JPH09269297A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH09269297A JPH09269297A JP7877696A JP7877696A JPH09269297A JP H09269297 A JPH09269297 A JP H09269297A JP 7877696 A JP7877696 A JP 7877696A JP 7877696 A JP7877696 A JP 7877696A JP H09269297 A JPH09269297 A JP H09269297A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】低コストで、しかも簡単な構成で、欠陥の長さ
と強さとを総合して判定することが可能である。 【解決手段】対象検査物２表面からの検出光を受光セン
サ２１にて光電変換し、この光電変換した検出信号を用
いて表面欠陥を検出する表面検査装置において、検出信
号から複数の欠陥レベルを弁別する多値化処理部３１
と、対象検査物２の幅手分割単位毎に多値化処理部３１
の出力を２nの形で重み付けした値と、一回前の走査時
の積算結果を蓄える積算メモリ３４からの出力と、欠陥
がない時に負の規定値とを積算する積算処理部３３と、
積算結果が基準値を超えた時、欠陥出力を出し、欠陥出
力後は、基準値よりも積算結果が小さくなった時欠陥出
力を止める判定処理部３７と、を備えている。
と強さとを総合して判定することが可能である。 【解決手段】対象検査物２表面からの検出光を受光セン
サ２１にて光電変換し、この光電変換した検出信号を用
いて表面欠陥を検出する表面検査装置において、検出信
号から複数の欠陥レベルを弁別する多値化処理部３１
と、対象検査物２の幅手分割単位毎に多値化処理部３１
の出力を２nの形で重み付けした値と、一回前の走査時
の積算結果を蓄える積算メモリ３４からの出力と、欠陥
がない時に負の規定値とを積算する積算処理部３３と、
積算結果が基準値を超えた時、欠陥出力を出し、欠陥出
力後は、基準値よりも積算結果が小さくなった時欠陥出
力を止める判定処理部３７と、を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばシート状
物等の表面検査において、主として表面欠陥の長さと強
さとを総合して判定する表面検査装置に関する。
物等の表面検査において、主として表面欠陥の長さと強
さとを総合して判定する表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、感光フィルムやコーティング紙
等の生産において発生する欠陥の殆どは、その生産方法
の特徴からスポット状か或いは搬送方向に長い欠陥が多
い。
等の生産において発生する欠陥の殆どは、その生産方法
の特徴からスポット状か或いは搬送方向に長い欠陥が多
い。
【０００３】このようなシート状物等の連続性欠陥を検
出するものでは、例えば図４に示すように検出信号を二
値化して積算し欠陥の判定を行ない、重み付け加算の重
み付け値を変更することで連続性欠陥と断続性欠陥を判
別するものがある。
出するものでは、例えば図４に示すように検出信号を二
値化して積算し欠陥の判定を行ない、重み付け加算の重
み付け値を変更することで連続性欠陥と断続性欠陥を判
別するものがある。
【０００４】また、シート状物等の欠陥の強さを検出す
るものでは、例えば図５に示すように検出信号を多値化
してそれぞれ積算カウンタで積算し欠陥の判定を行なも
のがある。
るものでは、例えば図５に示すように検出信号を多値化
してそれぞれ積算カウンタで積算し欠陥の判定を行なも
のがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前者のもの
では、欠陥の発生箇所は分かるが、２値化のため、欠陥
支障度の判定精度が悪いという問題があった。また、欠
陥の強さが基準値以上だと、シ−ト状物の欠陥箇所、ま
たは同じ長手のシートの両端にラベル、マーク等を付
け、後工程で欠陥部を自動切除する方法が知られている
が、欠陥の支障度が正確に分からないため自動化出来ず
生産性を落とすという問題があった。また、後者のもの
では、欠陥の支障度の判定ができるが長さを加味した判
定ができなかった。
では、欠陥の発生箇所は分かるが、２値化のため、欠陥
支障度の判定精度が悪いという問題があった。また、欠
陥の強さが基準値以上だと、シ−ト状物の欠陥箇所、ま
たは同じ長手のシートの両端にラベル、マーク等を付
け、後工程で欠陥部を自動切除する方法が知られている
が、欠陥の支障度が正確に分からないため自動化出来ず
生産性を落とすという問題があった。また、後者のもの
では、欠陥の支障度の判定ができるが長さを加味した判
定ができなかった。
【０００６】このように、長い欠陥と短い欠陥を共通の
回路で精度良く検出する方法がなかった。また、長い欠
陥と短い欠陥をそれぞれ別の回路で実現しようとする
と、コストアップになる。さらに、欠陥の強さが搬送方
向に微かに強弱する場合、１つの欠陥を複数の欠陥とし
て検出してしまうことがあった。
回路で精度良く検出する方法がなかった。また、長い欠
陥と短い欠陥をそれぞれ別の回路で実現しようとする
と、コストアップになる。さらに、欠陥の強さが搬送方
向に微かに強弱する場合、１つの欠陥を複数の欠陥とし
て検出してしまうことがあった。
【０００７】この発明は、かかる実情に鑑みてなされた
もので、低コストで、しかも簡単な構成で、欠陥の長さ
と強さとを総合して判定することが可能な表面検査装置
を提供することを目的としている。
もので、低コストで、しかも簡単な構成で、欠陥の長さ
と強さとを総合して判定することが可能な表面検査装置
を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、かつ目的を達成するために、請求項１記載の発明
は、対象検査物表面からの検出光を受光センサにて光電
変換し、この光電変換した検出信号を用いて表面欠陥を
検出する表面検査装置において、前記検出信号から複数
の欠陥レベルを弁別する多値化処理部と、前記対象検査
物の幅手分割単位毎に前記多値化処理部の出力を２nの
形で重み付けした値と、一回前の走査時の積算結果を蓄
える積算メモリからの出力と、欠陥がない時に負の規定
値とを積算する積算処理部と、積算結果が基準値を超え
た時、欠陥出力を出し、欠陥出力後は、基準値よりも積
算結果が小さくなった時欠陥出力を止める判定処理部
と、を備えることを特徴としている。
に、かつ目的を達成するために、請求項１記載の発明
は、対象検査物表面からの検出光を受光センサにて光電
変換し、この光電変換した検出信号を用いて表面欠陥を
検出する表面検査装置において、前記検出信号から複数
の欠陥レベルを弁別する多値化処理部と、前記対象検査
物の幅手分割単位毎に前記多値化処理部の出力を２nの
形で重み付けした値と、一回前の走査時の積算結果を蓄
える積算メモリからの出力と、欠陥がない時に負の規定
値とを積算する積算処理部と、積算結果が基準値を超え
た時、欠陥出力を出し、欠陥出力後は、基準値よりも積
算結果が小さくなった時欠陥出力を止める判定処理部
と、を備えることを特徴としている。
【０００９】対象検査物の幅手分割単位毎に重み付けし
た値として積算し、基準値を越えた時に筋状欠陥の発生
と判断し、連続性欠陥について、欠陥の発生場所だけで
なく、欠陥の強さも評価でき、また長い欠陥も、短い欠
陥も共通の構成で判定でき、コストダウンが可能であ
る。また、断続的な欠陥あるいは強弱が長手にある欠陥
を検出した場合でも、１つの欠陥として出力できる。
た値として積算し、基準値を越えた時に筋状欠陥の発生
と判断し、連続性欠陥について、欠陥の発生場所だけで
なく、欠陥の強さも評価でき、また長い欠陥も、短い欠
陥も共通の構成で判定でき、コストダウンが可能であ
る。また、断続的な欠陥あるいは強弱が長手にある欠陥
を検出した場合でも、１つの欠陥として出力できる。
【００１０】請求項２記載の発明は、前記判定処理部
が、欠陥判定基準位置よりもヒステリシス分だけ積算結
果が小さくなった時欠陥出力を止めるヒステリシス機構
を有することを特徴としている。このように、判定処理
部が、ヒステリシスをもって欠陥の終了を判定するの
で、搬送方向の強さが多少変化する欠陥でも１つの欠陥
として判断できる。
が、欠陥判定基準位置よりもヒステリシス分だけ積算結
果が小さくなった時欠陥出力を止めるヒステリシス機構
を有することを特徴としている。このように、判定処理
部が、ヒステリシスをもって欠陥の終了を判定するの
で、搬送方向の強さが多少変化する欠陥でも１つの欠陥
として判断できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の表面検査装置の
実施例を図面に基づいて説明する。
実施例を図面に基づいて説明する。
【００１２】図１は表面検査装置の概略構成図、図２は
検出信号とスレショルドレベルとの関係を示す図、図３
は表面検査装置による処理を示す図である。
検出信号とスレショルドレベルとの関係を示す図、図３
は表面検査装置による処理を示す図である。
【００１３】表面検査装置１は、対象検査物２の検査面
に光を照射する光照射手段３と、検査面からの反射光ま
たは透過光を受光する受光手段４と、この受光手段４の
出力信号に基づいて検査面に存在する欠陥を検出する検
査手段５とを有している。対象検査物２は、この実施例
では、感光フィルムやコーティング紙等のシート材であ
り、回転ロール６によって搬送される。
に光を照射する光照射手段３と、検査面からの反射光ま
たは透過光を受光する受光手段４と、この受光手段４の
出力信号に基づいて検査面に存在する欠陥を検出する検
査手段５とを有している。対象検査物２は、この実施例
では、感光フィルムやコーティング紙等のシート材であ
り、回転ロール６によって搬送される。
【００１４】光照射手段３は、レーザ１０、フォーカシ
ング光学系１１、ポリゴンミラー１２等から構成され
る。レーザ１０から出力されたレーザビームは、フォー
カシング光学系１１を通り、ポリゴンミラー１２を経て
対象検査物２の表面に適切なビーム系で幅手方向へ走査
される。
ング光学系１１、ポリゴンミラー１２等から構成され
る。レーザ１０から出力されたレーザビームは、フォー
カシング光学系１１を通り、ポリゴンミラー１２を経て
対象検査物２の表面に適切なビーム系で幅手方向へ走査
される。
【００１５】受光手段４は、対象検査物２の幅手方向に
沿って配置され、この実施例では検査面からの反射光を
受光する。受光手段４は、レシーバ２０の両側に配置さ
れた受光センサ２１を有し、対象検査物２の表面からの
検出光を光電変換し、この検出信号を検査手段５に送
る。
沿って配置され、この実施例では検査面からの反射光を
受光する。受光手段４は、レシーバ２０の両側に配置さ
れた受光センサ２１を有し、対象検査物２の表面からの
検出光を光電変換し、この検出信号を検査手段５に送
る。
【００１６】検査手段５は、受光手段４の出力信号に基
づいて対象検査物２の検査面に存在する欠陥を検出する
ものであり、受光センサ２１からの検出信号がフィルタ
３０を介して多値化処理部３１に入力される。多値化処
理部３１は、欠陥の強さを２つ以上に分類するものであ
り、検出信号から図２に示すように検出信号とスレショ
ルドレベルとの比較に基づき複数の欠陥レベルｓ，ｍ，
ｌを弁別する。多値化処理部３１の出力ｓ（２n），ｍ
（２n），ｌ（２n）は、２nで定義され、ｎは整数であ
る。この多値化処理部３１の出力は、ビット出力であ
り、ラッチ部３２でラッチし、積算処理部３３へ送るよ
うに構成されている。
づいて対象検査物２の検査面に存在する欠陥を検出する
ものであり、受光センサ２１からの検出信号がフィルタ
３０を介して多値化処理部３１に入力される。多値化処
理部３１は、欠陥の強さを２つ以上に分類するものであ
り、検出信号から図２に示すように検出信号とスレショ
ルドレベルとの比較に基づき複数の欠陥レベルｓ，ｍ，
ｌを弁別する。多値化処理部３１の出力ｓ（２n），ｍ
（２n），ｌ（２n）は、２nで定義され、ｎは整数であ
る。この多値化処理部３１の出力は、ビット出力であ
り、ラッチ部３２でラッチし、積算処理部３３へ送るよ
うに構成されている。
【００１７】ラッチ部３２、積算処理部３３、積算メモ
リ３４及び幅手アドレス発生部３５には、幅手処理単位
発生部３６からのスキャン基本クロックに基づき幅手処
理単位を決める幅手分割パルスが入力される。幅手アド
レス発生部３５及び幅手処理単位発生部３６は、ＳＹＮ
Ｃで同期され、幅手アドレス発生部３５では幅手単位ア
ドレスを決め、その出力により積算メモリ３４にアドレ
スが設定される。
リ３４及び幅手アドレス発生部３５には、幅手処理単位
発生部３６からのスキャン基本クロックに基づき幅手処
理単位を決める幅手分割パルスが入力される。幅手アド
レス発生部３５及び幅手処理単位発生部３６は、ＳＹＮ
Ｃで同期され、幅手アドレス発生部３５では幅手単位ア
ドレスを決め、その出力により積算メモリ３４にアドレ
スが設定される。
【００１８】積算処理部３３では、対象検査物２の幅手
分割単位毎にｓ（２n），ｍ（２n），ｌ（２n）値を加
算し、またｓ（２n），ｍ（２n），ｌ（２n）の出力が
ないときはＮ（≦φ）を加算し、これらの結果を判定処
理部３７へ出力すると共に、積算メモリ３４の指定アド
レスに保持する。このように、積算処理部３３では、図
３に示すように対象検査物２の幅手分割単位毎に多値化
処理部３１の出力を２nの形で重み付けした値と、一回
前の走査時の積算結果を蓄える積算メモリ３４からの出
力と、欠陥がない時に負の規定値とを積算する。
分割単位毎にｓ（２n），ｍ（２n），ｌ（２n）値を加
算し、またｓ（２n），ｍ（２n），ｌ（２n）の出力が
ないときはＮ（≦φ）を加算し、これらの結果を判定処
理部３７へ出力すると共に、積算メモリ３４の指定アド
レスに保持する。このように、積算処理部３３では、図
３に示すように対象検査物２の幅手分割単位毎に多値化
処理部３１の出力を２nの形で重み付けした値と、一回
前の走査時の積算結果を蓄える積算メモリ３４からの出
力と、欠陥がない時に負の規定値とを積算する。
【００１９】また、積算処理部３３は、Ｓ積算値とｓ，
ｍ，ｌ総合積算値のＳ（２）の出力を単独に積算し、欠
陥の長さ情報を得る。なお、積算処理部３３はＴＴＬ、
ＣーＭＯＳ等で構成してもよいし、図１で判定処理部３
７を含めワンチップマイコン等で構成してもよい。いず
れにしても、２のべき乗で定義した信号を積算するので
簡単な構成でしかも高速に処理できる。
ｍ，ｌ総合積算値のＳ（２）の出力を単独に積算し、欠
陥の長さ情報を得る。なお、積算処理部３３はＴＴＬ、
ＣーＭＯＳ等で構成してもよいし、図１で判定処理部３
７を含めワンチップマイコン等で構成してもよい。いず
れにしても、２のべき乗で定義した信号を積算するので
簡単な構成でしかも高速に処理できる。
【００２０】判定処理部３７では、積算結果が判定の基
準値を超えた時、欠陥出力を出し、欠陥出力後は、判定
の基準値よりもヒステリシス値だけ積算結果が小さくな
った時欠陥出力を止めるヒステリシス機構を有し、図３
に示すように乱打点しないようにしている。判定処理部
３７では、ヒステリシスを設けることで図３に示すよう
に搬送方向に強弱がある欠陥に対しても１つの欠陥と出
力可能であり、欠陥が切れたと誤判定されることが防止
される。
準値を超えた時、欠陥出力を出し、欠陥出力後は、判定
の基準値よりもヒステリシス値だけ積算結果が小さくな
った時欠陥出力を止めるヒステリシス機構を有し、図３
に示すように乱打点しないようにしている。判定処理部
３７では、ヒステリシスを設けることで図３に示すよう
に搬送方向に強弱がある欠陥に対しても１つの欠陥と出
力可能であり、欠陥が切れたと誤判定されることが防止
される。
【００２１】また、判定処理部３７では、積算処理部３
３のＳ積算値がスポット／連続欠陥判定値以上であれ
ば、連続欠陥、それ以下であればスポット欠陥と判断す
る。判定処理部３７からの出力によりＣＰＵ３８では、
判定結果をプリンタ３９へ出力したり、ＣＲＴ４０に出
力する。
３のＳ積算値がスポット／連続欠陥判定値以上であれ
ば、連続欠陥、それ以下であればスポット欠陥と判断す
る。判定処理部３７からの出力によりＣＰＵ３８では、
判定結果をプリンタ３９へ出力したり、ＣＲＴ４０に出
力する。
【００２２】このように、対象検査物２の幅手分割単位
毎に重み付けした値として積算し、基準値を越えた時に
筋状欠陥の発生と判断し、連続性欠陥について、欠陥の
発生場所だけでなく、欠陥の支障度も評価でき、また長
い欠陥も、短い欠陥も共通の構成で判定できコストダウ
ンが可能である。また、断続的な欠陥あるいは強弱が長
手にある欠陥を検出した場合でも、１つの欠陥として出
力できる。従来は長手フレ−ム毎に処理しているため、
フレ−ムにまたがる欠陥の処理が必要であり、また処理
や構成が複雑になってしまっていたが、フレ−ムを意識
せず簡単に処理でき、ＣＰＵ３８に欠陥が発生したこと
を知らせるのみで良い。
毎に重み付けした値として積算し、基準値を越えた時に
筋状欠陥の発生と判断し、連続性欠陥について、欠陥の
発生場所だけでなく、欠陥の支障度も評価でき、また長
い欠陥も、短い欠陥も共通の構成で判定できコストダウ
ンが可能である。また、断続的な欠陥あるいは強弱が長
手にある欠陥を検出した場合でも、１つの欠陥として出
力できる。従来は長手フレ−ム毎に処理しているため、
フレ−ムにまたがる欠陥の処理が必要であり、また処理
や構成が複雑になってしまっていたが、フレ−ムを意識
せず簡単に処理でき、ＣＰＵ３８に欠陥が発生したこと
を知らせるのみで良い。
【００２３】
【発明の効果】前記したように、請求項１記載の発明
は、対象検査物の幅手分割単位毎に重み付けした値とし
て積算し、基準値を越えた時に筋状欠陥の発生と判断す
るから、連続性欠陥について、欠陥の発生場所だけでな
く、欠陥の支障度も評価でき、また長い欠陥も、短い欠
陥も共通の構成で判定できコストダウンが可能である。
は、対象検査物の幅手分割単位毎に重み付けした値とし
て積算し、基準値を越えた時に筋状欠陥の発生と判断す
るから、連続性欠陥について、欠陥の発生場所だけでな
く、欠陥の支障度も評価でき、また長い欠陥も、短い欠
陥も共通の構成で判定できコストダウンが可能である。
【００２４】また、断続的な欠陥あるいは強弱が長手に
ある欠陥を検出した場合でも、１つの欠陥として出力で
き、従来は長手フレ−ム毎に処理しているため、フレ−
ムにまたがる欠陥の処理が必要であり、また複雑になっ
てしまっていたが、フレ−ムを意識せず簡単に処理でき
る。
ある欠陥を検出した場合でも、１つの欠陥として出力で
き、従来は長手フレ−ム毎に処理しているため、フレ−
ムにまたがる欠陥の処理が必要であり、また複雑になっ
てしまっていたが、フレ−ムを意識せず簡単に処理でき
る。
【００２５】請求項２記載の発明は、判定処理部が、ヒ
ステリシスをもって欠陥の終了を判定するので搬送方向
に強さが多少変化する欠陥でも１つの欠陥として判断で
きるようになった。
ステリシスをもって欠陥の終了を判定するので搬送方向
に強さが多少変化する欠陥でも１つの欠陥として判断で
きるようになった。
【図１】表面検査装置の概略構成図である。
【図２】検出信号とスレショルドレベルとの関係を示す
図である。
図である。
【図３】表面検査装置による処理を示す図である。
【図４】従来の欠陥検出回路図である。
【図５】従来の欠陥検出回路図である。
１ 表面検査装置 ２ 対象検査物 ３ 光照射手段 ４ 受光手段 ５ 検査手段 ３１ 多値化処理部 ３３ 積算処理部 ３４ 積算メモリ ３７ 判定処理部
Claims (2)
- 【請求項１】対象検査物表面からの検出光を受光センサ
にて光電変換し、この光電変換した検出信号を用いて表
面欠陥を検出する表面検査装置において、前記検出信号
から複数の欠陥レベルを弁別する多値化処理部と、前記
対象検査物の幅手分割単位毎に前記多値化処理部の出力
を２nの形で重み付けした値と、一回前の走査時の積算
結果を蓄える積算メモリからの出力と、欠陥がない時に
負の規定値とを積算する積算処理部と、積算結果が基準
値を超えた時、欠陥出力を出し、欠陥出力後は、基準値
よりも積算結果が小さくなった時欠陥出力を止める判定
処理部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】前記判定処理部は、欠陥判定基準位置より
もヒステリシス分だけ積算結果が小さくなった時欠陥出
力を止めるヒステリシス機構を有することを特徴とする
請求項１記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7877696A JPH09269297A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7877696A JPH09269297A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269297A true JPH09269297A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13671313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7877696A Pending JPH09269297A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09269297A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011106815A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | 表面検査方法および表面検査装置 |
-
1996
- 1996-04-01 JP JP7877696A patent/JPH09269297A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011106815A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | 表面検査方法および表面検査装置 |
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