JP2002286681A - 電気的接触構造及びセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えば電極端子と端子金具との間の様な電気
的接触構造においても、高い接続の信頼性を確保できる
電気的接触構造及びセンサを提供すること。 【解決手段】 検出素子５の酸素濃淡電池２７内に形成
された電極リード部３９は、複数のビア４３にて、酸素
濃淡電池２７の表面の電極端子４５と電気的に接続され
ている。しかも、これらのビア４３は、リードフレーム
１３が電極端子４５と接触する接点間に位置する様に形
成されている。また、同様に、ヒータ２９内に形成され
たリード部４７、４９は、複数のビア５５にて、ヒータ
２９の表面の電極端子５１、５３と電気的に接続されて
いる。しかも、これらのビア５５は、リードフレーム１
３が電極端子５１、５３と接触する接点間に位置する様
に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車等の
排気ガス中の酸素濃度を測定する酸素センサなどに用い
ることができる電気的接触構造及びセンサに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば混合ガス中から特定の
ガス成分の濃度を検出するガスセンサとしては、例えば
図７に示す様な酸素センサが知られている。この酸素セ
ンサは、排気管に固定するためのネジ部Ｐ１が外表面に
形成された筒状の主体金具Ｐ２と、主体金具Ｐ２の筒内
に挿入され、酸素イオン伝導性固体電解質体からなる電
池素子を備えた長尺状の検出素子Ｐ３と、検出素子Ｐ３
を保持するために主体金具Ｐ２の筒内下方から順に積層
されるセラミックホルダＰ４、タルク粉末Ｐ５、セラミ
ックスリーブＰ６とを備えている。

【０００３】このうち、前記検出素子Ｐ３は、その先端
側（図中下方）には検出部Ｐ７が形成され、後端側には
検出部Ｐ７にて生じた酸素濃淡電池起電力を外部に取り
出すための複数の電極端子Ｐ８が形成されている。そし
て、各電極端子Ｐ８には、コネクタ部Ｐ９を介してリー
ド線Ｐ１０が電気的に接続されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記酸素セ
ンサでは、外部から振動を受けて検出素子Ｐ３自体が振
動した場合には、検出素子Ｐ４がコネクタ部Ｐ９から外
れてしまうおそれがあり、その結果、酸素濃度を正確に
測定できなくなるおそれがあった。

【０００５】この対策として、セラミックスリーブＰ６
の貫通孔内にて、検出素子Ｐ３の表面に電極端子を設け
るとともに、セラミックスリーブＰ６と検出素子Ｐ４と
の間に板状で長尺の端子金具を配置して、端子金具の一
端と電極端子との導通を確保し、更に端子金具の他端と
リード線Ｐ１０とを接続する技術が検討されているが、
必ずしも接続の信頼性は十分ではない。

【０００６】つまり、前記電極端子は、検出素子Ｐ３の
表面にメタライズにより形成されるので、電極端子と端
子金具とが長期間接触しているうちに、端子金具等の振
動によって電極端子のメタライズが剥離して、導通を確
保できなくなるおそれがあった。

【０００７】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、例えば電極端子と端子金
具との間の様な電気的接触構造においても、高い接続の
信頼性を確保できる電気的接触構造及びセンサを提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】（１）請
求項１の発明は、部材（例えば検出素子）の表面にメタ
ライズにより形成された表面導通部（例えば電極端子）
に対して、導電部材（例えば端子金具）を接触させて導
通を得る電気的接触構造に関するものである。

【０００９】本発明では、特に、導電部材は表面導通部
に弾性的に押圧して接触する接点を複数備えるととも
に、表面導通部は部材の内部に設けられた内部導通部か
ら導通を得ている。従って、幅方向と垂直の導電部材の
長手方向の振動等により、導電部材と表面導通部とが一
部の接点でこすれあっても、表面導通部の一部が剥離す
るのみである。つまり、表面導通部は例えばビアやスル
ーホールを介して内部導通部と導通し、且つ導電部材は
複数の接点を有するので、即ち多くの導通の経路が確保
されているので、表面導通部が多少剥離したとしても、
断線が生じ難い。これにより、高い接続の信頼性が得ら
れる。

【００１０】（２）請求項２の発明では、表面導通部は
内部導通部からスルーホール又はビアを介して導通を得
ている。本発明は、表面導通部と内部導通部との電気的
な接続の構造を例示したものであり、特にシートを積層
して検出素子等の板状の部材を製造する場合には、この
スルーホールやビアを利用した電気的接続は好適であ
る。

【００１１】尚、ここで、スルーホールとは、表面導通
部と内部導通部とを接続するようにあけられた孔であ
り、その内周面に導電層を形成することにより、表面導
通部と内部導通部との間で導通が可能となる。また、ビ
アとは、前記孔の内部に導電材料を充填して導通を得る
ものである。

【００１２】（３）請求項３の発明では、スルーホール
又はビアを、接点間に対応する位置に設けている。従っ
て、ある接点が接触する部分の表面導通部が幅方向に完
全に剥離したとしても、他の接点はスルーホール又はビ
アを介して内部導通部と導通しているので、一層断線が
生じ難い。

【００１３】（４）請求項４の発明では、部材は、周囲
の状況に応じて電気的特性が変化する板状素子である。
本発明は、部材の種類を例示したものであり、ここで
は、例えば酸素濃度に応じてその起電力が変化する板状
の酸素検出素子等が挙げられる。

【００１４】この様なセンサ機能を有する素子は、電気
的特性の変化を正確に電気信号に変換して取り出す必要
があるので、安定的に良好な電気的な接続を図らなけれ
ばならない。本発明の電気的接触構造は、この様な場合
に有効に利用できる。 （５）請求項５の発明では、板状素子は、主としてセラ
ミックスからなる。

【００１５】本発明は、板状素子の材質を例示したもの
であり、ここでは、例えばジルコニアなどが挙げられ
る。板状素子がセラミックスからなる場合には、素子基
体の硬度が高いので、表面に形成された表面導通部は、
導電部材と基材との間に挟圧されて摩耗し易い。本発明
の電気的接触構造は、この様な場合に有効に利用でき
る。

【００１６】（６）請求項６の発明は、導電部材は、耐
熱性金属からなる端子金具である。本発明は、導電部材
を例示したものであり、ここでは、例えばＮｉ合金（イ
ンコネル７１８：登録商標）やＦｅ合金（インコロイ：
登録商標）などの耐熱性金属からなる端子金具が挙げら
れる。

【００１７】導電部材として耐熱性金属を用いること
で、表面導通部との電気的接続が高温においても安定す
るので、本発明の電気的接触構造の電気的接続の安定性
を高めることができる。 （７）請求項７の発明では、導電部材は、表面導通部と
の接触部分に、波状又は鋸歯状の凹凸を備えている。

【００１８】この接触部分が、例えばセラミックス製の
検出素子とセラミックス製のスリーブとの間に配置され
る場合には、波状又は鋸歯状の凹凸が、左右のセラミッ
クス製の部材との緩衝機能を発揮し、例えば衝撃により
検出素子が破損することを防止することができる。

【００１９】更に、表面導通部に対して、導電部材を複
数箇所で弾性的に押圧することになるので、本発明の電
気的接触構造の電気的接続の安定性を高めることができ
る。 （８）請求項８の発明では、表面導通部は、部材から信
号を取り出すために部材表面に形成されたメタライズ層
である。

【００２０】本発明により、部材からの信号を確実に外
部に伝えることができる。 （９）請求項９の発明では、表面導通部は、部材中に形
成されたヒータに電圧を印加するために部材表面に形成
されたメタライズ層である。本発明により、ヒータに確
実に電圧を印加することができる。

【００２１】（１０）請求項１０の発明は、上述した電
気的接触構造を備えたセンサである。つまり、上述した
電気的接触構造を備えたセンサは、振動等が加わる過酷
な条件で使用された場合でも、長期間にわたり断線が発
生し難く、耐久性が極めて高いものである。

【００２２】（１１）請求項１１の発明では、センサ
が、測定対象のガスの種類又はガスの濃度を測定するガ
スセンサである。本発明は、センサの種類を例示したも
のであり、ここでは、ガスの種類を検出したり、ガスの
濃度を検出するガスセンサが挙げられる。

【００２３】このガスセンサとしては、酸素の濃度を測
定する酸素ガスセンサ、ＮＯ_Xの濃度を測定するＮＯ_Xガ
スセンサ、ＨＣの濃度を測定するＨＣガスセンサ、ＣＯ
の濃度を測定するＣＯガスセンサなどが挙げられる。特
にＮＯ_Xの濃度を測定するＮＯ_Xガスセンサの場合、電気
信号を高精度で測定する必要があるため、本発明の電気
的接触構造は有効に作用する。

【００２４】（１２）請求項１２の発明では、ガスセン
サが、内燃機関の排気を浄化する触媒（例えば三元触
媒）の下流側に配置される下流ガスセンサ、又は触媒の
上流側に取り付けられる上流ガスセンサ（制御ガスセン
サ）である。本発明は、ガスセンサの使用位置及びその
用途を例示したものである。

【００２５】内燃機関の排気中の様な高温下で、振動の
激しい部位に装着されるセンサからの信号を取り出す場
合には、本発明の電気的接触構造は、センサ信号の信頼
性を向上させるのに有効な効果を奏する。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明のガスセンサの実
施の形態の例（実施例）について説明する。 （実施例１）本実施例のガスセンサは、例えば自動車の
排気系に取り付けられて、検出ガス（排気ガス）中の酸
素濃度を測定する酸素センサ（ガスセンサ）である。

【００２７】ａ）まず、本実施例の酸素センサの構成に
ついて、図１〜図３に基づいて説明する。尚、図１は酸
素センサの全体構成を示し、図２は検出素子の構成を示
し、図３は電極端子の電気的接触構造を示している。図
１に示す様に、酸素センサ１は、筒状の主体金具３と、
主体金具３の筒内に挿入される長板状の検出素子５と、
検出素子５を保持するために主体金具３の筒内下方から
積層されるセラミックホルダ７、タルク粉末９、セラミ
ックスリーブ１１と、検出素子５にて検出された信号
（即ち、酸素濃淡電池起電力）を取り出すため等に用い
る複数（本実施例では４本）の長尺状のリードフレーム
（端子金具）１３とを備えている。

【００２８】また、主体金具３の先端側（図中下方）外
周には、検出素子５の突出部分を覆うと共に、複数の孔
部を有し、金属製の二重のプロテクタ１５が溶接等によ
って取り付けられている。一方、主体金具３の後端側
（図中上方）外周には、外筒１７が溶接等により固定さ
れている。また、外筒１７の後端開口部１７ａには、検
出素子５にて生じた酸素濃淡電池起電力を外部に取り出
すための（リード線１９が挿通される）リード線挿通孔
２１が形成されたセラミックセパレータ２３とグロメッ
ト２５とが配置されている。

【００２９】上記構成のうち、検出素子５は、長方形状
の軸断面を有し、図２に示すように、それぞれ長板状に
形成された酸素濃淡電池素子２７と、酸素濃淡電池素子
２７を活性化させるためのヒータ２９とが積層されて形
成されている。尚、酸素濃淡電池素子２７は、例えば、
ジルコニア等を主体とする酸素イオン伝導性固体電解質
体により形成されている。また、ヒータ２９は、例え
ば、導電性セラミックからなる抵抗発熱体パターン３１
をセラミック基体中に埋設した公知のセラミックヒータ
から形成されている。

【００３０】前記酸素濃淡電池素子２７は、その長手方
向の一端側（図中左方）にて、両面に多孔質電極３３，
３５が形成されており、両電極３３，３５とそれらの間
に挟まれる固体電解質部分とが検出素子５の検出部３７
を構成している。また、多孔質電極３３，３５には、酸
素濃淡電池素子２７の長手方向に沿って酸素センサ１の
後端側に向けて延びる電極リード部３７，３９が一体に
形成されている。

【００３１】この内、ヒータ２９と対向しない側の電極
３３からの電極リード部３７は、その末端が電極端子
（表面導通部）４１として用いられる。また、ヒータ２
７に対向する側の電極３５の電極リード部（内部導通
部）３９は、図３に示すように、酸素濃淡電池素子２７
を厚さ方向に横切るビア４３により、反対側の素子面に
形成された電極端子４５と接続されている。

【００３２】尚、酸素濃淡電子素子の一方の表面（図２
の上方）は、検出部３７及び電極端子４１、４５近傍を
除いて、アルミナからなる保護層（図示せず）により覆
われている。一方、前記ヒータ２９には、図２に示す様
に、抵抗発熱体パターン３１に導通するための二本のリ
ード部（内部導通部）４７、４９が形成され、ヒータ２
９の酸素濃淡電池素子２７と対向しない側の板面末端に
形成された電極端子（表面導通部）５１，５３に、図３
に示すように、それぞれビア５５を介して接続されてい
る。

【００３３】このように構成された検出素子５は、図１
中に示すように、先端側（図中下方）の検出部３７が、
排気管に固定される主体金具３の先端より突出した状態
で、この主体金具３内に固定される。しかも、検出素子
５の電極端子（電極端子４１，４５，５１，５３）が形
成された側の端部側の周囲が、セラミックスリーブ１１
に覆われた状態で固定される。

【００３４】尚、前記検出素子５は、例えばジルコニア
等の材料からなるグリーンシート上に電極等の導電部分
をスクリーン印刷して焼成した素子であり、前記リード
フレーム１３が接触する電極端子４１，４５，５１，５
３は、いわゆるメタライズ層である。

【００３５】ｂ）次に、本実施例の要部である、リード
フレーム１３がセラミックスリーブ１１と検出素子５に
挟まれてなる電気的接触構造について、図３及び図４に
基づいて説明する。まず、前記セラミックスリーブ１１
は、図４（ａ）や図４（ａ）中に記したＡ方向（即ち、
下端面方向）から、当該セラミックスリーブ１１を見た
底面図（拡大した底面図）である図４（ｂ）に示すよう
に、上部中央が上方に突出することにより突出部５７が
形成され、中心軸に沿って挿通孔５９が形成されてい
る。そして、挿通孔５９では、検出素子５の電極端子４
１，４５，５１，５３が形成された側の板面に対応する
側の内壁の隅には、それぞれ溝部６１が形成されてい
る。つまり、挿通孔５９には、４つの溝部６１が形成さ
れ、これにより、挿通孔５９は、断面が「エ」字状を呈
している。

【００３６】一方、リードフレーム１３は、図４（ｃ）
に示すように、外観が略Ｌ字状を呈するように形成され
ている。即ち、リードフレーム１３は、フレーム本体６
３と、フレーム本体６３の一端側が折り曲げられて形成
された折曲部６５と、フレーム本体６３の折曲部６５側
に形成された波状部分６７とを備える。また、リードフ
レーム１３は、例えば、高温に繰り返し晒されても、弾
性（バネ弾性）を保持可能な周知のインコネル（登録商
標）等のステンレス鋼にて形成されている。

【００３７】特に、本実施例では、図３に（検出素子５
を電極端子４５、５３を含む平面で長手方向に破断し
て）示す様に、検出素子５の酸素濃淡電池２７内に形成
された電極リード部３９は、複数のビア４３にて、酸素
濃淡電池２７の表面の電極端子４５と電気的に接続され
ている。しかも、これらのビア４３は、リードフレーム
１３が電極端子４５と接触する接点間に位置する様に形
成されている。

【００３８】また、同様に、ヒータ２９内に形成された
リード部４７、４９（図では４９のみを示す）は、複数
のビア５５にて、ヒータ２９の表面の電極端子５１、５
３（図では５３のみを示す）と電気的に接続されてい
る。しかも、これらのビア５５は、リードフレーム１３
が電極端子５１、５３と接触する接点間に位置する様に
形成されている。

【００３９】そして、上述した構成においては、図４
（ｄ）に示すように、セラミックスリーブ１１の挿通孔
５９の溝部６１に、リードフレーム１３を配置した上
で、この挿通孔５９に検出素子５が挿通される。その
際、検出素子５の電極端子４１，４５，５１，５３に、
リードフレーム１３の波状部分６７が当接すると共に、
折曲部６５がセラミックスリーブ１１の下端面に当接す
るように当該リードフレーム１３を配置し、しかも、フ
レーム本体６３の折曲部６５とは反対側の端部（図中上
方）をセラミックスリーブ１１から突出させた状態で当
該リードフレーム１３を配置する。

【００４０】ここで、セラミックスリーブ１１に検出素
子３を挿通する際には、リードフレーム１３の波状部分
６７が検出素子３からの圧力を受けて、図４（ｂ）の矢
印方向に弾性変形する。この結果、セラミックスリーブ
１１の溝部６１と、検出素子３の電極端子４１，４５，
５１，５３との間の隙間が無くなるように密着して、検
出素子５がセラミックスリーブ１１にしっかりと固定さ
れる。

【００４１】ｃ）次に、酸素センサ１を組み立てる手順
の一例について、図５を用いて説明する。まず、図５
（ａ）に示すように、セラミックスリーブ１１の挿通孔
５９に、検出素子３と、セラミックスリーブ１１の挿通
孔５９の溝部６１の内壁とで、リードフレーム１３を挟
み込むようにして、検出素子５及びリードフレーム１３
を挿通する。このとき、検出素子５の電極端子が形成さ
れた側の端部の位置が、セラミックスリーブ１１の突出
部５７上端部（図中上方）の位置とほぼ同じとなるよう
に検出素子５を配置し、リードフレーム１３の折曲部６
５の上面がセラミックスリーブ１１の下端面に当接する
ように配置する。

【００４２】尚、この状態では、検出素子５は、リード
フレーム１３及びリードフレーム１３の波状部分６７の
弾性変形を受けて、セラミックスリーブ１１の挿通孔５
９にしっかりと固定された状態となる。次に、図５
（ｂ）に示すように、主体金具３の筒内下方からセラミ
ックホルダ７とタルク粉末９とを順に配置し、この状態
のタルク粉末９の上に、検出素子５が固定された状態の
セラミックスリーブ１１を、検出素子５の検出部３７側
が主体金具３の開口下端から突出した状態となるように
配置する。

【００４３】そして、セラミックスリーブ１１の突出部
５７の周囲の端面状に加締リング７１を配置し、図４
（ｃ）に示すように、主体金具３の後端部を加締リング
７１を介してセラミックスリーブ１１側に加締める。こ
れにより、タルク粉末９が加圧充填され、この結果、検
出素子５、セラミックホルダ７、セラミックスリーブ１
１と主体金具３とがしっかりと固定される。

【００４４】その後、図４（ｄ）に示すように、主体金
具３の先端外周にプロテクタ１５を溶接等により固定す
る。そして、図４（ｅ）に示すように、各リードフレー
ム１３の端部（図中上方）にリード線１９を抵抗溶接し
て固定し、このリード線１９を、セラミックセパレータ
２３及びグロメット２５のリード線挿通孔２１にそれぞ
れ挿通して、引き出しておく。

【００４５】次いで、リード線１９、セラミックセパレ
ータ２３、グロメット２５等を内側に収容するようにし
て、外筒１７をこの状態の主体金具３の上方から被せ
て、主体金具３の後端側外周に、外筒１７の先端（図中
下方）を溶接する等して外筒１７を固定する。

【００４６】そして、図４（ｆ）に示すように、外筒１
７の後端側を、外周に沿って加締めてグロメット２５を
固定する。以上の手順により、酸素センサ１を組み立て
ることができる。 ｄ）次に、本実施例の酸素センサ１の使用位置につい
て、図６に基づいて説明する。

【００４７】図６に示す様に、例えば自動車の内燃機関
（エンジン）８１には、燃焼したガス（排気）を外部に
排出するために排気管８３が接続されており、排気管８
３の途中には、排気を浄化するために三元触媒８５が取
り付けられている。本実施例の酸素センサ１は、三元触
媒８５の下流側に取り付けられる下流ガスセンサ（モニ
タガスセンサ）として使用されるものであり、三元触媒
から排出される排気中の酸素濃度を検出し、その信号を
電子制御装置（ＥＣＵ）８７に出力する。

【００４８】従って、この酸素センサ１により検出され
た値が適切な範囲である場合には、三元触媒にて好適に
排気の浄化が行われていることが分かる。尚、本実施例
の酸素センサ１と同様な構成の酸素センサ２を、三元触
媒８５の上流側に取り付けて、いわゆる上流側ガスセン
サ（制御ガスセンサ）として使用することもできる。こ
の場合は、エンジン８１から排出された排気中の酸素濃
度を検出し、その信号をＥＣＵ８７にて判断して、燃料
供給量や吸気量等を調節することにより、好適な空燃比
制御などを行うことができる。

【００４９】ｅ）この様に本実施例の酸素センサ１で
は、独自の電気的接触構造を備えており、この電気的接
触構造において、リードフレーム１３は、電極端子４
５、５１、５３に接触する接点を複数備えるとともに、
電極端子４５、５１、５３は、検出素子５の内部に設け
られた電極リード部３９及びリード部４７、４９からそ
れぞれ複数のビア４３、５５を介して導通を得ている。

【００５０】従って、リードフレーム１３の長手方向の
振動等により、リードフレーム１３と電極端子４５、５
１、５３とが一部の接点でこすれあっても、電極端子４
５、５１、５３の一部が離するのみである。つまり、電
極端子４５、５１、５３は、複数のビア４３、５５を介
して電極リード部３９やリード部４７、４９と導通して
いるので、電極端子４５、５１、５３が多少剥離したと
しても、断線が生じ難く、極めて信頼性が高いものであ
る。

【００５１】しかも、本実施例では、各ビア４３、５５
は、リードフレーム１３の接点間に対応する位置に設け
てあるので、たとえ、ある接点が接触する部分の電極端
子４５、５１、５３が幅方向に完全に剥離したとして
も、他の接点はビア４３、５５を介して電極リード部３
９やリード部４７、４９と導通しているので、この点か
らも、断線が生じ難いという効果がある。

【００５２】尚、本発明は前記実施例になんら限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て種々の態様で実施しうることはいうまでもない。 （１）例えば、リードフレームに、波状部分を設けるの
ではなく、鋸歯状の部分を設けてもよい。

【００５３】（２）また、前記実施例では、電極端子と
の導通を確保するために、ビアを設けたが、スルーホー
ルにより導通を確保してもよい。 （３）更に、前記ビア等は、電極端子に対して複数設け
ることが断線防止のために好ましいが１箇所でも効果が
ある。また、ビア等を複数設ける場合には、前記接点間
が好ましいが、それ以外の箇所でも効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の酸素センサを破断して示す説明図で
ある。

【図２】 実施例の酸素センサの検出素子を分解して示
す斜視図である。

【図３】 電極端子の近傍の電気的接触構造を示す断面
図である。

【図４】 （ａ）はセラミックスリーブを一部破断して
示す説明図、（ｂ）はセラミックスリーブの先端側の底
面を示す説明図、（ｃ）はリードフレームを示す側面
図、（ｄ）セラミックスリーブとリードフレームの概略
構成を示す説明図である。

【図５】 実施例の酸素センサの組み付け手順を示す説
明図である。

【図６】 実施例の酸素センサの使用方法を示す説明図
である。

【図７】 従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１…酸素センサ ３…主体金具 ５…検出素子 １１…セラミックスリーブ １３…端子金具 ３７、３９…電極リード部 ４１、４５、５１、５３…電極端子 ４３、５５…ビア ４７、４９…リード部 ６７…波状部分

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Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部材の表面にメタライズにより形成され
   た表面導通部に対して、導電部材を接触させて導通を得
   る電気的接触構造において、 前記導電部材は前記表面導通部に弾性的に押圧され接触
   する接点を複数備えるとともに、前記表面導通部は前記
   部材の内部に設けられた内部導通部から導通を得ること
   を特徴とする電気的接触構造。
2. 【請求項２】 前記表面導通部は前記内部導通部からス
   ルーホール又はビアを介して導通を得ることを特徴とす
   る前記請求項１に記載の電気的接触構造。
3. 【請求項３】 前記スルーホール又はビアを、前記接点
   間に対応する位置に設けたことを特徴とする請求項２に
   記載の電気的接触構造。
4. 【請求項４】 前記部材は、周囲の状況に応じて電気的
   特性が変化する板状素子であることを特徴とする請求項
   〜３のいずれかに記載の電気的接触構造。
5. 【請求項５】 前記板状素子は、主としてセラミックス
   からなることを特徴とする請求項４に記載の電気的接触
   構造。
6. 【請求項６】 前記導電部材は、耐熱性金属からなる端
   子金具であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか
   に記載の電気的接触構造。
7. 【請求項７】 前記導電部材は、波状又は鋸歯状の凹凸
   を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記
   載の電気的接触構造。
8. 【請求項８】 前記表面導通部は、前記部材から信号を
   取り出すために部材表面に形成されたメタライズ層であ
   ることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電
   気的接触構造。
9. 【請求項９】 前記表面導通部は、前記部材中に形成さ
   れたヒータに電圧を印加するために部材表面に形成され
   たメタライズ層であることを特徴とする請求項１〜７の
   いずれかに記載の電気的接触構造。
10. 【請求項１０】 前記請求項１〜９のいずれかに記載の
    電気的接触構造を備えたことを特徴とするセンサ。
11. 【請求項１１】 前記センサが、測定対象のガスの種類
    又はガスの濃度を測定するガスセンサであることを特徴
    とする請求項１０に記載のセンサ。
12. 【請求項１２】 前記ガスセンサが、内燃機関の排気を
    浄化する触媒の下流側に配置される下流ガスセンサ、又
    は前記触媒の上流側に配置される上流ガスセンサである
    ことを特徴とする請求項１１に記載のセンサ。