JP2002208347A - 多面付けシャドウマスク構造体 - Google Patents
多面付けシャドウマスク構造体Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】多面付けシャドウマスク構造体の余白部を削減
し、シャドウマスクを廉価に製造することのできる多面
付けシャドウマスク構造体を提供すること。 【解決手段】長尺帯方向に半裁線が形成された多面付け
シャドウマスク構造体において、半裁線上に、次列シャ
ドウマスクの外形輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせ
てシャドウマスクを多面付けしたこと。
し、シャドウマスクを廉価に製造することのできる多面
付けシャドウマスク構造体を提供すること。 【解決手段】長尺帯方向に半裁線が形成された多面付け
シャドウマスク構造体において、半裁線上に、次列シャ
ドウマスクの外形輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせ
てシャドウマスクを多面付けしたこと。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスクの
製造に関するものであり、特に、金属薄板の余白部を削
減し、シャドウマスクを廉価に製造することを可能とす
る多面付けシャドウマスク構造体に関する。
製造に関するものであり、特に、金属薄板の余白部を削
減し、シャドウマスクを廉価に製造することを可能とす
る多面付けシャドウマスク構造体に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的なシャドウマスクの製造方法は、
まず、鉄又は鉄合金よりなる金属薄板の両面に感光性樹
脂(フォトレジスト)を塗布、乾燥して感光層を形成す
る。次に、所定の遮光パターンを有する露光用マスク
(多くの場合、表裏2枚のマスク)を位置合わせ、密着
して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。次
に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板の
両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
まず、鉄又は鉄合金よりなる金属薄板の両面に感光性樹
脂(フォトレジスト)を塗布、乾燥して感光層を形成す
る。次に、所定の遮光パターンを有する露光用マスク
(多くの場合、表裏2枚のマスク)を位置合わせ、密着
して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。次
に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板の
両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
【0003】次に、レジストパターンが形成された金属
薄板の両面から塩化第2鉄液等を用いて1次エッチング
(ハーフエッチング)を行い、金属薄板の片面に所定形
状の小孔及び他面に大孔開口パターンを形成する。続い
て、エッチング耐触樹脂層の形成を行うが、この形成
は、例えば、小孔開口パターンが形成された金属薄板の
片面に、紫外線硬化型樹脂などを塗布、硬化してエッチ
ング耐触樹脂層を形成する。
薄板の両面から塩化第2鉄液等を用いて1次エッチング
(ハーフエッチング)を行い、金属薄板の片面に所定形
状の小孔及び他面に大孔開口パターンを形成する。続い
て、エッチング耐触樹脂層の形成を行うが、この形成
は、例えば、小孔開口パターンが形成された金属薄板の
片面に、紫外線硬化型樹脂などを塗布、硬化してエッチ
ング耐触樹脂層を形成する。
【0004】更に、塩化第2鉄液等を用いて金属薄板の
他面の大孔開口パターンが片面の小孔開口パターンに貫
通するまで2次エッチングを行い、シャドウマスクの孔
を形成する。そして、金属薄板上のエッチング耐触樹脂
層及びレジストパターンを、アルカリ水溶液を用いて剥
離処理して、所定形状の開口パターンを有するシャドウ
マスクとするものである。
他面の大孔開口パターンが片面の小孔開口パターンに貫
通するまで2次エッチングを行い、シャドウマスクの孔
を形成する。そして、金属薄板上のエッチング耐触樹脂
層及びレジストパターンを、アルカリ水溶液を用いて剥
離処理して、所定形状の開口パターンを有するシャドウ
マスクとするものである。
【0005】この際に用いる金属薄板は長尺帯状のもの
であり、シャドウマスクは、長尺帯状の金属薄板の巾方
向に複数面、長尺帯方向に多数面、面付けされた状態で
連続して製造されるのが一般的である。所定形状の開口
パターンを有するシャドウマスクが、長尺帯状の金属薄
板の巾方向及び長尺帯方向に多面付けされた状態のもの
を多面付けシャドウマスク構造体と称するが、図3以降
に、長尺帯状の多面付けシャドウマスク構造体を枚葉状
のシャドウマスクにする工程が示されている。
であり、シャドウマスクは、長尺帯状の金属薄板の巾方
向に複数面、長尺帯方向に多数面、面付けされた状態で
連続して製造されるのが一般的である。所定形状の開口
パターンを有するシャドウマスクが、長尺帯状の金属薄
板の巾方向及び長尺帯方向に多面付けされた状態のもの
を多面付けシャドウマスク構造体と称するが、図3以降
に、長尺帯状の多面付けシャドウマスク構造体を枚葉状
のシャドウマスクにする工程が示されている。
【0006】図3は、多面付けシャドウマスク構造体の
一例を示す平面図である。図3に示すように、この一例
の多面付けシャドウマスク構造体(30)は、シャドウ
マスク(31)が金属薄板(34)の巾方向に2面、長
尺帯方向に多数面、面付けされたものである。シャドウ
マスク(31)は、画像面部(32)とスカート部(3
3)とで構成されており、矢印(A)はシャドウマスク
(31)の長尺帯方向の第1列(35)、矢印(B)は
シャドウマスク(31)の長尺帯方向の第2列(36)
を示し、また、(37)は、金属薄板(34)の巾方向
中央に設けられた半裁線を、一点鎖線(38)は、金属
薄板(34)を断裁する位置を示している。
一例を示す平面図である。図3に示すように、この一例
の多面付けシャドウマスク構造体(30)は、シャドウ
マスク(31)が金属薄板(34)の巾方向に2面、長
尺帯方向に多数面、面付けされたものである。シャドウ
マスク(31)は、画像面部(32)とスカート部(3
3)とで構成されており、矢印(A)はシャドウマスク
(31)の長尺帯方向の第1列(35)、矢印(B)は
シャドウマスク(31)の長尺帯方向の第2列(36)
を示し、また、(37)は、金属薄板(34)の巾方向
中央に設けられた半裁線を、一点鎖線(38)は、金属
薄板(34)を断裁する位置を示している。
【0007】長尺帯状の多面付けシャドウマスク構造体
を枚葉状にするには、先ず、図3に示す多面付けシャド
ウマスク構造体(30)を、長尺帯方向の各シャドウマ
スク間の一点鎖線(38)部で半裁線(37)と直角に
カッターで断裁し、図4に示すような、巾方向にシャド
ウマスク(31)が2面付けされた金属薄板とする。次
に、半裁線(37)部を破断し、シャドウマスク(3
1)が2面付けされた金属薄板を分断し、図5に示すよ
うに、シャドウマスク(31)が1面付けされた2枚の
金属薄板とし、枚葉状の金属薄板とする。
を枚葉状にするには、先ず、図3に示す多面付けシャド
ウマスク構造体(30)を、長尺帯方向の各シャドウマ
スク間の一点鎖線(38)部で半裁線(37)と直角に
カッターで断裁し、図4に示すような、巾方向にシャド
ウマスク(31)が2面付けされた金属薄板とする。次
に、半裁線(37)部を破断し、シャドウマスク(3
1)が2面付けされた金属薄板を分断し、図5に示すよ
うに、シャドウマスク(31)が1面付けされた2枚の
金属薄板とし、枚葉状の金属薄板とする。
【0008】図6は、シャドウマスク(31)が1面付
けされた金属薄板を拡大して示す説明図である。図6に
示すように、シャドウマスク(31)が1面付けされた
金属薄板は、シャドウマスク(31)と余白部(61)
とで構成されており、シャドウマスク(31)は画像面
部(32)とスカート部(33)とからなる。
けされた金属薄板を拡大して示す説明図である。図6に
示すように、シャドウマスク(31)が1面付けされた
金属薄板は、シャドウマスク(31)と余白部(61)
とで構成されており、シャドウマスク(31)は画像面
部(32)とスカート部(33)とからなる。
【0009】スカート部(33)の外周部を外形輪郭線
(62)と称している。外形輪郭線(62)は、この外
形輪郭線(62)部を破断し、金属薄板の余白部(6
1)を取り除いてシャドウマスク(31)として仕上げ
るためのムシリ線であり、外形輪郭線(62)は金属薄
板の表裏が貫通した貫通部分(貫通線)と、破断が容易
な部分(易破断線)とが交互に連なった線状のものであ
る。そして、この外形輪郭線(62)は、巾方向部分
(63)と長尺帯方向部分(64)とで構成されてい
る。
(62)と称している。外形輪郭線(62)は、この外
形輪郭線(62)部を破断し、金属薄板の余白部(6
1)を取り除いてシャドウマスク(31)として仕上げ
るためのムシリ線であり、外形輪郭線(62)は金属薄
板の表裏が貫通した貫通部分(貫通線)と、破断が容易
な部分(易破断線)とが交互に連なった線状のものであ
る。そして、この外形輪郭線(62)は、巾方向部分
(63)と長尺帯方向部分(64)とで構成されてい
る。
【0010】シャドウマスク(31)が1面付けされた
金属薄板からシャドウマスク(31)を仕上げるには、
この外形輪郭線(62)部を破断し、金属薄板の余白部
(61)を取り除きシャドウマスク(31)とするもの
である。尚、上記半裁線(37)も外形輪郭線(62)
と同様に、金属薄板の表裏が貫通した貫通部分(貫通
線)と、破断が容易な部分(易破断線)とが交互に連な
ったムシリ線である。
金属薄板からシャドウマスク(31)を仕上げるには、
この外形輪郭線(62)部を破断し、金属薄板の余白部
(61)を取り除きシャドウマスク(31)とするもの
である。尚、上記半裁線(37)も外形輪郭線(62)
と同様に、金属薄板の表裏が貫通した貫通部分(貫通
線)と、破断が容易な部分(易破断線)とが交互に連な
ったムシリ線である。
【0011】図7は、多面付けシャドウマスク構造体の
具体的な例を示す平面図である。図7に示すように、巾
方向の大きさ(B)、(C)が約387mm程度のシャ
ドウマスク(31)においては、金属薄板の巾(A)は
約855mm程度のものとなる。図7において、
(D)、(E)、(F)、(G)が余白部であり、多面
付けシャドウマスク構造体のの余白部は、金属薄板の中
で大きな割合を占めている。
具体的な例を示す平面図である。図7に示すように、巾
方向の大きさ(B)、(C)が約387mm程度のシャ
ドウマスク(31)においては、金属薄板の巾(A)は
約855mm程度のものとなる。図7において、
(D)、(E)、(F)、(G)が余白部であり、多面
付けシャドウマスク構造体のの余白部は、金属薄板の中
で大きな割合を占めている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な、シャドウマスクの製造における多面付けシャドウマ
スク構造体の余白部を削減し、シャドウマスクを廉価に
製造することのできる多面付けシャドウマスク構造体を
提供することを課題とする。
な、シャドウマスクの製造における多面付けシャドウマ
スク構造体の余白部を削減し、シャドウマスクを廉価に
製造することのできる多面付けシャドウマスク構造体を
提供することを課題とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、長尺帯方向に
半裁線が形成された多面付けシャドウマスク構造体にお
いて、半裁線上に、次列シャドウマスクの外形輪郭線の
長尺帯方向部分を重ね合わせてシャドウマスクを多面付
けしたことを特徴とする多面付けシャドウマスク構造体
である。
半裁線が形成された多面付けシャドウマスク構造体にお
いて、半裁線上に、次列シャドウマスクの外形輪郭線の
長尺帯方向部分を重ね合わせてシャドウマスクを多面付
けしたことを特徴とする多面付けシャドウマスク構造体
である。
【0014】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図1は、本発明による多面付けシャドウマ
スク構造体の一実施例の部分を示す平面図である。図1
に示すように、多面付けシャドウマスク構造体(10)
は、シャドウマスク(11)が金属薄板(14)の巾方
向に2面、長尺帯方向に多数面、面付けされたものであ
る。シャドウマスク(11)は、画像面部(12)とス
カート部(13)とで構成されており、矢印(A)はシ
ャドウマスク(11)の長尺帯方向の第1列(15)、
矢印(B)はシャドウマスク(11)の長尺帯方向の第
2列(16)を示し、また、(17)は、金属薄板(1
4)に設けられた半裁線を示している。
に説明する。図1は、本発明による多面付けシャドウマ
スク構造体の一実施例の部分を示す平面図である。図1
に示すように、多面付けシャドウマスク構造体(10)
は、シャドウマスク(11)が金属薄板(14)の巾方
向に2面、長尺帯方向に多数面、面付けされたものであ
る。シャドウマスク(11)は、画像面部(12)とス
カート部(13)とで構成されており、矢印(A)はシ
ャドウマスク(11)の長尺帯方向の第1列(15)、
矢印(B)はシャドウマスク(11)の長尺帯方向の第
2列(16)を示し、また、(17)は、金属薄板(1
4)に設けられた半裁線を示している。
【0015】本発明による多面付けシャドウマスク構造
体(10)は、半裁線上に、次列シャドウマスクの外形
輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせてシャドウマスク
を多面付けしたことを特徴とするものであり、図1に示
すように、矢印(16)で示す第二列シャドウマスクの
外形輪郭線(22)の長尺帯方向部分(24)を半裁線
(17)上に重ね合わせてシャドウマスク(11)が多
面付けされたものである。従って、金属薄板(14)の
巾方向の余白部が削減されたものとなり、シャドウマス
クを製造する際の材料費が低減され、シャドウマスクを
廉価に製造することが可能となる。
体(10)は、半裁線上に、次列シャドウマスクの外形
輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせてシャドウマスク
を多面付けしたことを特徴とするものであり、図1に示
すように、矢印(16)で示す第二列シャドウマスクの
外形輪郭線(22)の長尺帯方向部分(24)を半裁線
(17)上に重ね合わせてシャドウマスク(11)が多
面付けされたものである。従って、金属薄板(14)の
巾方向の余白部が削減されたものとなり、シャドウマス
クを製造する際の材料費が低減され、シャドウマスクを
廉価に製造することが可能となる。
【0016】図2は、本発明による多面付けシャドウマ
スク構造体の具体的な例を示す平面図である。図2に示
すように、巾方向の大きさ(b)、(c)が約387m
m程度の、従来法と同一サイズのシャドウマスク(1
1)において、矢印(B)で示す第二列シャドウマスク
(11)下端から、半裁線(17)までの部分は削減さ
れ、余白部は(d)、(f)、(g)となり、金属薄板
の巾(a)の約840mm程度のものとなる。これは、
従来法における、金属薄板の巾(A)の約855mm程
度に対比して材料費が低減することとなる。
スク構造体の具体的な例を示す平面図である。図2に示
すように、巾方向の大きさ(b)、(c)が約387m
m程度の、従来法と同一サイズのシャドウマスク(1
1)において、矢印(B)で示す第二列シャドウマスク
(11)下端から、半裁線(17)までの部分は削減さ
れ、余白部は(d)、(f)、(g)となり、金属薄板
の巾(a)の約840mm程度のものとなる。これは、
従来法における、金属薄板の巾(A)の約855mm程
度に対比して材料費が低減することとなる。
【0017】
【発明の効果】本発明は、半裁線上に、次列シャドウマ
スクの外形輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせてシャ
ドウマスクを多面付けした多面付けシャドウマスク構造
体であるので、余白部は削減され、材料費が低減したも
のとなり、また、多面付けシャドウマスク構造体からシ
ャドウマスクとして仕上げるムシリ工程が短縮されたも
のとなる。従って、廉価にシャドウマスクを製造するこ
とのできる多面付けシャドウマスク構造体となる。
スクの外形輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせてシャ
ドウマスクを多面付けした多面付けシャドウマスク構造
体であるので、余白部は削減され、材料費が低減したも
のとなり、また、多面付けシャドウマスク構造体からシ
ャドウマスクとして仕上げるムシリ工程が短縮されたも
のとなる。従って、廉価にシャドウマスクを製造するこ
とのできる多面付けシャドウマスク構造体となる。
【図1】本発明による多面付けシャドウマスク構造体の
一実施例の部分を示す平面図である。
一実施例の部分を示す平面図である。
【図2】本発明による多面付けシャドウマスク構造体の
具体的な例を示す平面図である。
具体的な例を示す平面図である。
【図3】多面付けシャドウマスク構造体の一例を示す平
面図である。
面図である。
【図4】巾方向にシャドウマスクが2面付けされた金属
薄板の平面図である。
薄板の平面図である。
【図5】シャドウマスクが1面付けされた2枚の金属薄
板の平面図である。
板の平面図である。
【図6】シャドウマスクが1面付けされた金属薄板を拡
大して示す説明図である。
大して示す説明図である。
【図7】多面付けシャドウマスク構造体の具体的な例を
示す平面図である。
示す平面図である。
10……本発明による多面付けシャドウマスク構造体 11、31……シャドウマスク 12、32……画像面部 13、33……スカート部 14、34……金属薄板 15、35、75……シャドウマスクの長尺帯方向の第
1列 16、36、76……シャドウマスクの長尺帯方向の第
2列 17、37……半裁線 22、62……外形輪郭線 23、63……外形輪郭線の巾方向部分 24、64……外形輪郭線の長尺帯方向部分 30……多面付けシャドウマスク構造体の一例 61……余白部 A……従来法における金属薄板の巾 a……本発明における金属薄板の巾
1列 16、36、76……シャドウマスクの長尺帯方向の第
2列 17、37……半裁線 22、62……外形輪郭線 23、63……外形輪郭線の巾方向部分 24、64……外形輪郭線の長尺帯方向部分 30……多面付けシャドウマスク構造体の一例 61……余白部 A……従来法における金属薄板の巾 a……本発明における金属薄板の巾
Claims (1)
- 【請求項1】長尺帯方向に半裁線が形成された多面付け
シャドウマスク構造体において、半裁線上に、次列シャ
ドウマスクの外形輪郭線の長尺帯方向部分を重ね合わせ
てシャドウマスクを多面付けしたことを特徴とする多面
付けシャドウマスク構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001002323A JP2002208347A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | 多面付けシャドウマスク構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001002323A JP2002208347A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | 多面付けシャドウマスク構造体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002208347A true JP2002208347A (ja) | 2002-07-26 |
Family
ID=18870854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001002323A Pending JP2002208347A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | 多面付けシャドウマスク構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002208347A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006331973A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
JP2017066440A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 基板付蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクの製造方法および基板付蒸着マスク |
-
2001
- 2001-01-10 JP JP2001002323A patent/JP2002208347A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006331973A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
JP4609187B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-01-12 | 凸版印刷株式会社 | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
JP2017066440A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 大日本印刷株式会社 | 基板付蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクの製造方法および基板付蒸着マスク |
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