JP2002318107A - ミラーボックス - Google Patents
ミラーボックスInfo
- Publication number
- JP2002318107A JP2002318107A JP2001123069A JP2001123069A JP2002318107A JP 2002318107 A JP2002318107 A JP 2002318107A JP 2001123069 A JP2001123069 A JP 2001123069A JP 2001123069 A JP2001123069 A JP 2001123069A JP 2002318107 A JP2002318107 A JP 2002318107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- mirror box
- optical element
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 メンテナンスが容易な又はメンテナンス後の
位置関係の再現性が良好なミラーボックスを提供する。 【解決手段】 所定の光路を形成するように配置された
複数のミラー７〜10を含む光学素子群と、所定の光路上
に位置する壁部に光通過用窓を有するようにして光学素
子群を収容する筐体201とを備え、光学素子群のうち少
なくとも複数のミラー７〜10が、筐体201の壁部の一部
を構成しかつ該筐体201の残部に着脱可能な基板51に取
り付けられてなるものである。また、光学素子群のうち
少なくともミラー７〜10が、筐体201の外部から姿勢又
は位置を調整可能（55)に構成されてなるものである。
位置関係の再現性が良好なミラーボックスを提供する。 【解決手段】 所定の光路を形成するように配置された
複数のミラー７〜10を含む光学素子群と、所定の光路上
に位置する壁部に光通過用窓を有するようにして光学素
子群を収容する筐体201とを備え、光学素子群のうち少
なくとも複数のミラー７〜10が、筐体201の壁部の一部
を構成しかつ該筐体201の残部に着脱可能な基板51に取
り付けられてなるものである。また、光学素子群のうち
少なくともミラー７〜10が、筐体201の外部から姿勢又
は位置を調整可能（55)に構成されてなるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミラーボックスに
関し、特に、膜厚モニタに使用されるものに関する。
関し、特に、膜厚モニタに使用されるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のミラーボックスの一例の構
成を示す模式図である。図４に示すように、ミラーボッ
クス101は、投光器２及び受光器102とともに膜厚モニタ
を構成し、その内部に収容した複数のミラー105,106,10
7によって、投光器２から出射された測定光108を測定対
象110に照射し該測定対象110で反射された測定光を受光
器102に入射せしめるものである
成を示す模式図である。図４に示すように、ミラーボッ
クス101は、投光器２及び受光器102とともに膜厚モニタ
を構成し、その内部に収容した複数のミラー105,106,10
7によって、投光器２から出射された測定光108を測定対
象110に照射し該測定対象110で反射された測定光を受光
器102に入射せしめるものである
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ミラー
ボックス101が用いられる膜厚モニタには、専ら紫外域
で使用されるものがある。このような膜厚モニタでは、
紫外域の測定光108によってオゾンが発生する。そのた
め、ミラーボックス101内のミラー105〜107を、例えば
３ヶ月といった比較的短い間隔で定期的に交換する必要
がある。また、上記例では示していないが、ミラーボッ
クス101内にレンズを含む場合は、その清掃が必要であ
る。
ボックス101が用いられる膜厚モニタには、専ら紫外域
で使用されるものがある。このような膜厚モニタでは、
紫外域の測定光108によってオゾンが発生する。そのた
め、ミラーボックス101内のミラー105〜107を、例えば
３ヶ月といった比較的短い間隔で定期的に交換する必要
がある。また、上記例では示していないが、ミラーボッ
クス101内にレンズを含む場合は、その清掃が必要であ
る。
【０００４】このようなメンテナンスを行う場合、上記
ミラーボックス101では、蓋を開けて内部に手を突っ込
み、所要の作業を行っていた。従って、メンテナンス作
業が容易ではなかった。また、メンテナンスでミラー10
5〜107を交換した場合、その反射方向、すなわちその姿
勢を微調整する必要があるが、上記ミラーボックス101
では、複数のミラー105,106,107が異なる面にそれぞれ
取り付けられているので、ミラー相互間の位置関係が狂
いやすく、そのため、メンテナンス後の位置関係の良好
な再現性が得られなかった。
ミラーボックス101では、蓋を開けて内部に手を突っ込
み、所要の作業を行っていた。従って、メンテナンス作
業が容易ではなかった。また、メンテナンスでミラー10
5〜107を交換した場合、その反射方向、すなわちその姿
勢を微調整する必要があるが、上記ミラーボックス101
では、複数のミラー105,106,107が異なる面にそれぞれ
取り付けられているので、ミラー相互間の位置関係が狂
いやすく、そのため、メンテナンス後の位置関係の良好
な再現性が得られなかった。
【０００５】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたもので、メンテナンスが容易なミラーボッ
クスを提供することを第１の目的としている。
めになされたもので、メンテナンスが容易なミラーボッ
クスを提供することを第１の目的としている。
【０００６】また、本発明は、メンテナンス後の位置関
係の再現性が良好なミラーボックスを提供することを第
２の目的としている。
係の再現性が良好なミラーボックスを提供することを第
２の目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る、ミラーボックスは、所定の光路を形
成するように配置された複数のミラーを含む光学素子群
と、上記所定の光路上に位置する壁部に光通過用窓を有
するようにして上記光学素子群を収容する筐体とを備
え、上記光学素子群のうち少なくとも上記複数のミラー
が、上記筐体の壁部の一部を構成しかつ該筐体の残部に
着脱可能な基板に取り付けられてなるものである（請求
項１）。ここで、本明細書において、光通過用窓とは、
孔及び孔に透光部材が嵌め込まれてなるものの双方を意
味する。
に、本発明に係る、ミラーボックスは、所定の光路を形
成するように配置された複数のミラーを含む光学素子群
と、上記所定の光路上に位置する壁部に光通過用窓を有
するようにして上記光学素子群を収容する筐体とを備
え、上記光学素子群のうち少なくとも上記複数のミラー
が、上記筐体の壁部の一部を構成しかつ該筐体の残部に
着脱可能な基板に取り付けられてなるものである（請求
項１）。ここで、本明細書において、光通過用窓とは、
孔及び孔に透光部材が嵌め込まれてなるものの双方を意
味する。
【０００８】かかる構成とすると、基板を取り外して机
上に置くことにより、光学素子のメンテナンスを容易に
行うことができる。また、光学素子群のミラーを含む部
分が１つの基板に取り付けられているので、ミラー相互
間の光路調整が容易でかつ一端調整されたミラー相互間
の位置関係が狂いにくい。そのため、メンテナンスを終
えてそれらを元の状態に組み立てた場合に、その位置関
係の再現性が良好なものとなる。
上に置くことにより、光学素子のメンテナンスを容易に
行うことができる。また、光学素子群のミラーを含む部
分が１つの基板に取り付けられているので、ミラー相互
間の光路調整が容易でかつ一端調整されたミラー相互間
の位置関係が狂いにくい。そのため、メンテナンスを終
えてそれらを元の状態に組み立てた場合に、その位置関
係の再現性が良好なものとなる。
【０００９】また、本発明に係るミラーボックスは、所
定の光路を形成するように配置された複数のミラーを含
む光学素子群と、上記所定の光路上に位置する壁部に光
通過用窓を有するようにして上記光学素子群を収容する
筐体とを備え、上記光学素子群のうち少なくともミラー
が、上記筐体の外部から姿勢又は位置を調整可能に構成
されてなるものである（請求項２）。
定の光路を形成するように配置された複数のミラーを含
む光学素子群と、上記所定の光路上に位置する壁部に光
通過用窓を有するようにして上記光学素子群を収容する
筐体とを備え、上記光学素子群のうち少なくともミラー
が、上記筐体の外部から姿勢又は位置を調整可能に構成
されてなるものである（請求項２）。
【００１０】かかる構成とすると、ミラーの姿勢又は位
置を容易に調整することができる。
置を容易に調整することができる。
【００１１】この場合、上記ミラーが、上記筐体の外部
の１つの方向から上記調整が可能なように構成されてな
るものとしてもよい（請求項３）。
の１つの方向から上記調整が可能なように構成されてな
るものとしてもよい（請求項３）。
【００１２】かかる構成とすると、ミラーの姿勢又は位
置をより容易に調整することができる。
置をより容易に調整することができる。
【００１３】この場合、上記光学素子群のうち少なくと
もミラーを含む部分が、上記筐体の一部を構成しかつ該
筐体の残部に着脱可能な基板に取り付けられてなり、上
記ミラーが、該基板の外側から上記調整が可能なように
構成されてなるものとしてもよい（請求項４）。
もミラーを含む部分が、上記筐体の一部を構成しかつ該
筐体の残部に着脱可能な基板に取り付けられてなり、上
記ミラーが、該基板の外側から上記調整が可能なように
構成されてなるものとしてもよい（請求項４）。
【００１４】かかる構成とすると、一般にミラーの取り
付け部に調整機構が設けられるので、その調整部材を基
板の反対側に突出させることにより、簡単に調整機構を
構成できる。
付け部に調整機構が設けられるので、その調整部材を基
板の反対側に突出させることにより、簡単に調整機構を
構成できる。
【００１５】また、上記の場合、上記ミラーボックス
が、投光器及び受光器とともに膜厚モニタを構成し、上
記投光器から出射された測定光を測定対象に照射し該測
定対象で反射された測定光を上記受光器に入射せしめる
ものであるとしてもい（請求項５）。
が、投光器及び受光器とともに膜厚モニタを構成し、上
記投光器から出射された測定光を測定対象に照射し該測
定対象で反射された測定光を上記受光器に入射せしめる
ものであるとしてもい（請求項５）。
【００１６】かかる構成とすると、メンテナンス又はミ
ラー調整が容易な膜厚モニタを提供できる。
ラー調整が容易な膜厚モニタを提供できる。
【００１７】この場合、上記膜厚モニタが紫外域の測定
光を用いて膜厚をモニタ可能なものであるとしてもよい
（請求項６）。
光を用いて膜厚をモニタ可能なものであるとしてもよい
（請求項６）。
【００１８】かかる構成とすると、紫外域の測定ではオ
ゾンが発生してメンテナンスの頻度が高くなるので、よ
り顕著な効果を奏する。
ゾンが発生してメンテナンスの頻度が高くなるので、よ
り顕著な効果を奏する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。 実施の形態 図１は本発明の実施の形態に係るミラーボックスを用い
た膜厚モニタの構成を示す模式図である。
を参照しながら説明する。 実施の形態 図１は本発明の実施の形態に係るミラーボックスを用い
た膜厚モニタの構成を示す模式図である。
【００２０】図１において、膜厚モニタ１は、投光器
２、ミラーボックス３、及び受光器４を主な構成要素と
して構成されている。
２、ミラーボックス３、及び受光器４を主な構成要素と
して構成されている。
【００２１】投光器２は、光源２から発せられた光及び
その反射鏡５で反射された光を、レンズ、絞り、ピンホ
ール等からなる光学素子ユニット６で所定形状のビーム
に形成して測定光13として出射するよう構成されてい
る。光源２は、ここではキセノンランプを用いている。
キセノンランプは、190ｎｍ〜1200ｎｍ程度の波長帯域
の光を発生するので、これにより、投光器１は、紫外域
から可視光域に渡る広範囲の波長の測定光を出射するこ
とができる。
その反射鏡５で反射された光を、レンズ、絞り、ピンホ
ール等からなる光学素子ユニット６で所定形状のビーム
に形成して測定光13として出射するよう構成されてい
る。光源２は、ここではキセノンランプを用いている。
キセノンランプは、190ｎｍ〜1200ｎｍ程度の波長帯域
の光を発生するので、これにより、投光器１は、紫外域
から可視光域に渡る広範囲の波長の測定光を出射するこ
とができる。
【００２２】ミラーボックス３は、筐体201を有し、該
筐体201の内部に適宜に配置された複数のミラー７〜10
及び集光レンズ11を収容しており、その複数のミラー７
〜10により投光器２から出射された測定光13を測定対象
12に照射し、その測定対象12で反射された測定光13を集
光レンズ11に入射せしめるとともにその集光レンズ11に
より集光して受光器４に入射せしめるよう構成されてい
る。また、集光レンズ11は、その光軸方向33に移動可能
に構成されている。なお、符号50aは、投光器から測定
光13を入射せしめるための孔、符号50bは測定光13を測
定対象12に照射するための窓、符号50cは測定対象12で
反射された測定光13を入射せしめるための窓、符号50d
は測定光13を受光器に入射せしめるための孔をそれぞれ
示す。
筐体201の内部に適宜に配置された複数のミラー７〜10
及び集光レンズ11を収容しており、その複数のミラー７
〜10により投光器２から出射された測定光13を測定対象
12に照射し、その測定対象12で反射された測定光13を集
光レンズ11に入射せしめるとともにその集光レンズ11に
より集光して受光器４に入射せしめるよう構成されてい
る。また、集光レンズ11は、その光軸方向33に移動可能
に構成されている。なお、符号50aは、投光器から測定
光13を入射せしめるための孔、符号50bは測定光13を測
定対象12に照射するための窓、符号50cは測定対象12で
反射された測定光13を入射せしめるための窓、符号50d
は測定光13を受光器に入射せしめるための孔をそれぞれ
示す。
【００２３】受光器４は、スリット15、モノクロメータ
14、及び受光素子16、表示装置（図示せず）等を備え、
集光レンズ11から入射する測定光13をモノクロメータ14
を介して受光素子16で受光し、その受光した測定光13の
干渉による強度変化を検出して表示装置に表示するよう
構成されている。これにより、測定対象12の膜厚をモニ
タ（測定）することが可能になっている。なお、集光レ
ンズ11で集光された測定光13はスリット15が位置する点
に焦点が位置する（像を結ぶ）よう設定され、そのスリ
ット15に位置する点における像（測定光のビームの断面
形状）と同じ像が受光素子16の受光面上に現われるよう
になっている。
14、及び受光素子16、表示装置（図示せず）等を備え、
集光レンズ11から入射する測定光13をモノクロメータ14
を介して受光素子16で受光し、その受光した測定光13の
干渉による強度変化を検出して表示装置に表示するよう
構成されている。これにより、測定対象12の膜厚をモニ
タ（測定）することが可能になっている。なお、集光レ
ンズ11で集光された測定光13はスリット15が位置する点
に焦点が位置する（像を結ぶ）よう設定され、そのスリ
ット15に位置する点における像（測定光のビームの断面
形状）と同じ像が受光素子16の受光面上に現われるよう
になっている。
【００２４】次に、ミラーボックス３の構成を詳説す
る。図２は図１のミラーボックスの構成を示す図であっ
て、(a)は分解斜視図、(b)は基板への光学素子群の取付
状態を示す斜視図である。なお、図２においては、筐体
の測定光通過用の窓及び孔を省略している。
る。図２は図１のミラーボックスの構成を示す図であっ
て、(a)は分解斜視図、(b)は基板への光学素子群の取付
状態を示す斜視図である。なお、図２においては、筐体
の測定光通過用の窓及び孔を省略している。
【００２５】図２(a)に示すように、ミラーボックス３
は筐体201を有している。筐体201は、直方体形状のケー
ス50の開放された１つの側面（以下、開放側面という）
50eに基板51が取り付けられて構成されている。開放側
面50eの一方の対向する角部には、位置決めピン52がそ
れぞれ突設されている。一方、基板51は、該開放側面50
eに合わさる矩形形状を有し、上記位置決めピン52に対
応する角部に該位置決めピン52に嵌合する位置決め孔53
が形成されている。そして、基板51は、位置決めピン52
に位置決め孔53が嵌合するようにしてケース50の開放側
面50eに接合され、他方の対向する角部をネジ57で止め
られて該ケース50に取り付けられている。これにより、
基板51は、ケース50に対する取付精度を確保しつつ該ケ
ース50に着脱可能となっている。
は筐体201を有している。筐体201は、直方体形状のケー
ス50の開放された１つの側面（以下、開放側面という）
50eに基板51が取り付けられて構成されている。開放側
面50eの一方の対向する角部には、位置決めピン52がそ
れぞれ突設されている。一方、基板51は、該開放側面50
eに合わさる矩形形状を有し、上記位置決めピン52に対
応する角部に該位置決めピン52に嵌合する位置決め孔53
が形成されている。そして、基板51は、位置決めピン52
に位置決め孔53が嵌合するようにしてケース50の開放側
面50eに接合され、他方の対向する角部をネジ57で止め
られて該ケース50に取り付けられている。これにより、
基板51は、ケース50に対する取付精度を確保しつつ該ケ
ース50に着脱可能となっている。
【００２６】図２(b)に示すように、基板51の内面に
は、第１〜第４のミラー７〜10及び集光レンズ11が、図
１に示す光路を形成するように配置されている。第１〜
第４のミラー７は、ミラーホルダ７a〜10aに保持され、
後述する姿勢調整機構を介して基板51に取り付けられて
いる。集光レンズレンズ11はレンズホルダ11aに保持さ
れ、図示されない位置調整機構を介して基板51に取り付
けられている。集光レンズ11は、この位置調整機構によ
りモータ駆動されてその光軸方向33（図１参照）に位置
調整可能となっている。そして、第１のミラー７は凹面
鏡で構成され、第２〜第４のミラー８〜10は平面鏡で構
成されている。一方、基板51の外面には、適所に３本の
取っ手54が配設されている。この取っ手54は、基板51を
仰向けに載置したときにその支持脚となるように構成さ
れている。また、基板51の外面には、各ミラー７〜10の
姿勢を調整するための調整ネジ55が突設され、さらに、
集光レンズ11の上述の位置調整機構を収容するケース56
が配設されている。なお、この位置調整機構のモータの
操作部は図示されない膜厚モニタの操作部内に配置され
ている。
は、第１〜第４のミラー７〜10及び集光レンズ11が、図
１に示す光路を形成するように配置されている。第１〜
第４のミラー７は、ミラーホルダ７a〜10aに保持され、
後述する姿勢調整機構を介して基板51に取り付けられて
いる。集光レンズレンズ11はレンズホルダ11aに保持さ
れ、図示されない位置調整機構を介して基板51に取り付
けられている。集光レンズ11は、この位置調整機構によ
りモータ駆動されてその光軸方向33（図１参照）に位置
調整可能となっている。そして、第１のミラー７は凹面
鏡で構成され、第２〜第４のミラー８〜10は平面鏡で構
成されている。一方、基板51の外面には、適所に３本の
取っ手54が配設されている。この取っ手54は、基板51を
仰向けに載置したときにその支持脚となるように構成さ
れている。また、基板51の外面には、各ミラー７〜10の
姿勢を調整するための調整ネジ55が突設され、さらに、
集光レンズ11の上述の位置調整機構を収容するケース56
が配設されている。なお、この位置調整機構のモータの
操作部は図示されない膜厚モニタの操作部内に配置され
ている。
【００２７】次に、ミラーの姿勢調整機構を説明する。
図３はミラーの姿勢調整機構を示す図であって、(a)は
断面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図である。図３では第３
のミラー９の姿勢調整機構を示している。
図３はミラーの姿勢調整機構を示す図であって、(a)は
断面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図である。図３では第３
のミラー９の姿勢調整機構を示している。
【００２８】図３に示すように、ミラーの姿勢調整機構
60は、対向するように配置された固定板61及び可動板62
を有している。可動板62の内面には、中央部に略半球状
の凹部62aが形成され、外縁部に３つの平坦な底面を有
する凹部64が形成されている。また、固定板61の内面に
は、可動板62と対称な位置に凹部61aと３つのネジ孔61b
とがそれぞれ形成されている。凹部61aは、可動板62の
凹部62aと同じ曲率の略半球状に形成され、ネジ孔61bは
固定板61を貫通するように形成されている。そして、固
定板61が基板51の内面にネジ66で止められて固定されて
いる。そして、固定板61の凹部61a上に該凹部61及び可
動板62の凹部62aに嵌合する球63が載置され、該球63上
に、凹部62aが該球63に嵌合するようにして、可動板62
が載置されている。ここで、双方の凹部61a,62aは半球
より小さい球状に形成されているので、固定板61と可動
板62との間には一定の隙間が形成されている。この可動
板62にミラーホルダ９aが立設され、該ミラーホルダ９a
に第３のミラー９が保持されている。可動板62は、球63
の周囲に位置するように固定板61との間に配設された引
っ張りバネ67によって該固定板61の方に付勢されてい
る。そして、基板51の、固定板61の各ネジ孔61bに対応
する部分にネジ挿通孔65がそれぞれ形成され、各ネジ挿
通孔65を通して固定板61の各ネジ孔61bに調整ネジ55が
螺合されている。そして、調整ネジ55の先端が可動板62
の凹部62bの底面に当接している。これにより、第３の
ミラー９が、レンズホルダ９a、可動板62、球63、及び
固定板61を介して基板51に対し位置決めされる。また、
３本の調整ネジ55を回してこれを適宜進退させることに
より、第３のミラー９が球63を支点に揺動してその姿勢
が変化する。図３には第３のミラー９の姿勢調整機構を
示したが、残りの第１、第２、第４のミラー７,８,10の
姿勢調整機構も同様に構成されている。
60は、対向するように配置された固定板61及び可動板62
を有している。可動板62の内面には、中央部に略半球状
の凹部62aが形成され、外縁部に３つの平坦な底面を有
する凹部64が形成されている。また、固定板61の内面に
は、可動板62と対称な位置に凹部61aと３つのネジ孔61b
とがそれぞれ形成されている。凹部61aは、可動板62の
凹部62aと同じ曲率の略半球状に形成され、ネジ孔61bは
固定板61を貫通するように形成されている。そして、固
定板61が基板51の内面にネジ66で止められて固定されて
いる。そして、固定板61の凹部61a上に該凹部61及び可
動板62の凹部62aに嵌合する球63が載置され、該球63上
に、凹部62aが該球63に嵌合するようにして、可動板62
が載置されている。ここで、双方の凹部61a,62aは半球
より小さい球状に形成されているので、固定板61と可動
板62との間には一定の隙間が形成されている。この可動
板62にミラーホルダ９aが立設され、該ミラーホルダ９a
に第３のミラー９が保持されている。可動板62は、球63
の周囲に位置するように固定板61との間に配設された引
っ張りバネ67によって該固定板61の方に付勢されてい
る。そして、基板51の、固定板61の各ネジ孔61bに対応
する部分にネジ挿通孔65がそれぞれ形成され、各ネジ挿
通孔65を通して固定板61の各ネジ孔61bに調整ネジ55が
螺合されている。そして、調整ネジ55の先端が可動板62
の凹部62bの底面に当接している。これにより、第３の
ミラー９が、レンズホルダ９a、可動板62、球63、及び
固定板61を介して基板51に対し位置決めされる。また、
３本の調整ネジ55を回してこれを適宜進退させることに
より、第３のミラー９が球63を支点に揺動してその姿勢
が変化する。図３には第３のミラー９の姿勢調整機構を
示したが、残りの第１、第２、第４のミラー７,８,10の
姿勢調整機構も同様に構成されている。
【００２９】次に、以上のように構成されたミラーボッ
クスの動作及び使用方法を説明する。
クスの動作及び使用方法を説明する。
【００３０】図１において、ミラーボックス３は、使用
時には、投光器２から出射された測定光13を測定対象12
に照射し、その測定対象12で反射された測定光13を集光
レンズ11に入射せしめるとともにその集光レンズ11によ
り集光して受光器４に入射せしめる。
時には、投光器２から出射された測定光13を測定対象12
に照射し、その測定対象12で反射された測定光13を集光
レンズ11に入射せしめるとともにその集光レンズ11によ
り集光して受光器４に入射せしめる。
【００３１】一方、メンテナンスの際には、図２に示す
ように、ネジ57を外して基板51をケース50から取り外
し、それを、例えば机上に仰向けに載置する。そして、
各ミラー７〜10を各々のミラーホルダ７a〜10aから取り
外して交換し、集光レンズ11を清掃する。この場合、机
上で行えるので容易に作業できる。
ように、ネジ57を外して基板51をケース50から取り外
し、それを、例えば机上に仰向けに載置する。そして、
各ミラー７〜10を各々のミラーホルダ７a〜10aから取り
外して交換し、集光レンズ11を清掃する。この場合、机
上で行えるので容易に作業できる。
【００３２】その後、基板51を位置決め孔53が位置決め
ピン52に嵌合するようにしてケース６に嵌め込み、ネジ
57で止める。
ピン52に嵌合するようにしてケース６に嵌め込み、ネジ
57で止める。
【００３３】次いで、調整ネジ55を回して各ミラー７〜
10の傾き（姿勢）を調整する。また、操作部を操作して
モータを駆動し、集光レンズ11の光軸方向における位置
を微調整する。この場合、全てのミラー７〜10及び集光
レンズ11が１つの基板51に取り付けられているので、光
学素子相互間の光路調整が容易でかつ一端調整された光
学素子間の位置関係が狂いにくい。そのため、メンテナ
ンス後のそれらの位置関係の再現性が良好なものとな
る。また、ミラー７〜10及び集光レンズ11の調整を筐体
201の外部から行えるので、容易に調整することができ
る。しかも、全てのミラー７〜10の調整を一方向から行
えるので、より容易に調整することができる。特に、本
実施の形態では、膜厚モニタ１が紫外域における測定を
行うので、測定光13によりオゾンが発生して頻繁に定期
的なメンテナンスを行う必要がある。よって、メンテナ
ンスが容易な本実施の形態に係るミラーボックス３は、
この膜厚モニタ１に非常に好適なものとなっている。
10の傾き（姿勢）を調整する。また、操作部を操作して
モータを駆動し、集光レンズ11の光軸方向における位置
を微調整する。この場合、全てのミラー７〜10及び集光
レンズ11が１つの基板51に取り付けられているので、光
学素子相互間の光路調整が容易でかつ一端調整された光
学素子間の位置関係が狂いにくい。そのため、メンテナ
ンス後のそれらの位置関係の再現性が良好なものとな
る。また、ミラー７〜10及び集光レンズ11の調整を筐体
201の外部から行えるので、容易に調整することができ
る。しかも、全てのミラー７〜10の調整を一方向から行
えるので、より容易に調整することができる。特に、本
実施の形態では、膜厚モニタ１が紫外域における測定を
行うので、測定光13によりオゾンが発生して頻繁に定期
的なメンテナンスを行う必要がある。よって、メンテナ
ンスが容易な本実施の形態に係るミラーボックス３は、
この膜厚モニタ１に非常に好適なものとなっている。
【００３４】なお、本発明は上記実施の形態には限られ
ず、以下の形態によっても実施できる。
ず、以下の形態によっても実施できる。
【００３５】基板51をケース50の上面に取り付けるよう
にしてもよい。また、ミラー７〜10を筐体201の基板51
以外の面から調整できるようにしてもよい。また、ミラ
ー７〜10の姿勢ではなく位置を調整できるようにしても
よい。また、ミラーボックス３を膜厚モニタ以外の用途
に使用できるよう構成してもよい。
にしてもよい。また、ミラー７〜10を筐体201の基板51
以外の面から調整できるようにしてもよい。また、ミラ
ー７〜10の姿勢ではなく位置を調整できるようにしても
よい。また、ミラーボックス３を膜厚モニタ以外の用途
に使用できるよう構成してもよい。
【００３６】
【発明の効果】本発明は、以上に説明したような形態で
実施され、以下のような効果を奏する。 （１）光学素子のメンテナンスを容易に行うことがで
き、また、メンテナンスを終えてそれらを元の状態に組
み立てた場合に、その位置関係の再現性が良好なものと
なる。 （２）ミラーの姿勢又は位置を容易に調整することがで
きる。 （３）ミラーが、筐体の外部の１つの方向から上記調整
が可能なように構成されてなるものとすると、ミラーの
姿勢又は位置をより容易に調整することができる。 （４）光学素子群のうち少なくともミラーを含む部分
が、筐体の一部を構成しかつ筐体の残部に着脱可能な基
板に取り付けられてなり、ミラーが、基板の外側から上
記調整が可能なように構成されてなるものとすると、簡
単に調整機構を構成できる。 （５）ミラーボックスが、投光器及び受光器とともに膜
厚モニタを構成するものとすると、メンテナンス又はミ
ラー調整が容易膜厚モニタを提供できる。 （６）膜厚モニタが紫外域の測定光を用いて膜厚をモニ
タ可能なものであるとすると、より顕著な効果を奏す
る。
実施され、以下のような効果を奏する。 （１）光学素子のメンテナンスを容易に行うことがで
き、また、メンテナンスを終えてそれらを元の状態に組
み立てた場合に、その位置関係の再現性が良好なものと
なる。 （２）ミラーの姿勢又は位置を容易に調整することがで
きる。 （３）ミラーが、筐体の外部の１つの方向から上記調整
が可能なように構成されてなるものとすると、ミラーの
姿勢又は位置をより容易に調整することができる。 （４）光学素子群のうち少なくともミラーを含む部分
が、筐体の一部を構成しかつ筐体の残部に着脱可能な基
板に取り付けられてなり、ミラーが、基板の外側から上
記調整が可能なように構成されてなるものとすると、簡
単に調整機構を構成できる。 （５）ミラーボックスが、投光器及び受光器とともに膜
厚モニタを構成するものとすると、メンテナンス又はミ
ラー調整が容易膜厚モニタを提供できる。 （６）膜厚モニタが紫外域の測定光を用いて膜厚をモニ
タ可能なものであるとすると、より顕著な効果を奏す
る。
【図１】本発明の実施の形態に係るミラーボックスを用
いた膜厚モニタの構成を示す模式図である。
いた膜厚モニタの構成を示す模式図である。
【図２】図１のミラーボックスの構成を示す図であっ
て、(a)は分解斜視図、(b)は基板への光学素子群の取付
状態を示す斜視図である。
て、(a)は分解斜視図、(b)は基板への光学素子群の取付
状態を示す斜視図である。
【図３】ミラーの姿勢調整機構を示す図であって、(a)
は断面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図である。
は断面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図である。
【図４】従来のミラーボックスの一例の構成を示す模式
図である。
図である。
１ 膜厚モニタ ２ 投光器 ３ ミラーボックス ４ 受光器 ５ 反射鏡 ６ 光学ユニット ７ 第１のミラー ７a〜10a ミラーホルダ ８ 第２のミラー ９ 第３のミラー 10 第４のミラー 11 集光レンズ 11a レンズホルダ 12 測定対象 13 測定光 14 モノクロメータ 15 スリット 16 受光素子 19 光源 33 集光レンズの光軸方向 50a,50d 孔 50b,50c 窓 50e 開放側面 51 基板 51a 内面 51b 外面 52 位置決めピン 53 位置決め孔 54 取っ手 55 調整ネジ 56 ケース 57 ネジ 60 ミラーの姿勢調整機構 61 固定板 61a 凹部 61b ネジ孔 62 可動板 62a,62b 凹部 63 球 65 ネジ挿通孔 66 ネジ 67 引っ張りバネ 201 筐体
フロントページの続き (72)発明者 生水出 淳史 兵庫県西宮市田近野町６番107号 新明和 工業株式会社開発センタ内 Ｆターム(参考） 2F064 FF02 GG02 GG44 GG64 KK01 2F065 AA30 DD00 FF51 GG03 GG24 LL04 LL12 LL19 LL28 LL30 LL68 PP02 PP05 2G059 AA03 AA05 BB10 DD13 EE02 EE09 GG10 HH02 HH03 HH06 JJ01 JJ11 JJ13 JJ14 KK01 NN07 PP04 2H043 BC02 BC04
Claims (6)
- 【請求項１】 所定の光路を形成するように配置された
複数のミラーを含む光学素子群と、 上記所定の光路上に位置する壁部に光通過用窓を有する
ようにして上記光学素子群を収容する筐体とを備え、 上記光学素子群のうち少なくとも上記複数のミラーが、
上記筐体の壁部の一部を構成しかつ該筐体の残部に着脱
可能な基板に取り付けられてなるミラーボックス。 - 【請求項２】 所定の光路を形成するように配置された
複数のミラーを含む光学素子群と、 上記所定の光路上に位置する壁部に光通過用窓を有する
ようにして上記光学素子群を収容する筐体とを備え、 上記光学素子群のうち少なくともミラーが、上記筐体の
外部から姿勢又は位置を調整可能に構成されてなるミラ
ーボックス。 - 【請求項３】 上記ミラーが、上記筐体の外部の１つの
方向から上記調整が可能なように構成されてなる請求項
２記載のミラーボックス。 - 【請求項４】 上記光学素子群のうち少なくともミラー
を含む部分が、上記筐体の一部を構成しかつ該筐体の残
部に着脱可能な基板に取り付けられてなり、 上記ミラーが、該基板の外側から上記調整が可能なよう
に構成されてなる請求項３記載のミラーボックス。 - 【請求項５】 上記ミラーボックスが、投光器及び受光
器とともに膜厚モニタを構成し、上記投光器から出射さ
れた測定光を測定対象に照射し該測定対象で反射された
測定光を上記受光器に入射せしめるものである請求項１
〜４のいずれか１つの項に記載のミラーボックス。 - 【請求項６】 上記膜厚モニタが紫外域の測定光を用い
て膜厚をモニタ可能なものである請求項５記載のミラー
ボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001123069A JP2002318107A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | ミラーボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001123069A JP2002318107A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | ミラーボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002318107A true JP2002318107A (ja) | 2002-10-31 |
Family
ID=18972681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001123069A Pending JP2002318107A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | ミラーボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002318107A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322385A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Toyota Motor Corp | ガス分析装置及びガス分析装置におけるセンサユニット |
| JP2013083740A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Saxa Inc | カメラの角度調整構造 |
| US8670128B2 (en) | 2009-02-02 | 2014-03-11 | Kobe Steel, Ltd. | Profile measuring apparatus |
| WO2018127757A1 (en) * | 2017-01-05 | 2018-07-12 | Illumina, Inc. | Modular optical analytic systems and methods |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04118638U (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-23 | 株式会社堀場製作所 | 光学機器 |
| JPH05332752A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-14 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光学式膜厚モニタおよびその光軸調整方法 |
| JPH06347212A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | ホログラム干渉計装置 |
| JPH07198597A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Kurabo Ind Ltd | 光電測定装置 |
| JPH09229768A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Graphtec Corp | レーザー利用測定器 |
| JPH1177353A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ切断装置 |
| JP2000021744A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Canon Inc | 露光装置およびそれを用いるデバイス製造方法 |
-
2001
- 2001-04-20 JP JP2001123069A patent/JP2002318107A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04118638U (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-23 | 株式会社堀場製作所 | 光学機器 |
| JPH05332752A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-14 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光学式膜厚モニタおよびその光軸調整方法 |
| JPH06347212A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | ホログラム干渉計装置 |
| JPH07198597A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Kurabo Ind Ltd | 光電測定装置 |
| JPH09229768A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Graphtec Corp | レーザー利用測定器 |
| JPH1177353A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ切断装置 |
| JP2000021744A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Canon Inc | 露光装置およびそれを用いるデバイス製造方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322385A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Toyota Motor Corp | ガス分析装置及びガス分析装置におけるセンサユニット |
| US8670128B2 (en) | 2009-02-02 | 2014-03-11 | Kobe Steel, Ltd. | Profile measuring apparatus |
| DE112010000808B4 (de) | 2009-02-02 | 2017-03-30 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Profilmesseinrichtung |
| JP2013083740A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Saxa Inc | カメラの角度調整構造 |
| WO2018127757A1 (en) * | 2017-01-05 | 2018-07-12 | Illumina, Inc. | Modular optical analytic systems and methods |
| US10732122B2 (en) | 2017-01-05 | 2020-08-04 | Illumina, Inc. | Modular optical analytic systems and methods |
| US11408828B2 (en) | 2017-01-05 | 2022-08-09 | Illumina, Inc. | Modular optical analytic systems and methods |
| US12044626B2 (en) | 2017-01-05 | 2024-07-23 | Illumina, Inc. | Modular optical analytic systems and methods |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7328516B2 (en) | Laser level | |
| JPH08262140A (ja) | レーザレーダ用光線あおり機構および該あおり機構を使用したレーザ装置 | |
| US20040079871A1 (en) | Photoelectric sensor | |
| AU753282B2 (en) | Apparatus for measuring characteristics of optical angle | |
| JP2003057514A (ja) | ロッドインテグレータおよびこれを用いた照明光学系 | |
| JP2001290060A (ja) | 光学部品取り付け装置 | |
| JP2002318107A (ja) | ミラーボックス | |
| JPH11133507A (ja) | 照明装置及び該照明装置を備えたプロジェクタ装置 | |
| JP2011248062A (ja) | プロジェクタ | |
| JP2007263587A (ja) | 吸光度測定用プローブ及び吸光度測定装置 | |
| JP2010286631A (ja) | インテグレータ装置及びプロジェクタ | |
| JP4352284B2 (ja) | 光学部品保持装置及びプロジェクタ装置 | |
| JP5772374B2 (ja) | 光源装置 | |
| JP2008203539A (ja) | プロジェクタ装置 | |
| JPH1163996A (ja) | レーザ表示器およびこのレーザ表示器の調整方法 | |
| JP4135842B2 (ja) | レーザ投光器 | |
| JP3873723B2 (ja) | レーザー墨出し装置 | |
| JPH11339156A (ja) | 感知器の照準機構 | |
| JP3237317B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
| JPH11271595A (ja) | ミラーホルダ装置 | |
| JP2561305Y2 (ja) | 顕微鏡用光源装置 | |
| JPH0562209A (ja) | コリメート装置 | |
| JP6011665B2 (ja) | 光学素子の光軸調整機構 | |
| JP2000304535A (ja) | ラインマーカー | |
| JP4622332B2 (ja) | リアプロジェクタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061010 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080717 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090113 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090203 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100706 |