JPH087348A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH087348A JPH087348A JP6133442A JP13344294A JPH087348A JP H087348 A JPH087348 A JP H087348A JP 6133442 A JP6133442 A JP 6133442A JP 13344294 A JP13344294 A JP 13344294A JP H087348 A JPH087348 A JP H087348A
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- JP
- Japan
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- coercive force
- magnetic
- magneto
- recording
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 各々が垂直磁気異方性を有する２つの磁性層
が磁気的に結合されて積層されており、第１磁性層
（３）は相対的に高いキュリー温度と室温における相対
的に低い保磁力を有し、第２磁性層（４）は相対的に低
いキュリー温度と室温における相対的に高い保磁力を有
し第１磁性層の膜厚は５ｎｍ以上で８ｎｍ以下である。 【効果】 記録感度並びに再生時の信号のＣＮ比が高
く、組成の許容範囲幅が広い。製造が容易でもある。
が磁気的に結合されて積層されており、第１磁性層
（３）は相対的に高いキュリー温度と室温における相対
的に低い保磁力を有し、第２磁性層（４）は相対的に低
いキュリー温度と室温における相対的に高い保磁力を有
し第１磁性層の膜厚は５ｎｍ以上で８ｎｍ以下である。 【効果】 記録感度並びに再生時の信号のＣＮ比が高
く、組成の許容範囲幅が広い。製造が容易でもある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光磁気記録媒体に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、高密度、大容量、高いアクセス速
度、並びに高い記録速度や高い再生速度をはじめとする
種々の要求を満足することのできる、改良された光学的
記録再生方法と、それに使用される記録装置、再生装置
および記録媒体を開発しようとする努力がなされてい
る。
度、並びに高い記録速度や高い再生速度をはじめとする
種々の要求を満足することのできる、改良された光学的
記録再生方法と、それに使用される記録装置、再生装置
および記録媒体を開発しようとする努力がなされてい
る。
【０００３】広範囲な光学的記録再生方法の中で、特
に、光磁気記録再生方法は、情報を記録した後に消去す
ることができ、消去した後には再び新たな情報を記録す
ることができるという、記録・消去繰り返し可能である
というユニークな特徴を持ち、この点において最も大き
な魅力に満ちている。このような光磁気記録再生方法で
使用される記録媒体には、記録層として垂直磁気異方性
を有する磁性薄膜が用いられている。そして、この磁性
薄膜は、代表的には、非晶質の重希土類−遷移金属合金
から構成されている。具体的な合金例としては、ＧｄＦ
ｅやＧｄＣｏ、ＧｄＦｅＣｏ、ＴｂＦｅ、ＴｂＣｏ、Ｔ
ｂＦｅＣｏなどが挙げられる。これらの磁性体はフェリ
磁性体で希土類原子の磁化と遷移金属原子の磁化は磁性
体中で反対の方向を向いており、各々の副格子磁化の差
が全体の磁化の大きさとして現れる。
に、光磁気記録再生方法は、情報を記録した後に消去す
ることができ、消去した後には再び新たな情報を記録す
ることができるという、記録・消去繰り返し可能である
というユニークな特徴を持ち、この点において最も大き
な魅力に満ちている。このような光磁気記録再生方法で
使用される記録媒体には、記録層として垂直磁気異方性
を有する磁性薄膜が用いられている。そして、この磁性
薄膜は、代表的には、非晶質の重希土類−遷移金属合金
から構成されている。具体的な合金例としては、ＧｄＦ
ｅやＧｄＣｏ、ＧｄＦｅＣｏ、ＴｂＦｅ、ＴｂＣｏ、Ｔ
ｂＦｅＣｏなどが挙げられる。これらの磁性体はフェリ
磁性体で希土類原子の磁化と遷移金属原子の磁化は磁性
体中で反対の方向を向いており、各々の副格子磁化の差
が全体の磁化の大きさとして現れる。
【０００４】一般に、記録層の磁化の向きは、記録前に
上向きまたは下向きの一方向に初期化される。記録は、
直径１ミクロン位に小さく絞ったレーザービームにより
記録層の一部をキュリー点近傍に昇温し記録磁界Ｈｂを
用いて反対の向きの磁化を有するマークを形成する。情
報は、このマークの有無及び／又はマーク長によって表
現される。記録情報の再生は、記録層のカー回転角θｋ
によるレーザービームの偏光を用いて行う。また、記録
時とは逆方向に消去磁界Ｈｅを加えてレーザービームに
より記録層をキュリー点近傍まで昇温させる事により形
成したマークを消去することができる。そして消去・記
録を繰り返す事で何度でも情報の書換が可能である。
上向きまたは下向きの一方向に初期化される。記録は、
直径１ミクロン位に小さく絞ったレーザービームにより
記録層の一部をキュリー点近傍に昇温し記録磁界Ｈｂを
用いて反対の向きの磁化を有するマークを形成する。情
報は、このマークの有無及び／又はマーク長によって表
現される。記録情報の再生は、記録層のカー回転角θｋ
によるレーザービームの偏光を用いて行う。また、記録
時とは逆方向に消去磁界Ｈｅを加えてレーザービームに
より記録層をキュリー点近傍まで昇温させる事により形
成したマークを消去することができる。そして消去・記
録を繰り返す事で何度でも情報の書換が可能である。
【０００５】しかしながら、キュリー点が低くて記録が
容易で、しかも保磁力が大きく保存安定性が高く、その
上θｋが大きくて再生時のＣＮ比が高い性質を持つ記録
層を１つの磁性材料だけで見い出すことは一般に困難で
ある。そのため、記録層に必要な機能を、例えば、狭義
の記録層（又は記録保持層）と再生層の２層に分離し
て、それぞれに好適な組成の磁性材料を選択した２層膜
構成の光磁気記録媒体が提案された。このタイプの光磁
気記録媒体の１つに特開昭５７−７８６５２号により提
案された媒体がある。この媒体は、相対的に高いキュリ
ー温度と室温に於ける相対的に低い保磁力を有する磁性
層（低保磁力層）と、相対的に低いキュリー温度と室温
に於ける相対的に高い保磁力を有する磁性層（高保磁力
層）との２層膜構成を有し、高保磁力層と低保磁力層と
は互いに交換結合している。そして、この媒体では、高
保磁力層の低キュリー温度近傍で記録を行うため記録感
度が高く、記録された情報の再生は、高キュリー温度を
有しカー回転角の大きな低保磁力層側から行うためＣＮ
比が高いという特徴がある。また、情報の保存は高保磁
力層で行なうため保存性が優れてもいる。
容易で、しかも保磁力が大きく保存安定性が高く、その
上θｋが大きくて再生時のＣＮ比が高い性質を持つ記録
層を１つの磁性材料だけで見い出すことは一般に困難で
ある。そのため、記録層に必要な機能を、例えば、狭義
の記録層（又は記録保持層）と再生層の２層に分離し
て、それぞれに好適な組成の磁性材料を選択した２層膜
構成の光磁気記録媒体が提案された。このタイプの光磁
気記録媒体の１つに特開昭５７−７８６５２号により提
案された媒体がある。この媒体は、相対的に高いキュリ
ー温度と室温に於ける相対的に低い保磁力を有する磁性
層（低保磁力層）と、相対的に低いキュリー温度と室温
に於ける相対的に高い保磁力を有する磁性層（高保磁力
層）との２層膜構成を有し、高保磁力層と低保磁力層と
は互いに交換結合している。そして、この媒体では、高
保磁力層の低キュリー温度近傍で記録を行うため記録感
度が高く、記録された情報の再生は、高キュリー温度を
有しカー回転角の大きな低保磁力層側から行うためＣＮ
比が高いという特徴がある。また、情報の保存は高保磁
力層で行なうため保存性が優れてもいる。
【０００６】このような２層膜構成においては、良好な
記録特性を得るためには、低保磁力層は遷移金属ｒｉｃ
ｈ（遷移金属の副格子磁化が希土類の副格子磁化より大
きい組成）で、かつ室温での磁化の大きさが７０（ｅｍ
ｕ／ｃｃ）以上であるような組成とすることが必要であ
ることがわかっている。
記録特性を得るためには、低保磁力層は遷移金属ｒｉｃ
ｈ（遷移金属の副格子磁化が希土類の副格子磁化より大
きい組成）で、かつ室温での磁化の大きさが７０（ｅｍ
ｕ／ｃｃ）以上であるような組成とすることが必要であ
ることがわかっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような優れた特
徴を有する２層膜構成の光磁気記録媒体ではあるが、低
保磁力層として用いられるＧｄＦｅやＧｄＣｏ、ＧｄＦ
ｅＣｏ、ＮｄＧｄＦｅＣｏ等の物質は、高保磁力層に用
いられるＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ等の物
質に比べてもともと垂直磁化膜が得られる組成範囲が狭
く、上記のような大きな磁化を持つ組成の範囲はさらに
狭くなる。このため、実際に所要の媒体を製造しようと
すると、製造時の組成のばらつきによっては低保磁力層
の磁化が媒体表面に対して垂直とならず、面内成分を持
った方向を向いてしまうような組成になってしまうとい
う事態が生じる。このような場合には、情報の再生は低
保磁力層側から行われるため、低保磁力層の磁化が垂直
方向を向いていないことによってＣＮ比が低下し、特に
記録時にノイズが大きくなるという問題が発生する。
徴を有する２層膜構成の光磁気記録媒体ではあるが、低
保磁力層として用いられるＧｄＦｅやＧｄＣｏ、ＧｄＦ
ｅＣｏ、ＮｄＧｄＦｅＣｏ等の物質は、高保磁力層に用
いられるＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ等の物
質に比べてもともと垂直磁化膜が得られる組成範囲が狭
く、上記のような大きな磁化を持つ組成の範囲はさらに
狭くなる。このため、実際に所要の媒体を製造しようと
すると、製造時の組成のばらつきによっては低保磁力層
の磁化が媒体表面に対して垂直とならず、面内成分を持
った方向を向いてしまうような組成になってしまうとい
う事態が生じる。このような場合には、情報の再生は低
保磁力層側から行われるため、低保磁力層の磁化が垂直
方向を向いていないことによってＣＮ比が低下し、特に
記録時にノイズが大きくなるという問題が発生する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで、この発明は、上
記の問題点を解決する手段として、「各々が垂直磁気異
方性を有する非晶質の重希土類−遷移金属合金からなる
２つの磁性層が磁気的に結合されて積層されており、第
１磁性層は相対的に高いキュリー温度（Ｔｃ１）と室温
に於ける相対的に低い保磁力（Ｈｃ１）を有し、第２磁
性層は相対的に低いキュリー温度（Ｔｃ２）と室温にお
ける相対的に高い保磁力（Ｈｃ２）を有する光磁気記録
媒体において、第１磁性層の膜厚（ｔ１）が５ｎｍ以上
８ｎｍ以下であることを特徴とする光磁気記録媒体」を
提供する。
記の問題点を解決する手段として、「各々が垂直磁気異
方性を有する非晶質の重希土類−遷移金属合金からなる
２つの磁性層が磁気的に結合されて積層されており、第
１磁性層は相対的に高いキュリー温度（Ｔｃ１）と室温
に於ける相対的に低い保磁力（Ｈｃ１）を有し、第２磁
性層は相対的に低いキュリー温度（Ｔｃ２）と室温にお
ける相対的に高い保磁力（Ｈｃ２）を有する光磁気記録
媒体において、第１磁性層の膜厚（ｔ１）が５ｎｍ以上
８ｎｍ以下であることを特徴とする光磁気記録媒体」を
提供する。
【０００９】
【作用】この発明の光磁気記録媒体では、低保磁力層に
は上記の構成によって高保磁力層から交換結合力が働
く。この交換結合力は、低保磁力層の磁化の向きを高保
磁力層の磁化の向きと平行あるいは反平行に向けようと
する力として働く。すると、高保磁力層は垂直磁化膜と
なっているので、交換結合力は低保磁力層側の磁化を膜
面に垂直に向かせようとする力として働く。従って、単
層では磁化が完全には垂直とならない膜でも２層にする
ことでほぼ膜面に垂直な方向に磁化を向けることができ
る。ただし、交換結合力は２層の界面に働くので、低保
磁力層側の膜厚が厚い場合には層全体を垂直に向けるの
は難しく、界面と反対側では磁化が面内成分を持った方
向を向き易い。従って、単層で磁化が垂直でない膜を交
換結合力により垂直にしようとする場合には、低保磁力
層の膜厚は薄い方が良い。この発明では、低保磁力層の
膜厚は８ｎｍ以下としている。ただ、低保磁力層は薄す
ぎると均一な製膜が難しくなる上に、再生時のカー回転
角が記録層単層と変わらなくなり再生層を付加する意味
が無くなってしまう。このため再生層膜厚は５ｎｍ以上
であることが望ましい。
は上記の構成によって高保磁力層から交換結合力が働
く。この交換結合力は、低保磁力層の磁化の向きを高保
磁力層の磁化の向きと平行あるいは反平行に向けようと
する力として働く。すると、高保磁力層は垂直磁化膜と
なっているので、交換結合力は低保磁力層側の磁化を膜
面に垂直に向かせようとする力として働く。従って、単
層では磁化が完全には垂直とならない膜でも２層にする
ことでほぼ膜面に垂直な方向に磁化を向けることができ
る。ただし、交換結合力は２層の界面に働くので、低保
磁力層側の膜厚が厚い場合には層全体を垂直に向けるの
は難しく、界面と反対側では磁化が面内成分を持った方
向を向き易い。従って、単層で磁化が垂直でない膜を交
換結合力により垂直にしようとする場合には、低保磁力
層の膜厚は薄い方が良い。この発明では、低保磁力層の
膜厚は８ｎｍ以下としている。ただ、低保磁力層は薄す
ぎると均一な製膜が難しくなる上に、再生時のカー回転
角が記録層単層と変わらなくなり再生層を付加する意味
が無くなってしまう。このため再生層膜厚は５ｎｍ以上
であることが望ましい。
【００１０】以下、この発明の実施例を説明する。もち
ろん、この発明は、以下の例に限定されるものではな
い。
ろん、この発明は、以下の例に限定されるものではな
い。
【００１１】
【実施例】実施例１ 図１は光磁気記録媒体の垂直断面を示した概念図であ
る。たとえば、この図１に例示した構成に沿って、以下
の通りに光磁気記録媒体を製造する。
る。たとえば、この図１に例示した構成に沿って、以下
の通りに光磁気記録媒体を製造する。
【００１２】すなわち、まず、厚さ１．２ｍｍ直径３０
０ｍｍのディスク状ガラス基板（１）を３元のマグネト
ロンスパッタリング装置の真空チャンバー内にセットす
る。真空チャンバー内を一旦５×１０-5Ｐａまで排気し
た後、Ａｒガスを導入し、Ａｒガス圧を２×１０-1Ｐａ
に保持しながらスパッタリングを行う。最初にＳｉＮタ
ーゲットを用い、基板（１）上に膜厚７０ｎｍのＳｉＮ
保護膜層（２）を成膜する。続いてＧｄとＦｅＣｏのタ
ーゲットを用いて、２元同時スパッタによりこの保護膜
（２）の上に厚さ８ｎｍのＧｄ20（Ｆｅ70Ｃｏ30）
80（添え字は原子％を表す）からなる低保磁力層として
の第１磁性層（３）を成膜した。さらにその上にＴｂＦ
ｅの合金ターゲットを用いて厚さ７２ｎｍのＴｂ23Ｆｅ
77からなる第２磁性層（４）を成膜した。最後に再びＳ
ｉＮターゲットを用い膜厚７ｎｍの保護膜層（５）を成
膜した。こうして成膜した各磁性層のキュリー温度は第
１磁性層（３）が４００℃以上、第２磁性層（４）が１
４０℃であった。この媒体に線速度２３ｍ／ｓ、記録周
波数１．６ＭＨｚ、記録磁界４０００ｅ、記録パワー
７．１ｍＷで記録を行い、波長７８０ｎｍ、再生パワー
１．５ｍＷで再生を行ったところＣＮ比６１ｄＢが得ら
れた。比較例 第１磁性層（３）としてのＧｄＦｅＣｏ層の膜厚を２０
ｎｍとし、第２磁性層（４）としてのＴｂＦｅ層の膜厚
は６０ｎｍとした以外は、実施例１と同様の手順・同じ
組成で記録媒体を作製した。この媒体に実施例１と同じ
条件で記録を行ったところＣ／Ｎ比は５６ｄＢであっ
た。記録時のノイズが実施例１に比べ約４ｄＢ高く、キ
ャリアは約１ｄＢ低かった。実施例２ さらに実施例１と同様の手順で低保磁力層としての第１
磁性層のＧｄとＦｅＣｏの組成比を変え、各磁性層の膜
厚を実施例１と同じにして媒体を作製した。これらの媒
体に実施例１と同じ条件で記録を行い、記録時のノイズ
が実施例１の媒体と比べて１ｄＢ以上高くならない組成
範囲を求めた。ただし組成の上限は遷移金属ｒｉｃｈで
かつ磁化の大きさが７０（ｅｍｕ／ｃｃ）となる組成と
した。
０ｍｍのディスク状ガラス基板（１）を３元のマグネト
ロンスパッタリング装置の真空チャンバー内にセットす
る。真空チャンバー内を一旦５×１０-5Ｐａまで排気し
た後、Ａｒガスを導入し、Ａｒガス圧を２×１０-1Ｐａ
に保持しながらスパッタリングを行う。最初にＳｉＮタ
ーゲットを用い、基板（１）上に膜厚７０ｎｍのＳｉＮ
保護膜層（２）を成膜する。続いてＧｄとＦｅＣｏのタ
ーゲットを用いて、２元同時スパッタによりこの保護膜
（２）の上に厚さ８ｎｍのＧｄ20（Ｆｅ70Ｃｏ30）
80（添え字は原子％を表す）からなる低保磁力層として
の第１磁性層（３）を成膜した。さらにその上にＴｂＦ
ｅの合金ターゲットを用いて厚さ７２ｎｍのＴｂ23Ｆｅ
77からなる第２磁性層（４）を成膜した。最後に再びＳ
ｉＮターゲットを用い膜厚７ｎｍの保護膜層（５）を成
膜した。こうして成膜した各磁性層のキュリー温度は第
１磁性層（３）が４００℃以上、第２磁性層（４）が１
４０℃であった。この媒体に線速度２３ｍ／ｓ、記録周
波数１．６ＭＨｚ、記録磁界４０００ｅ、記録パワー
７．１ｍＷで記録を行い、波長７８０ｎｍ、再生パワー
１．５ｍＷで再生を行ったところＣＮ比６１ｄＢが得ら
れた。比較例 第１磁性層（３）としてのＧｄＦｅＣｏ層の膜厚を２０
ｎｍとし、第２磁性層（４）としてのＴｂＦｅ層の膜厚
は６０ｎｍとした以外は、実施例１と同様の手順・同じ
組成で記録媒体を作製した。この媒体に実施例１と同じ
条件で記録を行ったところＣ／Ｎ比は５６ｄＢであっ
た。記録時のノイズが実施例１に比べ約４ｄＢ高く、キ
ャリアは約１ｄＢ低かった。実施例２ さらに実施例１と同様の手順で低保磁力層としての第１
磁性層のＧｄとＦｅＣｏの組成比を変え、各磁性層の膜
厚を実施例１と同じにして媒体を作製した。これらの媒
体に実施例１と同じ条件で記録を行い、記録時のノイズ
が実施例１の媒体と比べて１ｄＢ以上高くならない組成
範囲を求めた。ただし組成の上限は遷移金属ｒｉｃｈで
かつ磁化の大きさが７０（ｅｍｕ／ｃｃ）となる組成と
した。
【００１３】次に低保磁力層と高保磁力層の膜厚を変え
て同じことを繰り返し、記録時のノイズが上がらない組
成範囲を求めた。これらの結果を表１に示した。この表
１の結果から、低保磁力層の膜厚が８ｎｍ以下であれば
Ｇｄ組成の許容幅がかなり広がり、Ｇｄの原子百分率に
して３％以上の幅で良好な記録特性が得られることがわ
かる。そして、これにより光磁気記録媒体の製造はかな
り容易になることがわかる。
て同じことを繰り返し、記録時のノイズが上がらない組
成範囲を求めた。これらの結果を表１に示した。この表
１の結果から、低保磁力層の膜厚が８ｎｍ以下であれば
Ｇｄ組成の許容幅がかなり広がり、Ｇｄの原子百分率に
して３％以上の幅で良好な記録特性が得られることがわ
かる。そして、これにより光磁気記録媒体の製造はかな
り容易になることがわかる。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
り、記録感度並びに再生時の信号のＣＮ比が高く、組成
の許容範囲幅が広いために製造が容易な光磁気記録媒体
が提供される。
り、記録感度並びに再生時の信号のＣＮ比が高く、組成
の許容範囲幅が広いために製造が容易な光磁気記録媒体
が提供される。
【図１】この発明の実施例としての光磁気記録媒体の垂
直断面を示す概念図である。
直断面を示す概念図である。
１ 基板 ２ 保護膜 ３ 第１磁性層（低保磁力層） ４ 第２磁性層（高保磁力層） ５ 保護膜
Claims (2)
- 【請求項１】 各々が垂直磁気異方性を有する非晶質の
重希土類−遷移金属合金からなる２つの磁性層が磁気的
に結合されて積層されており、第１磁性層は相対的に高
いキュリー温度と室温に於ける相対的に低い保磁力を有
し、第２磁性層は相対的に低いキュリー温度と室温に於
ける相対的に高い保磁力を有する光磁気記録媒体におい
て、 第１磁性層の膜厚が５ｎｍ以上８ｎｍ以下であることを
特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項２】 第１磁性層が主成分としてＧｄ、Ｆｅお
よびＣｏを含有することを特徴とする請求項１の光磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133442A JPH087348A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133442A JPH087348A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH087348A true JPH087348A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15104876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6133442A Withdrawn JPH087348A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087348A (ja) |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP6133442A patent/JPH087348A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |