JP2002314163A - 圧電体薄膜素子の製造方法、これを用いたインクジェットヘッド - Google Patents
圧電体薄膜素子の製造方法、これを用いたインクジェットヘッドInfo
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Abstract
く得ることにより、安定した高い圧電特性を備えた圧電
体素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 基板20上に振動板膜30(31、3
2)を成膜する工程(S1)と、前記振動板膜30上に
下部電極33を成膜する工程(S2)と、前記下部電極
33上に圧電体膜43aを成膜する圧電体成膜第1工程
(S3)と、前記圧電体成膜第1工程で成膜された圧電
体膜43a及び前記下部電極33を所定形状にパターニ
ングする工程(S4)と、前記パターニングにより残さ
れた圧電体膜43a上および圧電体膜が除去された前記
振動板膜30上に更に圧電体膜を成膜する圧電体成膜第
2工程(S5)と、前記圧電体膜43上に上部電極44
を形成する工程(S6)と、を備える。
Description
を有する圧電体素子に係り、特に、インクジェット式記
録ヘッドに用いた際に、優れた圧電特性が得られる圧電
体素子及びその製造方法、この圧電体素子を用いたイン
クジェット式記録ヘッド及びプリンタに関する。
タのインク吐出の駆動源として圧電体素子を用いる。こ
の圧電体素子は、一般的に、圧電体薄膜とこれを挟んで
配置される上部電極および下部電極とを備えて構成され
る。
らなる薄膜の結晶構造を規定したり、下部電極上にTi
核を形成させることにより、特性改善を図った圧電体素
子が開発されている。たとえば、特開平10−8101
6号公報には、菱面体晶系の結晶構造を備えかつ所定の
配向度を備えたPZT薄膜が開示されている。また、特
開平8−335676号公報には、Irの下部電極上に
チタン核を形成した圧電体素子が開示されている。
素子では、圧電体膜の所定の配向度を安定して再現性良
く得ることが困難であるという問題があった。このよう
な圧電体素子は、安定した高い圧電特性を得ることが難
しく、インクジェット式記録ヘッドないしはプリンタの
印字性能を十分に得られない要因となっている。
定形状にパターニングした後に、当該下部電極上に圧電
体膜を成膜する場合には、圧電体膜の所定の配向度を安
定して再現性よく得ることが困難であった。また、下部
電極のパターニング境界付近で、下部電極の膜厚が不均
一となったり圧電体膜の結晶が不連続となったりする問
題があった。
度を安定して再現性良く得ることにより、安定した高い
圧電特性を備えた圧電体素子およびその製造方法を提供
することを目的とする。また、下部電極の膜厚を均一化
し圧電体膜の結晶の不連続を解消することにより優れた
特性を示す圧電体素子及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
動源とするインクジェット式記録ヘッド及びその製造方
法並びにインクジェットプリンタを提供することを目的
とする。
本発明の圧電体素子の製造方法は、基板上に振動板膜を
成膜する工程と、前記振動板膜上に下部電極を成膜する
工程と、前記下部電極上に圧電体膜を成膜する圧電体成
膜第1工程と、前記圧電体成膜第1工程で成膜された圧
電体膜及び前記下部電極を所定形状にパターニングする
工程と、前記パターニングにより残された圧電体膜上お
よび圧電体膜が除去された前記振動板膜上に更に圧電体
膜を成膜する圧電体成膜第2工程と、前記圧電体膜上に
上部電極を形成する工程と、を備えたことを特徴とす
る。
り、湿度など影響を受けずに安定した100面配向度を
有するPZTを成膜することができる。また下部電極の
膜厚の不均一及び圧電体結晶の不連続を防止することが
できる。
1工程により成膜する圧電体膜の膜厚は、前記圧電体成
膜第2工程により成膜する圧電体の膜厚より薄いことが
望ましい。これにより、下部電極が除去された振動板膜
上の圧電体膜を十分な厚みに形成することができる。
2工程の前に、前記圧電体成膜第1工程で成膜されパタ
ーニングされた前記圧電体膜上にTi層を1nm以上4
nm以下の膜厚で成膜する工程を更に備えることが望ま
しい。これにより、圧電体成膜第2工程においても良好
な結晶を得られるとともに、圧電体成膜第1工程で成膜
された圧電体膜との間で不連続部分が生じることを防止
することができる。
造方法は、上記の方法によって得られた圧電体素子を備
え、前記基板をエッチングし圧力室を形成する工程と、
前記圧力室を覆うノズル板を形成する工程と、を備えて
いる。
膜、下部電極、圧電体膜、上部電極を順次積層してな
り、前記下部電極は所定形状にパターニングしてなり、
前記圧電体膜は、パターニングにより残された下部電極
上及び下部電極が除去された前記振動板膜上に形成さ
れ、前記圧電体膜のうち前記パターニングにより残され
た下部電極上に形成された部分は、前記振動板膜上に形
成された部分より層の数が多いことを特徴とする。
に振動板膜、下部電極、圧電体膜、上部電極を順次積層
してなり、前記下部電極は所定形状にパターニングして
なり、前記圧電体膜は、パターニングにより残された下
部電極上及び下部電極が除去された前記振動板膜上に形
成され、前記下部電極の厚さが均一であることを特徴と
する。
うち前記パターニングにより残された下部電極上に形成
された部分は、100面配向度が70%以上であること
が望ましい。
うち下部電極上に形成された部分は、各層の間で結晶構
造が連続していることが望ましい。これにより圧電体膜
の層間剥離が起こりにくく信頼性の高い圧電体素子を得
ることができる。
上記の圧電体素子と、当該圧電体素子の機械的変位によ
って内容積が変化する圧力室と、当該圧力室に連通して
インク滴を吐出する吐出口とを備えることを特徴とす
る。
のインクジェット式記録ヘッドを印字機構に備えること
を特徴とする。
は、X線回折広角法においてCuKα線を用いたときの
XYZ面に対応するピーク(2θ)の回折強度をI(X
YZ)と表記したとき、I(100)の、I(100)
とI(110)とI(111)の和に対する比率を意味
する。
面を参照して説明する。
1は、本実施形態の圧電体素子が使用されるプリンタの
構造を説明する斜視図である。このプリンタには、本体
2に、トレイ3、排出口4および操作ボタン9が設けら
れている。さらに本体2の内部には、インクジェット式
記録ヘッド1、供給機構6、制御回路8が備えられてい
る。
形成された複数の圧電体素子を備え、制御回路8から供
給される吐出信号に対応して、ノズルからインクを吐出
可能に構成されている。
5をトレイ3から供給可能な位置に供給機構6を配置
し、用紙5に印字可能なようにインクジェット式記録ヘ
ッド1を配置している。トレイ3は、印字前の用紙5を
供給機構6に供給可能に構成され、排出口4は、印刷が
終了した用紙5を排出する出口である。
1・602、その他の図示しない機械構造を備えてい
る。モータ600は、制御回路8から供給される駆動信
号に対応して回転可能になっている。機械構造は、モー
タ600の回転力をローラ601・602に伝達可能に
構成されている。ローラ601および602は、モータ
600の回転力が伝達されると回転するようになってお
り、回転によりトレイ3に載置された用紙5を引き込
み、ヘッド1によって印刷可能に供給するようになって
いる。
M、RAM、インターフェース回路などを備え、図示し
ないコネクタを介してコンピュータから供給される印字
情報に対応させて、駆動信号を供給機構6に供給した
り、吐出信号をインクジェット式記録ヘッド1に供給し
たりできるようになっている。また、制御回路8は操作
パネル9からの操作信号に対応させて動作モードの設
定、リセット処理などが行えるようになっている。
高い圧電特性を有し良好な印字性能を有するインクジェ
ット式記録ヘッドを備えているので、性能の高いプリン
タとなっている。
2は、本実施形態による圧電体素子を備えたインクジェ
ット式記録ヘッドの構造の説明図である。インクジェッ
ト式記録ヘッド1は、図に示すように、ノズル板10、
圧力室基板20および振動板30を備えて構成されてい
る。
21、側壁(隔壁)22、リザーバ23および供給口2
4を備えている。キャビティ21は、シリコン等の基板
をエッチングすることにより形成されたインクなどを吐
出するために貯蔵する空間となっている。側壁22はキ
ャビティ21間を仕切るよう形成されている。リザーバ
23は、インクを共通して各キャビティ21に充たすた
めの流路となっている。供給口24は、リザーバ23か
ら各キャビティ21にインクを導入可能に形成されてい
る。
れたキャビティ21の各々に対応する位置にそのノズル
穴11が配置されるよう、圧力室基板20の一方の面に
貼り合わせられている。ノズル板10を貼り合わせた圧
力室基板20は、さらに筐体25に納められて、インク
ジェット式記録ヘッド1を構成している。
貼り合わせられている。振動板30には圧電体素子(図
示しない)が設けられている。振動板30には、インク
タンク口(図示せず)が設けられて、図示しないインク
タンクに貯蔵されているインクを圧力室基板20内部に
供給可能になっている。
ジェット式記録ヘッドの圧電体素子部分を拡大した平面
図(a)及びそのi−i線断面図(b)である。図4
は、図3(a)のii−ii線断面図である。
絶縁膜31上にZrO2膜32、下部電極33、圧電体
膜43および上部電極44を順次積層して構成されてい
る。
結晶シリコンからなる圧力室基板20上に形成する。好
適には、酸化ケイ素(SiO2)からなる膜を1.0μ
mの厚さに形成して得る。
て、絶縁膜31と一体となって振動板30を構成してい
る。このZrO2膜32は、弾性を与える機能を備える
ため、好ましくは、200nm以上800nm以下の厚
みを有する。
双方の層を密着するような金属、好ましくは、チタンま
たはクロムからなる密着層(図示しない)を設けてもよ
い。密着層を設ける場合は、好ましくは、10nm以上
の厚みとする。
含む層、例えば最下層からIrを含む層/Ptを含む層
/Irを含む層の層構造となっている。下部電極33の
全体の厚みは、例えば100nmとする。下部電極33
の層構造はこれに限らず、Irを含む層/Ptを含む層
の2層構成、またはPtを含む層/Irを含む層の2層
構造でもよい。また、前記下部電極33はIrを含む層
のみで構成してもよい。
であり、好ましくは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)
等の強誘電性圧電性材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニ
ッケルまたは酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加し
たものからなる。圧電体膜43の組成は圧電体素子の特
性、用途等を考慮して適宜選択する。具体的には、チタ
ン酸鉛(PbTiO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb
(Zr,Ti)O3)、ジルコニウム酸鉛(PbZrO
3)、チタン酸鉛ランタン((Pb,La),Ti
O3)、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン((Pb,L
a)(Zr,Ti)O 3)又は、マグネシウムニオブ酸
ジルコニウムチタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)(Mg,
Nb)O3)等が好適に用いられる。また、チタン酸鉛
やジルコニウム酸鉛にニオブ(Nb)を適宜添加するこ
とにより、圧電特性に優れた膜を得ることができる。
された部分は、良好な圧電特性を示すためにはX線回折
広角法により測定した100面配向度が70%以上10
0以下、より好ましくは80%以上の膜であることが望
ましい。そして、110面配向度は10%以下、111
面配向度が残部であることが望ましい。但し、100面
配向度、110面配向度及び111面配向度の和は10
0%とする。圧電体膜43の厚みは、例えば1500n
mとする。
電極であり、好適には、PtまたはIrにより構成され
る。上部電極44の厚みは、好適には50nm程度であ
る。
となっている。これに対して配線用下電極33aは下部
電極33と同じ高さの層に位置するが、下部電極33や
他の配線用下電極33aとは分離され、細帯電極45を
介して上部電極44に導通可能になっている。
記インクジェット式記録ヘッド1の構成において、印刷
動作を説明する。制御回路8から駆動信号が出力される
と、供給機構6が動作し用紙5がヘッド1によって印刷
可能な位置まで搬送される。制御回路8から吐出信号が
供給されず圧電体素子の下部電極33と上部電極44と
の間に電圧が印加されていない場合、圧電体膜43には
変形を生じない。吐出信号が供給されていない圧電体素
子が設けられているキャビティ21には、圧力変化が生
じず、そのノズル穴11からインク滴は吐出されない。
圧電体素子の下部電極33と上部電極44との間に一定
電圧が印加された場合、圧電体膜43に変形を生じる。
吐出信号が供給された圧電体素子が設けられているキャ
ビティ21ではその振動板30が大きくたわむ。このた
めキャビティ21内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル穴
11からインク滴が吐出される。ヘッド中で印刷させた
い位置の圧電体素子に吐出信号を個別に供給すること
で、任意の文字や図形を印刷させることができる。
製造方法を説明する。図5及び図6は、本実施形態の圧
電体素子及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を
示す断面模式図である。
板20の厚みは、例えば200μm程度のものを使用す
る。絶縁膜の製造には酸素或いは水蒸気を含む酸化性雰
囲気中で高温処理し、例えば厚さ1μm程度の二酸化珪
素(SiO2)の膜を形成する。この工程には通常用い
る熱酸化法の他、CVD法を使用することもできる。
程度のZrO2膜32を更に形成する。このZrO2膜
32は、スパッタ法または真空蒸着法等によりZrの層
を成膜したものを酸素雰囲気中で高温処理して得られ
る。
部電極33は、例えばIrを含む第三層を成膜する工程
と、該第三層上に、Ptを含む第二層を成膜する工程
と、該第二層上にIrを含む第一層を成膜する工程とか
らなる。
たはPtをZrO2膜32上に、スパッタ法等で付着さ
せて成膜する。なお、下部電極33の成膜に先立ち、チ
タン又はクロムからなる密着層(図示せず)をスパッタ
法又は真空蒸着法により成膜しても良い。
33上にTi層(核)を形成することが好ましい。例え
ばスパッタ法等により、Ti層を3nm以上20nm以
下の厚みに成膜する。Ti層は下部電極33上に均一に
成膜するが、場合によって島状となっても構わない。
工程では、圧電体膜43の所望の厚さ以下、好ましくは
所望の厚さの半分以下の厚さに圧電体膜43aを成膜す
る。例えば全体の膜厚1.5μmの圧電体膜43を7層
で構成する場合、この第1工程では少なくとも1層から
なる0.2μmの圧電体膜43aを成膜する。
前駆体膜を成膜する。すなわち、有機金属アルコキシド
溶液からなるゾルをスピンコート等の塗布法により下部
電極上に塗布する。次いで、一定温度で一定時間乾燥さ
せ、溶媒を蒸発させる。乾燥後、さらに大気雰囲気下に
おいて所定の高温で一定時間脱脂し、金属に配位してい
る有機の配位子を熱分解させ、金属酸化物とする。この
塗布、乾燥、脱脂の各工程を所定回数、例えば2回繰り
返して圧電体前駆体膜を積層する。これらの乾燥と脱脂
処理により、溶液中の金属アルコキシドと酢酸塩とは配
位子の熱分解を経て金属、酸素、金属のネットワークを
形成する。
を結晶化させる。この焼成により、圧電体前駆体膜は、
アモルファス状態から菱面体結晶構造をとるようにな
り、電気機械変換作用を示す膜へと変化する。以上の圧
電体前駆体膜の成膜および焼成の工程を1回行うことに
より、1層からなる圧電体膜43aが成膜される。
部電極33の組成および上記Ti層の影響を受け、X線
回折広角法により測定した100面配向度が約80%と
なる。
化し、及びPZTの成分が一部拡散することにより膜厚
が増加する。下部電極をパターニングしてから圧電体膜
を成膜する方法では、下部電極のパターニング境界付近
の膜厚の増加が他の部分より少ないため膜厚が不均一と
なるが、本実施形態の方法によれば下部電極33をパタ
ーニングする前に圧電体膜43aを成膜するので、下部
電極の膜厚は全体的に増加し、不均一となることがな
い。
(S4) 次に、圧電体膜43aを所望の形状にマスクし、その周
辺をエッチングすることで圧電体膜43a及び下部電極
33のパターニングを行い、下部電極33から配線用下
電極33aを分離させる。具体的には、まずスピンナー
法、スプレー法等により均一な厚みのレジスト材料を圧
電体膜43a上に塗布し(図示せず)、次いで、マスク
を所定の形状に形成してから露光・現像して、レジスト
パターンを圧電体膜上に形成する(図示せず)。これに
通常用いるイオンミリング又はドライエッチング法等に
より圧電体膜43a及び下部電極33をエッチング除去
しZrO2膜32を露出させる。
a及びZrO2膜32上にTi層(核)を成膜する。こ
こで成膜するTi層は、1nm以上4nm以下の膜厚と
することが好ましい。Ti層の膜厚が1nm未満である
と種層としての作用が少なく、4nmを超えるとPZT
結晶の成長がTi層を境に分断されてしまい、結晶が不
連続となったり層間剥離が生じたりする可能性がある。
より好ましくはTi層を2nm程度の厚みとする。
工程を実行する。この第2工程では、圧電体膜の所望の
厚さに至るまで、上記第1工程と同様の方法により圧電
体前駆体膜の焼成の工程を例えば6回繰り返し、合計
1.5μmの圧電体膜43を成膜する。
部電極33上の部分は上記第1工程による圧電体膜43
aの上に第2工程による圧電体膜が成膜されるため合計
7層となり、圧電体膜43a及び下部電極33がパター
ニングにより除去されZrO 2膜32が露出した部分に
形成された部分は合計6層となる。このように、本実施
形態の製法により成膜された圧電体膜43のうち、パタ
ーニングにより残された下部電極33上に形成された部
分は、振動板膜30上に形成された部分より層の数が多
くなるという特徴を有している。
における焼成で既に酸化および拡散され、全体的に膜厚
が増加しているので、圧電体成膜第2工程で下部電極の
膜厚が更に増加することはない。したがって下部電極3
3の膜厚が不均一になることはないし、下部電極33の
パターニング境界付近の圧電体膜43が下部電極33の
膜厚変化によってクラックが入ったり結晶が膜面方向に
不連続となったりすることはない。
下層の圧電体膜43aの影響を受け、X線回折広角法に
より測定した100面配向度が約80%の圧電体膜とな
る。また、下部電極33がパターニングにより除去され
ZrO2膜32が露出した部分に形成された部分は、上
記Ti層の影響を受け、111面に優先配向される。
形成するTi層の膜厚を4nm以下としたことにより、
圧電体成膜第1工程で成膜された圧電体膜43aと圧電
体成膜第2工程で成膜された圧電体膜との間で結晶構造
が膜厚方向に連続し、層間剥離が起こりにくいため信頼
性の高い圧電体膜43を得ることができる。
工程(S4)後に形成するTi層の膜厚を2nmとした
場合の圧電体素子の断面のSEM写真であり、図8はそ
の模写図である。図9は、比較例として、パターニング
工程後に形成するTi層の膜厚を5nmとした場合の圧
電体素子の断面のSEM写真であり、図10はその模写
図である。これらの写真に示されるように、Ti層の膜
厚を2nmとしたときはPZTの結晶構造が連続的であ
った。これに対し、Ti層の膜厚を5nmとしたとき
は、圧電体成膜第1工程で成膜されたPZT層と圧電体
成膜第2工程で成膜されたPZT層との間に、不連続部
分すなわち結晶の連続性が他のPZT層間の連続性より
低い部分が生じてしまった。
により上部電極44を成膜する。上部電極44としては
白金(Pt)、イリジウム(Ir)その他の金属を用
い、50nmの膜厚に成膜する。
にパターニングする。具体的には、上部電極44上にレ
ジストをスピンコートした後、圧力室が形成されるべき
位置に合わせて露光・現像してパターニングする。残っ
たレジストをマスクとして上部電極44、圧電体膜43
をイオンミリング等でエッチングする。以上の工程によ
り圧電体素子40が形成される。
帯電極45を形成する。細帯電極45の材質は剛性が低
く、電気抵抗が低い金が好ましい。他に、アルミニウ
ム、銅なども好適である。細帯電極45は約0.2μm
の膜厚で成膜し、その後各上部電極と配線用下電極との
導通部が残るようにパターニングする。
方の面に、異方性エッチングまたは平行平板型反応性イ
オンエッチング等の活性気体を用いた異方性エッチング
を施し、圧力室21を形成する。エッチングされずに残
された部分が側壁22になる。
を接着剤で貼り合わせる。貼り合わせのときに各ノズル
11が圧力室21各々の空間に配置されるよう位置合わ
せする。ノズル板10が貼り合わせられた圧力室基板2
0を図示しない筐体に取り付け、インクジェット式記録
ヘッド1を完成させる。
態によらず種々に変形して適用することが可能である。
例えば、本発明で製造した圧電体素子は上記インクジェ
ット式記録ヘッドの圧電体素子のみならず、不揮発性半
導体記憶装置、薄膜コンデンサ、パイロ電気検出器、セ
ンサ、表面弾性波光学導波管、光学記憶装置、空間光変
調器、ダイオードレーザ用周波数二倍器等のような強誘
電体装置、誘電体装置、パイロ電気装置、圧電装置、お
よび電気光学装置の製造に適用することができる。
向度を安定して再現性良く得ることができる。これによ
り、高周波および低周波のいずれにおいても安定した高
い圧電特性を備えた圧電体素子およびこれを用いたイン
クジェット式記録ヘッド、プリンタ並びに圧電体素子の
製造方法を提供することができる。
タの構造を説明する斜視図である。
ジェット式記録ヘッドの構造の説明図である。
子部分を拡大した平面図(a)及びそのi−i線断面図
(b)である。
式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
面のSEM写真である。
である。
…ZrO2膜、40…圧電体素子、33…下部電極、4
3…圧電体膜、44…上部電極
Claims (10)
- 【請求項1】 基板上に振動板膜を成膜する工程と、 前記振動板膜上に下部電極を成膜する工程と、 前記下部電極上に圧電体膜を成膜する圧電体成膜第1工
程と、 前記圧電体成膜第1工程で成膜された圧電体膜及び前記
下部電極を所定形状にパターニングする工程と、 前記パターニングにより残された圧電体膜上および圧電
体膜が除去された前記振動板膜上に更に圧電体膜を成膜
する圧電体成膜第2工程と、 前記圧電体膜上に上部電極を形成する工程と、 を備えた圧電体素子の製造方法。 - 【請求項2】 請求項1において、 前記圧電体成膜第1工程により成膜する圧電体膜の膜厚
は、前記圧電体成膜第2工程により成膜する圧電体の膜
厚より薄いことを特徴とする圧電体素子の製造方法。 - 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、 前記圧電体成膜第2工程の前に、前記圧電体成膜第1工
程で成膜されパターニングされた前記圧電体膜上にTi
層を1nm以上4nm以下の膜厚で成膜する工程を更に
備えた、圧電体素子の製造方法。 - 【請求項4】 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記
載の方法によって得られた圧電体素子を備えたインクジ
ェット式記録ヘッドの製造方法であって、 前記基板をエッチングし圧力室を形成する工程と、 前記圧力室を覆うノズル板を形成する工程と、を備えた
インクジェット式記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項5】 基板上に振動板膜、下部電極、圧電体
膜、上部電極を順次積層してなる圧電体素子であって、 前記下部電極は所定形状にパターニングしてなり、 前記圧電体膜は、パターニングにより残された下部電極
上及び下部電極が除去された前記振動板膜上に形成さ
れ、 前記圧電体膜のうち前記パターニングにより残された下
部電極上に形成された部分は、前記振動板膜上に形成さ
れた部分より層の数が多いことを特徴とする、圧電体素
子。 - 【請求項6】 基板上に振動板膜、下部電極、圧電体
膜、上部電極を順次積層してなる圧電体素子であって、 前記下部電極は所定形状にパターニングしてなり、 前記圧電体膜は、パターニングにより残された下部電極
上及び下部電極が除去された前記振動板膜上に形成さ
れ、 前記下部電極の厚さが均一であることを特徴とする、圧
電体素子。 - 【請求項7】 請求項5又は請求項6において、 前記圧電体膜のうち前記パターニングにより残された下
部電極上に形成された部分は、100面配向度が70%
以上である圧電体素子。 - 【請求項8】 請求項5乃至請求項7の何れか一項にお
いて、 前記圧電体膜のうち下部電極上に形成された部分は、各
層の結晶構造が連続していることを特徴とする、圧電体
素子。 - 【請求項9】 請求項5乃至請求項8の何れか一項に記
載の圧電体素子と、当該圧電体素子の機械的変位によっ
て内容積が変化する圧力室と、当該圧力室に連通してイ
ンク滴を吐出する吐出口とを備えることを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項10】 請求項9に記載のインクジェット式記
録ヘッドを印字機構に備えるインクジェットプリンタ。
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