JP2002508830A - クリーンルームに使用するためのファンモジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 クリーンルームに使用するためのファンモジュールにおいて、平坦な下面（７）を備えた下部エッジ部分（６）と、該平坦な下面の外側エッジから突出した要素（９）とからなる外側の垂直拘束壁（５）であって、該平坦な下面に対応した延長部を有するほぼ平坦な上面（８）を備えたルーフフィルター枠（４）の中に設けられたフィルタードッキングモジュール（２）と協動し、前記突出要素（９）が前記フィルタードッキングモジュール（２）の一部と重なるように設計されている、その垂直拘束壁を具備していることを特徴とするファンモジュール。

Description

【発明の詳細な説明】 クリーンルームに使用するためのファンモジュール 発明の分野 本発明はクリーンルーム内で使用するためのファンモジュールに関するもので ある。 発明の背景 クリーンルーム内で使用するためのモジュール装置として設計されたフィルタ ーファン装置は以前から知られており、例えばバブコックＢＳＨ社の“クリーン ルーム−トンネルモジュール”のプロスペクト紙II／８７を参照するとよい。こ の装置の側壁に隣接してファンが存在し、該ファンによって空気が空気流室の中 へ吸引、移送され、該空気流室はファンの水平方向出口から反対側の壁部まで延 在し、さらに１８０度逆転して、隔壁の下において、かつそれとはある距離をお いて配置されたフィルター装置によって下方側へ拘束されている。この設計にお いては、空気は長い流路を有することになり、従って対応的に流れ損失が大きく 、また対応的にエネルギー消費が大きくなる。この空気ガイドはフィルターの表 面上で均等な長れ分布を得ることを困難にしており、またこの装置は比較的大き な音圧レベルを有する。 このような既知構造の欠点を克服するために努力がなされてきており、例えば 欧州特許ＥＰ、Ｃ、４９７２９６によると、前記空気流室は１あるいは幾つかの 環状のチャンネルとして設計されており、該空気流室の少なくとも１つの壁部は 吸音材料でできている。これは流れの安定化およびノイズの減少のいずれかの観 点において最適な解決策等ではない。 発明の概要 本発明の１つの目的は、従来技術によるファンモジュールに比べてより融通性 の富んだファンモジュールを提供することにある。 本発明の他の目的は、従来技術によるファンモジュールに比べてよりよい防音 性を有するファンモジュールを提供することにある。 本発明の上記目的およびその他の目的は、本発明によるファンモジュールによ って達成され、該ファンモジュールは、平坦な下面を備えた下部エッジ部分と、 該平坦な下面の外側エッジから突出した要素とからなる外側の垂直拘束壁であっ て、該平坦な下面に対応した延長部を有するほぼ平坦な上面を備えたルーフフィ ルター枠の中に設けられたフィルタードッキングモジュールと協動し、前記突出 要素が前記フィルタードッキングモジュールの一部と重なるように設計されてい る、その垂直拘束壁とを具備する。 本発明の発展とその実施例は請求の範囲の従属項、および以下の本発明の詳細 な説明の中で開示される。 図面の簡単な説明 本発明の他の目的、特徴、および利点は、添付した概略図を参照しながら、本 発明の好的実施例を以下を説明することによって明らかになるであろう。 図１は屋根フィルター枠とフィルターを断面的に示した、本発明によるファン モジュールの主要図である。 図２は本発明による入口十字部分の図である。 図３は空気流チャンネルあるいはガイド要素上で適用されたり、あるいはそれ を形成している防音材の一部分の図である。 図４は本発明によるファンモジュールの側部断面図である。 図５はフィルターの上へ開放している空気排出チャンネルの、上方から見た断 面図である。 図６は十字状に配置された、空気力学的に設計されたガイド要素の概略図であ る。 図７は接線方向出口を有する遠心ファンからなる他のファンモジュールの側部 断面図である。 図８は幾つかのファンモジュールのために用いられる中央部のファンに取り付 けられたチャンネルを有するハブからなる、他のファンモジュールの概略的な側 部断面図である。 図９は波状表面と貫通孔を有した気泡ガラスでできた、チャンネル壁および／ あるいはガイド要素のための構造材料の片の図である。 図１０は本発明によるファンモジュールにおけるガイド要素の図である。 好適実施例の説明 本発明について、添付図に示した本発明の好適実施例を参照しながらより詳細 に説明するが、添付した請求の範囲内で変更することができる。 図１における概略図においては、ファンモジュール１がフィルター３を内部に 吊したフィルタードッキング装置（２）の上に、モジュール理論に従って積み上 げられている。該フィルタードッキング装置はさらに、断面的に示された２つの リム４によって連想されるルーフフィルター枠の上にのっている。該ファンモジ ュール１は外部拘束壁５を有し、該壁は下方に向かった平坦な下面７を備えた下 部エッジ部分６を有し、これはフィルタードッキングモジュール２の上方に向か った対応的な平坦な上面８の上になっている。下方に向かった該ファンモジュー ルにおける前記下面の周りには、図示した実施例においてはリム９の形をした突 出要素が配置され、これは該フィルタードッキングモジュールの側壁１０の上部 と重なり合っている。このようにして前記ファンモジュールは便利に据えつける ことができ、所定の位置に安全に保持するのに十分な静荷重が得られ、また余分 な取り付け装置は必要としない。冷却バッテリーやプレフィルターや、消音モジ ュールのような他のモジュールを同じようにして設計することによって、ファン −フィルター装置は簡単に交換可能な、あるいは転換可能なモジュールによって 積み上げることができ、最大の適応性を与えている。前記ファンモジュールに平 坦な上部エッジ面１１をもたせて設計することにより、冷却バッテリーや、プレ フィルターのような他のモジュールをつけ加えることができる。 図２においては、ファンモジュールにおける遠心ファンへの入口チャンネルが 示されている。空気入口チャンネル２０の中には入口クロス部２１が配置されて いる。この入口クロス部によって、渦形成を減少させ、ノイズを減少させて、流 れの安定性が得られる。該入口流クロス部２１はノイズ吸収材料で覆われている か、あるいはそのような材料でできている。好ましくは、該ファンモジュールは 空気抵抗を最少にするために、さめ側の表面を有している。 流れチャンネルの内側には、好ましくは図３に示した防音材料の片のような波 形表面３０を有した防音材で被覆されている。この波の山と谷は、それぞれそれ らが空気の流れの方向と平行になるように配置されている。 図４においては、遠心ファン４１を有したファンモジュール４０が概略的、断 面的に示されている。該遠心ファンは、それ自身良く知られているように、最大 のノイズ防音効果が得られるように、吊り下げられている。空気が流れ込む該遠 心ファンを取り囲む部屋４２の壁のにおいて、該壁は波形表面を有したノイズ防 音材料４３で覆われているか、あるいはそれでできており、該波の山と谷は空気 の流れの方向と平行に配置されている。さらに、前記部屋４２内に配置されたガ イド要素４５、４６もノイズ防音材料で覆われているか、あるいはそれでできて おり、該波の山と谷もまた空気の流れの方向と平行に配置されている。前記部屋 は下部の拘束壁あるいは底部４７を有し、それには該部屋を限定している垂直壁 ４９、５０の方へ向かった外側ギャップ４８が設けられている。 図５は好適実施例を上から見た概略断面図を示し、４つのガイド要素５１、５ ２、５３、５４が十字状に配置されている。 該ガイド要素は流れを安定化させ、低周波ノイズをかなり減少させる。壁部や バッフル上の防音材は高周波ノイズを減少させる。空気流を取り囲む表面上にお ける前記表面構造によって、損失を最少にし、かつ外乱のない流れを得ることが できる。 図６には遠心ファンを取り囲む排気室の概略図が示され、空気力学的に設計さ れたガイド要素６１、６２、６３、６４が設けられている。図示したように、該 ガイド要素はノイズ低減のために加えられた貫通孔あるいはチャンネル６５、６ ６、６７、６８を有した防音材でできている。 図７には他のファンモジュール７０が示されており、接線方向の出口７２を有 した他のタイプのファン７１が設けられている。前記流れ方向の中で該ファンの 後方において、ガイド要素７４の組立体が出口チャンネル７３の中に配置されて おり、その断面は流れの安定化のために十字状になっている。上で述べたように 、排気室の壁も前記ガイド要素と同様に、波形表面を有した吸音材料で覆われて いるか、あるいはそれできており、この波の山と谷も空気の流れ方向と平行にな っている。 図８においては、本発明によるファンモジュールの他の実施例が示されている 。 この場合には、該ファンモジュールは、上述した取り付け装置を有したフード８ ０である。該フードはチャンネル取付体８１を有し、図示してはいないがプレナ ムチェンバーに連結されており、ここへ空気が中央に配置されたファンから供給 され、これが多数のファン−フィルター装置となる。図示した実施例においては 、該チャンネル取付体からの空気出口の前方において、空気分配装置８２が配置 されており、フィルターはフィルター屋根モジュール８３と置き換えっている。 図９においては、本発明によって気泡ガラスでできた構造材料９０の片が示さ れており、該材料には波形表面９１と貫通孔９２が形成されている。これによっ て高周波音と、低周波音両方に対して、最大の吸音効果が得られる。 最後に、図１０においては、遠心ファンを取り囲む排気室に配置されたガイド 要素１００の他の例が示されている。全部で８個の該ガイド要素は、ファンから の空気流と平行に配置された波の形を備えた波形表面を有し、また該排気室の拘 束壁上においても、その波形表面は空気の流れと平行になるように配置されてい る。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年７月２３日（１９９９．７．２３） 【補正内容】 請求の範囲 1. クリーンルームに使用するためのファンモジュールにおいて、平坦な下面 （７）を備えた下部エッジ部分（６）と、該平坦な下面の外側エッジから突出し た要素（９）とからなる外側の垂直拘束壁（５）であって、該平坦な下面に対応 した延長部を有するほぼ平坦な上面（８）を備えたルーフフィルター枠（４）の 中に設けられたフィルタードッキングモジュール（２）と協動し、前記突出要素 （９）が前記フィルタードッキングモジュール（２）の一部と重なるように設計 されている、その垂直拘束壁と、入口チャンネル（２０）及び壁部によって拘束 された排気室を有するファンとを具備し、２つの交差したロッド形状の要素の形 をした入口チャンネルにおける流入バッフル２１がノイズ吸収材料でできている か、あるいはそれで覆われており、また前記排気室（４２）の中に少なくとも１ つのガイド要素（４５、４６）が配置されており、該排気室の拘束壁の内側は該 少なくとも１つのガイド要素と同様に、吸音材料（４３）でできているか、ある いはそれで覆われており、該吸音材料が波形表面を有し、その山と谷とは流れる 空気と平行に配置されていることを特徴とするファンモジュール。 2. 前記流入バッフルがさめ皮の表面を有している請求の範囲第１項に記載さ れたファンモジュール。 3. 前記ファン（４１）は円周方向に開放された遠心力ファンであり、排気室 （４２）が該ファンを取り囲み、ほば長方形状に配置された外部垂直側壁（４９ 、５０）と、屋根および底部（４７）を有し、該底部の外側エッジと該側壁との 間にはギャップ（４８）が設けられ、該ギャップが前記排気室（４２）と、一方 の側において、前記底部と平行になって、フィルターによって拘束されているス ペースとを連結しており、前記少なくとも１つのガイド要素が該排気室内に配置 された少なくとも２つのガイド要素（４５、４６）からなっており、前記ファン から前記側壁へ向かって、かつ該側壁に沿って流れる空気を前記波の山と谷に対 して平行になるように方向づけている、請求の範囲第１項に記載されたファンモ ジュール。 4. 前記ガィド要素が空気力学的に設計さえている（５１〜５４）、請求の範 囲第３項に記載されたファンモジュール。 5. ファン（７１）が前記フィルターと平行になって延在する排気チャンネル （７３）の中へ開き込んだ接線方向排気部を有し、長さ方向に延在したガイド要 素（７４）が前記排気チャンネルの断面上に配分され、これが空気流の方向に延 在する山と谷を有する波形表面を有したノイズ吸収材料でできているか、あるい はそれで覆われている、請求の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 6. 冷却バッテリーおよび／あるいはプレフィルターのような他のモジュール 装置を付加するために、平坦な頂部エッジ表面（１１）を有している、請求の範 囲第１項に記載されたファンモジュール。 7. １あるいは幾つかの中間モジュールを介して、フィルタードッキングモジ ュールに連結されている、請求の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 8. 冷却バッテリーや、プレフィルターのような１あるいは幾つかの他の要素 と準独立している、請求の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 9. 幾つかのファンモジュールに対して共通な１つのファンを有し、該ファン モジュールが該幾つかのモジュールに対して共通なプレナムチャンバーに対する チャンネル取付部（８１）を有したフード（８０）からなっている、請求の範囲 第１項に記載されたファンモジュール。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ， ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，Ｌ Ｓ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ， ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，Ｅ Ｅ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ， ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，Ｍ Ｄ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ， ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，Ｕ Ｚ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. クリーンルームに使用するためのファンモジュールにおいて、平坦な下面 （７）を備えた下部エッジ部分（６）と、該平坦な下面の外側エッジから突出し た要素（９）とからなる外側の垂直拘束壁（５）であって、該平坦な下面に対応 した延長部を有するほぼ平坦な上面（８）を備えたルーフフィルター枠（４）の 中に設けられたフィルタードッキングモジュール（２）と協動し、前記突出要素 （９）が前記フィルタードッキングモジュール（２）の一部と重なるように設計 されている、その垂直拘束壁を具備していることを特徴とするファンモジュール 。 2. 入口チャンネル（２０）と壁部によって拘束された排気室とを有するファ ンを具備し、２つの交差したロッド形状の要素の形をした入口部における流入バ ッフル（２１）がノイズ吸収材料でできているか、あるいはそれで覆われており 、また前記排気室（４２）の中に少なくとも１つのガイド要素（４５、４６）が 配置されており、該排気室の拘束壁の内側は該少なくとも１つのガイド要素と同 様に、吸音材料（４３）でできているか、あるいはそれで覆われており、該吸音 材料が波形表面を有し、その山と谷とは流れる空気と平行に配置されている請求 の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 3. 前記流入バッフルがさめ皮の表面を有している請求の範囲第２項に記載さ れたファンモジュール。 4. 前記ファン（４１）は円周方向に開放された遠心力ファンであり、排気室 （４２）が該ファンを取り囲み、ほば長方形状に配置された外部垂直側壁（４９ 、５０）と、屋根および底部（４７）を有し、該底部の外側エッジと該側壁との 間にはギャップ（４８）が設けられ、該ギャップが前記排気室（４２）と、一方 の側において、前記底部と平行になって、フィルターによって拘束されているス ペースとを連結しており、前記少なくとも１つのガイド要素が該排気室内に配置 された少なくとも２つのガイド要素（４５、４６）からなっており、前記ファン から前記側壁へ向かって、かつ該側壁に沿って流れる空気を前記波の山と谷に対 して平行になるように方向づけている、請求の範囲第２項に記載されたファンモ ジュール。 5. 前記ガイド要素が空気力学的に設計さえている（５１〜５４）、請求の範 囲第４項に記載されたファンモジュール。 6. ファン（７１）が前記フィルターと平行になって延在する排気チャンネル （７３）の中へ開き込んだ接線方向排気部を有し、長さ方向に延在したガイド要 素（７４）が前記排気チャンネルの断面上に配分され、これが空気流の方向に延 在する山と谷を有する波形表面を有したノイズ吸収材料でできているか、あるい はそれで覆われている、請求の範囲第２項に記載されたファンモジュール。 7. 冷却バッテリーおよび／あるいはプレフィルターのような他のモジュール 装置を付加するために、平坦な頂部エッジ表面（１１）を有している、請求の範 囲第１項に記載されたファンモジュール。 8. １あるいは幾つかの中間モジュールを介して、フィルタードッキングモジ ュールに連結されている、請求の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 9. 冷却バッテリーや、プレフィルターのような１あるいは幾つかの他の要素 と準独立している、請求の範囲第１項に記載されたファンモジュール。 10. 幾つかのファンモジュールに対して共通な１つのファンを有し、該ファ ンモジュールが該幾つかのモジュールに対して共通なプレナムチャンバーに対す るチャンネル取付部（８１）を有したフード（８０）からなっている、請求の範 囲第１項に記載されたファンモジュール。