JP2002347254A - インクジエット記録ヘッドの作成方法 - Google Patents
インクジエット記録ヘッドの作成方法Info
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- JP2002347254A JP2002347254A JP2001153046A JP2001153046A JP2002347254A JP 2002347254 A JP2002347254 A JP 2002347254A JP 2001153046 A JP2001153046 A JP 2001153046A JP 2001153046 A JP2001153046 A JP 2001153046A JP 2002347254 A JP2002347254 A JP 2002347254A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】型材の樹脂と基板の密着性を向上させるように
して、歩留まりが良好で、信頼性の高いインクジェット
記録ヘッドの作成方法を提供する。 【解決手段】発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を
形成するための型材の樹脂を塗布してパターニングし、
該パターニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及
び前記インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパ
ターニングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵
抗体を備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形
成し、該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用し
てインクを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法において、前記ノズル流路を形成するため
の型材の樹脂を塗布する前に、前記型材の樹脂と前記基
板の密着向上処理をする工程を有する構成とする。
して、歩留まりが良好で、信頼性の高いインクジェット
記録ヘッドの作成方法を提供する。 【解決手段】発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を
形成するための型材の樹脂を塗布してパターニングし、
該パターニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及
び前記インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパ
ターニングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵
抗体を備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形
成し、該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用し
てインクを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法において、前記ノズル流路を形成するため
の型材の樹脂を塗布する前に、前記型材の樹脂と前記基
板の密着向上処理をする工程を有する構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体をオリフィス
から噴射して液滴を形成するインクジエット記録ヘッド
の作成方法に関する。
から噴射して液滴を形成するインクジエット記録ヘッド
の作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液体をオリフィスから噴射して液滴を形
成するこの種のインクジェット記録ヘッドに関し、例え
ば特開昭５４−５１８３７号公報に記載されているイン
クジエット記録法は、熱エネルギーを液体に作用させ
て、液滴吐出の原動力を得るという点において、他のイ
ンクジェット記録方法とは異なる特徴を有している。即
ち、上述の公報に開示されている記録法は、熱エネルギ
ーの作用を受けた液体が過熱されて気泡を発生し、この
気泡発生に基づく作用力によって、記録ヘッド部先端の
オリフィスから液滴が形成され、この液滴が被記録部材
に付着して情報の記録が行われるということを特徴とし
ている。
成するこの種のインクジェット記録ヘッドに関し、例え
ば特開昭５４−５１８３７号公報に記載されているイン
クジエット記録法は、熱エネルギーを液体に作用させ
て、液滴吐出の原動力を得るという点において、他のイ
ンクジェット記録方法とは異なる特徴を有している。即
ち、上述の公報に開示されている記録法は、熱エネルギ
ーの作用を受けた液体が過熱されて気泡を発生し、この
気泡発生に基づく作用力によって、記録ヘッド部先端の
オリフィスから液滴が形成され、この液滴が被記録部材
に付着して情報の記録が行われるということを特徴とし
ている。
【０００３】この記録法に適用される記録ヘッドは、一
般に液体を吐出するために設けられたオリフィスと、こ
のオリフィスに連通して液滴を吐出するための熱エネル
ギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部
とする液流路とを有する液吐出部、及び熱エネルギーを
発生する手段である熱変換体としての発熱抵抗層と、そ
れをインクから保護する上部保護層と、蓄熱するための
下部層、等を具備している。ところで、高密度、高精度
のノズル及び吐出口を形成する方法として、特開平５−
３３００６６号公報、及び特開平６−２８６１４９号公
報に示されている方法が提案されている。また、特開平
１０−１４６９７９号公報に前記のノズル製法において
は、インク供給口部上部のオリフィスプレートに、リブ
構造を設けることが提案されている。
般に液体を吐出するために設けられたオリフィスと、こ
のオリフィスに連通して液滴を吐出するための熱エネル
ギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部
とする液流路とを有する液吐出部、及び熱エネルギーを
発生する手段である熱変換体としての発熱抵抗層と、そ
れをインクから保護する上部保護層と、蓄熱するための
下部層、等を具備している。ところで、高密度、高精度
のノズル及び吐出口を形成する方法として、特開平５−
３３００６６号公報、及び特開平６−２８６１４９号公
報に示されている方法が提案されている。また、特開平
１０−１４６９７９号公報に前記のノズル製法において
は、インク供給口部上部のオリフィスプレートに、リブ
構造を設けることが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平６−
２８６１４９号公報の製法において、特開平１０−１４
６９７９号公報のようにインク供給口部上部のオリフィ
スプレートにリブ構造を設けて、図８（ａ）に示すよう
なヘッドを作成して印字をしたところ、数本のノズルで
印字が不良になる場合があり、印字歩留まりの低下がみ
られた。これによる吐出、発泡観察をすると、図８
（ｂ）に示すようにノズル内に針状のゴミ１１０があ
り、それにより発泡が不安定となり、吐出速度や方向が
不安定となることが明らかとなった。
２８６１４９号公報の製法において、特開平１０−１４
６９７９号公報のようにインク供給口部上部のオリフィ
スプレートにリブ構造を設けて、図８（ａ）に示すよう
なヘッドを作成して印字をしたところ、数本のノズルで
印字が不良になる場合があり、印字歩留まりの低下がみ
られた。これによる吐出、発泡観察をすると、図８
（ｂ）に示すようにノズル内に針状のゴミ１１０があ
り、それにより発泡が不安定となり、吐出速度や方向が
不安定となることが明らかとなった。
【０００５】また、印字耐久テストをすると、数本のノ
ズルに印字不良が発生し、また、吐出、発泡観察をする
と、前記と同様にノズル内に針状のゴミがあり、それに
より発泡が不安定となり、吐出速度や方向が不安定とな
ることが明らかとなった。さらに、ノズル形成工程終了
後観察すると、図９（ｃ）に示すようにリブの下部がひ
さし状１０９になり、針状に裂けていることがわかっ
た。
ズルに印字不良が発生し、また、吐出、発泡観察をする
と、前記と同様にノズル内に針状のゴミがあり、それに
より発泡が不安定となり、吐出速度や方向が不安定とな
ることが明らかとなった。さらに、ノズル形成工程終了
後観察すると、図９（ｃ）に示すようにリブの下部がひ
さし状１０９になり、針状に裂けていることがわかっ
た。
【０００６】そこで、本発明は、上記課題を解決し、型
材の樹脂と基板の密着性を向上させるようにして、歩留
まりが良好で、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド
の作成方法を提供することを目的とするものである。
材の樹脂と基板の密着性を向上させるようにして、歩留
まりが良好で、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド
の作成方法を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、つぎの（１）〜（４）のように構成した
インクジェット記録ヘッドの作成方法を提供するもので
ある。 （１）発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を形成す
るための型材の樹脂を塗布してパターニングし、該パタ
ーニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及び前記
インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパターニ
ングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵抗体を
備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形成し、
該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用してイン
クを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッドの作
成方法において、前記ノズル流路を形成するための型材
の樹脂を塗布する前に、前記型材の樹脂と前記基板の密
着向上処理をする工程を有することを特徴とするインク
ジェット記録ヘッドの作成方法。 （２）前記密着向上の処理が、酸素プラズマで処理をす
る工程であることを特徴とする上記（１）に記載のイン
クジェット記録ヘッドの作成方法。 （３）前記密着向上の処理が、密着向上材を塗布する工
程であることを特徴とする上記（１）に記載のインクジ
ェット記録ヘッドの作成方法。 （４）発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を形成す
るための型材の樹脂を塗布してパターニングし、該パタ
ーニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及び前記
インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパターニ
ングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵抗体を
備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形成し、
該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用してイン
クを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッドの作
成方法において、前記ノズル流路を形成するための型材
の樹脂を塗布する前に、前記基板上にノズル流路を形成
するための型材の密着向上層を塗布してパターニングす
る工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの作成方法。
決するために、つぎの（１）〜（４）のように構成した
インクジェット記録ヘッドの作成方法を提供するもので
ある。 （１）発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を形成す
るための型材の樹脂を塗布してパターニングし、該パタ
ーニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及び前記
インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパターニ
ングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵抗体を
備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形成し、
該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用してイン
クを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッドの作
成方法において、前記ノズル流路を形成するための型材
の樹脂を塗布する前に、前記型材の樹脂と前記基板の密
着向上処理をする工程を有することを特徴とするインク
ジェット記録ヘッドの作成方法。 （２）前記密着向上の処理が、酸素プラズマで処理をす
る工程であることを特徴とする上記（１）に記載のイン
クジェット記録ヘッドの作成方法。 （３）前記密着向上の処理が、密着向上材を塗布する工
程であることを特徴とする上記（１）に記載のインクジ
ェット記録ヘッドの作成方法。 （４）発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を形成す
るための型材の樹脂を塗布してパターニングし、該パタ
ーニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及び前記
インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパターニ
ングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵抗体を
備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形成し、
該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用してイン
クを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッドの作
成方法において、前記ノズル流路を形成するための型材
の樹脂を塗布する前に、前記基板上にノズル流路を形成
するための型材の密着向上層を塗布してパターニングす
る工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの作成方法。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記構成を適用することにより、
型材の樹脂と基板の密着性を向上させることができ、こ
れにより歩留まりが良好で、信頼性の高いインクジェッ
ト記録ヘッドの作成方法を実現することが可能となる
が、それは本発明者が鋭意検討した結果、つぎのような
知見を得たことに基づくものである。すなわち、オリフ
ィスプレートのリブの下部がひさし状になる原因とし
て、図９（ｄ）に示すように、オリフィスプレートを形
成する樹脂が、ノズル流路、リブを形成するための型材
と基板との間の密着が悪い部分に入り込む。これらが、
インク供給口をエッチングで形成し、型材となる樹脂を
除去した後に、オリフィスプレー卜を形成する樹脂がひ
さし状に残ることとなる。このように密着が悪い部分に
入り込んだ樹脂が、厚さは０．５μ以下でコントロール
されない形で残ってしまう。このひさしが、型材除去
時、またヘッド完成後のインク注入時、ヘッドの回復時
などでひさしが裂けることによって、針状のゴミとなっ
て発泡を不安定にさせ、印字性能を悪くさせる原因とな
る。
型材の樹脂と基板の密着性を向上させることができ、こ
れにより歩留まりが良好で、信頼性の高いインクジェッ
ト記録ヘッドの作成方法を実現することが可能となる
が、それは本発明者が鋭意検討した結果、つぎのような
知見を得たことに基づくものである。すなわち、オリフ
ィスプレートのリブの下部がひさし状になる原因とし
て、図９（ｄ）に示すように、オリフィスプレートを形
成する樹脂が、ノズル流路、リブを形成するための型材
と基板との間の密着が悪い部分に入り込む。これらが、
インク供給口をエッチングで形成し、型材となる樹脂を
除去した後に、オリフィスプレー卜を形成する樹脂がひ
さし状に残ることとなる。このように密着が悪い部分に
入り込んだ樹脂が、厚さは０．５μ以下でコントロール
されない形で残ってしまう。このひさしが、型材除去
時、またヘッド完成後のインク注入時、ヘッドの回復時
などでひさしが裂けることによって、針状のゴミとなっ
て発泡を不安定にさせ、印字性能を悪くさせる原因とな
る。
【０００９】このような問題を解決するためには、上記
したように、型材の樹脂と基板の密着性を向上させるこ
とによって解決することが可能となる。具体的手法とし
ては、型材の樹脂の塗布前に酸素プラズマで処理をする
方法または、密着向上材（たとえば市販のレジスト密着
向上材）を塗布する方法によって処理をする。さらに、
密着向上層を塗布しパターニングすることによっても、
上記問題を解決することができる。
したように、型材の樹脂と基板の密着性を向上させるこ
とによって解決することが可能となる。具体的手法とし
ては、型材の樹脂の塗布前に酸素プラズマで処理をする
方法または、密着向上材（たとえば市販のレジスト密着
向上材）を塗布する方法によって処理をする。さらに、
密着向上層を塗布しパターニングすることによっても、
上記問題を解決することができる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明の実施例にについて説明す
る。 ［実施例１］本発明の実施例１におけるインクジェット
記録ヘッドの作成方法の工程図を、図１（ａ）〜図３
（ｆ）に示す。まず、シリコン基板上１０１に蓄熱層１
０２を形成し、２５μ角のヒータ１０３を６００ｄｐｉ
に配列し、その上に保護層１０４を形成する（図１
（ａ））。次に、前記基板にノズル流路を形成する型材
としてのレジストの密着向上の為に酸素プラズマアッシ
ング装置ＤＥＳ−１２５Ａ（プラズマシステム製）を用
いて酸素ガス流量５００ｓｃｃｍ、ガス圧２Ｔｏｒｒ、
ＲＦパワー５００Ｗ、アッシング時間１分の条件で処理
をした。次に、基板上にノズル流路を形成する型材とし
てのレジスト１０８を２０μ塗布し、パターニングする
（図１（ｂ））。次に、ノズル、吐出口を形成する感光
性エポキシ１１２を塗布する（図２（ｃ））。そして、
感光性エポキシをフォトリソ法を用いてパターニングし
１８μΦの吐出口１０７を形成する（図２（ｄ））。次
に、基板裏面からドライエッチ法によってインク供給口
１０５を形成する（図３（ｅ））。最後に、型材となっ
たレジストを剥離液を用いて除去し、ノズル１０６付き
の基板が完成する（図３（ｆ））。光学顕微鏡検査の結
果、図９（ｃ）に見られるような不良のノズルはみられ
なかった。そして、インク供給するためのチューブとヒ
ータを発熱するための電気を供給するための電気実装し
てインクジェット記録ヘッドが完成する。このようにし
て完成されたヘッドの印字検査をした結果、数本の印字
不良が無くなり歩留まりが向上した。また、印字耐久に
おいても、数本の印字不良がなくなり信頼性が向上し
た。
る。 ［実施例１］本発明の実施例１におけるインクジェット
記録ヘッドの作成方法の工程図を、図１（ａ）〜図３
（ｆ）に示す。まず、シリコン基板上１０１に蓄熱層１
０２を形成し、２５μ角のヒータ１０３を６００ｄｐｉ
に配列し、その上に保護層１０４を形成する（図１
（ａ））。次に、前記基板にノズル流路を形成する型材
としてのレジストの密着向上の為に酸素プラズマアッシ
ング装置ＤＥＳ−１２５Ａ（プラズマシステム製）を用
いて酸素ガス流量５００ｓｃｃｍ、ガス圧２Ｔｏｒｒ、
ＲＦパワー５００Ｗ、アッシング時間１分の条件で処理
をした。次に、基板上にノズル流路を形成する型材とし
てのレジスト１０８を２０μ塗布し、パターニングする
（図１（ｂ））。次に、ノズル、吐出口を形成する感光
性エポキシ１１２を塗布する（図２（ｃ））。そして、
感光性エポキシをフォトリソ法を用いてパターニングし
１８μΦの吐出口１０７を形成する（図２（ｄ））。次
に、基板裏面からドライエッチ法によってインク供給口
１０５を形成する（図３（ｅ））。最後に、型材となっ
たレジストを剥離液を用いて除去し、ノズル１０６付き
の基板が完成する（図３（ｆ））。光学顕微鏡検査の結
果、図９（ｃ）に見られるような不良のノズルはみられ
なかった。そして、インク供給するためのチューブとヒ
ータを発熱するための電気を供給するための電気実装し
てインクジェット記録ヘッドが完成する。このようにし
て完成されたヘッドの印字検査をした結果、数本の印字
不良が無くなり歩留まりが向上した。また、印字耐久に
おいても、数本の印字不良がなくなり信頼性が向上し
た。
【００１１】［実施例２］実施例２は型材のレジストの
密着向上処理として、レジスト密着向上材を用いた場合
である。実施例１で酸素プラズマ処理の工程の代りに、
東京応化製のレジスト密着向上材ＯＡＰをスピンナーで
回転数５０００ｒｐｍで膜厚０．１μに塗布する。そし
て、２００℃のオーブンで１０分ベークする。その後の
工程は実施例１と同じである。このようにして作成した
ヘッドの印字検査及び印字耐久をした結果、実施例１と
同じような結果が得られた。
密着向上処理として、レジスト密着向上材を用いた場合
である。実施例１で酸素プラズマ処理の工程の代りに、
東京応化製のレジスト密着向上材ＯＡＰをスピンナーで
回転数５０００ｒｐｍで膜厚０．１μに塗布する。そし
て、２００℃のオーブンで１０分ベークする。その後の
工程は実施例１と同じである。このようにして作成した
ヘッドの印字検査及び印字耐久をした結果、実施例１と
同じような結果が得られた。
【００１２】［実施例３］本発明の実施例３におけるイ
ンクジェット記録ヘッドの作成方法の工程図を、図４
（ａ）〜図７（ｈ）に示す。まず、シリコン基板上１０
１に蓄熱層を形成し、２５μ角のヒータを６００ｄｐｉ
に配列し、その上に保護層を形成する（図４（ａ））。
次に、前記基板にノズル流路を形成する型材としてのレ
ジストの密着向上の為に密着向上層として日立化成製ハ
イマルを１．０μ塗布しベークする（図４（ｂ））。次
に、ハイマル上にレジストを塗布しパターニングをする
（図５（ｃ））。尚、型材レジストの下部全てハイマル
を残すとヒータ部においては発泡不良、インク供給口に
おいては供給口が塞がり供給不良を起こす。また、型材
レジストの密着不良が問題になる部分はインク供給口と
なる部分のパターンの端部であるのでその部分のみにハ
イマルがあれば良い。次に、基板上にノズル流路を形成
する型材としてのレジストを２０μ塗布し、パターニン
グする（図５（ｄ））。次に、ノズル、吐出口を形成す
る感光性エポキシを塗布する（図６（ｅ））。そして、
感光性エポキシをフォトリソ法を用いてパターニングし
１８μΦの吐出口を形成する（図６（ｆ））。次に、基
板裏面からドライエッチ法によってインク供給口を形成
する（図７（ｇ））。最後に、型材となったレジストを
剥離液を用いて除去し、ノズル付きの基板が完成する
（図７（ｈ））。光学顕微鏡検査の結果、図９（ｃ）に
見られるような不良のノズルはみられなかった。そし
て、インク供給するためのチューブとヒータを発熱する
ための電気を供給するための電気実装してインクジェッ
ト記録ヘッドが完成する。このようにして作成したヘッ
ドの印字検査及び印字耐久をした結果、実施例１、実施
例２と同じような結果が得られた。
ンクジェット記録ヘッドの作成方法の工程図を、図４
（ａ）〜図７（ｈ）に示す。まず、シリコン基板上１０
１に蓄熱層を形成し、２５μ角のヒータを６００ｄｐｉ
に配列し、その上に保護層を形成する（図４（ａ））。
次に、前記基板にノズル流路を形成する型材としてのレ
ジストの密着向上の為に密着向上層として日立化成製ハ
イマルを１．０μ塗布しベークする（図４（ｂ））。次
に、ハイマル上にレジストを塗布しパターニングをする
（図５（ｃ））。尚、型材レジストの下部全てハイマル
を残すとヒータ部においては発泡不良、インク供給口に
おいては供給口が塞がり供給不良を起こす。また、型材
レジストの密着不良が問題になる部分はインク供給口と
なる部分のパターンの端部であるのでその部分のみにハ
イマルがあれば良い。次に、基板上にノズル流路を形成
する型材としてのレジストを２０μ塗布し、パターニン
グする（図５（ｄ））。次に、ノズル、吐出口を形成す
る感光性エポキシを塗布する（図６（ｅ））。そして、
感光性エポキシをフォトリソ法を用いてパターニングし
１８μΦの吐出口を形成する（図６（ｆ））。次に、基
板裏面からドライエッチ法によってインク供給口を形成
する（図７（ｇ））。最後に、型材となったレジストを
剥離液を用いて除去し、ノズル付きの基板が完成する
（図７（ｈ））。光学顕微鏡検査の結果、図９（ｃ）に
見られるような不良のノズルはみられなかった。そし
て、インク供給するためのチューブとヒータを発熱する
ための電気を供給するための電気実装してインクジェッ
ト記録ヘッドが完成する。このようにして作成したヘッ
ドの印字検査及び印字耐久をした結果、実施例１、実施
例２と同じような結果が得られた。
【００１３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、型材の樹脂と基板の密着性を向上させるための密着
向上処理をすることにより、歩留まりが良好で、信頼性
の高いインクジェット記録ヘッドの作成方法を実現する
ことができる。また、本発明によれば、前記密着向上処
理の代りに密着向上層を設けることにより、歩留まり良
く信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。
ば、型材の樹脂と基板の密着性を向上させるための密着
向上処理をすることにより、歩留まりが良好で、信頼性
の高いインクジェット記録ヘッドの作成方法を実現する
ことができる。また、本発明によれば、前記密着向上処
理の代りに密着向上層を設けることにより、歩留まり良
く信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。
【図１】（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施例１及び実施
例２におけるインクジェット記録ヘッドの作成方法の工
程図である。
例２におけるインクジェット記録ヘッドの作成方法の工
程図である。
【図２】（ｃ）、（ｄ）は、本発明の実施例１及び実施
例２における図１の工程に続くインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法の工程図である。
例２における図１の工程に続くインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法の工程図である。
【図３】（ｅ）、（ｆ）は、本発明の実施例１及び実施
例２における図２の工程に続くインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法の工程図である。
例２における図２の工程に続くインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法の工程図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施例３における
インクジェット記録ヘッドの作成方法の工程図である。
インクジェット記録ヘッドの作成方法の工程図である。
【図５】（ｃ）、（ｄ）は、本発明の実施例３における
図４の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
図４の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
【図６】（ｅ）、（ｆ）は、本発明の実施例３における
図５の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
図５の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
【図７】（ｇ）、（ｈ）は、本発明の実施例３における
図６の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
図６の工程に続くインクジェット記録ヘッドの作成方法
の工程図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、従来例の問題点を説明する
ための図である。
ための図である。
【図９】（ｃ）、（ｄ）は、従来例の問題点を説明する
ための図である。
ための図である。
１０１：基板 １０２：蓄熱層 １０３：ヒータ（発熱抵抗部） １０４：保護層 １０５：インク供給口 １０６：ノズル １０７：吐出口 １０８：型材レジスト １０９：オリフィスプレート下部のひさし １１０：針状のゴミ １１１：密着向上層 １１２：感光性エポキシ材
Claims (4)
- 【請求項１】発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を
形成するための型材の樹脂を塗布してパターニングし、
該パターニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及
び前記インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパ
ターニングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵
抗体を備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形
成し、該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用し
てインクを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法において、 前記ノズル流路を形成するための型材の樹脂を塗布する
前に、前記型材の樹脂と前記基板の密着向上処理をする
工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法。 - 【請求項２】前記密着向上の処理が、酸素プラズマで処
理をする工程であることを特徴とする請求項１に記載の
インクジェット記録ヘッドの作成方法。 - 【請求項３】前記密着向上の処理が、密着向上材を塗布
する工程であることを特徴とする請求項１に記載のイン
クジェット記録ヘッドの作成方法。 - 【請求項４】発熱抵抗体を備えた基板上にノズル流路を
形成するための型材の樹脂を塗布してパターニングし、
該パターニングされた型材の樹脂上に前記ノズル流路及
び前記インク吐出口を形成するための樹脂を塗布してパ
ターニングした後、前記型材の樹脂を除去して、発熱抵
抗体を備えた基板上にノズル流路及びインク吐出口を形
成し、該発熱抵抗体の発熱によるインクの発泡を利用し
てインクを吐出するようにしたインクジェット記録ヘッ
ドの作成方法において、 前記ノズル流路を形成するための型材の樹脂を塗布する
前に、前記基板上にノズル流路を形成するための型材の
密着向上層を塗布してパターニングする工程を有するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001153046A JP2002347254A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | インクジエット記録ヘッドの作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001153046A JP2002347254A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | インクジエット記録ヘッドの作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002347254A true JP2002347254A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=18997629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001153046A Pending JP2002347254A (ja) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | インクジエット記録ヘッドの作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002347254A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9067460B2 (en) | 2012-07-03 | 2015-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Dry etching method |
-
2001
- 2001-05-22 JP JP2001153046A patent/JP2002347254A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9067460B2 (en) | 2012-07-03 | 2015-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Dry etching method |
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