JP2002296806A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001101881A JP3936546B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 露光装置及びその装置における基板位置決め方法並びにフラットディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001101881A JP3936546B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 露光装置及びその装置における基板位置決め方法並びにフラットディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002296806A JP2002296806A (ja) | 2002-10-09 |
| JP2002296806A5 true JP2002296806A5 (https=) | 2004-12-24 |
| JP3936546B2 JP3936546B2 (ja) | 2007-06-27 |
Family
ID=18955141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001101881A Expired - Fee Related JP3936546B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 露光装置及びその装置における基板位置決め方法並びにフラットディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3936546B2 (https=) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4522142B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2010-08-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 露光装置、露光方法、及び基板製造方法 |
| JP4699071B2 (ja) * | 2005-04-01 | 2011-06-08 | 株式会社安川電機 | ステージ装置およびその露光装置 |
| US7888664B2 (en) * | 2008-03-10 | 2011-02-15 | Eastman Kodak Company | Plate pallet alignment system |
| JP5236362B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2013-07-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板搬送方法 |
| JP5254073B2 (ja) * | 2008-08-21 | 2013-08-07 | Nskテクノロジー株式会社 | スキャン露光装置およびスキャン露光装置の基板搬送方法 |
| JP5334536B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2013-11-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のマスク搬送方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
| JP5334675B2 (ja) * | 2009-05-13 | 2013-11-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のマスクの位置ずれ防止方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
| JP5441800B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2014-03-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法、並びに光学式変位計を用いた微小角度検出方法 |
| CN103034064B (zh) * | 2011-09-29 | 2015-03-25 | 上海微电子装备有限公司 | 一种用于基板预对准以及基板方向检测及调整的装置 |
| CN121070056A (zh) * | 2025-11-06 | 2025-12-05 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 基于玻璃基板分段切割制程的直角度控制系统 |
-
2001
- 2001-03-30 JP JP2001101881A patent/JP3936546B2/ja not_active Expired - Fee Related
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