JP2002370071A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 独立した複数の処理工程により被洗浄物を洗
浄する洗浄装置において、装置の小型化を図るととも
に、処理に要する時間を短縮化する。 【解決手段】 ターンテーブル２に被洗浄物Ｗを収容す
る５つの処理槽３を取り付ける。処理槽３は同一円周上
に位置して等間隔毎に取り付ける。１つの処理槽３を除
いて４つの処理槽３を密閉可能な上下一対の蓋体20,20
Ａを設ける。上部蓋体20をシリンダ21により昇降させて
処理槽３を密閉する。こうして密閉した処理槽３内の被
洗浄物Ｗを回転させて第１〜第３の洗浄ユニット25、2
6、27の各洗浄位置、乾燥ユニット28の乾燥位置へと搬
送させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、独立した複数の処
理工程により被洗浄物を洗浄する洗浄装置に係るもの
で、例えば、各種精密加工部品やプリント回路基板、シ
リコンウェハーなどの各種電子部品を洗浄する洗浄装置
に関するものである。に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の洗浄装置として特開昭５
５−９９３７５号公報には、粗洗浄槽、超音波洗浄槽、
蒸気洗浄槽を並設し、ロータリハンガーによって被洗浄
物を収容したバケットを吊下げた状態で順次粗洗浄槽、
超音波洗浄槽、蒸気洗浄槽に搬送し、洗浄時においてロ
ータリハンガーに吊下げたバケットを降下させて、粗洗
浄槽、超音波洗浄槽内に溜めた洗浄液に被洗浄物を浸漬
して洗浄した後、蒸気洗浄槽によって被洗浄物に付着し
た洗浄液を除去してから搬出するように構成した洗浄装
置が開示されている。

【０００３】しかし、このように、多数の洗浄槽を並設
した洗浄装置においては、各洗浄槽を設置する広いスペ
ースが必要であるため装置が大型化する。さらに、被洗
浄物の洗浄工程において、被洗浄物を各洗浄槽の上部に
搬送し、これを降下させて、各洗浄槽内の洗浄液に被洗
浄物を浸漬して洗浄した後、被洗浄物を引き上げて次洗
浄工程に搬送することから、被洗浄物を取り出すための
昇降ストロークを確保する必要があるため、装置の全高
も高くなるから、一層、装置が大型化する。しかも、洗
浄工程が変わるたびに被洗浄物を昇降させる必要があ
り、処理に要する時間が長く、効率的な洗浄作業が行え
ない。

【０００４】本発明はこれらの問題を解決するためにな
されたものであり、その目的とするところは、洗浄装置
の小型化を図ると共に処理に要する時間が比較的短い洗
浄装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の洗浄
装置は、水平方向に回転するターンテーブルを設け、こ
のターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収
納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少な
くとも１個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一
対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何
れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段
と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理
する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、
前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組
み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送
するように構成したものである。

【０００６】請求項１の構成により、ターンテーブルを
中心として洗浄・乾燥ユニットをコンパクトに配置する
ことができるとともに、被洗浄物は処理槽内に収納した
状態のままターンテーブルを間歇的に回転させて洗浄・
乾燥位置に短時間で搬送することが可能である。また、
洗浄工程・乾燥工程が切り変わる毎の被洗浄物を処理槽
から出入りさせる必要がないから、処理に要する時間が
短縮化される。

【０００７】本発明の請求項２の洗浄装置は、請求項１
記載の洗浄装置において、前記各処理槽は前記ターンテ
ーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上
下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前
記昇降手段により上部蓋体と各処理槽とを降下させて前
記処理槽を下部蓋体に密着させたものである。

【０００８】請求項２の構成により、ターンテーブルを
回転させる際、上下各蓋体と各処理槽との間に僅かな隙
間が保持されるから、確実にターンテーブルを回転させ
るができるとともに、洗浄時には上下各蓋体で各処理槽
を密閉して効果的に洗浄・乾燥処理することが可能とな
る。

【０００９】本発明の請求項３の洗浄装置は、請求項１
又は２記載の洗浄装置において、洗浄・乾燥工程が完了
した被洗浄物を収納した処理槽を回転して開口させ、こ
の位置を前記被洗浄物の組み込み及び取り出し位置とし
たものである。

【００１０】請求項３の構成により、洗浄・乾燥工程が
完了した被洗浄物を回転させて取り出し位置に搬送する
ことで、処理槽内から被洗浄物を容易に取り出すことが
でき、この後、空の処理槽に被洗浄物を組み込み、テー
ブルの回転により、処理槽内の被洗浄物は洗浄・乾燥ユ
ニットへと搬送される。

【００１１】本発明の請求項４の洗浄装置は、請求項１
〜３の何れか１項に記載の洗浄装置において、前記洗浄
ユニットは洗浄液又はリンス洗浄液を溜める貯水槽と、
密閉した前記処理槽内に前記洗浄液又はリンス洗浄液を
高圧噴射する噴射手段と、この噴射手段から被洗浄物に
向けて噴射された洗浄液又はリンス洗浄液を処理槽内に
循環させる循環パイプとを有するとともに、前記乾燥ユ
ニットは密閉した前記処理槽内に熱風を送る送風手段
と、この送風手段から前記処理槽へ送られる熱風を処理
槽の外部に排出する排気パイプを備えたものである。

【００１２】請求項４の構成により、上下の蓋体で密閉
した処理槽に収納した被洗浄物に向けて洗浄液を高圧噴
出することにより、高圧洗浄液は被洗浄物の表面及び密
閉した処理槽の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被
洗浄物の表面を効果的に洗浄を行うことができる。こう
して洗浄が完了した後、密閉した処理槽に収納した被洗
浄物に向けて熱風を送風することにより、被洗浄物を効
率的に乾燥することができる。

【００１３】

【発明の実施形態】以下、本発明の実施例を添付図面を
参照して説明する。図１〜図３は、本発明の一実施例を
示しており、同図において、１は洗浄装置本体である。
洗浄装置本体１は水平回動自在に設けたターンテーブル
２を備え、このターンテーブル２に被洗浄物Ｗを収容す
る筒型の処理槽３を取り付ける複数の開口部４が形成さ
れている。処理槽３の上下周縁にはフランジ部５,６が
形成され、前記ターンテーブル２に形成した開口部４に
処理槽３を挿入した際、上部フランジ部５をターンテー
ブル２上に載置することによってターンテーブル２に処
理槽３を吊下げ保持している。また、ターンテーブル２
に取り付ける処理槽３は、上部フランジ部５とターンテ
ーブル２との間に介在するバネ７によってターンテーブ
ル２上から僅かに浮き上がった状態で上下動自在に取り
付けられている。なお、本実施例ではターンテーブル２
には５つの処理槽３が同一円周上に位置して等間隔毎に
取り付けられている。

【００１４】前記ターンテーブル２の中央部には上下に
貫通した回転軸９が一体的に固着されている。また、前
記洗浄装置本体１の枠状フレーム１Ａの底部には、上端
部に固定板10を固定した支柱11が立設されるとともに、
前記枠状フレーム１Ａの天板の内面には取付枠12が固定
されている。この取付枠12の底板13と前記固定板10との
間に前記回転軸９を軸受14によって回動自在に軸支して
いる。前記取付枠12の底板13には回転軸９を駆動する駆
動モータ15が固定され、この駆動モータ15によって回転
軸９を間歇的に回転駆動することによって、回転軸９に
一体化した前記ターンテーブル２及びターンテーブル２
に組み付けた各処理槽３を一斉に回転移送するように構
成している。前記処理槽３の回転に伴う移送経路に沿っ
て前記処理槽３を密閉する上下一対の蓋体20,20Ａが設
けられている。この蓋体20,20Ａは１つの処理槽３を除
いて残った他の処理槽３に対応して設けられている。こ
の上下の蓋体20,20Ａはそれぞれドーム状に形成され、
上部蓋体20が前記取付枠12の底板13に固定され、一方、
下部蓋体20Ａは前記固定板10にそれぞれ固定されてい
る。また、前記上部蓋体20は昇降手段たるシリンダ21に
より昇降自在に取り付けられており、前記ターンテーブ
ル２の回転時には、上部蓋体20は上限位置にあり、ター
ンテーブル２に組み付けた処理槽３と上下の蓋体20,20
Ａとの間には僅かな隙間が形成される。そして、ターン
テーブル２の停止時に、前記シリンダ21により上部蓋体
20を降下させてターンテーブル２に組み付けた各処理槽
３に押し付け、さらに、バネ７で支持された各処理槽３
を同体的に降下させて該各処理槽３を固定板10に固定し
た下部蓋体20Ａに押し付ける。これにより、上下各蓋体
20,20Ａで各処理槽３を密閉する。なお、上下の各蓋体2
0,20Ａは５つの処理槽３に対して１つ少ない上下４組の
各蓋体20,20Ａが設けられており、各蓋体20,20Ａで処理
槽３を密閉した際、洗浄装置本体１の最も前側に位置す
る一つの処理槽３には開口する。この位置が処理槽３へ
の被洗浄物Ｗの組み込み・取出し位置Ａとなる。

【００１５】また、各蓋体20,20Ａの取り付け位置に隣
接して第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニ
ット28が設けられている。各洗浄ユニット25、26、27に
はそれぞれ洗浄液を溜める貯水槽29及びその貯水槽29内
の洗浄液を噴射する噴射手段としての洗浄用ポンプ30が
備えられている。なお、洗浄用ポンプ29と前記下部蓋体
20Ａとはパイプ32で連通し、さらに、上下各蓋体20,20
Ａと洗浄槽28とを循環パイプ33,34で連通している。ま
た、乾燥ユニット28は、送風手段たるブロアモータ40、
熱風ヒータ41、フィルタ42を備えている。そして、乾燥
ユニット28と上部蓋体20とがパイプ45で連通するととも
に、上部蓋体20Ａには、乾燥ユニット28を外部に放出す
る排気パイプ46が連通している。

【００１６】次に、本実施例の作用を説明する。組み込
み・取出し位置Ａとなる洗浄装置本体１の処理槽３は常
に開口しており、処理槽３内に組み付けたバケットＣに
被洗浄物Ｗを入れる。この被洗浄物Ｗの搬入は手動操作
でもハンバーなどのクランプ手段などによりバケットＣ
を処理槽３内に自動的に搬入するようにしてもよい。こ
のようにして、処理槽３内に被洗浄物Ｗを搬入した後、
駆動モータ15を駆動してターンテーブル２を間歇的に回
転させる。なお、テーブル２には５つの処理槽３が等間
隔毎に組み付けられ、テーブル２は７２度のピッチで間
歇的に回転するように制御される。これにより、被洗浄
物Ｗを収納した処理槽３が第１の洗浄ユニット25の洗浄
位置、すなわち、上下各蓋体20,20Ａの間で停止する。
テーブル２が停止すると、シリンダ21により各上部蓋体
20を一斉に降下させ、上部蓋体20をそれぞれ処理槽３に
押し付ける。テーブル２に組み付けた上部蓋体20はバネ
７によってターンテーブル２上から僅かに浮き上がった
状態で上下動自在に取り付けられているため、上部蓋体
20によって押し付けられた処理槽３は降下し、固定板10
に固定した下部蓋体20Ａに当接し、処理槽３が上下の蓋
体20,20Ａにより密閉される。こうして処理槽３を上下
の蓋体20,20Ａで密閉した状態で第１の洗浄ユニット25
の洗浄用ポンプ30により、貯水槽29内の洗浄液を下部蓋
体20Ａから高圧噴射する。この高圧で噴射され洗浄液は
筒状の処理槽３を通って上部蓋体20、循環パイプ33から
貯水槽29内に循環する。このように、密閉した処理槽３
に収納した被洗浄物Ｗに向けて洗浄液を高圧噴出するこ
とにより、高圧洗浄液は被洗浄物Ｗの表面及び密閉した
処理槽３の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被洗浄
物Ｗの表面を効果的に洗浄を行うことができる。こうし
て第１の洗浄ユニット25で被洗浄物Ｗの洗浄が完了した
後、シリンダ21を作動し、上部蓋体20を一斉に上昇させ
る。これにより、上下各蓋体20,20Ａが洗浄槽３から離
れ、洗浄槽３はバネ７によって復帰し、上下各蓋体20,2
0Ａと処理槽３との間に僅かな隙間が生じる。これによ
りテーブル２の回転が可能となり、前記駆動モータ15の
作動により、前記と同様の手段で、テーブル２を回転さ
せて洗浄槽３内の被洗浄物Ｗを第２の洗浄ユニット26へ
回転移送する。

【００１７】被洗浄物Ｗが第２の洗浄ユニット26の洗浄
位置で停止すると、上部蓋体20,20Ａはシリンダ21によ
って一斉に降下し、洗浄槽３が密閉される。この後、第
２の洗浄ユニット26の洗浄用ポンプ30を作動し、貯水槽
29内のリンス洗浄液を被洗浄物Ｗに噴射してリンス洗浄
が行われる。このリンス洗浄工程時においても前述した
洗浄工程と同様、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉
した状態で洗浄用ポンプ30から被洗浄物Ｗに向けてリン
ス洗浄が高圧噴射され、被洗浄物Ｗに残留する洗浄液な
どが除去される。

【００１８】リンス洗浄が完了すると、前記と同様な手
段により、テーブル２を回転させて洗浄槽３内の被洗浄
物Ｗを第３の洗浄ユニット27へ回転移送する。ここで
は、純水などの濯ぎ液で被洗浄物Ｗに残留するリンス洗
浄液を除去する。この濯ぎ工程は、前述した洗浄、リン
ス洗浄と同様、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉し
た状態で洗浄用ポンプ30から被洗浄物Ｗに向けて純水が
高圧噴射され、被洗浄物Ｗに残留するリンス液などが除
去し、洗浄工程が完了する。

【００１９】洗浄工程が完了すると、前記と同様な手段
により、テーブル２を回転させて洗浄槽３内の被洗浄物
Ｗを乾燥ユニット28へ回転移送する。ここでは、上下の
蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉した状態でブロアモータ4
0で送られた空気が熱風ヒータ41で加熱し、フィルタ42
で濾過した熱風を被洗浄物Ｗに吹き付けて被洗浄物Ｗを
乾燥させて水切りを行う。こうして洗浄・乾燥サイクル
が終了する。

【００２０】被洗浄物Ｗの洗浄・乾燥サイクルが終了す
ると、テーブル２を回転させて被洗浄物Ｗは組み込み・
取出し位置Ａへと送られる。すなわち、組み込み・取出
し位置Ａは上下の蓋体20,20Ａがないから、処理槽３は
開口し、洗浄・乾燥処理された被洗浄物Ｗの取り出しが
可能となる。こうして、処理槽３から被洗浄物Ｗの取り
出した後、空になった処理槽３に再び被洗浄物Ｗを収納
し、再びテーブル２を回転させて前述した洗浄サイクル
を行う。

【００２１】このように、本実施例では、ターンテーブ
ル２に複数の処理槽３を同一円周上に配置し、その処理
槽３に対応して処理槽３を密閉する上下の蓋体20,20Ａ
と被洗浄物Ｗの洗浄サイクルを行う第１〜第３の洗浄ユ
ニット第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニ
ット28を配置したことにより、ターンテーブル２を中心
として第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニ
ット28をコンパクトに配置することができる。また、従
来は、バケットに収納した被洗浄物をバケットをハンガ
ーで吊下げた状態で並設した他数の各洗浄槽に被洗浄物
を搬送する場合、次工程の洗浄工程へ移行する際、洗浄
槽から完全に被洗浄物を引き上げた状態で隣接する洗浄
槽の上方まで搬送し、これを洗浄槽内に降下するように
構成していたので、被洗浄物を昇降させる上下の搬送ス
トロークを確保するには装置全体を高くする必要があ
る。しかし、本実施例では、被洗浄物Ｗは処理槽３内に
収納した状態のままターンテーブル２を間歇的に回転さ
せて第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27の洗浄位置と
乾燥ユニット28の乾燥位置に搬送することから、被洗浄
物Ｗを引き上げて処理槽３から出入りさせる必要がない
ため、装置の高さも抑えられ、より小型化することがで
きる。また、本実施例では、被洗浄物Ｗを回転させる
際、処理槽３と上下の蓋体20,20Ａとの間に僅かな隙間
が形成され、被洗浄物Ｗを搬送する際、ターンテーブル
２がスムーズに回転する。そして、被洗浄物Ｗを洗浄す
る際、上部蓋体20をシリンダ21で降下させることによっ
て、上部蓋体20で処理槽３の上部開口部を密閉した状態
で処理槽３を下方側に押し下げ、処理槽３をバネ７の付
勢力に抗して降下させて処理槽３の下部開口部を下部蓋
体20Ａによって密閉する。このように、上部蓋体20を僅
かに降下させるだけで、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３
を密閉することができるとともに、被洗浄物Ｗを処理槽
３に収納した状態のまま、ターンテーブル２の回転によ
り被洗浄物Ｗを洗浄することにより、搬送時間を短縮化
することが可能となるから、効率的に洗浄処理を行うこ
とができる。また、上下の蓋体20,20Ａで密閉した処理
槽３に収納した被洗浄物Ｗに向けて洗浄液を高圧噴出す
ることにより、高圧洗浄液は被洗浄物Ｗの表面及び密閉
した処理槽３の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被
洗浄物Ｗの表面を効果的に洗浄を行うことができる。

【００２２】以上、本実施例を詳述したが、本発明は前
記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範
囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、ターンテ
ーブルや処理槽を密閉する昇降手段は前記実施例に限る
ものではない。また、ターンテーブルに組み込む処理
槽、ひいてはターンテーブルの周縁に配置する洗浄ユニ
ットの数も前記実施例に限定されるものではない。さら
に、１つの処理槽を常に開口させて、この位置を組み込
み・取出し位置とした例を示したが、２つの処理槽を常
に開口させて組み込み位置と取出し位置とを分けてもよ
い。また、処理槽への被洗浄物の組み込みと取出しは自
動化が可能である。

【００２３】

【発明の効果】本発明の請求項１の洗浄装置は、水平方
向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブ
ルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の
筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも１個の処
理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向
配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降
させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連
通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユ
ニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブ
ルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理
槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成し
たものであるから、ターンテーブルを中心として洗浄・
乾燥ユニットをコンパクトに配置することができるとと
もに、被洗浄物は処理槽内に収納した状態のままターン
テーブルを間歇的に回転させて洗浄・乾燥位置に短時間
で搬送することができるから、効率的に洗浄工程・乾燥
工程を処理できる。

【００２４】本発明の請求項２の洗浄装置によれば、請
求項１記載の洗浄装置において、前記各処理槽は前記タ
ーンテーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、
前記上下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持さ
れ、前記昇降手段により上部蓋体と各処理槽とを降下さ
せて前記処理槽を下部蓋体に密着させたものであるか
ら、ターンテーブルを回転させる際、上下各蓋体と各処
理槽との間に僅かな隙間が保持され、確実にターンテー
ブルを回転させることができるとともに、洗浄時には上
下各蓋体で各処理槽を確実に密閉することが可能とな
る。

【００２５】本発明の請求項３の洗浄装置によれば、請
求項１又は２記載の洗浄装置において、請求項１又は２
記載の洗浄装置において、洗浄・乾燥工程が完了した被
洗浄物を収納した処理槽を回転して開口させ、この位置
を前記被洗浄物の組み込み及び取り出し位置としたもの
であるから、洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を取り
出し位置へと回転搬送し、処理槽内から被洗浄物を容易
に取り出すことができ、この後、空の処理槽に被洗浄物
を組み込み、テーブルの回転により、処理槽内の被洗浄
物を洗浄・乾燥処理することができる。

【００２６】本発明の請求項４の洗浄装置によれば、請
求項１記載の洗浄装置において、前記洗浄ユニットは洗
浄液又はリンス洗浄液を溜める貯水槽と、密閉した前記
処理槽内に前記洗浄液又はリンス洗浄液を高圧噴射する
噴射手段と、この噴射手段から被洗浄物に向けて噴射さ
れた洗浄液又はリンス洗浄液を貯水槽内に循環させる循
環パイプとを有するとともに、前記乾燥ユニットは密閉
した前記処理槽内に熱風を送る送風手段と、この送風手
段から前記処理槽へ送られる熱風を処理槽の外部に排出
する排気パイプを備えたものであるから、被洗浄物の表
面を効果的に洗浄を行うことができるとともに洗浄が完
了した被洗浄物を効率的に乾燥することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す洗浄装置の正面図であ
る。

【図２】同上洗浄装置の平面から見た断面図である。

【図３】同上洗浄装置を側面方向から見た断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 ２ ターンテーブル 20,20Ａ 蓋体 21 シリンダ（昇降手段） 25,26,27 洗浄ユニット 28 乾燥ユニット 29 貯水槽 30 洗浄用ポンプ（噴射手段） 33,34 循環パイプ 40 ブロアモータ（送風手段） 46 排気パイプ Ａ 組み込み・取出し位置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平方向に回転するターンテーブルを設
   け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄
   物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽
   の少なくとも１個の処理槽を除く前記各処理槽を介して
   上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なく
   とも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降
   手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥
   処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であっ
   て、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物
   を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転
   移送するように構成したことを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記各処理槽は前記ターンテーブルにバ
   ネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上下各蓋体は
   各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前記昇降手段
   により上部蓋体と各処理槽とを降下させて前記処理槽を
   下部蓋体に密着させたことを特徴とする請求項１記載の
   洗浄装置。
3. 【請求項３】 洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を収
   納した処理槽を回転して開口させ、この位置を前記被洗
   浄物の組み込み及び取り出し位置としたことを特徴とす
   る請求項１又は２記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 洗浄ユニットは洗浄液又はリンス洗浄液
   を溜める貯水槽と、密閉した前記処理槽内に前記洗浄液
   又はリンス洗浄液を高圧噴射する噴射手段と、この噴射
   手段から被洗浄物に向けて噴射された洗浄液又はリンス
   洗浄液を貯水槽内に循環させる循環パイプとを有すると
   ともに、乾燥ユニットは密閉した前記処理槽内に熱風を
   送る送風手段と、この送風手段から前記処理槽へ送られ
   る熱風を処理槽の外部に排出する排気パイプを備えたこ
   とを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の洗浄
   装置。