JPH08247721A - 寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定装置Info
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- JPH08247721A JPH08247721A JP5533295A JP5533295A JPH08247721A JP H08247721 A JPH08247721 A JP H08247721A JP 5533295 A JP5533295 A JP 5533295A JP 5533295 A JP5533295 A JP 5533295A JP H08247721 A JPH08247721 A JP H08247721A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 誤差が少なく、移動測定対象物の見逃しもな
い寸法検査装置を提供する。 【構成】 トリガ信号を入力する信号端子１５を備え、
測定対象物５が平行光４内に入ったことを検出した信号
をトリガ信号として信号端子１５に加える。タイミング
発生回路９は、トリガ信号に応答して、投光素子駆動回
路１に瞬間的なタイミング信号を送り、投光素子２をＯ
Ｎする。ここで、初めて平行光４が測定対象物５に照射
され、影部分を除く平行光４がＣＣＤイメージセンサ６
に入光する。
い寸法検査装置を提供する。 【構成】 トリガ信号を入力する信号端子１５を備え、
測定対象物５が平行光４内に入ったことを検出した信号
をトリガ信号として信号端子１５に加える。タイミング
発生回路９は、トリガ信号に応答して、投光素子駆動回
路１に瞬間的なタイミング信号を送り、投光素子２をＯ
Ｎする。ここで、初めて平行光４が測定対象物５に照射
され、影部分を除く平行光４がＣＣＤイメージセンサ６
に入光する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＣＣＤイメージセン
サ等の一次元受光センサを用いて、測定対象物の寸法を
測定する寸法測定装置に関する。
サ等の一次元受光センサを用いて、測定対象物の寸法を
測定する寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＣＤイメージセンサを用いた寸
法測定装置として、投光部から平行光ビームを測定対象
物に照射し、その平行光と影をＣＣＤイメージセンサに
投影し、ＣＣＤイメージセンサの受光信号を読み出して
２値化し、２値化信号の明から暗、暗から明へのエッジ
を検出し、エッジとエッジの区間より測定対象物の寸法
を測定するものがある。この種の寸法測定装置では、Ｃ
ＣＤの読み出し速度で制限される応答時間をもっている
ため、投光素子を発光させるタイミングとして、長い時
間、点灯を継続するか、一瞬光らせるかの別がある。
法測定装置として、投光部から平行光ビームを測定対象
物に照射し、その平行光と影をＣＣＤイメージセンサに
投影し、ＣＣＤイメージセンサの受光信号を読み出して
２値化し、２値化信号の明から暗、暗から明へのエッジ
を検出し、エッジとエッジの区間より測定対象物の寸法
を測定するものがある。この種の寸法測定装置では、Ｃ
ＣＤの読み出し速度で制限される応答時間をもっている
ため、投光素子を発光させるタイミングとして、長い時
間、点灯を継続するか、一瞬光らせるかの別がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来の寸法測定
装置において、図８に示すようにＣＣＤ電荷パルスによ
り、蓄積部の電荷を捨てた後、投光部の投光素子を比較
的長く点灯継続しても、測定対象物が静止している時
は、図７の（ａ）に示すように、ＣＣＤ出力になまりが
生ぜず、誤差なく測定できる。しかし、測定対象物が移
動中の場合は、図７の（ｂ）に示すように、ＣＣＤに投
影される影の部分が測定対象物の移動とともに移動する
ので、ＣＣＤ出力がなまる。そのため、誤差大となる
か、もしくは計測不可能となる。一方、瞬間的に点灯さ
せる場合は、図７の（ｃ）に示すように、点灯タイミン
グによっては、例えばＴ1 時点で点灯した場合、測定対
象物は平行光路に入っていず、次の点灯タイミングで
は、平行光路上を通過している場合に、測定対象物の到
来を見逃してしまうおそれがある。
装置において、図８に示すようにＣＣＤ電荷パルスによ
り、蓄積部の電荷を捨てた後、投光部の投光素子を比較
的長く点灯継続しても、測定対象物が静止している時
は、図７の（ａ）に示すように、ＣＣＤ出力になまりが
生ぜず、誤差なく測定できる。しかし、測定対象物が移
動中の場合は、図７の（ｂ）に示すように、ＣＣＤに投
影される影の部分が測定対象物の移動とともに移動する
ので、ＣＣＤ出力がなまる。そのため、誤差大となる
か、もしくは計測不可能となる。一方、瞬間的に点灯さ
せる場合は、図７の（ｃ）に示すように、点灯タイミン
グによっては、例えばＴ1 時点で点灯した場合、測定対
象物は平行光路に入っていず、次の点灯タイミングで
は、平行光路上を通過している場合に、測定対象物の到
来を見逃してしまうおそれがある。
【０００４】この発明は、上記問題点に着目してなされ
たものであって、誤差が少なく、見逃しも生じない寸法
測定装置を提供することを目的としている。
たものであって、誤差が少なく、見逃しも生じない寸法
測定装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】この出願の特許
請求の範囲の請求項１に係る寸法測定装置は、投光部よ
り平行光ビームを測定対象物に照射し、測定対象物から
の平行光を一次元受光センサで受光し、この一次元受光
センサの出力信号のエッジを検出することにより、測定
対象物の寸法を測定する寸法測定装置において、外部信
号を受ける信号端子と、この信号端子に入力される外部
信号に応答して、投光部を駆動する信号を出力し、この
投光部への駆動信号の出力の後に、一次元受光センサの
受光信号を導出するための信号を出力するタイミング発
生回路とを備えている。
請求の範囲の請求項１に係る寸法測定装置は、投光部よ
り平行光ビームを測定対象物に照射し、測定対象物から
の平行光を一次元受光センサで受光し、この一次元受光
センサの出力信号のエッジを検出することにより、測定
対象物の寸法を測定する寸法測定装置において、外部信
号を受ける信号端子と、この信号端子に入力される外部
信号に応答して、投光部を駆動する信号を出力し、この
投光部への駆動信号の出力の後に、一次元受光センサの
受光信号を導出するための信号を出力するタイミング発
生回路とを備えている。
【０００６】この寸法測定装置では、外部信号を受ける
信号端子を備えているので、移動中の測定対象物が平行
光路内に入ったことを検出すると、信号端子にトリガ信
号を入力する。このトリガ信号に応答して、タイミング
発生回路から投光部に駆動信号を送り、投光部をＯＮす
る。平行光路内に測定対象物が入った時に、投光部をＯ
Ｎできるので、投光部を短いＯＮ時間で瞬時に点灯して
も測定対象物を見逃すことなく、また投光部のＯＮ時間
を短くできるので、なまりによる誤差が生じることもな
い。
信号端子を備えているので、移動中の測定対象物が平行
光路内に入ったことを検出すると、信号端子にトリガ信
号を入力する。このトリガ信号に応答して、タイミング
発生回路から投光部に駆動信号を送り、投光部をＯＮす
る。平行光路内に測定対象物が入った時に、投光部をＯ
Ｎできるので、投光部を短いＯＮ時間で瞬時に点灯して
も測定対象物を見逃すことなく、また投光部のＯＮ時間
を短くできるので、なまりによる誤差が生じることもな
い。
【０００７】また、請求項２に係る寸法測定装置は、投
光部より平行光ビームを測定対象物に照射し、測定対象
物からの平行光を一次元受光センサで受光し、この一次
元受光センサの出力信号のエッジを検出することによ
り、測定対象物の寸法を測定する寸法測定装置におい
て、外部信号を受ける信号端子と、通常時は所定の周期
で間欠的に、前記投光部を駆動する信号を出力し、前記
信号端子に外部信号が入力されると、この外部信号に応
答して、投光部を駆動する信号を出力し、この投光部へ
の駆動信号の出力の後に、一次元受光センサの受光信号
を導出するための信号を出力するタイミング発生回路と
を備えている。
光部より平行光ビームを測定対象物に照射し、測定対象
物からの平行光を一次元受光センサで受光し、この一次
元受光センサの出力信号のエッジを検出することによ
り、測定対象物の寸法を測定する寸法測定装置におい
て、外部信号を受ける信号端子と、通常時は所定の周期
で間欠的に、前記投光部を駆動する信号を出力し、前記
信号端子に外部信号が入力されると、この外部信号に応
答して、投光部を駆動する信号を出力し、この投光部へ
の駆動信号の出力の後に、一次元受光センサの受光信号
を導出するための信号を出力するタイミング発生回路と
を備えている。
【０００８】この寸法測定装置では、外部信号を信号端
子に加えない場合は、タイミング発生回路から所定の周
期で、間欠的な信号を出力し、投光部を駆動するので、
測定対象物が比較的ゆっくり移動している時は、測定対
象物を十分に把えて寸法の測定ができる。測定対象物の
移動速度が上記所定周期に比べて速い場合は、平行光路
内に測定対象物が入るタイミングにトリガ信号を信号端
子に入力し、これに応答してタイミング発生回路が投光
部を駆動する信号を出力するので、測定対象物が平行光
路内にいる間に照射することができ、測定対象物を見逃
すことなく、しかも瞬間的な点灯であるから、受光信号
になまりが生じず、測定誤差が生じることもない。
子に加えない場合は、タイミング発生回路から所定の周
期で、間欠的な信号を出力し、投光部を駆動するので、
測定対象物が比較的ゆっくり移動している時は、測定対
象物を十分に把えて寸法の測定ができる。測定対象物の
移動速度が上記所定周期に比べて速い場合は、平行光路
内に測定対象物が入るタイミングにトリガ信号を信号端
子に入力し、これに応答してタイミング発生回路が投光
部を駆動する信号を出力するので、測定対象物が平行光
路内にいる間に照射することができ、測定対象物を見逃
すことなく、しかも瞬間的な点灯であるから、受光信号
になまりが生じず、測定誤差が生じることもない。
【０００９】
【実施例】以下、実施例により、この発明をさらに詳細
に説明する。図１は、この発明の一実施例寸法測定装置
の構成を示すブロック図である。この寸法測定装置は、
投光部１０と、受光部２０と、処理部３０とから構成さ
れている。
に説明する。図１は、この発明の一実施例寸法測定装置
の構成を示すブロック図である。この寸法測定装置は、
投光部１０と、受光部２０と、処理部３０とから構成さ
れている。
【００１０】投光部１０は、投光素子駆動回路１と、投
光素子２と、コリメートレンズ３とから構成されてい
る。受光部２０は、一次元のＣＣＤイメージセンサ６
と、ＣＣＤ駆動回路７と、アンプ８を備えている。処理
部３０は、タイミング発生回路９と、コンパレータ１１
と、カウンタ１２と、クロック発生回路１３と、測定値
出力回路１４とから構成されている。タイミング発生回
路９には信号端子１５を備え、外部からトリガ信号が入
力可能になっている。
光素子２と、コリメートレンズ３とから構成されてい
る。受光部２０は、一次元のＣＣＤイメージセンサ６
と、ＣＣＤ駆動回路７と、アンプ８を備えている。処理
部３０は、タイミング発生回路９と、コンパレータ１１
と、カウンタ１２と、クロック発生回路１３と、測定値
出力回路１４とから構成されている。タイミング発生回
路９には信号端子１５を備え、外部からトリガ信号が入
力可能になっている。
【００１１】この寸法測定装置では、タイミング発生回
路９より投光タイミング信号が入力されると、投光素子
駆動回路１は投光素子２を駆動する。投光素子２からの
光は、コリメートレンズ３で平行光ビーム４とされ、測
定対象物５に照射され、ＣＣＤイメージセンサ６に入光
し、測定対象物５の影が検出される。ＣＣＤイメージセ
ンサ６は、ＣＣＤ駆動回路７よりのクロック信号で駆動
され、受光信号を出力する。ＣＣＤイメージセンサ６の
出力信号はアンプ８で増幅され、処理部３０に送られ
る。
路９より投光タイミング信号が入力されると、投光素子
駆動回路１は投光素子２を駆動する。投光素子２からの
光は、コリメートレンズ３で平行光ビーム４とされ、測
定対象物５に照射され、ＣＣＤイメージセンサ６に入光
し、測定対象物５の影が検出される。ＣＣＤイメージセ
ンサ６は、ＣＣＤ駆動回路７よりのクロック信号で駆動
され、受光信号を出力する。ＣＣＤイメージセンサ６の
出力信号はアンプ８で増幅され、処理部３０に送られ
る。
【００１２】処理部３０では、コンパレータ１１がアン
プ８からの信号と、閾値Ｖref と比較し、２値化し、測
定対象物５の影の部分に相当するゲート信号を作り、そ
のゲート信号の間をクロック発生回路１３よりのクロッ
ク信号をカウンタ１２でカウントする。そのカウント値
を測定値出力回路１４で出力する。なお、入力端子１５
に、外部よりトリガ信号が入力されると、タイミング発
生回路９は、これに応答して投光素子駆動回路１及びＣ
ＣＤ駆動回路７を駆動させるタイミング信号を出力す
る。
プ８からの信号と、閾値Ｖref と比較し、２値化し、測
定対象物５の影の部分に相当するゲート信号を作り、そ
のゲート信号の間をクロック発生回路１３よりのクロッ
ク信号をカウンタ１２でカウントする。そのカウント値
を測定値出力回路１４で出力する。なお、入力端子１５
に、外部よりトリガ信号が入力されると、タイミング発
生回路９は、これに応答して投光素子駆動回路１及びＣ
ＣＤ駆動回路７を駆動させるタイミング信号を出力す
る。
【００１３】図２は、上記実施例寸法測定装置における
駆動動作を説明するためのタイムチャートである。この
実施例では、タイミング発生回路９は外部から図２の
（ａ）に示すトリガ信号が入力された場合にのみ、図２
の（ｂ）に示す投光素子２をＯＮする信号を投光素子駆
動回路１に与え、その間の投光素子２をＯＮして、ＣＣ
Ｄイメージセンサ６に電荷蓄積される。そして、図２の
（ｃ）に示すＣＣＤ電荷パルスで電荷転送し、その後、
ＣＣＤ駆動回路７からのクロックにより、ＣＣＤイメー
ジセンサ６の出力を得る〔図２の（ｄ）〕。この実施例
では、トリガ信号を測定対象物の検知信号とすれば、こ
れに応答して発光素子２が瞬時に点灯するので、測定対
象物を見逃すことなく、また出力信号がなまることな
く、寸法測定ができる。ここで、図２の（ｂ）の投光素
子をＯＮする時間は、０．１ｎｓｅｃから２ｎｓｅｃ程
度に、図２の（ｄ）のＣＣＤ出力信号の読み出し時間
は、１０μｓｅｃ〜２００μｓｅｃ程度に選択され、両
者の比率は１：５〜１：２００程度とされる。比率を具
体的に設定する場合、物体の移動速度、投光回路、ＣＣ
Ｄ感度によって決定される。
駆動動作を説明するためのタイムチャートである。この
実施例では、タイミング発生回路９は外部から図２の
（ａ）に示すトリガ信号が入力された場合にのみ、図２
の（ｂ）に示す投光素子２をＯＮする信号を投光素子駆
動回路１に与え、その間の投光素子２をＯＮして、ＣＣ
Ｄイメージセンサ６に電荷蓄積される。そして、図２の
（ｃ）に示すＣＣＤ電荷パルスで電荷転送し、その後、
ＣＣＤ駆動回路７からのクロックにより、ＣＣＤイメー
ジセンサ６の出力を得る〔図２の（ｄ）〕。この実施例
では、トリガ信号を測定対象物の検知信号とすれば、こ
れに応答して発光素子２が瞬時に点灯するので、測定対
象物を見逃すことなく、また出力信号がなまることな
く、寸法測定ができる。ここで、図２の（ｂ）の投光素
子をＯＮする時間は、０．１ｎｓｅｃから２ｎｓｅｃ程
度に、図２の（ｄ）のＣＣＤ出力信号の読み出し時間
は、１０μｓｅｃ〜２００μｓｅｃ程度に選択され、両
者の比率は１：５〜１：２００程度とされる。比率を具
体的に設定する場合、物体の移動速度、投光回路、ＣＣ
Ｄ感度によって決定される。
【００１４】図３は、この発明の他の実施例寸法測定装
置の駆動動作を説明するためのタイムチャートである。
この実施例寸法測定装置の回路構成は、タイミング発生
回路９の機能が相違する他は、図１のものと同様であ
る。この場合は、図２の場合と相違し、投光素子２は、
タイミング発生回路９からの定周期Ｔの信号により〔図
３の（ｂ）〕、間欠的にＯＮされ、かつ外部からのトリ
ガ信号〔図３の（ａ）〕が入力された場合も、これに応
答して、投光素子２がＯＮされるようになっている。す
なわち、常時は、タイミング発生回路９からＣＣＤ駆動
回路７へのＣＣＤ電荷転送パルスを出力して、ＣＣＤに
蓄えられていた電荷を消去するとともに、続いて投光素
子２をＯＮする（Ｐ1 パルス）。この投光素子２のＯＮ
により、ＣＣＤイメージセンサ６に投影した出力信号
は、次の投光素子２のＯＮタイミング時に出力される。
置の駆動動作を説明するためのタイムチャートである。
この実施例寸法測定装置の回路構成は、タイミング発生
回路９の機能が相違する他は、図１のものと同様であ
る。この場合は、図２の場合と相違し、投光素子２は、
タイミング発生回路９からの定周期Ｔの信号により〔図
３の（ｂ）〕、間欠的にＯＮされ、かつ外部からのトリ
ガ信号〔図３の（ａ）〕が入力された場合も、これに応
答して、投光素子２がＯＮされるようになっている。す
なわち、常時は、タイミング発生回路９からＣＣＤ駆動
回路７へのＣＣＤ電荷転送パルスを出力して、ＣＣＤに
蓄えられていた電荷を消去するとともに、続いて投光素
子２をＯＮする（Ｐ1 パルス）。この投光素子２のＯＮ
により、ＣＣＤイメージセンサ６に投影した出力信号
は、次の投光素子２のＯＮタイミング時に出力される。
【００１５】常時の駆動サイクルの投光素子２のＯＮの
間のＯＦＦ時に、外部よりトリガ信号が入ると、これに
応答してタイミング発生回路９はＣＣＤ電荷転送パルス
を出力し、ＣＣＤ駆動回路７に与えて、ＣＣＤイメージ
センサ６に供給して、ＣＣＤに蓄えられていた電荷をす
てるとともに、投光素子２もＯＮする（パルスＰ2 ）。
そして、やはり次のサイクルタイミングにＣＣＤイメー
ジセンサ６の受光信号を出力する。図４は、常時の投光
素子２のＯＮ時に、トリガ信号が入力された場合のタイ
ムチャートである。 図５は、図３、図４のタイミング
制御を行うためのタイミング発生回路９の内部構成を示
すブロック図である。このタイミング発生回路９は、ク
ロック用の発振器９１と、カウンタ９２と、タイミング
発生ロジック部９３と、ＯＲゲート９４とから構成され
ている。このタイミング発生回路９では、発振器９１か
らのクロックをカウンタ９２でカウントする。タイミン
グ発生ロジック部９３は、カウンタ９２のカウント値が
図６の（ａ）に示すクロックのａ〜ｂの間に、図６の
（ｂ）の如き、ＣＣＤ電荷転送パルスを発生し、カウン
ト値がｃ〜ｄの間に図６の（ｃ）の如き、投光素子２を
ＯＮするパルスを発生し、ＣＣＤ出力の読み出し終了
後、カウント値ｅでカウンタ９２をクリアする。外部よ
り、トリガ信号が入力されると、ＯＲゲート９４を介し
て、カウンタ９２がクリアされ、以後、すぐに上記と同
様の動作に入る。この実施例での投光素子のＯＮ時間、
ＣＣＤ出力信号の読み出し時間も、図２の場合と同様に
設定される。
間のＯＦＦ時に、外部よりトリガ信号が入ると、これに
応答してタイミング発生回路９はＣＣＤ電荷転送パルス
を出力し、ＣＣＤ駆動回路７に与えて、ＣＣＤイメージ
センサ６に供給して、ＣＣＤに蓄えられていた電荷をす
てるとともに、投光素子２もＯＮする（パルスＰ2 ）。
そして、やはり次のサイクルタイミングにＣＣＤイメー
ジセンサ６の受光信号を出力する。図４は、常時の投光
素子２のＯＮ時に、トリガ信号が入力された場合のタイ
ムチャートである。 図５は、図３、図４のタイミング
制御を行うためのタイミング発生回路９の内部構成を示
すブロック図である。このタイミング発生回路９は、ク
ロック用の発振器９１と、カウンタ９２と、タイミング
発生ロジック部９３と、ＯＲゲート９４とから構成され
ている。このタイミング発生回路９では、発振器９１か
らのクロックをカウンタ９２でカウントする。タイミン
グ発生ロジック部９３は、カウンタ９２のカウント値が
図６の（ａ）に示すクロックのａ〜ｂの間に、図６の
（ｂ）の如き、ＣＣＤ電荷転送パルスを発生し、カウン
ト値がｃ〜ｄの間に図６の（ｃ）の如き、投光素子２を
ＯＮするパルスを発生し、ＣＣＤ出力の読み出し終了
後、カウント値ｅでカウンタ９２をクリアする。外部よ
り、トリガ信号が入力されると、ＯＲゲート９４を介し
て、カウンタ９２がクリアされ、以後、すぐに上記と同
様の動作に入る。この実施例での投光素子のＯＮ時間、
ＣＣＤ出力信号の読み出し時間も、図２の場合と同様に
設定される。
【００１６】
【発明の効果】この発明によれば、外部入力端子を設
け、外部からの信号により発光素子を瞬時に点灯するも
のであるから、移動する測定対象物でも誤差を小さく、
かつ見逃すことなく測定できる。また、一次元受光セン
サの信号読み出し時間に、余裕ができるため、ハードの
動作周波数を低くでき、コストを低減でき、耐ノイズ性
が向上する、という効果がある。
け、外部からの信号により発光素子を瞬時に点灯するも
のであるから、移動する測定対象物でも誤差を小さく、
かつ見逃すことなく測定できる。また、一次元受光セン
サの信号読み出し時間に、余裕ができるため、ハードの
動作周波数を低くでき、コストを低減でき、耐ノイズ性
が向上する、という効果がある。
【図１】この発明の一実施例寸法測定装置の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】同実施例寸法測定装置のタイミング発生回路の
動作を説明するタイムチャートである。
動作を説明するタイムチャートである。
【図３】この発明の他の実施例寸法測定装置のタイミン
グ発生回路の動作を説明するタイムチャートである。
グ発生回路の動作を説明するタイムチャートである。
【図４】同実施例寸法測定装置における常時の投光素子
ＯＮ時と、トリガ入力が重なった場合を説明するタイム
チャートである。
ＯＮ時と、トリガ入力が重なった場合を説明するタイム
チャートである。
【図５】同実施例寸法測定装置のタイミング発生回路の
構成例を示すブロック図である。
構成例を示すブロック図である。
【図６】同タイミング発生回路の動作を説明するための
タイムチャートである。
タイムチャートである。
【図７】従来の寸法測定装置の課題を説明するための図
である。
である。
【図８】従来の寸法測定装置の投光、出力読み出しタイ
ミングを説明するタイムチャートである。
ミングを説明するタイムチャートである。
１ 投光素子駆動回路 ２ 投光素子 ４ 平行光 ５ 測定対象物 ６ ＣＣＤイメージセンサ ９ タイミング発生回路 １５ 信号端子
Claims (2)
- 【請求項１】投光部より平行光ビームを測定対象物に照
射し、測定対象物からの平行光を一次元受光センサで受
光し、この一次元受光センサの出力信号のエッジを検出
することにより、測定対象物の寸法を測定する寸法測定
装置において、 外部信号を受ける信号端子と、この信号端子に入力され
る外部信号に応答して、投光部を駆動する信号を出力
し、この投光部への駆動信号の出力の後に、一次元受光
センサの受光信号を導出するための信号を出力するタイ
ミング発生回路とを備えたことを特徴とする寸法測定装
置。 - 【請求項２】投光部より平行光ビームを測定対象物に照
射し、測定対象物からの平行光を一次元受光センサで受
光し、この一次元受光センサの出力信号のエッジを検出
することにより、測定対象物の寸法を測定する寸法測定
装置において、 外部信号を受ける信号端子と、通常時は所定の周期で間
欠的に、前記投光部を駆動する信号を出力し、前記信号
端子に外部信号が入力されると、この外部信号に応答し
て、前記投光部を駆動する信号を出力し、この投光部へ
の駆動信号の出力の後に、一次元受光センサの受光信号
を導出するための信号を出力するタイミング発生回路と
を備えたことを特徴とする寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5533295A JPH08247721A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5533295A JPH08247721A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247721A true JPH08247721A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=12995591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5533295A Pending JPH08247721A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247721A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008032678A (ja) | 2006-06-29 | 2008-02-14 | Naberu:Kk | 卵の品質指標検査装置 |
| WO2016067518A1 (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | 信越半導体株式会社 | 研磨装置 |
-
1995
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