JP2015034865A - 液晶表示デバイス及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】液晶表示セルの放熱を効率的に行い、表示画素領域におけるセルギャップのばらつきを低減可能とする。【解決手段】液晶表示デバイス1は、一面30A側に画素電極21が形成された画像表示領域22を有するシリコン基板20、画素電極21に対向配置された共通電極31を有するガラス基板30、及び、シリコン基板20とガラス基板30との間隙に充填された液晶12を有する液晶表示セル10と、液晶表示セル10を収納する凹部41を有すると共に、凹部41の底面43がシリコン基板20に対向する放熱プレート40と、を備え、凹部41の底面43とシリコン基板20との間隙において、画像表示領域22の中央部に対応する領域には第1の放熱材14が介在し、その周囲の領域には、第1の放熱材14を囲うように、第1の放熱材14よりも粘度が低い第2の放熱材15が介在している。【選択図】図1

Description

本発明は液晶表示デバイス及びその製造方法に関する。
液晶表示デバイスは、プロジェクタやプロジェクションTVの表示デバイスとして広く用いられている。
また、液晶表示デバイスは、一般的に、液晶表示セルを、回路基板に固定して配線処理をするか又は金属製や樹脂製のパッケージにフレキシブルプリント基板(FPC)と共に収納される。
液晶表示セルの一形態として、LCOS(Liquid Crystal On Silicon)素子がある。LCOS素子は、一般的に、マトリクス状に配置された画素電極とそれに電圧を供給するためのCMOSトランジスタ駆動回路とが形成されたシリコン基板と、共通電極が形成された透明基板であるガラス基板とが対向して貼り合わされ、その間隙(セルギャップ)に液晶が充填された構成を有する。
プロジェクタやプロジェクションTVのセット内に搭載された上記の液晶表示セルは、光源が熱源となってセット内の温度が上昇したり、光源から強力な光、例えば数W/cm以上の光が照射され続けることによって、液晶表示セル自体の温度が上昇する。
液晶表示セル自体の温度が上昇すると、液晶表示セルを構成するガラス基板に熱的応力が発現し、ガラス基板を構成するガラス材料自身に複屈折が発現する。液晶表示セルに充填されている液晶は、その複屈折性を応用して画像を生み出すものであるから、ガラス材料の複屈折の発現は液晶の複屈折に重畳して画像の品質を劣化させる要因となる。
また、液晶表示セル自体の温度が上昇すると、液晶表示セルを構成するシリコン基板とガラス基板との熱膨張率差によってセルギャップが変化してしまうため、画像の品質を劣化させる要因となる。
そこで、液晶表示セルが温度上昇しないように、液晶表示セルの放熱を如何に効率的に行うかが重要となる。
液晶表示セルの放熱を効率的に行う技術の一例が特許文献1に開示されている。
特開2002−296568号公報
しかしながら、特許文献1に開示されているようなLCOS素子を構成するシリコン基板は、通常、諸々の半導体プロセスを経ることで反りを有している。そのため、外周部のセルギャップよりも中心部のセルギャップの方が大きくなる傾向にある。
そこで、本発明は、上記の課題を解決するために、液晶表示セルの放熱を効率的に行い、かつ、LCOS素子の表示画素領域におけるセルギャップのばらつきを低減可能とする液晶表示デバイス及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、次の液晶表示デバイス及びその製造方法を提供する。
1)一面(20A)側に複数の画素電極(21)が形成された画像表示領域(22)を有するシリコン基板(20)、前記複数の画素電極(21)に対向配置された共通電極(31)が形成されたガラス基板(30)、及び、前記シリコン基板(20)と前記ガラス基板(30)との間隙に充填された液晶(12)を有する液晶表示セル(10)と、前記液晶表示セル(10)を収納する凹部(41)を有すると共に、前記凹部(41)の底面(43)が前記シリコン基板(20)に対向する放熱プレート(40)と、を備え、前記凹部(41)の底面(43)と前記シリコン基板(20)との間隙において、前記画像表示領域(22)の中央部に対応する領域には第1の放熱材(14)が介在し、前記画像表示領域(22)における前記中央部の周囲の領域には、前記第1の放熱材(14)を囲うように、前記第1の放熱材(14)よりも粘度が低い第2の放熱材(15)が介在していることを特徴とする液晶表示デバイス(1)。
2)前記第1及び第2の放熱材(14,15)は、シリコーンゲル剤であることを特徴とする1)記載の液晶表示デバイス。
3)1)記載の液晶表示デバイス(1)の製造方法であって、前記画像表示領域(22)の中央部に対応する、前記凹部(41)の底面(43)、又は、前記シリコン基板(20)における前記底面(43)に対向する面(20B)に、前記第1の放熱材(14)を塗布する第1の放熱材塗布ステップと、前記画像表示領域(22)における前記中央部の周囲の領域に対応する、前記凹部(41)の底面(43)、又は、前記シリコン基板(20)における前記底面(43)に対向する面(20B)に、前記第2の放熱材(15)を塗布する第2の放熱材塗布ステップと、前記液晶表示セル(10)を、前記第1及び第2の放熱材(14,15)を介して前記放熱プレート(40)に押し付けて、前記画像表示領域(22)における、前記シリコン基板(20)と前記ガラス基板(30)との間隙のばらつきを低減させる押圧ステップと、前記シリコン基板(20)と前記ガラス基板(30)との間隙のばらつきが低減した状態で、前記液晶表示セル(10)を前記放熱プレート(40)に固定する固定プロセスと、を含むことを特徴とする液晶表示デバイスの製造方法。
本発明によれば、液晶表示セルの放熱を効率的に行い、かつ、LCOS素子の表示画素領域におけるセルギャップのばらつきの低減が可能になる。
本発明に係る液晶表示デバイス及びその製造方法の実施の形態を説明するための模式的断面図である。 図1の液晶表示デバイスを構成する液晶表示セルを説明するための模式的断面図である。 図1の液晶表示デバイスを構成する放熱プレートを説明するための模式的上面図及び断面図である。 図3の放熱プレートに放熱材であるシリコーンゲル剤を塗布した状態を示す模式的上面図及び断面図である。 図4のシリコーンゲル剤が塗布された放熱プレートと液晶表示セルとの位置決めの状態を示す模式的断面図である。 図5の状態から、さらに、液晶表示セルを、シリコーンゲル剤を介して放熱プレートに押し付けている状態を示す模式的断面図である。 比較例として、1種類のシリコーンゲル剤を介して、液晶表示セルを放熱プレートに押し付けたときの干渉縞の発生状態を示す測定上面図である。 本実施の形態である、互いに粘度の異なる2種類のシリコーンゲル剤を介して、液晶表示セルを放熱プレートに押し付けたときの干渉縞の発生状態を示す測定上面図である。 図4の上面図に対応し、本実施の形態の変形例1を説明するための模式的上面図である。 図4の上面図に対応し、本実施の形態の変形例2を説明するための模式的上面図である。
まず、本発明に係る液晶表示デバイスの一実施形態について、図1〜図3を用いて説明する。
図1に示すように、液晶表示デバイス1は、液晶表示セル10と、放熱プレート40と、アパーチャ50と、を有して構成されている。
図2に示すように、液晶表示セル10は、複数の画素電極21が一面20A側にマトリスク状(紙面の左右方向及び手前奥方向)に形成された画像表示領域22を有するシリコン基板20と、複数の画素電極21に対向するように透明電極31が一面30A側に共通電極として形成され、他面30B側に反射防止膜32が形成された透明基板であるガラス基板30と、シリコン基板20とガラス基板30とを所定のセルギャップCGを有して貼り合わせる環状のシール材11と、シリコン基板20とガラス基板30とシール材11とによって形成された領域に充填された液晶12と、を有して構成されたLCOS(Liquid Crystal On Silicon)素子である。
なお、図1に示す液晶表示セル10と図2に示す液晶表示セル10とは同じものであるが、図1では図を見やすくするために、画素電極21、透明電極31、反射防止膜32等は図示を省略している。
シリコン基板20は、一面20A側に、複数の画素電極21をそれぞれ独立に駆動する、図示しない駆動回路が形成されている。複数の画素電極21は、光反射性を有する。
本実施の形態では、ガラス基板30として、コーニング社製のガラス基板を使用し、透明電極31としてITO(Indium Tin Oxide)膜を形成した。
図1及び図3に示すように、放熱プレート40は、液晶表示セル10を収容する凹部41と、液晶表示セル10の温度上昇を効率的に低減するための放熱フィン42と、を有して構成されている。
放熱プレート40は、液晶表示セル10の温度上昇を効率的に低減するため、熱伝導率の高い材料からなる。熱伝導率の高い材料として、例えばアルミニウムがある。
また、放熱プレート40は、凹部41に、シリコン基板20の他面20B側と対向する底面部43と、ガラス基板30の一面30A側の外周部と対向する段部44と、アパーチャ50の一面50A側の外周部と対向する段部45と、を有して構成されている。
図1に示すように、液晶表示セル10は、放熱プレート40の凹部41に収容され、ガラス基板30の一面30A側の外周部が段部44に、紫外線硬化型接着剤(UV接着剤)等の接着剤13で固着されることによって、放熱プレート40に固定されている。
また、液晶表示セル10のシリコン基板20の他面20B側と、放熱プレート40の凹部41の底面部43との間には熱伝導率の高い放熱材としてシリコーンゲル剤14,15が介在している。
シリコーンゲル剤14,15の熱伝導率は0.5W/m・k以上が好ましい。
また、シリコーンゲル剤14,15及び接着剤13の硬化後の厚さはそれぞれ50μm〜500μmであり、好ましくは50μm〜300μmである。
シリコーンゲル剤14とシリコーンゲル剤15とは粘度が異なり、シリコーンゲル剤14はシリコーンゲル剤15よりも粘度が高い。
本実施の形態では、シリコーンゲル剤14,15として、東レ・ダウコーニング株式会社製のシリコーンゲル剤を使用し、シリコーンゲル剤14として、熱伝導率が0.6W/m・kで、かつ、粘度が330Pa・s(パスカル秒)のシリコーンゲル剤を使用し、シリコーンゲル剤15として、熱伝導率が0.6W/m・kで、かつ、粘度が19Pa・s(パスカル秒)のシリコーンゲル剤を使用した。
また、シリコーンゲル剤14は画像表示領域22の中央部に位置し、シリコーンゲル剤15は画像表示領域22の外周部に位置するように、液晶表示セル10のシリコン基板20の他面20B側と、放熱プレート40の凹部41の底面部43との間に、それぞれ介在している。
液晶表示セル10は、シリコン基板20の他面20B側のほぼ全面に亘ってシリコーンゲル剤14,15が介在しているため、液晶表示セル10からシリコーンゲル剤14,15を介して放熱プレート40に効率的に放熱することが可能である。
なお、粘度の異なる2種類のシリコーンゲル剤14,15を用いる理由については後述する。
次に、図4、図5、図6及び図1を用いて、上述した液晶表示デバイス1の製造方法について説明する。なお、以下に説明する液晶表示デバイス1の製造方法は、特開2002−296568号公報に記載された製造方法を改善したものであり、重複を避けるため、以下には、特に、特開2002−296568号公報に記載の製造方法とは異なる部分について詳細に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。従って、共通する部分については、特開2002−296568号公報に記載の製造方法を参照されたし。
図4に示すように、放熱プレート40における凹部41の底面部43の中央部に、シリコーンゲル剤14を塗布する。
また、放熱プレート40における凹部41の底面部43にシリコーンゲル剤14を囲うようにシリコーンゲル剤15を塗布する。
また、放熱プレート40における凹部41の段部44に接着剤13を塗布する。
シリコーンゲル剤14,15及び接着剤13は、ディスペンサー等の周知の塗布手段により、塗布することができる。
また、シリコーンゲル剤14,15及び接着剤13を放熱プレート40に塗布する順序は特に限定するものではない。例えば、放熱プレート40における凹部41の底面部43にシリコーンゲル剤15を環状に塗布した後に、その環状の内側の領域にシリコーンゲル剤14を塗布するようにしてもよい。
また、図4では、接着剤13を、段部44における、シリコーンゲル剤14,15の4隅に対応する4箇所に塗布したが、これに限定されるものではない。
次に、図5に示すように、液晶表示セル10を、シリコン基板20の他面20B側が放熱プレート40の凹部41の底面部43と対向するようにして、液晶表示セル10と放熱プレート40との位置決めを行う。
さらに、図6に示すように、液晶表示セル10を、放熱プレート40に押し付ける。これにより、液晶表示セル10は、ガラス基板30の一面30A側の外周部が接着剤13に接触し、シリコン基板20の他面20B側における画像表示領域22(図2参照)の中央部に対応する領域がシリコーンゲル剤14に接触し、画像表示領域22(図2参照)の外周部に対応する領域がシリコーンゲル剤15に接触する。
ここで、上述したようなLCOS素子である液晶表示セル(10)を構成するシリコン基板(20)は、通常、諸々の半導体プロセスを経ることで反りを有している。
そのため、図6に示すように、放熱プレート40に貼り付ける前の液晶表示セル10は、通常、画像表示領域22(図2参照)における中央部のセルギャップが外周部のセルギャップよりも大きくなっている。
そこで、画像表示領域22(図2参照)の中央部に対応する領域に粘度の高いシリコーンゲル剤14を塗布しておき、画像表示領域22の外周部に対応する領域にシリコーンゲル剤14よりも粘度の低いシリコーンゲル剤15を塗布しておき、これらシリコーンゲル剤14,15にシリコン基板20を他面20B側から押し付ける。そうすると、シリコーンゲル剤14,15は画像表示領域22の中央部から外周部に向かって等方的に広がろうとするが、中央部のシリコーンゲル剤14は粘度が高いので、外周部のシリコーンゲル剤15に比べて広がりにくい。その結果、粘度の高いシリコーンゲル剤14の反発力(図6中の矢印で模式的に示す)の方が、粘度の低いシリコーンゲル剤15の反発力(図6中の矢印で模式的に示す)よりも大きくなり、シリコン基板20は、画像表示領域22の中央部の方が、画像表示領域22の外周部よりもガラス基板30側に強く押し付けられることになる。
従って、液晶表示セル10は、シリコン基板20の反りが矯正される方向にシリコーンゲル剤14,15の反発力が作用することになり、その結果、画像表示領域22におけるセルギャップのばらつきが改善される。
例えば、液晶表示セル10と放熱プレート40との位置決めを行った後、シリコン基板20の他面20Bと放熱プレート40の凹部41の底面部43との距離が50μm〜500μmの範囲になる状態で液晶表示セル10を保持しつつ、レーザ干渉計を用いて、ガラス基板30側から干渉縞を確認しながら、液晶表示セル10を放熱プレート40に押し付けて、画像表示領域22における干渉縞の本数が最も少なくなったときに接着剤13及びシリコーンゲル剤14,15を硬化させることで、セルギャップのばらつきが最も改善された状態で、液晶表示セル10を、放熱プレート40に固定することができる。
レーザ干渉計は、コヒーレント光であるレーザ光の特性を利用して、反りに応じて変化するレーザ波面の干渉状態を観察するための装置であり、レーザ光の波長と干渉縞の本数とから、反り量を算出することができる。
接着剤13として紫外線(UV)硬化型の接着剤を用いる場合は、ガラス基板30の他面30B側から、ガラス基板30内部を透過させて接着剤13に紫外線(UV)を照射することで接着剤13を硬化することができる。
シリコーンゲル剤14,15は、例えば120℃で30分間、加熱することで硬化する。
ここで、比較例として粘度が一律な1種類のシリコーンゲル剤を用いた場合と、上述した本実施の形態である粘度の異なる2種類のシリコーンゲル剤を用いた場合の、液晶12の干渉縞の様子を、図7及び図8にそれぞれ示す。図7は、比較例として粘度が一律な1種類のシリコーンゲル剤を用いた場合の干渉縞の様子を示した図である。図8は、本実施の形態である粘度の異なる2種類のシリコーンゲル剤を用いた場合の干渉縞の様子を示した図である。
図7及び図8は、波長が0.633μmのHe(ヘリウム)−Ne(ネオン)レーザを用いたレーザ干渉計により測定したものである。なお、図7及び図8における中央部は、上述した画像表示領域22の中央部に対応するものである。
図7に示すように、画像表示領域22に対応する領域には、中央部から左右方向にほぼ同心円状に約5本の干渉縞が観察される。本測定では、干渉縞1本あたり約0.32μmの反りを有する計算になるため、比較例では、干渉縞5本で約1.6μmの反りを有することがわかる。
それに対して、本実施の形態では、図8に示すように、画像表示領域22の中央部のセルギャップの均一な領域が拡大されており、画像表示領域22におけるセルギャップのばらつきが比較例よりも改善されたことを示すものである。
その後、上述した、液晶表示セル10が固定された放熱プレート40の段部45に、アパーチャ50を位置決めして載置し、接着剤16を用いてアパーチャ50を放熱プレート40の段部45に固定することで、図1に示す液晶表示デバイス1を作製することができる。
アパーチャ50は、防塵、及び、液晶表示セルの保護を目的とするものであり、例えば透明ガラスからなる。
接着剤16として紫外線(UV)硬化型の接着剤を用いる場合は、アパーチャ50と放熱プレート40との隙間、又はアパーチャ50から放熱プレート40に亘る領域に接着剤16を塗布し、この塗布した接着剤16に紫外線を照射することで接着剤16を硬化することができる。
なお、接着剤13及び16の種類等については特に限定されるものではなく、また、接着剤13と接着剤16とは同じ接着剤でもよく、又、互いに異なる接着剤であってもよい。
本発明の実施の形態は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
例えば、本実施の形態では、シリコーンゲル剤14,15及び接着剤13を、放熱プレート40側に塗布したが、これに限定されるものではなく、シリコン基板20及びガラス基板30のそれぞれ対応する領域に塗布するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、互いに「粘度」の異なるシリコーンゲル剤(14,15)を用いたが、互いにチキソトロピー(チキソ性)の異なるシリコーンゲル剤を用いても、本実施の形態と同様の効果が得られる。
また、本実施の形態では、熱伝導率の高い放熱材としてシリコーンゲル剤(14,15)を用いたが、これに限定されるものではなく、熱伝導率が高く、粘度又はチキソトロピー(チキソ性)が異なっていれば、シリコーンゲル剤以外の材料を用いることができる。
また、本実施の形態では、シリコーンゲル剤14,15を図4(上面図)に示すように塗布したが、これに限定されるものでない。
例えば、変形例1として、図9に示すように、シリコーンゲル剤14を、画像表示領域22(図2参照)の中央部から外周部に向けて放射状に塗布し、これを囲うようにシリコーンゲル剤15を塗布するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、粘度(又はチキソトロピー)の異なる2種類のシリコーンゲル剤(14,15)を用いたが、これに限定されるものでない。
例えば、変形例2として、図10に示すように、互いに粘度(又はチキソトロピー)の異なる3種類のシリコーンゲル剤54,55,56を用いてもよい。この場合、最も粘度(又はチキソトロピー)の高いシリコーンゲル剤54を画像表示領域22(図2参照)の中央部に対応する領域に塗布し、これを囲うように中間の粘度(又はチキソトロピー)を有するシリコーンゲル剤55を塗布し、さらにこれを囲うように最も粘度(又はチキソトロピー)の低いシリコーンゲル剤56を塗布するようにしてもよい。
なお、塗布するシリコーンゲル剤は3種類に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば4種類以上であってもよい。
1 液晶表示デバイス
10 液晶表示セル
11 シール材
12 液晶
13,16 接着剤
14,15 シリコーンゲル剤
20 シリコン基板
21 画素電極
22 画素表示領域
30 ガラス基板
31 透明電極
32 反射防止膜
40 放熱プレート
41 凹部
42 放熱フィン
43 底面部
44,45 段部
50 アパーチャ

Claims (3)

  1. 一面側に複数の画素電極が形成された画像表示領域を有するシリコン基板、前記複数の画素電極に対向配置された共通電極が形成されたガラス基板、及び、前記シリコン基板と前記ガラス基板との間隙に充填された液晶を有する液晶表示セルと、
    前記液晶表示セルを収納する凹部を有すると共に、前記凹部の底面が前記シリコン基板に対向する放熱プレートと、
    を備え、
    前記凹部の底面と前記シリコン基板との間隙において、
    前記画像表示領域の中央部に対応する領域には第1の放熱材が介在し、
    前記画像表示領域における前記中央部の周囲の領域には、前記第1の放熱材を囲うように、前記第1の放熱材よりも粘度が低い第2の放熱材が介在していることを特徴とする液晶表示デバイス。
  2. 前記第1及び第2の放熱材は、シリコーンゲル剤であることを特徴とする請求項1記載の液晶表示デバイス。
  3. 請求項1記載の液晶表示デバイスの製造方法であって、
    前記画像表示領域の中央部に対応する、前記凹部の底面、又は、前記シリコン基板における前記底面に対向する面に、前記第1の放熱材を塗布する第1の放熱材塗布ステップと、
    前記画像表示領域における前記中央部の周囲の領域に対応する、前記凹部の底面、又は、前記シリコン基板における前記底面に対向する面に、前記第2の放熱材を塗布する第2の放熱材塗布ステップと、
    前記液晶表示セルを、前記第1及び第2の放熱材を介して前記放熱プレートに押し付けて、前記画像表示領域における、前記シリコン基板と前記ガラス基板との間隙のばらつきを低減させる押圧ステップと、
    前記シリコン基板と前記ガラス基板との間隙のばらつきが低減した状態で、前記液晶表示セルを前記放熱プレートに固定する固定プロセスと、
    を含むことを特徴とする液晶表示デバイスの製造方法。
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