JP2002332569A - Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法 - Google Patents
Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法Info
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- JP2002332569A JP2002332569A JP2001140862A JP2001140862A JP2002332569A JP 2002332569 A JP2002332569 A JP 2002332569A JP 2001140862 A JP2001140862 A JP 2001140862A JP 2001140862 A JP2001140862 A JP 2001140862A JP 2002332569 A JP2002332569 A JP 2002332569A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の耐高温酸化
性を十分に向上させることができる表面改質処理方法を
提供することである。 【解決手段】 Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材をフッ素
イオン含有プラズマ中においてプラズマベースイオン注
入法でフッ素イオンを注入する。
性を十分に向上させることができる表面改質処理方法を
提供することである。 【解決手段】 Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材をフッ素
イオン含有プラズマ中においてプラズマベースイオン注
入法でフッ素イオンを注入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｔｉ−Ａｌ系合金
の高温での耐酸化性を向上させるための表面改質方法に
関する。
の高温での耐酸化性を向上させるための表面改質方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｔｉ−Ａｌ系合金は、軽量で且つ高温強
度、クリープ強度が高いため、航空機用タービンエンジ
ン、発電用ガスタービン、自動車エンジンのバルブやタ
ーボチャージ、高温ダイスや軸受け部品などの高温構造
材料として実用化が進められている。
度、クリープ強度が高いため、航空機用タービンエンジ
ン、発電用ガスタービン、自動車エンジンのバルブやタ
ーボチャージ、高温ダイスや軸受け部品などの高温構造
材料として実用化が進められている。
【０００３】しかしながら、実用化するためには、Ｔｉ
−Ａｌ系合金の二つの課題を解決する必要がある。一つ
は、Ｔｉ−Ａｌ系合金の常温での延性を改善することで
ある。２元系のＴｉ−Ａｌ系合金にＣｒ(クロム), Ｍｎ
(マンガン)、Ｖ(バナジウム)等の第3元素を添加するこ
とにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金の常温での延性が改善され
たことが既に報告されている。
−Ａｌ系合金の二つの課題を解決する必要がある。一つ
は、Ｔｉ−Ａｌ系合金の常温での延性を改善することで
ある。２元系のＴｉ−Ａｌ系合金にＣｒ(クロム), Ｍｎ
(マンガン)、Ｖ(バナジウム)等の第3元素を添加するこ
とにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金の常温での延性が改善され
たことが既に報告されている。
【０００４】もう一つはＴｉ−Ａｌ系合金の800℃以上
の温度での耐酸化性を向上させることである。Ｔｉ−Ａ
ｌ系合金は、酸化雰囲気中において800℃以上の温度で
は、酸化が急速に進行するという問題を有する。特に、
常温延性を改善するためのＣｒ,Ｍｎ,Ｖなどの添加で、
無添加材のＴｉＡｌ合金に比べて高温での耐酸化性が著
しく劣化することがある。800℃以上の高温環境でＴｉ
−Ａｌ系合金を実用するためにはＴｉ−Ａｌ系合金の耐
酸化性を向上させる必要がある。
の温度での耐酸化性を向上させることである。Ｔｉ−Ａ
ｌ系合金は、酸化雰囲気中において800℃以上の温度で
は、酸化が急速に進行するという問題を有する。特に、
常温延性を改善するためのＣｒ,Ｍｎ,Ｖなどの添加で、
無添加材のＴｉＡｌ合金に比べて高温での耐酸化性が著
しく劣化することがある。800℃以上の高温環境でＴｉ
−Ａｌ系合金を実用するためにはＴｉ−Ａｌ系合金の耐
酸化性を向上させる必要がある。
【０００５】従来より、Ｔｉ−Ａｌ系合金にＭｏ、Ｗ、
Ｓｉ、Ｎｂ、Ｔａなどの元素を合金元素として添加する
方法や、アルミナイジング処理などの表面処理法などの
検討がなされている。Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂなど合金元素の添
加により、ある程度の耐酸化性の改善効果は得られる
が、実用上はまた十分ではない、特にＣｒ、Ｍｎ、Ｖな
ど元素を含有する場合、耐酸化性改善の効果が小さいと
いうのは現状である。
Ｓｉ、Ｎｂ、Ｔａなどの元素を合金元素として添加する
方法や、アルミナイジング処理などの表面処理法などの
検討がなされている。Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂなど合金元素の添
加により、ある程度の耐酸化性の改善効果は得られる
が、実用上はまた十分ではない、特にＣｒ、Ｍｎ、Ｖな
ど元素を含有する場合、耐酸化性改善の効果が小さいと
いうのは現状である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】最近、Ｔｉ−Ａｌ系合
金にＮｂ、Ｓｉなどの元素を注入することにより、Ｔｉ
Ａｌ合金の上に保護性のＡｌ2Ｏ3酸化皮膜の形成が促進
され、耐酸化性が改善されることが報告されている。
金にＮｂ、Ｓｉなどの元素を注入することにより、Ｔｉ
Ａｌ合金の上に保護性のＡｌ2Ｏ3酸化皮膜の形成が促進
され、耐酸化性が改善されることが報告されている。
【０００７】しかしながら、通常のイオン注入法は電場
により加速したイオンビームには指向性があるため、平
面に対して表面改質はできるが、複雑な形状物の表面改
質への応用は困難で、さらに、コストが高い。
により加速したイオンビームには指向性があるため、平
面に対して表面改質はできるが、複雑な形状物の表面改
質への応用は困難で、さらに、コストが高い。
【０００８】そこで、Ｔｉ−Ａｌ系を高温構造材料とし
て実用化するために、Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化性
を十分に向上させることができる表面改質方法が望めら
れる。
て実用化するために、Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化性
を十分に向上させることができる表面改質方法が望めら
れる。
【０００９】本発明の目的は、Ｔｉ−Ａｌ系合金からな
る基材の耐高温酸化性を十分に向上させることができる
表面改質方法を提供することである。
る基材の耐高温酸化性を十分に向上させることができる
表面改質方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＴｉ−Ａｌ
系合金の表面改質法は、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材
をフッ素イオン含有プラズマ中においてプラズマベース
イオン注入法によりフッ素イオンを注入するものであ
る。
系合金の表面改質法は、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材
をフッ素イオン含有プラズマ中においてプラズマベース
イオン注入法によりフッ素イオンを注入するものであ
る。
【００１１】プラズマベースイオン注入法とは、プラズ
マ中に配置された対象物に負のパルス電圧を印加するこ
とにより、プラズマ中のイオンを引き出し、全方向から
イオン注入することで、複雑な形状を有する対象物の表
面を均一に改質できる方法である。このプラズマベース
イオン注入(Plasma Based Ion Implantation（PBI
I）法は、例えば、Conrad J. R., “Sheath Thickness
and Potential Profilesof Ion Matrix Sheaths for Cy
clindrical and Spherical Electrods”, Journal of A
pplied Physics, Vol 62( 1987) 777 に報告されてい
る。
マ中に配置された対象物に負のパルス電圧を印加するこ
とにより、プラズマ中のイオンを引き出し、全方向から
イオン注入することで、複雑な形状を有する対象物の表
面を均一に改質できる方法である。このプラズマベース
イオン注入(Plasma Based Ion Implantation（PBI
I）法は、例えば、Conrad J. R., “Sheath Thickness
and Potential Profilesof Ion Matrix Sheaths for Cy
clindrical and Spherical Electrods”, Journal of A
pplied Physics, Vol 62( 1987) 777 に報告されてい
る。
【００１２】本発明に係る耐高温酸化表面改質法におい
ては、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材がフッ素イオン含
有プラズマに配置され、基材の全面にフッ素イオンを均
一に注入する。高温酸化性雰囲気に暴露される時、フッ
素イオンが基材中のチタンと反応して揮発性の高い弗化
チタンを形成する。高温において、弗化チタンが揮発で
基材から蒸発するため、基材の表層部に高濃度のアルミ
が形成される。それにより、保護性を有する緻密で且つ
連続なＡｌ2Ｏ3(アルミナ)皮膜が形成されるとともに、
保護性のないＴｉＯ2の成長が抑制される。その結果、
Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の高温での耐酸化性が大
きく向上する。
ては、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材がフッ素イオン含
有プラズマに配置され、基材の全面にフッ素イオンを均
一に注入する。高温酸化性雰囲気に暴露される時、フッ
素イオンが基材中のチタンと反応して揮発性の高い弗化
チタンを形成する。高温において、弗化チタンが揮発で
基材から蒸発するため、基材の表層部に高濃度のアルミ
が形成される。それにより、保護性を有する緻密で且つ
連続なＡｌ2Ｏ3(アルミナ)皮膜が形成されるとともに、
保護性のないＴｉＯ2の成長が抑制される。その結果、
Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の高温での耐酸化性が大
きく向上する。
【００１３】フッ素イオン含有プラズマは純フッ素ガス
またはフッ素ガスと不活性ガスの混合ガスから形成され
てもよい。純フッ素ガスの場合、プラズマ中のフッ素イ
オンの密度が高いため、所定のフッ素イオン注入量まで
のイオン注入時間は短縮できる。一方、フッ素ガスと不
活性ガスの混合ガスの場合、フッ素イオンによる真空容
器へのアタックが軽減される。
またはフッ素ガスと不活性ガスの混合ガスから形成され
てもよい。純フッ素ガスの場合、プラズマ中のフッ素イ
オンの密度が高いため、所定のフッ素イオン注入量まで
のイオン注入時間は短縮できる。一方、フッ素ガスと不
活性ガスの混合ガスの場合、フッ素イオンによる真空容
器へのアタックが軽減される。
【００１４】フッ素イオン含有イオンベースイオン注入
では、基材に印加する負のパルスバイアス電圧が５ｋＶ
以上であることが望ましい。この場合、フッ素イオンが
基材により深く注入される。それにより、保護性のある
緻密で連続なＡｌ2Ｏ3皮膜がＴｉ−Ａｌ系合金の表層部
に形成されやすくなり、保護性のないＴｉＯ2の形成が
十分に抑制される。その結果、Ｔｉ−Ａｌ系合金からな
る基材の耐高温酸化性が著しく向上する。
では、基材に印加する負のパルスバイアス電圧が５ｋＶ
以上であることが望ましい。この場合、フッ素イオンが
基材により深く注入される。それにより、保護性のある
緻密で連続なＡｌ2Ｏ3皮膜がＴｉ−Ａｌ系合金の表層部
に形成されやすくなり、保護性のないＴｉＯ2の形成が
十分に抑制される。その結果、Ｔｉ−Ａｌ系合金からな
る基材の耐高温酸化性が著しく向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
るＴｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質方法を説明す
る。
るＴｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質方法を説明す
る。
【００１６】Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材を真空容器
にセットし、真空引きを行った後、純フッ素ガスまたは
フッ素ガスと不活性ガスの混合ガスを真空容器に導入す
る。高周波電源によるグロー放電でフッ素イオン含有プ
ラズマを発生させる。フッ素イオン含有プラズマ中に浸
せきされたＴｉ−Ａｌ系合金基材に負のパルスバイアス
電圧を印加することにより、フッ素イオンが全方向から
均一にＴｉ−Ａｌ系合金基材に注入されることになる。
注入したフッ素イオンの働きにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金
の表面に保護性のある連続なＡｌ2Ｏ3皮膜の形成が促進
されるとともに、保護性のないＴｉＯ2の成長が抑えら
れる。それにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の耐
高温酸化性が著しく向上する。
にセットし、真空引きを行った後、純フッ素ガスまたは
フッ素ガスと不活性ガスの混合ガスを真空容器に導入す
る。高周波電源によるグロー放電でフッ素イオン含有プ
ラズマを発生させる。フッ素イオン含有プラズマ中に浸
せきされたＴｉ−Ａｌ系合金基材に負のパルスバイアス
電圧を印加することにより、フッ素イオンが全方向から
均一にＴｉ−Ａｌ系合金基材に注入されることになる。
注入したフッ素イオンの働きにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金
の表面に保護性のある連続なＡｌ2Ｏ3皮膜の形成が促進
されるとともに、保護性のないＴｉＯ2の成長が抑えら
れる。それにより、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の耐
高温酸化性が著しく向上する。
【００１７】純フッ素ガスからプラズマを発生させても
よい。その場合、プラズマ中のフッ素イオン密度が高い
ため、所定のフッ素イオン注入量までの注入処理時間は
短縮される。
よい。その場合、プラズマ中のフッ素イオン密度が高い
ため、所定のフッ素イオン注入量までの注入処理時間は
短縮される。
【００１８】また、フッ素ガスと不活性ガスの混合ガス
からプラズマを発生させてもよい。それにより、フッ素
イオンによる真空容器へのアタックは軽減され、排気ガ
ス処理も容易に行うことができる。
からプラズマを発生させてもよい。それにより、フッ素
イオンによる真空容器へのアタックは軽減され、排気ガ
ス処理も容易に行うことができる。
【００１９】Ｔｉ−Ａｌ系合金基材に印加する負のパル
スバイアス電圧が５kV以上であることが好ましい。それ
により、フッ素イオンはＴｉ−Ａｌ系合金基材により深
く注入され、高温酸化初期段階において保護性を有する
緻密で連続なＡｌ2Ｏ3皮膜が形成されやすくなり、保護
性のないＴｉＯ2の形成が十分に抑制される。その結
果、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の耐高温酸化性が著
しく向上する。
スバイアス電圧が５kV以上であることが好ましい。それ
により、フッ素イオンはＴｉ−Ａｌ系合金基材により深
く注入され、高温酸化初期段階において保護性を有する
緻密で連続なＡｌ2Ｏ3皮膜が形成されやすくなり、保護
性のないＴｉＯ2の形成が十分に抑制される。その結
果、Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材の耐高温酸化性が著
しく向上する。
【００２０】図1はフッ素イオン含有プラズマベースイ
オン注入処理の模式図である。
オン注入処理の模式図である。
【００２１】図１に示すように、基材１はＴｉ−Ａｌ系
合金からなる。フッ素イオン含有プラズマ３は真空容器
６の中に発生させられる。基材１にパルスのバイアス電
圧５を印加することにより、基材１の形状に沿ってプラ
ズマシース４が形成され、フッ素イオン２はプラズマシ
ース4の中で全方向から基材１に均一に注入される。
合金からなる。フッ素イオン含有プラズマ３は真空容器
６の中に発生させられる。基材１にパルスのバイアス電
圧５を印加することにより、基材１の形状に沿ってプラ
ズマシース４が形成され、フッ素イオン２はプラズマシ
ース4の中で全方向から基材１に均一に注入される。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例と対比して説
明する。
明する。
【００２３】（実施例１） （１）フッ素イオン含有プラズマベースイオン注入 Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材を真空容器内にセット
し、1.0ｘ10‐ 4Pa以下の真空度に排気した後、真空容器
にフッ素−アルゴン混合ガスを導入し、高周波電源によ
りフッ素イオン含有プラズマを発生させた。基材に30ｋ
Vの負のパルスバイアス電圧を印加することによりフッ
素イオン含有プラズマベースイオン注入を行った。パル
スバイアス電圧の繰り返し周波数を1000Ｈｚ、パルス巾
を10μsとした。イオン注入処理時間は約６０分とし
た。
し、1.0ｘ10‐ 4Pa以下の真空度に排気した後、真空容器
にフッ素−アルゴン混合ガスを導入し、高周波電源によ
りフッ素イオン含有プラズマを発生させた。基材に30ｋ
Vの負のパルスバイアス電圧を印加することによりフッ
素イオン含有プラズマベースイオン注入を行った。パル
スバイアス電圧の繰り返し周波数を1000Ｈｚ、パルス巾
を10μsとした。イオン注入処理時間は約６０分とし
た。
【００２４】図２にＸ線光電子分光法によるフッ素イオ
ンの深さ方向分布の分析結果を示す。フッ素イオンは深
さ６０nmまで分布し、約２０nmで分布のピークを示す。
ピークにおけるフッ素イオン濃度は５０at％に達してい
ることがわかる。
ンの深さ方向分布の分析結果を示す。フッ素イオンは深
さ６０nmまで分布し、約２０nmで分布のピークを示す。
ピークにおけるフッ素イオン濃度は５０at％に達してい
ることがわかる。
【００２５】（２）高温酸化試験 フッ素イオン含有プラズマベースイオン注入処理を行っ
た基材を高温酸化試験炉に導入し、大気中で８５０℃に
おける３００時間の繰り返し酸化試験を行った。１サイ
クルの繰り返し酸化試験としては、８５０℃に昇温した
酸化試験炉に基材を１５分かけて導入し、高温酸化試験
炉内で２０時間保持して酸化させた後、１５分かけて酸
化試験炉から基材を取り出した。１サイクルの繰り返し
酸化ごとに、酸化による基材の重量変化を測定した。測
定した重量変化により基材の耐高温酸化性を評価した。
た基材を高温酸化試験炉に導入し、大気中で８５０℃に
おける３００時間の繰り返し酸化試験を行った。１サイ
クルの繰り返し酸化試験としては、８５０℃に昇温した
酸化試験炉に基材を１５分かけて導入し、高温酸化試験
炉内で２０時間保持して酸化させた後、１５分かけて酸
化試験炉から基材を取り出した。１サイクルの繰り返し
酸化ごとに、酸化による基材の重量変化を測定した。測
定した重量変化により基材の耐高温酸化性を評価した。
【００２６】（実施例２）実施例２では、実施例１と同
じＴｉ−Ａｌ系合金からなる基材を用いた。実施例１と
同じようにフッ素イオン含有プラズマベースイオン注入
処理を行った。ただし、負のバイアス電圧を１０ｋVと
した。そして、実施例１と同じ条件で基材に対して高温
酸化試験を行った。
じＴｉ−Ａｌ系合金からなる基材を用いた。実施例１と
同じようにフッ素イオン含有プラズマベースイオン注入
処理を行った。ただし、負のバイアス電圧を１０ｋVと
した。そして、実施例１と同じ条件で基材に対して高温
酸化試験を行った。
【００２７】（比較例１）比較例１では、実施例１と同
じＴｉ−Ａｌ系合金からなる基材を用い、フッ素イオン
含有プラズマベースイオン注入処理を行わずに、実施例
１と同じ条件で基材に対して直接高温酸化試験を行っ
た。
じＴｉ−Ａｌ系合金からなる基材を用い、フッ素イオン
含有プラズマベースイオン注入処理を行わずに、実施例
１と同じ条件で基材に対して直接高温酸化試験を行っ
た。
【００２８】（繰り返し酸化試験の評価結果）繰り返し
酸化試験の評価結果を表１に示す。
酸化試験の評価結果を表１に示す。
【００２９】
【表１】
【００３０】表１からわかるように、フッ素イオン含有
プラズマベースイオン注入処理を行わなかった比較例１
では、50時間までの酸化初期では、酸化による重量増加
が急速に増大した。その後は、重量減少が観察された。
その重量の減少は高温酸化時間の増加につれて大きく増
大した。このような酸化挙動は次の理由によるものと考
えられる。
プラズマベースイオン注入処理を行わなかった比較例１
では、50時間までの酸化初期では、酸化による重量増加
が急速に増大した。その後は、重量減少が観察された。
その重量の減少は高温酸化時間の増加につれて大きく増
大した。このような酸化挙動は次の理由によるものと考
えられる。
【００３１】高温酸化反応により基材の表面に保護性の
ない厚いＴｉＯ2とＡｌ2Ｏ3からなる酸化皮膜が形成さ
れ、そのため、酸化初期における急速な重量増加が見ら
れた。高温酸化時間の増加につれて保護性のない酸化皮
膜が急速に成長し、高温から室温への冷却過程で熱応力
が発生し、これにより厚いＴｉＯ2とＡｌ2Ｏ3混合物の
酸化皮膜が基材から剥離する。このように、保護性のな
い酸化皮膜の急速成長と剥離の繰り返しで、基材の重量
は高温酸化時間の増加につれて大きく減少することが観
察された。
ない厚いＴｉＯ2とＡｌ2Ｏ3からなる酸化皮膜が形成さ
れ、そのため、酸化初期における急速な重量増加が見ら
れた。高温酸化時間の増加につれて保護性のない酸化皮
膜が急速に成長し、高温から室温への冷却過程で熱応力
が発生し、これにより厚いＴｉＯ2とＡｌ2Ｏ3混合物の
酸化皮膜が基材から剥離する。このように、保護性のな
い酸化皮膜の急速成長と剥離の繰り返しで、基材の重量
は高温酸化時間の増加につれて大きく減少することが観
察された。
【００３２】これに対して、フッ素含有プラズマベース
イオン注入処理を行った実施例１と実施例２の基材で
は、重量がわずか増加した。特に実施例1の基材は８５
０℃で３００時間の繰り返し酸化試験を行った後にも、
重量増加は0.31mg/cm2と非常に少なく、優れた耐高温酸
化性を示した。
イオン注入処理を行った実施例１と実施例２の基材で
は、重量がわずか増加した。特に実施例1の基材は８５
０℃で３００時間の繰り返し酸化試験を行った後にも、
重量増加は0.31mg/cm2と非常に少なく、優れた耐高温酸
化性を示した。
【００３３】これは、均一に注入されたフッ素イオンの
働きによりＴｉ−Ａｌ系合金の表面に緻密で連続なＡｌ
2Ｏ3皮膜が形成されることによって基材の酸化が抑制さ
れるためであると考えられる。
働きによりＴｉ−Ａｌ系合金の表面に緻密で連続なＡｌ
2Ｏ3皮膜が形成されることによって基材の酸化が抑制さ
れるためであると考えられる。
【００３４】
【発明の効果】本発明の表面改質法により処理されたＴ
ｉ−Ａｌ系合金は、自動車エンジンのバルブやターボチ
ャージャ、航空機用タービンエンジン、発電用ガスター
ビン、高温ダイス、軸受け部品等の高温構造材料への応
用が可能となる。
ｉ−Ａｌ系合金は、自動車エンジンのバルブやターボチ
ャージャ、航空機用タービンエンジン、発電用ガスター
ビン、高温ダイス、軸受け部品等の高温構造材料への応
用が可能となる。
【図１】フッ素イオン含有プラズマベースイオン注入処
理の模式図である。
理の模式図である。
【図２】実施例1の基材のX線光電子分光法による分析結
果を示す図である。
果を示す図である。
１ 基材 ２ フッ素イオン ３ フッ素イオン含有プラズマ ４ プラズマシース ５ パルスバイアス電圧 ６ 真空容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 和久 大阪府枚方市津田山手２−８−１ 株式会 社イオン工学研究所内 (72)発明者 岩本 信也 大阪府枚方市津田山手２−８−１ 株式会 社イオン工学研究所内 (72)発明者 谷口 滋次 大阪吹田市山田丘２番１号 大阪大学内 (72)発明者 松永 康夫 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター基板技術研究所内 (72)発明者 中川 精和 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター基板技術研究所内 Ｆターム(参考） 4K029 AA02 BA32 BC01 CA10 CA13
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｔｉ−Ａｌ系合金からなる基材をフッ素
イオン含有プラズマ中においてプラズマベースイオン注
入法によりフッ素イオンを注入することを特徴とするＴ
ｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法 - 【請求項２】 前記フッ素イオン含有プラズマはフッ素
ガスまたフッ素ガスと不活性ガスの混合ガスから形成さ
れることを特徴とする請求項１記載のＴｉ−Ａｌ系合金
の耐高温酸化表面改質法。 - 【請求項３】 前記フッ素イオン含有プラズマベースイ
オン注入では、前記基材に５ｋＶ以上の負のパルスバイ
アス電圧を印加することを特徴とする請求項１または請
求項２記載のＴｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140862A JP2002332569A (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140862A JP2002332569A (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002332569A true JP2002332569A (ja) | 2002-11-22 |
Family
ID=18987392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001140862A Pending JP2002332569A (ja) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | Ｔｉ−Ａｌ系合金の耐高温酸化表面改質法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002332569A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006024886A1 (de) * | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Dechema Gesellschaft Für Chemische Technik Und Biotechnologie E.V. | Erhöhung der Oxidationsbeständigkeit von TiAl-Legierungen durch die Behandlung mit Fluor |
| WO2009054536A1 (ja) | 2007-10-24 | 2009-04-30 | Air Water Inc. | Ｔｉ－Ａｌ系合金の表面処理方法およびそれによって得られたＴｉ－Ａｌ系合金 |
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