JP2002372499A

JP2002372499A - 周期性欠陥検査方法及び装置

Info

Publication number: JP2002372499A
Application number: JP2001180464A
Authority: JP
Inventors: Yukihiko Yamaguchi; 幸彦山口
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2001-06-14
Filing date: 2001-06-14
Publication date: 2002-12-26

Abstract

(57)【要約】【目的】周期性欠陥を精度よく検出する。【構成】受光器１２の光電変換信号をＡＧＣ回路２
８、二値化回路２９で二値化する。この二値化信号を基
準クロック発生回路３５からのクロックに基づきカウン
トし、幅方向に長さを有する幅欠陥か否かを判定する。
周期性欠陥検出部２７により、幅欠陥が周期的に発生す
るか否かを判定する。まず幅欠陥を検出して、次にこれ
の周期性を判定するので、微小な欠陥によるノイズが排
除され、精度よく周期性幅欠陥を判定することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェブ等の被検査体に
検査光を照射し、この照射した検査光を光電変換手段で
光電変換し、この光電変換手段の出力信号に基づき被検
査体の欠陥を検査する周期性欠陥検査方法及び装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】走行しているウェブにレーザービームを
照射してその透過光もしくは反射光を受光器に入射さ
せ、ウェブに存在する各種の欠陥を受光器からの光電変
換出力に基づいて評価する装置が提供されている（例え
ば特開昭５９−２２０６３６号公報、特開平６−２０７
９１０号公報）。

【０００３】こうしたウェブの欠陥検査装置は、スリッ
ト状の受光窓を通して正常光だけを受光器に入射させ、
その出力変動により欠陥の検出を行う正常光受光方式
と、正常光をマスクで遮蔽し、異常光だけを受光器に入
射させてその出力増大により欠陥の検出を行う異常光受
光方式の２種に大別される。前者の方式は、汚れや異
物、さらにはピンホール等のように、光ビームに濃度変
化を与えるような欠陥（濃度欠陥）が被検査体に存在し
ているときに有効な検査方式であり、また後者の方式
は、傷や色なしの異物等のように、光ビームを散乱させ
るような欠陥が被検査体に存在しているときに有効な検
査方式である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような欠陥検査装
置では、単なる傷やピンホールの欠陥だけでなく、これ
らの欠陥が周期的に現れる場合の検出も行われている。
例えば、特開昭６３−１７２９４５号で提案された周期
性欠陥弁別処理回路もその一例である。しかしながら、
このような周期性欠陥弁別処理回路においては、周期性
欠陥以外の品質には影響のない他の微小欠陥も検出して
しまうことがあり、これにより、偶発的に周期性欠陥信
号を発生してしまうという問題がある。このため、周期
性欠陥の検出精度が低下してしまう。

【０００５】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、周期性欠陥を精度よく検出することができるよう
にした周期性欠陥検査方法及び装置を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の周期性欠陥検査方法では、連続走行する被
検査体に対してその幅方向に走査する検査光を照射し、
被検査体で反射又は透過した検査光を光電検出し、この
検出信号の信号レベルが増加又は低下した状態を一定長
さ以上保持したときに幅欠陥として検出し、この検出し
た幅欠陥に対してその発生の周期性を検出している。

【０００７】また、本発明の周期性欠陥検査装置では、
前記受光器の検出信号の信号レベルが増加又は低下した
状態を保持している間に基準クロック信号数を計数し、
この計数値が予め定められた基準値を超えた時に幅欠陥
信号を出力する幅欠陥検出手段と、被検査体の幅方向及
び長さ方向を細分化して設定されたデータセル毎に前記
幅欠陥信号を一時的に記憶して、この一時記憶した幅欠
陥信号を用いて、長さ方向のデータセルにおける周期性
の有無を判定する周期性欠陥検出手段とを備えている。

【０００８】なお、前記幅欠陥検出手段を、一定の微小
間隔でクロック信号を送出する基準クロック発生回路
と、前記受光器の検出信号の信号レベルが増加又は低下
した状態を保持している間に前記基準クロック発生回路
から送出されたクロック信号数を計数し、この計数値が
予め定められた基準値を超えた時に幅欠陥データを発生
する幅欠陥データ発生手段とから構成し、前記周期性欠
陥検出手段を、被検査体の幅方向及び長さ方向を細分化
して設定されたデータセル毎に前記幅欠陥データを一時
的に記憶する一時記憶回路と、この一時記憶回路に記憶
された幅欠陥データを長さ方向のデータセル毎に読み出
し、幅欠陥の有無により設定された加減算のための検出
データに変換する加減算制御回路と、幅方向を分割した
レーン毎に出力される分割信号からレーン番号毎にデー
タを記憶するためのアドレス領域を確保するレーン番号
カウンタ回路と、同一レーンにおいて設定された周期毎
にデータセルの検出データを積算するためのアドレス領
域を確保する周期セルカウンタ回路と、この周期セルカ
ウンタ回路の出力に基づいて同一レーンの検出データを
周期セル毎に積算した一周器分の積算データを記憶する
積算値記憶回路と、上記加減算制御回路の出力と積算値
記憶回路の出力とを加減算する加減算回路と、この加減
算回路から出力されたデータ積算値が一定値を超えた時
に周期性幅欠陥と判別する比較器とから構成することが
好ましい。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明を実施した周期性
欠陥検査装置の概略図である。この欠陥検査装置１０
は、スキャナ１１、受光器１２、光センサ１３、及び信
号処理部１５により構成されている。被検査体としての
フイルム１７は、図示しないフイルム送り機構によって
スキャナ１１と受光器１２との間を図中矢印方向に一定
速度で走行される。

【００１０】スキャナ１１は、レーザー発振器２０，レ
ンズ群２１，回転多面鏡２２，及び光路折り曲げ用の２
枚のミラー２３，２４により構成されている。レーザー
発振器２０から放射されたレーザー光２０ａはレンズ群
２１に入射し、そのスポット径が調節された後に、ミラ
ー２３，２４を介して高速回転する回転多面鏡２２に入
射する。そして、このレーザー光２０ａは、回転多面鏡
２２の回転によってフイルム１７の走行方向と略直交し
てフイルム１７上を幅方向に高速走査する検査光２５と
なる。この検査光２５は、フイルム１７の検査部１７ａ
を透過した後に、走査方向に延びた受光器１２に入射す
る。受光器１２は、フイルム１７の検査部１７ａを透過
した検査光２５を光電検出し、その強度に比例した光電
変換信号を信号処理部１５に送出する。

【００１１】光センサ１３は、検査光２５によるフイル
ム１７上の走査領域から走査上流側に外れた位置に設け
られており、検査光２５を受光した瞬間にパルス状の受
光信号を発生して、信号処理部１５の幅欠陥検出回路２
６及び周期性欠陥検出部２７に送出する。

【００１２】信号処理部１５では、受光器１２からの光
電変換信号をＡＧＣ回路２８、二値化回路２９を介して
幅欠陥検出回路２６に送り、幅欠陥を検出する。その
後、周期性欠陥検出部２７により、この幅欠陥が周期的
に発生しているか否かを判定する。そして、周期的な幅
欠陥信号と判定されたときには、この周期的幅欠陥信号
とその位置データとがデータ処理装置３０に送られる。
この周期的幅欠陥信号と位置情報とはデータ処理装置３
０内のメモリに記憶されて、種々のデータ加工が行われ
る。また、必要に応じてディスプレイ３１に表示される
他にプリンタ３２を用いてプリントが行われる。そし
て、データ加工された周期性幅欠陥情報やその他の欠陥
情報は、フイルムの加工時に参考にされ、各種欠陥が最
終製品に含まれることがないように利用される。また、
欠陥の原因追求や製造ラインのフィードバック情報とし
ても用いられる。

【００１３】図２は、信号処理部１５の構成を概略的に
示すものである。信号処理部１５は、ＡＧＣ回路２８、
二値化回路２９、幅欠陥検出回路２６、基準クロック発
生回路３５、幅欠陥信号の一時記憶回路４０、ゲート回
路４１、加減算制御回路４２、加減算回路４３、コンパ
レータ４４、積算値記憶回路４５、測長パルス分周回路
４６、周期セルカウンタ４７、レーン番号カウンタ４８
を備えている。

【００１４】レーザー光を受光した受光器１２は、レー
ザー光の光量に対応する光電変換信号をＡＧＣ回路（オ
ート・ゲイン・コントロール回路）２８に出力する。こ
のＡＧＣ回路２８は受光器１２からの光電変換信号を加
算する他に、欠陥がない正常なフイルム１７に対して光
ビームを走査してその検査光を受光器１２に入射させた
ときに、その走査中心線の位置にかかわらず出力信号が
一定レベルになるように光電変換信号を増幅する。ま
た、レーザー発振器２０の劣化等によるパワー変動が起
きても、上述のＡＧＣ回路２８で補償される。

【００１５】ＡＧＣ回路２８からの信号は、バンドパス
フィルタを含む二値化回路２９に入力される。バンドパ
スフィルタは信号に重畳されている低周波及び高周波ノ
イズ信号を除去する。二値化回路２９では、ノイズ信号
が除去された信号を、しきい値により二値化する。これ
により信号は、信号レベルがしきい値以下になったとき
にハイレベルとなる欠陥信号と、それ以外のときにロー
レベルとなる正常信号とに二値化される。そしてこれら
の信号からなる評価信号は、幅欠陥検出回路２６に入力
される。

【００１６】図３に示すように、幅欠陥検出回路２６
は、アンド回路５１、カウンタ５２、デジタルコンパレ
ータ５３及びデジタルスイッチ５４により構成されてい
る。図４は二値化回路２９及び幅欠陥検出回路２６にお
ける各部の出力波形を示している。アンド回路５１は、
ＡＧＣ回路２８からの出力信号Ｓ１がしきい値ＴＨを基
準にしてハイレベルとなっている間だけ基準クロック発
生回路３５からのクロック信号Ｓ２を通過させてカウン
タ回路５２に送る。カウンタ回路５２は、アンド回路５
１から入力した通過クロック信号Ｓ２のクロック数を計
数し、その計数値Ａをデジタルコンパレータ５３に送
る。またカウンタ回路５２は、二値化回路２９からの単
発欠陥信号Ｓ３がハイレベルからローレベルに変化した
時に、計数値Ａをクリアして「０」にする。

【００１７】デジタルコンパレータ５３は、カウンタ回
路５２から入力した計数値Ａが予め定められた基準値Ｂ
と等しくなった瞬間にパルス状の幅欠陥信号Ｓ４を一時
記憶回路４０に送出する。また、デジタルコンパレータ
５３は、計数値Ａが基準値Ｂに達しないときに制御信号
をアンド回路５１に入力している。したがって、計数値
Ａが基準値Ｂと等しくなるとアンド回路５１が閉じられ
る。したがって、アンド回路５１からは基準値Ｂを越え
ない数の通過クロック信号Ｓ４が送出される。なお基準
値Ｂは、検出しようとする欠陥の、フイルム１７の幅方
向における長さに応じて定められ、本実施例においては
「５」とした。

【００１８】周期性欠陥検出部２７は、前記一時記憶回
路４０と、ゲート回路４１と、加減算制御回路４２と、
加減算回路４３と、積算値記憶回路４５と、コンパレー
タ４４と、測長パルス分周回路４６と、周期セルカウン
タ４７と、レーン番号カウンタ４８とから構成されてい
る。

【００１９】一時記憶回路４０には、フイルムを幅方向
に分割するレーンマーククロックが供給されており、こ
のレーンマーククロックに同期して、各レーン毎に幅欠
陥データが記憶される。この一時的に記憶した幅欠陥デ
ータは、レーンマーククロックと同期して、ゲート回路
４１に出力される。ゲート回路４１は同期した検出デー
タを受けるとパルスを発し、その検出区間においてレー
ン毎に幅欠陥が存在することを明示する。さらに、長さ
方向の測長パルスが測長パルス分周回路４６から供給さ
れると、レーン及びこれと直交する方向にフイルム１７
を細分化するフレームとによって画定される区間、すな
わちデータセル毎に所定周期で幅欠陥の検出データが加
減算制御回路４２に入力される。測長パルス分周回路４
６は、フイルム送り機構から出力されるライン測長パル
スを分周することにより、前記フレームに区画するため
のフレーム分割信号を出力する。

【００２０】加減算制御回路４２においては、幅欠陥デ
ータに対しては「＋Ｘ」、正常信号に対しては「−Ｙ」
の重み付けを行う。「＋Ｘ」，「−Ｙ」の設定は、各々
設定スイッチ５５，５６により行われる。なお、重み付
けをしない場合には上記「Ｘ」及び「Ｙ」の値を「１」
とする。すなわち、一時記憶回路４０から出力される２
値化データが幅欠陥信号「１」であるときには、加減算
値「＋１」、正常信号「０」であるときには加減算値
「−１」として、加減算制御回路４２から加減算データ
を出力する。

【００２１】加減算回路４３は、幅欠陥データを分割レ
ーン毎に積算する。積算値記憶回路４５はＲＡＭやシフ
トレジスタから構成されており、この積算値記憶回路４
５は加減算回路４３の出力を記憶する。コンパレータ４
４は加減算回路４３の出力に基づき周期性欠陥の判別を
行なう。このコンパレータ４４には比較値設定スイッチ
５７が設けられており、このスイッチ５７により、周期
性欠陥と判別するためのしきい値しての欠陥個数がコン
パレータ４４の比較値として設定される。

【００２２】また、スキャナ１１からは、幅方向への一
走査ラインを複数レーンに分割するためのレーンマーク
クロックが出力され、このレーンマーククロックはレー
ン番号カウンタ４８に入力される。そして、レーン番号
カウンタ４８は、レーンマーククロックに基づき、レー
ンの分割個数に対応して各々異なったアドレス信号を積
算値記憶回路４５に出力する。

【００２３】前記周期セルカウンタ４７には周期設定ス
イッチ５８が設けられており、このスイッチ５８を操作
することにより、周期セルカウンタ４７には予め分かっ
ている周期が設定される。

【００２４】図５には被検査体としてのフイルム１７の
データセル（単位セル）６０と周期セルとの関係が示さ
れている。なお、符号６２は幅欠陥を示している。本実
施形態では一周期を４データセルとしているので、斜線
で示される領域６１のデータセルが８レーンでの一周期
分のデータセルとなり、例えばデータセルａ１の周期セ
ルは、ｅ１，ｉ１，ｍ１となる。この場合のデータセル
の大きさは、測定誤差（約0.１％以下）やランダム欠陥
あるいはノイズの発生量を考慮して決定しており、例え
ば欠陥の周期が１ｍである場合に、感光乳剤のようにノ
イズが安定している場合は、データセルの流れ方向の長
さを約１０センチメートル程度に設定する。

【００２５】なお、分割レーンの幅については、約１ｃ
ｍもあれば十分な分解能を得ることができる。なぜな
ら、１ｃｍ以内に発生する欠陥は同一の欠陥の範囲と考
えても解析上何ら問題がないからである。従って、２ｍ
〜２．５ｍ幅のフイルム１７を検査する場合は最大２５
６レーンに分割すれば良いことになる。このようにし
て、実施例では４データセル分を一周期とし、周期セル
カウンタ４７は一周期毎にアドレス信号を積算値記憶回
路４５に出力する。この周期セルカウンタ４７によっ
て、周期的にリードライトが行われる。従って、積算値
記憶回路４５には、周期設定スイッチ５８にて設定され
た一周期分、図５の斜線で示されるように、同一レーン
で４データセル分の検出データが記憶されており、積算
値記憶回路４５からは常に一時記憶回路４０に記憶され
ている検出データの一周期前の検出データが読み出され
る。なお、積算値記憶回路４５の積算値を初期値（０）
に戻すためにインバータ７０及びゲート回路７１が設け
られており、コンパレータ４４からの出力が積算値記憶
回路４５に反転入力されるようになっている。

【００２６】次に本実施形態の作用を説明する。図５に
示すように、フイルムの走査はａ，ｂ，ｃ，・・・の走
査列毎に順次行われる。そして、幅欠陥検出回路２６で
は図４に示すように、ＡＧＣ回路２８からの出力信号Ｓ
１に基づき幅欠陥の検出が行われる。そして、クロック
５個分以上の長さの単発欠陥信号が入力されたときにこ
れを幅欠陥と判定し、幅欠陥信号Ｓ４を周期性欠陥検出
部２７に送る。

【００２７】幅欠陥信号は一時記憶回路４０に一時的に
格納される。この一時記憶回路４０には、フイルム１７
を幅方向に分割するレーンマーククロックが供給されて
おり、幅欠陥信号に基づく幅欠陥データはフイルム１７
の幅方向の位置とともに一時記憶される。この幅方向の
走査は所定回数繰り返され、フイルム１７が流れ方向に
１データセル分、例えばａデータセル分だけ進んだこと
が測長パルス分周回路１５で検出されると、一時記憶回
路７に記憶された幅欠陥データは、レーンマーククロッ
クと同期して、ゲート回路４１を介して加減算制御回路
４２に出力される。

【００２８】加減算制御回路４２では、一時記憶回路４
０から供給された幅欠陥データに対して、上述したよう
に、欠陥信号の場合は「＋１」、欠陥信号でない場合は
「−１」の検出データへの変換を行い、この検出データ
を加減算回路４３に出力する。

【００２９】加減算回路４３では、周期毎に検出データ
の加減算を行なうことになるが、まず、８レーンの一周
期分の検出データは周期セルカウンタ４７の出力に基づ
いてそのままデータセル毎に積算値記憶回路４５に記憶
される。この場合、「−１」の記憶は行わない。

【００３０】そして、図５のｅ列の走査が終了すると、
周期セルカウンタ４７により一周期毎に記憶されたデー
タのうちａ列のデータが積算値記憶回路４５から読み出
され、これは加減算制御回路４２から出力される加減算
データと加減算回路４３にて加減算される。この場合、
積算値記憶回路４５には、レーンマーククロックの個数
に対応してレーン番号カウンタ４８によって出力される
レーン番号アドレスが入力されており、周期セルカウン
タ４７とレーン番号カウンタ４８とにより上記検出デー
タはフイルム１７を幅方向で分割したレーンにおける周
期毎に積算記憶されることになる。

【００３１】従って、ａ列についてはｅ列，ｉ列，ｍ列
のデータが、Ｂ列にいつてはｆ列、ｊ列，ｎ列のデータ
が順次データセル毎に加減算され、例えば図６（ａ）に
示すような周期性幅欠陥がある場合には、同図（ｂ）に
示される積算値が記憶されることになる。なお、欠陥無
しの場合の減算データ「−１」は、積算データ「０」で
あるときには減算せず「０」を維持する。

【００３２】このようにして加減算された積算検出デー
タは、コンパレータ４４に入力され、比較値設定スイッ
チ５７で設定された比較値、例えば「４」と比較され
る。そして、加減算値１２の出力「４」を越えたときに
周期性欠陥であると判別して周期性欠陥信号を出力す
る。

【００３３】次に、周期性欠陥を良好に弁別するため
に、加減算制御回路４２の加減算データに重み付けをす
る場合を説明する。この場合には、加減算制御回路４２
に設けた「＋Ｘ」設定スイッチ５５及び「−Ｙ」設定ス
イッチ５６を操作して、加算値「＋Ｘ」及び減算値「−
Ｙ」を必要に応じて異なる数に設定しておく。例えば、
ランダム欠陥の発生が多く誤検出が生じる場合には、加
算値Ｘ＜減算値Ｙとする。また、各欠陥信号が十分に大
きくなくて検出が一部で飛んでしまう場合には加算値Ｘ
＞減算値Ｙとする。これにより、周期性欠陥において個
々の欠陥が飛び飛びで出現する場合でも、これを周期性
欠陥として認識することができる。なお、これらの加減
算値は周期性欠陥の発生状況に応じて適宜設定できるも
のであり、これにより各種発生原因に応じた欠陥の検出
が可能となる。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、連続走行する被検査体
に対してその幅方向に走査する検査光を照射し、被検査
体で反射又は透過した検査光を光電検出し、この検出信
号の信号レベルが増加又は低下した状態を一定長さ以上
保持したときに幅欠陥部であると認識し、この幅欠陥部
に対してその発生の周期性を判定するから、従来のよう
に単発欠陥で周期性を判定することがないので、周期性
欠陥以外の品質には影響のない他の微小欠陥により偶発
的に周期性欠陥信号を発してしまうことがなくなり、周
期性欠陥の検出精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の周期性欠陥検査装置の構成を示す概略
図である。

【図２】信号処理部を示すブロック図である。

【図３】幅欠陥検出回路の一例を示す回路図である。

【図４】幅欠陥を検出するときの各部の波形の概略を示
すタイミングチャートである。

【図５】検査領域の分割方法を示す説明図である。

【図６】被検査体であるフイルムに存在する周期性幅欠
陥とこの欠陥による欠陥データの積算状態の一例を示す
説明図である。

【符号の説明】

１０周期性欠陥検査装置１１スキャナ１２受光器１３光センサ１５信号処理部１７フイルム２０レーザー発振器２５検査光６０データセル６２幅欠陥

フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA49 BB01 CC02 DD00 FF44 GG04 HH04 HH18 JJ03 JJ26 LL62 MM03 MM16 PP02 QQ04 QQ25 QQ47 QQ54 RR09 2G051 AA41 AB02 BA10 BB11 BC06 CA03 CB01 CB02 DA06 EA11 EA12 EA14 EA27 EA30 EB01 FA01 5B057 AA04 BA02 BA30 CA02 CA08 CA12 CA16 CB02 CB06 CB12 CB16 CC01 CE02 CE06 CE12 DA03 DB02 DB05 DB08 DC04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】連続走行する被検査体に対してその幅方
向に走査する検査光を照射し、被検査体で反射又は透過
した検査光を光電検出し、この検出信号の信号レベルが
増加又は低下した状態を一定長さ以上保持したときに幅
欠陥として検出し、この検出した幅欠陥に対してその発
生の周期性を判定することを特徴とする周期性欠陥検査
方法。
【請求項２】走査機構を内蔵した投光器により、連続
走行する被検査体に対してその幅方向に走査する検査光
を照射し、被検査体で反射又は透過した検査光を受光器
で光電検出し、この検出信号に基づいて周期性欠陥の有
無を識別する周期性欠陥検査装置において、前記受光器の検出信号の信号レベルが増加又は低下した
状態を保持している間に基準クロック信号数を計数し、
この計数値が予め定められた基準値を超えた時に幅欠陥
信号を出力する幅欠陥検出手段と、被検査体の幅方向及び長さ方向を細分化して設定された
データセル毎に前記幅欠陥信号を一時的に記憶して、こ
の一時記憶した幅欠陥信号を用いて、長さ方向のデータ
セルにおける周期性の有無を判定する周期性欠陥検出手
段とを備えたことを特徴とする周期性欠陥検査装置。
【請求項３】前記幅欠陥検出手段を、一定の微小間隔
でクロック信号を送出する基準クロック発生回路と、前
記受光器の検出信号の信号レベルが増加又は低下した状
態を保持している間に前記基準クロック発生回路から送
出されたクロック信号数を計数し、この計数値が予め定
められた基準値を超えた時に幅欠陥データを発生する幅
欠陥データ発生手段とから構成し、前記周期性欠陥検出手段を、被検査体の幅方向及び長さ
方向を細分化して設定されたデータセル毎に前記幅欠陥
データを一時的に記憶する一時記憶回路と、この一時記
憶回路に記憶された幅欠陥データを長さ方向のデータセ
ル毎に読み出し、幅欠陥の有無により設定された加減算
のための検出データに変換する加減算制御回路と、幅方
向を分割したレーン毎に出力される分割信号からレーン
番号毎にデータを記憶するためのアドレス領域を確保す
るレーン番号カウンタ回路と、同一レーンにおいて設定
された周期毎にデータセルの検出データを積算するため
のアドレス領域を確保する周期セルカウンタ回路と、こ
の周期セルカウンタ回路の出力に基づいて同一レーンの
検出データを周期セル毎に積算した一周器分の積算デー
タを記憶する積算値記憶回路と、上記加減算制御回路の
出力と積算値記憶回路の出力とを加減算する加減算回路
と、この加減算回路から出力されたデータ積算値が一定
値を超えた時に周期性幅欠陥と判別する比較器とから構
成したことを特徴とする請求項２記載の周期性欠陥検査
装置。