒体においては、再生層3における漏洩
磁界41は、記録層5の磁区40の磁化42と同じ方向
の磁界43であり、その分布はドメインの中心付近で最
大となり、ドメインの外側では磁界43と反対方向の磁
界44が存在する分布である。この場合、磁界44は弱
いため、もし漏洩磁界41により再生層3に記録層5の
磁区42が転写されたならば外部磁界による磁区拡大を
妨げるものではない。しかし、漏洩磁界41の磁界43
は記録層5から再生層3に磁区42を転写できるほど強
くないため、漏洩磁界41により記録層5の磁区42を
再生層3に転写することはできない。中間層4の膜厚を
薄くすることにより漏洩磁界41を強くすることは可能
であるが、この場合、強度分布形状は図15に示すもの
に変化してしまい、磁区拡大再生にとって不都合であ
る。
【0026】そこで、図5に示す高磁化層6を記録層5
上に形成し、中間層4の膜厚を薄くすることなく記録層
5から再生層3への漏洩磁界を強くする必要がある。図
5においては、記録層5の膜厚と高磁化層6の膜厚との
和が、図4における記録層5の膜厚と同じになるように
記録層5と高磁化層6との膜厚を設定している。図5に
示すように高磁化層6を記録層5上に形成することによ
り再生層3における記録層5からの漏洩磁界51は、ド
メインの中心付近において強い磁界52を有する。この
場合、ドメインの外側には、記録層の磁区50の磁化5
3と反対方向の磁界54が存在するが、その大きさは小
さいため、記録層5から中間層4を介して再生層3に転
写された磁区が外部磁界により拡大されるのを妨げな
い。従って、記録層5上に形成された高磁化層6は、記
録層5から再生層3への漏洩磁界を大きくする働きをす
る。高磁化層6が記録層5から再生層3への漏洩磁界を
強くする根拠は図6に示す記録層5の磁性材料であるT
bFeCoと、高磁化層6の材料であるPdとCoとの
合金との飽和磁化の違いにある。図6は記録層と高磁化
層の飽和磁化の温度依存性を示したものであり、符号6
0は記録層5に用いられるTbFeCoの飽和磁化の温
度依存性を、符号61は高磁化層6に用いられるPdと
Coとの合金の飽和磁化の温度依存性を示す。TbFe
Coの飽和磁化は、温度上昇とともに減少し、室温付近
で零になり、その後、温度上昇とともに大きくなり、1
70℃付近で最大になる。そして、その後、温度上昇と
共にまた、減少し280℃付近で零となる。また、17
0℃付近での最大値は約100emu/ccである。一
方、PdとCoの合金は、温度上昇とともにその飽和磁
化が減少し、420℃付近で零になるが、その飽和磁化
はTbFeCoに比べ数倍程度大きい。従って、信号の
再生時における光磁気記録媒体の温度である100〜1
60℃の範囲においても300〜400emu/cc程
度の飽和磁化を有する。その結果、記録層5から再生層
3への漏洩磁界を大きくすることができる。また、この
ことは、Pdの薄膜とCoの薄膜とを交互に積層した高
磁化層66についても言え、PdとCo以外の貴金属と
遷移金属とから成る合金または多層膜についても言える
ことである。
【0027】図7、8、9、10を参照して、高磁化層
6を含む光磁気記録媒体1の再生動作について説明す
る。まず、図7を参照して、光磁気記録媒体1に再生層
3側からレーザビーム70が照射されると、記録層5の
磁区71の領域の温度上昇と、記録層5の磁区71と同
じ方向に磁化された磁区73からの磁界とにより記録層
5から再生層3に及ぶ漏洩磁界72が強くなる。この場
合、再生層3に及ぶ漏洩磁界72のトラック方向の分布
は図8に示すように、ドメインの端を示す符号81、8
2で囲まれた領域では、ドメインの端から中心に向かう
に従って漏洩磁界の強度が強くなる分布であり、ドメイ
ンの中心付近では最大の漏洩磁界83を有する。漏洩磁
界83の方向は、記録層5の磁区71の磁化と同じ方向
である。ドメイン内において、漏洩磁界の強度がドメイ
ンの端から中心に向かうに従って大きくなるのは、本発
明に係る光磁気記録媒体1においては、図15に示すよ
うな漏洩磁界にならないようにするため、中間層4の膜
厚をある程度厚くしている空である。また、ドメインの
外側では、磁区71の磁化と反対方向の磁界84が存在
するが、その大きさは小さい。従って、この状態で光磁
気記録媒体1に外部磁界を印加すると、図9に示すよう
に、記録層5から中間層4を介して静磁結合により再生
層3に磁区が転写され、転写された磁区は外部磁界であ
る交番磁界90のうち、磁区71の磁化と同じ方向の磁
界が印加されたタイミングで拡大され、記録層5の磁区
71と同じ方向の磁化91を有する大きな磁区92が現
れる。磁区92は殆どレーザビーム70のビーム径程度
まで拡大されるので、レーザビーム70は拡大された磁
区92に基づいて再生信号を検出する。その結果、大き
な再生信号の検出が可能となる。再生信号が検出された
後は、レーザビーム70が記録層5の磁区71の位置か
らトラック方向に移動し、記録層5の磁区71の温度が
低下すると磁区71からの漏洩磁界100は弱くなり、
光磁気記録媒体1に磁区71の磁化と反対方向の外部磁
界が印加されると再生層3に転写・拡大された磁区92
は消滅する。上記説明した工程を繰り返すことにより記
録層5に記録された信号が再生される。
【0028】図7から10を参照して説明したように、
高磁化層6は、記録層5の磁区を中間層4を介して静磁
結合により再生層3に転写する際に、ドメイン内での漏
洩磁界がドメインの端から中心に向かうに従って強くな
る分布を維持しながら、その強度を強くする働きをす
る。その結果、高磁化層6を有する光磁気記録媒体1に
おいては、記録層5から中間層4を介して静磁結合によ
る再生層3への転写が容易になる。また、光磁気記録媒
体10の高磁化層66も光磁気記録媒体1の高磁化層6
と同様な機能を有する。
【0029】図11に高磁化層6中のPdの含有量に対
するPdとCoの合金の異方性を示す。ここで、異方性
がプラスとは磁化方向が垂直であることを示し、異方性
がマイナスとは磁化方向が面内であることを示す。記録
層5上に形成される高磁化層6は、記録層5の磁化方向
と同じであることが望ましいから異方性がプラスでなけ
ればならない。Pdの含有量が60〜80at.%の範
囲においてPdとCoとの合金は異方性がプラスとな
る。従って、高磁化層6中に含まれるPdの含有量は6
0〜80at.%の範囲が適している。
【0030】図12にPdの薄膜とCoの薄膜とを交互
に積層した高磁化層66の異方性をPdの膜厚/Coの
膜厚で定義される膜厚比に対して示す。図12よりPd
の膜厚/Coの膜厚が1.5〜4の範囲においてPd/
Co多層膜の異方性がプラスになる。高磁化層66は、
記録層5上に形成することから、その磁化方向は記録層
5の磁化方向と同じであることが望ましい。従って、P
dの膜厚/Coの膜厚の膜厚比は、Pd/Co多層膜の
異方性がプラスとなる1.5〜4の範囲に設定する必要
がある。上記説明においては、Pdの膜厚を8Å、Co
の膜厚を2Åとしたが、これに限らず、Pdの膜厚/C
oの膜厚が1.5〜4の範囲にあり、Pd/Co多層膜
の全体膜厚が300〜800Åの範囲にあれば良い。
【0031】図13は、記録層5から再生層3への漏洩
磁界のうち、ドメインの中心における漏洩磁界の非磁性
層の膜厚依存性を示す。ここで、非磁性層は中間層4に
用いられるものであるため、この膜厚によって記録層5
から再生層3への漏洩磁界のうち、ドメインの中心にお
ける強度が大きく変わる。図13より、ドメインの中心
における漏洩磁界は、非磁性層の膜厚とともに大きくな
り、200〜500Åの範囲で漏洩磁界は300Oeを
越える。非磁性層の膜厚が500Åより厚くなると漏洩
磁界が小さくなる。従って、非磁性層の膜厚としては2
00〜500Åの範囲が適しており、この範囲において
記録層5から再生層3への漏洩磁界の強度分布は、ドメ
インの端から中心に向かって強度が強くなり、ドメイン
の外側では記録層5から再生層3へ転写しようとしてい
る磁区の磁化方向と反対方向の漏洩磁界の強度は弱くな
る。
【0032】また、本発明に係る光磁気記録媒体は、貴
金属と遷移金属との合金または多層膜から成る磁性材料
を高磁化層6に用いた光磁気記録媒体のみならず、遷移
金属と磁気モーメントがフェロ磁性的に交換結合する金
属を含む磁性材料を高磁化層6として用いた光磁気記録
媒体であってもよい。具体的には、記録層5の磁性材料
であるTbFeCoにNdを添加したTbNdFeCo
を高磁化層6として用いる。TbNdFeCoを高磁化
層6として用いた光磁気記録媒体の断面構造は、上記図
1に示す光磁気記録媒体1と同じ構造であり、また、各
層の膜厚も同じである。図16を参照して、TbNdF
eCoの磁性特性について説明する。図16は、図6に
TbNdFeCoの飽和磁化の温度依存性を追加したも
のである。符号160で示す曲線がTbNdFeCoの
飽和磁化の温度依存性を示す。TbNdFeCoの飽和
磁化は、室温から300℃の範囲において、TbFeC
oの飽和磁化(曲線60で示す。)より大きい。特に、
光磁気記録媒体からの信号再生時の温度である100℃
前後では2倍以上の飽和磁化を有しており、TbNdF
eCoは高磁化層6として十分に使用できる。
【0033】図17を参照して、マグネトロンスパッタ
リング法によるTbNdFeCoの形成条件について説
明する。TbNdFeCoをマグネトロンスパッタリン
グ法により形成するときは、TbNdのターゲットとF
eCoのターゲットを用い、基板をこれらのターゲット
上を交互に通過させる。スパッタリングに用いるArガ
ス流量は30〜70sccmの範囲であり、Arガス圧
は5〜30mTorrの範囲である。また、ターゲット
に印加されるRFパワーは100〜400Wの範囲であ
る。この場合、TbNdの成長速度は0.5〜3.0Å
/secの範囲であり、FeCoの成長速度は1.0〜
3.0Å/secの範囲である。TbNdFeCo中の
各構成元素の組成比はTbNd、およびFeCoの成長
速度を制御することにより行う。高磁化層6として最適
なTbNdFeCoの組成はTb 10Nd13Fe66Co11
であり、この組成比はTbNd、およびFeCoの成長
速度が、それぞれ、1.0Å/sec、1.5Å/se
cの時に達成される。
【0034】TbNdFeCoを用いた高磁化層は、貴
金属と遷移金属との合金を用いた高磁化層と同様に、上
記図7、8、9、10で説明した機能を有する。従っ
て、記録層5から再生層3への漏洩磁界は、高磁化層6
を用いない場合より強くなり、非磁性層4を介して記録
層5の磁区は再生層3へ静磁結合により容易に転写が起
こる。また、磁区拡大による再生においても記録層5か
ら再生層3へ容易に拡大転写を起こすことが可能であ
る。
【0035】上記説明においては、遷移金属と磁気モー
メントがフェロ磁性的に交換結合する金属としてNdを
用いたが、これに限らず、Prであってもよく、一般的
には軽希土類金属であればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気記録媒体の断面構造図であ
る。
【図2】本発明に係る光磁気記録媒体の他の断面図であ
る。
【図3】図2に示す光磁気記録媒体の高磁界層の断面構
造図である。
【図4】高磁化層がない場合の、記録層から再生層への
漏洩磁界を説明する図である。
【図5】高磁化層を形成した場合の、記録層から再生層
への漏洩磁界を説明する図である。
【図6】TbFeCoとPdCoの飽和磁化の温度依存
性を示す図である。
【図7】本発明に係る光磁気記録媒体における記録層か
ら再生層への漏洩磁界を説明する図である。
【図8】本発明に係る光磁気記録媒体における記録層か
ら再生層への漏洩磁界の強度分布を説明する図である。
【図9】本発明に係る光磁気記録媒体における記録層か
ら再生層への磁区の転写・拡大を説明する図である。
【図10】本発明に係る光磁気記録媒体における再生層
に転写・拡大された磁区の消滅を説明する図である。
【図11】PdCo合金の異方性をPd含有量に対して
示した図である。
【図12】Pd/Co多層膜の異方性をPdの膜厚/C
oの膜厚に対して示した図である。
【図13】記録層から再生層への漏洩磁界のうち、ドメ
インの中心における漏洩磁界の非磁性層の膜厚依存性を
示す図である。
【図14】非磁性層の膜厚が厚いときの再生層における
漏洩磁界の強度分布を示す図である。
【図15】非磁性層の膜厚が薄いときの再生層における
漏洩磁界の強度分布を示す図である。
【図16】TbFeCo、PdCo、およびTbNdF
eCoの飽和磁化の温度依存性を示す図である。
【図17】TbNdFeCoの形成条件を示す図表であ
る。
【符号の説明】
1、10・・・光磁気記録媒体 2・・・基板 3・・・再生層 4・・・中間層 5・・・記録層 6、66・・・高磁化層 661・・・Pd薄膜 662・・・Co薄膜 40、50、71、73、92・・・磁区 41、51、72、100・・・漏洩磁界 42、53・・・磁化 43、44、52、54、83、84・・・磁界 70・・・レーザビーム 90・・・交番磁界

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、 前記基板上に形成された再生層と、 前記再生層上に形成された記録層と、 前記再生層と前記記録層との間に形成され、前記記録層
    から前記再生層への漏洩磁界が前記記録層の磁区の中央
    部で最大となる膜厚を有する中間層と、 前記再生層と反対側に前記記録層に接して形成され、前
    記記録層の飽和磁化より大きい飽和磁化を有する高磁化
    層とを含む光磁気記録媒体であって、 前記高磁化層は、垂直磁化膜である 光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 前記中間層は、非磁性層である請求項1
    記載の光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 前記高磁化層は、貴金属と遷移金属との
    合金である請求項1または請求項2に記載の光磁気記録
    媒体。
  4. 【請求項4】 前記貴金属の含有量は、60〜80a
    t.%の範囲である請求項3記載の光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 前記高磁化層は、貴金属から成る第1の
    薄膜と遷移金属から成る第2の薄膜とを交互に積層して
    成る請求項1または請求項2に記載の光磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】 前記第2の薄膜の膜厚に対する前記第1
    の薄膜の膜厚の比が、1.5から4の範囲である請求項
    5記載の光磁気記録媒体。
  7. 【請求項7】 前記貴金属は、Pt、Pd、Au、C
    u、Agのいずれか1つであり、前記遷移金属は、C
    o、Fe、Niのいずれか1つである請求項3から請求
    項6のいずれか1項に記載の光磁気記録媒体。
  8. 【請求項8】 前記高磁化層は、遷移金属と磁気モーメ
    ントがフェロ磁性的に交換結合する金属を含む請求項1
    または請求項2に記載の光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 前記金属は、軽希土類金属である請求項
    8記載の光磁気記録媒体。
  10. 【請求項10】 前記軽希土類金属は、NdもしくはP
    rである請求項9記載の光磁気記録媒体。
  11. 【請求項11】 前記非磁性層の膜厚は、200Å〜5
    00Åの範囲である請求項2から請求項10のいずれか
    1項に記載の光磁気記録媒体。
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