JP2002307555A - フォトレジストフィルムのラミネート方法 - Google Patents
フォトレジストフィルムのラミネート方法Info
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- JP2002307555A JP2002307555A JP2001113479A JP2001113479A JP2002307555A JP 2002307555 A JP2002307555 A JP 2002307555A JP 2001113479 A JP2001113479 A JP 2001113479A JP 2001113479 A JP2001113479 A JP 2001113479A JP 2002307555 A JP2002307555 A JP 2002307555A
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- JP
- Japan
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- workpiece
- auxiliary plate
- photoresist film
- hole
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- Materials For Photolithography (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工物が異形形状をしていたり、小サイズ
であっても、ラミネータによるフォトレジストフィルム
のラミネートを可能にする。 【解決手段】 被加工物の表面にフォトレジストフィル
ムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等
しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工
物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工
物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミ
ネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジ
ストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォト
レジストフィルムのラミネート方法。
であっても、ラミネータによるフォトレジストフィルム
のラミネートを可能にする。 【解決手段】 被加工物の表面にフォトレジストフィル
ムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等
しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工
物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工
物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミ
ネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジ
ストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォト
レジストフィルムのラミネート方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一定の形状に加工
された金属板等の被加工物に対して所定のパターンを形
成する場合等に適用されるフォトレジストフィルムのラ
ミネート方法に関するものである。
された金属板等の被加工物に対して所定のパターンを形
成する場合等に適用されるフォトレジストフィルムのラ
ミネート方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被加工物に所定のパターンをエッチング
加工によって形成するには、まず、被加工物にフォトレ
ジストフィルムをラミネートする必要がある。このラミ
ネート加工は、上下二つの送りローラを有するラミネー
タに通して行うのが一般的であり、被加工物を二つのロ
ーラの間を通過させるときに上面又は下面にフォトレジ
ストフィルムを重ね、このときに熱と圧力を加えて貼着
している。
加工によって形成するには、まず、被加工物にフォトレ
ジストフィルムをラミネートする必要がある。このラミ
ネート加工は、上下二つの送りローラを有するラミネー
タに通して行うのが一般的であり、被加工物を二つのロ
ーラの間を通過させるときに上面又は下面にフォトレジ
ストフィルムを重ね、このときに熱と圧力を加えて貼着
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、被加工物が
特殊の形状をしていたり、小さいサイズのものでは、こ
のラミネータに通すことができない。従って、機械的な
（自動）ラミネートができず、コスト高を招いていた。
本発明は、このような課題を解決するものであり、被加
工物が特殊の形状をしていたり、小さいサイズのもので
あっても、ラミネータによるラミネートを可能にしたも
のである。
特殊の形状をしていたり、小さいサイズのものでは、こ
のラミネータに通すことができない。従って、機械的な
（自動）ラミネートができず、コスト高を招いていた。
本発明は、このような課題を解決するものであり、被加
工物が特殊の形状をしていたり、小さいサイズのもので
あっても、ラミネータによるラミネートを可能にしたも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】以上の課題の下、本発明
は、請求項１に記載した、被加工物の表面にフォトレジ
ストフィルムをラミネートする方法において、被加工物
の厚みと等しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあ
けて被加工物をこの孔に収容するとともに、補助板の下
面に被加工物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補
助板をラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面に
フォトレジストフィルムをラミネートすることを特徴と
するフォトレジストフィルムのラミネート方法を提供す
る。
は、請求項１に記載した、被加工物の表面にフォトレジ
ストフィルムをラミネートする方法において、被加工物
の厚みと等しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあ
けて被加工物をこの孔に収容するとともに、補助板の下
面に被加工物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補
助板をラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面に
フォトレジストフィルムをラミネートすることを特徴と
するフォトレジストフィルムのラミネート方法を提供す
る。
【０００５】本発明は、補助板に孔を形成してこの孔に
被加工物を収容して保持するものであるから、被加工物
自体の形状やサイズにかかわらず補助板をラミネータに
通すことができる。この場合において、補助板には受板
が添わせてあるから、被加工物が脱落することはない。
そして、補助板の厚みは、被加工物の厚みと等しいかや
や薄い厚みを有するものであるから、上記のラミネート
加工をすれば、フォトレジストフィルムは、少なくとも
被加工物の表面にラミネートされる。
被加工物を収容して保持するものであるから、被加工物
自体の形状やサイズにかかわらず補助板をラミネータに
通すことができる。この場合において、補助板には受板
が添わせてあるから、被加工物が脱落することはない。
そして、補助板の厚みは、被加工物の厚みと等しいかや
や薄い厚みを有するものであるから、上記のラミネート
加工をすれば、フォトレジストフィルムは、少なくとも
被加工物の表面にラミネートされる。
【０００６】又、本発明は、以上の方法において、請求
項２に記載の、被加工物を収容する孔が補助板に複数形
成されている手段、請求項３に記載の、ラミネートされ
たフォトレジストフィルムを受板の代わりにしてラミネ
ータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジス
トフィルムをラミネートする手段を提供する。前者によ
れば、ラミネート加工の能率が高まるし、後者の方法に
よると、被加工物の両面にフォトレジストフィルムをラ
ミネートすることが可能である。
項２に記載の、被加工物を収容する孔が補助板に複数形
成されている手段、請求項３に記載の、ラミネートされ
たフォトレジストフィルムを受板の代わりにしてラミネ
ータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジス
トフィルムをラミネートする手段を提供する。前者によ
れば、ラミネート加工の能率が高まるし、後者の方法に
よると、被加工物の両面にフォトレジストフィルムをラ
ミネートすることが可能である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図２は補助板に受板を添着した場
合の斜視図、図３はラミネート加工の状態を示す断面図
であるが、本発明では、エッチング加工が施される被加
工物１が存在しており、この一面又は両面にフォトレジ
ストフィルム（以下、レジストフィルムという）２をラ
ミネートするのである。本例における被加工物１は、小
型モータの流体軸受部材が示されており、円盤形をした
小サイズのもので、これ単独ではラミネータによるラミ
ネート加工は不可能なものである。
を参照して説明する。図２は補助板に受板を添着した場
合の斜視図、図３はラミネート加工の状態を示す断面図
であるが、本発明では、エッチング加工が施される被加
工物１が存在しており、この一面又は両面にフォトレジ
ストフィルム（以下、レジストフィルムという）２をラ
ミネートするのである。本例における被加工物１は、小
型モータの流体軸受部材が示されており、円盤形をした
小サイズのもので、これ単独ではラミネータによるラミ
ネート加工は不可能なものである。
【０００８】そこで、被加工物１の厚みと等しいかやや
薄い厚みを有するシート状の補助板３を用意し、この補
助板３に孔４を形成し、この孔４に被加工物１を収容す
る。この孔４は一枚の補助板３には複数穿ち、それぞれ
の孔４に被加工物１を収容している。この場合、被加工
物１が同一であれば、孔４も同じものを形成しておけば
よいし、異なるものであれば、それに対応したものを形
成することになる。いずれも多数個取りを念頭において
のものである。尚、孔４の大きさは、被加工物１はきっ
ちりと納まるが、自由に取り出せる程度の余裕を持つも
のでよい。
薄い厚みを有するシート状の補助板３を用意し、この補
助板３に孔４を形成し、この孔４に被加工物１を収容す
る。この孔４は一枚の補助板３には複数穿ち、それぞれ
の孔４に被加工物１を収容している。この場合、被加工
物１が同一であれば、孔４も同じものを形成しておけば
よいし、異なるものであれば、それに対応したものを形
成することになる。いずれも多数個取りを念頭において
のものである。尚、孔４の大きさは、被加工物１はきっ
ちりと納まるが、自由に取り出せる程度の余裕を持つも
のでよい。
【０００９】次に、各孔４に被加工物１をそれぞれ収容
した補助板３の下面に受板５を添着し、孔４に収容され
た被加工物１の脱落を防ぐ。この状態で、上下二個のロ
ーラ６、７からなるラミネータ８に通すが、このとき、
上方のローラ５からはレジストフィルム２が繰り出され
るようにしておく。勿論、上下のローラ６、７は、適当
な温度と圧力に設定されていることから、これを通過し
た補助板３の上面には、レジストフィルム２がラミネー
トされる。このとき、補助板３の厚みは、被加工物１の
厚みと等しいかやや薄く設定されているから、レジスト
フィルム２は、補助板３及び被加工物１の上面の全体、
少なくとも被加工物１の上面にはラミネートされること
になる。
した補助板３の下面に受板５を添着し、孔４に収容され
た被加工物１の脱落を防ぐ。この状態で、上下二個のロ
ーラ６、７からなるラミネータ８に通すが、このとき、
上方のローラ５からはレジストフィルム２が繰り出され
るようにしておく。勿論、上下のローラ６、７は、適当
な温度と圧力に設定されていることから、これを通過し
た補助板３の上面には、レジストフィルム２がラミネー
トされる。このとき、補助板３の厚みは、被加工物１の
厚みと等しいかやや薄く設定されているから、レジスト
フィルム２は、補助板３及び被加工物１の上面の全体、
少なくとも被加工物１の上面にはラミネートされること
になる。
【００１０】ところで、以上の補助板３や受板５は上記
の作用を果たすために、それに適合した材料や特性のも
のが選択される。例えば、補助板３については、剛性が
あって錆が発生せず、しかもエッチング液等に腐食され
ないステンレス材等の金属材或いは硬質樹脂材等が採用
される。又、受板５については、剛性のある金属材或い
は硬質樹脂材等が採用される。
の作用を果たすために、それに適合した材料や特性のも
のが選択される。例えば、補助板３については、剛性が
あって錆が発生せず、しかもエッチング液等に腐食され
ないステンレス材等の金属材或いは硬質樹脂材等が採用
される。又、受板５については、剛性のある金属材或い
は硬質樹脂材等が採用される。
【００１１】このように、補助板３の一面にレジストフ
ィルム２がラミネートされると、これが受板５の代わり
になる。従って、残りの一面にレジストフィルム２をラ
ミネートするときには、この面を下にして上記と同じ操
作をすればよいことになる（受板５は不要）。図４は補
助板３の孔４に被加工物１を収容し、その両面にレジス
トフィルム２をラミネートした状態の断面図であるが、
補助板３と被加工物１の両面、少なくとも被加工物１の
両面にはレジストフィルム２がしっかりとラミネートさ
れている。
ィルム２がラミネートされると、これが受板５の代わり
になる。従って、残りの一面にレジストフィルム２をラ
ミネートするときには、この面を下にして上記と同じ操
作をすればよいことになる（受板５は不要）。図４は補
助板３の孔４に被加工物１を収容し、その両面にレジス
トフィルム２をラミネートした状態の断面図であるが、
補助板３と被加工物１の両面、少なくとも被加工物１の
両面にはレジストフィルム２がしっかりとラミネートさ
れている。
【００１２】以上の操作が完了すると、後は通常のエッ
チング加工をすればよい。即ち、特定のパターンが形成
されたフォトマスクを被せて紫外線等で露光させ、炭酸
ソーダ他のアルカリ水溶液等の現像液で現像した後、塩
化第二鉄、塩化第二銅等のエッチング液でエッチングす
る。尚、以上の操作は被加工物１を補助板３に収容した
ままで行うが、最終的には苛性ソーダ他のアルカリ水溶
液等でレジストフィルム２は除去されるので、個々の被
加工物１に分離される。図１はこのようにしてエンチン
グされた流体軸受部材としての被加工物１の断面図であ
るが、その表面（一面又は両面）に油膜形成用の溝が所
定のパターンで刻設されている。
チング加工をすればよい。即ち、特定のパターンが形成
されたフォトマスクを被せて紫外線等で露光させ、炭酸
ソーダ他のアルカリ水溶液等の現像液で現像した後、塩
化第二鉄、塩化第二銅等のエッチング液でエッチングす
る。尚、以上の操作は被加工物１を補助板３に収容した
ままで行うが、最終的には苛性ソーダ他のアルカリ水溶
液等でレジストフィルム２は除去されるので、個々の被
加工物１に分離される。図１はこのようにしてエンチン
グされた流体軸受部材としての被加工物１の断面図であ
るが、その表面（一面又は両面）に油膜形成用の溝が所
定のパターンで刻設されている。
【００１３】
【発明の効果】以上、本発明は、被加工物にレジストフ
ィルムをラミネートする場合において、被加工物をその
厚みと等しいかやや薄い厚みを有するシート状の補助板
に形成した孔に収容してラミネータに通すものであるか
ら、異形形状をしていたり、小サイズのものであって
も、ラミネートできる。この場合において、補助板に孔
を多数形成し、それぞれに被加工物を収容しておけば、
ラミネート加工の能率が上がる。
ィルムをラミネートする場合において、被加工物をその
厚みと等しいかやや薄い厚みを有するシート状の補助板
に形成した孔に収容してラミネータに通すものであるか
ら、異形形状をしていたり、小サイズのものであって
も、ラミネートできる。この場合において、補助板に孔
を多数形成し、それぞれに被加工物を収容しておけば、
ラミネート加工の能率が上がる。
【図１】本発明の一例を示す被加工物の断面図である。
【図２】本発明の一例を示す補助板の孔に被加工物を収
容した状態の斜視図である。
容した状態の斜視図である。
【図３】本発明の一例を示す被加工物にレジストフィル
ムをラミネートする状態の説明図である。
ムをラミネートする状態の説明図である。
【図４】本発明の一例を示す被加工物にレジストフィル
ムをラミネートした状態の断面図である。
ムをラミネートした状態の断面図である。
１ 被加工物 ２ フォトレジストフィルム ３ 補助体 ４ 孔 ５ 受板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA18 AB11 AC01 AD01 BC13 BC42 4F211 AG03 SA07 SC06 SD01 SJ06 SJ13 SJ15 SJ22 SJ29 SJ31
Claims (3)
- 【請求項１】 被加工物の表面にフォトレジストフィル
ムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等
しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工
物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工
物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミ
ネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジ
ストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォト
レジストフィルムのラミネート方法。 - 【請求項２】 被加工物を収容する孔が補助板に複数形
成されている請求項１のフォトレジストフィルムのラミ
ネート方法。 - 【請求項３】 ラミネートされたフォトレジストフィル
ムを受板の代わりにしてラミネータに通し、被加工物及
び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネート
する請求項１又は２のフォトレジストフィルムのラミネ
ート方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001113479A JP3807595B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | フォトレジストフィルムのラミネート方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001113479A JP3807595B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | フォトレジストフィルムのラミネート方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002307555A true JP2002307555A (ja) | 2002-10-23 |
| JP3807595B2 JP3807595B2 (ja) | 2006-08-09 |
Family
ID=18964689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001113479A Expired - Fee Related JP3807595B2 (ja) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | フォトレジストフィルムのラミネート方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3807595B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333711A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Taiyo Denshi Kogyo Kk | フォトレジストフィルムのラミネート方法 |
-
2001
- 2001-04-12 JP JP2001113479A patent/JP3807595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333711A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Taiyo Denshi Kogyo Kk | フォトレジストフィルムのラミネート方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3807595B2 (ja) | 2006-08-09 |
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