JP2002296568A

JP2002296568A - 反射型液晶表示素子及びその製造方法

Info

Publication number: JP2002296568A
Application number: JP2001095252A
Authority: JP
Inventors: Nozomi Okochi; 望大河内; Takashi Inoue; 隆井上; Toshiki Yoshida; 俊樹吉田
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 2001-03-29
Filing date: 2001-03-29
Publication date: 2002-10-09

Abstract

(57)【要約】【課題】外的な機械応力や熱応力による画像品質
劣化のおそれがない、高品質な反射型液晶表示素子を提
供する。【解決手段】シリコンウエハー基板４と透明基板２
と前記両基板間に封止された液晶層５からなる反射型液
晶表示セル１０と前記反射型液晶表示セル１０を冷却及
び固定するプレート１１とからなる反射型液晶表示素子
２０であって、前記冷却及び固定のためのプレート１１
と前記反射型液晶表示セル１０との隙間が、５０μｍ〜
５００μｍで、かつ、０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率
を有するシリコーンゲル剤１２及び５０μｍ〜５００μ
ｍの厚さの接着剤１３によってそれぞれ固着されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクター，
プロジェクションＴＶ等の基幹部品としての反射型液晶
表示素子に関し、特に、反射型液晶表示素子の構造及び
その製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プロジェクターやプロジェクションＴＶ
の表示素子としての、液晶表示素子が広く用いられてき
ている。特に近年、マトリクス状に配置された反射電極
とそれに電圧を供給するためのＣＭＯＳトランジスター
駆動回路とを配したシリコン基板と、共通電極を形成し
た透明基板とが対向して貼り合わされ、その間に液晶を
挟持したＬＣＯＳ（ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＯｎ
Ｓｉｌｉｃｏｎ）素子と呼ばれる反射型液晶表示素子
が、その表示画像品質の高さで注目されてきている。

【０００３】このような反射型液晶表示素子は、液晶層
を前記シリコン基板と透明基板とで挟持した液晶表示セ
ルを、回路基板に固定して配線処理をするか又は金属製
や樹脂製のパッケージにフレキシブルプリント基板（Ｆ
ＰＣ）と共に収納されて構成されている。

【０００４】前記したような反射型液晶表示素子は、プ
ロジェクターやプロジェクションＴＶのセット内に搭載
されるが、その際、光源が熱源となるために、前記ＴＶ
セット内の温度が上昇したり、前記反射型液晶表示素子
が光源からの数Ｗ/ｃｍ²以上の強力な光を受けて画像を
反射する際に、光の吸収が起こり、前記反射型液晶表示
素子自体の温度が上昇したりするものである。

【０００５】従って、前記反射型液晶表示素子が、回路
基板やパッケージからの力を受けて前記反射型液晶表示
素子のガラス基板に外部的な応力がかかったり、熱的応
力がかかったりすると、ガラス基板を構成するガラス材
料自身に複屈折が発現する。前記反射型液晶表示素子の
液晶層は、もともと液晶の複屈折性を応用して画像を生
み出すものであるから、ガラス材料の複屈折の発現はこ
の液晶層の複屈折に重畳して画像の品質を劣化させてし
まうことになる。

【０００６】また、前記反射型液晶表示素子に熱的な応
力が掛かりすぎたり、この素子自身の温度が上昇しすぎ
たりすると、前記シリコン基板と前記透明基板間の熱膨
張率差によって液晶層のセルギャップが変化してしま
い、これも画像品質の劣化につながるものである。従っ
て、反射型液晶表示素子に対して、光源からの光が当っ
てもいかに放熱を行うか、また、前記反射型液晶表示素
子の外部との熱膨張率の違いから、この素子に外部から
の応力がいかにかからないようにするかが、良好な画像
品質を維持するための重要な技術となる。

【０００７】このような技術を用いた従来例としては、
例えば、（１）特開平１０−２０２３４号公報、（２）
特表２００１−５００６３３号公報、（３）特開平１１
−６４８６０号公報を挙げることができる。以下、それ
ぞれの技術内容につき概説する。

【０００８】（１）の特開平１０−２０２３４号公報に
かかる反射型液晶表示素子３０は、図６の説明図に示す
如く、シリコン（ＩＣ）基板３３と、透明基板３４等よ
りなる反射型液晶パネル３６を固定する回路基板３１
に、前記ＩＣ基板３３より大きく、かつ、前記透明基板
３４の第一の方向幅より狭い孔３２を設け、前記ＩＣ基
板３３が前記孔３２内に設置され、前記透明基板３４の
第一方向の両端部が前記回路基板３１との間で接着剤３
５により固着されている構成である。なお、前記接着剤
３５は、導電性の紫外線硬化型のものを用い、前記ＩＣ
基板３３と前記回路基板３１との間で配線を行っている
構造である。また、説明の便宜上、液晶層は図示してい
ない。

【０００９】（２）の特表２００１−５００６３３号公
報にかかる反射型液晶表示素子４０は、図７の説明図に
示す如く、透明な第１の基板４３と、アクティブマトリ
クス素子４４等よりなる反射型液晶パネル４５を固定す
るための回路基板４１に窓部４２を設け、前記反射型液
晶パネル４５の一部を構成するアクティブマトリクス素
子４４は、この窓部４２を通して放熱ゲル材料４６中に
沈み込むように構成されている。前記ゲル材料４６は、
ベース材４７の凹部に入れられておりこのベース材４
７は、前記回路基板４１を支持している構造である。な
お、説明の便宜上、液晶層は図示していない。

【００１０】（３）の特開平１１−６４８６０号公報に
かかる反射型液晶表示素子５０は、図８の説明図に示す
如く、パッケージ本体５１に取付けられる、第１の基板
５２、第２の基板５３等よりなる反射型液晶パネル５４
の背面側に、金属製放熱板５５が４辺を埋設した状態で
設置され、前記反射型液晶パネル５４と前記金属製放熱
板５５との間には比較的弾性を有する放熱シート５６を
介在させた構成である。そして、前記パッケージ本体５
１は、前記した反射型液晶パネル５４背面側に設けられ
た金属製放熱板５５と前面のガラス板５７で密閉するキ
ャビティー構造になっている。なお、説明の便宜上、液
晶層は図示していない。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、プロジェク
ションディスプレイ用の基幹部品である反射型液晶表示
素子においては、機械的応力，熱的応力により画像表示
品質の劣化が発生しないという必要性はもとより、近
年、液晶表示素子に求められている低価格化の要請に応
えるための構成部品価格及び構成部品点数の低減化が必
要となる。

【００１２】しかしながら、前記した（１）の特開平１
０−２０２３４号公報にかかる反射型液晶表示素子３０
の場合は、反射型液晶パネル３６の背面に接触する部分
が無く、接着剤３５を介して直接的に回路基板３１に固
着されている構成のため、外的な機械応力を受けにくい
反面、反射型液晶パネル３６からの放熱効率が悪く、し
かも、前記反射型液晶パネル３６に照射された光量によ
り、この反射型液晶パネル３６自身の温度が上昇し、各
構成部品間の熱膨張率差によって図示しない液晶層のセ
ルギャップが変化しやすいという課題を有している。

【００１３】また、（２）の特表２００１−５００６３
３号公報にかかる反射型液晶表示素子４０の場合は、ベ
ース材４７の凹部に設けられた放熱ゲル剤４６に、反射
型液晶パネル４５の一部を構成している第２の基板４４
を沈み込ませている構造のため、放熱効率が良く、か
つ、放熱ゲル剤４６が弾性を有するため外的な機械応力
を受けにくいという良い面を持ってはいるが、ベース材
４７、回路基板４１、反射型液晶パネル４５の３つの構
成部材間での接着支持が必要となるため、生産性が悪い
という課題を有している。

【００１４】更に、（３）の特開平１１−６４８６０号
公報にかかる反射型液晶表示素子５０の場合は、液晶パ
ネル５５と金属放熱板５６との間に放熱シート５７を介
して放熱効率を上げているものであるが、パッケージ構
成が複雑で、しかもキャビティー内を気密に保たねばな
らないので、生産性が悪く、前記した液晶表示素子に求
められている部品価格の低減化が図れにくいという課題
がある。

【００１５】本発明は、かかる課題に鑑みなされたもの
であり、反射型液晶表示セルを冷却及び固定の機能を有
するプレートのみにより支持するよう構成したことによ
り、外的な機械応力や熱応力による画像品質劣化の問題
点及び生産性に関する問題点をも同時に解決したもので
あり、かかる構成を有する反射型液晶表示素子を提供す
ることを目的とするものである。また、併せてかかる構
成を有する反射型液晶表示素子の新規な製造方法を提供
することを目的とするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記した目的
を達成するためになされたものであり、請求項１に係る
発明は、シリコンウエハー基板４と透明基板２と前記両
基板間に封止された液晶層５からなる反射型液晶表示セ
ル１０と前記反射型液晶表示セル１０を冷却及び固定す
るプレート１１とからなる反射型液晶表示素子２０であ
って前記冷却及び固定のためのプレート１１と反射型液
晶表示セル１０との隙間が５０μｍ〜５００μｍで、か
つ、０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率を有するシリコー
ンゲル剤１２及び５０μｍ〜５００μｍの厚さの接着剤
１３によってそれぞれ固着されている事を特徴とする。

【００１７】請求項２に係る発明は、シリコンウエハー
基板４と透明基板２と前記両基板間に封止された液晶層
５からなる反射型液晶表示セル１０と、前記反射型液晶
表示セル１０を冷却及び固定するプレート１１とからな
る反射型液晶表示素子２０の製造方法であって、位置決
め構造２２，２３を有する台座２１上に、フィン構造１
１ａ〜１１ｎ及び位置決め構造１８₁，１８₂を有するプ
レート１１を位置決めし、前記プレート１１上の前記反
射型液晶表示セル１０のシリコンウエハー基板４裏面に
接触する部位にシリコーンゲル剤１２を塗付し、かつ、
前記プレート１１上の透明基板２を受ける部位に接着剤
１３を塗布する工程と、前記反射型液晶表示セル１０と
プレート１１との隙間を、前記シリコーンゲル剤塗布
部、接着剤塗付部のそれぞれにおいてマニピュレータ２
６にて５０μｍ〜５００μｍに保つ工程と、前記接着剤
１３を硬化させる工程と、前記シリコーンゲル剤１２を
固着させる工程とからなることを特徴とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施例を
添付図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる実施
例は本発明の好適な具体例であるから、技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下
の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限
り、これらの態様に限られるものではない。

【００１９】図1は、本実施例に係る反射型液晶表示素
子の主要部である反射型液晶表示セルの一実施例の分解
斜視図、図２は、図１の構成説明図、図３は、本発明に
係る反射型液晶表示素子の説明図、図４は、本発明に係
る反射型液晶表示素子の構成部分であるプレートの説明
図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図、
図５は、本発明に係る反射型液晶表示素子の製造方法を
示す工程図である。

【００２０】図１に示すように、本実施例になる反射型
液晶表示セル１０は、透明電極１と反射防止膜８が施さ
れた透明基板２と、画素電極３や図示していない駆動用
ＣＭＯＳトランジスター等が半導体プロセスによって施
されているシリコンウエハー（ＩＣ）基板４とが貼合わ
された構造になっている。

【００２１】図２は、図１の反射型液晶表示セル１０の
完成状態を示す構成説明図である。前記した２枚の基板
２，４の間には液晶層５が設けられ、この２枚の基板
２，４は、液晶層５のセルギャップを決めるスペーサ６
を混入したシール接着剤７で固着されている。液晶層５
の２枚の基板２，４との接触面には、図示していない配
向膜が施されている。この実施例の場合は、透明基板２
としてコーニング社製＃１７３７ガラス基板を用い、透
明電極１は、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄ
ｅ）膜、配向膜としては、酸化珪素膜を施したものであ
る。

【００２２】また液晶層５を構成する液晶としては、ｎ
型のネマチック液晶を用いた。シール接着剤７として
は、協立化学産業（株）製ＷＲシリーズメインシール剤
にヤクシ化成（株）製ＳＷ−３．２Ｄ１スペーサボール
を混入して紫外線照射及び加熱によって固着した。この
ようにして作製した反射型液晶表示セル１０を動作時に
冷却する方法として、図３及び図４に示す構造を採用し
た。

【００２３】すなわち、図３及び図４において、冷却フ
ィン１１ａ〜１１ｎを有するプレート１１上に、シリコ
ーンゲル剤１２を塗付し、かつ、前記反射型液晶表示セ
ル１０のガラス基板２とプレート１１との接触面には、
ＵＶ接着剤１３を塗布する。シリコーンゲル剤１２及び
ＵＶ接着剤１３の硬化後の厚さは、５０μｍ〜５００μ
ｍであり、好ましくは５０μｍ〜３００μｍである。

【００２４】シリコーンゲル剤１２の熱伝導率は、０．
５Ｗ/ｍ・ｋ以上が好ましく、ＧＥ東芝シリコーン
（株）製の高熱伝導性シリコーンゲルや東レダウコーニ
ングシリコーン（株）製の放熱用シリコーンゲルＳＥシ
リーズが好適である。ここでは、０．６Ｗ/ｍ・ｋの熱
伝導率を有するＧＥ東芝シリコーン（株）製の高熱伝導
性シリコーンゲルＴＳＥシリーズを用いた。

【００２５】ＵＶ接着剤１３は、製造時に前記シリコー
ンゲル剤１２が硬化するまでの間、前記反射型液晶表示
セル１０とプレート１１との間の位置決めを保持するも
のであるため、位置決めを保持し、かつ、前記反射型液
晶表示セル１０に機械的応力を付与しない、比較的弾性
を有する材料であれば、ＵＶ接着剤１３に限定するもの
ではない。ここでは、ケミテック（株）製の紫外線硬化
性樹脂ケミシールを用いた。

【００２６】プレート１１としては、シリコーンゲル剤
１２を介して前記反射型液晶表示セル１０の熱量を放熱
するものであることから、シリコーンゲル剤１２より高
い熱伝導率を有する材料が望ましい。ここでは、アルミ
ニウム材を用いた。アルミニウムの熱伝導率は約２３８
Ｗ/ｍ・ｋであるため、充分な放熱効果が得られるもの
である。なお、１４は、窓材（アパーチャ）である。

【００２７】また、図４において、１５は、前記したシ
リコーンゲル剤１２が設けられる底面部、１６は、前記
したＵＶ接着剤１３が設けられる中間部、１７は、前記
したアパーチャ１４が設けられる上面部である。１
８₁、１８₂は、後述する位置決めピン２２，２３が挿入
される位置決め穴、１９₁〜１９₄は、後述する反射型液
晶表示素子２０をプロジェクタ光学系の光学部品等に固
定するためのネジ穴である。

【００２８】次に、このようにして形成された本実施例
になる反射型液晶表示素子２０の実験結果について説明
する。まず、前記反射型液晶表示セル１０のガラス基板
２とプレート１１との間に、ＵＶ接着剤１３を５０μｍ
以上の厚さで４箇所塗布した後、このＵＶ接着剤１３を
紫外線照射で硬化させ、かつ、シリコンウエハー（Ｉ
Ｃ）基板４とプレート１１との間には、シリコーンゲル
剤１２を介さない（空気層：熱伝導率０．０２Ｗ/ｍ・
ｋ）場合には、７０℃の高温環境下で画像上にガラスの
複屈折発現によるムラが生じた。

【００２９】一方、前記と同様、前記反射型液晶表示セ
ル１０のガラス基板２とプレート１１との間に、ＵＶ接
着剤１３を５０μｍ以上の厚さで４箇所塗布した後、こ
のＵＶ接着剤１３を紫外線照射で硬化させ、かつ、シリ
コンウエハー（ＩＣ）基板４とプレート１１との間にシ
リコーンゲル剤１２を５０μｍ以上の厚さで介在させた
場合は、７０℃の高温環境下であっても画像上のムラは
全く観察されず、また、セルギャップ変化も発生しなか
った。特に、５０μｍ〜３００μｍの厚さにおいて良好
であった。さらに、１５００ＡＮＳＩルーメン相当のプ
ロジェクター光学系に搭載した場合も、画像上のムラや
表示画像品質の劣化は全く起こらなかった。

【００３０】なお、前記反射型液晶表示セル１０のガラ
ス基板２とプレート１１との間に、ＵＶ接着剤１３を２
０μｍの厚さで４箇所塗布した後、このＵＶ接着剤１３
を紫外線照射で硬化させ、かつ、シリコンウエハー（Ｉ
Ｃ）基板４とプレート１１との間にシリコーンゲル剤１
２を２０μｍの厚さで介在させた場合には、室温環境
下、すなわち初期状態で画像上にガラスの複屈折発現に
よるムラが生じた。このことより、シリコーンゲル剤１
２及びＵＶ接着剤１３の厚みは、５０μｍ以上必要であ
ることが理解できる。

【００３１】前記したシリコーンゲル剤１２及びＵＶ接
着剤１３の厚みは、次の３点に鑑みて決めたものであ
る。すなわち、（１）熱抵抗を考慮すると、厚みに比例
して大きくなるため５００μｍを上限とすると良好な
放熱効果が得られる。（２）後述するようなプレート１
１の製造工程（押出し成型の場合）において、前記反射
型液晶表示セル１０を受ける面の平坦度にバラつき（２
００μｍ程度）が生じる可能性を考慮して、その平坦度
のバラつきを吸収する。（３）厚みの上限を５００μｍ
に設定することにより、反射型液晶表示セル１０がその
面内方向に力が加わっても許容範囲内の位置変化に抑え
られる。

【００３２】なお当然の如く、熱抵抗は、材料の厚さに
比例するので、それが厚くなれば厚くなるほど放熱特性
は悪化する。また、平面方向の荷重に対する位置変化
は、やはり、材料の厚さに比例するので、それが厚くな
れば厚くなるほど外的な荷重に対してアパーチャと反射
型液晶表示素子２０との位置関係がずれやすく良い結果
が得られない。

【００３３】すなわち本実施例になる反射型液晶表示素
子２０は、かかる如くにシリコーンゲル剤１２及びＵＶ
接着剤１３を構成配置したことにより、プロジェクター
やプロジェクションＴＶセット内において強力な光照
射及びそれによる温度上昇によっても、表示画像品質に
劣化の無い良好な反射型液晶表示素子が得られるもので
ある。

【００３４】次に、図１〜図５、主として図５を参照し
て、本実施例になる反射型液晶表示素子２０の製造方法
について説明する。なお、図５において、２１は、前記
した位置決めピン２２，２３を上面に有する台座、２４
はディスペンサ、２５はＣＣＤカメラ、２６はマニュピ
レータ、２７は紫外線照射ライトガイド、２８はオーブ
ンである。

【００３５】まず、始めに前記した位置決め孔１８₁、
１８₂を有するプレート１１を、上方より位置決めピン
２２，２３に沿って挿入し、このプレート１１を台座２
１上に固定する（ａ）。

【００３６】次に、台座２１上に位置決め固定されたプ
レート１１上において、前記反射型液晶表示セル１０の
シリコンウエハー基板４の受け面にディスペンサ２４に
よってシリコーンゲル剤１２を塗付する。また、透明基
板であるガラス基板２の受け面に数箇所前記したディス
ペンサ２４によって紫外線硬化型接着剤１３を塗布する
（ｂ）。

【００３７】次に、前記したプレート１１に設けた位置
決め孔１８₁、１８₂の位置をＣＣＤカメラ（センサー）
２５にて認識すると共に、前記反射型液晶表示セル１０
の画素部デザインパターン３を画像認識し、前記反射型
液晶表示セル１０をプレート１１上に固定する位置を検
出する（ｃ）。

【００３８】次に、マニピュレータ（保持アーム）２６
によって、前記反射型液晶表示セル１０をプレート１１
上で所定の平面位置及び垂直方向位置に保持し、しかる
後、前記反射型液晶表示セル１０のシリコンウエハー基
板４の底面とプレート１１面との隙間を５０μｍ〜５０
０μｍに保つ。

【００３９】次に、この隙間を保った状態で前記反射型
液晶表示セル１０のガラス基板２とプレート１１との間
にあるＵＶ接着剤１３に、ＵＶ照射用ライトガイド２７
により紫外線を照射してこれを硬化させる。この時点で
前記反射型液晶表示セル１０のプレート１１上での位置
が固定される（ｄ）。

【００４０】次に、再度ＣＣＤカメラ２５にてアパーチ
ャ１４のパターン認識を行い、先ほど検出したプレート
１１に設けられた位置決め孔１８₁、１８₂の位置との相
対位置のそれぞれを決定して、窓材１４をマニピュレー
タ２６等で所定の位置にて保持する（ｅ）。

【００４１】しかる後、所望の位置に保持されたアパー
チャ１４とプレート１１との接触部近傍に、前記したデ
ィスペンサ２４によってＵＶ接着剤を塗布する（ｆ）。

【００４２】次に、塗付されたＵＶ接着剤に紫外線照射
用ライトガイド２７により紫外線を照射して前記したＵ
Ｖ接着剤を硬化させる（ｇ）。

【００４３】前記したアパーチャ１４とプレート１１と
の接触部近傍にＵＶ接着剤を塗布する工程（ｆ）、塗付
されたＵＶ接着剤に紫外線照射用ライトガイド２７によ
り紫外線を照射して前記したＵＶ接着剤を硬化させる工
程（ｇ）は、生産性の観点からＵＶ紫外線にて速い硬化
速度を望むものであるから、硬化速度の速い接着剤であ
ればＵＶ接着剤に限定するものではない。また窓材１４
には図示していない防塵用のスポンジ等を予め付与する
場合もある。

【００４４】以上の工程により、前記反射型液晶表示セ
ル１０とアパーチャ１４とがプレート１１上に固着され
た状態のものをオーブン２８にて加熱し、シリコーンゲ
ル剤１２の硬化を促進させる（ｈ）。加熱条件は、１０
０℃〜１２０℃にて３０分〜１時間程度が望ましい。

【００４５】前記した時間加熱を行うことにより、反射
型液晶表示素子２０が完成する（ｉ）。

【００４６】以上の製法のうち、アパーチャ１４が不要
な場合は、前記したアパーチャ１４をマニピュレータ２
６等で所定の位置にて保持する工程（ｅ）〜塗付された
ＵＶ接着剤１３に紫外線照射用ライトガイド２７により
紫外線を照射して前記したＵＶ接着剤１３を硬化させる
工程（ｇ）を省略することができる。

【００４７】また、前記した製造方法において、反射型
液晶表示セルに設けられる図示しないフレキシブルプリ
ント基板（ＦＰＣ）を前記プレート１１から隙間をもっ
て保持したままＵＶ接着剤１３にて固着する工程と、入
射光及び表示画像を通過させるアパ−チャ１４を前記プ
レート１１上に設置してＵＶ接着剤にて固着する工程と
を付加することにより、より安定化したこの種反射型液
晶表示素子が得られるものである。なお、これらの工程
は、工程（ｄ）〜工程（ｅ）の間で行われるものであ
り、その場合の請求項は以下の通りであり、本発明は、
これらの内容をも含むものである。

【００４８】シリコンウエハー基板と透明基板と前記両
基板間に封止された液晶層からなる反射型液晶表示セル
と前記反射型液晶表示セルを冷却及び固定するプレート
とからなる反射型液晶表示素子の製造方法であって、位
置決め構造を有する台座上に、フィン構造及び位置決め
構造を有するプレートを位置決めし、前記プレート上の
前記反射型液晶表示セルのシリコンウエハー基板裏面に
接触する部位にシリコーンゲル剤を塗付し、かつ前記プ
レート上の透明基板を受ける部位に接着剤を塗布する工
程と、前記反射型液晶表示セルと前記プレートとの隙間
を、シリコーンゲル剤塗布部、接着剤塗付部のそれぞれ
においてマニピュレータにて５０μｍ〜５００μｍに保
つ工程と、前記接着剤を硬化させる工程と、前記反射型
液晶表示セルに設けられるフレキシブルプリント基板を
前記プレートと隙間をもって保持したまま前記接着剤に
て固着する工程と、入射光及び表示画像を通過させる窓
材を前記プレート上に設置して前記接着剤にて固着する
工程と、前記シリコーンゲル剤を固着させる工程とから
なることを特徴とする反射型液晶表示素子の製造方法。

【００４９】

【発明の効果】請求項１に係る発明は、シリコンウエハ
ー基板と透明基板と前記両基板間に封止された液晶層か
らなる反射型液晶表示セルと前記反射型液晶表示セルを
冷却及び固定するプレートとからなる反射型液晶表示素
子であって、前記冷却及び固定のためのプレートと反射
型液晶表示セルとの隙間が５０μｍ〜５００μｍの厚さ
でかつ０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率を有するシリコ
ーンゲル剤及び５０μｍ〜５００μｍの厚さの接着剤に
よってそれぞれ固着されているものであるから、高温環
境下においてもセルギャップの変化が見られず、また通
常ガラス基板に応力がかかった場合に生じる複屈折の発
現によって生じるような画像上のムラも発生しないの
で、プロジェクター及びプロジェクションＴＶに用いた
場合に良好な表示画像品質を保つことができるという効
果が得られるものである。

【００５０】また請求項１では、反射型液晶表示セル
が、冷却及び固定の機能を有するプレートのみでシリコ
ーンゲル剤、接着剤を介して支持されているため、部品
点数が少なくてすみ、従って、甚だ生産性がよく、しか
も安価で高品質な反射型液晶表示素子が得られるもので
ある。

【００５１】また請求項１では、シリコーンゲル剤が、
０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率及び５０μｍ〜５００
μｍの厚さを有するため、外的な機械応力や熱応力によ
る画像品質劣化のおそれがなく、高品質な反射型液晶表
示素子が得られるものである。

【００５２】更に請求項１では、上述したようにシリコ
ーンゲル剤が、０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率及び５
０μｍ〜５００μｍの厚さを有するために、反射型液晶
表示セルからの放熱効率が良好であり、外的な温度上昇
による画像品質劣化のおそれがなく、高品質な反射型液
晶表示素子が得られるものである。

【００５３】請求項２に係る発明は、シリコンウエハー
基板と透明基板と前記両基板間に封止された液晶層から
なる反射型液晶表示セルと、前記反射型液晶表示セルを
冷却及び固定するプレートとからなる反射型液晶表示素
子の製造方法であって、位置決め構造を有する台座上
に、フィン構造及び位置決め構造を有するプレートを位
置決めし、前記プレート上の前記反射型液晶表示セルの
シリコンウエハー基板裏面に接触する部位にシリコーン
ゲル剤を塗付し、かつ、前記プレート上の透明基板を受
ける部位に接着剤を塗布する工程と、前記反射型液晶表
示セルとプレートとの隙間を、前記シリコーンゲル剤塗
布部、接着剤塗付部のそれぞれにおいてマニピュレータ
にて５０μｍ〜５００μｍに保つ工程と、前記接着剤を
硬化させる工程と、前記シリコーンゲル剤を固着させる
工程とからなるもの、すなわち、位置決めされたプレー
ト上にシリコーンゲル剤と接着剤を塗布し、前記反射型
液晶表示セルを保持したままシリコーンゲルを固着させ
る製造方法であるから、製造時には、組み立て部品は使
用部品を下から積み上げていくという単純な工法を取る
ことができ、従って、製造時の組み立て装置の設計及び
自動化が容易であり、高い生産性を保つことができるも
のである。

【００５４】また請求項２では、フィン構造及び位置決
め構造を有するプレートの構造を単純なものとしたの
で、プレート部品の製造に際し、たとえば金属または樹
脂の押し出し成型が可能となるので、プレート部品の低
価格化が可能となり、ひいては反射型液晶表示素子の低
価格化に貢献できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る反射型液晶表示素子の主要部であ
る反射型液晶表示セルの一実施例の分解斜視図である。

【図２】図１の構成説明図である。

【図３】本発明に係る反射型液晶表示素子の説明図であ
る。

【図４】本発明に係る反射型液晶表示素子の構成部分で
あるプレートの説明図である。

【図５】本発明に係る反射型液晶表示素子の製造方法を
示す工程図である。

【図６】従来の反射型液晶表示素子の説明図である。

【図７】従来の反射型液晶表示素子の説明図である。

【図８】従来の反射型液晶表示素子の説明図である。

【符号の説明】

１透明電極２透明基板３画素電極４シリコンウエハー基板５液晶層６スペーサ７シール接着剤８反射防止膜９封止部１０反射型液晶表示セル１１プレート１２シリコーンゲル剤１３ＵＶ接着剤１４アパ−チャ１５底面部１６中間部１７上面部１８位置決め穴１９反射型液晶表示素子固定穴２０反射型液晶表示素子２１固定台２２位置決めピン２３位置決めピン２４ディスペンサ２５ＣＣＤカメラ２６マニピュレータ２７紫外線照射ガイド２８オーブン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者吉田俊樹神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12番地日本ビクター株式会社内Ｆターム(参考） 2H088 EA12 EA68 HA01 HA28 2H089 LA06 MA03Y QA06 TA17 TA18 UA05 2H091 FA14Z FA41Z LA04 MA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリコンウエハー基板と透明基板と前記両
基板間に封止された液晶層からなる反射型液晶表示セル
と前記反射型液晶表示セルを冷却及び固定するプレート
とからなる反射型液晶表示素子であって、前記冷却及び固定のためのプレートと前記反射型液晶表
示セルとの隙間が、５０μｍ〜５００μｍで、かつ、
０．５Ｗ/ｍ・ｋ以上の熱伝導率を有するシリコーンゲ
ル剤及び５０μｍ〜５００μｍの厚さの接着剤によって
それぞれ固着されていることを特徴とする反射型液晶表
示素子。
【請求項２】シリコンウエハー基板と透明基板と前記両
基板間に封止された液晶層からなる反射型液晶表示セル
と、前記反射型液晶表示セルを冷却及び固定するプレー
トとからなる反射型液晶表示素子の製造方法であって、位置決め構造を有する台座上に、フィン構造及び位置決
め構造を有するプレートを位置決めし、前記プレート上
の前記反射型液晶表示セルのシリコンウエハー基板裏面
に接触する部位にシリコーンゲル剤を塗付し、かつ、前
記プレート上の透明基板を受ける部位に接着剤を塗布す
る工程と、前記反射型液晶表示セルとプレートとの隙間を、前記シ
リコーンゲル剤塗布部、接着剤塗付部のそれぞれにおい
てマニピュレータにて５０μｍ〜５００μｍに保つ工程
と、前記接着剤を硬化させる工程と、前記シリコーンゲル剤を固着させる工程とからなること
を特徴とする反射型液晶表示素子の製造方法。