JP2002286800A - 半導体試験装置 - Google Patents
半導体試験装置Info
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- JP2002286800A JP2002286800A JP2001086576A JP2001086576A JP2002286800A JP 2002286800 A JP2002286800 A JP 2002286800A JP 2001086576 A JP2001086576 A JP 2001086576A JP 2001086576 A JP2001086576 A JP 2001086576A JP 2002286800 A JP2002286800 A JP 2002286800A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のＩＰコアを組み合わせて構成された種
々雑多なシステムＬＳＩを効率良く試験できるようにす
る。 【構成】 半導体試験装置２０は、機能毎に分割された
複数のＩＰコアを内蔵した被測定デバイス３０，４０に
対して試験を行なう。半導体試験装置２０は、特定のＩ
Ｐコアを測定するのに必要なＩＰ単位専用測定機能モジ
ュールＩＰ１〜ＩＰ６を複数有するＩＰ単位測定機能モ
ジュール群を有する。システムコントローラ５０は、被
測定デバイス３０，４０に内蔵されているＩＰコアに対
応したＩＰ単位専用測定機能モジュールＩＰ１〜ＩＰ６
をＩＰ単位測定機能モジュール群の中から選択して被測
定デバイス３０，４０の試験を行なう。
々雑多なシステムＬＳＩを効率良く試験できるようにす
る。 【構成】 半導体試験装置２０は、機能毎に分割された
複数のＩＰコアを内蔵した被測定デバイス３０，４０に
対して試験を行なう。半導体試験装置２０は、特定のＩ
Ｐコアを測定するのに必要なＩＰ単位専用測定機能モジ
ュールＩＰ１〜ＩＰ６を複数有するＩＰ単位測定機能モ
ジュール群を有する。システムコントローラ５０は、被
測定デバイス３０，４０に内蔵されているＩＰコアに対
応したＩＰ単位専用測定機能モジュールＩＰ１〜ＩＰ６
をＩＰ単位測定機能モジュール群の中から選択して被測
定デバイス３０，４０の試験を行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
電気的特性を検査する半導体試験装置に係り、特にＩＰ
（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）コア
を用いて構成されたシステムＬＳＩを試験するのに好適
な半導体試験装置に関する。
電気的特性を検査する半導体試験装置に係り、特にＩＰ
（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）コア
を用いて構成されたシステムＬＳＩを試験するのに好適
な半導体試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】性能や品質の保証された半導体集積回路
を最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部
門の各工程で半導体集積回路の全部又は一部を抜き取
り、その電気的特性を検査する必要がある。半導体試験
装置はこのような電気的特性を検査する装置である。半
導体試験装置は、被測定デバイス（ＤＵＴ）に所定の試
験用パターンデータを与え、それによる被測定デバイス
の出力データを読み取り、被測定デバイスの基本的動作
及び機能に問題が無いかどうかを被測定デバイスの出力
データから不良情報を解析し、電気的特性を検査してい
る。
を最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部
門の各工程で半導体集積回路の全部又は一部を抜き取
り、その電気的特性を検査する必要がある。半導体試験
装置はこのような電気的特性を検査する装置である。半
導体試験装置は、被測定デバイス（ＤＵＴ）に所定の試
験用パターンデータを与え、それによる被測定デバイス
の出力データを読み取り、被測定デバイスの基本的動作
及び機能に問題が無いかどうかを被測定デバイスの出力
データから不良情報を解析し、電気的特性を検査してい
る。
【０００３】半導体試験装置における試験は、直流試験
（ＤＣ測定試験）とファンクション試験（ＦＣ測定試
験）とに大別される。直流試験は被測定デバイスの入出
力端子にＤＣ測定手段から所定の電圧又は電流を印加す
ることにより、被測定デバイスの基本的動作に不良が無
いかどうかを検査するものである。一般に、直流試験を
行なう場合には、電圧電流測定機能（ＰＭＵ：Ｐｒｅｃ
ｉｓｉｏｎ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、デバイ
スパワーサプライ機能（ＤＰＳ：ＤｅｖｉｃｅＰｏｗｅ
ｒ Ｓｕｐｐｌｙ）、アナログ測定機能（ＡＤＤＡ：Ａ
Ｄ ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ ＤＡ ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）
などを適宜選択して行なう。ファンクション試験は被測
定デバイスの入力端子にパターン発生回路から所定の試
験用パターンデータを与え、それによる被測定デバイス
の出力データを読み取り、被測定デバイスの基本的動作
及び機能に問題が無いかどうかを検査するものである。
すなわち、ファンクション試験は、アドレス、データ、
書込みイネーブル信号、チップセレクト信号などの被測
定デバイスの各入力信号の入力タイミングや振幅などの
入力条件などを変化させて、その出力タイミングや出力
振幅などを試験したりするものである。
（ＤＣ測定試験）とファンクション試験（ＦＣ測定試
験）とに大別される。直流試験は被測定デバイスの入出
力端子にＤＣ測定手段から所定の電圧又は電流を印加す
ることにより、被測定デバイスの基本的動作に不良が無
いかどうかを検査するものである。一般に、直流試験を
行なう場合には、電圧電流測定機能（ＰＭＵ：Ｐｒｅｃ
ｉｓｉｏｎ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、デバイ
スパワーサプライ機能（ＤＰＳ：ＤｅｖｉｃｅＰｏｗｅ
ｒ Ｓｕｐｐｌｙ）、アナログ測定機能（ＡＤＤＡ：Ａ
Ｄ ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ ＤＡ ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）
などを適宜選択して行なう。ファンクション試験は被測
定デバイスの入力端子にパターン発生回路から所定の試
験用パターンデータを与え、それによる被測定デバイス
の出力データを読み取り、被測定デバイスの基本的動作
及び機能に問題が無いかどうかを検査するものである。
すなわち、ファンクション試験は、アドレス、データ、
書込みイネーブル信号、チップセレクト信号などの被測
定デバイスの各入力信号の入力タイミングや振幅などの
入力条件などを変化させて、その出力タイミングや出力
振幅などを試験したりするものである。
【０００４】半導体試験装置には、汎用性の高い汎用テ
スタ（ロジックテスタ、メモリテスタ）と、特定の被測
定デバイスに特化した専用テスタ（フラッシュメモリテ
スタ、ＩＣカードテスタ、ＲＦＩＣテスタなど）が存在
する。汎用テスタは、被測定デバイスに対して、ＦＣ測
定試験用のユニット及びＤＣ測定試験用のユニットを全
て備えており、その中から必要なものを適宜選択し、そ
れを切り換えながらあらゆる被測定デバイスに対して試
験を行なうことができるものである。一方、専用テスタ
は、ＦＣ測定試験用のユニット及びＤＣ測定試験用のユ
ニットの中から特定の被測定デバイスの試験に必要なも
のだけを選択的に備えたものである。従来は、このよう
な汎用テスタや専用テスタを必要に応じて適宜選択して
使用していた。
スタ（ロジックテスタ、メモリテスタ）と、特定の被測
定デバイスに特化した専用テスタ（フラッシュメモリテ
スタ、ＩＣカードテスタ、ＲＦＩＣテスタなど）が存在
する。汎用テスタは、被測定デバイスに対して、ＦＣ測
定試験用のユニット及びＤＣ測定試験用のユニットを全
て備えており、その中から必要なものを適宜選択し、そ
れを切り換えながらあらゆる被測定デバイスに対して試
験を行なうことができるものである。一方、専用テスタ
は、ＦＣ測定試験用のユニット及びＤＣ測定試験用のユ
ニットの中から特定の被測定デバイスの試験に必要なも
のだけを選択的に備えたものである。従来は、このよう
な汎用テスタや専用テスタを必要に応じて適宜選択して
使用していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】最近では、ＩＰ（Ｉｎ
ｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）コアを搭載
したシステムＬＳＩと呼ばれるデバイスが種々の電化製
品に採用されつつある。システムＬＳＩに搭載されるＩ
Ｐコアは、ハードウェアの物理的なレイアウトデータ
や、回路の接続情報、機能ブロックを動作させるための
ドライバ・ソフトウェア、ファームウェアなどの機能記
述（ＨＤＬ記述など）を含むものであり、流通かつ再利
用可能な設計資産である。ある特定の電化製品用のシス
テムＬＳＩを構築する場合、多数のＩＰコアの中から必
要なものを寄せ集め、それらを１つのチップ上に搭載し
ている。
ｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）コアを搭載
したシステムＬＳＩと呼ばれるデバイスが種々の電化製
品に採用されつつある。システムＬＳＩに搭載されるＩ
Ｐコアは、ハードウェアの物理的なレイアウトデータ
や、回路の接続情報、機能ブロックを動作させるための
ドライバ・ソフトウェア、ファームウェアなどの機能記
述（ＨＤＬ記述など）を含むものであり、流通かつ再利
用可能な設計資産である。ある特定の電化製品用のシス
テムＬＳＩを構築する場合、多数のＩＰコアの中から必
要なものを寄せ集め、それらを１つのチップ上に搭載し
ている。
【０００６】従来は、このようにして構築されたシステ
ムＬＳＩをテストする場合は、汎用テスタによるテスト
が前提となっている。しかしながら、それぞれのＩＰコ
アはハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアが密
接に関係するため、汎用テスタではきめ細かなテストを
行なうことができなかった。また、既存の汎用テスタ
は、ＩＰコアが頻繁に再利用されるものであり、種々雑
多な形態をしたモジュール形式で構成されているという
特徴を十分に活かしたテスタアーキテクチャーになって
いなかった。従って、従来の汎用テスタでシステムＬＳ
ＩをテストしてもＩＰコア単位のテスト効率は極めて低
いものであった。また、従来の汎用テスタはシステムＬ
ＳＩに搭載されている複数のＩＰコアを同時にテストす
ることができなかった。なお、システムＬＳＩはその構
成が種々雑多なために、専用テスタには不向きであっ
た。
ムＬＳＩをテストする場合は、汎用テスタによるテスト
が前提となっている。しかしながら、それぞれのＩＰコ
アはハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアが密
接に関係するため、汎用テスタではきめ細かなテストを
行なうことができなかった。また、既存の汎用テスタ
は、ＩＰコアが頻繁に再利用されるものであり、種々雑
多な形態をしたモジュール形式で構成されているという
特徴を十分に活かしたテスタアーキテクチャーになって
いなかった。従って、従来の汎用テスタでシステムＬＳ
ＩをテストしてもＩＰコア単位のテスト効率は極めて低
いものであった。また、従来の汎用テスタはシステムＬ
ＳＩに搭載されている複数のＩＰコアを同時にテストす
ることができなかった。なお、システムＬＳＩはその構
成が種々雑多なために、専用テスタには不向きであっ
た。
【０００７】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、複数のＩＰコアを組み合わせて構成された種々雑
多なシステムＬＳＩを効率良く試験することのできる半
導体試験装置を提供することを目的とする。
あり、複数のＩＰコアを組み合わせて構成された種々雑
多なシステムＬＳＩを効率良く試験することのできる半
導体試験装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された本
発明の半導体試験装置は、機能毎に分割された複数のＩ
Ｐコアを内蔵した被測定デバイスに対して試験を行なう
半導体試験装置において、前記被測定デバイスに内蔵さ
れた前記複数のＩＰコアのそれぞれを測定するのに必要
なＩＰ単位専用測定機能モジュールを複数備えたもので
ある。複数のＩＰコアを内蔵した被測定デバイス、すな
わちシステムＬＳＩは、ＩＰコアの集合なので、これに
合わせて半導体試験装置側もそれぞれのＩＰコアを測定
するのに必要な測定機能モジュールをＩＰ単位毎に備え
る。これによって、被測定デバイスを構成するＩＰコア
が種々変化した場合であっても、そのＩＰコアを測定す
る測定機能モジュールを選択することによって、半導体
試験装置はその被測定デバイスを容易に測定することが
できるようになる。また、ＩＰコアに対して過去にテス
トした財産すなわちハードやソフト、診断などもそのま
ま活かすことができる。さらに、ＩＰコア単位にテスト
できるので、ＩＰコア単位に性能アップを図ることがで
き、テストスピードを早くすることができる
発明の半導体試験装置は、機能毎に分割された複数のＩ
Ｐコアを内蔵した被測定デバイスに対して試験を行なう
半導体試験装置において、前記被測定デバイスに内蔵さ
れた前記複数のＩＰコアのそれぞれを測定するのに必要
なＩＰ単位専用測定機能モジュールを複数備えたもので
ある。複数のＩＰコアを内蔵した被測定デバイス、すな
わちシステムＬＳＩは、ＩＰコアの集合なので、これに
合わせて半導体試験装置側もそれぞれのＩＰコアを測定
するのに必要な測定機能モジュールをＩＰ単位毎に備え
る。これによって、被測定デバイスを構成するＩＰコア
が種々変化した場合であっても、そのＩＰコアを測定す
る測定機能モジュールを選択することによって、半導体
試験装置はその被測定デバイスを容易に測定することが
できるようになる。また、ＩＰコアに対して過去にテス
トした財産すなわちハードやソフト、診断などもそのま
ま活かすことができる。さらに、ＩＰコア単位にテスト
できるので、ＩＰコア単位に性能アップを図ることがで
き、テストスピードを早くすることができる
【０００９】請求項２に記載された本発明の半導体試験
装置は、機能毎に分割された複数のＩＰコアを内蔵した
被測定デバイスに対して試験を行なう半導体試験装置に
おいて、特定のＩＰコアを測定するのに必要なＩＰ単位
専用測定機能モジュールを複数有するＩＰ単位測定機能
モジュール群と、前記被測定デバイスに内蔵されている
前記ＩＰコアに対応した前記ＩＰ単位専用測定機能モジ
ュールを前記ＩＰ単位測定機能モジュール群の中から選
択して前記被測定デバイスの試験を行なう制御手段とを
備えたものである。これは、予め特定のＩＰコアを測定
するのに必要なＩＰ単位専用測定機能モジュール群を半
導体試験装置側に設けておき、被測定デバイスに内蔵さ
れているＩＰコアが対応したものをそのモジュール群の
中から適宜選択して、試験を行なうようにしたものであ
る。なお、このＩＰ単位専用測定機能モジュールは、基
板単位であったり、ＬＳＩ単位であったり、ソフト単位
であったり、機能ブロック単位であったり、あるいはそ
れらの組合せであったりする。従って、必要なＩＰ単位
専用測定機能モジュールが選択された場合には、必要な
基板、ＬＳＩ、ソフトなどが装着されたり脱着されたり
して、システムを構成するようになっている。
装置は、機能毎に分割された複数のＩＰコアを内蔵した
被測定デバイスに対して試験を行なう半導体試験装置に
おいて、特定のＩＰコアを測定するのに必要なＩＰ単位
専用測定機能モジュールを複数有するＩＰ単位測定機能
モジュール群と、前記被測定デバイスに内蔵されている
前記ＩＰコアに対応した前記ＩＰ単位専用測定機能モジ
ュールを前記ＩＰ単位測定機能モジュール群の中から選
択して前記被測定デバイスの試験を行なう制御手段とを
備えたものである。これは、予め特定のＩＰコアを測定
するのに必要なＩＰ単位専用測定機能モジュール群を半
導体試験装置側に設けておき、被測定デバイスに内蔵さ
れているＩＰコアが対応したものをそのモジュール群の
中から適宜選択して、試験を行なうようにしたものであ
る。なお、このＩＰ単位専用測定機能モジュールは、基
板単位であったり、ＬＳＩ単位であったり、ソフト単位
であったり、機能ブロック単位であったり、あるいはそ
れらの組合せであったりする。従って、必要なＩＰ単位
専用測定機能モジュールが選択された場合には、必要な
基板、ＬＳＩ、ソフトなどが装着されたり脱着されたり
して、システムを構成するようになっている。
【００１０】請求項３に記載された本発明の半導体試験
装置は、請求項１又は２において、直流試験機能及びフ
ァンクション試験機能に対応した種々の測定機能を基本
モジュールとして複数有する基本測定モジュール群を備
え、前記ＩＰ単位専用測定機能モジュールを前記基本測
定モジュール群の中から選択することによって構成した
ものである。これは、ＩＰ単位専用測定機能モジュール
が予め設けられている基本測定モジュールによって構成
されることを具体的にしたものである。
装置は、請求項１又は２において、直流試験機能及びフ
ァンクション試験機能に対応した種々の測定機能を基本
モジュールとして複数有する基本測定モジュール群を備
え、前記ＩＰ単位専用測定機能モジュールを前記基本測
定モジュール群の中から選択することによって構成した
ものである。これは、ＩＰ単位専用測定機能モジュール
が予め設けられている基本測定モジュールによって構成
されることを具体的にしたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に従って説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る半導体試験装置の全体構成の概略を示すブロック図
である。この半導体試験装置は、基本的にＩＰコアの集
合体であるシステムＬＳＩ毎にテストアーキテクチャが
臨機応変に変更できる構成になっている。また、この半
導体試験装置は、各ＩＰコア毎にテスタのテストをモジ
ュール化しておき、ＩＰコアが使用される毎に対応する
テストモジュールを再利用するようになっており、ＩＰ
コアが進化した場合には、そのＩＰコアに対応した新規
なテストモジュールを追加し、ＩＰコアの進化に併せて
テストアーキテクチャを進化できるようになっている。
付図面に従って説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る半導体試験装置の全体構成の概略を示すブロック図
である。この半導体試験装置は、基本的にＩＰコアの集
合体であるシステムＬＳＩ毎にテストアーキテクチャが
臨機応変に変更できる構成になっている。また、この半
導体試験装置は、各ＩＰコア毎にテスタのテストをモジ
ュール化しておき、ＩＰコアが使用される毎に対応する
テストモジュールを再利用するようになっており、ＩＰ
コアが進化した場合には、そのＩＰコアに対応した新規
なテストモジュールを追加し、ＩＰコアの進化に併せて
テストアーキテクチャを進化できるようになっている。
【００１２】この実施の形態に係る半導体試験装置は、
基本測定モジュール群１０とＩＰ単位測定機能モジュー
ル群１１から構成される。基本測定モジュール群１０
は、半導体試験装置の基本機能である直流試験（ＤＣ測
定試験）機能とファンクション試験（ＦＣ測定試験）機
能をそれぞれモジュールとして備えたものであり、ａ個
のＤＰＳ測定機能モジュール２１〜２ａと、ｂ個のＰＭ
Ｕ測定機能モジュール３１〜３ｂと、ｃ個のＡＤＣ測定
機能モジュール４１〜４ｃと、ｄ個のＤＡＣ測定機能モ
ジュール５１〜５ｄと、ｅ個のＰＩＮエレクトロニクス
モジュール６１〜６ｅとを含んで構成される。なお、符
号の後ろのａ〜ｅの値はその個数を表すものであり、半
導体試験装置のシステムの規模に応じた任意の値であ
る。従って、半導体試験装置のシステム規模が大きい場
合には各ａ〜ｅの値も大きく、規模が小さい場合にはａ
〜ｅの値も小さくなる。
基本測定モジュール群１０とＩＰ単位測定機能モジュー
ル群１１から構成される。基本測定モジュール群１０
は、半導体試験装置の基本機能である直流試験（ＤＣ測
定試験）機能とファンクション試験（ＦＣ測定試験）機
能をそれぞれモジュールとして備えたものであり、ａ個
のＤＰＳ測定機能モジュール２１〜２ａと、ｂ個のＰＭ
Ｕ測定機能モジュール３１〜３ｂと、ｃ個のＡＤＣ測定
機能モジュール４１〜４ｃと、ｄ個のＤＡＣ測定機能モ
ジュール５１〜５ｄと、ｅ個のＰＩＮエレクトロニクス
モジュール６１〜６ｅとを含んで構成される。なお、符
号の後ろのａ〜ｅの値はその個数を表すものであり、半
導体試験装置のシステムの規模に応じた任意の値であ
る。従って、半導体試験装置のシステム規模が大きい場
合には各ａ〜ｅの値も大きく、規模が小さい場合にはａ
〜ｅの値も小さくなる。
【００１３】ＤＰＳ測定機能モジュール２１〜２ａは、
被測定デバイスに電源を供給するものである。ＰＭＵ測
定機能モジュール３１〜３ｂはＤＣの電圧電流を精密に
測定するものである。ＡＤＣ測定機能モジュール４１〜
４ｃはアナログ信号を測定するものである。ＤＡＣ測定
機能モジュール５１〜５ｄはデジタル信号を測定するも
のである。ピンエレクトロニクス６１〜６ｅは被測定デ
バイスのそれぞれの入出力端子に対して１個ずつ設けら
れたドライバ、アナログコンパレータ及び入出力切替回
路を備えたものであり、入出力切替回路によってドライ
バ又はアナログコンパレータのいずれか一方を被測定デ
バイスの入出力端子に接続するものである。これらの各
モジュールは従来の半導体試験装置の各機能をモジュー
ル化したものである。これらのＩＰ単位測定機能モジュ
ールは、基板単位であったり、ＬＳＩ単位であったり、
ソフト単位であったり、機能ブロック単位であったり、
あるはそれらの組合せであったりする。
被測定デバイスに電源を供給するものである。ＰＭＵ測
定機能モジュール３１〜３ｂはＤＣの電圧電流を精密に
測定するものである。ＡＤＣ測定機能モジュール４１〜
４ｃはアナログ信号を測定するものである。ＤＡＣ測定
機能モジュール５１〜５ｄはデジタル信号を測定するも
のである。ピンエレクトロニクス６１〜６ｅは被測定デ
バイスのそれぞれの入出力端子に対して１個ずつ設けら
れたドライバ、アナログコンパレータ及び入出力切替回
路を備えたものであり、入出力切替回路によってドライ
バ又はアナログコンパレータのいずれか一方を被測定デ
バイスの入出力端子に接続するものである。これらの各
モジュールは従来の半導体試験装置の各機能をモジュー
ル化したものである。これらのＩＰ単位測定機能モジュ
ールは、基板単位であったり、ＬＳＩ単位であったり、
ソフト単位であったり、機能ブロック単位であったり、
あるはそれらの組合せであったりする。
【００１４】ＩＰ単位測定機能モジュール群１１は、６
個のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６と３個のソフ
トＩＰモジュールＳＩＰ１〜ＳＩＰ３とを含んで構成さ
れる。各ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６は、基本
測定モジュール群１０の中の各モジュールを適宜組み合
わせることによって構成されたＩＰコア専用の測定機能
である。
個のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６と３個のソフ
トＩＰモジュールＳＩＰ１〜ＳＩＰ３とを含んで構成さ
れる。各ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６は、基本
測定モジュール群１０の中の各モジュールを適宜組み合
わせることによって構成されたＩＰコア専用の測定機能
である。
【００１５】ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１はＣＰＵ（Ｃ
ｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）用の
ＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２はフ
ラッシュメモリ用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用
測定機能ＩＰ３はＩＥＥＥ１３９４用のＩＰコアに対応
する。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ４はＰＣＩ（Ｐｅｒｉ
ｐｈｅｒａｌ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ Ｉｎｅｒｃｏｎｎ
ｅｃｔ）用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定機
能ＩＰ５はＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ
Ｂｕｓ）用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定
機能ＩＰ６はＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ
Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）用のＩＰコアに対応す
る。ソフトＩＰモジュールＳＩＰ１〜ＳＩＰ３は、ＩＰ
コアをソフト的に動作させるためのものであり、ＩＰ単
位専用測定機能に対応したものである。例えば、ソフト
ＩＰモジュールＳＩＰ１は、ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ
４に対応したものであり、ＩＥＥＥ１３９４用の動作確
認用のプロトコルなどを格納したものである。
ｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）用の
ＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２はフ
ラッシュメモリ用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用
測定機能ＩＰ３はＩＥＥＥ１３９４用のＩＰコアに対応
する。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ４はＰＣＩ（Ｐｅｒｉ
ｐｈｅｒａｌ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ Ｉｎｅｒｃｏｎｎ
ｅｃｔ）用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定機
能ＩＰ５はＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ
Ｂｕｓ）用のＩＰコアに対応する。ＩＰ単位専用測定
機能ＩＰ６はＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ
Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）用のＩＰコアに対応す
る。ソフトＩＰモジュールＳＩＰ１〜ＳＩＰ３は、ＩＰ
コアをソフト的に動作させるためのものであり、ＩＰ単
位専用測定機能に対応したものである。例えば、ソフト
ＩＰモジュールＳＩＰ１は、ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ
４に対応したものであり、ＩＥＥＥ１３９４用の動作確
認用のプロトコルなどを格納したものである。
【００１６】ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１は、図１に示
すように、２チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュール
と、３チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１
チャンネル分のＡＤＣ測定機能モジュールと、２チャン
ネル分のＤＡＣ測定機能モジュールと、３２ピン分のピ
ンエレクトロニクスと、コントローラ１とから構成され
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２は、図２に示すよう
に、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュールと、２
チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１チャン
ネル分のＡＤＣ測定機能モジュールと、３２ピン分のピ
ンエレクトロニクスと、コントローラ２とから構成され
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ３は、１チャンネル分の
ＤＰＳ測定機能モジュールと、２チャンネル分のＰＭＵ
測定機能モジュールと、１６ピン分のピンエレクトロニ
クスと、コントローラ３とから構成される。ＩＰ単位専
用測定機能ＩＰ４は、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能
モジュールと、２チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュ
ールと、１チャンネル分のＤＡＣ測定機能モジュール
と、２４ピン分のピンエレクトロニクスと、コントロー
ラ４とから構成される。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ５
は、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュールと、４
チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１チャン
ネル分のＤＡＣ測定機能モジュールと、１チャンネル分
のＡＤＣ測定機能モジュールと、６４ピン分のピンエレ
クトロニクスと、コントローラ５とから構成される。Ｉ
Ｐ単位専用測定機能ＩＰ６は、３チャンネル分のＤＰＳ
測定機能モジュールと、６チャンネル分のＰＭＵ測定機
能モジュールと、２チャンネル分のＤＡＣ測定機能モジ
ュールと、２チャンネル分のＡＤＣ測定機能モジュール
と、１２８ピン分のピンエレクトロニクスと、コントロ
ーラ６とから構成される。
すように、２チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュール
と、３チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１
チャンネル分のＡＤＣ測定機能モジュールと、２チャン
ネル分のＤＡＣ測定機能モジュールと、３２ピン分のピ
ンエレクトロニクスと、コントローラ１とから構成され
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２は、図２に示すよう
に、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュールと、２
チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１チャン
ネル分のＡＤＣ測定機能モジュールと、３２ピン分のピ
ンエレクトロニクスと、コントローラ２とから構成され
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ３は、１チャンネル分の
ＤＰＳ測定機能モジュールと、２チャンネル分のＰＭＵ
測定機能モジュールと、１６ピン分のピンエレクトロニ
クスと、コントローラ３とから構成される。ＩＰ単位専
用測定機能ＩＰ４は、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能
モジュールと、２チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュ
ールと、１チャンネル分のＤＡＣ測定機能モジュール
と、２４ピン分のピンエレクトロニクスと、コントロー
ラ４とから構成される。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ５
は、１チャンネル分のＤＰＳ測定機能モジュールと、４
チャンネル分のＰＭＵ測定機能モジュールと、１チャン
ネル分のＤＡＣ測定機能モジュールと、１チャンネル分
のＡＤＣ測定機能モジュールと、６４ピン分のピンエレ
クトロニクスと、コントローラ５とから構成される。Ｉ
Ｐ単位専用測定機能ＩＰ６は、３チャンネル分のＤＰＳ
測定機能モジュールと、６チャンネル分のＰＭＵ測定機
能モジュールと、２チャンネル分のＤＡＣ測定機能モジ
ュールと、２チャンネル分のＡＤＣ測定機能モジュール
と、１２８ピン分のピンエレクトロニクスと、コントロ
ーラ６とから構成される。
【００１７】各コントローラ１〜６はＩＰ単位専用測定
機能ＩＰ１〜ＩＰ６を構成する各モジュール群の制御、
運用及び管理等を行うものであり、マイクロプロセッサ
構成になっている。従って、各コントローラ１〜６は、
システムプログラムを格納するＲＯＭや各種データ等を
格納するＲＡＭ等を含んで構成される。また、コントロ
ーラ１〜６は、測定対象であるＩＰコアに応じてタイミ
ング発生回路、パターン発生回路及びピン制御回路など
を適宜備えている。コントローラは、各種のデータをテ
スタバスを介して各モジュール群に出力する。また、コ
ントローラ１〜６は、各モジュールの内部レジスタなど
に格納されている試験結果を示す直流データやパス／フ
ェイルデータなどを読み出し、読み出されたデータを解
析し、被測定デバイスの各ＩＰコアの良否を判定する。
なお、ＩＰコアがＢＩＳＴ回路を内蔵している場合に
は、ＢＩＳＴ回路試験用のチェックプログラムやＢＩＳ
Ｔ専用インターフェイスなどを有する。チェックプログ
ラムは、各ＢＩＳＴ回路にテストの開始を指示したり、
そのテスト結果の出力を指示したりするコマンドや動作
クロックなどの試験制御データを生成するプログラムで
ある。ＢＩＳＴ専用インターフェイスは、各ＢＩＳＴ回
路とＩＰ単位測定機能とを接続するものである。
機能ＩＰ１〜ＩＰ６を構成する各モジュール群の制御、
運用及び管理等を行うものであり、マイクロプロセッサ
構成になっている。従って、各コントローラ１〜６は、
システムプログラムを格納するＲＯＭや各種データ等を
格納するＲＡＭ等を含んで構成される。また、コントロ
ーラ１〜６は、測定対象であるＩＰコアに応じてタイミ
ング発生回路、パターン発生回路及びピン制御回路など
を適宜備えている。コントローラは、各種のデータをテ
スタバスを介して各モジュール群に出力する。また、コ
ントローラ１〜６は、各モジュールの内部レジスタなど
に格納されている試験結果を示す直流データやパス／フ
ェイルデータなどを読み出し、読み出されたデータを解
析し、被測定デバイスの各ＩＰコアの良否を判定する。
なお、ＩＰコアがＢＩＳＴ回路を内蔵している場合に
は、ＢＩＳＴ回路試験用のチェックプログラムやＢＩＳ
Ｔ専用インターフェイスなどを有する。チェックプログ
ラムは、各ＢＩＳＴ回路にテストの開始を指示したり、
そのテスト結果の出力を指示したりするコマンドや動作
クロックなどの試験制御データを生成するプログラムで
ある。ＢＩＳＴ専用インターフェイスは、各ＢＩＳＴ回
路とＩＰ単位測定機能とを接続するものである。
【００１８】図３は、この実施の形態に係る半導体試験
装置と被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図であ
る。図に示すように被測定デバイス３０が６個のＩＰコ
ア（ＣＰＵ、フラッシュメモリ、ＩＥＥＥ１３９４、Ｐ
ＣＩ、ＵＳＢ、ＤＲＡＭ）で構成されている場合、前述
のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６が選択されて半
導体試験装置２０が構築される。そして、この半導体試
験装置２０に対して被測定デバイス３０が接続される。
なお、被測定デバイス３０内の各ＩＰコアはデバイスの
固有ロジックを介して接続されているので、半導体試験
装置２０は、前述のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ
６の他に固有ロジックを試験するための固有ロジック試
験機能を備えている。この固有ロジック試験機能は従来
の汎用テスタと同等のものである。なお、図３において
システムコントローラ５０は、半導体試験装置２０全体
の運用、制御、管理などを行なうものである。
装置と被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図であ
る。図に示すように被測定デバイス３０が６個のＩＰコ
ア（ＣＰＵ、フラッシュメモリ、ＩＥＥＥ１３９４、Ｐ
ＣＩ、ＵＳＢ、ＤＲＡＭ）で構成されている場合、前述
のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６が選択されて半
導体試験装置２０が構築される。そして、この半導体試
験装置２０に対して被測定デバイス３０が接続される。
なお、被測定デバイス３０内の各ＩＰコアはデバイスの
固有ロジックを介して接続されているので、半導体試験
装置２０は、前述のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ
６の他に固有ロジックを試験するための固有ロジック試
験機能を備えている。この固有ロジック試験機能は従来
の汎用テスタと同等のものである。なお、図３において
システムコントローラ５０は、半導体試験装置２０全体
の運用、制御、管理などを行なうものである。
【００１９】図４は、この実施の形態に係る半導体試験
装置と別の被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図
である。図４において、図３と同じ構成のものには同一
の符号が付してあるので、その説明は省略する。図に示
すように被測定デバイス４０が４個のＩＰコア（ＣＰ
Ｕ、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、ＤＲＡＭ）で構成され
ている場合、前述のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１，ＩＰ
３，ＩＰ５，ＩＰ６が選択されて半導体試験装置２０が
構築される。そして、この半導体試験装置２０に対して
被測定デバイス４０が接続される。なお、被測定デバイ
ス４０内の各ＩＰコアはデバイスの固有ロジックを介し
て接続されているので、半導体試験装置２０は、前述の
ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１，ＩＰ３，ＩＰ５，ＩＰ６
の他に固有ロジックを試験するための固有ロジック試験
機能を備えている。
装置と別の被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図
である。図４において、図３と同じ構成のものには同一
の符号が付してあるので、その説明は省略する。図に示
すように被測定デバイス４０が４個のＩＰコア（ＣＰ
Ｕ、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、ＤＲＡＭ）で構成され
ている場合、前述のＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１，ＩＰ
３，ＩＰ５，ＩＰ６が選択されて半導体試験装置２０が
構築される。そして、この半導体試験装置２０に対して
被測定デバイス４０が接続される。なお、被測定デバイ
ス４０内の各ＩＰコアはデバイスの固有ロジックを介し
て接続されているので、半導体試験装置２０は、前述の
ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ１，ＩＰ３，ＩＰ５，ＩＰ６
の他に固有ロジックを試験するための固有ロジック試験
機能を備えている。
【００２０】以上のように、この実施の形態に係る半導
体試験装置は、被測定デバイスの種類、すなわちシステ
ムＬＳＩを構成しているＩＰコアに対応して半導体試験
装置のシステムを構築している。図５は、この実施の形
態に係る半導体試験装置が被測定デバイスに対応してシ
ステムを構築する際のＩＰテスタ構築フローを示す図で
ある。
体試験装置は、被測定デバイスの種類、すなわちシステ
ムＬＳＩを構成しているＩＰコアに対応して半導体試験
装置のシステムを構築している。図５は、この実施の形
態に係る半導体試験装置が被測定デバイスに対応してシ
ステムを構築する際のＩＰテスタ構築フローを示す図で
ある。
【００２１】まず、最初に、ステップＳ５１でＩＰ単位
ごとの測定ピンを定義する。具体的には、図１及び図２
のようなＩＰテスタを構築する場合には、ＩＰ単位専用
測定機能ＩＰ１に対しては第ｍ番目のピンｐｉｎ（ｍ）
から第ｎ番目のピンｐｉｎ（ｎ）までの３２ピンを割り
当てる。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２に対しては、第ｑ
番目のピンｐｉｎ（ｑ）から第ｒ番目のピンｐｉｎ
（ｒ）までの３２ピンを割り当てる。ＩＰ単位専用測定
機能ＩＰ３に対しては第ｓ番目のピンｐｉｎ（ｓ）から
第ｔ番目のピンｐｉｎ（ｔ）までの１６ピンを割り当て
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ４に対しては第ｕ番目の
ピンｐｉｎ（ｕ）から第ｖ番目のピンｐｉｎ（ｖ）まで
の２４ピンを割り当てる。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ５
に対しては第ｗ番目のピンｐｉｎ（ｗ）から第ｘ番目の
ピンｐｉｎ（ｘ）までの６４ピンを割り当てる。ＩＰ単
位専用測定機能ＩＰ６に対しては第ｙ番目のピンｐｉｎ
（ｙ）から第ｚ番目のピンｐｉｎ（ｚ）までの１２８ピ
ンを割り当てる。
ごとの測定ピンを定義する。具体的には、図１及び図２
のようなＩＰテスタを構築する場合には、ＩＰ単位専用
測定機能ＩＰ１に対しては第ｍ番目のピンｐｉｎ（ｍ）
から第ｎ番目のピンｐｉｎ（ｎ）までの３２ピンを割り
当てる。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ２に対しては、第ｑ
番目のピンｐｉｎ（ｑ）から第ｒ番目のピンｐｉｎ
（ｒ）までの３２ピンを割り当てる。ＩＰ単位専用測定
機能ＩＰ３に対しては第ｓ番目のピンｐｉｎ（ｓ）から
第ｔ番目のピンｐｉｎ（ｔ）までの１６ピンを割り当て
る。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ４に対しては第ｕ番目の
ピンｐｉｎ（ｕ）から第ｖ番目のピンｐｉｎ（ｖ）まで
の２４ピンを割り当てる。ＩＰ単位専用測定機能ＩＰ５
に対しては第ｗ番目のピンｐｉｎ（ｗ）から第ｘ番目の
ピンｐｉｎ（ｘ）までの６４ピンを割り当てる。ＩＰ単
位専用測定機能ＩＰ６に対しては第ｙ番目のピンｐｉｎ
（ｙ）から第ｚ番目のピンｐｉｎ（ｚ）までの１２８ピ
ンを割り当てる。
【００２２】測定ピンの定義が終了したら、ステップＳ
５２で、ＩＰ単位ごとの基本測定モジュールを選択す
る。具体的には、図１及び図２に示すようなＩＰ単位専
用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６を順次定義する。
５２で、ＩＰ単位ごとの基本測定モジュールを選択す
る。具体的には、図１及び図２に示すようなＩＰ単位専
用測定機能ＩＰ１〜ＩＰ６を順次定義する。
【００２３】ＩＰ単位ごとの基本測定モジュールの選択
が終了したら、システムコントローラ５０によって、被
測定デバイスに対応したＩＰ単位測定モジュールの選択
が行なわれる。例えば、図３のステップＳ５３に示すよ
うな被測定デバイス３０の場合は、ＩＰ単位測定機能Ｉ
Ｐ１〜ＩＰ６と、ＩＰ単位測定機能ＩＰ３に対応したソ
フトＩＰモジュールＳＩＰ１とを選択する。ステップＳ
５４に示すような被測定デバイス４０の場合は、ＩＰ単
位測定機能ＩＰ１，ＩＰ３，ＩＰ５，ＩＰ６とＩＰ単位
測定機能ＩＰ３に対応したソフトＩＰモジュールＳＩＰ
１とを選択する。このように被測定デバイスが変更にな
った場合は、ＩＰ単位測定モジュールの組合せを変更し
て対応する。なお、ラインナップに存在しない（既存の
ＩＰ単位測定機能モジュールで対応することのできない
ような）新規のＩＰに関してのみ、新規ＩＰ単位測定機
能モジュールを新たに開発し、それがハードＩＰの場合
はテスタバスに付加追加すれば良いし、それがソフトＩ
Ｐの場合はテストＣＰＵの測定群に追加するなどすれば
良い。すなわち、ステップＳ５５のように、被測定デバ
イス３０及び被測定デバイス４０とは異なる新規なＩＰ
コアを備えた被測定デバイスｎを試験する場合には、新
規なＩＰコアに対応した新規なＩＰ単位測定機能ＩＰ
７，ＩＰ８を付加し、ＩＰ単位測定機能ＩＰ７に対応し
たソフトＩＰモジュールＳＩＰ４を付加する。そして、
既存のＩＰ単位測定機能ＩＰ１，ＩＰ２と組み合わせる
ことによって、被測定デバイスｎに対応する。
が終了したら、システムコントローラ５０によって、被
測定デバイスに対応したＩＰ単位測定モジュールの選択
が行なわれる。例えば、図３のステップＳ５３に示すよ
うな被測定デバイス３０の場合は、ＩＰ単位測定機能Ｉ
Ｐ１〜ＩＰ６と、ＩＰ単位測定機能ＩＰ３に対応したソ
フトＩＰモジュールＳＩＰ１とを選択する。ステップＳ
５４に示すような被測定デバイス４０の場合は、ＩＰ単
位測定機能ＩＰ１，ＩＰ３，ＩＰ５，ＩＰ６とＩＰ単位
測定機能ＩＰ３に対応したソフトＩＰモジュールＳＩＰ
１とを選択する。このように被測定デバイスが変更にな
った場合は、ＩＰ単位測定モジュールの組合せを変更し
て対応する。なお、ラインナップに存在しない（既存の
ＩＰ単位測定機能モジュールで対応することのできない
ような）新規のＩＰに関してのみ、新規ＩＰ単位測定機
能モジュールを新たに開発し、それがハードＩＰの場合
はテスタバスに付加追加すれば良いし、それがソフトＩ
Ｐの場合はテストＣＰＵの測定群に追加するなどすれば
良い。すなわち、ステップＳ５５のように、被測定デバ
イス３０及び被測定デバイス４０とは異なる新規なＩＰ
コアを備えた被測定デバイスｎを試験する場合には、新
規なＩＰコアに対応した新規なＩＰ単位測定機能ＩＰ
７，ＩＰ８を付加し、ＩＰ単位測定機能ＩＰ７に対応し
たソフトＩＰモジュールＳＩＰ４を付加する。そして、
既存のＩＰ単位測定機能ＩＰ１，ＩＰ２と組み合わせる
ことによって、被測定デバイスｎに対応する。
【００２４】以上のようにして、ＩＰ単位測定モジュー
ルの選択が終了したら、ステップＳ５６では、システム
コントローラ５０からの指示に従って、ＩＰ単位測定機
能モジュールの各コントローラ１〜６が動作して、各Ｉ
Ｐコアの試験を開始する。このときに、各ＩＰコアが、
メモリブロックだけの場合やロジックブロックグループ
だけのような場合には、これらを試験する動作速度はだ
いたい同じようなものとなるが、通常は各ＩＰコアが必
ずしもすべて同じ動作速度ではない。従って、動作速度
がそれぞれ異なるＩＰコアに対して、それぞれのコント
ローラ１〜６はその動作速度に応じた試験を行なう。
ルの選択が終了したら、ステップＳ５６では、システム
コントローラ５０からの指示に従って、ＩＰ単位測定機
能モジュールの各コントローラ１〜６が動作して、各Ｉ
Ｐコアの試験を開始する。このときに、各ＩＰコアが、
メモリブロックだけの場合やロジックブロックグループ
だけのような場合には、これらを試験する動作速度はだ
いたい同じようなものとなるが、通常は各ＩＰコアが必
ずしもすべて同じ動作速度ではない。従って、動作速度
がそれぞれ異なるＩＰコアに対して、それぞれのコント
ローラ１〜６はその動作速度に応じた試験を行なう。
【００２５】この実施の形態の半導体試験装置によれ
ば、ＩＰコア簡易の測定系の組合せが種々可能なので、
様々なシステムＬＳＩに対する試験を容易に行なうこと
ができる。また、ＩＰコアに対して過去にテストした財
産すなわちハードやソフト、診断などをそのまま活かす
ことができる。さらに、ＩＰコア単位にテストできるの
で、ＩＰコア単位に性能アップを図ることができ、テス
トスピードを早くすることができる。
ば、ＩＰコア簡易の測定系の組合せが種々可能なので、
様々なシステムＬＳＩに対する試験を容易に行なうこと
ができる。また、ＩＰコアに対して過去にテストした財
産すなわちハードやソフト、診断などをそのまま活かす
ことができる。さらに、ＩＰコア単位にテストできるの
で、ＩＰコア単位に性能アップを図ることができ、テス
トスピードを早くすることができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、複数のＩＰコアを組み
合わせて構成された種々雑多なシステムＬＳＩを効率良
く試験することができるという効果がある。
合わせて構成された種々雑多なシステムＬＳＩを効率良
く試験することができるという効果がある。
【図１】 本発明の実施の形態に係る半導体試験装置の
全体構成の概略を示すブロック図
全体構成の概略を示すブロック図
【図２】 図１の各ＩＰ単位専用測定機能の詳細構成の
一例を示す図
一例を示す図
【図３】 この実施の形態に係る半導体試験装置と被測
定デバイスとの接続関係の概略を示す図
定デバイスとの接続関係の概略を示す図
【図４】 この実施の形態に係る半導体試験装置と別の
被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図
被測定デバイスとの接続関係の概略を示す図
【図５】 この実施の形態に係る半導体試験装置が被測
定デバイスに対応してシステムを構築する際のＩＰテス
タ構築フローを示す図
定デバイスに対応してシステムを構築する際のＩＰテス
タ構築フローを示す図
１０…基本測定モジュール群 １１…ＩＰ単位測定機能モジュール群 ２０…半導体試験装置 ２１〜２ａ…ＤＰＳ測定機能モジュール ３０，４０…被測定デバイス ３１〜３ｂ…ＰＭＵ測定機能モジュール ４１〜４ｃ…ＡＤＣ測定機能モジュール ５０…システムコントローラ ５１〜５ｄ…ＤＡＣ測定機能モジュール ６１〜６ｅ…ＰＩＮエレクトロニクスモジュール ＩＰ１〜ＩＰ６…ＩＰ単位測定機能モジュール ＳＩＰ１〜ＳＩＰ３…ソフトＩＰモジュール
Claims (3)
- 【請求項１】 機能毎に分割された複数のＩＰコアを内
蔵した被測定デバイスに対して試験を行なう半導体試験
装置において、 前記被測定デバイスに内蔵された前記複数のＩＰコアの
それぞれを測定するのに必要なＩＰ単位専用測定機能モ
ジュールを複数備えたことを特徴とする半導体試験装
置。 - 【請求項２】 機能毎に分割された複数のＩＰコアを内
蔵した被測定デバイスに対して試験を行なう半導体試験
装置において、 特定のＩＰコアを測定するのに必要なＩＰ単位専用測定
機能モジュールを複数有するＩＰ単位測定機能モジュー
ル群と前記被測定デバイスに内蔵されている前記ＩＰコ
アに対応した前記ＩＰ単位専用測定機能モジュールを前
記ＩＰ単位測定機能モジュール群の中から選択して前記
被測定デバイスの試験を行なう制御手段とを備えたこと
を特徴とする半導体試験装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、 直流試験機能及びファンクション試験機能に対応した種
々の測定機能を基本モジュールとして複数有する基本測
定モジュール群を備え、前記ＩＰ単位専用測定機能モジ
ュールを前記基本測定モジュール群の中から選択するこ
とによって構成したことを特徴とする半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001086576A JP2002286800A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001086576A JP2002286800A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002286800A true JP2002286800A (ja) | 2002-10-03 |
Family
ID=18941934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001086576A Pending JP2002286800A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002286800A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009545727A (ja) * | 2006-08-04 | 2009-12-24 | ヴェリジー（シンガポール） プライベート リミテッド | 汎用ブロックと専用リソースブロックを備えるテストモジュール |
| JP2011075308A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ricoh Co Ltd | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
| JP2017067555A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 新東工業株式会社 | テストシステム |
| JP2020165711A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 株式会社アドバンテスト | 波形データ取得モジュールおよび試験装置 |
-
2001
- 2001-03-26 JP JP2001086576A patent/JP2002286800A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009545727A (ja) * | 2006-08-04 | 2009-12-24 | ヴェリジー（シンガポール） プライベート リミテッド | 汎用ブロックと専用リソースブロックを備えるテストモジュール |
| JP2011075308A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ricoh Co Ltd | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
| JP2017067555A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 新東工業株式会社 | テストシステム |
| CN108139443A (zh) * | 2015-09-29 | 2018-06-08 | 新东工业株式会社 | 测试系统 |
| CN108139443B (zh) * | 2015-09-29 | 2020-06-19 | 新东工业株式会社 | 测试系统 |
| TWI702407B (zh) * | 2015-09-29 | 2020-08-21 | 日商新東工業股份有限公司 | 測試系統 |
| US10816590B2 (en) | 2015-09-29 | 2020-10-27 | Sintokogio, Ltd. | Test system |
| AT526306B1 (de) * | 2015-09-29 | 2024-02-15 | Sintokogio Ltd | Prüfsystem |
| JP2020165711A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 株式会社アドバンテスト | 波形データ取得モジュールおよび試験装置 |
| JP7316818B2 (ja) | 2019-03-28 | 2023-07-28 | 株式会社アドバンテスト | 波形データ取得モジュールおよび試験装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060516 |